JP6085446B2 - 滅菌方法 - Google Patents
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Description
<滅菌装置>
図1は、本実施形態の滅菌方法において使用される滅菌装置1の概略的な模式図である。滅菌装置1は、メインチャンバ11(処理部)とサブチャンバ12(供給部)と吸気系統20と循環系統30(循環経路)と連係系統40と排気系統50とを含む。
(1) N2+O2→2NO
(2) N2+2O2→2NO2
(3) 3O2→2O3
(4) 2NO+O2→2NO2
(5) 2NO+O2→2NO2
(6) NO+O3→NO2+O2
(7) N2+2O3→2NO+2O2
(8) NO+O3→NO2+O2
(9) 2NO2+O3→N2O5+O2
(10) N2O5+H2O→2HNO3
次に、本実施形態の滅菌方法を、図1および図5に基づいて説明する。図5は、本実施形態における滅菌方法の各工程を説明するためのフローチャートである。
次に、本実施形態の滅菌方法の滅菌工程(および排気工程)を実施する際の処理空間内の経時的な圧力変化について図1および図6を参照しながら説明する。図6は、処理空間内の経時的な圧力変化を説明するためのグラフであり、図6(a)は、本実施形態の滅菌方法を実施した場合におけるメインチャンバ内の経時的な圧力変化を説明するためのグラフであり、図6(b)は、従来の滅菌方法を実施した場合におけるメインチャンバ内の経時的な圧力変化を説明するためのグラフである。なお、処理空間内の圧力は、圧力センサ112により計測される。
以下に、本発明の滅菌方法の第2の実施形態(実施の形態2)について説明する。図7は、本実施形態の滅菌方法において使用される滅菌装置1aの概略的な模式図である。
以下に、本発明の滅菌方法の第3の実施形態(実施の形態3)について説明する。図8は、本実施形態の滅菌方法において使用される滅菌装置1bの概略的な模式図である。
Claims (7)
- 被処理物の滅菌を行う処理空間を備えた処理部に、供給経路を通して供給部の蓄積空間に蓄積された滅菌ガスを供給して前記被処理物を滅菌する滅菌方法であって、
前記供給経路を閉じた状態で、前記供給部の蓄積空間に窒素と酸素とを含む原料ガスを供給する原料ガス供給工程と、
供給された前記原料ガスにプラズマを照射してNO2を含む蓄積ガスを調製する蓄積ガス調製工程と、
前記供給部の蓄積空間に希釈用ガスを圧入し、該希釈用ガスと前記蓄積ガスとを混合して滅菌ガスを調製する滅菌ガス調製工程と、
前記供給経路を開放して、前記処理部の処理空間に前記供給部の蓄積空間に蓄積された前記滅菌ガスを供給し、前記処理空間を所定の圧力及び滅菌ガス濃度とする工程と、
前記供給経路を閉じて、前記処理空間を前記所定の圧力及び滅菌ガス濃度で所定時間保持することによって、前記被処理物を滅菌する滅菌工程と、
を含む滅菌方法。 - 前記蓄積ガス調製工程において、
前記原料ガスを、前記供給部の蓄積空間に一端と他端とが接続された循環経路に供給し、
該循環経路内に設けられた循環手段により前記原料ガスを循環させ、
循環される前記原料ガスに、前記循環経路内に設けられたプラズマ照射手段によりプラズマを照射して、NO2を含む前記蓄積ガスを調製する、請求項1記載の滅菌方法。 - 前記蓄積ガス調製工程において、
大気圧以下の圧力下にて原料ガスにプラズマを照射する、請求項1または2記載の滅菌方法。 - 前記滅菌工程において、
前記供給経路内に設けられたポンプにより前記処理部の処理空間に前記滅菌ガスを供給する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の滅菌方法。 - 前記滅菌ガス調製工程において、
耐圧容器に封入された希釈用ガスを、前記供給部の蓄積空間に圧入する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の滅菌方法。 - 前記原料ガス供給工程において、
原料ガスとして、窒素と酸素とを個別に供給する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の滅菌方法。 - 前記滅菌ガス調製工程において、
希釈用ガスとして、乾燥空気を圧入する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の滅菌方法。
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