JP6113029B2

JP6113029B2 - Removal device and abatement device

Info

Publication number: JP6113029B2
Application number: JP2013183954A
Authority: JP
Inventors: 田中　正宏; 正宏田中
Original assignee: EDWARDSJAPAN LIMITED
Current assignee: EDWARDSJAPAN LIMITED
Priority date: 2013-09-05
Filing date: 2013-09-05
Publication date: 2017-04-12
Anticipated expiration: 2033-09-05
Also published as: JP2015053319A

Description

本発明は、除去装置、および除害装置に関する。詳しくは、生成物・堆積物を除去する除去装置、および除害装置に関する。 The present invention relates to a removal device and an abatement device. Specifically, the present invention relates to a removal device that removes products and deposits, and an abatement device.

半導体や太陽電池、液晶などを製造する際の工程の１つである成膜のための装置では、Ｓｉ膜を生成するための真空チャンバ内でシランガス（ＳｉＨ₄）等のプロセスガスを使用する。
使用された後の排ガスは、半導体製造工程用の装置である真空チャンバに接続された真空ポンプの反応炉から外部に排気されるが、こうした排ガスには、上述したようなシランガスをはじめ、六フッ化タングステン（ＷＦ₆）、ジクロルシラン（ＳｉＨ₂Ｃｌ₂）など、成膜工程により様々な有毒ガスが含まれることが多い。そのため、真空ポンプの排気側には、こうした排ガスを酸化することで無害なガスとして排出するための除害装置が接続される。
この除害装置は、燃焼式やプラズマ式など様々な種類がある。例えば燃焼式除害装置の場合、燃やして空気（酸素）と反応させる酸化反応を起こすことで、有毒ガスを無害なガスに変えている。例えば、シランガス（ＳｉＨ₄）であれば、酸化反応の結果、無害な二酸化ケイ素；シリカ（ＳｉＯ₂）が発生する。
このシリカは固体・粉体であり、上述した酸化反応によって（シリカに）変化する際にエネルギーが与えられ、酸化反応を起こす空間である燃焼炉の空間を飛散する。つまり、まっすぐに落下せずに飛散するので、その多くが燃焼炉の壁面ならびに焼却炉にプロセスガスを導入するためのノズル近傍に付着し、時間の経過とともに堆積してしまう。
そのため、当該堆積物を取り除くために定期的なメンテナンス（オーバーホール）の実施が必要になる。一般的に、このメンテナンスは三ヶ月に一度程度の頻度で実施されるが、運用面・費用面を鑑みたときに、当該メンテナンスから次のメンテナンスを行う迄の間隔（フリーメンテナンス期間）は長ければ長い方がよい。 In an apparatus for film formation, which is one of the processes when manufacturing semiconductors, solar cells, liquid crystals, and the like, a process gas such as silane gas (SiH ₄ ) is used in a vacuum chamber for generating a Si film.
The exhaust gas after being used is exhausted to the outside from a reactor of a vacuum pump connected to a vacuum chamber, which is an apparatus for a semiconductor manufacturing process. Examples of such exhaust gas include silane gas as described above, and six fluorocarbons. Various toxic gases such as tungsten nitride (WF ₆ ) and dichlorosilane (SiH ₂ Cl ₂ ) are often contained in the film forming process. For this reason, a detoxifying device is connected to the exhaust side of the vacuum pump to discharge such exhaust gas as harmless gas.
There are various types of abatement devices such as a combustion type and a plasma type. For example, in the case of a combustion-type abatement apparatus, a poisonous gas is changed to a harmless gas by causing an oxidation reaction that burns and reacts with air (oxygen). For example, in the case of silane gas (SiH ₄ ), harmless silicon dioxide; silica (SiO ₂ ) is generated as a result of the oxidation reaction.
This silica is a solid / powder, and is given energy when it is changed (to silica) by the oxidation reaction described above, and scatters in the space of the combustion furnace, which is a space where the oxidation reaction occurs. That is, since it does not fall straight and scatters, most of it adheres to the wall surface of the combustion furnace and the vicinity of the nozzle for introducing the process gas to the incinerator, and accumulates over time.
Therefore, it is necessary to perform regular maintenance (overhaul) to remove the deposit. In general, this maintenance is performed about once every three months. However, in consideration of operation and cost, if the interval from the maintenance to the next maintenance (free maintenance period) is long Longer is better.

特開２００９−２０４２８９号公報JP 2009-204289 A

プロセスガスを燃焼炉に導入するノズル出口付近に堆積する堆積物を機械的に取り除く技術として、特許文献１に記載されているような掻き取り器などがある。
特許文献１には、炉内開口周囲若しくは開口近傍のガス通路に固着した堆積物を除去するための掻き取り器について記載されている。
図１１は、従来の掻き取り器１０００を説明するための図である。
図１１に示したように、特許文献１には、ガス通路２００１内では畳まれた状態で挿脱自在なＬ字形状の掻き取りヘッド１００１を有する掻き取り器１０００がガス通路２００１内で挿通保持され、炉内の空間まで挿入されさた際に、掻き取りヘッド１００１が炉内開口周囲側に拡散し、炉内壁面２０００に固着された堆積物３０００を機械的に除去する構成になっている。 As a technique for mechanically removing deposits deposited in the vicinity of the nozzle outlet for introducing the process gas into the combustion furnace, there is a scraper as described in Patent Document 1.
Patent Document 1 describes a scraper for removing deposits adhering to a gas passage around or near the opening in the furnace.
FIG. 11 is a view for explaining a conventional scraper 1000.
As shown in FIG. 11, in Patent Document 1, a scraper 1000 having an L-shaped scraping head 1001 that can be inserted and removed in a folded state in the gas passage 2001 is inserted and held in the gas passage 2001. Then, when inserted into the space in the furnace, the scraping head 1001 diffuses around the opening in the furnace and mechanically removes the deposit 3000 fixed to the furnace inner wall surface 2000. .

しかしながら、特許文献１に記載の掻き取り器１０００では、燃焼式除害装置が複数のインレットノズル（即ち、ガス導入口）を有する場合、壁面（炉内壁面２０００）から飛び出るように温度センサが配設された構成では、当該温度センサは掻き取り器１０００が生成物（堆積物）を掻き取る際の障害となる。
一般的に、掻き取り器１０００は、硬度の高い生成物を掻き取るために硬い金属で作られているため、燃焼式除害装置に取り付けられた温度センサに接触すると温度センサが壊れてしまう虞があった。例えば、上述した生成物のうちシリカ（ＳｉＯ₂）は非常に硬いので、そうした硬い生成物を掻き取るための掻き取り器１０００も同等以上に硬い物質（例えば、ステンレススチール等）である必要がある。また、掻き取り器１０００自体に生成物が付着する場合もあり、掻き取り器１０００の動作経路によっては掻き取り器１０００自体に付着した生成物が接触してしまうことで温度センサが損傷してしまう虞もあった。
そのため、掻き取り器１０００、特に生成物を掻き取る部位である掻き取りヘッド１００１は、温度センサを避けて動作する構成にする必要があった。
他の課題点として、インレットノズルの出口（ガス導入孔の出口）付近で燃焼が起こると当該インレットノズルのガス出口近傍に生成物が溜まっていってしまう。この生成物が堆積していくことで当該インレットノズルの開口口（ガス導入口）を塞いでしまったり、配設された温度センサに生成物が付着することで温度センサが誤検知し、異常値が観測されてしまう不具合があった。 However, in the scraper 1000 described in Patent Document 1, when the combustion-type abatement apparatus has a plurality of inlet nozzles (that is, gas inlets), the temperature sensor is arranged so as to protrude from the wall surface (furnace wall surface 2000). In the provided configuration, the temperature sensor becomes an obstacle when the scraper 1000 scrapes off the product (deposit).
Generally, the scraper 1000 is made of a hard metal to scrape a product having a high hardness, so that the temperature sensor may be broken when it comes into contact with the temperature sensor attached to the combustion type abatement apparatus. was there. For example, since silica (SiO ₂ ) is very hard among the products described above, the scraper 1000 for scraping off such hard products needs to be a harder material (for example, stainless steel or the like). . In addition, the product may adhere to the scraper 1000 itself, and depending on the operation path of the scraper 1000, the product attached to the scraper 1000 itself may come into contact with the temperature sensor to be damaged. There was also a fear.
Therefore, the scraper 1000, particularly the scraping head 1001, which is a part for scraping the product, has to be configured to operate while avoiding the temperature sensor.
As another problem, when combustion occurs in the vicinity of the outlet of the inlet nozzle (the outlet of the gas introduction hole), the product accumulates in the vicinity of the gas outlet of the inlet nozzle. As this product accumulates, the inlet (gas inlet) of the inlet nozzle is blocked, or when the product adheres to the installed temperature sensor, the temperature sensor detects falsely, resulting in an abnormal value. There was a defect that would be observed.

そこで、本発明は、温度センサ近傍に付着する生成物・堆積物の量を低減させ、メンテナンスの周期を長くするための除去装置、および除害装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、温度センサに干渉せずに生成物・堆積物を除去するための除去装置、および除害装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a removal device and a detoxification device for reducing the amount of products / deposits adhering to the vicinity of a temperature sensor and extending a maintenance cycle.
Another object of the present invention is to provide a removal device and a detoxification device for removing products and deposits without interfering with a temperature sensor.

上記目的を達成するために、請求項１記載の本願発明では、配設される除害装置に付着した堆積物を除去する除去装置であって、前記除害装置に対向する面に凹部が形成され、前記凹部内にて互いに対向する面の少なくとも一方に、他面に非接触である凸部が形成されることを特徴とする除去装置を提供する。
請求項２記載の本願発明では、回転運動、または、平行移動のいずれかの動作により前記堆積物を除去することを特徴とする請求項１に記載の除去装置を提供する。
請求項３記載の本願発明では、前記凹部は、前記動作により前記除害装置に設けられた温度センサと交差する部分に、当該温度センサと非接触になる寸法をもって形成され、前記凸部は、前記動作により前記温度センサと非接触になる寸法をもって形成されることを特徴とする請求項２に記載の除去装置を提供する。
請求項４記載の本願発明では、前記凸部は前記除害装置と対向する面における略中心線と所定の角度を有するテーパ形状であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の除去装置を提供する。
請求項５記載の本願発明では、除害用チャンバと、前記除害用チャンバへ気体を案内するインレットノズルと、前記インレットノズルを配設するための孔を有し、前記除害用チャンバに配設されたノズル固定部材と、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の除去装置と、を備えることを特徴とする除害装置を提供する。
請求項６記載の本願発明では、前記ノズル固定部材は、取り外しが可能であることを特徴とする請求項５に記載の除害装置を提供する。 In order to achieve the above object, the present invention according to claim 1 is a removal device that removes deposits attached to a disposing device that is disposed, and a recess is formed on a surface facing the removing device. A removing device is provided in which a convex portion that is non-contact with the other surface is formed on at least one of the surfaces facing each other in the concave portion.
According to a second aspect of the present invention, there is provided the removing apparatus according to the first aspect, wherein the deposit is removed by an operation of either rotational movement or parallel movement.
In this invention of Claim 3, the said recessed part is formed in the part which cross | intersects the temperature sensor provided in the said abatement apparatus by the said operation | movement with the dimension which becomes non-contact with the said temperature sensor, The said convex part is The removal device according to claim 2, wherein the removal device is formed with a size that is not in contact with the temperature sensor by the operation.
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the convex portion has a taper shape having a predetermined angle with a substantially center line on a surface facing the abatement apparatus. A removal apparatus according to item 1 is provided.
According to the present invention of claim 5, there is provided a detoxification chamber, an inlet nozzle for guiding gas to the detoxification chamber, and a hole for arranging the inlet nozzle, and is disposed in the detoxification chamber . An abatement device comprising the nozzle fixing member provided and the removing device according to any one of claims 1 to 4 is provided.
In this invention of Claim 6, the said nozzle fixing member can be removed, The abatement apparatus of Claim 5 characterized by the above-mentioned is provided.

本発明によれば、生成物・堆積物を除去するための除去装置、および除害装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the removal apparatus for removing a product and a deposit, and a detoxification apparatus can be provided.

本発明の実施形態に係る除去装置を備える除害装置が配設されるシステム・レイアウトを説明するための概略構成例を示した図である。It is the figure which showed the schematic structural example for demonstrating the system layout by which the abatement apparatus provided with the removal apparatus which concerns on embodiment of this invention is arrange | positioned. 本発明の実施形態に係る除去装置を備える除害装置の概略構成例を示した図である。It is the figure which showed the example of schematic structure of the abatement apparatus provided with the removal apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る除去装置を備えるインレットヘッド周辺を説明するための図である。It is a figure for demonstrating an inlet head periphery provided with the removal apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る除去装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the removal apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る除去装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the removal apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る除去装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the removal apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る除去装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the removal apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る除去装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the removal apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る除去装置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the removal apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る除去装置の動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating operation | movement of the removal apparatus which concerns on embodiment of this invention. 従来の掻き取り器を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the conventional scraper.

（ｉ）実施形態の概要
本発明の第１実施形態に係る除去装置（または、スクレイパー、除去ヘッド。以後、除去装置に統一して記述）は、切り欠き部が形成され、さらに、切り欠き部にニゲ構造が設けられる。また、本発明の第２実施形態に係るインレットヘッド（ノズル固定部材）は、一部にストッパ（壁部）が配設される。また、本発明の第３実施形態に係る除去装置は、導入孔近傍に配設される。
このような構成により、本発明の第１実施形態に係る除去装置は、温度センサに干渉することなく、温度センサ近傍を含めたインレットヘッドの導入孔（インレッドノズルの開口）付近に付着する堆積物を定期的に除去する（掻き取る）ことができる。そして、本発明の第１実施形態に係る除去装置を配設する除害装置は、温度センサ近傍を含めたインレットヘッドの導入孔付近に付着する堆積物を定期的に除去できるので、インレットヘッドや除害装置のメンテナンス周期を長くすることができる。
また、このような構成により、本発明の第２実施形態および第３実施形態に係る除去装置は、温度センサに干渉することなく、インレットヘッドの導入孔（インレッドノズルの開口）付近に付着する堆積物を定期的に除去する（掻き取る）ことができる。そして、本発明の第２実施形態に係るインレットヘッド、または本発明の第３実施形態に係る除去装置を配設する除害装置は、インレットヘッドの導入孔付近に付着する堆積物を定期的に除去できるので、メンテナンスの周期を長くすることができる。 (I) Outline of Embodiment The removal device (or scraper, removal head, which will be collectively described as the removal device hereinafter) according to the first embodiment of the present invention has a notch portion, and further the notch portion. Is provided with a relief structure. Further, the inlet head (nozzle fixing member) according to the second embodiment of the present invention is partially provided with a stopper (wall portion). Moreover, the removal apparatus according to the third embodiment of the present invention is disposed in the vicinity of the introduction hole.
With such a configuration, the removal apparatus according to the first embodiment of the present invention is a deposit that adheres to the vicinity of the inlet hole (inlet nozzle opening) of the inlet head including the vicinity of the temperature sensor without interfering with the temperature sensor. Objects can be removed (scraped) regularly. The detoxifying apparatus provided with the removing apparatus according to the first embodiment of the present invention can periodically remove deposits adhering to the vicinity of the inlet hole of the inlet head including the vicinity of the temperature sensor. The maintenance cycle of the abatement apparatus can be lengthened.
Further, with such a configuration, the removing device according to the second and third embodiments of the present invention adheres to the vicinity of the inlet head introduction hole (opening of the inred nozzle) without interfering with the temperature sensor. Deposits can be removed (scraped) periodically. And the detoxification apparatus which arrange | positions the inlet head which concerns on 2nd Embodiment of this invention, or the removal apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention regularly deposits adhering to the inlet hole vicinity of an inlet head. Since it can be removed, the maintenance cycle can be lengthened.

（ｉｉ）実施形態の詳細
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１から図１０を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る除去装置１（詳細は図３等を用いて後述する）が配設されるインレットヘッド４０（図２）を備える除害装置４００が配設されるシステム・レイアウトを説明するための概略構成例を示した図である。
なお、上述した本発明の実施形態では、除去装置１が配設されたインレットヘッド４０が配設される除害装置４００は、一例として燃焼式の除害装置とする。しかし、本発明の実施形態に係る除害装置４００は燃焼式に限定されることはなく、例えば、他に、プラズマ式やガソリンエンジン式の除害装置４００などに配設することができる。
クリーンルーム２００内に設置されるウェハ成膜装置などのプロセス装置（プロセスチャンバ）１００は、真空配管５００を介してドライポンプ３００と連結される。そして、ドライポンプ３００は、排気配管６００を介して除害装置４００と連結される。
除害装置４００の外装体を形成するケーシングは、略円筒状の形状であり、上下端には蓋部としてインレットヘッド４０（図２）が構成されている。なお、ケーシングは必ずしも略円筒状で有る必要はなく、内部が空間且つ外部から隔離されている構成であればよい。 (Ii) Details of Embodiments Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS.
FIG. 1 shows a system in which an abatement apparatus 400 including an inlet head 40 (FIG. 2) on which a removal apparatus 1 (details will be described later with reference to FIG. 3) according to an embodiment of the present invention is arranged. -It is the figure which showed the example of schematic structure for demonstrating a layout.
In the above-described embodiment of the present invention, the abatement apparatus 400 provided with the inlet head 40 provided with the removing apparatus 1 is a combustion-type abatement apparatus as an example. However, the abatement apparatus 400 according to the embodiment of the present invention is not limited to the combustion type, and can be disposed in, for example, a plasma type or gasoline engine type abatement apparatus 400 or the like.
A process apparatus (process chamber) 100 such as a wafer deposition apparatus installed in the clean room 200 is connected to a dry pump 300 via a vacuum pipe 500. The dry pump 300 is connected to the abatement apparatus 400 via the exhaust pipe 600.
The casing forming the exterior body of the abatement apparatus 400 has a substantially cylindrical shape, and the inlet head 40 (FIG. 2) is configured as a lid at the upper and lower ends. In addition, the casing does not necessarily need to be substantially cylindrical, and may have a configuration in which the interior is isolated from the space and the outside.

図２は、本発明の実施形態に係る除去装置１が配設されたインレットヘッド４０が配設される除害装置４００の概略構成例を示した図であり、図中の矢印Ｇは除害ガスを含むガスの流れを示している。
プロセス装置１００から排出された有毒ガスを含む排出ガスは、真空配管５００を通ってドライポンプ３００を経由し、排気配管６００を通って除害装置４００へ運ばれる。
そして、インレット三方弁４０１により、可燃排気ダクトに排出されるガスとコンバスタ（燃焼炉）４０４へ送られるガスとに分かれる。
本発明の実施形態は、コンバスタ４０４へ向かう排出ガスの流れを追って説明する。
当該排出ガスは、１または複数のインレット配管４０２を通ってガス導入部であるインレットヘッド４０（ノズル固定部材）を経由し、コンバスタ４０４へ運ばれる。
コンバスタ４０４は、有毒ガスを含む除害ガスを燃焼処理する空間であり、内部温度は約８００℃前後である。
本発明の実施形態に係る除害装置４００は、燃焼炉であるコンバスタ４０４とガス温度冷却部であるクエンチ４０５とを備えている。
コンバスタ４０４は、半導体製造工程の図示していないＣＶＤ（ＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学気相成長法）装置から真空ポンプ（図示しない）を介して排出される、可燃性ガスやクリーニングガスの処理対象ガスを、インレット配管４０２を介して、除害装置４００の導入口であり、コンバスタ４０４の上流端に配設されたインレットヘッド４０から導入して高温で燃焼分解する。
なお、可燃性ガスは、無色の気体で有毒なシランガス（ＳｉＨ₄）、無色（黄色）の毒性高圧ガスの六フッ化タングステン（ＷＦ₆）、ジクロルシラン（ＳｉＨ₂Ｃｌ₂）などであり、クリーニングガスはアンモニア（ＮＨ₃）などである。
本発明の実施形態では、真空ポンプから排気され、インレットヘッド４０から導入された排出ガスをコンバスタ４０４で燃焼分解する。この燃焼分解によって、排出ガスに含まれていた有毒ガスが無害化される。
この燃焼分解によって生じた排出ガスは、ガス温度冷却部であるクエンチ４０５で約８００℃から約８０℃に冷却される。なお、排出ガスの冷却は冷却水を使用している。
そして、冷却済みの排出ガスや燃焼分解によって生じた微粒子ダストが、コンバスタ４０４の排出口（下流端）から排出され、粉体除去部であるサイクン４０６を経由し、湿式除害部であるパックドタワー４０７へ導入される。フッ化水素（ＨＦ）や塩化水素（ＨＣｌ）などの水溶性ガスは、この部分で溶解される。
なお、本実施形態では、サイクン４０６およびパックドタワー４０７はポリプロピレンで製造されている。 FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration example of a detoxifying device 400 in which the inlet head 40 in which the removing device 1 according to the embodiment of the present invention is arranged is arranged. The flow of gas including gas is shown.
Exhaust gas containing toxic gas discharged from the process apparatus 100 is transported to the abatement apparatus 400 through the vacuum pipe 500, the dry pump 300, and the exhaust pipe 600.
The inlet three-way valve 401 separates the gas discharged into the combustible exhaust duct and the gas sent to the combustor (combustion furnace) 404.
The embodiment of the present invention will be described following the flow of exhaust gas toward the combustor 404.
The exhaust gas passes through one or a plurality of inlet pipes 402 and is conveyed to a combustor 404 via an inlet head 40 (nozzle fixing member) which is a gas introduction unit.
The combustor 404 is a space for burning a detoxifying gas including a toxic gas, and has an internal temperature of about 800 ° C.
The abatement apparatus 400 according to the embodiment of the present invention includes a combustor 404 that is a combustion furnace and a quench 405 that is a gas temperature cooling unit.
The combustor 404 is configured to process a combustible gas or a cleaning gas to be processed from a CVD (Chemical Vapor Deposition) apparatus (not shown) of a semiconductor manufacturing process through a vacuum pump (not shown). The gas is introduced from the inlet head 40 which is an inlet of the abatement apparatus 400 through the inlet pipe 402 and is disposed at the upstream end of the combustor 404, and is burned and decomposed at a high temperature.
The flammable gas is a colorless and toxic silane gas (SiH ₄ ), a colorless (yellow) toxic high-pressure gas such as tungsten hexafluoride (WF ₆ ), dichlorosilane (SiH ₂ Cl ₂ ), etc., and a cleaning gas. Is ammonia (NH ₃ ).
In the embodiment of the present invention, exhaust gas exhausted from the vacuum pump and introduced from the inlet head 40 is combusted and decomposed by the combustor 404. By this combustion decomposition, the toxic gas contained in the exhaust gas is rendered harmless.
Exhaust gas generated by this combustion decomposition is cooled from about 800 ° C. to about 80 ° C. by quench 405 which is a gas temperature cooling unit. Cooling water is used for cooling the exhaust gas.
Then, the cooled exhaust gas and particulate dust generated by combustion decomposition are discharged from the discharge port (downstream end) of the combustor 404, and the packed tower which is a wet detoxification section passes through the cyclone 406 which is a powder removal section. 407. Water-soluble gases such as hydrogen fluoride (HF) and hydrogen chloride (HCl) are dissolved in this portion.
In this embodiment, the cyclone 406 and the packed tower 407 are made of polypropylene.

上述したＣＶＤ装置で使用される上述したプロセスガスを燃焼分解すると、微粒子ダストとして粉体が発生する。例えば、シランガス（ＳｉＨ₄）やジクロルシラン（ＳｉＨ₂Ｃｌ₂）を燃焼分解すると二酸化ケイ素；シリカ（ＳｉＯ₂）が発生し、六フッ化タングステン（ＷＦ₆）を燃焼分解すると酸化タングステン（Ｗ₂Ｏ₃）が発生する。
これらの粉体が、インレットノズルの出口（ガス導入口）や壁面に付着および堆積することで形成された堆積物（生成物）を取り除くために、本発明の実施形態では、インレットヘッド４０に除去装置１が配設される。 When the above-described process gas used in the above-described CVD apparatus is combusted and decomposed, powder is generated as fine particle dust. For example, when silane gas (SiH ₄ ) or dichlorosilane (SiH ₂ Cl ₂ ) is combusted and decomposed, silicon dioxide; silica (SiO ₂ ) is generated, and when tungsten hexafluoride (WF ₆ ) is combusted and decomposed, tungsten oxide (W ₂ O _3). ) Occurs.
In order to remove the deposit (product) formed by adhering and depositing these powders on the outlet (gas inlet) and wall surface of the inlet nozzle, in the embodiment of the present invention, the powder is removed by the inlet head 40. A device 1 is arranged.

図３は、本発明の実施形態に係る除去装置１を備える除害装置４００におけるインレットヘッド４０周辺を説明するための図である。
図３（ａ）は、図２α部（インレット配管４０２、インレットヘッド４０、除去装置１）の拡大図であって軸線方向の断面図を示し、図３（ｂ）は、インレッドヘッド４０に配設される温度センサ（サーモカップル）５０を拡大して示した図である。
本発明の各実施形態では、一例として、インレットヘッド４０には、図示していないインレットノズルが配設される導入孔４０９が４つ設けられたマルチインレットの構成にしているが、この導入孔４０９の数は、必要に応じて６つや８つにしても良いし、或いは１つにしても良い等と、適宜変更することが可能である。
本発明の各実施形態では、インレットヘッド４０の略中央を軸１０が貫通している。当該軸１０の先には、略水平に、且つ当該インレットヘッド４０のコンバスタ４０４（図２）に対向する面を滑るように取り付けられた除去装置１（スクレイパー）が備え付けられ、手動（ハンドルなどで操作）或いは自動（モータなどで操作）により軸１０を動作させることで回転あるいは平行移動させる構成になっている。この除去装置１により、インレットヘッド４０がコンバスタ４０４に対向する面の全体または一部に付着した堆積物を掻き取ることができる。 FIG. 3 is a view for explaining the periphery of the inlet head 40 in the abatement apparatus 400 including the removal apparatus 1 according to the embodiment of the present invention.
3 (a) is an enlarged view of FIG. 2α (inlet pipe 402, inlet head 40, removal device 1) and shows a sectional view in the axial direction, and FIG. 3 (b) is arranged in the inred head 40. It is the figure which expanded and showed the temperature sensor (thermo couple) 50 provided.
In each embodiment of the present invention, as an example, the inlet head 40 has a multi-inlet configuration in which four inlet holes 409 in which an inlet nozzle (not shown) is provided are provided. The number can be changed as appropriate, such as six, eight, or one as necessary.
In each embodiment of the present invention, the shaft 10 passes through the approximate center of the inlet head 40. At the tip of the shaft 10 is provided a removal device 1 (scraper) attached so as to slide substantially horizontally and on the surface of the inlet head 40 facing the combustor 404 (FIG. 2). The shaft 10 is rotated or translated by operating (operation) or automatically (operating with a motor or the like). With this removing device 1, the deposit attached to the whole or a part of the surface of the inlet head 40 facing the combustor 404 can be scraped off.

ここで、本発明の各実施形態における「回転」および「平行移動」について図１０を用いて説明する。図１０（ａ）〜（ｃ）内の矢印は除去装置１の動きを示している。
本発明の各実施形態における「回転」とは、インレッドヘッド４０の略中央（即ち、除去装置１が軸１０に備え付けられている点）を中心として１度から３６０度の範囲における角度運動として定義する。よって、図１０（ａ）に示したような除去装置１の軌跡（動作面積）が扇形となるような往復運動や、図１０（ｂ）に示したような除去装置１の略中心が軸１０に備え付けられて回る運動も含める。
また、本発明の各実施形態における「平行移動」とは、図１０（ｃ）に示したように、除去装置１が、インレッドヘッド４０のコンバスタ４０４に対向する面の表面上を、当該除去装置１の軌跡（動作面積）が四角形となるような移動をする動作として定義する。 Here, “rotation” and “translation” in each embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The arrows in FIGS. 10A to 10C indicate the movement of the removing device 1.
“Rotation” in each embodiment of the present invention is an angular movement in the range of 1 to 360 degrees around the approximate center of the inred head 40 (that is, the point where the removing device 1 is provided on the shaft 10). Define. Therefore, the reciprocating motion such that the trajectory (operation area) of the removing device 1 as shown in FIG. 10A has a fan shape, or the approximate center of the removing device 1 as shown in FIG. Also included are exercises that go around.
In addition, “parallel movement” in each embodiment of the present invention means that the removal device 1 removes the surface of the surface facing the combustor 404 of the inred head 40 as shown in FIG. It is defined as an operation that moves so that the trajectory (operation area) of the device 1 is a square.

図１０の各図に示したように、本発明の各実施形態では、上述したような動作をする除去装置１はインレッドヘッド４０のコンバスタ４０４側の表面に配設された温度センサ５０に接触してしまう。 As shown in each drawing of FIG. 10, in each embodiment of the present invention, the removal device 1 that operates as described above contacts the temperature sensor 50 disposed on the surface of the inread head 40 on the combustor 404 side. Resulting in.

（第１実施形態）
図４は、本発明の第１実施形態に係る除去装置１を説明するための図であり、除去装置１が配設されたインレットヘッド４０（除害装置４００に配設される）をコンバスタ４０４側から見た図である。本発明の第１実施形態に係るインレットヘッド４０は、一例として、導入孔４０９を４つ備えるマルチインレットとして説明する。
なお、本発明の各実施形態では、便宜上、気体が流れる方向を「軸線方向」、当該軸線方向と垂直な方向を「径（直径・半径）」として説明する。
また、本発明の各実施形態に係る除去装置１の材料は、一例として、ステンレススチールや、ニッケル基超合金であるＩｎｃｏｎｅｌ：インコネル（登録商標）や、ハステロイ（耐食性のあるもの）が望ましい。
本発明の第１実施形態では、除害装置４００に配設されるインレットヘッド４０に、除去装置１が配設される。
より詳しくは、インレットヘッド４０の一部に貫通孔を設け、この貫通孔に、コンバスタ４０４側面を摺動する除去装置１が取り付けられた軸１０を挿入する。
本発明の第１実施形態では、軸１０により除去装置１を回転動作させて、導入孔４０９に挿入されるインレットノズルの出口（即ち、コンバスタ４０４側から見ればガス導入口であり、一方、インレットヘッド４０側から見ればガス出口となる）付近、および、インレットヘッド４０のコンバスタ４０４との対向面全体に付着した堆積物（生成物）を掻き取る構造になっている。
さらに、本発明の第１実施形態では、除去装置１の長手方向の長さを温度センサ５０が取り付けられた位置にまで届くリーチ（寸法）で構成している。そのため、除去装置１が手動または自動で回転動作する際に、インレットヘッド４０の表面に突出して設けられた温度センサ５０と除去装置１が接触してしまうのを避けるために、除去装置１の一部（即ち、温度センサ５０の位置に合わせた位置）に切り欠き部Ｃが設けられている。
更に、本発明の第１実施形態では、この切り欠き部Ｃにニゲ構造Ｅ（後述）が設けられる。このニゲ構造Ｅにより、仮に、除去装置１が、当該ニゲ構造Ｅの内側に生成物を付着させた状態で温度センサ５０周辺を摺動しても、除去装置１によって温度センサ５０を損傷してしまうような不具合が発生する可能性を小さくすることができる。 (First embodiment)
FIG. 4 is a view for explaining the removal apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention. An inlet head 40 (disposed in the abatement apparatus 400) in which the removal apparatus 1 is disposed is connected to a combustor 404. It is the figure seen from the side. The inlet head 40 according to the first embodiment of the present invention will be described as a multi-inlet including four introduction holes 409 as an example.
In each embodiment of the present invention, for convenience, the direction in which the gas flows is described as an “axial direction”, and the direction perpendicular to the axial direction is described as a “diameter (diameter / radius)”.
Further, as an example, the material of the removal apparatus 1 according to each embodiment of the present invention is desirably stainless steel, nickel-based superalloy Inconel: Inconel (registered trademark), or hastelloy (corrosion-resistant).
In 1st Embodiment of this invention, the removal apparatus 1 is arrange | positioned at the inlet head 40 arrange | positioned at the abatement apparatus 400. FIG.
More specifically, a through hole is provided in a part of the inlet head 40, and the shaft 10 to which the removing device 1 that slides on the side surface of the combustor 404 is attached is inserted into the through hole.
In the first embodiment of the present invention, the removal device 1 is rotated by the shaft 10, and the outlet of the inlet nozzle inserted into the inlet hole 409 (that is, the gas inlet when viewed from the combustor 404 side, while the inlet It is structured to scrape deposits (products) adhering to the vicinity of the gas outlet when viewed from the head 40 side) and the entire surface facing the combustor 404 of the inlet head 40.
Furthermore, in 1st Embodiment of this invention, the length of the longitudinal direction of the removal apparatus 1 is comprised by the reach (dimension) which reaches even the position where the temperature sensor 50 was attached. Therefore, when the removal device 1 is rotated manually or automatically, in order to avoid the temperature sensor 50 protruding from the surface of the inlet head 40 from coming into contact with the removal device 1, A notch C is provided in the portion (that is, a position that matches the position of the temperature sensor 50).
Furthermore, in the first embodiment of the present invention, the notch C is provided with a relief structure E (described later). Even if the removal device 1 slides around the temperature sensor 50 in a state where the product is adhered to the inner side of the Nige structure E, the temperature sensor 50 is damaged by the removal device 1 due to the Nige structure E. The possibility of occurrence of such a problem can be reduced.

図５は、本発明の第１実施形態に係る除去装置１を説明するための図である。
図５（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る除去装置１を、当該除去装置１がインレットヘッド４０に配設される場合の軸線方向下または上から見た略図（軸線方向下からの場合は断面図）である。
図５（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る除去装置１を、当該除去装置１がインレットヘッド４０に配設される場合の水平方向断面図である。
図５（ａ）に示すように、本発明の第１実施形態に係る除去装置１は、Φ３の径Ａを有する温度センサ５０の近傍を摺動する際の温度センサ５０との接触を避けるために、凹状の空間・空隙である切り欠き部Ｃを有する。
本発明の第１実施形態では、一例として、切り欠き部Ｃの長さ（即ち、切り欠き部Ｃを形成する、除去装置１の長手方向での対向面同士の最短距離）ｔを６ｍｍ、切り欠き部Ｃの角度・勾配（除去装置１の長手方向の中心線と切り欠き部Ｃを構成する端線とのなす角）θを３３．４度、除去装置１における切り欠き部Ｃが形成される長手部分の幅Ｗを４ｍｍ、除去装置１における切り欠き部Ｃが形成される長手部分の軸線方向高さＨを１５ｍｍ、そして、切り欠き部Ｃの高さｈを１２ｍｍとして構成されている。しかしながら、切り欠き部Ｃの寸法（各数値）は一例であってこれに限られることはなく、インレットヘッド４０に配設される温度センサ５０の寸法や、インレットヘッド４０の形状に合わせ適宜変更が可能である。
更に、本発明の第１実施形態では、同図に示したように、切り欠き部Ｃに、くさび形（あるいは矩形状）に切り取られた空隙であるニゲ構造Ｅが形成される。このニゲ構造Ｅは、除去装置１における切り欠き部Ｃを構成する端線が、除去装置１の長手方向の中心線を略中心として、除去装置１の短手方向と所定の角度・勾配（∠Ｒ−なす角θ）を対称（中心線対称）に有する、テーパ形状により構成されている（ニゲ構造Ｅのテーパ部）。 FIG. 5 is a view for explaining the removal apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 5 (a) is a schematic view (from the bottom in the axial direction) of the removal device 1 according to the first embodiment of the present invention as seen from below or above in the axial direction when the removal device 1 is disposed on the inlet head 40. Is a cross-sectional view).
FIG. 5B is a horizontal cross-sectional view of the removing device 1 according to the first embodiment of the present invention when the removing device 1 is disposed on the inlet head 40.
As shown in FIG. 5A, the removal device 1 according to the first embodiment of the present invention avoids contact with the temperature sensor 50 when sliding in the vicinity of the temperature sensor 50 having a diameter A of Φ3. And has a notch C which is a concave space / air gap.
In the first embodiment of the present invention, as an example, the length of the cutout portion C (that is, the shortest distance between the opposing surfaces in the longitudinal direction of the removal device 1 that forms the cutout portion C) t is 6 mm. The angle / gradient of the notch C (the angle between the longitudinal center line of the removal device 1 and the end line constituting the notch C) θ is 33.4 degrees, and the notch C in the removal device 1 is formed. The longitudinal width W is 4 mm, the longitudinal height H of the longitudinal portion where the notch C is formed in the removing device 1 is 15 mm, and the height h of the notch C is 12 mm. However, the dimension (each numerical value) of the notch C is an example and is not limited to this, and may be appropriately changed according to the dimension of the temperature sensor 50 disposed in the inlet head 40 and the shape of the inlet head 40. Is possible.
Furthermore, in the first embodiment of the present invention, as shown in the figure, a notch portion C is formed with a relief structure E that is a gap cut out in a wedge shape (or rectangular shape). In this rugged structure E, the end line constituting the notch C in the removing device 1 is centered on the center line in the longitudinal direction of the removing device 1, and the short direction of the removing device 1 and a predetermined angle / gradient (∠ R—the angle θ formed by R—symmetrically (centerline symmetric), and has a tapered shape (tapered portion of Nige structure E).

本発明の第１実施形態に係る除害装置４００に配設されるインレットヘッド４０は、上述した除去装置１が設けられる。
本発明の第１実施形態に係る除去装置１が設けられた除害装置４００では、この除去装置１が軸１０を中心に回転運動（図１０（ａ）（ｂ））を行ってインレッドヘッド４０のコンバスタ４０４側に堆積した生成物を掻き取る。そして、その際、当該回転運動の軌道上に配設温度センサ５０が配設されていたとしても、当該温度センサ５０に干渉せずに温度センサ５０の近傍を掻き取りつつ、生成物を切り欠き部Ｃのニゲ構造Ｅのエリアに溜めることができる。 The inlet head 40 disposed in the abatement apparatus 400 according to the first embodiment of the present invention is provided with the above-described removal apparatus 1.
In the abatement apparatus 400 provided with the removal apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention, the removal apparatus 1 performs a rotational motion (FIGS. 10A and 10B) about the shaft 10 to thereby move the in-red head. The product deposited on the 40 combustor 404 side is scraped off. At that time, even if the temperature sensor 50 is disposed on the orbit of the rotational motion, the product is notched while scraping the vicinity of the temperature sensor 50 without interfering with the temperature sensor 50. It can be stored in the area of the relief structure E of the part C.

このニゲ構造Ｅを有する切り欠き部Ｃが形成された除去装置１が配設される構成により、当該除去装置１が配設されたインレットヘッド４０を備える除害装置４００では、インレットヘッド４０の堆積物を除去する際、仮に、除去装置１が、当該ニゲ構造Ｅの内側に生成物を付着させた状態で温度センサ５０周辺を摺動しても、除去装置１によって温度センサ５０を損傷してしまうような不具合が発生する可能性を小さくすることができる。
また、仮に、温度センサ５０を組み立てる際に組立誤差などにより位置にズレが生じていたうえに温度センサ５０が除去装置１に接触した場合であっても、温度センサ５０は、このニゲ構造Ｅに形成されたテーパ部と接触しながら徐々に荷重がかかっていくため、急激な力が掛かりにくくなり、温度センサ５０が損傷してしまう可能性を低減させることができる。
このように、本発明の第１実施形態では、インレットヘッド４０の堆積物を除去する際に温度センサ５０を損傷してしまう可能性を小さくすることができるので、インレットヘッド４０のコンバスタ４０４側の壁面に粉体が付着して形成される堆積物の量を効率的に低減させることができ、その結果、除害装置４００のメンテナンス周期を長くすることができるという効果を得られる。 In the abatement apparatus 400 including the inlet head 40 in which the removal device 1 is disposed, the deposition head 1 is deposited by the configuration in which the removal device 1 in which the cutout portion C having the relief structure E is formed is disposed. When removing the object, even if the removal device 1 slides around the temperature sensor 50 with the product attached to the inside of the Nige structure E, the temperature sensor 50 is damaged by the removal device 1. The possibility of occurrence of such a problem can be reduced.
Further, even when the temperature sensor 50 is assembled due to an assembling error or the like and the temperature sensor 50 comes into contact with the removing device 1 when the temperature sensor 50 is assembled, the temperature sensor 50 is not connected to the relief structure E. Since the load is gradually applied while being in contact with the formed tapered portion, it is difficult to apply an abrupt force, and the possibility that the temperature sensor 50 is damaged can be reduced.
As described above, in the first embodiment of the present invention, the possibility of damaging the temperature sensor 50 when removing deposits on the inlet head 40 can be reduced, so that the combustor 404 side of the inlet head 40 can be reduced. The amount of deposit formed by the powder adhering to the wall surface can be efficiently reduced, and as a result, the effect that the maintenance cycle of the abatement apparatus 400 can be lengthened can be obtained.

本発明の第１実施形態では、除去装置１に形成される切り欠き部Ｃは、当該除去装置１の長手方向の中心線と、所定の角度（なす角θ）を有する矩形の形状としたが、除去装置１の切り欠き部Ｃはこの形状に限定される必要はない。
上述したような切り欠き部Ｃを設けた場合、除去装置１によってインレットヘッド４０の表面（コンバスタ４０４に対向する面）上から掻き取られた生成物（堆積物）が、除去装置１の切り欠き部Ｃが形成された凹状部分（切り欠き部Ｃの内側・内部）にも徐々に溜まっていく虞がある。
そこで、次に説明する第１実施形態の変形例では、除去装置１に設ける切り欠き部Ｃおよびニゲ構造Ｅの形状を工夫する。具体的には、除去装置１に形成される切り欠き部Ｃの断面（即ち、ニゲ構造Ｅの断面）を変化させる。 In the first embodiment of the present invention, the cutout portion C formed in the removal device 1 has a rectangular shape having a predetermined angle (angle θ formed) with the longitudinal center line of the removal device 1. The notch C of the removing device 1 is not necessarily limited to this shape.
When the notch C as described above is provided, the product (deposit) scraped off from the surface of the inlet head 40 (surface facing the combustor 404) by the removing device 1 is notched by the removing device 1. There is also a possibility that the concave portion in which the portion C is formed (inside and inside of the cutout portion C) is gradually accumulated.
Therefore, in a modification of the first embodiment described below, the shapes of the notch C and the relief structure E provided in the removal device 1 are devised. Specifically, the cross section of the cutout portion C formed in the removal apparatus 1 (that is, the cross section of the Nige structure E) is changed.

図６は、本発明の第１実施形態の変形例１係る除去装置２、変形例２係る除去装置３、変形例３係る除去装置４を説明するための図である。
（第１実施形態の変形例１）
図６（ａ）は、本発明の第１実施形態の変形例１に係る除去装置２がインレットヘッド４０に配設される場合の、軸線方向下または上から見た略図（軸線方向下からの場合は断面図）である。
図６（ａ）に示したように、本発明の第１実施形態の変形例１に係る除去装置２には、除去装置２が温度センサ５０上を通過する際に切り欠き部Ｃが温度センサ５０と対面する片面または両面に、温度センサ５０側へ突出する凸部が形成された切り欠き部Ｃが形成され（同図は、両面に形成された例が図示されている）、この凸部の両側にニゲ構造Ｅが形成される。
この構成により、切り欠き部Ｃの凸部を形成する面が壁（障害）になるので、ニゲ構造Ｅ内に溜まった生成物が温度センサ５０の方向へ成長してしまうのを抑制することができる。
（第１実施形態の変形例２）
図６（ｂ）は、本発明の第１実施形態の変形例２に係る除去装置３がインレットヘッド４０に配設される場合の、軸線方向下または上から見た略図（軸線方向下からの場合は断面図）である。
図６（ｂ）に示したように、本発明の第１実施形態の変形例２に係る除去装置３には、除去装置３が温度センサ５０上を通過する際に切り欠き部Ｃが温度センサ５０と対面する片面または両面に、温度センサ５０側へ突出する凸部が形成され、さらに、当該凸部を形成する面が階段状に形成された切り欠き部Ｃが形成され（同図は、両面に形成された例が図示されている）、この凸部の階段状面の両側にニゲ構造Ｅが形成される。
この構成により、切り欠き部Ｃの凸部を形成する階段状面が壁（障害）になるので、ニゲ構造Ｅ内に溜まった生成物が温度センサ５０の方向へ成長してしまうのを抑制することができる。
（第１実施形態の変形例３）
図６（ｃ）は、本発明の第１実施形態の変形例３に係る除去装置４がインレットヘッド４０に配設される場合の、軸線方向下または上から見た略図（軸線方向下からの場合は断面図）である。
あるいは、図６（ｃ）に示したように、本発明の第１実施形態の変形例３に係る除去装置４には、除去装置４が温度センサ５０上を通過する際に切り欠き部Ｃが温度センサ５０と対面する片面または両面に、曲線で形成された切り欠き部Ｃが形成され（同図は、両面に形成された例が図示されている）、この切り欠き部Ｃを形成する曲線と除去装置４の長手方向の外形を形作る端に挟まれた空隙にニゲ構造Ｅが形成されるように構成してもよい。 FIG. 6 is a diagram for explaining a removal device 2 according to Modification 1 of the first embodiment of the present invention, a removal device 3 according to Modification 2, and a removal device 4 according to Modification 3.
(Modification 1 of the first embodiment)
FIG. 6A is a schematic diagram viewed from below or above in the axial direction when the removing device 2 according to the first modification of the first embodiment of the present invention is disposed in the inlet head 40 (from the bottom in the axial direction). (Case is a cross-sectional view).
As shown in FIG. 6A, the removal device 2 according to the first modification of the first embodiment of the present invention has a notch C as a temperature sensor when the removal device 2 passes over the temperature sensor 50. A notch C is formed on one surface or both surfaces facing the surface 50 with a protrusion protruding toward the temperature sensor 50 (the figure shows an example formed on both surfaces). Nige structure E is formed on both sides of the substrate.
With this configuration, since the surface forming the convex portion of the notch C becomes a wall (obstacle), it is possible to suppress the product accumulated in the relief structure E from growing in the direction of the temperature sensor 50. it can.
(Modification 2 of the first embodiment)
FIG. 6B is a schematic view (from the bottom in the axial direction) viewed from below or in the axial direction when the removing device 3 according to the second modification of the first embodiment of the present invention is disposed in the inlet head 40. (Case is a cross-sectional view).
As shown in FIG. 6B, the removal device 3 according to the second modification of the first embodiment of the present invention has a notch C as a temperature sensor when the removal device 3 passes over the temperature sensor 50. A convex portion that protrudes toward the temperature sensor 50 is formed on one surface or both surfaces that face 50, and further, a cutout portion C is formed in which the surface that forms the convex portion is formed in a stepped shape ( An example of formation on both surfaces is shown), and a relief structure E is formed on both sides of the stepped surface of this convex portion.
With this configuration, the stepped surface that forms the convex portion of the notch C becomes a wall (obstruction), so that the product accumulated in the relief structure E is prevented from growing in the direction of the temperature sensor 50. be able to.
(Modification 3 of the first embodiment)
FIG. 6C is a schematic view (from the bottom in the axial direction) viewed from below or above in the axial direction when the removing device 4 according to the third modification of the first embodiment of the present invention is disposed in the inlet head 40. (Case is a cross-sectional view).
Alternatively, as illustrated in FIG. 6C, the removal device 4 according to the third modification of the first embodiment of the present invention has a notch C when the removal device 4 passes over the temperature sensor 50. A notch portion C formed with a curve is formed on one surface or both surfaces facing the temperature sensor 50 (in the figure, an example formed on both surfaces is shown), and a curve forming this notch portion C is shown. Alternatively, the relief structure E may be formed in a gap sandwiched between ends forming the outer shape of the removal device 4 in the longitudinal direction.

上述したニゲ構造Ｅを有する切り欠き部Ｃが形成された、本発明の第１実施形態の変形例１に係る除去装置２、変形例２に係る除去装置３、変形例３に係る除去装置４が配設されるインレットヘッド４０を備える除害装置４００では、インレットヘッド４０の堆積物（生成物）を除去する際、仮に、除去装置（２、３、４）が、当該ニゲ構造Ｅ（切り欠き部Ｃ）の内側に掻き取った生成物が付着してしまった状態で温度センサ５０周辺を摺動したとしても、断面積に変化があることで、付着した生成物が温度センサ５０に干渉してしまうくらいの大きさにまで到達する時間（期間）を、より効率よく延ばす（時間／期間を稼ぐ）ことができる。
また、仮に、ニゲ構造Ｅの空隙に生成物が溜まったとしても、温度センサ５０が位置する場所を中心に外側へ向かって断面が大きくなるように切り欠き部Ｃが構成されているので、堆積する生成物が温度センサ５０に干渉するような形に成長しにくくすることができる。
そのため、本発明の第１実施形態の各変形例１〜変形例３に係る除害装置４００では、除去装置（２、３、４）によって温度センサ５０を損傷してしまうような不具合が発生する可能性を、より効率よく小さくすることができる。
このように、本発明の第１実施形態の各変形例１〜３では、インレットヘッド４０の堆積物を除去する際に温度センサ５０を損傷してしまう可能性をより効率よく小さくすることができるので、インレットヘッド４０のコンバスタ４０４側の壁面に粉体が付着して形成される堆積物の量を効率的に低減させることができ、その結果、除害装置４００のメンテナンス周期を長くすることができるという効果を得られる。 The removal device 2 according to the first modification of the first embodiment of the present invention, the removal device 3 according to the second modification, and the removal device 4 according to the third modification, in which the above-described cutout portion C having the relief structure E is formed. In the abatement apparatus 400 having the inlet head 40 in which the deposit head 40 is disposed, when removing the deposit (product) of the inlet head 40, the removal apparatus (2, 3, 4) temporarily has Even if the product scraped off inside the notch C) is attached to the periphery of the temperature sensor 50, the attached product interferes with the temperature sensor 50 due to a change in the cross-sectional area. Thus, the time (period) to reach such a large size can be extended more efficiently (time / period can be earned).
Further, even if the product accumulates in the voids of the Nige structure E, the cutout portion C is configured so that the cross section increases toward the outside centering on the location where the temperature sensor 50 is located. It is possible to make it difficult for the product to be grown to interfere with the temperature sensor 50.
Therefore, in the abatement apparatus 400 according to each of the first to third modifications of the first embodiment of the present invention, such a problem that the temperature sensor 50 is damaged by the removal apparatus (2, 3, 4) occurs. The possibility can be reduced more efficiently.
As described above, in each of the first to third modifications of the first embodiment of the present invention, the possibility of damaging the temperature sensor 50 when removing the deposit on the inlet head 40 can be reduced more efficiently. Therefore, the amount of deposits formed by the powder adhering to the wall surface on the combustor 404 side of the inlet head 40 can be efficiently reduced, and as a result, the maintenance cycle of the abatement apparatus 400 can be lengthened. The effect that you can do it.

（第１実施形態の変形例４）
図７は、本発明の第１実施形態の変形例４に係る除去装置５を説明するための図である。
図７（ａ）は、本発明の第１実施形態の変形例４に係る除去装置５を、当該除去装置５がインレットヘッド４０に配設される場合の軸線方向下または上から見た略図（軸線方向下からの場合は断面図）である。
図７（ｂ）は、本発明の第１実施形態の変形例４に係る除去装置５を、当該除去装置５がインレットヘッド４０に配設される場合の水平方向から見た略図である。
図７に示したように、本発明の第１実施形態の変形例４に係る除去装置５には、除去装置５が温度センサ５０上を通過する際に切り欠き部Ｃが温度センサ５０と対面する片面または両面に、ブラシ７０が配設される（同図は、両面に配設された例が図示されている）。除去装置５がインレットヘッド４０に付着・堆積した生成物を掻き取る際に、除去装置５に形成された切り欠き部Ｃのブラシ７０に生成物が絡まるように構成するようにしてもよい。 (Modification 4 of the first embodiment)
FIG. 7 is a view for explaining a removal device 5 according to Modification 4 of the first embodiment of the present invention.
FIG. 7A is a schematic view of the removing device 5 according to the fourth modification of the first embodiment of the present invention when viewed from below or above in the axial direction when the removing device 5 is disposed in the inlet head 40 (FIG. It is a cross-sectional view when viewed from below in the axial direction.
FIG. 7B is a schematic view of the removing device 5 according to the fourth modification of the first embodiment of the present invention as viewed from the horizontal direction when the removing device 5 is disposed on the inlet head 40.
As shown in FIG. 7, in the removing device 5 according to the fourth modification of the first embodiment of the present invention, the notch C faces the temperature sensor 50 when the removing device 5 passes over the temperature sensor 50. The brush 70 is disposed on one or both sides (an example in which the brush 70 is disposed on both sides is shown in the figure). When the removal device 5 scrapes off the product adhering / depositing on the inlet head 40, the product may be entangled with the brush 70 of the notch C formed in the removal device 5.

（第２実施形態）
図８は、本発明の第２実施形態に係るインレットヘッド４１および除去装置６を説明するための図である。
図８に示したように、本発明の第２実施形態に係るインレットヘッド４１には、生成物を掻き取って除去するために除去装置６がインレットヘッド４１の表面を摺動する際に除去装置６が温度センサ５０に接触するのを防止するためのストッパ６０が、温度センサ５０の近傍に温度センサ５０を取り囲むように配設される。
なお、本発明の第２実施形態では、ストッパ６０は中央に空洞が形成された円筒形状としたが、これに限ることはない。動作する除去装置６が温度センサ５０との接触を阻止する（即ち、除去装置６の運動が、このストッパ６０により一旦中断され、非連続になる）ための形状であればよく、例えば、温度センサ５０を包囲する形状であれば四角形や矩形であってもよい。あるいは、全周を包囲する（取り囲む）形状に限らず、温度センサ５０を挟むように設けられた１又は複数の板状の部材で構成することもできる。
この構成により、ストッパ６０が壁（障害）になるので、除去装置６が温度センサ５０に接触・干渉するのを防止することができる。 (Second Embodiment)
FIG. 8 is a view for explaining the inlet head 41 and the removing device 6 according to the second embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 8, the inlet head 41 according to the second embodiment of the present invention has a removing device when the removing device 6 slides on the surface of the inlet head 41 to scrape and remove the product. A stopper 60 for preventing 6 from contacting the temperature sensor 50 is disposed in the vicinity of the temperature sensor 50 so as to surround the temperature sensor 50.
In the second embodiment of the present invention, the stopper 60 has a cylindrical shape with a cavity formed in the center, but is not limited thereto. Any shape may be used so that the removing device 6 that operates operates to prevent contact with the temperature sensor 50 (that is, the movement of the removing device 6 is temporarily interrupted by the stopper 60 and becomes discontinuous). As long as the shape surrounds 50, it may be a rectangle or a rectangle. Alternatively, the shape is not limited to a shape that surrounds (encloses) the entire circumference, but may be configured by one or a plurality of plate-like members provided so as to sandwich the temperature sensor 50.
With this configuration, since the stopper 60 becomes a wall (obstacle), the removal device 6 can be prevented from contacting / interfering with the temperature sensor 50.

上述したストッパ６０を有するインレットヘッド４１により、本発明の第２実施形態に係る除去装置６が配設されるインレットヘッド４１を備える除害装置４００では、インレットヘッド４１の堆積物（生成物）を除去する際、仮に、除去装置６に掻き取った生成物が付着してしまった状態で温度センサ５０近傍を摺動したとしても、ストッパ６０の存在により、付着した生成物が温度センサ５０に干渉してしまうのを防止することができる。
そのため、本発明の第２実施形態に係る除害装置４００では、除去装置６によって温度センサ５０を損傷してしまうような不具合が発生する可能性を小さくすることができる。
このように、本発明の第２実施形態では、インレットヘッド４１の堆積物を除去する際に温度センサ５０を損傷してしまう可能性をより小さくすることができるので、インレットヘッド４１のコンバスタ４０４側の壁面に粉体が付着して形成される堆積物の量を効率的に低減させることができ、その結果、除害装置４００のメンテナンス周期を長くすることができるという効果を得られる。 In the detoxifying apparatus 400 including the inlet head 41 in which the removing apparatus 6 according to the second embodiment of the present invention is provided by the inlet head 41 having the stopper 60 described above, the deposit (product) of the inlet head 41 is removed. When removing, even if the scraped product has adhered to the removing device 6 and slides in the vicinity of the temperature sensor 50, the adhered product interferes with the temperature sensor 50 due to the presence of the stopper 60. Can be prevented.
Therefore, in the abatement apparatus 400 according to the second embodiment of the present invention, it is possible to reduce the possibility that a malfunction that damages the temperature sensor 50 by the removing apparatus 6 occurs.
As described above, in the second embodiment of the present invention, the possibility of damaging the temperature sensor 50 when removing the deposits on the inlet head 41 can be further reduced, so that the combustor 404 side of the inlet head 41 can be reduced. The amount of deposits formed by adhering powder to the wall surface can be efficiently reduced, and as a result, the maintenance cycle of the abatement apparatus 400 can be lengthened.

（第３実施形態）
図９は、本発明の第３実施形態に係る除去装置７を説明するための図であり、除去装置７が配設されたインレットヘッド４０の一部概略図である。
図９に示したように、本発明の第３実施形態に係る除去装置７は、インレットヘッド４０に形成される導入孔４０９の近傍に、摺動（回転運動）した際に温度センサ５０に接触しない動作範囲内で動くように、インレットヘッド４０に配設される。例えば、導入孔４０９の外側に任意の一点をとり、その点を中心として導入孔４０９にむけて引かれた２つの接線が動作の最小範囲となるように決めておく等する。
なお、インレットヘッド４０に設けられる導入孔４０９の数と等しい数の除去装置７を、一対一対応で配設することが望ましい。
この構成により、除去装置７が温度センサ５０に干渉することなく、除去装置７がインレットヘッド４０に設けられた導入孔４０９付近に付着・堆積した生成物を掻き取るための動作をすることができる。 (Third embodiment)
FIG. 9 is a view for explaining the removing device 7 according to the third embodiment of the present invention, and is a partial schematic view of the inlet head 40 provided with the removing device 7.
As shown in FIG. 9, the removing device 7 according to the third embodiment of the present invention contacts the temperature sensor 50 when sliding (rotating) in the vicinity of the introduction hole 409 formed in the inlet head 40. It is arranged in the inlet head 40 so as to move within an operating range that does not. For example, an arbitrary point is taken outside the introduction hole 409, and two tangent lines drawn toward the introduction hole 409 around the point are determined so as to be within the minimum range of operation.
It is desirable that the number of removing devices 7 equal to the number of introduction holes 409 provided in the inlet head 40 is arranged in a one-to-one correspondence.
With this configuration, the removal device 7 can perform an operation for scraping off the product adhered and deposited near the introduction hole 409 provided in the inlet head 40 without interfering with the temperature sensor 50. .

上述した本発明の第３実施形態に係る除去装置７が配設されるインレットヘッド４０を備える除害装置４００では、インレットヘッド４０に形成された導入孔４０９付近に堆積した堆積物（生成物）を除去する際、除去装置７は導入孔４０９近傍にのみ配設されているので温度センサ５０周辺を摺動しない。よって、動作する除去装置７が温度センサ５０に干渉してしまうのを防止することができる。
そのため、本発明の第３実施形態に係る除害装置４００では、除去装置７によって温度センサ５０を損傷してしまうような不具合が発生する可能性を防止することができる。
このように、本発明の第３実施形態では、インレットヘッド４０の堆積物を除去する際に温度センサ５０を損傷してしまう可能性を防止することができるので、インレットヘッド４０のコンバスタ４０４側の壁面に粉体が付着して形成される堆積物の量を効率的に低減させることができ、その結果、除害装置４００のメンテナンス周期を長くすることができるという効果を得られる。 In the abatement apparatus 400 including the inlet head 40 in which the removing apparatus 7 according to the third embodiment of the present invention described above is disposed, the deposit (product) deposited in the vicinity of the introduction hole 409 formed in the inlet head 40. Since the removal device 7 is disposed only in the vicinity of the introduction hole 409, the periphery of the temperature sensor 50 does not slide. Therefore, it is possible to prevent the operating removal device 7 from interfering with the temperature sensor 50.
Therefore, in the abatement apparatus 400 according to the third embodiment of the present invention, it is possible to prevent the possibility that a malfunction that would damage the temperature sensor 50 by the removing apparatus 7 occurs.
As described above, in the third embodiment of the present invention, it is possible to prevent the temperature sensor 50 from being damaged when the deposit on the inlet head 40 is removed, so that the combustor 404 side of the inlet head 40 can be prevented. The amount of deposit formed by the powder adhering to the wall surface can be efficiently reduced, and as a result, the effect that the maintenance cycle of the abatement apparatus 400 can be lengthened can be obtained.

本発明の実施形態に係る除害装置４００では、インレットヘッド４０は、コンバスタ４０４に対して取り外し可能な構成としたが、インレットヘッド４０とコンバスタ４０４とを一体型に構成してもよい。 In the abatement apparatus 400 according to the embodiment of the present invention, the inlet head 40 is configured to be detachable from the combustor 404, but the inlet head 40 and the combustor 404 may be configured integrally.

１除去装置
２除去装置
３除去装置
４除去装置
５除去装置
６除去装置
７除去装置
１０軸
４０インレットヘッド
４１インレットヘッド
５０温度センサ
６０ストッパ
７０ブラシ
１００プロセス装置
２００クリーンルーム
３００ドライポンプ
４００除害装置
４０１インレット三方弁
４０２インレット配管
４０４コンバスタ
４０５クエンチ
４０６サイクン
４０７パックドタワー
４０９導入孔
５００真空配管
６００排気配管
１０００掻き取り器（従来）
１００１掻き取りヘッド（従来）
２０００炉内壁面（従来）
２００１ガス通路（従来）
３０００堆積物（従来） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Remover 2 Remover 3 Remover 4 Remover 5 Remover 6 Remover 6 Remover 7 Remover 10 Shaft 40 Inlet head 41 Inlet head 50 Temperature sensor 60 Stopper 70 Brush 100 Process device 200 Clean room 300 Dry pump 400 Detoxifier 401 Inlet Three-way valve 402 Inlet piping 404 Combustor 405 Quench 406 Cyclone 407 Packed tower 409 Introduction hole 500 Vacuum piping 600 Exhaust piping 1000 Scraper (conventional)
1001 Scraping head (conventional)
2000 Furnace wall (conventional)
2001 Gas passage (conventional)
3000 sediment (conventional)

Claims

A removal device that removes deposits attached to an abatement device disposed,
A recess is formed on the surface facing the abatement device,
A removing device, wherein a convex portion that is non-contact with the other surface is formed on at least one of the surfaces facing each other in the concave portion.

The removal apparatus according to claim 1, wherein the deposit is removed by an operation of either a rotational movement or a parallel movement.

The recess is formed in a portion that intersects with the temperature sensor provided in the abatement apparatus by the operation with a dimension that is not in contact with the temperature sensor,
The removal device according to claim 2, wherein the convex portion is formed with a dimension that is not in contact with the temperature sensor by the operation.

The removal device according to any one of claims 1 to 3, wherein the convex portion has a tapered shape having a predetermined angle with a substantially center line on a surface facing the removal device.

An abatement chamber;
An inlet nozzle for guiding the gas to the abatement chamber;
A nozzle fixing member having a hole for disposing the inlet nozzle and disposed in the abatement chamber;
The removal apparatus according to any one of claims 1 to 4,
An abatement device comprising:

6. The abatement apparatus according to claim 5, wherein the nozzle fixing member is removable.