JP6113152B2 - シリコンウェハにおいて少数キャリア寿命劣化を抑制する方法 - Google Patents
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Description
本願は、2011年6月3日に出願された米国仮出願第61/493,119及び2012年6月1日に出願された米国非仮出願第13/486,463の利益を主張する。これらの全内容は本明細書において引用して援用する。
本開示の技術分野は、使用されるシリコンウェハの少数キャリア寿命劣化を抑制する方法に関する。特に、本開示の技術分野は、少数キャリア寿命劣化欠陥自体の濃度を減少させる、効率的で費用対効果が高い方法に関する。
チョクラルスキー)ウェハベースのセルにおける効率の損失は、約10%以上にのぼる。チョクラルスキーソーラーセルにおけるそのような効率の損失は、高効率シリコンセルの能力を制限し、産業における単結晶シリコンの使用を制限する。これは、チョクラルスキーセルは、典型的に、多結晶シリコンベースセルより製造に費用が掛かるからである。
MCLD⇔FDC+DOCC (1)。
当該反応定数は一定であり、適度な温度(例えば、少数電荷キャリアが発生しない約200℃)では、当該系において非常に少ないFDCが存在する(ごく僅かな結合が破壊される)。MCLDの濃度は基本的に変化しない。
MCLD→FDC+DOCC (2)。
FDC→NPPT (3)。
N〜q3/2Ci 1/2 (1)、
R〜Ci 1/2q1/2 (2)。
したがって、永続的不活性処理中の格子間高速拡散成分のシンク速度(及び、それを用いた、潜伏欠陥の密度の率)は、以下に示すように、最初、冷却速度と比例する。
シンク速度〜NR〜(q3/2*Ci 1/2)(Ci 1/2*q1/2)〜q (3)。
そのため、シンク速度は、冷却速度に対して正比例する。よって、ナノ凝集体(またはナノ析出物)の核生成の温度を通って、p型ホウ素含有半導体ウェハを急速に冷却することにより、積NRは、これに比例して増加し、それにより、格子間高速拡散原子が、永続的不活性処理中に消費される速度が増加し、よって、より迅速に劣化中心の濃度が減少し、より迅速に少数キャリア寿命の劣化が永続的に抑制される。
Claims (56)
- ホウ素を含有するシリコンウェハにおいて少数キャリア寿命劣化欠陥に関連する少数キャリア寿命劣化を抑制する方法であって、
ホウ素は、少なくとも1013原子/cm3の濃度で前記ウェハ内に存在し、
前記劣化欠陥は、高速拡散成分及び二量体酸素含有成分を含み、
当該方法は、
前記シリコンウェハを、前記劣化欠陥に含まれる高速拡散成分の既存のナノ析出物を溶解させるのに充分な温度T1まで加熱する工程と、
前記シリコンウェハを、T1から温度T2まで少なくとも100℃/秒の冷却速度R1で冷却する工程と、
前記シリコンウェハを、T2から温度T3まで冷却速度R2で冷却する工程であって、R2に対するR1の比率が少なくとも2:1である冷却する工程と、を含む方法。 - 前記加熱する工程の間に溶解される前記既存のナノ析出物には、ホウ素、銅、ニッケル、若しくはこれらの組み合わせが含まれる請求項1記載の方法。
- 前記加熱する工程の間に溶解される前記既存のナノ析出物には、ホウ素が含まれる請求項1記載の方法。
- 前記R2に対するR1の比率は、少なくとも3:1である請求項1に記載の方法。
- 前記R 2 に対するR 1 の比率は、少なくとも10:1である請求項1に記載の方法。
- 前記R 2 に対するR 1 の比率は、少なくとも50:1である請求項1に記載の方法。
- 前記ウェハをT2からT3まで冷却しつつ、少数電荷キャリアを発生させる請求項1に記載の方法。
- 前記ウェハをT2からT3まで冷却しつつ、前記ウェハに光照射することにより前記少数電荷キャリアを発生させる請求項7記載の方法。
- 前記ウェハをT2からT3まで冷却しつつ、前記ウェハに電流を与えることにより前記少数電荷キャリアを発生させる請求項7記載の方法。
- R1が、少なくとも250℃/秒である請求項1に記載の方法。
- R 1 が、少なくとも500℃/秒である請求項1に記載の方法。
- T1は、少なくとも500℃である請求項1に記載の方法。
- T 1 は、少なくとも650℃である請求項1に記載の方法。
- T2は、500℃未満である請求項1に記載の方法。
- T 2 は、350℃未満である請求項1に記載の方法。
- T 2 は、250℃未満である請求項1に記載の方法。
- T3は、250℃未満である請求項1に記載の方法。
- T 3 は、150℃未満である請求項1に記載の方法。
- T 3 は、50℃未満である請求項1に記載の方法。
- R2は、10℃/秒未満である請求項1に記載の方法。
- R 2 は、1℃/秒未満である請求項1に記載の方法。
- R 2 は、0.1℃/秒未満である請求項1に記載の方法。
- 前記ウェハは、アルミニウム、ガリウム、及びこれらの組み合わせからなる群から選択された第2のp型ドーパントを含む請求項1に記載の方法。
- 前記シリコンウェハは、単結晶シリコンウェハである請求項1に記載の方法。
- 前記シリコンウェハは、チョクラルスキー法により成長させたインゴットのスライスである請求項1に記載の方法。
- 前記シリコンウェハが、太陽電池の一部を構成する請求項1に記載の方法。
- 前記シリコンウェハは、独立したウェハである請求項1〜25のいずれかに記載の方法。
- 前記劣化欠陥に含まれる高速拡散成分の既存のナノ析出物を溶解させるのに充分な温度T1までシリコンウェハを加熱する工程が、太陽電池の製造プロセスの一部である請求項1に記載の方法。
- T1は、少なくとも600℃であり、T2は、250℃未満であり、R1は、少なくとも100℃/秒であり、T3は、25℃であり、R2は、5℃/秒未満である請求項1に記載の方法。
- ホウ素を含有するシリコンウェハにおいて劣化欠陥に関連する少数キャリア寿命劣化を抑制する方法であって、
ホウ素は、少なくとも1013原子/cm3の濃度で前記ウェハ内に存在し、
前記劣化欠陥は、高速拡散成分及び二量体酸素含有成分を含み、
当該方法は、
前記シリコンウェハを、前記劣化欠陥に含まれる高速拡散成分のナノ析出物を溶解させるのに充分な温度T1まで加熱する工程と、
前記シリコンウェハを、T1から温度T2まで少なくとも100℃/秒の冷却速度R1で冷却する工程と、を含む方法。 - 前記加熱する工程の間に溶解されるナノ析出物には、ホウ素、銅、ニッケル、若しくはこれらの組み合わせが含まれる請求項30記載の方法。
- 前記加熱する工程の間に溶解されるナノ析出物には、ホウ素が含まれる請求項30記載の方法。
- 前記シリコンウェハをT2から温度T3まで冷却速度R2で冷却し、前記ウェハをT2からT3まで冷却しつつ前記少数電荷キャリアを発生させる請求項30に記載の方法。
- R2に対するR1の比率は、少なくとも2:1である請求項30に記載の方法。
- R 2 に対するR 1 の比率は、少なくとも10:1である請求項30に記載の方法。
- R 2 に対するR 1 の比率は、少なくとも50:1である請求項30に記載の方法。
- 前記ウェハをT2からT3まで冷却しつつ、前記ウェハに光照射することにより前記少数電荷キャリアを発生させる請求項33記載の方法。
- 前記ウェハをT2からT3まで冷却しつつ、前記ウェハに電流を与えることにより前記少数電荷キャリアを発生させる請求項33記載の方法。
- T3は、250℃未満である請求項33に記載の方法。
- T 3 は、150℃未満である請求項33のいずれかに記載の方法。
- R2は、10℃/秒未満である請求項33に記載の方法。
- R 2 は、1℃/秒未満である請求項33に記載の方法。
- R 2 は、0.1℃/秒未満である請求項33に記載の方法。
- T1は、少なくとも500℃である請求項30に記載の方法。
- T 1 は、少なくとも650℃である請求項30に記載の方法。
- T2は、500℃未満である請求項30に記載の方法。
- T 2 は、350℃未満である請求項30に記載の方法。
- T 2 は、250℃未満である請求項30に記載の方法。
- R1が、少なくとも200℃/秒である請求項30に記載の方法。
- R 1 が、少なくとも500℃/秒である請求項30に記載の方法。
- R 1 が、少なくとも1000℃/秒である請求項30に記載の方法。
- 前記ウェハは、アルミニウム、ガリウム、及びこれらの組み合わせからなる群から選択された第2のp型ドーパントを含む請求項30に記載の方法。
- 前記シリコンウェハは、単結晶シリコンウェハである請求項30に記載の方法。
- 前記シリコンウェハは、チョクラルスキー法により成長させたインゴットのスライスである請求項30に記載の方法。
- 前記シリコンウェハが、太陽電池の一部を構成する請求項30に記載の方法。
- 前記シリコンウェハは、独立したウェハである請求項30〜54のいずれかに記載の方法。
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