JP6113510B2 - Magnetic element - Google Patents

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Description

本発明は、絶縁基材の表裏面に設けられたコイル間を絶縁基材に設けられたコンタクトホールを介して電気的に接続してなる磁気素子に関する。   The present invention relates to a magnetic element in which coils provided on the front and back surfaces of an insulating base material are electrically connected through contact holes provided in the insulating base material.

下記特許文献には、絶縁基材と、コイルと、磁性体とを有する磁気素子が開示されている。絶縁基材の表面側と裏面側とに設けられたコイルはそれぞれ、絶縁基材に設けられた第1のコンタクトホールを介して電気的に接続されている。絶縁基材には第1のコンタクトホールとは別に第2のコンタクトホールが設けられ、この第2のコンタクトホール内に磁性体が設けられている。   The following patent document discloses a magnetic element having an insulating base, a coil, and a magnetic body. The coils provided on the front surface side and the back surface side of the insulating base material are electrically connected via first contact holes provided in the insulating base material. In addition to the first contact hole, the insulating base material is provided with a second contact hole, and a magnetic material is provided in the second contact hole.

特許文献に示すように、絶縁基材にコンタクトホールを設けて、その中に磁性体を埋め込み、磁性体の周囲の絶縁基材の表面に平面コイルを巻回形成することはインダクタンスの向上を図るうえで好ましい。   As shown in the patent document, providing a contact hole in an insulating base material, embedding a magnetic material therein, and winding a planar coil around the surface of the insulating base material around the magnetic material is intended to improve inductance. In addition, it is preferable.

しかしながら、特許文献では、絶縁基材に第1のコンタクトホールを設けて、絶縁基材の表裏面のコイル同士を導通させ、第1のコンタクトホールとは別に設けた第2のコンタクトホール内に磁性体を埋め込む構成とするため、磁気素子が大型化する問題があった。   However, in the patent document, the first contact hole is provided in the insulating base material, and the coils on the front and back surfaces of the insulating base material are electrically connected to each other, and the magnetism is provided in the second contact hole provided separately from the first contact hole. Since the body is embedded, there is a problem that the magnetic element is enlarged.

実開平5−90929号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-90929 特開2010−80550号公報JP 2010-80550 A 特開2009−278009号公報JP 2009-278209 A

そこで本発明は、上記の従来課題を解決するためのものであり、特に、高いインダクタンスが得られるとともに小型化を促進できる磁気素子を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention is to solve the above-described conventional problems, and in particular, an object of the present invention is to provide a magnetic element that can obtain a high inductance and can promote downsizing.

本発明における磁気素子は、
絶縁基材と、前記絶縁基材の上面に形成された第1のコイルと、前記絶縁基材の下面に形成された第2のコイルと、前記第1のコイルの内側に位置する巻き始端及び前記第2のコイルの内側に位置する巻き始端間を電気的に接続する導通層と、を有し、
前記絶縁基材にはスルーホールが形成され、前記導通層は前記スルーホールの側壁に、全周にわたって形成され、前記導通層の内側に第1の磁性体が設けられ、前記第1の磁性体が前記スルーホールの全周にわたって、前記導通層に直接接しながら前記スルーホールを埋めていることを特徴とするものである。このように本発明では同じスルーホール内に導通層と第1の磁性体とを設けたので、各コイルの中心部を磁束が絶縁基材の厚さ方向に通りやすくなり、高いインダクタンスが得られるとともに磁気素子の小型化を促進することができる。
The magnetic element in the present invention is
An insulating base material, a first coil formed on the upper surface of the insulating base material, a second coil formed on the lower surface of the insulating base material, a winding start position located inside the first coil, and A conductive layer electrically connecting between the winding start ends located inside the second coil,
A through hole is formed in the insulating substrate, the conductive layer is formed on the entire side wall of the through hole, and a first magnetic body is provided inside the conductive layer, and the first magnetic body is provided. Is characterized in that the through hole is filled in direct contact with the conductive layer over the entire circumference of the through hole . As described above, in the present invention, since the conductive layer and the first magnetic body are provided in the same through hole, the magnetic flux can easily pass through the central portion of each coil in the thickness direction of the insulating base material, and high inductance can be obtained. At the same time, miniaturization of the magnetic element can be promoted.

また、導通層は各コイルの巻き始端と繋がっている部分であるため、導通層と電気導電性の第1の磁性体とが直接、接していてもインダクタンス等の特性の低下を招くことがなく、かつ小型化をより効果的に促進できる。 In addition, since the conductive layer is a portion connected to the winding start end of each coil , even if the conductive layer is in direct contact with the electrically conductive first magnetic body, the characteristics such as inductance are not deteriorated. In addition, downsizing can be more effectively promoted.

また本発明では、前記第1のコイル側に重ねて第2の磁性体が設けられ、前記第2のコイル側に重ねて第3の磁性体が設けられ、前記第1の磁性体と前記第2の磁性体及び前記第3の磁性体との間に磁路が形成されていることが好ましい。第1の磁性体、第2の磁性体及び第3の磁性体との間で磁路を形成でき、漏れ磁束が減り、より効果的にインダクタンスの向上を図ることができる。   In the present invention, a second magnetic body is provided so as to overlap with the first coil side, and a third magnetic body is provided so as to overlap with the second coil side, and the first magnetic body and the first magnetic body are provided. A magnetic path is preferably formed between the second magnetic body and the third magnetic body. A magnetic path can be formed between the first magnetic body, the second magnetic body, and the third magnetic body, leakage flux is reduced, and inductance can be improved more effectively.

また、前記第2の磁性体と前記第3の磁性体とが、前記絶縁基材の側部の外方にまで設けられており、前記第2の磁性体と前記第3の磁性体との間に磁路が、前記側部の外方にて形成されている構成にもできる。これにより、より効果的にインダクタンスを高めることができる。   Further, the second magnetic body and the third magnetic body are provided to the outside of the side portion of the insulating base material, and the second magnetic body and the third magnetic body It is also possible to adopt a configuration in which a magnetic path is formed outside the side portion. Thereby, an inductance can be raised more effectively.

また本発明では、前記第1の磁性体は、前記第2の磁性体及び前記第3の磁性体と異なる磁性材料で形成される構成にできる。このとき、前記第1の磁性体を構成する磁性材料は、前記第2の磁性体及び前記第3の磁性体を構成する磁性材料よりも高い飽和磁束密度もしくは高い透磁率、または高い飽和磁束密度と高い透磁率を有する構成にできる。これにより、より効果的に高いインダクタンスを得ることができる。   In the present invention, the first magnetic body may be formed of a magnetic material different from that of the second magnetic body and the third magnetic body. At this time, the magnetic material constituting the first magnetic body has a higher saturation magnetic flux density or higher magnetic permeability or a higher saturation magnetic flux density than the magnetic materials constituting the second magnetic body and the third magnetic body. And having a high magnetic permeability. Thereby, a high inductance can be obtained more effectively.

また本発明では、前記第1のコイルの外側に位置する巻き終端に第1の取出電極が電気的に接続され、前記第2のコイルの外側に位置する巻き終端に第2の取出電極が電気的に接続されており、
前記第1のコイル及び前記第2のコイルの外側であって、前記第1の取出電極及び前記第2の取出電極が形成されていない領域に、外側磁性体が設けられており、前記外側磁性体と前記第2の磁性体及び前記第3の磁性体との間に磁路が形成されていることが好ましい。これにより、各コイルの周りに閉磁路を形成でき、漏れ磁束をより効果的に抑制でき、インダクタンスを効果的に増大させることができる。
In the present invention, the first extraction electrode is electrically connected to the winding end located outside the first coil, and the second extraction electrode is electrically connected to the winding termination located outside the second coil. Connected,
An outer magnetic body is provided in an area outside the first coil and the second coil and in which the first extraction electrode and the second extraction electrode are not formed, and the outer magnetic It is preferable that a magnetic path is formed between the body and the second magnetic body and the third magnetic body. Thereby, a closed magnetic circuit can be formed around each coil, leakage magnetic flux can be more effectively suppressed, and inductance can be effectively increased.

また本発明では、平面視にて前記第1のコイル及び第2のコイルの外側に位置する左方領域、右方領域、前方領域、及び後方領域のうちいずれか一つの領域に前記第1の取出電極が設けられ、残り3つの前記領域のうちいずれか一つの領域に前記第2の取出電極が設けられ、残り2つの前記領域にそれぞれ前記外側磁性体が設けられることが好ましい。スペースを有効活用でき、外側磁性体を適切に形成できる。   Further, in the present invention, the first region is located in any one of a left region, a right region, a front region, and a rear region located outside the first coil and the second coil in a plan view. It is preferable that an extraction electrode is provided, the second extraction electrode is provided in any one of the remaining three regions, and the outer magnetic body is provided in each of the remaining two regions. Space can be used effectively and the outer magnetic body can be formed appropriately.

また本発明では、前記第1の取出電極及び前記第2の取出電極は、前記左方領域及び前記右方領域に設けられ、前記外側磁性体は、前記前方領域及び前記後方領域に設けられることが好ましい。各コイルの中心から見て前方及び後方にそれぞれ閉磁路を形成でき、インダクタンスを効果的に増大させることができる。   In the present invention, the first extraction electrode and the second extraction electrode are provided in the left region and the right region, and the outer magnetic body is provided in the front region and the rear region. Is preferred. Closed magnetic paths can be formed in front and rear as viewed from the center of each coil, and inductance can be effectively increased.

また本発明では、前記第1のコイル及び前記第2のコイルのコイルターン間の少なくとも一部にコイルターン間磁性体が、前記コイルターンとは電気的に絶縁された状態で設けられていることが好ましい。これにより、より効果的に磁束漏れを抑制でき、より高いインダクタンスを得ることができる。   In the present invention, the inter-turn-turn magnetic material is provided at least partially between the coil turns of the first coil and the second coil in a state of being electrically insulated from the coil turns. Is preferred. Thereby, magnetic flux leakage can be suppressed more effectively and higher inductance can be obtained.

また本発明では、前記コイルターン間磁性体は、電気絶縁性の磁性材料で構成されることが好ましい。これによりコイルターン間の間隔を広げなくても簡単かつ適切にコイルターン間磁性体とコイルターンとを電気的に絶縁された状態にできる。   In the present invention, the inter-coil turn magnetic body is preferably made of an electrically insulating magnetic material. Accordingly, the magnetic material between the coil turns and the coil turn can be electrically insulated from each other without increasing the interval between the coil turns.

本発明によれば、高いインダクタンスが得られるとともに磁気素子の小型化を促進することができる。   According to the present invention, high inductance can be obtained, and downsizing of the magnetic element can be promoted.

図1(a)は、第1の実施形態における薄型インダクタの平面図であり、特に、絶縁基材上に設けられた第1のコイルと、取出電極の上面部の平面図であり、図1(b)は、絶縁基材下に設けられる第2のコイル及び取出電極の下面部の平面図である。FIG. 1A is a plan view of the thin inductor according to the first embodiment, and in particular, a plan view of the first coil provided on the insulating base and the upper surface portion of the extraction electrode. (B) is a top view of the lower surface part of the 2nd coil and extraction electrode which are provided under an insulating base material. 図2(a)は、図1(a)に示すA−A線から切断し矢印方向から見た薄型インダクタの縦断面図であり、図2(b)は、図1(a)に示すB−B線から切断し矢印方向から見た薄型インダクタの縦断面図であり、図2(c)は、図2(b)の変形例を示す。2A is a vertical cross-sectional view of the thin inductor taken along the line AA shown in FIG. 1A and viewed from the direction of the arrow, and FIG. 2B is a cross-sectional view of B shown in FIG. FIG. 2C is a longitudinal sectional view of the thin inductor cut from the line -B and viewed from the direction of the arrow, and FIG. 2C shows a modification of FIG. 図3(a)は、第2の実施形態における薄型インダクタの平面図であり、図3(c)は、図3(a)に示すC−C線から切断し矢印方向から見た薄型インダクタの縦断面図であり、図3(c)は、絶縁基材下に設けられる第2のコイル及び取出電極の下面部の平面図である。FIG. 3A is a plan view of the thin inductor according to the second embodiment, and FIG. 3C is a cross-sectional view of the thin inductor taken along the line CC shown in FIG. FIG. 3C is a longitudinal sectional view, and FIG. 3C is a plan view of the lower surface portion of the second coil and the extraction electrode provided under the insulating base material. 図4(a)は、第3の実施形態における薄型インダクタの平面図であり、図4(c)は、図4(a)に示すD−D線から切断し矢印方向から見た薄型インダクタの縦断面図であり、図4(c)は、絶縁基材下に設けられる第2のコイル及び取出電極の下面部の平面図である。4A is a plan view of the thin inductor according to the third embodiment, and FIG. 4C is a cross-sectional view of the thin inductor as viewed from the direction of the arrow cut along the line DD shown in FIG. FIG. 4C is a longitudinal sectional view, and FIG. 4C is a plan view of the lower surface portion of the second coil and the extraction electrode provided under the insulating base material. 図5は、図4(b)の変形例を示す。FIG. 5 shows a modification of FIG.

図1(a)は、第1の実施形態における薄型インダクタの平面図であり、特に、絶縁基材上に設けられた第1のコイルと、取出電極の上面部の平面図であり、図1(b)は、絶縁基材下に設けられる第2のコイル及び取出電極の下面部の平面図である。なお図1(a)(b)では、磁性シート21,22を削除した。また、図2(a)は、図1(a)に示すA−A線から切断し矢印方向から見た薄型インダクタの縦断面図であり、図2(b)は、図1(a)に示すB−B線から切断し矢印方向から見た薄型インダクタの縦断面図であり、図2(c)は、図2(b)の変形例を示す。   FIG. 1A is a plan view of the thin inductor according to the first embodiment, and in particular, a plan view of the first coil provided on the insulating base and the upper surface portion of the extraction electrode. (B) is a top view of the lower surface part of the 2nd coil and extraction electrode which are provided under an insulating base material. In FIGS. 1A and 1B, the magnetic sheets 21 and 22 are omitted. FIG. 2A is a longitudinal sectional view of a thin inductor taken along the line AA shown in FIG. 1A and viewed from the direction of the arrow, and FIG. 2B is shown in FIG. It is the longitudinal cross-sectional view of the thin inductor cut | disconnected from the BB line | wire shown and seen from the arrow direction, FIG.2 (c) shows the modification of FIG.2 (b).

図2(a)(b)に示すように薄型インダクタ(磁気素子)10は、絶縁基材11と、第1のコイル12と、第2のコイル13と、導通層14と、第1の取出電極15と、第2の取出電極16と、中央磁性体(第1の磁性体)20と、磁性シート(第2の磁性体及び第3の磁性体)21,22と、を有して構成される。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the thin inductor (magnetic element) 10 includes an insulating base 11, a first coil 12, a second coil 13, a conductive layer 14, and a first extraction. An electrode 15, a second extraction electrode 16, a central magnetic body (first magnetic body) 20, and magnetic sheets (second magnetic body and third magnetic body) 21 and 22 are configured. Is done.

絶縁基材11の材質は特に限定しないが、後述する各コイル12,13を構成する銅箔(箔体)を合わせて、ガラスエポキシ基板であることが好適である。   Although the material of the insulating base material 11 is not specifically limited, It is suitable that it is a glass epoxy board | substrate combining the copper foil (foil body) which comprises each coil 12 and 13 mentioned later.

図1(a)では、絶縁基材11の平面は、正方形や矩形状であるが、形状を限定するものでない。   In FIG. 1A, the plane of the insulating base 11 is a square or a rectangle, but the shape is not limited.

図1(a)、図2(a)に示すように、第1のコイル12は、絶縁基材11の上面11aに形成されている。また図1(c)、図2(a)に示すように第2のコイル13は、絶縁基材11の下面11bに形成されている。   As shown in FIGS. 1A and 2A, the first coil 12 is formed on the upper surface 11 a of the insulating substrate 11. Further, as shown in FIGS. 1C and 2A, the second coil 13 is formed on the lower surface 11 b of the insulating base material 11.

図1(a)に示すように、第1のコイル12は、内側の巻き始端12aから外側の巻き終端12bにかけて直角に折れ曲がりながら巻回された平面コイルである。   As shown in FIG. 1 (a), the first coil 12 is a planar coil wound while being bent at a right angle from the inner winding start end 12a to the outer winding end 12b.

また、図1(b)に示すように、第2のコイル13は、内側の巻き始端13aから外側の巻き終端13bにかけて直角に折れ曲がりながら巻回された平面コイルである。   Further, as shown in FIG. 1B, the second coil 13 is a planar coil wound while being bent at a right angle from the inner winding start end 13a to the outer winding end 13b.

図1、図2に示すように絶縁基材11の略中央には、上面11aから下面11bにかけて貫通するスルーホール25が形成されている。図1(a)(b)には、スルーホール25の側壁25aが点線で示されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, a through hole 25 penetrating from the upper surface 11 a to the lower surface 11 b is formed in the approximate center of the insulating base material 11. 1A and 1B, the side wall 25a of the through hole 25 is indicated by a dotted line.

図1では、スルーホール25の平面形状は四角形状となっているが、形状を限定するものでなく円形状等であってもよい。またスルーホール25を、絶縁基材11にドリル加工やレーザ加工、あるいは絶縁基板11のスルーホール25に相当する部分を金型で抜く金型加工などで形成できる。   In FIG. 1, the planar shape of the through hole 25 is a square shape, but the shape is not limited and may be a circular shape or the like. Further, the through hole 25 can be formed in the insulating base material 11 by drilling or laser processing, or by die processing in which a portion corresponding to the through hole 25 of the insulating substrate 11 is removed by a die.

図1(a)(b)、図2に示すように、スルーホール25の側壁25aに沿って導通層14が形成されている。導通層14は、第1のコイル12の巻き始端12a及び第2のコイル13の巻き始端13aにそれぞれ一体的に接続されている。したがって第1のコイル12と第2のコイル13とは、導通層14を介して電気的に接続された状態になっている。   As shown in FIGS. 1A and 1B, the conductive layer 14 is formed along the side wall 25 a of the through hole 25. The conductive layer 14 is integrally connected to the winding start end 12 a of the first coil 12 and the winding start end 13 a of the second coil 13, respectively. Therefore, the first coil 12 and the second coil 13 are electrically connected via the conductive layer 14.

図1,図2に示すように導通層14は、スルーホール25の周囲に形成されており、スルーホール25内をすべて埋めていない。したがって導通層14はスルーホール25の側壁25aに沿って形成された外形が四角形のリング状(中空状)になっている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the conductive layer 14 is formed around the through hole 25 and does not completely fill the through hole 25. Therefore, the conductive layer 14 has a quadrangular ring shape (hollow shape) formed along the side wall 25 a of the through hole 25.

図1(a)(b)、図2に示すように導通層14は、スルーホール25の側壁25aのみならず一部が絶縁基材11の上面11a及び下面11bにまではみ出して四角形の外形を構成している。ただしスルーホール25が円形であれば、導通層14の外形も円形にできる。図1(a)(b)に示すように、導通層14は、第1のコイル12及び第2のコイル13と巻き始端12a,13aの位置のみで繋がっており、各コイル12、13の最も内側に位置するコイルターン12c,13cとは接していない。   As shown in FIGS. 1A and 1B, the conductive layer 14 has a rectangular outer shape in which a part of the conductive layer 14 protrudes not only to the side wall 25 a of the through hole 25 but also to the upper surface 11 a and the lower surface 11 b of the insulating substrate 11. It is composed. However, if the through hole 25 is circular, the outer shape of the conductive layer 14 can also be circular. As shown in FIGS. 1A and 1B, the conductive layer 14 is connected to the first coil 12 and the second coil 13 only at the positions of the winding start ends 12a and 13a. It is not in contact with the coil turns 12c, 13c located inside.

図1(a)(b)及び図2(a)(b)に示すように、導通層14が形成されたスルーホール25と同じスルーホール25内に中央磁性体(第1の磁性体)20が埋め込まれている。中央磁性体20は、導通層14の内側に存在するスルーホール25内を埋めている。   As shown in FIGS. 1A and 1B and FIGS. 2A and 2B, a central magnetic body (first magnetic body) 20 is formed in the same through hole 25 as the through hole 25 in which the conductive layer 14 is formed. Is embedded. The central magnetic body 20 fills the through hole 25 existing inside the conductive layer 14.

このようにスルーホール25は、導通層14と中央磁性体20とで埋められた状態になっている。なおスルーホール25内は導通層14と中央磁性体20とで完全に埋められていなくてもよいが、導通層14以外の空間を中央磁性体20で完全に埋めたほうがインダクタンスを効果的に向上させることができ好適である。   Thus, the through hole 25 is filled with the conductive layer 14 and the central magnetic body 20. The through hole 25 may not be completely filled with the conductive layer 14 and the central magnetic body 20, but the inductance is effectively improved by completely filling the space other than the conductive layer 14 with the central magnetic body 20. This is preferable.

また図1、図2に示す実施形態では、導通層14と中央磁性体20とが直接、接している。例えば導通層14と中央磁性体20との間に絶縁層を介在させて、導通層14と中央磁性体20とを電気的に絶縁することも可能であるが、導通層14は各コイル12,13の巻き始端12a,13aと繋がっている部分であるため、導通層14と導通性の中央磁性体20とが直接、接していてもインダクタンス等の特性の低下を招くことがない。このように導通層14と中央磁性体20とを接して形成できるので、上記した絶縁層などをスルーホール25内に入れる必要はなく、簡単にスルーホール25内を導通層14と中央磁性体20とで埋めることができるとともに、薄型インダクタ10の小型化を効果的に促進できる。   In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the conductive layer 14 and the central magnetic body 20 are in direct contact with each other. For example, an insulating layer may be interposed between the conductive layer 14 and the central magnetic body 20 to electrically insulate the conductive layer 14 and the central magnetic body 20 from each other. 13 is connected to the winding start ends 12a and 13a. Therefore, even if the conductive layer 14 and the conductive central magnetic body 20 are in direct contact with each other, characteristics such as inductance are not deteriorated. Since the conductive layer 14 and the central magnetic body 20 can be formed in contact with each other as described above, it is not necessary to insert the above-described insulating layer or the like into the through hole 25, and the conductive layer 14 and the central magnetic body 20 can be easily formed in the through hole 25. And can reduce the size of the thin inductor 10 effectively.

上記のように、導通層14と中央磁性体20とは導通していてもよいから中央磁性体20を導通性の磁性材料で形成することができる。   As described above, since the conductive layer 14 and the central magnetic body 20 may be conductive, the central magnetic body 20 can be formed of a conductive magnetic material.

中央磁性体20を磁性シート21,22と同じ磁性材料で形成することもできるし、異なる磁性材料で形成することもできる。中央磁性体20を磁性シート21,22と異なる磁性材料で形成する場合は、磁性シート21,22よりも高い透磁率μもしくは高い飽和磁束密度Bsを有する磁性材料、または高い透磁率μと高い飽和磁束密度Bsを有する磁性材料を用いて中央磁性体20を形成することで、より効果的にインダクタンスを高めることができる。   The central magnetic body 20 can be made of the same magnetic material as the magnetic sheets 21 and 22, or can be made of a different magnetic material. When the central magnetic body 20 is formed of a magnetic material different from the magnetic sheets 21 and 22, the magnetic material having a higher magnetic permeability μ or higher saturation magnetic flux density Bs than the magnetic sheets 21 and 22, or a higher magnetic permeability μ and high saturation. By forming the central magnetic body 20 using a magnetic material having a magnetic flux density Bs, the inductance can be increased more effectively.

図2(a)に示すように、絶縁基材11の左方側面(X1側面)11d側に第1の取出電極15が形成されている。また図2(a)に示すように、絶縁基材11の右方側面(X2側側面)11e側に第2の取出電極16が形成されている。   As shown in FIG. 2A, the first extraction electrode 15 is formed on the left side surface (X1 side surface) 11 d side of the insulating base material 11. Further, as shown in FIG. 2A, the second extraction electrode 16 is formed on the right side surface (X2 side surface) 11 e side of the insulating base material 11.

図1(a)に示すように第1の取出電極15は、第1のコイル12の巻き終端12bに接続される。また図1(b)に示すように第2の取出電極16は、第2のコイル13の巻き終端13bに接続される。   As shown in FIG. 1A, the first extraction electrode 15 is connected to the winding end 12 b of the first coil 12. Further, as shown in FIG. 1B, the second extraction electrode 16 is connected to the winding end 13 b of the second coil 13.

第1のコイル12及び第2のコイル13はそれぞれ、例えば絶縁基材11の上面11a及び下面11bに形成された箔体(例えば銅箔)を図1(a)(b)に示すようなスパイラル状にエッチング等の手法により形成した導体と、この導体の表面に重ねて電解めっき等で形成されためっき層との積層構造で形成される。   Each of the first coil 12 and the second coil 13 is a spiral as shown in FIGS. 1A and 1B, for example, foil bodies (for example, copper foils) formed on the upper surface 11a and the lower surface 11b of the insulating base material 11, respectively. It is formed in a laminated structure of a conductor formed by a technique such as etching and a plating layer formed by electrolytic plating or the like on the surface of this conductor.

また、絶縁基材11の上面11a及び下面11bに位置する第1の取出電極15及び第2の取出電極16もコイル12,13と同様に箔体とめっき層との積層構造で形成される。また、絶縁基材11の側面11d,11eに位置する取出電極15,16の部分はめっき層で形成される。   Further, the first extraction electrode 15 and the second extraction electrode 16 located on the upper surface 11 a and the lower surface 11 b of the insulating base material 11 are also formed in a laminated structure of a foil body and a plating layer, like the coils 12 and 13. Moreover, the part of the extraction electrodes 15 and 16 located in the side surfaces 11d and 11e of the insulating base material 11 is formed with a plating layer.

また導通層14は第1のコイル12及び第2のコイル13と連続して各コイル12,13を構成するめっき層により形成される。   The conductive layer 14 is formed of a plating layer that constitutes the coils 12 and 13 continuously with the first coil 12 and the second coil 13.

ただし、コイル12,13、導通層14及び取出電極15,16の層構造については特に限定するものではない。   However, the layer structures of the coils 12, 13, the conductive layer 14, and the extraction electrodes 15, 16 are not particularly limited.

図2(a)に示すように、第1の取出電極15及び第2の取出電極16の最表面に薄いはんだランド34が形成されている。はんだランド34は例えばNi/Au層(Niが下地側)、Ni/Sn層、Ni/はんだ層、Ni/Ag層である。   As shown in FIG. 2A, thin solder lands 34 are formed on the outermost surfaces of the first extraction electrode 15 and the second extraction electrode 16. The solder land 34 is, for example, a Ni / Au layer (Ni is the base side), a Ni / Sn layer, a Ni / solder layer, or a Ni / Ag layer.

図2(a)に示すように、第1のコイル12の上面には絶縁層(接着層)31を介して第1の磁性シート21が配置されている。また、図2(a)に示すように、第2のコイル13の下面には絶縁層(接着層)32を介して第2の磁性シート22が配置されている。   As shown in FIG. 2A, the first magnetic sheet 21 is disposed on the upper surface of the first coil 12 via an insulating layer (adhesive layer) 31. Further, as shown in FIG. 2A, the second magnetic sheet 22 is disposed on the lower surface of the second coil 13 via an insulating layer (adhesive layer) 32.

本実施形態では、中央磁性体20と各磁性シート21,22との間に磁路が形成されている。中央磁性体20と各磁性シート21,22との間に絶縁層31,32が介在しても磁路が形成されれば問題はない。なお、中央磁性体20と各磁性シート21,22を構成する磁性層とが接するように構成することもできる。   In the present embodiment, a magnetic path is formed between the central magnetic body 20 and the magnetic sheets 21 and 22. Even if the insulating layers 31 and 32 are interposed between the central magnetic body 20 and the magnetic sheets 21 and 22, there is no problem as long as a magnetic path is formed. In addition, it can also comprise so that the center magnetic body 20 and the magnetic layer which comprises each magnetic sheet 21 and 22 may contact | connect.

磁性シート21,22の構成は特に限定されるものでない。ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド系等の絶縁シート表面にFeAlN、FeAlOやFeN等の磁性層が形成された構成、絶縁シートの表面に、FeAlN、FeAlOやFeNの磁性層とSiO等の絶縁層とが交互に所定数、積層された構成、あるいは既存のフェライトシートやフェライト板、磁性合金薄帯や軟磁性粉末を絶縁性樹脂と混合し複合化したシート状の素材等を提示できる。 The configuration of the magnetic sheets 21 and 22 is not particularly limited. Polyethylene naphthalate, polyethylene terephthalate, FeAlN the insulating sheet surface of the polyamide such that the structure magnetic layer such as FeAlO or FeN is formed, on the surface of the insulating sheet, FeAlN, insulating the magnetic layer and the SiO 2 or the like FeAlO or FeN A configuration in which a predetermined number of layers are alternately laminated, or an existing ferrite sheet or ferrite plate, a sheet-like material obtained by mixing a magnetic alloy ribbon or soft magnetic powder with an insulating resin, and the like can be presented.

各コイル12,13と各磁性シート21,22間を接合する絶縁層(接着層)31,32には、例えば、エポキシ系低温硬化剤、アクリル系低温硬化剤を用いることができる。   For the insulating layers (adhesive layers) 31 and 32 that join the coils 12 and 13 and the magnetic sheets 21 and 22, for example, an epoxy low temperature curing agent or an acrylic low temperature curing agent can be used.

図1(a)に示すように、薄型インダクタ10の幅寸法はT1で、長さ寸法はL1であり、スルーホール25の幅寸法はT2(<T1)で、長さ寸法はL2(<L1)である。具体的には、幅寸法T1は、1.0〜10mmで、幅寸法T2は、0.1〜5mmで、長さ寸法L1は、0.5〜10mmで、長さ寸法L2は、0.1〜5mmである。   As shown in FIG. 1A, the width dimension of the thin inductor 10 is T1, the length dimension is L1, the width dimension of the through hole 25 is T2 (<T1), and the length dimension is L2 (<L1 ). Specifically, the width dimension T1 is 1.0 to 10 mm, the width dimension T2 is 0.1 to 5 mm, the length dimension L1 is 0.5 to 10 mm, and the length dimension L2 is 0.00. 1-5 mm.

従来では、導通層と磁性体とを絶縁基材に形成した別々のスルーホール内に形成していた。このため、複数のスルーホールを形成するための領域を絶縁基材に確保しなくてはならず、磁気素子の小型化を阻害する要因になっていた。   Conventionally, the conductive layer and the magnetic material are formed in separate through holes formed in the insulating base material. For this reason, a region for forming a plurality of through holes has to be secured in the insulating base material, which has been a factor that hinders downsizing of the magnetic element.

本実施形態では、図1、図2(a)(b)に示すように、絶縁基材11の上下面にそれぞれコイル12,13を設け、これらコイル12,13の巻き始端12a,13a間を、絶縁基材11に形成したスルーホール25を介して導通させる構成を基本としている。   In this embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2A and 2B, coils 12 and 13 are provided on the upper and lower surfaces of the insulating base material 11, respectively, and between the winding start ends 12a and 13a of the coils 12 and 13, respectively. The basic configuration is to conduct through the through hole 25 formed in the insulating substrate 11.

図1に示すようにコイル12,13は平面コイルであり、最も内側に位置するコイルターン12cの内側に位置する中央領域に、導通層14のみならず中央磁性体20も適切に形成することができるスルーホール25を形成した。   As shown in FIG. 1, the coils 12 and 13 are planar coils, and not only the conductive layer 14 but also the central magnetic body 20 can be appropriately formed in the central region located inside the innermost coil turn 12c. A possible through hole 25 was formed.

そして共通のスルーホール25内に導通層14と中央磁性体20とを形成することで、各コイル12,13の中心部を磁束が絶縁基材11の厚さ方向に通りやすくなり、高いインダクタンスが得られる。加えて、導通層14を形成するためのスルーホール25を利用して同じスルーホール25内に中央磁性体20を形成したので、別々のスルーホールを絶縁基材11に形成する必要はなく、薄型インダクタ10の小型化を促進でき、また製造工程の煩雑化を抑制できる。   By forming the conductive layer 14 and the central magnetic body 20 in the common through hole 25, the magnetic flux can easily pass through the central portions of the coils 12 and 13 in the thickness direction of the insulating base material 11, and high inductance can be obtained. can get. In addition, since the central magnetic body 20 is formed in the same through-hole 25 using the through-hole 25 for forming the conductive layer 14, it is not necessary to form separate through-holes in the insulating substrate 11, and it is thin. Downsizing of the inductor 10 can be promoted, and the complexity of the manufacturing process can be suppressed.

導通層14は例えば無電解めっき層であり、これによりスルーホール25の側壁25aに沿って適切に導通層14を形成できる。またこのときスルーホール25内全体が導通層14で埋まることはなく、スルーホール25の中央は貫通状態で残されやすい。   The conductive layer 14 is, for example, an electroless plating layer, whereby the conductive layer 14 can be appropriately formed along the side wall 25 a of the through hole 25. At this time, the entire inside of the through hole 25 is not filled with the conductive layer 14, and the center of the through hole 25 is easily left in a penetrating state.

中央磁性体20は、例えば磁性粉と結着材(バインダー樹脂)とを固化成形したものである。磁性粉の材質を限定するものではないが、磁性シート21,22を構成する磁性層と異なる材質とする場合には、高い飽和磁束密度Bsあるいは高い透磁率μを有する磁性粉、または高い飽和磁束密度Bsと高い透磁率μを有する磁性粉を中央磁性体20に用いることで、より効果的に高いインダクタンスを得ることができる。なお、磁性粉と結着材とを有するスラリーをスルーホール25内に充填して固化成形することで中央磁性体20を形成することができる。   The central magnetic body 20 is obtained by solidifying and molding magnetic powder and a binder (binder resin), for example. The material of the magnetic powder is not limited, but when the material is different from the magnetic layer constituting the magnetic sheets 21 and 22, the magnetic powder having a high saturation magnetic flux density Bs or high magnetic permeability μ, or the high saturation magnetic flux By using the magnetic powder having the density Bs and the high magnetic permeability μ for the central magnetic body 20, a high inductance can be obtained more effectively. The central magnetic body 20 can be formed by filling the through hole 25 with a slurry having magnetic powder and a binder and solidifying the slurry.

例えばフェライトとバインダー樹脂とを有する電気絶縁性の磁性材料で中央磁性体20を形成することも可能であるが、中央磁性体20と導通層14とは接していても特に問題はないので、中央磁性体20には導通性の磁性合金粉末を用い、その際、高い飽和磁束密度Bsもしくは高い透磁率μ、または高い飽和磁束密度Bsと高い透磁率μを有するFeSiB、FePCやFePCB等のFe基非晶質合金、FeZrB、FeNbBやFeNbCuSiB等のFe基ナノ結晶合金、FeNi、FeAlSiやFeSi等のFe基結晶質合金の粉末などを用いることが可能である。   For example, the central magnetic body 20 can be formed of an electrically insulating magnetic material having a ferrite and a binder resin, but there is no particular problem even if the central magnetic body 20 and the conductive layer 14 are in contact with each other. Conductive magnetic alloy powder is used for the magnetic body 20, and at that time, a high saturation magnetic flux density Bs or a high magnetic permeability μ, or a Fe base such as FeSiB, FePC, or FePCB having a high saturation magnetic flux density Bs and a high magnetic permeability μ. Amorphous alloys, Fe-based nanocrystalline alloys such as FeZrB, FeNbB and FeNbCuSiB, and powders of Fe-based crystalline alloys such as FeNi, FeAlSi and FeSi can be used.

図1、図2に示す実施形態では、導通層14は、スルーホール25の全ての側壁25aに形成されている。したがって導通層14は、スルーホール25の周囲を囲む形状となっている。導通層14は、第1のコイル12と第2のコイル13間を、スルーホール25を介して電気的に接続する部分であるので、導通層14を全ての側壁25aに形成せず、コイル12,13間を接続できていれば側壁25aの一部だけに形成することもできる。ただし本実施形態のように、導通層14をスルーホール25の全ての側壁25aに形成することで、第1のコイル12と第2のコイル13との間をより確実に導通させることが可能である。   In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the conductive layer 14 is formed on all the side walls 25 a of the through hole 25. Therefore, the conductive layer 14 has a shape surrounding the through hole 25. Since the conductive layer 14 is a portion that electrically connects the first coil 12 and the second coil 13 through the through hole 25, the conductive layer 14 is not formed on all the side walls 25a, and the coil 12 is not connected. , 13 can be formed only on a part of the side wall 25a. However, by forming the conductive layer 14 on all the side walls 25a of the through holes 25 as in the present embodiment, the first coil 12 and the second coil 13 can be more reliably connected. is there.

また図1,図2に示す実施形態では、中央磁性体20と磁路を形成する磁性シート21,22を各コイル12,13に重ねて形成したため、漏れ磁束を減らすことができ、インダクタンス及びQ値の向上を図ることができる。また、磁性シート21,22を磁気シールドとして用いることができる。   In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, since the magnetic sheets 21 and 22 forming the magnetic path with the central magnetic body 20 are formed on the coils 12 and 13, the leakage magnetic flux can be reduced, and the inductance and Q The value can be improved. Moreover, the magnetic sheets 21 and 22 can be used as a magnetic shield.

また図2(c)に示すように、第1の磁性シート21の前方部21a及び後方部21bを絶縁基材11の前方側面11f及び後方側面11gよりも外方に延ばして形成し、また、第2の磁性シート22の前方部22a及び後方部22bを絶縁基材11の前方側面11f及び後方側面11gよりも外方に延ばして形成し、各前方部21a,22a同士、及び各後方部21b,22b同士が接触し、あるいは近づくように各前方部21a,22a、及び各後方部21b,22bを高さ方向に曲げ、各前方部21a,22a、及び各後方部21b,22b間を接着などして固定する。これにより、前方部21a,22a及び後方部21b,22bを介して第1の磁性シート21と第2の磁性シート22間に磁路を形成することができ、薄型インダクタ10の中央磁性体20が設けられた位置から前方(Y1)及び後方(Y2)に向けてそれぞれ閉磁路を形成できる。よってより効果的にインダクタンスの向上を図ることが可能である。   Further, as shown in FIG. 2C, the front part 21a and the rear part 21b of the first magnetic sheet 21 are formed to extend outward from the front side face 11f and the rear side face 11g of the insulating base material 11, and The front portion 22a and the rear portion 22b of the second magnetic sheet 22 are formed to extend outward from the front side surface 11f and the rear side surface 11g of the insulating base material 11, and each front portion 21a, 22a and each rear portion 21b are formed. , 22b are brought into contact with each other, or the front portions 21a, 22a and the rear portions 21b, 22b are bent in the height direction, and the front portions 21a, 22a and the rear portions 21b, 22b are bonded together. And fix. Thereby, a magnetic path can be formed between the first magnetic sheet 21 and the second magnetic sheet 22 via the front portions 21a and 22a and the rear portions 21b and 22b, and the central magnetic body 20 of the thin inductor 10 is formed. Closed magnetic paths can be formed from the provided position toward the front (Y1) and the rear (Y2), respectively. Therefore, it is possible to improve the inductance more effectively.

なお、図1、図2に示す実施形態においてはスルーホール25に中央磁性体20を形成した後に各磁性シート21、22を接着層31を介して配置しているが、スルーホール25に中央磁性体20を形成しない状態で各磁性シート21、22を接着層31を介して接着した後に、各磁性シート21、22のスルーホール25に対応する箇所にスルーホールを形成し、その後、スルーホール25および各磁性シート21、22に開けられたスルーホール内に中央磁性体20を形成しても良い。この場合、各磁性シート21、22にもスルーホール25に対応した位置にスルーホールが形成されることとなる。   In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the magnetic sheets 21 and 22 are disposed via the adhesive layer 31 after the central magnetic body 20 is formed in the through hole 25. After the magnetic sheets 21 and 22 are bonded through the adhesive layer 31 without forming the body 20, through holes are formed at locations corresponding to the through holes 25 of the magnetic sheets 21 and 22, and then the through holes 25 are formed. Further, the central magnetic body 20 may be formed in the through holes opened in the magnetic sheets 21 and 22. In this case, through holes are also formed in the magnetic sheets 21 and 22 at positions corresponding to the through holes 25.

図3(a)は、第2の実施形態における薄型インダクタの平面図であり、図3(c)は、図3(a)に示すC−C線から切断し矢印方向から見た薄型インダクタの縦断面図であり、図3(c)は、絶縁基材下に設けられる第2のコイル及び取出電極の下面部の平面図である。
なお図3において図1,図2と同じ部分については同じ符号を付した。
FIG. 3A is a plan view of the thin inductor according to the second embodiment, and FIG. 3C is a cross-sectional view of the thin inductor taken along the line CC shown in FIG. FIG. 3C is a longitudinal sectional view, and FIG. 3C is a plan view of the lower surface portion of the second coil and the extraction electrode provided under the insulating base material.
In FIG. 3, the same parts as those in FIGS.

図3に示すように、第1のコイル12と電気的に接続される第1の取出電極15は、第1のコイル12から見て左方領域(X1側の領域)11jに形成されており、第2のコイル13と電気的に接続される第2の取出電極16は、第2のコイル13から見て右方領域(X2側の領域)11kに形成されている。   As shown in FIG. 3, the first extraction electrode 15 electrically connected to the first coil 12 is formed in the left region (region on the X1 side) 11j when viewed from the first coil 12. The second extraction electrode 16 electrically connected to the second coil 13 is formed in the right region (X2 side region) 11k as viewed from the second coil 13.

よって第1のコイル12及び第2のコイル13から見て、前方領域(Y1側の領域)11h及び後方領域(Y2側の領域)11iには、取出電極15,16が形成されていない。   Therefore, when viewed from the first coil 12 and the second coil 13, the extraction electrodes 15 and 16 are not formed in the front region (Y1 side region) 11h and the rear region (Y2 side region) 11i.

図3に示すように、各コイル12,13の前方領域(Y1側の領域)11h及び後方領域(Y2側の領域)11iにそれぞれ、外側磁性体26,27が設けられている。   As shown in FIG. 3, outer magnetic bodies 26 and 27 are provided in the front region (Y1 side region) 11h and the rear region (Y2 side region) 11i of the coils 12 and 13, respectively.

例えば、図3(a)(c)に示すように、絶縁基材11の前方領域11h及び後方領域11iに切欠36,37(点線部分が切欠の側壁である)が形成され、外側磁性体26,27が切欠36,37内に設けられている。外側磁性体26,27は一部が絶縁基材11の上面11a及び下面11bにも及んでいるが、各コイル12,13の最も外側に位置するコイルターン12d,13dとは接していない。   For example, as shown in FIGS. 3A and 3C, notches 36 and 37 (dotted line portions are side walls of the notches) are formed in the front region 11 h and the rear region 11 i of the insulating base material 11, and the outer magnetic body 26. , 27 are provided in the notches 36, 37. The outer magnetic bodies 26 and 27 partially extend to the upper surface 11 a and the lower surface 11 b of the insulating base material 11, but are not in contact with the coil turns 12 d and 13 d located on the outermost sides of the coils 12 and 13.

各外側磁性体26,27と各磁性シート21,22との間に磁路が形成されている。これにより、中央磁性体20−磁性シート21,22−外側磁性体26,27に至る閉磁路が形成され、漏れ磁束をより効果的に抑制でき、インダクタンスの更なる向上を図ることができる。   Magnetic paths are formed between the outer magnetic bodies 26 and 27 and the magnetic sheets 21 and 22. As a result, a closed magnetic path from the central magnetic body 20 to the magnetic sheets 21 and 22 to the outer magnetic bodies 26 and 27 is formed, the leakage magnetic flux can be more effectively suppressed, and the inductance can be further improved.

外側磁性体26,27と各磁性シート21,22との間に磁路を形成できれば、外側磁性体26,27を絶縁基材11に対してどのように設けるか特に限定しない、例えば、絶縁基材11の前方領域11h及び後方領域11iにスルーホールを形成し、各スルーホール内に外側磁性体26,27を埋め込む構成とすることもできる。ただし絶縁基材11に切欠36,37を設け、各切欠36,37内に外側磁性体26,27を埋め込む構成とすることで、薄型インダクタ10の小型化を維持しながら、可能な限り外側磁性体26,27を大きく形成できる。   If the magnetic path can be formed between the outer magnetic bodies 26 and 27 and the magnetic sheets 21 and 22, there is no particular limitation on how the outer magnetic bodies 26 and 27 are provided on the insulating base material 11. A through hole may be formed in the front region 11h and the rear region 11i of the material 11, and the outer magnetic bodies 26 and 27 may be embedded in each through hole. However, by providing notches 36 and 37 in the insulating base material 11 and embedding the outer magnetic bodies 26 and 27 in the notches 36 and 37, the outer magnetism can be reduced as much as possible while maintaining the miniaturization of the thin inductor 10. The bodies 26 and 27 can be formed larger.

また外側磁性体26,27を、中央磁性体20と同様に高い飽和磁束密度Bsや高い透磁率μを有する磁性材料で形成することができる。   Further, the outer magnetic bodies 26 and 27 can be formed of a magnetic material having a high saturation magnetic flux density Bs and a high magnetic permeability μ like the central magnetic body 20.

図3に示す実施形態では、コイル12,13の外側に位置する左方領域11j、右方領域11k、前方領域11h、後方領域11iのうち、左方領域11j及び右方領域11kにそれぞれ取出電極15,16が形成され、残りの前方領域11h及び後方領域11iに外側磁性体26,27が設けられた構成となっているが、例えば、左方領域11j及び前方領域11hにそれぞれ取出電極15,16が設けられ、残りの右方領域11k及び後方領域11iにそれぞれ外側磁性体26,27(このとき外側磁性体26,27は一体化したL字状となっていてもよい)が設けられる構成としてもよい。ただし、図3に示す実施形態の構成とすることで、コイル12,13の中心から前方(Y1)及び後方(Y2)にそれぞれ閉磁路を形成でき、インダクタンスを効果的に増大させることができる。   In the embodiment shown in FIG. 3, out of the left region 11j, the right region 11k, the front region 11h, and the rear region 11i located outside the coils 12 and 13, the extraction electrode is provided in each of the left region 11j and the right region 11k. 15 and 16 are formed, and the outer magnetic bodies 26 and 27 are provided in the remaining front region 11h and rear region 11i. For example, the extraction electrodes 15 and 15 are disposed in the left region 11j and the front region 11h, respectively. 16 and the remaining right region 11k and the rear region 11i are provided with outer magnetic bodies 26 and 27, respectively (in this case, the outer magnetic bodies 26 and 27 may be integrated L-shaped). It is good. However, by adopting the configuration of the embodiment shown in FIG. 3, closed magnetic paths can be formed from the center of the coils 12 and 13 to the front (Y1) and the rear (Y2), respectively, and the inductance can be effectively increased.

なお、本実施形態においても、第1の実施形態のように、スルーホール25や切欠き36.37に中央磁性体20や外側磁性体26、27を形成しない状態で各磁性シート21、22を接着層31を介して接着した後に、各磁性シート21、22のスルーホール25や切欠き26、27に対応する箇所にスルーホールを形成し、その後、スルーホール25や切欠き26、27および各磁性シート21、22に開けられたスルーホール内に中央磁性体20および外側磁性体26、27を形成しても良い。   In the present embodiment as well, as in the first embodiment, the magnetic sheets 21 and 22 are formed without the central magnetic body 20 and the outer magnetic bodies 26 and 27 formed in the through holes 25 and the notches 36.37. After bonding through the adhesive layer 31, through holes are formed at locations corresponding to the through holes 25 and the notches 26 and 27 of the magnetic sheets 21 and 22, and then the through holes 25 and the notches 26 and 27 and the respective The central magnetic body 20 and the outer magnetic bodies 26 and 27 may be formed in the through holes opened in the magnetic sheets 21 and 22.

図4(a)は、第3の実施形態における薄型インダクタの平面図であり、図4(c)は、図4(a)に示すD−D線から切断し矢印方向から見た薄型インダクタの縦断面図であり、図4(c)は、絶縁基材下に設けられる第2のコイル及び取出電極の下面部の平面図である。   4A is a plan view of the thin inductor according to the third embodiment, and FIG. 4C is a cross-sectional view of the thin inductor as viewed from the direction of the arrow cut along the line DD shown in FIG. FIG. 4C is a longitudinal sectional view, and FIG. 4C is a plan view of the lower surface portion of the second coil and the extraction electrode provided under the insulating base material.

図4に示す実施形態では、各コイル12,13を構成する各コイルターン間にコイルターン間磁性体40が設けられている。また最も外側に位置するコイルターン12d,13dの外側周囲にも磁性体41が設けられている。図4(a)(c)では、磁性体40,41を斜線で示した。   In the embodiment shown in FIG. 4, an inter-coil magnetic body 40 is provided between the coil turns constituting the coils 12 and 13. A magnetic body 41 is also provided around the outer sides of the outermost coil turns 12d and 13d. 4A and 4C, the magnetic bodies 40 and 41 are indicated by oblique lines.

各磁性体40,41はコイル12,13と同様に絶縁基材11の上面11a及び下面11bに形成されている。また、各磁性体40,41は、コイルターンとは電気的に絶縁された状態とされている。例えば、各磁性体40,41はフェライトとバインダー樹脂とを有する電気絶縁性の磁性材料で形成される。これにより各磁性体40,41と各コイルターンとが接触した状態にできるので、各コイルターン間の間隔を広げる必要がなく薄型インダクタの小型化を促進することができる。各磁性体40,41は、スラリー状の磁性体をコイルターン間やコイルの外側に位置する絶縁基材11の表裏面に塗布したり、あるいはスパッタ法、蒸着法などで形成することが可能である。   Each of the magnetic bodies 40 and 41 is formed on the upper surface 11a and the lower surface 11b of the insulating base material 11 as with the coils 12 and 13. Each magnetic body 40, 41 is electrically insulated from the coil turn. For example, each of the magnetic bodies 40 and 41 is formed of an electrically insulating magnetic material having ferrite and a binder resin. Thereby, since each magnetic body 40 and 41 and each coil turn can be made into the contact state, it is not necessary to enlarge the space | interval between each coil turn, and size reduction of a thin inductor can be promoted. Each of the magnetic bodies 40 and 41 can be formed by applying a slurry-like magnetic body to the front and back surfaces of the insulating base 11 located between the coil turns or outside the coil, or by sputtering or vapor deposition. is there.

図4に示すように、磁性体40,41を設けることで、より効果的に漏れ磁束を低減でき、より高いインダクタンスを得ることができる。   As shown in FIG. 4, by providing the magnetic bodies 40 and 41, the leakage magnetic flux can be reduced more effectively and a higher inductance can be obtained.

また図5のように、磁性体40,41とともに図4に示した外側磁性体26,27を前方領域11h及び後方領域11iに設けることで、更に高いインダクタンスを得ることができる。なお、各磁性シート21、22や中央磁性体20及び外側磁性体26、27は第1の実施形態及び第2の実施形態と同様に形成することができる。   Further, as shown in FIG. 5, by providing the outer magnetic bodies 26 and 27 shown in FIG. 4 together with the magnetic bodies 40 and 41 in the front region 11h and the rear region 11i, higher inductance can be obtained. The magnetic sheets 21 and 22, the central magnetic body 20, and the outer magnetic bodies 26 and 27 can be formed in the same manner as in the first embodiment and the second embodiment.

図4,図5に示す磁性体40,41のうちどちらか一方の磁性体を形成する構成にもできる。またコイルターン間磁性体40では、全てのコイルターン間に配置される必要はなく、コイルターン間の一部にコイルターン間磁性体40が設けられる構成としてもよい。   One of the magnetic bodies 40 and 41 shown in FIGS. 4 and 5 may be formed. Further, the inter-coil turn magnetic body 40 does not have to be disposed between all the coil turns, and the inter-coil turn magnetic body 40 may be provided in a part between the coil turns.

10 薄型インダクタ
11 絶縁基材
11h 前方領域
11i 後方領域
11j 左方領域
11k 右方領域
12 第1のコイル
12a、13a 巻き始端
12b、13b 巻き終端
12c、13c、12d、13d コイルターン
13 第2のコイル
14 導通層
15、16 取出電極
20 中央磁性体(第1の磁性体)
21、22 磁性シート(第2の磁性体、第3の磁性体)
25 スルーホール
26 外側磁性体
40、41 磁性体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Thin inductor 11 Insulating base material 11h Front area | region 11i Rear area | region 11j Left area | region 11k Right area | region 12 1st coil 12a, 13a Winding start end 12b, 13b Winding end 12c, 13c, 12d, 13d Coil turn 13 2nd coil 14 Conductive layers 15 and 16 Extraction electrode 20 Central magnetic body (first magnetic body)
21, 22 Magnetic sheet (second magnetic body, third magnetic body)
25 Through-hole 26 Outer magnetic body 40, 41 Magnetic body

Claims (10)

絶縁基材と、前記絶縁基材の上面に形成された第1のコイルと、前記絶縁基材の下面に形成された第2のコイルと、前記第1のコイルの内側に位置する巻き始端及び前記第2のコイルの内側に位置する巻き始端間を電気的に接続する導通層と、を有し、
前記絶縁基材にはスルーホールが形成され、前記導通層は前記スルーホールの側壁に、全周にわたって形成され、前記導通層の内側に第1の磁性体が設けられ、前記第1の磁性体が前記スルーホールの全周にわたって、前記導通層に直接接しながら前記スルーホールを埋めていることを特徴とする磁気素子。
An insulating base material, a first coil formed on the upper surface of the insulating base material, a second coil formed on the lower surface of the insulating base material, a winding start position located inside the first coil, and A conductive layer electrically connecting between the winding start ends located inside the second coil,
A through hole is formed in the insulating substrate, the conductive layer is formed on the entire side wall of the through hole, and a first magnetic body is provided inside the conductive layer, and the first magnetic body is provided. The magnetic element is characterized in that the through hole is filled in direct contact with the conductive layer over the entire circumference of the through hole .
前記第1のコイル側に重ねて第2の磁性体が設けられ、前記第2のコイル側に重ねて第3の磁性体が設けられ、前記第1の磁性体と前記第2の磁性体及び前記第3の磁性体との間に磁路が形成されている請求項1記載の磁気素子。 A second magnetic body is provided to overlap the first coil side, a third magnetic body is provided to overlap the second coil side, and the first magnetic body, the second magnetic body, and The magnetic element according to claim 1, wherein a magnetic path is formed between the third magnetic body. 前記第2の磁性体と前記第3の磁性体とが、前記絶縁基材の側部の外方にまで設けられており、前記第2の磁性体と前記第3の磁性体との間に磁路が、前記側部の外方にて形成されている請求項2記載の磁気素子。 The second magnetic body and the third magnetic body are provided to the outside of the side portion of the insulating base, and between the second magnetic body and the third magnetic body. The magnetic element according to claim 2 , wherein a magnetic path is formed outside the side portion. 前記第1の磁性体は、前記第2の磁性体及び前記第3の磁性体と異なる磁性材料で形成される請求項2又は3に記載の磁気素子。 Said first magnetic body, second magnetic body and the magnetic element according to claim 2 or 3 formed by the third magnetic body and the different magnetic materials. 前記第1の磁性体を構成する磁性材料は、前記第2の磁性体及び前記第3の磁性体を構成する磁性材料よりも高い飽和磁束密度もしくは高い透磁率、または高い飽和磁束密度と高い透磁率を有する請求項4記載の磁気素子。 The magnetic material constituting the first magnetic body has a higher saturation magnetic flux density or higher magnetic permeability, or a higher saturation magnetic flux density and higher permeability than the magnetic materials constituting the second magnetic body and the third magnetic body. The magnetic element according to claim 4, which has a magnetic susceptibility. 前記第1のコイルの外側に位置する巻き終端に第1の取出電極が電気的に接続され、前記第2のコイルの外側に位置する巻き終端に第2の取出電極が電気的に接続されており、
前記第1のコイル及び前記第2のコイルの外側であって、前記第1の取出電極及び前記第2の取出電極が形成されていない領域に、外側磁性体が設けられており、前記外側磁性体と前記第2の磁性体及び前記第3の磁性体との間に磁路が形成されている請求項2ないし5のいずれか1項に記載の磁気素子。
A first extraction electrode is electrically connected to the winding end located outside the first coil, and a second extraction electrode is electrically connected to the winding end located outside the second coil. And
An outer magnetic body is provided in an area outside the first coil and the second coil and in which the first extraction electrode and the second extraction electrode are not formed, and the outer magnetic body and the second magnetic body and third magnetic element according to any one of claims 2 to 5 magnetic path is formed between the magnetic body.
平面視にて前記第1のコイル及び第2のコイルの外側に位置する左方領域、右方領域、前方領域、及び後方領域のうちいずれか一つの領域に前記第1の取出電極が設けられ、残り3つの前記領域のうちいずれか一つの領域に前記第2の取出電極が設けられ、残り2つの前記領域にそれぞれ前記外側磁性体が設けられる請求項2ないし6のいずれか1項に記載の磁気素子。 The first extraction electrode is provided in any one of a left region, a right region, a front region, and a rear region located outside the first coil and the second coil in a plan view. 7. The method according to claim 2, wherein the second extraction electrode is provided in any one of the remaining three regions, and the outer magnetic body is provided in each of the remaining two regions. Magnetic element. 前記第1の取出電極及び前記第2の取出電極は、前記左方領域及び前記右方領域に設けられ、前記外側磁性体は、前記前方領域及び前記後方領域に設けられる請求項7記載の磁気素子。 The magnetism according to claim 7, wherein the first extraction electrode and the second extraction electrode are provided in the left region and the right region, and the outer magnetic body is provided in the front region and the rear region. element. 前記第1のコイル及び前記第2のコイルのコイルターン間の少なくとも一部にコイルターン間磁性体が、前記コイルターンとは電気的に絶縁された状態で設けられている請求項1ないし8のいずれか1項に記載の磁気素子。 At least a portion between the coil turns magnetic between coil turns of said first coil and said second coil, and the coil turns electrically insulated claims 1 provided in the form of 8 The magnetic element according to any one of claims. 前記コイルターン間磁性体は、電気絶縁性の磁性材料で構成される請求項9記載の磁気素子。 The magnetic element according to claim 9 , wherein the inter-coil turn magnetic body is made of an electrically insulating magnetic material.
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