JP6108519B2 - ドレイン電流のシミュレーション装置及びドレイン電流のシミュレーションプログラム - Google Patents
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Description
これによって、シミュレーション装置は、高速に算出できる一次元のポテンシャル分布を用いて、ドレイン電流を算出する。
かかる構成によれば、シミュレーション装置は、フェルミ準位演算手段によって、半導体膜のフラットバンド条件でのフェルミ準位を、フェルミ準位についての方程式である式(18)から算出する。次に、シミュレーション装置は、電荷担体密度演算手段によって、フェルミ準位演算手段により算出したフェルミ準位を、式(5)、式(6)、式(A9)、式(B10)及び式(C9)に代入して、半導体膜のフラットバンド条件での、それぞれホール密度、電子密度、正に帯電したドナー型欠陥のディープステート(Deep state)における密度、負に帯電したアクセプタ型欠陥のディープステート(Deep state)における密度及び負に帯電したアクセプタ型欠陥のテールステート(Tail state)における密度を、電荷担体密度として算出する。
ここで、式(18)は、次のとおりである。
また、kはボルツマン定数、Tは絶対温度、qは電気素量である。
更に、ρは半導体膜の電荷密度、p0は半導体膜のフラットバンド条件におけるホール密度、n0は半導体膜のフラットバンド条件における電子密度、Ndd0 +は半導体膜のフラットバンド条件における正に帯電したドナー型欠陥のディープステートにおける密度、Nad0 −は半導体膜のフラットバンド条件における負に帯電したアクセプタ型欠陥のディープステートにおける密度、Nat0 −は半導体膜のフラットバンド条件における負に帯電したアクセプタ型欠陥のテールステートにおける密度、gdd0は半導体膜の価電子帯上端でのドナー型欠陥のディープステートにおける状態密度、gad0は半導体膜の伝導帯下端でのアクセプタ型欠陥のディープステートにおける状態密度、gat0は半導体膜の伝導帯下端でのアクセプタ型欠陥のテールステートにおける状態密度、Evは半導体膜の価電子帯上端のエネルギー、Ecは半導体膜の伝導帯下端のエネルギー、Efは半導体膜のフラットバンド条件でのフェルミ準位、Eddは半導体膜のドナー型欠陥のディープステートにおける状態密度分布の傾きの逆数、Eadは半導体膜のアクセプタ型欠陥のディープステートにおける状態密度分布の傾きの逆数、Eatは半導体膜のアクセプタ型欠陥のテールステートにおける状態密度分布の傾きの逆数、niは半導体膜の真性キャリア密度、Eiは半導体膜の真性フェルミ準位、εscは半導体膜の誘電率、tscは半導体膜の膜厚、φはポテンシャル、φ(x)はポテンシャル分布、n(x)はキャリア密度分布、Nはキャリア面密度、Ndは半導体の実効的なドナー密度である。
また、Lは前記半導体膜のチャネル長、Wは前記半導体膜のチャネル幅、μは前記半導体膜における電子の移動度、Vdsはドレイン−ソース間電圧、φnは電子の擬フェルミポテンシャルを示し、φn(y)は前記チャネル長方向の位置yにおける電子の擬フェルミポテンシャルであって、φn(0)=0、φn(L)=Vdsである。
更に、Idはドレイン電流、Qはキャリア面電荷密度、Q0は前記半導体膜のキャリア長方向の位置y=0におけるキャリア面電荷密度、QLは前記半導体膜のキャリア長方向の位置y=Lにおけるキャリア面電荷密度、φsは前記半導体膜の厚さ方向の位置x=0におけるポテンシャル、φs0は前記半導体膜の厚さ方向の位置x=0、かつ前記半導体膜のチャネル長方向の位置y=0におけるポテンシャル、φsLは前記半導体膜の厚さ方向の位置x=0、かつ前記半導体膜のチャネル長方向の位置y=Lにおけるポテンシャル、である。
かかる構成によれば、シミュレーション装置は、計算範囲設定手段によって、所定の範囲における複数のドレイン−ソース間電圧及び/又はゲート−ソース間電圧をポテンシャル分布の計算条件として順次にポテンシャル分布演算手段に設定する。次に、シミュレーション装置は、ポテンシャル分布演算手段によって、当該ドレイン−ソース間電圧及び/又はゲート−ソース間電圧におけるポテンシャル分布を算出する。そして、シミュレーション装置は、前記したドレイン電流演算手段によってドレイン電流を算出する。また、シミュレーション装置は、計算範囲設定手段によって、所定の範囲におけるドレイン−ソース間電圧及び/又はゲート−ソース間電圧を逐次変化させ、前記したドレイン電流演算手段によって、順次に設定されたドレイン−ソース間電圧及び/又はゲート−ソース間電圧に対応するドレイン電流を算出する。これによって、シミュレーション装置は、ドレイン電流と、その計算の基になったポテンシャル分布の計算条件としたドレイン−ソース間電圧及び/又はゲート−ソース間電圧とを対応付けたドレイン電流のドレイン電圧依存性及び/又はゲート電圧依存性を計算する。
また、バンドギャップ中に指数関数型の状態密度を持つドナー型欠陥のディープステートにおける密度と、アクセプタ型欠陥のディープステートにおける密度と、アクセプタ型欠陥のテールステートにおける密度とを考慮に含めて、電子の擬フェルミポテンシャルを考慮した一次元ポアソン方程式を数値解析してポテンシャル分布を計算し、チャネル長方向の2以上の位置における一次元ポテンシャル分布に基づいてドレイン電流を計算するようにしたため、半導体膜中にキャリアを捕獲する欠陥を含む蓄積型のTFTについて、広い範囲のドレイン−ソース間電圧に対するドレイン電流を高速かつ高精度に計算することができる。
請求項2に記載の発明によれば、チャネル長方向の両端の位置における一次元ポテンシャル分布に基づいてドレイン電流を計算するようにしたため、半導体膜中にキャリアを捕獲する欠陥を含む蓄積型のTFTについて、ドレイン電流の基本特性を高速かつ高精度に計算することができる。
請求項3に記載の発明によれば、半導体膜中にキャリアを捕獲する欠陥を含む蓄積型のTFTについて、ドレイン電流のドレイン電圧依存特性及び/又はゲート電圧依存特性を計算することができる。
まず、ドレイン電流を計算方法について説明する。
図1は本発明におけるドレイン電流の計算方法を説明するためのTFTの断面を模式的に示したものである。このTFTは、図面において半導体膜SCの左右方向の両端にそれぞれソース電極Sとドレイン電極Dとが設けられ、図面において半導体膜SCの下方向には、ゲート絶縁膜INを挟んでゲート電極Gが設けられているボトムゲート、トップコンタクト型の電界効果型トランジスタ(FET)である。なお、本実施形態では、ボトムゲート、トップコンタクト型のTFTを例に説明するが、本発明が適用できるTFTは、この構造に限定されるものではない。
ここで、半導体膜SC中のポアソン方程式は、チャネル長Lがゲート絶縁膜INの厚さに対して極端に短くない場合は、グラデュアルチャネル近似より、式(1)のように、一次元の方程式で表すことができる。ここで、チャネル長Lがゲート絶縁膜INの厚さtinに対して極端に短くない場合とは、例えば、ゲート絶縁膜INの厚さtinを100[nm]としたときに、チャネル長Lが5μm程度以上の場合にグラデュアルチャネル近似をすることができる。また、グラデュアルチャネル近似とは、ドレイン−ソース間の電圧のチャネル長方向(y方向)の変化が緩やかであるため、y方向の電界を無視するという近似である。
また、「ディープステート(Deep state)」及び「テールステート(Tail state)」についての説明は後記する。
なお、p型TFTについて計算を行う場合は、n型TFTについての計算の際に電子密度n及び後記するアクセプタ型欠陥の密度Nad −、Nat −(式(13−2)及び式(16−2)参照)に電子の擬フェルミポテンシャルφnを導入することに代えて、ホール密度p及びドナー型欠陥の密度Ndd +にホールの擬フェルミポテンシャルφpを導入する(式(3)及び式(10)において、φを(φ−φp)に置き換える)。この場合、電子密度n及びアクセプタ型欠陥の密度Nad −、Nat −には、電子の擬フェルミポテンシャルφnの導入は不要である。
但し、後記するように、寄生抵抗の影響が無視できない場合には、ドレイン端(y=L)において、φn=Vds−effとなる。ここで、Vds−effは、寄生抵抗による電圧降下の影響を考慮した、実効的なドレイン−ソース間電圧である。なお、実効的なドレイン−ソース間電圧Vds−effについての詳細な説明は後記する。
次に、式(8)の積分計算は数値的に行う必要があるが、「Edd>kT」であることを考慮することにより、解析的な近似解が得ることができる。この近似解の導出について説明する。
次に、半導体膜SCの電気的中性条件に基づいて、フラットバンド条件でのフェルミ準位Efを計算するプロセスについて説明する。
式(2)に、式(3)、式(4−2)、式(10)、式(13−2)及び式(16−2)を代入して、フラットバンド条件「φ=0」において、半導体膜SCにおける電気的中性条件である「ρ=0」及び「φn=0」とすることで、式(17)が得られる。
次に、式(18)から算出したフェルミ準位Efを、式(5)、式(6)、式(A9)、式(B10)及び式(C9)に代入することで、半導体膜SCのフラットバンド条件での電荷担体密度として、ホール密度p0、電子密度n0、正に帯電したドナー型欠陥(Deep state)の密度Ndd0 +、負に帯電したアクセプタ型欠陥(Deep state)の密度Nad0 −、負に帯電したアクセプタ型欠陥(Tail state)の密度Nat0 −が得られる。そして、これらの電荷担体密度を用いて、ポテンシャル分布の計算を行う。
式(1)に示したポアソン方程式は、差分化することで、例えば、直接法であるガウスの消去法や、反復法であるヤコビ法などの公知の手法を用いた数値解析によって、その解を求めることができる。これによって、x方向(深さ方向)のポテンシャル分布の算出を行うことができる。
まず、ゲート電極Gにおけるポテンシャルφは、ゲート−ソース間電圧Vgsとフラットバンド電圧Vfbとの差「Vgs−Vfb」とする。また、ゲート絶縁膜INと半導体膜SCとの界面(x=0)において、電束密度が連続となるようにする。更にまた、「x>tsc」となる領域、すなわち半導体膜SCの上面側(図1参照)に、十分に厚い絶縁膜層があるものと仮定し、x=tscにおいて電界Eがほぼゼロとなるようにする。
半導体膜SC中のキャリア密度分布は、ポアソン方程式を解いて得られるポテンシャル分布から計算することができる。
式(4−2)において、位置xにおけるポテンシャルをφ(x)とすると、位置xにおけるキャリア密度(電子密度)n(x)は、式(19)で与えられる。
キャリア面密度Nは、式(20)に示すように、キャリア密度n(x)を、厚さ方向にx=0からx=tscまで積分することにより算出することができる。
ドレイン電流Idは、式(23)に示すように、拡散電流成分Idiffと、ドリフト電流成分Idriftの和として与えられる。ここで、チャネル長方向であるy方向において、ソース端をy=0とし、ドレイン端をy=Lとし、y方向の電界がx方向(深さ方向)について一定であると近似すると、拡散電流成分Idiff及びドリフト電流成分Idriftは、それぞれ式(24)及び式(25)のように表すことができる。
式(24)において、N(y)はチャネル長方向の位置yにおけるキャリアの面密度であり、式(25)において、φs(y)は位置yにおけるゲート絶縁膜INと半導体膜SCとの界面(x=0)におけるポテンシャル(表面ポテンシャル)である。
式(27)において、QL及びQ0は、それぞれ、y=L及びy=0におけるキャリア面電荷密度であり、Q0=−qN0、QL=−qNLの関係が成り立つ。
なお、このとき、Q=−qNの関係を用いた。
式(31)において、myは正の整数であり、関数をy方向に離散化する際のドレイン−ソース間電圧Vdsの分割数を示す。myを大きな値にするほど、離散化した関数の間隔が小さくなり、元の連続関数をより忠実に表現できるため、計算精度を高くすることができる。
なお、式(30)の右辺の第一項におけるキャリア面電荷密度Q0及びQLは、第二項の積分計算のためのキャリア面電荷密度Qrにおいて、それぞれr=0及びr=50の場合のキャリア面電荷密度として算出される値を用いることができる。
以上の計算プロセスにより、任意の大きさのドレイン−ソース間電圧Vdsに対してドレイン電流Idを算出することができる。
ここで、ゲート電圧Vgの値は、ドレイン電流計算プロセスにおいて、ポテンシャル分布φ(x)を計算する際の境界条件を定めるために用いられる。すなわち、ゲート電極Gにおけるポテンシャルφ=Vgs−Vfb=(Vg−Vs)−Vfbを算出するために用いられる。
また、図5に示すように、トランジスタに寄生抵抗がある場合、すなわち、寄生抵抗の影響を無視することができない場合には、その影響を考慮してドレイン電流Idを計算する必要がある。なお、図5に示した例では、ソース電極側とドレイン電極側とに、同じ抵抗値Rの寄生抵抗があるものと仮定している。
また、式(40)に示したドレイン電流Idの算出式において寄生抵抗の影響を考慮すると、式(40)は、ドレイン−ソース間電圧Vdsを実効的なドレイン−ソース間電圧Vds−effに代えて、式(42)にように表すことができる。
そして、式(42)に、式(41)を代入して整理することで、ドレイン−ソース間電圧Vdsと実効的なドレイン−ソース間電圧Vds−effとの関係を示す式(43)が得られる。
図6に示すように、本実施形態におけるシミュレーション装置(ドレイン電流のシミュレーション装置)1は、デバイスパラメータ入力手段10、フェルミ準位演算手段11、電荷担体密度演算手段12、計算範囲設定手段13、ポテンシャル分布演算手段14、キャリア密度分布演算手段15、キャリア面密度演算手段16、ドレイン電流演算手段17、パラメータ記憶手段18、電荷担体密度記憶手段19及びドレイン電流記憶手段20を備えて構成されている。
以下、各手段について詳細に説明する。
以下、デバイスパラメータ、固有パラメータなどを合わせて、適宜「デバイスパラメータ等」という。
同様に、ドレイン電圧Vdも、ドレイン電圧Vdの設定範囲として、ドレイン電圧の初期値Vd0と、ドレイン電圧の最大値Vdmaxと、ドレイン電圧を変化させる間隔ΔVdとを入力する。そして、計算範囲設定手段13は、入力した初期値Vd0と、最大値Vdmaxと、間隔ΔVdとに基づいて、順次、Vd0,Vd0+ΔVd,Vd0+2×ΔVd,・・・,Vdmaxのように変化させて、ドレイン電圧Vdとしてポテンシャル分布演算手段14に設定する。
キャリア密度分布演算手段15は、算出したキャリア密度分布n(x)を、キャリア面密度演算手段16に出力する。
キャリア面密度演算手段16は、算出したキャリア面密度Nをドレイン電流演算手段17に出力する。
なお、ドレイン電流演算手段17は、ドレイン電流Idを、ゲート電圧Vgに代えて、ゲート−ソース間電圧Vgsに対応付けてドレイン電流記憶手段20に記憶するようにしてもよい。また、ドレイン電流演算手段17は、ドレイン電流Idを、ドレイン電圧Vdに代えて、ドレイン−ソース間電圧Vdsに対応付けてドレイン電流記憶手段20に記憶するようにしてもよい。
次に、図7を参照(適宜図1及び図6参照)して、本実施形態におけるドレイン電流のシミュレーション装置1の動作について説明する。
一方、大きい場合は(ステップS20でYes)、ドレイン電圧Vdの条件を変更するためのステップS21に進む。
一方、大きい場合は(ステップS22でYes)、所定の計算範囲におけるドレイン電流Idの計算が終了したため、シミュレーション装置1は、処理を終了する。
本実施例におけるシミュレーション条件として、半導体膜はIGZO、ゲート絶縁膜はSiO2とした。また、チャネル長L=80[μm]とし、チャネル幅W=130[μm]とした。
また、欠陥密度のパラメータとして、伝導帯下端のエネルギーEcでのアクセプタ型欠陥(Deep state)状態密度gad0を、0〜2×1019[cm−3eV−1]まで、5×1018[cm−3eV−1]間隔で設定し、アクセプタ型欠陥(Deep state)の状態密度分布の傾きの逆数Eadを0.1[eV]、ドレイン−ソース間電圧Vdsを1[V]とした。
図9及び図10に示すように、広範囲なゲート電圧Vg(ゲート−ソース間電圧Vgs)及びドレイン電圧Vd(ドレイン−ソース間電圧Vds)において、計算結果が実測値を再現しており、本シミュレーション装置の有効性を示している。
式(30)を用いた図9に示した半導体膜厚tsc=30[nm]のTFTのドレイン電流Idのゲート電圧依存性の計算において、ドレイン−ソース間電圧Vds=10[V]とし、半導体膜SC中におけるメッシュのサイズをΔx=0.5[nm]とし、また、数値計算にBSDライセンス(Berkeley Software Distribution License)で提供されるオープンソフトウェアである数値解析ソフトウェアライブラリLAPACK(Linear Algebra PACKage)を用いた場合、200点のゲート電圧Vgについて計算に要した時間は20秒程度であった。
また、式(35)を用いた図11に示した半導体膜厚tsc=30[nm]のTFTのドレイン電流Idのゲート電圧依存性の計算において、ドレイン−ソース間電圧Vds=1[V]とし、半導体膜SC中におけるメッシュのサイズをΔx=0.5[nm]とし、また、数値計算に数値解析ソフトウェアライブラリLAPACKを用いた場合、200点のゲート電圧Vgについて計算に要した時間は0.5秒程度であった。
以上から、本発明のシミュレーション装置により、半導体膜SC中にキャリアを捕獲する欠陥を含む蓄積型のTFTにおいて、高速かつ高精度なドレイン電流Idの計算が実現されていることが分かる。
10 デバイスパラメータ入力手段
11 フェルミ準位演算手段
12 電荷担体密度演算手段
13 計算範囲設定手段
14 ポテンシャル分布演算手段
15 キャリア密度分布演算手段
16 キャリア面密度演算手段
17 ドレイン電流演算手段
18 パラメータ記憶手段
19 電荷担体密度記憶手段
20 ドレイン電流記憶手段
S ソース電極
D ドレイン電極
G ゲート電極
SC 半導体膜
IN ゲート絶縁膜
Claims (4)
- シミュレーションの対象が半導体膜中にキャリアを捕獲する欠陥を含む蓄積型の薄膜トランジスタであって、前記半導体膜と絶縁膜とゲート電極とをこの順で積層した構造を有する電界効果型の前記薄膜トランジスタについて、ドレイン電極とソース電極との間の電流であるドレイン電流を計算するドレイン電流のシミュレーション装置であって、
前記半導体膜の電荷密度として、電子密度、ホール密度、ドナー密度、及びバンドギャップ中に指数関数型の状態密度を持つアクセプタ型欠陥とドナー型欠陥の密度を考慮して、一次元ポアソン方程式を解くことにより半導体膜中の深さ方向のポテンシャル分布を計算するポテンシャル分布演算手段と、
前記ポテンシャル分布演算手段により算出したポテンシャル分布を用いて前記半導体膜中の深さ方向のキャリア密度分布を算出するキャリア密度分布演算手段と、
前記キャリア密度分布演算手段により算出したキャリア密度分布を前記半導体膜の深さ方向の全範囲について積分して前記半導体膜中のキャリア面密度を算出するキャリア面密度演算手段と、
前記半導体膜のチャネル長方向についての2以上の位置において、前記キャリア面密度演算手段により算出したキャリア面密度に電気素量を乗じたキャリア面電荷密度及び前記ポテンシャル分布演算手段により算出したポテンシャル分布における前記半導体膜と前記絶縁膜との界面におけるポテンシャルを用いて、前記ドレイン電流を計算するドレイン電流演算手段と、
前記半導体膜のフラットバンド条件でのフェルミ準位を、前記フェルミ準位についての方程式である式(18)から算出するフェルミ準位演算手段と、
前記フェルミ準位演算手段により算出したフェルミ準位を、式(5)、式(6)、式(A9)、式(B10)及び式(C9)に代入して、前記半導体膜のフラットバンド条件での、それぞれホール密度、電子密度、正に帯電したドナー型欠陥のディープステート(Deep state)における密度、負に帯電したアクセプタ型欠陥のディープステート(Deep state)における密度及び負に帯電したアクセプタ型欠陥のテールステート(Tail state)における密度を、電荷担体密度として算出する電荷担体密度演算手段と、を備え、
前記ポテンシャル分布演算手段は、前記一次元ポアソン方程式である式(1)を差分化し、前記ゲート電極におけるポテンシャルが前記ゲート電極及び前記ソース電極の間の電圧であるゲート−ソース間電圧とフラットバンド電圧との差に等しいことを境界条件として、数値解析することで算出し、
前記キャリア密度分布演算手段は、前記キャリア密度分布を、式(19)から算出し、
前記キャリア面密度演算手段は、前記キャリア面密度を、式(20)によって算出し、
前記ドレイン電流演算手段は、前記ドレイン電流を、式(30)によって算出し、
前記式(18)は、
ここで、前記式(5)、式(6)、式(A9)、式(B10)及び式(C9)は、
前記式(1)は、
ここで、
前記式(19)は、
前記式(20)は、
前記式(30)は、
ここで、
β=q/kT、
γd=q/Edd、
γa=q/Ead、
であり、
kはボルツマン定数、
Tは絶対温度、
qは電気素量、
ρは前記半導体膜の電荷密度、
pは前記半導体膜のホール密度、
nは前記半導体膜の電子密度、
Ndd +は前記半導体膜の正に帯電したドナー型欠陥のディープステートにおける密度、
Nad −は前記半導体膜の負に帯電したアクセプタ型欠陥のディープステートにおける密度、
Nat −は前記半導体膜の負に帯電したアクセプタ型欠陥のテールステートにおける密度、
p0は前記半導体膜のフラットバンド条件におけるホール密度、
n0は前記半導体膜のフラットバンド条件における電子密度、
Ndd0 +は前記半導体膜のフラットバンド条件における正に帯電したドナー型欠陥のディープステートにおける密度、
Nad0 −は前記半導体膜のフラットバンド条件における負に帯電したアクセプタ型欠陥のディープステートにおける密度、
Nat0 −は前記半導体膜のフラットバンド条件における負に帯電したアクセプタ型欠陥のテールステートにおける密度、
gdd0は前記半導体膜の価電子帯上端でのドナー型欠陥のディープステートにおける状態密度、
gad0は前記半導体膜の伝導帯下端でのアクセプタ型欠陥のディープステートにおける状態密度、
gat0は前記半導体膜の伝導帯下端でのアクセプタ型欠陥のテールステートにおける状態密度、
Evは前記半導体膜の価電子帯上端のエネルギー、
Ecは前記半導体膜の伝導帯下端のエネルギー、
Efは前記半導体膜のフラットバンド条件でのフェルミ準位、
Eddは前記半導体膜のドナー型欠陥のディープステートにおける状態密度分布の傾きの逆数、
Eadは前記半導体膜のアクセプタ型欠陥のディープステートにおける状態密度分布の傾きの逆数、
Eatは前記半導体膜のアクセプタ型欠陥のテールステートにおける状態密度分布の傾きの逆数、
niは前記半導体膜の真性キャリア密度、
Eiは前記半導体膜の真性フェルミ準位、
εscは前記半導体膜の誘電率、
tscは前記半導体膜の膜厚、
φはポテンシャル、
φ(x)はポテンシャル分布、
n(x)はキャリア密度分布、
Nはキャリア面密度、
Ndは前記半導体膜の実効的なドナー密度、
xは前記半導体膜の厚さ方向の位置(前記半導体膜と前記絶縁膜との界面を0とし、前記半導体膜と前記ソース電極及び前記ドレイン電極との界面をtscとする)、
yは前記半導体膜のチャネル長方向の位置(前記ソース電極の前記ドレイン電極側の端部を0とし、前記ドレイン電極の前記ソース電極側の端部をLとする)、
Lは前記半導体膜のチャネル長、
Wは前記半導体膜のチャネル幅、
μは前記半導体膜における電子の移動度、
Vdsはドレイン−ソース間電圧、
φnは電子の擬フェルミポテンシャル、
φn(y)は前記チャネル長方向の位置yにおける電子の擬フェルミポテンシャルであって、φn(0)=0、φn(L)=Vdsであり、
Idはドレイン電流、
Qはキャリア面電荷密度、
Q0は前記半導体膜のキャリア長方向の位置y=0におけるキャリア面電荷密度、
QLは前記半導体膜のキャリア長方向の位置y=Lにおけるキャリア面電荷密度、
φsは前記半導体膜の厚さ方向の位置x=0におけるポテンシャル、
φs0は前記半導体膜の厚さ方向の位置x=0、かつ前記半導体膜のチャネル長方向の位置y=0におけるポテンシャル、
φsLは前記半導体膜の厚さ方向の位置x=0、かつ前記半導体膜のチャネル長方向の位置y=Lにおけるポテンシャル、
であることを特徴とするドレイン電流のシミュレーション装置。 - 所定の範囲における複数の前記ドレイン−ソース間電圧及び/又は前記ゲート−ソース間電圧を前記ポテンシャル分布の計算条件として順次に前記ポテンシャル分布演算手段に設定する計算範囲設定手段を更に備え、
前記ポテンシャル分布に基づいて算出されたドレイン電流と、当該ポテンシャル分布の計算条件とした前記ドレイン−ソース間電圧及び/又は前記ゲート−ソース間電圧とを対応付けた前記ドレイン電流のドレイン電圧依存性及び/又はゲート電圧依存性を計算することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のドレイン電流のシミュレーション装置。 - コンピュータを、請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載のドレイン電流のシミュレーション装置として機能させるためのドレイン電流のシミュレーションプログラム。
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