JP6089548B2 - 平行度測定方法 - Google Patents
平行度測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6089548B2 JP6089548B2 JP2012223072A JP2012223072A JP6089548B2 JP 6089548 B2 JP6089548 B2 JP 6089548B2 JP 2012223072 A JP2012223072 A JP 2012223072A JP 2012223072 A JP2012223072 A JP 2012223072A JP 6089548 B2 JP6089548 B2 JP 6089548B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angle
- reflected
- measured surface
- reflected beam
- parallelism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
図1は、第1の実施形態に係る平行度測定方法を説明するための図である。図1において、第1装置1の下部に保持されている吸着ヘッド101の底面(第1被測定面3)と、第2装置2の上部に配置された盤201の上面(第2被測定面4)の二面の平行度をオートコリメータ20を用いて測定することを想定している。ここで、図1に示すように、吸着ヘッド101の底面と盤201の上面の平行度を測定するために、厚みが均一な上部ミラー5が反射面を下に吸着ヘッド101に吸着された状態で包含されており、厚みが均一な下部ミラー6が反射面を上側にして盤201の上面に配置されている。
図3は、経路Aの光を示している。この光は、ビームスプリッタ71の45度の面10の界面で反射し、下部ミラー6で反射して、再び45度の面10の界面で反射し、第1反射ビーム25となってオートコリメータ20に戻る。ここで、ビームスプリッタ71の45度の面10の傾斜角を(45+θb)度、下部ミラー6の傾斜角をθlとすると、第1反射ビーム25の入射光ビーム24に対する角度差は、式(1)で表される。
4θb−2θl 式(1)
2θb−θl 式(2)
A−1.ビームスプリッタ71の45度の面10の界面で反射し、再びビームスプリッタ71の45度の面10で反射する。
A−2.下部ミラー6で反射する。
A−1.図24は、45度の反射面10に角度誤差θbがある場合に、反射光の入射光に対する角度を示す図である。ここで、下部ミラー6は入射光に平行に置かれているものとする。図24に示すように、反射光の入射光に対する角度は、4θbとなる。
A−2.下部ミラー6が左回りにθl傾いているとすると、図23で説明したように、反射光の入射光に対する角度は、2θlとなる。
従って、A−1、A−2の経路を合わせると、式(1)が導き出される。
図4は、経路Bの光を示している。この光は、ビームスプリッタ71の45度の面10の界面で反射し、下部ミラー6で反射し、45度の面10を透過し、上部ミラー5で反射し、再び45度の面10を通過し、再び下部ミラー6で反射し、再び45度の面10の界面で反射し、第2反射ビーム26となってオートコリメータ20に戻る。ビームスプリッタ71の45度の面10の傾斜角を(45+θb)度、上部ミラー5の傾斜角をθu、下部ミラー6の傾斜角をθlとすると、第2反射ビーム26の入射光ビーム24に対する角度は、式(3)で表される。
4θb−4θl+2θu 式(3)
2θb−2θl+θu 式(4)
B−1.ビームスプリッタ71の45度の面10の界面で反射し、再びビームスプリッタ71の45度の面10の界面で反射する。
B−2.下部ミラー6で反射する。
B−3.上部ミラー5で反射する。
B−1.経路AのA−1と同じになる。
B−2.経路AのA−2と同じである。但し、下部ミラー6を2回反射することになるので、反射光は入射光に対して、4θlの角度差を持つことになる。
B−3.上部ミラー5が左回りにθu傾いていると、反射光は入射光に対して2θuの角度差を持つことになる。
従って、B−1、B−2、及びB−3の経路を合わせると、式(3)が導き出される。
2θu−2θl 式(5)
θu−θl 式(6)
ここで、Δθx=θx2−θx1 式(8)
Δθy=θy2−θy1 式(9)
尚、δは、ウェッジ基板8の屈折率n、ウェッジ基板8の角度αにより決まる値である(式(24)を参照)。δの具体的な計算方法については、後述する。
Δθx=a−θx1 式(11)
Δθy=b−θy1 式(12)
(Δθx、Δθy)≦(θxth、θyth) 式(13)
ここで、θxth、θythは、それぞれ角度誤差のx成分、y成分の閾値である。また、θthは、角度誤差の大きさの閾値である。ここで、θxth、θyth、θthは、要求される平行度により適宜設定する。例えば、秒オーダの平行度を要求する場合は、0.001〜0.005度の範囲に設定するのが望ましい。
第2反射ビームの角度261の円弧軌跡の半径δの算出方法について図15を参照しながら説明する。図15において、ウェッジ基板8は両面が平行でなく小さな角度αを有しており、ウェッジ基板8を入射光に対しθa度傾けると、透過光は入射光に対してθw度傾く。ウェッジ基板8の屈折率をn、入射光のウェッジ基板8内の屈折角をβ、出射角をγとすると、これらの関係は、特許文献2に記載されているように、式(15)〜(17)で表される。
n・sinβ = sinθa 式(15)
sinγ = n・sin(α+β) 式(16)
θw = γ−(α+θa) 式(17)
θw≒(n−1)・α 式(18)
従って、ウェッジ基板8を通過した光は、式(18)で示される角度分の角度ずれが生じる。ここで、ウェッジ基板の角度αが十分に小さいものとすると、θwも十分小さいので、ウェッジ基板8を通過した光が水平面に直角な面で反射して、再びウェッジ基板8に戻ってきた光の角度変化は式(18)と同じになることから、ウェッジ基板8を往復した光には、式(19)の角度ずれが生じる。
2・(n−1)・α 式(19)
2・θu−2・θl+2・(n−1)・α 式(20)
一方、第1被測定面3と第2被測定面4の角度差Δθhは、式(21)になる。
Δθh = θu−θl 式(21)
従って、式(20)と式(21)から、式(20)は式(22)になる。
2・Δθh+2・(n−1)・α 式(22)
オートコリメータ20による測定では、実際の角度の半分の値で表示されるので、式(22)より、オートコリメータ20による第1反射ビーム25と第2反射ビーム26の角度差は式(23)となる。
Δθh+(n−1)・α 式(23)
ここで、式(23)の第2項が、第2反射ビーム26の円弧軌跡の半径の角度δに相当する(式(24))。
δ=(n−1)・α 式(24)
次に、第1の実施形態の変形例について、図16を参照しながら詳細に説明する。図16は第1の実施形態の変形例に係る平行度測定方法を示すフローチャートである。第1の実施形態との相違点は、第1の実施形態の変形例では、図5(第1の実施形態)におけるステップS12〜S14を行わずに、最初からウェッジ基板8を挿入して、第2の平行度測定方法による測定とその測定結果に基づく平行度調整を行っている点である。但し、図16における第2の平行度測定方法では、第1反射ビームの角度251は測定しておく必要があるため、ステップS11を含んでいる。図16における各ステップは、図5における対応するステップと、それぞれ同じであるため重複する説明は省略する。
次に、第2の実施形態について、図17を参照しながら詳細に説明する。図17は第2の実施形態に係る平行度測定方法を示す図である。第2の実施形態では、ビームスプリッタ71の設定を上下逆にしている。また、ウェッジ基板8を光路中に挿入する場合には、ウェッジ基板8をビームスプリッタ71と下部ミラー6の間に挿入する。その他の点は第1の実施形態と同様である。
次に、第3の実施形態について、説明する。第1の実施形態では、第1被測定面3の角度(即ち、上部ミラー5の角度)を調整して、第1被測定面3と第2被測定面4の角度を平行に合わせている。一方、第3の実施形態では、図1に示す構成において、第2被測定面4(即ち、下部ミラー6の角度)を調整して二面の平行度を合わせる点が第1の実施形態と相違する点である。その他の点については、第1の実施形態と同様であり、重複する説明は省略する。
次に、第4の実施形態について、図18〜20を参照しながら詳細に説明する。第4の実施形態の第1の実施形態に対する差異は、第4の実施形態では、ウェッジ基板8をビームスプリッタ71と下部ミラー6の間に挿入する点である。
δ’=(n−1)・α’ 式(25)
Δθx = a2−a1 式(26)
Δθy = b2−b1 式(27)
式(26)〜(27)によるΔθx、Δθyは、それぞれ第1被測定面3と第2被測定面4の角度差のx成分とy成分に対応している。
次に、第5の実施形態について、図21を参照しながら説明する。図21は、第5の実施形態に係る平行度測定方法を示す図である。第5の実施形態の第1の実施形態に対する差異は、プレート型ビームスプリッタ72を使用している点である。その他の点は第1の実施形態と同じであるため重複する説明は省略する。
2:第2装置
3:第1被測定面
4:第2被測定面
5:上部ミラー(第1被測定面)
6:下部ミラー(第2被測定面)
8:ウェッジ基板
10:45度の面(半透過部材)
11、12:面
20:オートコリメータ
21:表示装置
22:演算装置
23:記憶装置
24:入射光ビーム
25:第1反射ビーム
26:第2反射ビーム
30:ウェッジ基板の法線
31:第2反射ビームの角度の軌跡中心
32、34:第2反射ビームの角度の軌跡
33:第1反射ビームの角度の軌跡
42:戻り光
60:半導体レーザ
61:第1コリメータレンズ
62:ビームスプリッタ
63:被測定面
64:第2コリメータレンズ
65:CCD
66:光ビーム
67:コリメート光
68:反射コリメート光
69:集光光
71:キューブ型ビームスプリッタ(ビームスプリッタ)(反射部材)
72:プレート型ビームスプリッタ(反射部材)
101:吸着ヘッド
201:盤
251:第1反射ビームの角度
261:第2反射ビームの角度
Claims (10)
- 光反射性とした第1被測定面と、光反射性とした第2被測定面との平行性を、反射部材を用いて測定する方法であって、
前記反射部材は半透過部材を含み、入射光の一部を反射し且つ一部を透過する性質を有し、
前記反射部材の前記半透過部材の表面が前記第2被測定面に対して略45度の角度になるように配置するステップと、
入射光ビームが前記反射部材の半透過部材の界面で反射し、次いで前記第2被測定面で反射し、再び前記反射部材の半透過部材の界面で反射して入射方向へ戻る、第1反射ビームの角度を測定するステップと、
前記入射光ビームが前記反射部材の半透過部材の界面で反射し、次いで前記第2被測定面で反射し、次いで前記反射部材の半透過部材を透過し、次いで前記第1被測定面で反射し、再び前記反射部材の半透過部材を透過し、再び前記第2被測定面で反射し、そして前記反射部材の半透過部材の界面で反射して前記入射方向へ戻る、第2反射ビームの角度を測定するステップと、
前記第1及び第2反射ビームの角度から、前記第1被測定面と前記第2被測定面の角度差を算出するステップと、
を含むことを特徴とする平行度測定方法。 - 算出した前記第1被測定面と前記第2被測定面の角度差に基づいて、前記第1反射ビームの角度と前記第2反射ビームの角度が一致するように、前記第1被測定面と前記第2被測定面との平行度を合わせるステップをさらに含む請求項1に記載の平行度測定方法。
- 前記第1被測定面と前記第2被測定面との平行度を合わせるステップの実行後、ウェッジ基板を前記反射部材と前記第1被測定面の間に挿入するステップと、
前記ウェッジ基板を前記ウェッジ基板の法線を回転軸として回転させて前記第2反射ビームの角度を変化させ、変化した前記第2反射ビームの角度の軌跡中心を算出するステップと、
前記第1反射ビームの角度及び第2反射ビームの角度の軌跡中心から、前記第1被測定面と前記第2被測定面の角度差を算出するステップと、
をさらに含む請求項2に記載の平行度測定方法。 - 前記第1被測定面と前記第2被測定面との平行度を合わせるステップの実行後、ウェッジ基板を前記反射部材と前記第2被測定面の間に挿入するステップと、
前記ウェッジ基板を前記ウェッジ基板の法線を回転軸として回転させて前記第1反射ビームの角度及び前記第2反射ビームの角度を変化させ、変化した前記第1反射ビームの角度及び前記第2反射ビームの角度の夫々の軌跡中心を算出するステップと、
前記第1反射ビームの角度及び第2反射ビームの角度の夫々の軌跡中心から、前記第1被測定面と前記第2被測定面の角度差を算出するステップと、
をさらに含む請求項2に記載の平行度測定方法。 - 光反射性とした第1被測定面と、光反射性とした第2被測定面との平行性を、反射部材及びウェッジ基板を用いて測定する方法であって、
前記反射部材は半透過部材を含み、入射光の一部を反射し且つ一部を透過する性質を有し、
前記反射部材の前記半透過部材の表面が前記第2被測定面に対して略45度の角度になるように配置するステップと、
前記ウェッジ基板を前記反射部材と前記第1被測定面の間に挿入するステップと、
入射光ビームが前記反射部材の半透過部材の界面で反射し、次いで前記第2被測定面で反射し、再び前記反射部材の半透過部材の界面で反射して入射方向へ戻る、第1反射ビームの角度を測定するステップと、
前記入射光ビームが前記反射部材の半透過部材の界面で反射し、次いで前記第2被測定面で反射し、次いで前記反射部材の半透過部材を透過し、次いで前記ウェッジ基板を透過し、次いで前記第1被測定面で反射し、再び前記ウェッジ基板を透過し、再び前記反射部材の半透過部材を透過し、再び前記第2被測定面で反射し、そして前記反射部材の半透過部材の界面で反射して前記入射方向へ戻る、第2反射ビームの角度を測定するステップと、
前記ウェッジ基板を前記ウェッジ基板の法線を回転軸として回転させて前記第2反射ビームの角度を変化させ、変化した前記第2反射ビームの角度の軌跡中心を算出するステップと、
前記第1反射ビームの角度及び第2反射ビームの角度の軌跡中心から、前記第1被測定面と前記第2被測定面の角度差を算出するステップと、
を含む平行度測定方法。 - 光反射性とした第1被測定面と、光反射性とした第2被測定面との平行性を、反射部材及びウェッジ基板を用いて測定する方法であって、
前記反射部材は半透過部材を含み、入射光の一部を反射し且つ一部を透過する性質を有し、
前記反射部材の前記半透過部材の表面が前記第2被測定面に対して略45度の角度になるように配置するステップと、
前記ウェッジ基板を前記反射部材と前記第2被測定面の間に挿入するステップと、
入射光ビームが前記反射部材の半透過部材の界面で反射し、次いで前記ウェッジ基板を透過し、次いで前記第2被測定面で反射し、再び前記ウェッジ基板を透過し、再び前記反射部材の半透過部材の界面で反射して入射方向へ戻る、第1反射ビームの角度を測定するステップと、
前記入射光ビームが前記反射部材の半透過部材の界面で反射し、次いで前記ウェッジ基板を透過し、次いで前記第2被測定面で反射し、再び前記ウェッジ基板を透過し、次いで前記反射部材の半透過部材を透過し、次いで前記第1被測定面で反射し、再び前記反射部材の半透過部材を透過し、再び前記ウェッジ基板を透過し、再び前記第2被測定面で反射し、再び前記ウェッジ基板を透過し、そして前記反射部材の半透過部材の界面で反射して前記入射方向へ戻る、第2反射ビームの角度を測定するステップと、
前記ウェッジ基板を前記ウェッジ基板の法線を回転軸として回転させて前記第1反射ビームの角度及び前記第2反射ビームの角度を変化させ、変化した前記第1反射ビームの角度及び前記第2反射ビームの角度の夫々の軌跡中心を算出するステップと、
前記第1反射ビームの角度及び第2反射ビームの角度の夫々の軌跡中心から、前記第1被測定面と前記第2被測定面の角度差を算出するステップと、
を含む平行度測定方法。 - 前記第2反射ビームの角度の軌跡中心が、前記第1反射ビームの角度に一致するように、前記第1被測定面と前記第2被測定面との平行度を合わせるステップをさらに含む請求項3又は5に記載の平行度測定方法。
- 前記第2反射ビームの角度の軌跡中心と前記第1反射ビームの角度との角度差が所定の閾値以内であるか否かを判定する判定ステップをさらに含み、
前記角度差が前記所定の閾値以内でないと判定された場合に、
前記第2反射ビームの角度の軌跡中心が、前記第1反射ビームの角度に一致するように、前記第1被測定面と前記第2被測定面との平行度を合わせるステップと、
前記ウェッジ基板を前記ウェッジ基板の法線を回転軸として回転させて前記第2反射ビームの角度を変化させ、変化した前記第2反射ビームの角度の軌跡中心を算出するステップと、
前記第1反射ビームの角度と第2反射ビームの角度の軌跡中心との角度差を算出するステップと、
前記判定ステップと、
を繰り返すことを特徴とする請求項3又は5に記載の平行度測定方法。 - 前記反射部材が、キューブ型ビームスプリッタ、又はプレート型ビームスプリッタであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一に記載の平行度測定方法。
- 前記第1及び第2反射ビームの角度の測定は、オートコリメータを用いて測定することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一に記載の平行度測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012223072A JP6089548B2 (ja) | 2012-10-05 | 2012-10-05 | 平行度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012223072A JP6089548B2 (ja) | 2012-10-05 | 2012-10-05 | 平行度測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014074683A JP2014074683A (ja) | 2014-04-24 |
JP6089548B2 true JP6089548B2 (ja) | 2017-03-08 |
Family
ID=50748913
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012223072A Active JP6089548B2 (ja) | 2012-10-05 | 2012-10-05 | 平行度測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6089548B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105823427B (zh) * | 2016-05-24 | 2018-09-28 | 湖北航天长征装备有限公司 | 一种平面定位装置及其测量方法 |
CN107727009B (zh) * | 2017-11-06 | 2023-11-24 | 深圳精创视觉科技有限公司 | 手机盖板玻璃质量检测装置 |
KR101914942B1 (ko) | 2018-10-08 | 2018-11-06 | 정홍석 | 롤 간 상대적 자세정보 검출장치 및 이를 이용한 롤 정렬상태 측정방법 |
CN113884028B (zh) * | 2021-12-06 | 2022-02-22 | 深圳大学 | 一种ar几何阵列光波导测量方法和装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004191176A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Mitsubishi Electric Corp | 段差の高さ測定方法および測定装置ならびに半導体装置の製造方法 |
JP2011075316A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Nec Corp | 二面の平行度を測定する方法及びそれに用いる反射部材 |
JP5589397B2 (ja) * | 2010-01-20 | 2014-09-17 | 日本電気株式会社 | 二面の平行度を測定する方法 |
-
2012
- 2012-10-05 JP JP2012223072A patent/JP6089548B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014074683A (ja) | 2014-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100535767C (zh) | 一种调焦调平测量方法和装置 | |
JP6089548B2 (ja) | 平行度測定方法 | |
US20070153298A1 (en) | Method and apparatus for measuring interfacial positions, method and apparatus for measuring layer thickness, and method and apparatus for manufacturing optical discs | |
US7701584B2 (en) | Light path circuit apparatus and ring laser gyro | |
JP2019124649A (ja) | 光放射装置、物体情報検知装置、光路調整方法、物体情報検知方法、及び、光変調ユニット | |
TW202332577A (zh) | 通過主動對準來接合光學表面的方法和裝置 | |
US7362447B2 (en) | Low walk-off interferometer | |
EP4248171A1 (en) | Optical-based validation of orientations of surfaces | |
CN109579776B (zh) | 高精度抗干扰大工作距自准直装置与方法 | |
JP5589397B2 (ja) | 二面の平行度を測定する方法 | |
JP2021025993A (ja) | 測量装置 | |
CN105737758B (zh) | 一种长程面形测量仪 | |
WO2012132930A1 (ja) | レンズ測定装置 | |
JP6105901B2 (ja) | ステージ装置及びその調整方法、露光装置並びにデバイス製造方法 | |
US6972850B2 (en) | Method and apparatus for measuring the shape of an optical surface using an interferometer | |
WO2013065418A1 (ja) | 光源ユニット調整装置の校正方法および基準器 | |
JP4773329B2 (ja) | 界面位置測定方法および測定装置、層厚測定方法および測定装置、並びに、光ディスクの製造方法および製造装置 | |
JP2011038967A (ja) | 位置決め装置およびこれに着脱可能な光学アダプター | |
JP2015102400A (ja) | 評価装置、評価方法及びデバイス製造方法 | |
JP2011075316A (ja) | 二面の平行度を測定する方法及びそれに用いる反射部材 | |
JP2002214070A (ja) | 偏芯測定装置、偏芯測定方法及びこれらを用いて偏芯が測定された光学素子を組み込んでなる投影レンズ | |
TW200804756A (en) | A system for detecting errors of a one-dimensional five degrees of freedom(DOF) system | |
JP2012026968A (ja) | 光学素子の面間偏心測定装置及び面間偏心測定方法 | |
JPS63241435A (ja) | 干渉計 | |
US20220104923A1 (en) | Intraoral measurement device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150907 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160802 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161003 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170123 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6089548 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |