JP6059542B2 - 排気圧力/流量コントローラ - Google Patents
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Description
前記貫通流路内に配置され、膨張部材と前記膨張部材を含んで形成される気密空洞とを有するアクチュエータと、
前記気密空洞内に制御用気体を給気又は排気することにより、前記アクチュエータの外径を増大又は減少させて、前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と、
を有することを特徴とする排気圧力/流量コントローラ。
両端開口の筒状の膨張部材と、
前記膨張部材の筒内に挿入され、前記膨張部材の各端を密封して取り付けたコア部材と、
を有する〔1〕に記載の排気圧力/流量コントローラ。
前記膨張部材の一端を密封して取り付けた部材Aと、前記膨張部材の他端を密封して取り付けた部材Bと、からなり、
部材Aと部材Bとが互いの距離を遠ざけるように付勢されているコア部材である〔2〕に記載の排気圧力/流量コントローラ。
図5は本発明の排気圧力/流量コントローラの一構成例を示す説明図である。図5中、100は排気圧力/流量コントローラである。排気圧力/流量コントローラ100は、バルブ10とこれを制御する給排気コントローラ31とから構成される。
第2の実施態様における排気圧力/流量コントローラは、第1の実施態様におけるバルブの貫通流路内に、その貫通流路と軸心を平行にして配置されたリング状のオリフィスをさらに有している。
本発明の排気圧力/流量コントローラ100は、例えば局所排気装置に組み込まれて使用される。図14は、本発明の排気圧力コントローラ100が組み込まれて構成される局所排気装置の一例を示す構成図である。図14中、501はフードである。フード501は、ダクト503aの一端に接続され、ダクト503aの他端は、バルブボディ11の一端と接続されている。バルブボディ11の他端は、ダクト503bの一端が接続され、ダクト503bの他端は、ファン505の吸引側に接続されている。ファン505の排出側には、排気ダクト507の一端が接続され、排気ダクト507の他端は開放されている。
膨張部材は、制御用気体の圧力によって膨張させることができる材料によって構成されていることを要する。例えば、シリコンゴムやクロロプレンゴムのゴムチューブ等の材料で構成することができる。膨張部材としては、上記説明の膨張部材の他、特開2011−137516号公報に開示される流体注入型アクチュエータを用いることもできる。
図9において、付勢部材はバネを用いたが、これに限定されず、ゴム等の弾性材料を用いることもできる。
本排気圧力/流量コントローラには、流量計測手段を備えていても良い。差圧式流量計、熱線式流量計、カルマン渦式流量計など公知の流量計測手段を用いることができる。
給排気コントローラとしては、任意の量の制御用気体を気密空洞内に供給して保持できる物であればどのような物を用いても良い。圧力源や差圧検出手段は給排気コントローラと一体であってもよい。
制御用気体はどのような物であっても良いが、経済性の観点から空気や窒素ガスが好ましい。
10、110、210、310・・・バルブ
11、111・・・バルブボディ
13、113・・・貫通流路
15、115・・・固定具
17、117・・・ビス
20、120、220、320・・・アクチュエータ
21、121a、121b・・・コア部材
22a、22b、122a、122b・・・カシメ部材
23、123・・・膨張部材
23a、123a・・・膨張部材の一端
23b、123b・・・膨張部材の他端
124・・・バネ
25、125・・・制御用気体給排気路
226・・・オリフィス
27、127・・・接続口
29、129・・・気密空洞
31・・・給排気コントローラ
33・・・気体供給管
35・・・制御用気体給排気管
500・・・局所排気装置
501・・・フード
503a、503b・・・ダクト
505・・・ファン
507・・・排気ダクト
800・・・局所排気装置
801・・・フード
803a、803b・・・ダクト
805・・・ファン
807・・・排気ダクト
900・・・ダンパー
901・・・ハウジング
903・・・弁体ディスク
904・・・弁軸
905・・・アクチュエータ
Claims (2)
- 貫通流路を有するバルブボディと;
前記貫通流路内に配置され、両端開口の筒状の膨張部材と、前記膨張部材の筒内に挿入され、前記膨張部材の各端を密封して取り付けたコア部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞とを有するアクチュエータと;
前記気密空洞内に制御用気体を給気又は排気することにより、前記アクチュエータの外径を増大又は減少させて、前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と;
を有し、
前記コア部材が、前記膨張部材の一端を密封して取り付けた部材Aと、前記膨張部材の他端を密封して取り付けた部材Bと、からなり、
部材Aと部材Bとが互いの距離を遠ざけるように付勢されているコア部材であることを特徴とする排気圧力/流量コントローラ。 - 貫通流路を有するバルブボディと;
前記貫通流路内に配置され、膨張部材と前記膨張部材を含んで形成される気密空洞とを有するアクチュエータと;
前記気密空洞内に制御用気体を給気又は排気することにより、前記アクチュエータの外径を増大又は減少させて、前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と;
前記貫通流路の流路方向とその軸心を平行にして前記貫通流路内に挿入されたリング状のオリフィスと;
を有することを特徴とする排気圧力/流量コントローラ。
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