JP6131108B2 - 露光描画装置、露光描画方法およびプログラム - Google Patents
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Description
10 ステージ
19 露光ヘッド制御部
27 DMD
30 露光ヘッド
46 移動機構
50 DMD制御データ生成部
51 第1の制御データ生成部
52 仮想マイクロミラー設定部
53 第2の制御データ生成部
54 制御データ補正部
60 指示入力部
M、MR マイクロミラー
MV1〜MV4 仮想マイクロミラー
PV1〜PV4 仮想描画点
Claims (13)
- 描画対象に描画する画像を示す画像データを取得する画像データ取得部と、
入射した光を複数のマイクロミラーのオンオフによって空間変調して前記画像データに対応したパターン光を生成し、前記パターン光を前記描画対象に照射する露光ヘッドと、
前記露光ヘッドが前記描画対象に前記パターン光を照射している状態において、前記露光ヘッドに対する前記描画対象の相対位置を移動させる移動機構と、
前記画像データに基づいて、前記複数のマイクロミラーの各々について当該マイクロミラーのフレーム期間毎のオンオフの状態に対応した複数の論理値を含む第1の制御データを生成する第1の制御データ生成部と、
前記第1の制御データに基づいて、前記複数のマイクロミラーのオンオフを制御する制御部と、
前記複数のマイクロミラーの少なくとも1つに対して、当該マイクロミラーに対応する描画点とは異なる位置に少なくとも1つの仮想的な仮想描画点を形成する仮想マイクロミラーを設定する仮想マイクロミラー設定部と、
前記仮想描画点において前記画像データによって示される画像の当該仮想描画点に対応する部分を描画する場合の当該仮想マイクロミラーのフレーム期間毎のオンオフの状態に対応した複数の論理値を含む第2の制御データを生成する第2の制御データ生成部と、
前記仮想マイクロミラーが設定されたマイクロミラーに対応する第1の制御データにおけるフレーム期間毎の論理値を、当該仮想マイクロミラーに対応する第2の制御データにおける対応するフレーム期間の論理値との論理演算を行うことによって得られた値によって補正する制御データ補正部と、
を含む露光描画装置。 - 前記仮想マイクロミラー設定部は、仮想マイクロミラーを設定する1のマイクロミラーに対して複数の仮想マイクロミラーを設定する請求項1に記載の露光描画装置。
- 前記仮想マイクロミラー設定部は、前記仮想描画点が、前記1のマイクロミラーに対応する描画点を間に挟んで前記移動機構による前記露光ヘッドに対する前記描画対象の相対位置の移動方向に沿って配列するように、前記1のマイクロミラーに対して少なくとも2つの仮想マイクロミラーを設定する請求項2に記載の露光描画装置。
- 前記仮想マイクロミラー設定部は、前記仮想描画点が、前記1のマイクロミラーに対応する描画点を間に挟んで前記移動機構による前記露光ヘッドに対する前記描画対象の相対位置の移動方向と交差する方向に沿って配列するように、前記1のマイクロミラーに対して少なくとも2つの仮想マイクロミラーを設定する請求項2に記載の露光描画装置。
- 前記仮想マイクロミラー設定部は、前記仮想描画点が、前記1のマイクロミラーに対応する描画点を間に挟んで前記移動機構による前記露光ヘッドに対する前記描画対象の相対位置の移動方向およびこれと直交する方向に沿って配列するように前記1のマイクロミラーに対して複数の仮想マイクロミラーを設定する請求項2に記載の露光描画装置。
- 前記パターン光によって描画される画像の線幅の増減を指示する指示入力を受け付ける指示入力部を更に含み、
前記制御データ補正部は、前記指示入力部に入力された指示が線幅の増大を示すものであるか線幅の減少を示すものであるかに応じて、仮想マイクロミラーが設定されたマイクロミラーに対応する第1の制御データにおけるフレーム期間毎の論理値を、当該仮想マイクロミラーに対応する第2の制御データにおける対応するフレーム期間の論理値との論理和または論理積を演算することによって得られた値によって補正する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の露光描画装置。 - 前記指示入力部は、前記パターン光によって描画される画像の線幅の補正量を指示する指示入力を更に受け付け、
前記仮想マイクロミラー設定部は、前記指示入力部に入力された線幅の補正量が大きくなる程、当該マイクロミラーに対応する描画点と当該仮想描画点との間の距離が大きくなるように仮想マイクロミラーを設定する請求項6に記載の露光描画装置。 - 前記仮想マイクロミラー設定部は、前記複数のマイクロミラーの各々について複数の仮想マイクロミラーを設定する請求項1乃至7のいずれか1項に記載の露光描画装置。
- 前記仮想マイクロミラー設定部は、仮想マイクロミラーを設定する1のマイクロミラーに対応する描画点と当該仮想描画点との間の距離と、仮想マイクロミラーを設定する他のマイクロミラーに対応する描画点と当該仮想描画点との間の距離とが異なるように、前記1のマイクロミラーおよび前記他のマイクロミラーに対してそれぞれ仮想マイクロミラーを設定する請求項8に記載の露光描画装置。
- 複数の露光ヘッドを含み、
前記仮想マイクロミラー設定部は、仮想マイクロミラーを設定するマイクロミラーに対応する描画点と当該仮想描画点との間の距離が露光ヘッド間で異なるように、前記複数の露光ヘッド内のマイクロミラーについて仮想マイクロミラーを設定する請求項1乃至8のいずれか1項に記載の露光描画装置。 - 複数の露光ヘッドを含み、
前記仮想マイクロミラー設定部は、前記複数の露光ヘッドのうちの一部の露光ヘッド内のマイクロミラーに対してのみ仮想マイクロミラーを設定する請求項1乃至10のいずれか1つに記載の露光描画装置。 - 入射した光を複数のマイクロミラーのオンオフによって空間変調して描画対象に描画する画像を示す画像データに対応したパターン光を生成し、前記パターン光を前記描画対象に照射する露光ヘッドと、前記露光ヘッドから前記描画対象に前記パターン光を照射している状態において前記露光ヘッドに対する前記描画対象の相対位置を移動させる移動機構と、を含む露光描画装置を用いて前記描画対象に露光描画を行う露光描画方法であって、
前記画像データに基づいて、前記複数のマイクロミラーの各々について当該マイクロミラーのフレーム期間毎のオンオフの状態に対応した複数の論理値を含む第1の制御データを生成するステップと、
前記複数のマイクロミラーの少なくとも1つに対して、当該マイクロミラーに対応する描画点とは異なる位置に少なくとも1つの仮想的な仮想描画点を形成する仮想マイクロミラーを設定するステップと、
前記仮想描画点において前記画像データによって示される画像の当該仮想描画点に対応する部分を描画する場合の当該仮想マイクロミラーのフレーム期間毎のオンオフの状態に対応した複数の論理値を含む第2の制御データを生成するステップと、
前記仮想マイクロミラーが設定されたマイクロミラーに対応する第1の制御データにおけるフレーム期間毎の論理値を、当該仮想マイクロミラーに対応する第2の制御データにおける対応するフレーム期間の論理値との論理演算を行うことによって得られた値によって補正する制御データ補正部と、
補正された第1の制御データに基づいて前記複数のマイクロミラーのオンオフを制御するステップと、
を含む露光描画方法。 - コンピュータを、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の露光描画装置における前記制御部、前記第1の制御データ生成部、前記仮想マイクロミラー設定部、前記第2の制御データ生成部および前記制御データ補正部として機能させるためのプログラム。
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