JP6107331B2 - 光導波路素子 - Google Patents
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Description
(1) 光導波路と信号電極を含む制御電極が形成された、厚さ20μm以下の主基板と、該主基板を保持するための保持基板と、該主基板と該保持基板とは、互いに対向する面が平面で形成されており、該主基板と該保持基板とが接着層を介して接合されており、該主基板の端部には、他の光学部品が接合された光導波路素子において、該主基板に形成された該信号電極が配置された位置から該主基板の端部までの間で、該主基板の端部の近傍には、該接着層の一部が除去された空間が存在し、該主基板の該端部と異なる側面側で該空間は光導波路素子の外部と連通していることを特徴とする。
本発明は、図1乃至3に示すように、光導波路が形成された主基板と、該主基板を保持するための保持基板と、該主基板と該保持基板とが接着層を介して接合されており、該主基板の端部には、他の光学部品が接合された光導波路素子において、該主基板の端部の近傍には、該接着層の一部が除去された空間が存在し、該空間は光導波路素子の外部と連通していることを特徴とする。図1は光導波路素子の平面図であり、図2は、図1の矢印A−Aにおける断面図である。図3は、図2の光導波路素子に他の光学部品を接続し、接着層が熱膨張した様子を示す。
Claims (5)
- 光導波路と信号電極を含む制御電極が形成された、厚さ20μm以下の主基板と、
該主基板を保持するための保持基板と、
該主基板と該保持基板とは、互いに対向する面が平面で形成されており、
該主基板と該保持基板とが接着層を介して接合されており、
該主基板の端部には、他の光学部品が接合された光導波路素子において、
該主基板に形成された該信号電極が配置された位置から該主基板の端部までの間で、該主基板の端部の近傍には、該接着層の一部が除去された空間が存在し、該主基板の該端部と異なる側面側で該空間は光導波路素子の外部と連通していることを特徴とする光導波路素子。 - 請求項1に記載の光導波路素子において、該接着層の一部が除去された領域では、該主基板の端部を除き、該主基板の一部が除去されていることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1又は2に記載の光導波路素子において、該接着層の除去された空間は、該主基板の端部から10mm以内に少なくとも1箇所以上設けられていることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の光導波路素子において、該接着層の一部が除去された空間は、該主基板上に信号電極が配置された位置から該主基板の端部までの間に、少なくとも1箇所以上設けられていることを特徴とする光導波路素子。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の光導波路素子において、該主基板の最も厚い部分の厚みが200μm以下であることを特徴とする光導波路素子。
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