JP6069947B2 - 照明装置、電子機器、撮像装置、検査装置 - Google Patents
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Description
特許文献1の照明装置によれば、第1配線及び第2配線が透光性材料で構成されているので、複数の発光素子部からの発光を阻害せずに、光の取り出し効率を向上させることができるとしている。
第1配線及び第2配線を構成する透光性材料としてITO(Indium Tin Oxide)やIZO(Indium Zinc Oxide)の例が挙げられている。これらの透明導電材料は、不透明な例えばアルミニウムや銅などの導電材料に比べて電気抵抗が大きいので、第1配線及び第2配線において給電部分から離れるほど電圧降下が生じ、第1配線及び第2配線に接続された複数の発光素子部における発光の輝度むらが生ずるおそれがある。
そこで、例えば特許文献2には、複数の発光素子が形成された光出射領域とその周辺領域に亘って形成され、複数の発光素子に電気的に接続された透明配線層と、周辺領域に形成され、透明配線層に接すると共に透明配線層よりも低い(小さい)電気抵抗を有する低抵抗配線層とを備えた照明装置が開示されている。特許文献2によれば、低抵抗配線層を介して透明配線層に給電することにより、周辺領域における透明配線層の電圧降下を低減して、一様な光強度で光を出射可能な照明装置を提供できるとしている。
これに対して、複数の有機EL素子を発光させるために第2端子部と、第3端子部に印加された電位(以降、第2電位と称する)は、第1電位に対して一定の電位(例えばGND電位)が与えられる。複数の有機EL素子が配置される領域に亘って形成された第4配線の一部が第2電極として機能しているので、第4配線における第2電極の位置が第2端子部から離れるほど電気抵抗が大きくなる。つまり、第2電極は、第2端子部に近いほど第2電位の電圧損失が小さく、第2端子部から離れるほど第2電位は上昇する。ただし、本構成によれば、第3端子部から印加される第2電位は、第5配線、第6配線を経由して、第4配線に伝達され、発光に寄与する電圧損失を受けずに第2端子部と反対側から第4配線に印加される。つまり、第2電位を第2端子部及び第3端子部から同時に印加することで、第4配線に印加される第2電位の電圧上昇の影響は第2及び第3端子部に近いほど小さく、第2及び第3端子部から離れるほど電圧上昇は大きくなる。
ゆえに、第1端子部と複数の第1電極との電気的な距離の違いに起因する第1電位の電圧降下の傾向と、第2端子部と第2電極との電気的な距離の違いに起因する第2電位の電圧上昇の傾向とが、複数の第1配線が配列した第2の方向において類似することになる。さらに、第3端子部からの第2電位の印加によって、第2電極に印加される第2電位の電圧上昇は抑えられ、複数の第1電極と第2電極との間の電位の差の分布を第1電位と第2電位との差に近づける、あるいは一致させることが可能となるので、複数の有機EL素子において駆動電圧のばらつきによる輝度むらを低減することができる。言い換えれば、複数の有機EL素子に給電するための配線の配置に起因する輝度むらが低減された照明装置を提供できる。
これに対して、複数の有機EL素子を発光させるために第2端子部と、第3端子部に印加された電位(以降、第2電位と称する)は、第1電位に対して一定の電位(例えばGND電位)が与えられる。第4配線枝部の一部が第2電極として機能し、第4配線枝部のそれぞれは、第2端子部から離れるほど電気抵抗が大きくなる。つまり、第2電極は、第2端子部に近いほど第2電位の電圧損失が小さく、第2端子部から離れるほど第2電位は上昇する。ただし、本構成によれば、第3端子部から印加される第2電位は、第5配線、第6配線を経由して、複数の第4配線枝部に伝達され、発光に寄与する電圧損失を受けずに第2端子部と反対側から複数の第4配線枝部に印加されるため、第2端子部から近いほど電圧上昇が大きくなる。つまり、第2電位を第2端子部と第3端子部から同時に印加することで、複数の第4配線枝部に印加される第2電位の電圧上昇の影響は第2及び第3端子部に近いほど小さく、第2及び第3端子部から離れるほど大きくなる。
ゆえに、第1端子部と複数の第1電極との電気的な距離の違いに起因する第1電位の電圧降下の傾向と、第2端子部と第2電極との電気的な距離の違いに起因する第2電位の電圧上昇の傾向とが、複数の第1配線が配列した第2の方向において類似することになる。さらに、第3端子部からの第2電位の印加によって、第2電極に印加される第2電位の電圧上昇は抑えられ、複数の第1電極と第2電極との間の電位の差の分布を第1電位と第2電位との差に近づける、あるいは一致させることが可能となるので、複数の有機EL素子において駆動電圧のばらつきによる輝度むらを低減することができる。言い換えれば、複数の有機EL素子に給電するための配線の配置に起因する輝度むらが低減された照明装置を提供できる。
この構成によれば、第1端子部と第4端子部とに有機EL素子を発光させるための第1電位を印加すれば、複数の第1配線の両端側から給電されることになるので、第1端子部及び第4端子部と複数の第1電極との電気的な距離の違いに起因する第1電位の電圧降下の程度を小さくすることができる。また、第2端子部と第3端子部と第5端子部とに有機EL素子を発光させるための第2電位を印加すれば、第4配線の第2の方向における両側から給電されることになるので、第2端子部および第3端子部並び第5端子部と複数の第2電極との電気的な距離の違いに起因する第2電位の電圧上昇の程度を小さくすることができる。つまり、駆動電圧の損失による無駄な電力の消費を抑え、安定した輝度の発光が得られる照明装置を提供できる。
これによれば、複数の有機EL素子が配置された領域の中央側に位置する少なくとも1つの第1配線の電気抵抗を他の第1配線に比べて小さくすることができる。ゆえに、第1端子部と複数の第1電極との電気的な距離の違いに起因する第1電位の電圧降下の傾向を緩やかにすることができる。言い換えれば、隣り合う有機EL素子の間に印加される駆動電圧のばらつきに起因する輝度むらをより目立ち難くすることができる。
これによれば、同一の配線形成工程で前記第4配線以外の配線を形成することが可能となり、配線形成工程を簡略化して優れたコストパフォーマンスを有する照明装置を提供できる。
これによれば、複数の有機EL素子からの発光が第2配線、第3配線、第5配線、第6配線、第7配線、第8配線、第9配線によって阻害されないので、効率よく発光が射出される。
これによれば、第1端子部に直接に接続された第3配線、第4端子部に直接に接続された第8配線における第1電位の電圧降下を抑えることができる。ゆえに、複数の有機EL素子の間に印加される駆動電圧のばらつきに起因する輝度むらをより目立ち難くすることができる。
これによれば、第3配線に対する第5配線の幅や第8配線対する第9配線の幅が不均等である場合に比べて、第3端子部に直接に接続された第5配線、及び第5端子部に直接に接続された第9配線における第2電位の電圧上昇のばらつきを抑えることができる。ゆえに、複数の有機EL素子の間に印加される駆動電圧のばらつきに起因する輝度むらをより目立ち難くすることができる。
この構成によれば、第1配線と重なった位置に有機EL素子が配置される。第2の方向に並列した第1配線間に有機EL素子を配置する場合に比べて、有機EL素子を高密度に配置することができる。また、この照明装置と複数の受光素子とを組み合わせて撮像装置とする場合、受光素子を第1配線間に配置したときに、有機EL素子が邪魔にならずに済む。言い換えれば、受光素子の配置における自由度が高まるので、より鮮明な被写体の画像を得ることが可能となる。
この構成によれば、複数の有機EL素子からの発光を第2電極側から取り出すことができ、且つ第1配線が光反射性を有しているので、発光の取り出し効率を高めることができる。つまり、明るい面発光が得られる照明装置を提供できる。
この構成によれば、絶縁層を覆って例えばITOやIZOなどの光透過性の導電材料を成膜しパターニングすることで、第1配線にコンタクトホールを介して電気的に接続された第1電極を形成することが可能となる。光反射性を有する導電材料で構成される第1配線は第1電極よりも低抵抗な状態とすることができる。これに対してコンタクトホール内に形成された第1電極の一部は高抵抗となるため、コンタクトホール自体にヒューズ機能を持たせることができる。つまり、複数の有機EL素子のうち一部の有機EL素子が短絡すると、当該有機EL素子に所定よりも大きな過電流が流れる。該過電流によって上記コンタクトホール内の導電膜が溶融して断線すれば、他の有機EL素子における電流の流れ、すなわち他の有機EL素子の発光に影響を及ぼさずに済む。
この構成によれば、第2電極における第2端子部からの距離に起因する電気抵抗の変化を小さくすることができる。
これによれば、配線形成工程を簡略化できるので、優れたコストパフォーマンスを有する照明装置を提供できる。
この構成によれば、輝度むらが低減された照明装置を備えているので、見栄えのよい電子機器を提供できる。
この構成によれば、輝度むらが低減された照明装置を備えているので、コントラストむらが少ない被写体の画像を撮像することができる撮像装置を提供することができる。
この構成によれば、輝度むらが低減された照明装置を備えているので、コントラストむらが少ない被写体の画像に基づいて、より正確な検査が可能な検査装置を提供することができる。
<照明装置>
まず、本実施形態の照明装置について、図1〜図5を参照して説明する。図1は第1実施形態の照明装置の電気的な構成を示す回路図、図2は第1実施形態の照明装置の構成を示す概略平面図、図3は第1実施形態の照明装置の要部の構成を示す概略平面図、図4は図3のA−A’線に沿った概略断面図、図5は有機EL素子の構成を示す模式断面図である。
1つの有機EL素子1の発光輝度は、陽極2と陰極8との間を流れる電流量によって決まる。電流量が所定の輝度が得られる値よりも小さければ輝度は所定の輝度より小さくなる。電流量は陽極2と陰極8との間の電位差に依存する。言い換えれば、複数の有機EL素子1のそれぞれにおいて陽極2と陰極8との間に印加される駆動電圧がばらつくと、輝度がばらつくことになる。
つまり、図面上でY方向の下側に第1端子部17と第2端子部18と第3端子部27と第4端子部19と第5端子部29とが設けられている。第1端子部17と第4端子部19との間に第2端子部18が配置され、第1端子部17の外側に第3端子部27が設置され、第4端子部19の外側に第5端子部29が設置されている。
図3に示すように、有機EL素子1の陽極2は、平面視で第1配線11と重なって形成されている。陽極2と第1配線11とは、陽極2と重なった位置に設けられたコンタクトホール9a内の導電膜を介して電気的に接続されている。本実施形態における陽極2の形状は長方形であって、長手方向が第1配線11の延在方向(X方向)と合致するように陽極2が配置されている。陽極2の短手方向の幅は、第1配線11の幅と同じであってもよいし、少し小さくてもよく、また少し大きくても構わない。陰極8が共通電極として形成されるので、1つの有機EL素子1において発光が得られる領域は、ほぼ陽極2の大きさによって決まる。
図5に示すように、有機EL素子1は、陽極2上に順に積層形成された、正孔注入層3、正孔輸送層4、発光層5、電子輸送層6、電子注入層7、陰極8を有する。
陽極2は、後述する正孔注入層3を介して正孔輸送層4に正孔を注入するための電極である。陽極2の構成材料としては、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料を用いるのが好ましい。例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、In2O3、SnO2、Sb含有SnO2、Al含有ZnO等の酸化物、Au、Pt、Ag、Cuまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
特に、陽極2は、ITOで構成されているのが好ましい。ITOは、透光性を有すると共に、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料である。これにより、陽極2から正孔注入層3へ効率的に正孔を注入することができる。
陽極2の膜厚は、特に限定されないが、10nm〜200nm程度であるのが好ましく、50nm〜150nm程度であるのがより好ましい。
正孔注入層3は、陽極2からの正孔注入効率を向上させる機能を有する(すなわち正孔注入性を有する)ものである。
陽極2と後述する正孔輸送層4との間に正孔注入層3を設けることにより、陽極2からの正孔注入性を向上させ、その結果、有機EL素子1の発光効率を高めることができる。
正孔注入層3に含まれる正孔注入性材料としては、特に限定されないが、例えば、銅フタロシアニンや、4,4’,4’’−トリス(N,N−フェニル−3−メチルフェニルアミノ)トリフェニルアミン(m−MTDATA)、N,N’−ビス−(4−ジフェニルアミノ−フェニル)−N,N’−ジフェニル−ビフェニル−4−4’−ジアミン等が挙げられる。
中でも、正孔注入層3に含まれる正孔注入性材料としては、正孔注入性及び正孔輸送性に優れるという観点から、アミン系材料を用いるのが好ましく、ジアミノベンゼン誘導体、ベンジジン誘導体(ベンジジン骨格を有する材料)、分子内に「ジアミノベンゼン」ユニットと「ベンジジン」ユニットとの両方を有するトリアミン系化合物、テトラアミン系化合物を用いるのがより好ましい。
このような正孔注入層3の膜厚は、特に限定されないが、5nm〜90nm程度であるのが好ましく、10nm〜70nm程度であるのがより好ましい。
なお、正孔注入層3は、陽極2及び正孔輸送層4の構成材料によっては、省略してもよい。
正孔輸送層4は、陽極2から正孔注入層3を介して注入された正孔を発光層5まで輸送する機能を有する(すなわち正孔輸送性を有する)ものである。
正孔輸送層4に含まれる正孔輸送性材料には、各種p型の高分子材料や、各種p型の低分子材料を単独または組み合わせて用いることができ、例えば、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ジフェニル−4,4’−ジアミン(NPD)、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ジフェニル−4,4’−ジアミン(TPD)等のテトラアリールベンジジン誘導体、テトラアリールジアミノフルオレン化合物またはその誘導体(アミン系化合物)等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
中でも、正孔輸送層4に含まれる正孔輸送性材料としては、正孔注入性及び正孔輸送性に優れるという観点から、アミン系材料であるのが好ましく、ベンジジン誘導体(ベンジジン骨格を有する材料)であるのがより好ましい。
このような正孔輸送層4の膜厚は、特に限定されないが、5nm〜90nm程度であるのが好ましく、10nm〜70nm程度であるのがより好ましい。
発光層5は、陽極2と陰極8との間に通電することにより発光するものである。どのような波長の光を取り出すかにより発光層5に含まれる発光材料が選択される。本実施形態では、後述する検査装置としての生体認証装置に用いられることを考慮して近赤外域において輝度のピーク波長が得られる発光材料が用いられている。なお、近赤外域とは700nm以上1500nm以下の波長域を指す。発光層5は発光材料以外の材料を含んでいてもよい。例えば、発光材料をゲスト材料として、ゲスト材料に対するホスト材料を含んでいてもよい。このホスト材料は、注入された正孔と電子とにより励起子を生成すると共に、その励起子のエネルギーを発光材料に移動(フェルスター移動またはデクスター移動)させて、発光材料を励起する機能を有する。そのため、有機EL素子1の発光効率を高めることができる。
このような発光層5の膜厚は、特に限定されないが、1nm〜60nm程度であるのが好ましく、3nm〜50nm程度であるのがより好ましい。
電子輸送層6は、陰極8から電子注入層7を介して注入された電子を発光層5に輸送する機能を有するものである。
電子輸送層6の構成材料(電子輸送性材料)としては、例えば、2,9−ジメチル−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(BCP)等のフェナントロリン誘導体、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)等の8−キノリノールないしその誘導体を配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、アザインドリジン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、電子輸送層6は、前述したような電子輸送性材料のうち2種以上を組み合わせて用いる場合、2種以上の電子輸送性材料を混合した混合材料で構成されていてもよいし、異なる電子輸送性材料で構成された複数の層を積層して構成されていてもよい。
このような電子輸送層6の膜厚は、特に限定されないが、1nm〜200nm程度であるのが好ましく、10nm〜100nm程度であるのがより好ましい。
電子注入層7は、陰極8からの電子注入効率を向上させる機能を有するものである。
電子注入層7の構成材料(電子注入性材料)としては、例えば、各種の無機絶縁材料、各種の無機半導体材料が挙げられる。
このような無機絶縁材料としては、例えば、アルカリ金属カルコゲナイド(酸化物、硫化物、セレン化物、テルル化物)、アルカリ土類金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物及びアルカリ土類金属のハロゲン化物等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらを主材料として電子注入層7を構成することにより、電子注入性をより向上させることができる。特にアルカリ金属化合物(アルカリ金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物等)は仕事関数が非常に小さく、これを用いて電子注入層7を構成することにより、有機EL素子1は、高い輝度が得られるものとなる。
アルカリ金属カルコゲナイドとしては、例えば、Li2O、LiO、Na2S、Na2Se、NaO等が挙げられる。
アルカリ土類金属カルコゲナイドとしては、例えば、CaO、BaO、SrO、BeO、BaS、MgO、CaSe等が挙げられる。
アルカリ金属のハロゲン化物としては、例えば、CsF、LiF、NaF、KF、LiCl、KCl、NaCl等が挙げられる。
アルカリ土類金属のハロゲン化物としては、例えば、CaF2、BaF2、SrF2、MgF2、BeF2等が挙げられる。
また、無機半導体材料としては、例えば、Li、Na、Ba、Ca、Sr、Yb、Al、Ga、In、Cd、Mg、Si、Ta、Sb及びZnのうちの少なくとも1つの元素を含む酸化物、窒化物または酸化窒化物等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
このような電子注入層7の膜厚は、特に限定されないが、0.1nm〜1000nm程度であるのが好ましく、0.2nm〜100nm程度であるのがより好ましく、0.2nm〜50nm程度であるのがさらに好ましい。
なお、この電子注入層7は、陰極8及び電子輸送層6の構成材料や厚さ等によっては、省略してもよい。
陰極8は、電子注入層7を介して電子輸送層6に電子を注入するための電極である。陰極8の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いるのが好ましい。
陰極8(第4配線26)の構成材料としては、例えば、Li、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb、Ag、Cu、Al、Cs、Rbまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて(例えば、複数層の積層体、複数種の混合層等として)用いることができる。
特に、陰極8(第4配線26)の構成材料として合金を用いる場合には、Ag、Al、Cu等の安定な金属元素を含む合金、具体的には、MgAg、AlLi、CuLi等の合金を用いるのが好ましい。かかる合金を陰極8(第4配線26)の構成材料として用いることにより、陰極8の電子注入効率及び安定性の向上を図ることができる。
以上、有機EL素子1の構成について説明したが、正孔注入層3、正孔輸送層4、発光層5、電子輸送層6、電子注入層7を含む発光機能層LEの構成はこれに限定されない。例えば、キャリアとしての正孔や電子の移動を制御する中間層を含む構成としてもよい。
また、有機EL素子1の発光寿命を確保するために、酸素や水分等が浸入することを防ぐ封止膜を用いて有機EL素子1を封止する構造を採用することが好ましい。
複数の第1配線11の一方の端部(図面上では左側の端部)はY方向に延在した第3配線13に接続されている。第3配線13の端部(図面上では下方側の端部)に第1端子部17が設けられている。
複数の第1配線11の他方の端部(図面上では右側の端部)はY方向に延在した第8配線15に接続されている。第8配線15の端部(図面上では下方側の端部)に第4端子部19が設けられている。
複数の有機EL素子1が配置された領域E1に亘って第4配線26が形成されている。第4配線26の一方の端部(図面上では上側の端部)はX方向に延在した第6配線28に接続されている。第4配線26の他方の端部(図面上では下側の端部)に第2端子部18が設けられている。第6配線28の一方の端部(図面上では左側の端部)はY方向に延在した第5配線30に接続されている。第5配線30の端部(図面上では下側の端部)には第3端子部27が設けられている。第6配線28の他方の端部(図面上では右側の端部)はY方向に延在した第9配線31に接続されている。第9配線31の端部(図面上では下側の端部)には第5端子部29が設けられている。
つまり、第2配線12及び第7配線14はそのままY方向に延出されて第1端子部17や第4端子部19に接続されず、第1端子部17や第4端子部19が設けられた側と反対側で折り返されて、第3配線13や第8配線15にそれぞれ接続されている。
したがって、第7配線14における電位は、第4端子部19に近い側で最も小さくなり、第4端子部19に遠い側で最も大きくなる。一方で、第1配線11における電位の傾向は、比較例と同じである。したがって、図7(b)において斜め方向に配置された矢印によって示されるように、例えば、第4端子部19から最も近い第1配線11aの中央に位置する有機EL素子1の陽極2には最も小さい電位が与えられる。そして、第4端子部19から最も遠い第1配線11eの右端(第7配線14に近い側)に位置する有機EL素子1の陽極2には最も大きい電位が与えられる。図7(b)には示していないが、第1端子部17を基準として各有機EL素子1の陽極2に与えられる電位を考察しても同様な結果となる。
次に、第2実施形態の照明装置について、図9及び図10を参照して説明する。図9は第2実施形態の照明装置の電気的な構成を示す回路図、図10(a)は第2実施形態の照明装置の構成を示す概略平面図、図10(b)は第2実施形態の照明装置の有機EL素子における陽極と陰極の配置を示す概略平面図である。なお、第2実施形態の照明装置は、第1実施形態の照明装置10Aに対して第4配線26の構成を異ならせたものである。したがって、第1実施形態の照明装置10Aと同じ構成には同じ符号を付して詳細の説明は省略するものとする。
また、複数の第1配線11の両端部が接続される第2配線12及び第7配線14に対して、第3配線13及び第8配線15の幅が大きくなっている。また、第5配線30及び第9配線31は第3配線13及び第8配線15の幅と同等になっている。
図10(b)に示すように、有機EL素子1の陽極2は、平面視で第1配線11と重なって形成されている。陽極2と第1配線11とは、陽極2と重なった位置に設けられたコンタクトホール9a内の導電膜を介して電気的に接続されている。本実施形態における陽極2の形状は長方形であって、長手方向が第1配線11の延在方向(X方向)と合致するように陽極2が配置されている。陽極2の短手方向の幅は、第1配線11の幅と同じであってもよいし、少し小さくてもよく、また少し大きくても構わない。第4配線26は、複数の第4配線枝部26a,26b,26c,26d,26e,26fを有する構成となっているので、例えば、2点鎖線で示した第4配線枝部26c,26dと陽極2とが平面視で重なる破線で示した領域E0が、1つの有機EL素子1において発光が得られる領域となっている。言い換えれば、破線で示した領域E0に重なる第4配線枝部26c,26dの部分が陰極8として機能する。
<検査装置>
次に、本実施形態の検査装置について、生体認証装置を例に挙げ、図11〜図13を参照して説明する。なお、本実施形態の検査装置は、本実施形態の撮像装置を含むものである。図11は生体認証装置の構成を示すブロック図、図12は有機EL素子と受光素子との配置を示す概略平面図、図13は撮像装置の構造を示す概略断面図である。
カバーガラス60は、撮像領域を覆うガラス製の保護カバーである。カバーガラス60の上に認証対象となる者の指F(例えば右手の人差し指)が置かれる。
発光部10は、有機EL素子1を光源とする上記第1実施形態の照明装置10Aあるいは上記第2実施形態の照明装置10Bを用いることができる。本実施形態の撮像装置50では、上記第2実施形態の照明装置10Bを発光部10として採用している。したがって、発光部10から発せられる照射光ILは近赤外域の光であり、その波長は、例えば700nm〜1500nm(より好ましくは800nm〜900nm)である。
各受光素子21は、受光面に入射された反射光RL(近赤外光)をその光量に応じた信号レベルを有する受光信号に変換する。
本実施形態の撮像装置50は、発光部10として照明装置10Bが採用されている。したがって、生体(被写体)としての指Fを明るさにおいてむら無く照明することができる。また、図12に示すように受光素子21上には、反射光RLを遮る配線や電極が存在していないので、反射光RLに対して高感度な撮像装置50を提供できる。なお、発光部10として上記第1実施形態の照明装置10Aを採用することもできる。
Claims (16)
- 第1電極と第2電極との間に発光層を有する複数の有機EL素子が基板上に配置された領域を有する照明装置であって、
第1の方向に延在し、前記第1の方向と交差する第2の方向に互いに並列する複数の第1配線と、
前記第2の方向に延在し、前記複数の第1配線の一方の端部が接続された第2配線と、
前記第2の方向に延在し、前記第2配線よりも外側に設けられ一方の端部が前記第2配線に接続された第3配線と、
前記第3配線の他方の端部が接続された第1端子部と、
前記第1の方向と前記第2の方向とに延在し、少なくとも前記領域に亘って形成された第4配線と、
前記第2の方向に延在し、前記第3配線よりも外側に設けられた第5配線と、
前記第1の方向に延在し、前記第2の方向における前記第1端子部と反対側において、
前記第4配線の一方の端部に電気的に接続され、且つ前記第5配線の一方の端部に接続された第6配線と、
前記第4配線の前記第2の方向における他方の端部が接続された第2端子部と、
前記第5配線の他方の端部が接続された第3端子部と、を備え、
前記第1電極は、前記複数の第1配線のいずれかに接続され、
前記第4配線の一部が前記第2電極として機能していることを特徴とする照明装置。 - 第1電極と第2電極との間に発光層を有する複数の有機EL素子が基板上に配置された領域を有する照明装置であって、
第1の方向に延在し、前記第1の方向と交差する第2の方向に互いに並列する複数の第1配線と、
前記第2の方向に延在し、前記複数の第1配線の一方の端部が接続された第2配線と、
前記第2の方向に延在し、前記第2配線よりも外側に設けられ一方の端部が前記第2配線に接続された第3配線と、
前記第3配線の他方の端部が接続された第1端子部と、
少なくとも前記領域において、前記第2の方向に延在し、前記第1の方向に間隔をおいて互いに並列する複数の第4配線枝部を有する第4配線と、
前記第2の方向に延在し、前記第3配線よりも外側に設けられた第5配線と、
前記第1の方向に延在し、前記第2の方向における前記第1端子部と反対側において、
前記複数の第4配線枝部の一方の端部に電気的に接続され、且つ前記第5配線の一方の端部に接続された第6配線と、
前記複数の第4配線枝部の前記第2の方向における他方の端部が接続された第2端子部と、
前記第5配線の他方の端部が接続された第3端子部、を備え、
前記第1電極は、前記複数の第1配線のいずれかに接続され、
前記第4配線枝部の一部が前記第2電極として機能し、
前記有機EL素子は、前記複数の第1配線と前記複数の第4配線枝部との交差部に対応して設けられていることを特徴とする照明装置。 - 前記第2の方向に延在し、前記複数の第1配線の他方の端部が接続された第7配線と、
前記第2の方向に延在し、前記第7配線よりも外側に設けられ一方の端部が前記第7配線に接続された第8配線と、
前記第8配線の他方の端部が接続された第4端子部と、
前記第8配線の外側に設けられ一方の端部が前記第6配線と接続された第9配線と、
前記第9配線の他方の端部が接続された第5端子部と、を備え、
前記第2の方向において、前記第1端子部及び前記第2端子部及び第3端子部及び第4端子部並びに前記第5端子部が同じ側に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の照明装置。 - 前記複数の第1配線のうち、前記領域の中央側に位置する少なくとも1つの第1配線が他の第1配線よりも幅が大きいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の照明装置。
- 前記複数の第1配線、前記第2配線、前記第3配線、前記第5配線、前記第6配線、前記第7配線、前記第8配線、前記第9配線は、前記基板上において同層に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の照明装置。
- 前記複数の第1配線は、少なくとも前記領域に亘って設けられ、
前記第2配線、前記第3配線、前記第5配線、前記第6配線、前記第7配線、前記第8配線、前記第9配線は、前記領域の外側に設けられていることを特徴とする請求項3に記載の照明装置。 - 前記第3配線の幅は前記第2配線よりも大きく、
前記第8配線の幅は前記第7配線よりも大きいことを特徴とする請求項3に記載の照明装置。 - 前記第5配線の幅は前記第3配線と同等で、
前記第9配線の幅は前記第8配線と同等であることを特徴とする請求項3に記載の照明装置。 - 前記基板上の前記複数の第1配線を覆う絶縁層と、
前記複数の第1配線と重なる前記絶縁層の部分に設けられた複数のコンタクトホールと、を備え、
前記第1電極は、前記複数の第1配線のうちの1つの第1配線と重なって設けられ、前記複数のコンタクトホールのうち少なくとも1つのコンタクトホール内に形成された導電膜により前記1つの第1配線と電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の照明装置。 - 前記複数の第1配線は、光反射性を有する導電材料により構成され、
前記第1電極及び前記第4配線は、光透過性を有する導電材料により構成されていることを特徴とする請求項9に記載の照明装置。 - 前記少なくとも1つのコンタクトホール内に形成された導電膜は、前記第1電極と同じ光透過性を有する導電材料で構成されていることを特徴とする請求項10に記載の照明装置。
- 前記第1の方向に延在し、前記第4配線と前記第2端子部とを電気的に接続させる第10配線を有し、
前記第10配線は、前記第4配線よりも低抵抗な導電材料により構成されていることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の照明装置。 - 前記第1の方向に延在し、前記第4配線と前記第2端子部とを電気的に接続させる第10配線を有し、
前記第10配線は、前記第4配線よりも低抵抗な導電材料により構成されており、前記領域よりも外側に設けられ、前記基板上において、前記複数の第1配線、前記第2配線、前記第3配線、前記第5配線、前記第6配線、前記第7配線、前記第8配線、前記第9配線と同層に形成されていることを特徴とする請求項3に記載の照明装置。 - 請求項1及び至13に記載の照明装置を備えたことを特徴とする電子機器。
- 請求項1及び至13に記載の照明装置と、
前記照明装置によって照明された被写体の画像を撮像する受光素子と、
を備えたことを特徴とする撮像装置。 - 請求項1及び至13に記載の照明装置と、
前記照明装置によって照明された被写体の画像を撮像する受光素子と、
前記受光素子の結果によって検査を行う制御部と、
を備えたことを特徴とする検査装置。
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