JP6111858B2 - 振動センサ用台座、ポータブル振動診断装置及び回転機械の振動診断方法 - Google Patents

Description

本発明は、回転機械の振動診断を行うための振動センサ用台座、ポータブル振動診断装置及び回転機械の振動診断方法に関する。

一般に、構造物の振動診断は、その構造物に生じる振動を振動センサで測定することにより行われる。例えばブロワ、コンプレッサ等の回転機械の振動診断では、回転機械の構成部品の１つである軸受の振動を測定することが多い。この振動測定は、例えば圧電素子を用いた振動センサ等を軸受に取り付けることにより行われる。

精度の高い振動診断を行うためには、互いに直交する３方向の振動を検出することが好ましい。しかし、振動センサの振動検出感度は原理上、１方向（以下、「振動検出方向」という）の検出感度のみが高く、その他の２方向の検出感度は低い。例えば、振動センサの振動検出方向に直交する方向の振動検出感度は、振動検出方向の検出感度の３〜５％程度しかないため、１つの振動センサでは回転機械の３方向の振動を検出することはできない。

このため、従来の振動診断は、図１２に示す通り、３個の振動センサＳをそれぞれ軸受２に取り付けることにより行われていた。これらの振動センサＳは振動検出方向が、軸受２の回転軸方向Ａ、回転軸方向Ａに平面視において直交する水平方向Ｈ、鉛直方向Ｖに一致するようにそれぞれ設置される。これにより、各振動センサＳにより３方向の振動速度を検出し、回転機械に発生するアンバランスやミスアライメント等の不具合の有無を確認していた。

しかしながら、回転機械に振動センサを常設して振動診断（いわゆるオンライン診断）を行う場合、回転機械ごとに３つの振動センサを用いる必要があるためコストアップの要因となってしまう。また、１つの回転機械において、複数箇所の振動診断を行う場合には、診断箇所の数に応じて振動センサの数も増えることになり、コストアップが顕著なものとなる。

一方、振動センサの数を少なくして振動診断を行うために、作業者が振動センサを持って各設備を巡回し、回転機械の振動測定を行う際に振動センサを取り付け、振動測定終了後に振動センサを取り外す方法も考えられる。しかしながら、この場合においては、１つの振動センサで３方向の振動測定を１方向ずつ行う必要があるため、３つの振動センサを使用して３方向の振動測定を行う場合に比べて３倍の測定時間がかかることになってしまう。このため、当該振動診断方法は、測定効率面における課題があった。

上記のような従来の振動診断方法においては、１つの振動センサで１方向の振動しか検出することができないため、精度の高い振動診断を行う際には、回転機械自体に異常振動が生じているか否かに関わらず、３方向の振動を全て測定していた。しかし、回転機械の振動診断を行う際には、まず、異常振動が生じているか否かを把握できれば良く、異常振動が生じていない場合にまで３方向の振動測定を行うことは非効率的であった。

上記事情に鑑み、本発明の目的は、従来よりも少ない数の振動センサで回転機械の振動診断を行うことができる振動センサ用台座、ポータブル振動診断装置及び回転機械の振動診断方法を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明によれば、回転機械の振動を検出する振動センサを取り付ける振動センサ用台座であって、前記振動センサを取り付ける座面が、診断対象方向である前記回転機械の回転軸方向を含む互いに直交する３方向各々に直交する平面のいずれとも異なる面となるように形成されていることを特徴とする振動センサ用台座が提供される。

前記座面と、各診断対象方向にそれぞれ直交する各平面とのなす角がそれぞれ等しくなるように前記座面が形成されていても良い。また、回転機械への取り付け面の近傍にマグネットが設けられていても良い。

また、本発明によれば、回転機械の振動を検出するセンサ部を備えたポータブル振動診断装置であって、前記センサ部に上記振動センサ用台座が設けられていることを特徴とするポータブル振動診断装置も提供される。

また、本発明によれば、振動センサを用いた回転機械の振動診断方法であって、前記振動センサの振動検出方向が、診断対象方向である前記回転機械の回転軸方向を含む互いに直交する３方向のいずれとも異なる方向となるように前記振動センサを前記回転機械に設置し、前記診断対象方向と前記振動検出方向とのなす角に基づいて、前記振動センサにより検出された振動から前記診断対象方向の振動の最大値を算出し、前記回転機械に異常振動が生じているか否か判定することを特徴とする回転機械の振動診断方法も提供される。

前記診断対象方向が複数存在し、各診断対象方向と前記振動検出方向とのなす角がそれぞれ等しくなるように前記振動センサを前記回転機械に設置しても良い。また、前記振動センサにマグネットベースを取り付けて前記振動センサを前記回転機械に設置しても良い。

本発明によれば、１つの振動センサで、振動センサの振動検出方向と異なる方向の振動を検出することができる。これにより、回転機械の振動診断に使用する振動センサの個数を削減することができる。

本発明の実施の形態に係る振動センサ用台座の取り付け状態を示す概略図である。 本発明の実施の形態に係る振動センサ用台座の形状を示す概略図である。 振動センサの取り付け状態を示す図１中のＺ方向から見た概略図である。 本発明の変形例に係る振動センサの取り付け状態を示す概略図である。 マグネット付振動センサを備えるポータブル振動診断装置を示す概略図である。 本発明の変形例に係るマグネットを備えた振動センサ用台座を示す概略図である。 本発明の変形例に係る振動センサ用台座を備えたポータブル振動診断装置を示す概略図である。 本発明の変形例に係る振動センサ用台座の取り付け状態を示す概略図である。 アンバランス状態にある回転機械の水平方向Ｈの振動速度を示す図である。 ミスアライメント状態にある回転機械の軸方向Ａ及び水平方向Ｈの振動速度を示す図である。 ミスアライメント状態にある回転機械の軸方向Ａの振動速度を示す図及び振動検出方向ＡＨＶの振動速度を示す図である。 従来の振動センサの取り付け状態を示す概略図である。

以下、本発明の実施の形態に係る振動センサ用台座１について説明する。なお、本実施形態に係る軸受２は、図１に示すように水平面に対して平行に延びる回転軸（不図示）を支持するものであり、本実施形態では、回転軸方向を「軸方向Ａ」、軸方向Ａに平面視において直交する方向を「水平方向Ｈ」、軸方向Ａと水平方向Ｈに直交する方向を「垂直方向Ｖ」という。また、本実施形態では、これら３方向の振動診断を行うことを前提とし、軸方向Ａ、水平方向Ｈ、垂直方向Ｖをそれぞれ「診断対象方向」という。また、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

図１に示す通り、振動センサ用台座１は、回転機械の回転軸（不図示）を支持する軸受２の側面３に取り付けられる。軸受２の側面３は、垂直方向Ｖに平行な平面である。なお、台座１の取り付け方法は、台座１の軸受取り付け面４を軸受側面３と密接させることが可能な方法であれば、どのような方法であっても良い。例えば、溶接により接合しても良いし、接着剤で固着させても良い。

図２に示す通り、台座１は、直法体の一部が斜めに切断されたような傾斜面を有する形状となっている。この傾斜面は、振動センサＳを取り付けるための座面５となる。また、台座１の軸受取り付け面４は、台座１を軸受２に取り付けた際に互いに直交する台座１の各辺がそれぞれ軸方向Ａ、水平方向Ｈ、垂直方向Ｖに沿うように形成されている。このため、台座１の座面５は、軸方向Ａに直交する平面、水平方向Ｈに直交する平面、垂直方向Ｖに直交する平面のそれぞれに対して所定の角度をなすように形成されている。なお、台座１の座面５と各診断対象方向に直交する各平面とのなす角は、それぞれ等しいことが好ましい。

座面５には、ボルトを挿入可能な孔６が形成されており、孔６の内部は雌ねじが切られている。これにより、図３に示すように植込みボルト７とナット８一体型の振動センサＳと台座１を螺合して固定することができる。このとき台座１に取り付ける振動センサＳの振動検出方向は、当該振動センサＳの長手方向に沿った１方向のみであることから、座面５に取り付けた振動センサＳは、座面５に対して垂直な方向の振動を検出することができる。

なお、本実施形態では、図２に示すように、座面５に垂直な方向を「振動検出方向ＡＨＶ」と定義する。また、振動検出方向ＡＨＶと軸方向Ａとのなす角を「θ_Ａ」、振動検出方向ＡＨＶと水平方向Ｈとのなす角を「θ_Ｈ」、振動検出方向ＡＨＶと垂直方向Ｖとのなす角を「θ_Ｖ」と定義する。

次に、以上のように形成された振動センサ用台座１を用いた振動診断方法について説明する。

まず、図２に示す振動センサ用台座１の軸受取り付け面４と、図１に示す軸受側面３とを密接させるようにして振動センサ用台座１を軸受２に溶接する。なお、台座１は、例えば接着剤により軸受２に固着しても良い。

次に、図３に示すように、台座１の座面５に形成された孔６に、植込みボルト７とナット８一体型振動センサＳの植込みボルト７先端を挿入する。そして、ナット８を締めることにより、台座１の座面５に振動センサＳを固定する。続いて、振動センサＳにより軸受２の振動速度を検出する。このとき検出される振動速度は、台座１の座面５に対して垂直な方向、すなわち、振動検出方向ＡＨＶの振動速度である。

振動検出方向ＡＨＶは、各診断対象方向（軸方向Ａ、水平方向Ｈ、垂直方向Ｖ）に対して角度を持っているため、台座１に取り付けられた振動センサＳの振動検出感度は、各診断対象方向に沿って設置された振動センサＳの検出感度よりも低くなる。すなわち、振動検出方向ＡＨＶにおける振動速度の検出感度は、各診断対象方向に振動センサＳをそれぞれ設置した場合の検出感度のＣＯＳθ_Ａ倍またはＣＯＳθ_Ｈ倍またはＣＯＳθ_Ｖ倍となるため、振動検出方向ＡＨＶにおける振動速度は、各診断対象方向の実際の振動速度のＣＯＳθ_Ａ倍またはＣＯＳθ_Ｈ倍またはＣＯＳθ_Ｖ倍となる。したがって、設備の振動診断を行うためには、振動検出方向ＡＨＶの振動速度から各診断対象方向の振動速度を算出することが望ましい。

しかしながら、振動検出方向ＡＨＶの振動速度Ｖ_ＡＨＶは、台座１の座面５に対して垂直な方向の振動速度であることから、振動センサＳにより検出された振動速度Ｖ_ＡＨＶが、軸方向Ａの振動速度Ｖ_Ａ、水平方向Ｈの振動速度Ｖ_Ｈ、垂直方向Ｖの振動速度Ｖ_Ｖのいずれの振動速度であるかは把握することができない。このため、振動検出方向ＡＨＶの振動速度Ｖ_ＡＨＶから各診断対象方向の振動速度（Ｖ_Ａ、Ｖ_Ｈ、Ｖ_Ｖ）を算出することはできない。

しかし、設備の振動診断を行うためには、まず設備に異常振動が生じているか否かを把握することができれば良いことから、振動速度Ｖ_ＡＨＶに基づいて設備の異常振動が生じている否かを判定できれば良い。

その手法としては、まず、ＣＯＳθ_ＡまたはＣＯＳθ_ＨまたはＣＯＳθ_Ｖの値のうち最も小さい値を用いて、下記（式１）から振動速度Ｖを算出する。
Ｖ＝Ｖ_ＡＨＶ／ＣＯＳθ・・・（式１）
ＣＯＳθ：ＣＯＳθ_Ａ、ＣＯＳθ_Ｈ、ＣＯＳθ_Ｖのうちの最小値

最も小さい値を用いる理由は、設備の各診断対象方向に生じ得る振動速度の最大値を推測することにある。例えば、ＣＯＳθ_Ｖの値がＣＯＳθ_ＡやＣＯＳθ_Ｈの値よりも小さい場合には、そのＣＯＳθ_Ｖの値を用いて（式１）で振動速度Ｖを算出することになる。このとき算出される振動速度Ｖは、ＣＯＳθ_ＡやＣＯＳθ_Ｈを用いて（式１）から算出される振動速度Ｖよりも大きい値となる。ＣＯＳθ_Ｖの値を用いたからといって、垂直方向Ｖに実際に振動が生じていると判断することはできないが、振動センサＳにより検出された振動が実際に垂直方向Ｖに生じている振動である場合もあり得る。その場合に、ＣＯＳθ_ＡやＣＯＳθ_Ｈの値を用いて振動速度Ｖを算出していたとすると、垂直方向Ｖの実際の振動速度よりも低い振動速度Ｖに基づいて設備の振動診断を行うことになり誤診の原因となってしまう。したがって、設備の振動診断を適切に行うためには、予め設備の各診断対象方向に生じ得る振動速度の最大値を用いる必要がある。

その後、上記（式１）で算出された振動速度Ｖの値と、例えばＩＳＯ１０８１６−１の附属書Ｂに規定された振動速度のゾーン境界値とを比較する。これにより、設備に異常振動を生じているか否かを判定することができる。そして、設備に異常振動が生じている判断できる場合には、従来の振動診断方法のように３方向の振動を正確に測定し、どの方向にどのような振動が生じているか把握して対処する。

なお、上記の場合（ＣＯＳθ_Ｖの値が最小の場合）において、実際に振動が生じている方向が例えば水平方向Ｈである場合に、（式１）で求めた振動速度Ｖと、実際の水平方向Ｈの振動速度Ｖ_Ｈが大きく異なることもある。このため、振動速度Ｖ_Ｈが異常振動でない場合であっても、算出された振動速度Ｖとゾーン境界値とを比較することにより、設備に異常振動が生じていると誤判定してしまう場合もある。

このような事態を避けるためには、ＣＯＳθ_Ａ、ＣＯＳθ_Ｈ、ＣＯＳθ_Ｖの値の差を小さくすること、すなわち、θ_Ａ、θ_Ｈ、θ_Ｖの値の差を小さくすることが好ましい。最も理想的なθ_Ａ、θ_Ｈ、θ_Ｖの値は４５°である。このように振動検出方向ＡＨＶと各診断対象方向とのなす角θ_Ａ、θ_Ｈ、θ_Ｖがそれぞれ等しくなるようにすれば、θ_Ａ、θ_Ｈ、θ_Ｖのいずれの値を用いても（式１）で算出される振動速度Ｖが等しくなるため、算出された振動速度Ｖとゾーン境界値とを比較する際に、異常振動が生じているか否かを適切に判定することができる。これにより、余計な３方向振動診断を行う必要がなくなる。

以上の通り、本実施形態によれば、振動センサＳの振動検出方向ＡＨＶが、各診断対象方向（軸方向Ａ、水平方向Ｈ、垂直方向Ｖ）と所定の角度をなすように台座１の座面５が形成されていることから、１つの振動センサで、振動検出方向とは異なる方向の振動速度を検出することができる。これにより、回転機械の振動診断に使用する振動センサの個数を削減することができる。

例えば、振動センサの購入及び設置工事に１個あたり２０万円かかる場合、構造物中の１０箇所において振動診断を行うとすると、従来の振動診断方法では、診断箇所ごとに３個の振動センサが必要となるため振動センサの設置コストとして６００万円かかっていた。これに対して、本実施形態に係る台座を用いれば、診断箇所ごとに１個の振動センサがあれば足りるため、振動センサの設置コストを２００万円に抑えることができる。このように、本実施形態によれば、振動センサの設置コストを１／３に抑えることができる。あるいは、同一のコストで振動診断エリアの拡大を図ることもできる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到しうることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

例えば、図４に示すように、内部にマグネットを備えるマグネットベース９を振動センサＳに取り付けても良い。マグネットベース９には、振動センサＳの植込みボルト７の先端が挿入される孔１０が形成されており、孔１０の内部は雌ねじが切られている。これにより、振動センサＳとマグネットベース９を螺合させて固定することができる。このようにして振動センサＳにマグネットベース９を取り付ければ、振動センサ用台座１の座面５への振動センサＳの脱着を容易に行うことができる。その結果、設備のオーバーホール時などに振動センサの脱着にかかる時間を短縮することができる。

また、設備の振動診断を行う際には、図５に示すように、ポータブル振動診断装置１１を用いても良い。ポータブル振動診断装置１１は、センサ部１２と操作＆データ処理装置１３を備え、両者は可撓ケーブル１４で接続されている。センサ部１２としてマグネット付振動センサＭＳを設けたポータブル振動診断装置１１を用いれば、振動センサ用台座１に振動センサＭＳを吸着させることができる。この場合、上記実施形態のように振動センサをボルトとナットで固定する必要がなくなり、振動センサの着脱を容易に行うことができる。これにより、機械補修時におけるセンサ脱着施工不良によるセンサケーブルの断線トラブルの頻度を少なくすることができる。

また、図６に示すように、振動センサ用台座１の軸受取り付け面４の近傍にマグネット１５を設けても良い（以下、マグネット付の振動センサ用台座１を「マグネット型台座１６」という）。そして、図７に示すように、ポータブル振動診断装置１１（図５）のセンサ部１２をマグネット型台座１６の座面５に取り付けることにより、１つの振動センサＳで３方向の振動を同時に検出することができるポータブル振動診断装置１７を構成することができる。このような振動診断装置１７を用いれば、１つの振動センサＳで３方向の振動を１方向ずつ測定する従来の振動診断方法に対して診断効率を１／３にすることができる。なお、マグネット１５は、台座１の表面に露出していても良いし、台座内部に埋め込まれていても良い。また、図７においては、可撓ケーブル１４を振動センサＳに接続したものを例示しているが、可撓ケーブル１４をマグネット型台座１６に接続し、その台座１６の座面５に振動センサＳを取り付けても良い。この場合においても、振動診断効率を１／３にすることができる。すなわち、ポータブル振動診断装置のセンサ部にマグネット型台座を設けたものは本発明の技術的範囲に属する。

また、上記実施形態の説明では、診断対象方向を軸方向、水平方向、垂直方向としたが、診断対象方向はこれらの３方向に限定されるものではない。すなわち、回転機械の種類や回転の仕方等に応じ、振動診断への寄与度が低い方向を診断対象方向としなくても良い。この場合、台座の座面は、診断対象方向（例えば２方向）に対してそれぞれ直交する平面と所定の角度をなすように形成されていれば良い。また、診断対象方向は、軸方向、水平方向、垂直方向のように互いに直交する３方向に限定されるものではなく、任意の方向であっても良い。また、診断対象方向の数も任意である。

また、上記実施形態の説明では、回転軸が水平面に対して平行に延びる回転機械について本発明に係る振動診断方法を適用したが、回転軸が例えば鉛直方向に延びる回転機械に適用しても良い。すなわち、振動検出方向と診断対象方向とのなす角に基づいて、振動センサにより検出された振動速度から診断対象方向の振動速度の最大値を算出する振動診断方法は、本発明の技術的範囲に属する。

また、上記実施形態の説明では、振動センサ用台座の形状を直方体の一部が切断されたような形状としたが、台座の形状は、これに限定されるものではない。台座の座面が診断対象方向に直交する平面と所定の角度をなすように（振動検出方向が診断対象方向と所定の角度をなすように）形成されていれば、本発明の技術的範囲に属する。なお、台座の材料についても特に限定されるものではない。また、台座の取り付け位置も軸受側面に限定されるものではなく、例えば、図８（ａ）、（ｂ）に示すように軸受の他の面に取り付けても良いし、軸受以外の部品に取り付けても良い。

また、上記実施形態の説明では、振動センサにより検出された振動速度に基づいて振動速度の最大値を算出することとしたが、振動センサにより検出された振幅に基づいて、振幅の最大値も算出することもできる。また、上記実施形態の説明では、回転機械の振動診断を行うことを前提として説明したが、本発明によれば、一般構造物の振動診断を行うことも可能である。

（比較例１）
図１２に示す従来の振動診断方法によりアンバランス状態にある回転機械の振動速度を測定した。水平方向Ｈの振動速度を測定した結果を図９に示す。図９を見ると、水平方向Ｈの振動速度の大きな波形を確認することができる。アンバランスは、水平方向Ｈの振動が正常時に比べて大きくなりやすいため、振動検出方向が水平方向Ｈに一致するように設置された振動センサにより、アンバランス状態の振動を検出できることが確認できた。

（比較例２）
従来の振動診断方法によりミスアライメント状態にある回転機械の振動速度を測定した。軸方向Ａの振動速度を測定した結果を図１０（ａ）に示し、水平方向Ｈの振動速度を測定した結果を図１０（ｂ）に示す。図１０（ａ）によれば、軸方向Ａの振動速度の大きな波形を確認することができる。一方、図１０（ｂ）によれば、水平方向Ｈの振動速度の波形が小さく、軸受に定常的に振動が生じているか否かを判断することができなかった。ミスアライメントは、軸方向Ａの振動が正常時に比べて大きくなりやすいため、図１０（ａ）に示す通り、振動検出方向が軸方向Ａと一致するように設置された振動センサは、発生する振動を適切に検出することが可能である。一方で、図１０（ｂ）に示す通り、振動検出方向が水平方向Ｈと一致するように設置された振動センサでは、軸方向Ａの振動を検出できないことが確認された。

（実施例）
ミスアライメント状態にある回転機械の振動速度を測定した。図１１（ａ）には、振動検出方向が軸方向Ａと一致するように設置された振動センサを用いて検出した振動速度を示す。また、図１１（ｂ）には、図１に示す本発明に係る振動センサ用台座を軸受に取り付け、その台座の座面に設置した振動センサにより検出した振動検出方向ＡＨＶの振動速度を示す。なお、台座の座面は、当該座面と各診断対象方向（軸方向Ａ、水平方向Ｈ、垂直方向Ｖ）に対して直交する面とのなす角が４５°（振動検出方向ＡＨＶと各診断対象方向とのなす角が４５°）となるように形成されている。

図１１（ａ）、（ｂ）を見ると、いずれも振動速度の大きな波形を確認することができ、軸受に振動が生じているか否かを判断することが可能であった。図１１（ａ）、（ｂ）を比較すると、共に波の周期は概ね一致していた。また、図１１（ａ）においては最大振動速度が約７ｍｍ／ｓであるのに対し、図１１（ｂ）では約５ｍｍ／ｓであり、図１１（ａ）の約０．７倍の最大振動速度であった。本実施例の結果から、振動検出方向ＡＨＶと軸方向Ａとのなす角が４５°である場合、振動センサの振動検出感度が、軸方向Ａに沿って設置した振動検出感度のＣＯＳ４５°倍、すなわち、１／√２倍（約０．７倍）となっていることが確認された。

ここで、回転機械の振動診断において、振動センサＳにより図１１（ｂ）に示す振動速度が検出された場合を考える。この場合、上記実施形態で説明した（式１）を用いれば、振動検出方向ＡＨＶの振動速度から回転機械の診断対象方向に生じる振動速度の最大値を算出することができる。このとき、振動が生じている方向が軸方向Ａと判断することはできないが、（式１）により算出された振動速度と、例えばＩＳＯ１０８１６−１の附属書Ｂに規定される振動速度のゾーン境界値とを比較することにより、回転機械に異常振動が生じていると判定することができる。その後、従来の３方向振動診断を行うことにより、軸方向Ａに振動が生じていることを確認することができ、回転機械がミスアライメント状態にあることが把握できる。

本発明は、回転機械の振動診断に適用することができる。

１ 振動センサ用台座
２ 軸受
３ 軸受側面
４ 軸受取り付け面
５ 座面
６ 孔（座面）
７ 植込みボルト
８ ナット
９ マグネットベース
１０ 孔
１１ ポータブル振動診断装置
１２ センサ部
１３ 操作＆データ処理装置
１４ 可撓ケーブル
１５ マグネット
１６ マグネット型台座
１７ ポータブル振動診断装置（マグネット型台座付）

Ｓ 振動センサ
ＭＳ マグネット付振動センサ
Ａ 軸方向（診断対象方向）
Ｈ 水平方向（診断対象方向）
Ｖ 垂直方向（診断対象方向）
ＡＨＶ 振動検出方向

Claims (7)

1. 回転機械の振動を検出する振動センサを取り付ける振動センサ用台座であって、
   前記振動センサを取り付ける座面が、診断対象方向である前記回転機械の回転軸方向を含む互いに直交する３方向各々に直交する平面のいずれとも異なる面となるように形成されていることを特徴とする振動センサ用台座。
2. 前記座面と、各診断対象方向にそれぞれ直交する各平面とのなす角がそれぞれ等しくなるように前記座面が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の振動センサ用台座。
3. 前記回転機械への取り付け面の近傍にマグネットが設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動センサ用台座。
4. 回転機械の振動を検出するセンサ部を備えたポータブル振動診断装置であって、
   前記センサ部に請求項３に記載の振動センサ用台座が設けられていることを特徴とするポータブル振動診断装置。
5. 振動センサを用いた回転機械の振動診断方法であって、
   前記振動センサの振動検出方向が、診断対象方向である前記回転機械の回転軸方向を含む互いに直交する３方向のいずれとも異なる方向となるように前記振動センサを前記回転機械に設置し、
   前記診断対象方向と前記振動検出方向とのなす角に基づいて、前記振動センサにより検出された振動から前記診断対象方向の振動の最大値を算出し、前記回転機械に異常振動が生じているか否か判定することを特徴とする回転機械の振動診断方法。
6. 各診断対象方向と前記振動検出方向とのなす角がそれぞれ等しくなるように前記振動センサを前記回転機械に設置することを特徴とする請求項５に記載の回転機械の振動診断方法。
7. 前記振動センサにマグネットベースを取り付けて前記振動センサを前記回転機械に設置することを特徴とする請求項５又は６に記載の回転機械の振動診断方法。

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