JP6086742B2

JP6086742B2 - 超音波振動デバイスおよび超音波医療装置

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Description

本発明は、超音波振動を励振する超音波振動デバイス、この超音波振動デバイスを備えた超音波医療装置に関する。

超音波振動を利用して、生体組織の凝固／切開処置を行なう超音波処置具では、ハンドピース内に超音波振動源としての超音波振動子を内蔵したものがある。

このような超音波振動子は、ボルト締めランジュバン型振動子の他、特許文献１に開示されているように導電性接着剤を用いて圧電素子を積層した圧電素子ユニットを、両端部にねじ切りがされた金属製の筒に挿入し、その両端部から金属部材をねじ込んで固定されるものがある。

この従来の超音波振動子では、圧電振動子を接着による積層構造とすることで、従来のボルト締めランジュバン型振動子と比較して、ボルトを通すための穴を必要としないため、振動子の有効体積を効率よく増やせるという利点がある。

特開２０１０−３４８１７号公報

しかしながら、特許文献１に開示されるような積層構造の超音波振動子は、従来のボルト締めランジュバン型振動子と同様に駆動時に発熱すると考えられ、それが原因で、圧電素子自体の特性劣化および超音波振動子全体の温度が上昇することによる共振周波数のシフトが発生するという問題がある。そのため、特許文献１の超音波振動子では、高出力にて連続駆動を行うことが困難であり、その駆動性能が従来のボルト締めランジュバン型振動子と同等となってしまうという課題があった。

そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、小型で圧電素子自体の特性劣化および共振周波数のシフトを抑制して高出力な超音波振動デバイスおよび超音波振動デバイスを備えた超音波医療装置を提供することを目的としている。

本発明における一態様の超音波振動デバイスは、複数の圧電体および複数の電極層が積層された積層振動子と、前記積層振動子の中途部に配設され、前記積層振動子が設置される装置の部材と嵌合して保持されるフランジ部と、前記積層振動子の両端部に配設された一対の金属製マスと、を備え、前記フランジ部は、前記一対の金属製マスよりも熱伝導率の高い金属部材から形成されている。

また、本発明における一態様の内視鏡は、複数の圧電体および複数の電極層が積層された積層振動子と、前記積層振動子の中途部に配設され、前記積層振動子が設置される装置の部材と嵌合して保持されるフランジ部と、前記積層振動子の両端部に配設された一対の金属製マスと、を備え、前記フランジ部は、前記一対の金属製マスよりも熱伝導率の高い金属部材から形成されている超音波振動デバイスと、前記超音波振動デバイスで発生した超音波振動が伝達され生体組織を処置するプローブ先端部とを具備する。

本発明によれば、小型で圧電素子自体の特性劣化および共振周波数のシフトを抑制して高出力な超音波振動デバイスおよび超音波振動デバイスを備えた超音波医療装置を提供することができる。

本発明の一実施の形態の超音波医療装置の全体構成を示す断面図同、振動子ユニットの全体の概略構成を示す図同、超音波振動子の構成を示す斜視図同、超音波振動子の製作時の構成を示す分解図同、超音波振動子の製作時の構成を示す斜視図同、超音波振動子の構成を示す側面図同、図６のＶＩＩ方向の超音波振動子の構成を示す矢視図同、超音波振動子が操作部本体に保持された状態を示す断面図同、変形例の超音波振動子の構成を示す側面図同、図９のＸ方向の超音波振動子の構成を示す矢視図同、変形例の超音波振動子の製作時の構成を示す分解図同、変形例の超音波振動子の構成を示す側面図同、変形例の超音波振動子の構成を部分的に示す分解斜視図

以下、図を用いて本発明について説明する。なお、以下の説明において、各実施の形態に基づく図面は、模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、夫々の部分の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。

先ず、本発明の一実施の形態について、図面に基いて以下に説明する。
図１は、本発明の一実施の形態の超音波医療装置の全体構成を示す断面図、図２は振動子ユニットの全体の概略構成を示す図、図３は超音波振動子の構成を示す斜視図、図４は超音波振動子の製作時の構成を示す分解図、図５は超音波振動子の製作時の構成を示す斜視図、図６は超音波振動子の構成を示す側面図、図７は図６のＶＩＩ方向の超音波振動子の構成を示す矢視図、図８は超音波振動子が操作部本体に保持された状態を示す断面図、図９は変形例の超音波振動子の構成を示す側面図、図１０は図９のＸ方向の超音波振動子の構成を示す矢視図、図１１は変形例の超音波振動子の製作時の構成を示す分解図、図１２は変形例の超音波振動子の構成を示す側面図、図１３は変形例の超音波振動子の構成を部分的に示す分解斜視図である。

（超音波医療装置）
図１に示す、超音波医療装置１は、主に超音波振動を発生させる超音波振動子２を有する振動子ユニット３と、その超音波振動を用いて患部の治療を行うハンドルユニット４とが設けられている。

ハンドルユニット４は、操作部５と、長尺な外套管７からなる挿入シース部８と、先端処置部３０とを備える。挿入シース部８の基端部は、操作部５に軸回り方向に回転可能に取り付けられている。先端処置部３０は、挿入シース部８の先端に設けられている。ハンドルユニット４の操作部５は、操作部本体９と、固定ハンドル１０と、可動ハンドル１１と、回転ノブ１２とを有する。操作部本体９は、固定ハンドル１０と一体に形成されている。

操作部本体９と固定ハンドル１０との連結部には、背面側に可動ハンドル１１を挿通するスリット１３が形成されている。可動ハンドル１１の上部は、スリット１３を通して操作部本体９の内部に延出されている。スリット１３の下側の端部には、ハンドルストッパ１４が固定されている。可動ハンドル１１は、ハンドル支軸１５を介して操作部本体９に回動可能に取り付けられている。そして、ハンドル支軸１５を中心として可動ハンドル１１が回動する動作に伴い、可動ハンドル１１が固定ハンドル１０に対して開閉操作されるようになっている。

可動ハンドル１１の上端部には、略Ｕ字状の連結アーム１６が設けられている。また、挿入シース部８は、外套管７と、この外套管７内に軸方向に移動可能に挿通された操作パイプ１７とを有する。外套管７の基端部には、先端側部分よりも大径な大径部１８が形成されている。この大径部１８の周囲に回転ノブ１２が装着されるようになっている。

操作パイプ１９の外周面には、リング状のスライダ２０が軸方向に沿って移動可能に設けられている。スライダ２０の後方には、コイルばね（弾性部材）２１を介して固定リング２２が配設されている。

さらに、操作パイプ１９の先端部には、把持部２３の基端部が作用ピンを介して回動可能に連結されている。この把持部２３は、プローブ６の先端部３１と共に超音波医療装置１の処置部を構成している。そして、操作パイプ１９が軸方向に移動する動作時に、把持部２３は、作用ピンを介して前後方向に押し引き操作される。このとき、操作パイプ１９が手元側に移動操作される動作時には作用ピンを介して把持部２３が支点ピンを中心に時計回り方向に回動される。これにより、把持部２３がプローブ６の先端部３１に接近する方向（閉方向）に回動する。このとき、片開き型の把持部２３と、プローブ６の先端部３１との間で生体組織を把持することができる。

このように生体組織を把持した状態で、超音波電源から電力を超音波振動子２に供給し、超音波振動子２を振動させる。この超音波振動は、プローブ６の先端部３１まで伝達される。そして、この超音波振動を用いて把持部２３とプローブ６の先端部３１との間で把持されている生体組織の治療を行う。

（振動子ユニット）
ここで、振動子ユニット３について説明する。
振動子ユニット３は、図２に示すように、超音波振動子２と、この超音波振動子２で発生した超音波振動を伝達する棒状の振動伝達部材であるプローブ６とを一体的に組み付けたものである。

超音波振動子２は、振幅を増幅するホーン３２が連設されている。ホーン３２は、ジュラルミン、あるいは例えば６４Ｔｉ（Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ）などのチタン合金によって形成されている。ホーン３２は、先端側に向かうに従って外径が細くなる円錐形状に形成されている。なお、ここでホーン３２の形状は円錐形状に限るものではなく、先端側に向かうに従って外径が指数関数的に細くなる指数形状や、先端側に向かうに従って段階的に細くなるステップ形状などであってもよい。

プローブ６は、例えば６４Ｔｉ（Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ）などのチタン合金によって形成されたプローブ本体３４を有する。このプローブ本体３４の基端部側には、上述のホーン３２に連設された超音波振動子２が配設されている。このようにして、プローブ６と超音波振動子２とを一体化した振動子ユニット３が形成されている。なお、プローブ６は、プローブ本体３４とホーン３２とが螺合によって接続される。

そして、超音波振動子２で発生した超音波振動は、ホーン３２で増幅されたのち、プローブ６の先端部３１側に伝達するようになっている。プローブ６の先端部３１には、生体組織を処置する上述した処置部としての先端部３１が形成されている。

また、プローブ本体３４の外周面には、軸方向の途中にある振動の節位置の数箇所に弾性部材でリング状に形成された間隔をあけて２つのゴムライニング３５が取り付けられている。そして、これらのゴムライニング３５によって、プローブ本体３４の外周面と後述する操作パイプ１９との接触を防止するようになっている。つまり、挿入シース部８の組み立て時に、振動子一体型プローブとしてのプローブ６は、操作パイプ１９の内部に挿入される。このとき、ゴムライニング３５によってプローブ本体３４の外周面と操作パイプ１９との接触を防止している。

また、超音波振動子２は、超音波振動を発生させるための電流を供給する図示しない電源装置本体に電気ケーブル３６を介して電気的に接続される。この電気ケーブル３６内の配線３６ａ，３６ｂを通じて電源装置本体から電力を超音波振動子２に供給することによって、超音波振動子２が駆動される。なお、振動子ユニット３は、超音波振動を発生させる超音波振動子２、発生した超音波振動を増幅させるホーン３２および増幅された超音波振動を伝達するプローブ６を備えている。

なお、超音波振動子２と振動子ユニット３は、必ずしも図１に示したように操作部本体９内に収納されている必要はなく、超音波振動子２で発生した超音波振動を伝達するプローブ６によって生体を処置できるように超音波振動が伝達される構成であれば、超音波医療装置１の如何なる箇所に設けられていてもよい。

（超音波振動子）
ここで、本発明の超音波振動デバイスとしての超音波振動子２について以下に説明する。
振動子ユニット３の超音波振動子２は、図３に示すように、先端から順に振動伝達部材の１つであるプローブ本体３４に螺着などされて接続されたホーン３２と、このホーン３２の後方に連設された、ここでは円柱形状の積層振動子４１と、を有して構成されている。

積層振動子４１は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）または耐熱性を有した非鉛の単結晶材料から形成されたニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）などの、複数、ここでは６つの圧電振動子層となる圧電体としての圧電振動子板６１が積層されている。これら６つの圧電振動子板６１は、フランジ部３３を挟んで３層に区分けされており、両端の圧電振動子板６１および各圧電振動子板６１間には、正電極層となる正電極板６２および負電極層となる負電極板６３が交互に介装される。この積層振動子４１の中途には、操作部本体９の部材としての保持部９ａ（図１参照）に嵌合して保持される円板状の熱伝導率の高い銅など金属製のフランジ部３３が配設されている。このフランジ部３３は、超音波振動子２が発生する超音波振動の振動特性が影響されない位置に設けられている。即ち、フランジ部３３は、超音波振動子２が発生する超音波振動における波長の振幅が０（ゼロ）となる点とした節(ｎｏｄｅ)となる超音波振動の振動しない位置に設けられている。

また、積層振動子４１は、６つの圧電振動子板６１、フランジ部３３および正電極板６２および負電極板６３が積層された積層体の前後に円盤状の絶縁板４２，４３が配設されている。そして、積層振動子４１は、前方側が絶縁板４２を介してホーン３２と一体形成された、ここでは円柱形状の金属ブロック体としてのフロントマス３９に接合され、後方側が絶縁板４３を介して円柱形状の金属ブロック体としてのバックマス４５に接合されている。なお、フロントマス３９およびバックマス４５も、ジェラルミン、あるいは、例えば、６４Ｔｉ（Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ）などのチタン合金によって形成されている。

また、正電極板６２または負電極板６３は、銅などから形成された金属端子片としての端子部６２ａ，６３ａによって正極同士および負極同士のそれぞれが電気的に接続されている。これら端子部６２ａ，６３ａは、正電極板６２または負電極板６３と一体的に形成されたものでもよいし、正電極板６２または負電極板６３に導電性接着剤、半田などによって接続されるものでもよい。なお、端子部６２ａ，６３ａは、絶縁シースにより被覆された配線ケーブルでもよい。これら端子部６２ａ，６３ａのそれぞれ１つには、電気ケーブル３６の配線３６ａ，３６ｂが半田などの電気接続部６５によって接続される。
なお、ここでは、上述したように、正電極板６２がフランジ部３３に半田などの電気接続部６４によって接続されている。そのため、本実施の形態のフランジ部３３は、接触する圧電振動子板６１に電力を供給する正電極板を構成する。なお、正電極板６２をフランジ部３３に電気的に接続させる構成は、半田に限定されることなく、導電性接着剤、ネジ止めなどでもよい。

さらに、フランジ部３３には、ここでは負電極板６３同士を電気的に接続する端子部６３ａが非接触となるようにして電気的に絶縁する切欠部３３ａが形成されている。即ち、端子部６３ａは、フランジ部３３と非接触となるように切欠部３３ａ内を通るように配設されている。

（超音波振動子の製造方法）
ここで、本実施の形態の超音波振動子２の製造方法の一例を説明する。
超音波振動子２は、図４に示すように、先ず、フランジ部３３を境にして区分される２つの積層体２ａ，２ｂが製作される。

具体的には、第１の積層体２ａは、後にホーン３２およびフロントマス４４となる金属円柱体３２ａ、絶縁板４２、３つの圧電振動子板６１、正電極板６２および負電極板６３が積層され、それぞれが導電性接着剤、または導電性融着接合、例えば、ＡｕＳｎ共晶ハンダ、一般的な非鉛ハンダなどから接合される。なお、金属円柱体３２ａと絶縁板４２との接合は、導電性を有しない接着剤でもよい。

また、第２の積層体２ｂは、３つの圧電振動子板６１、正電極板６２、負電極板６３、絶縁板４３およびバックマス４５が積層され、それぞれが導電性接着剤、または導電性融着接合、例えば、ＡｕＳｎ共晶ハンダ、一般的な非鉛ハンダなどから接合される。ここでも、絶縁板４３とバックマス４５との接合は、導電性を有しない接着剤でもよい。

なお、正電極板６２または負電極板６３は、ＡｕＳｎ共晶ハンダ、一般的な非鉛ハンダなどによって形成される電極層としてもよい。なお、ハンダによる接合の際には、各圧電振動子板６１および絶縁板４２，４３の表裏面にハンダの濡れ性および密着性を有して接合性を高める金属膜を形成するとよい。

このように製作された第１、第２の積層体２ａ，２ｂは、フランジ部３３を挟むようにして、金属円柱体３２ａおよびバックマス４５が端部となるようにして、圧電振動子板６１側がフランジ部３３の表裏面に導電性接着剤、または導電性融着接合されて、図５に示すような第３の積層体２ｃが製作される。なお、フランジ部３３は、予め切欠部３３ａが形成されていてもよいし、第３の積層体２ｃを制作後に切削加工により形成されてもよい。

次に、第３の積層体２ｃは、図６および図７に示すように、切削加工などからホーン３２が形成されて、このホーン３２に一体的に連設されるフロントマス４４が形成される。なお、金属円柱体３２ａは、予めホーン３２とフロントマス４４が加工されたものでもよい。さらに、ホーン３２には、プローブ本体３４と螺合するネジ溝などが形成される。

そして、正電極板６２または負電極板６３には、端子部６２ａ，６３ａが半田などにより電気的に接続され、２つの端子部６２ａのそれぞれの一端部がフランジ部３３に電気接続部６４を形成する半田により電気的に接続される。

最後に、端子部６２ａ，６３ａの１つに配線３６ａ，３６ｂが電気接続部６５を形成する半田によって電気的に接続され超音波振動子２が製作される。この超音波振動子２は、上述したように、ホーン３２がプローブ本体３４に螺着などされて接続される。

そして、超音波振動子２を備えた振動子ユニット３は、図１にて説明したように、フランジ部３３が操作部本体９の保持部９ａに嵌合して保持されるように超音波医療装置１に装着される。

以上のように製作された超音波振動子２は、複数、ここでは合計６つの圧電振動子板６１と、積層された６つの圧電振動子板６１の中途部に介装され、発生する超音波振動の波長に節（ｎｏｄｅ）の位置に配設される金属製のフランジ部３３と、複数の電極としての正電極板６２または負電極板６３を各圧電振動子板６１を挟むように介装させて、それぞれを交互に接合している。

そして、超音波振動子２は、一対の金属製マスとなるフロントマス４４およびバックマス４５と、これらフロントマス４４およびバックマス４５と正電極板６２または負電極板６３との間に絶縁板４２，４３が設けられた圧電振動子板６１が積層する積層振動子４１とした圧電振動子ユニットとなっている。即ち、超音波振動子２は、金属製のフランジ部３３が積層振動子４１の層間に挟みこまれて接合され、その積層振動子４１の両端部に金属製のマス材としてフロントマス４４およびバックマス４５が設けられた構成となっている。

以上のように構成された超音波振動子２は、金属製のフランジ部３３を積層振動子４１内に挟み込んで接合することにより、駆動時に圧電素子としての各圧電振動子板６１から発生した熱Ｈを超音波医療装置１の外部ケースとなる操作部本体９にフランジ部３３が嵌合する保持部９ａを通じて逃がすことができる。そのため、超音波振動子２は、従来構造と比較して、特に、フロントマス４４およびバックマス４５の温度上昇を抑えることができる。なお、ここでは、フランジ部３３も圧電振動子板６１に電力を供給する構成となっているため、操作部本体９の保持部９ａが非導電性材で形成されているか、もしくは、フランジ部３３と電気的絶縁が取られた構成となっている。

ところで、積層圧電超音波発生素子の共振周波数の温度依存性は、超音波発生素子を構成する部材すべてに起因する。主に、超音波振動子２の体積を占めるのは圧電素子（圧電振動子板６１）と金属性のマス材（フロントマス４４およびバックマス４５）である。そのため、超音波発生素子の共振周波数の温度依存性は、フロントマス４４およびバックマス４５の影響を大きく受ける。

一例として、超音波振動子２の温度が２５℃から８０℃まで変化したとき、圧電振動子板６１に用いられるＰＺＴの共振周波数変化率は、０．３％程度であるのに対し、フロントマス４４およびバックマス４５に用いられるジュラルミンの共振周波数変化率は、−２％程度である。そのため、金属材料であるフロントマス４４およびバックマス４５の温度変化を抑えることで、超音波デバイスとしての超音波振動子２の全体としての共振周波数変化を抑えることができる。なお、ここでの各構成の材質は、あくまでも一例である。

これにより、本実施の形態の超音波振動子２は、上述したように、フランジ部３３を積層振動子４１内に介装させて、フランジ部３３を介して操作部本体９に熱Ｈを逃がしてフロントマス４４およびバックマス４５の温度上昇を抑制することができる構成として、超音波発生素子の共振周波数のシフトを抑えることができるように構成されている。なお、フランジ部３３もフロントマス４４およびバックマス４５と同様に金属製であるため、材質としては共振周波数の温度依存性がフロントマス４４およびバックマス４５と同様に有しており、本実施の形態においてはフランジ部３３の積層方向における厚さがフロントマス４４およびバックマス４５と比較して十分に小さく設定されているものである。

以上の説明から、本実施の形態の超音波振動子２は、駆動するときの機械的な振動損失、誘電損失などからの発熱による温度上昇を抑制して、圧電振動子板６１自体の特性劣化、共振周波数のシフトの発生などを防止することができるようにしたことで、高出力にて連続駆動をおこなうことができるようになる。従って、超音波振動子２は、小型としても、圧電素子自体の特性劣化および共振周波数のシフトを抑制して高出力で超音波振動を連続的に発生させることができる構成となる。

また、超音波振動子２は、積層振動子４１の両端部側に配置される正電極板６２および負電極板６３と一対の金属製マスのフロントマス４４およびバックマス４５との間に配設される絶縁板４２，４３をセラミックスなどの低熱伝導率部材とすることで、駆動時に各圧電振動子板６１から発生する熱を、フロントマス４４およびバックマス４５側へ伝熱することを抑制しつつ、熱が伝わり易い（熱伝導率の高い）金属製のフランジ部３３側へ伝熱させることができる。これにより、超音波発生素子を駆動する際にフロントマス４４およびバックマス４５の温度上昇をさらに抑えることができ、共振周波数のシフトを抑制することが可能となる。

さらに、超音波振動子２は、フランジ部３３が圧電振動子板６１に直接接触して電力を供給する正電極板を構成しており、フランジ部３３と圧電振動子板６１との間に介在するものがないため、圧電振動子板６１からの発熱が無駄なくフランジ部３３へ伝熱させることができる。

なお、図９および図１０に示すように、超音波振動子２は、フランジ部３３と圧電振動子板６１の間に正電極板６２を介装させた構成としてもよい。このような構成にすることで、フランジ部３３と隣接する正電極板６２が接触することになり、フランジ部３３の両側にある正電極板６２は電気的に接続される。このために、端子部６２ａの一端部を直接、フランジ部３３に電気的に接続する必要がなくなり、より簡易な構成とすることができる。

また、フランジ部３３は、図１１から図１３に示すように、表裏面の両方に圧電振動子板６１および/または正電極板６２の外形形状と同様の溝である凹部３３ｂを形成して、凹部３３ｂに圧電振動子板６１または正電極板６２が嵌め込まれて係合することにより第１、第２の積層体２ａ，２ｂとの接合時の位置決めができるような構成としてもよい。

このような構成により、第１、第２の積層体２ａ，２ｂとの接合時の径方向の位置ずれを抑制することができる。さらに、例えば、径が異なる第１、第２の積層体２ａ，２ｂを用いた場合に、フランジ部３３に凹部３３ｂを形成することで、これら第１、第２の積層体２ａ，２ｂの長手方向の軸合せを容易におこなうことができるようになる。

上述の実施の形態に記載した発明は、その実施の形態および変形例に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得るものである。

例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、述べられている課題が解決でき、述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得るものである。

１…超音波医療装置
２…超音波振動子
２ａ…第１の積層体
２ｂ…第２の積層体
２ｃ…第３の積層体
３…振動子ユニット
４…ハンドルユニット
５…操作部
６…プローブ
７…外套管
８…挿入シース部
９…操作部本体
９ａ…保持部
１０…固定ハンドル
１１…可動ハンドル
１２…回転ノブ
１３…スリット
１４…ハンドルストッパ
１５…ハンドル支軸
１６…連結アーム
１７…操作パイプ
１８…大径部
１９…操作パイプ
２０…スライダ
２２…固定リング
２３…把持部
３０…先端処置部
３１…先端部
３２…ホーン
３２ａ…金属円柱体
３３…フランジ部
３３ａ…切欠部
３３ｂ…凹部
３４…プローブ本体
３５…ゴムライニング
３６…電気ケーブル
３６ａ，３６ｂ…配線
３９…フロントマス
４１…積層振動子
４２，４３…絶縁板
４４…フロントマス
４５…バックマス
６１…圧電振動子板
６２…正電極板
６２ａ，６３ａ…端子部
６３…負電極板
６４，６５…電気接続部
Ｈ…熱

Claims

複数の圧電体および複数の電極層が積層された積層振動子と、
前記積層振動子の中途部に配設され、前記積層振動子が設置される装置の部材と嵌合して保持されるフランジ部と、
前記積層振動子の両端部に配設された一対の金属製マスと、
を備え、
前記フランジ部は、前記一対の金属製マスよりも熱伝導率の高い金属部材から形成されている
ことを特徴とする超音波振動デバイス。
前記フランジ部は、金属部材から形成され、前記複数の電極層の１つとして、前記複数の圧電体へ電力を供給する電極を構成している
ことを特徴とする請求項１に記載の超音波振動デバイス。
前記フランジ部の両面には、前記複数の圧電体または前記複数の電極層が嵌め込まれて係合する位置決め用の凹部が形成されている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の超音波振動デバイス。
前記一対の金属製マスと両端部側に配設された前記電極層の間に低熱伝導率部材が設けられている
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の超音波振動デバイス。
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の前記超音波振動デバイスと、
前記超音波振動デバイスで発生した超音波振動が伝達され生体組織を処置するプローブ先端部と、
を具備することを特徴とする超音波医療装置。