JP6058312B2 - Cleaning head - Google Patents

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    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities

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Description

本発明は、ガラス基板や金属製基板、樹脂製フィルム等の除塵対象物の表面に清浄エアを噴射し、前記表面に付着した塵埃を飛散させて吸引除去するためのクリーニングヘッドに関するものである。   The present invention relates to a cleaning head for injecting clean air onto the surface of a dust removal object such as a glass substrate, a metal substrate, or a resin film, and scattering and removing dust adhering to the surface.

図３は、この種のクリーニングヘッドの従来技術を示しており、図３（ａ）はヘッド本体の平面図、図３（ｂ）は全体の正面図、図３（ｃ）は図３（ｂ）のＢ−Ｂ拡大断面図である。
これらの図において、２０は角筒状のヘッド本体であり、その両端には給気ダクト１０がそれぞれ取り付けられている。図３（ａ）に示すように、ヘッド本体２０の天板２１には、長手方向に沿って各一対の排気口２０ｂがほぼ等間隔に形成されている。 FIG. 3 shows the prior art of this type of cleaning head. FIG. 3 (a) is a plan view of the head body, FIG. 3 (b) is a front view of the whole, and FIG. 3 (c) is FIG. FIG.
In these drawings, reference numeral 20 denotes a rectangular tube-shaped head body, and air supply ducts 10 are respectively attached to both ends thereof. As shown in FIG. 3A, the top plate 21 of the head body 20 has a pair of exhaust ports 20b formed at substantially equal intervals along the longitudinal direction.

図３（ｂ），（ｃ）において、３１，３２，３３は、前記排気口２０ｂに対応させて、ヘッド本体２０の中央部の両側に対称的に取り付けられた排気ダクトであり、これらの排気ダクト３１，３２，３３は排気口２０ｂ側が開口されていると共に、ホース４１，４２によって互いに連結されている。
個々の排気ダクト、例えば排気ダクト３１は、図３（ｃ）に示す枠状の固定板３１ａがヘッド本体２０の天板２１にネジ３５によって固定されている。なお、固定板３１ａと天板２１との間には、気密性を保つためにシール材（図示せず）が設けられている。 3 (b) and 3 (c), reference numerals 31, 32, and 33 denote exhaust ducts that are symmetrically attached to both sides of the central portion of the head body 20 so as to correspond to the exhaust port 20b. The ducts 31, 32, and 33 are opened on the exhaust port 20 b side and are connected to each other by hoses 41 and 42.
In each exhaust duct, for example, the exhaust duct 31, a frame-shaped fixing plate 31 a shown in FIG. 3C is fixed to the top plate 21 of the head body 20 with screws 35. A sealing material (not shown) is provided between the fixed plate 31a and the top plate 21 in order to maintain airtightness.

図３（ｃ）に示すように、ヘッド本体２０には内部ダクト２４が設けられており、その内部空間は、エア噴射室２５として前記給気ダクト１０に連通している。また、ヘッド本体２０の内面と内部ダクト２４の外面とによって形成される空間は、エア吸引室２６として前記排気口２０ｂを介し排気ダクト３１，３２，３３に連通している。
内部ダクト２４の中央下端部には、給気ダクト１０から供給された清浄エアを除塵対象物Ｇ方向に噴射させるエア噴射口２２ａが形成されている。また、ヘッド本体２０の底板には、エア噴射口２２ａの両側に位置するように、噴射エアにより飛散した塵埃を吸引するためのエア吸引口２０ａが形成されている。 As shown in FIG. 3C, the head main body 20 is provided with an internal duct 24, and the internal space communicates with the air supply duct 10 as an air injection chamber 25. A space formed by the inner surface of the head main body 20 and the outer surface of the internal duct 24 communicates with the exhaust ducts 31, 32, and 33 as the air suction chamber 26 through the exhaust port 20b.
An air injection port 22 a that injects clean air supplied from the air supply duct 10 in the direction of the dust removal object G is formed at the lower end of the center of the internal duct 24. The bottom plate of the head body 20 is formed with air suction ports 20a for sucking dust scattered by the jet air so as to be located on both sides of the air jet ports 22a.

この従来技術では、ブロア及びＨＥＰＡフィルタ等のエア源（図示せず）により給気ダクト１０に供給された清浄エアが、エア噴射室２５からエア噴射口２２ａを介して除塵対象物Ｇの表面に噴射される。
一方、排気ダクト３１，３２，３３は端部の排気ダクト３１側からエアを吸引して負圧に保たれているため、除塵対象物Ｇの表面から飛散した塵埃は、エア吸引口２０ａを介してエア吸引室２６→排気口２０ｂ→排気ダクト３１，３２，３３の経路で吸引、排気される。
これにより、除塵対象物Ｇの表面に付着した塵埃を吸引、除去することが可能である。 In this prior art, clean air supplied to the air supply duct 10 by an air source (not shown) such as a blower and a HEPA filter is applied from the air injection chamber 25 to the surface of the dust removal object G via the air injection port 22a. Be injected.
On the other hand, since the exhaust ducts 31, 32, and 33 are kept at a negative pressure by sucking air from the exhaust duct 31 side at the end, dust scattered from the surface of the dust removal object G passes through the air suction port 20a. Then, the air is sucked and exhausted through the path of the air suction chamber 26 → the exhaust port 20 b → the exhaust ducts 31, 32 and 33.
Thereby, the dust adhering to the surface of the dust removal object G can be sucked and removed.

なお、特許文献１には、図３に示したものとほぼ同様に構成されたクリーニングヘッドが開示されており、これらのクリーニングヘッドは、排気ダクトの取付方向を１８０度、変更できる点が一つの特徴となっている。   Patent Document 1 discloses cleaning heads configured in substantially the same manner as shown in FIG. 3, and these cleaning heads can change the mounting direction of the exhaust duct by 180 degrees. It is a feature.

特許第４７７１４１９号公報（段落［００３７］，［００３８］、図７等）。Japanese Patent No. 4771419 (paragraphs [0037], [0038], FIG. 7 and the like).

図３に示した従来技術には、以下のような問題がある。
まず、図３では、ヘッド本体２０の長手方向中央部に近い排気ダクト及びホースほど内径を小さくして、エア吸引時の圧力（負圧）が大きくなるようにしている。しかし、このような構造を採ったとしても、ヘッド本体２０の長手方向中央部に近いほどエアの吸引力が弱くなるか、または吸引力にばらつきを生じてしまい、十分な除塵性能が得られない場合がある。これに加えて、排気ダクト３１，３２，３３及びホース４１，４２の形状、構造が複数種類にわたると共に全体的な部品点数も多いため、製造コストが高くなるという問題があった。
また、排気ダクト３１，３２，３３をヘッド本体２０の天板２１に固定しているネジ３５が振動により緩んでしまい、最悪の場合には除塵対象物Ｇの上にネジ３５が落下して除塵対象物Ｇを損傷または汚染してしまうおそれがあった。
更に、排気ダクト３１，３２，３３やホース４１，４２等の部品の凹凸部分に塵埃が付着しやすく、これらの塵埃が除塵対象物Ｇの表面に落下する場合もある。 The prior art shown in FIG. 3 has the following problems.
First, in FIG. 3, the exhaust duct and the hose closer to the central portion in the longitudinal direction of the head body 20 have a smaller inner diameter so that the pressure (negative pressure) during air suction is increased. However, even if such a structure is adopted, the closer to the central portion in the longitudinal direction of the head main body 20, the weaker the air suction force, or the suction force varies, and a sufficient dust removal performance cannot be obtained. There is a case. In addition to this, the exhaust ducts 31, 32, 33 and the hoses 41, 42 have a plurality of types and structures, and the number of overall parts is large, resulting in an increase in manufacturing cost.
Further, the screw 35 that fixes the exhaust ducts 31, 32, and 33 to the top plate 21 of the head main body 20 is loosened by vibration, and in the worst case, the screw 35 falls onto the dust removal object G and the dust is removed. There is a possibility that the object G is damaged or contaminated.
Furthermore, dust tends to adhere to uneven portions of parts such as the exhaust ducts 31, 32, 33 and the hoses 41, 42, and these dusts may fall on the surface of the dust removal object G.

そこで本発明の解決課題は、全体的な構造を簡略化し、部品の種類や点数を少なくして製造コストを低減すると共に、長手方向の全長にわたってほぼ均一な吸引力を得るようにしたクリーニングヘッドを提供することにある。   Accordingly, the problem to be solved by the present invention is to provide a cleaning head that simplifies the overall structure, reduces the type and number of parts, reduces manufacturing costs, and obtains a substantially uniform suction force over the entire length in the longitudinal direction. It is to provide.

上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、エア噴射口から除塵対象物の表面に清浄エアを噴射して前記表面に付着した塵埃を飛散させ、この塵埃を清浄エアと共にエア吸引口から吸引して排気するようにしたクリーニングヘッドにおいて、
外部から給気ダクトを介して清浄エアがエア噴射室に供給され、前記エア噴射口から清浄エアを噴射させる長尺の内部ダクトと、
前記内部ダクトのほぼ全長にわたり前記内部ダクトを包囲するように配置された下カバーと、
前記下カバーの上端部に連結され、かつ内部の空気溜まりが排気ダクトに連通する上カバーと、
前記上カバー及び下カバーを両カバーの長手方向に沿って相対的にスライドさせて両カバーを連結するためのガイド部材と、
を備え、
前記上カバーの下方に前記ガイド部材を介して連結された前記下カバーの内面と前記内部ダクトの外面との間に、前記エア吸引口に連通するエア吸引室を形成し、前記エア吸引室と前記空気溜まりとを、前記排気ダクトから遠ざかるほど開口面積が大きい排気口により連通させると共に、前記エア吸引室の内面に、空気抵抗を大きくするための突起を形成したものである。 In order to solve the above-mentioned problem, the invention according to claim 1 is directed to injecting clean air from the air injection port onto the surface of the object to be dusted to disperse the dust adhering to the surface. In the cleaning head that is sucked and exhausted from
Clean air is supplied to the air injection chamber from the outside via an air supply duct, and a long internal duct that injects clean air from the air injection port;
A lower cover disposed so as to surround the inner duct over substantially the entire length of the inner duct,
An upper cover connected to the upper end of the lower cover, and an internal air reservoir communicating with the exhaust duct;
A guide member for sliding the upper cover and the lower cover relative to each other along the longitudinal direction of both covers to connect the covers;
With
An air suction chamber that communicates with the air suction port is formed between the inner surface of the lower cover and the outer surface of the internal duct that are connected to each other below the upper cover via the guide member. a reservoir the air, the Rutotomoni communicated by an opening area farther from the exhaust duct is large exhaust port, the inner surface of the air suction chamber, and forming a protrusion for increasing the air resistance.

請求項２に係る発明は、請求項１に記載したクリーニングヘッドにおいて、前記下カバー及び前記内部ダクトを両者の長手方向に沿って相対的にスライドさせて連結するためのガイド部材を更に備えたものである。   The invention according to claim 2 is the cleaning head according to claim 1, further comprising a guide member for slidably connecting the lower cover and the internal duct along the longitudinal direction of both. It is.

請求項３に係る発明は、請求項１または２に記載したクリーニングヘッドにおいて、前記エア噴射室の内面に空気抵抗を大きくするための突起を形成したものである。   According to a third aspect of the present invention, in the cleaning head according to the first or second aspect, a protrusion for increasing air resistance is formed on the inner surface of the air ejection chamber.

本発明によれば、上カバー、下カバー、内部ダクト等を長手方向に沿ってスライドさせて連結し、更に各１個の給気ダクト、排気ダクトを取り付けるだけで全体を組み立てることが可能である。このため、従来のように複数種類の排気ダクトを多数、ネジ止めして固定する必要がなく、全体的な構造の簡略化、部品の種類や点数の減少により製造コストを低減することができる。これにより、従来技術に比べて、ネジの緩みや落下、多数の部品の凹凸部分への塵埃の付着などの可能性を少なくすることができる。
また、下カバーに形成される排気口の開口面積を、排気ダクトからの距離に応じて変えることにより、クリーニングヘッドの長手方向の全長にわたってほぼ均一な吸引力が得られ、塵埃の吸引力にアンバランスが生じるのを解消することができる。 According to the present invention, it is possible to assemble the whole by simply connecting the upper cover, the lower cover, the internal duct and the like by sliding them along the longitudinal direction, and further attaching each one air supply duct and exhaust duct. . For this reason, it is not necessary to screw and fix a plurality of types of exhaust ducts as in the prior art, and the manufacturing cost can be reduced by simplifying the overall structure and reducing the types and number of parts. Thereby, compared with a prior art, possibility of loosening of a screw, dropping, adhesion of dust to the uneven part of many parts, etc. can be decreased.
In addition, by changing the opening area of the exhaust port formed in the lower cover according to the distance from the exhaust duct, a substantially uniform suction force can be obtained over the entire length of the cleaning head in the longitudinal direction, and the dust suction force can be reduced. It is possible to eliminate the occurrence of balance.

本発明の実施形態のクリーニングヘッドを示す図であり、図１（ａ）は下カバーの平面図、図１（ｂ）は全体の正面図である。It is a figure which shows the cleaning head of embodiment of this invention, FIG. 1 (a) is a top view of a lower cover, FIG.1 (b) is a whole front view. 図１（ｂ）のＡ−Ａ拡大断面図である。It is AA expanded sectional drawing of FIG.1 (b). 従来のクリーニングヘッドを示す図であり、図３（ａ）はヘッド本体の平面図、図３（ｂ）は全体の正面図、図３（ｃ）は図３（ｂ）のＢ−Ｂ拡大断面図である。3A and 3B are diagrams showing a conventional cleaning head, in which FIG. 3A is a plan view of the head body, FIG. 3B is a front view of the whole, and FIG. FIG.

以下、図に沿って本発明の実施形態を説明する。
まず、図１，図２は、本発明の実施形態のクリーニングヘッドを示す図であり、図１（ａ）は下カバーの平面図、図１（ｂ）は全体の正面図、図２は図１（ｂ）のＡ−Ａ拡大断面図である。
図１（ａ），（ｂ）において、１１０は角筒状の下カバー、２１０は下カバー１１０の上端部に取り付けられる上カバーであり、これらの下カバー１１０及び上カバー２１０は、図１（ｂ）の矢印Ｘ方向に相対的にスライドさせることによって連結可能となっている。なお、両カバー１１０，２１０をスライドさせるための構造については後述する。
また、下カバー１１０及び上カバー２１０を一体的に連結した状態において、長手方向の両端部には端部カバー３１０，３２０が取り付けられ、固定される。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 and 2 are views showing a cleaning head according to an embodiment of the present invention. FIG. 1A is a plan view of a lower cover, FIG. 1B is an overall front view, and FIG. It is AA expanded sectional drawing of 1 (b).
1A and 1B, reference numeral 110 denotes a rectangular cylindrical lower cover, 210 denotes an upper cover attached to the upper end of the lower cover 110, and these lower cover 110 and upper cover 210 are shown in FIG. It can be connected by sliding relatively in the arrow X direction of b). A structure for sliding both covers 110 and 210 will be described later.
Further, in a state where the lower cover 110 and the upper cover 210 are integrally connected, end covers 310 and 320 are attached and fixed to both ends in the longitudinal direction.

下カバー１１０の内部には、その長手方向のほぼ全長にわたり、後述の図２に示す内部ダクト１５０が配置されており、図１（ｂ）の端部カバー３１０の外側には、内部ダクト１５０に連通する給気ダクト１００が取り付けられている。また、給気ダクト１００の上方には、上カバー２１０の内部に形成された空気溜まり２２０に連通する排気ダクト２００が取り付けられている。
給気ダクト１００及び排気ダクト２００は、ブロアやＨＥＰＡフィルタからなる周知の構成のエア源（図示せず）に接続されており、清浄エアが給気ダクト１００から内部ダクト１５０に供給され、除塵後のエアが塵埃と共に、空気溜まり２２０を介して排気ダクト２００から排気されるようになっている。 An inner duct 150 shown in FIG. 2 to be described later is disposed in the lower cover 110 over almost the entire length in the longitudinal direction. The inner duct 150 is disposed outside the end cover 310 in FIG. An air supply duct 100 that communicates is attached. An exhaust duct 200 communicating with an air reservoir 220 formed inside the upper cover 210 is attached above the air supply duct 100.
The air supply duct 100 and the exhaust duct 200 are connected to an air source (not shown) having a well-known configuration including a blower and a HEPA filter. Clean air is supplied from the air supply duct 100 to the internal duct 150, and after dust removal The air is exhausted from the exhaust duct 200 through the air reservoir 220 together with dust.

また、図１（ａ）に示すように、下カバー１１０の天板１２０には、給気ダクト１００及び排気ダクト２００からの距離が遠いほど、開口面積が大きい（下カバー１１０の長手方向に沿った長さが長い）各一対の排気口１２１，１２２，１２３，１２４がそれぞれ設けられている。なお、これらの排気口の数や形状は、図示例に何ら限定されるものではない。   Further, as shown in FIG. 1A, the top plate 120 of the lower cover 110 has a larger opening area (along the longitudinal direction of the lower cover 110) as the distance from the air supply duct 100 and the exhaust duct 200 increases. Each pair of exhaust ports 121, 122, 123, 124 is provided. The number and shape of these exhaust ports are not limited to the illustrated example.

次に、このクリーニングヘッドの内部構造を図２に基づいて詳述する。
図２に示すように、下カバー１１０と上カバー２１０とは、下カバー１１０の上端部両側及び上カバー２１０の下端部両側にそれぞれ形成された凹凸構造からなるスライドガイド１６１により、紙面の表裏方向に相対的にスライド可能となっている。
なお、下カバー１１０の内部に配置された内部ダクト１５０も、上記同様の凹凸構造からなるスライドガイド１６２により、下カバー１１０に対して相対的にスライド可能である。 Next, the internal structure of this cleaning head will be described in detail with reference to FIG.
As shown in FIG. 2, the lower cover 110 and the upper cover 210 are arranged in a front-and-back direction on a paper surface by slide guides 161 each having a concavo-convex structure formed on both sides of the upper end portion of the lower cover 110 and both ends of the lower end portion of the upper cover 210. It is possible to slide relatively.
Note that the internal duct 150 disposed inside the lower cover 110 can also slide relative to the lower cover 110 by the slide guide 162 having the same uneven structure as described above.

内部ダクト１５０の内部空間はエア噴射室１７０を形成しており、このエア噴射室１７０は給気ダクト１００に連通している。また、下カバー１１０の内面と内部ダクト１５０の外面とによって形成される空間は、エア吸引室１８０として前記排気口１２１を介し上カバー２１０の空気溜まり２２０に連通し、更に排気ダクト２００に連通している。
内部ダクト１５０の下方中央部に配置されたノズル板１５３にはエア噴射口１５３ａが形成されていると共に、内部ダクト１５０の底板１５４には、エア噴射口１５３ａの両側に位置するようにエア吸引口１５４ａが形成されている。
また、下カバー１１０の側板１３０の内面の適宜な位置には空気抵抗を大きくするための突起１３１が複数形成され、内部ダクト１５０の内外面の適宜な位置にも突起１５１，１５２が形成されている。これらの突起の数や形状は、図示例に何ら限定されるものではない。 An internal space of the internal duct 150 forms an air injection chamber 170, and the air injection chamber 170 communicates with the air supply duct 100. A space formed by the inner surface of the lower cover 110 and the outer surface of the internal duct 150 communicates with the air reservoir 220 of the upper cover 210 via the exhaust port 121 as the air suction chamber 180 and further communicates with the exhaust duct 200. ing.
An air injection port 153a is formed in the nozzle plate 153 disposed in the lower central portion of the internal duct 150, and an air suction port is formed in the bottom plate 154 of the internal duct 150 so as to be positioned on both sides of the air injection port 153a. 154a is formed.
A plurality of protrusions 131 for increasing air resistance are formed at appropriate positions on the inner surface of the side plate 130 of the lower cover 110, and protrusions 151 and 152 are also formed at appropriate positions on the inner and outer surfaces of the internal duct 150. Yes. The number and shape of these protrusions are not limited to the illustrated example.

次に、この実施形態の動作を説明する。
内部ダクト１５０、下カバー１１０及び上カバー２１０を互いにスライドさせて連結すると共に端部カバー３１０，３２０を取り付け、更に給気ダクト１００及び排気ダクト２００を取り付けることにより、図１（ｂ）及び図２に示すようにクリーニングヘッド全体が組み立てられる。
この状態で外部のエア源から給気ダクト１００に供給された清浄エアは、内部ダクト１５０内のエア噴射室１７０からエア噴射口１５３ａを介して除塵対象物Ｇの表面に噴射される。そして、清浄エアにより除塵対象物Ｇの表面から引きはがされ、飛散した塵埃は、清浄エアと共にエア吸引口１５４ａを介してエア吸引室１８０→排気口１２１→空気溜まり２２０→排気ダクト２００の経路で吸引、排気される。 Next, the operation of this embodiment will be described.
The inner duct 150, the lower cover 110, and the upper cover 210 are slid and connected to each other, the end covers 310 and 320 are attached, and the air supply duct 100 and the exhaust duct 200 are further attached, so that FIGS. The entire cleaning head is assembled as shown in FIG.
In this state, the clean air supplied from the external air source to the air supply duct 100 is jetted from the air jet chamber 170 in the internal duct 150 to the surface of the dust removal object G through the air jet port 153a. Then, the dust is peeled off from the surface of the dust removal target G by the clean air, and the scattered dust together with the clean air is routed through the air suction port 154a through the air suction chamber 180 → the exhaust port 121 → the air reservoir 220 → the exhaust duct 200. Is sucked and exhausted.

上述した一連の給気−排気工程において、清浄エアはエア噴射室１７０の狭窄した下端部により高圧エアとなってエア噴射口１５３ａから除塵対象物Ｇ方向に噴射され、その表面に付着した塵埃を確実に引きはがして空中に飛散させる。このとき、内部ダクト１５０の内面に突出した突起１５２により空気抵抗の強弱が発生するので、エア噴射口１５４ａから噴射されるエアに振動を与えることができ、塵埃の引きはがしをより効果的に行うことができる。
また、飛散した塵埃は清浄エアと共にエア吸引口１５４ａを介してエア吸引室１８０に吸引されるが、その際、下カバー１１０の内面及び内部ダクト１５０の外面に突出した突起１３１，１５１，１５２により空気抵抗の強弱が発生するので、これらの突起付近において、エア吸引室１８０を通過するエアの負圧が部分的に大きくなり、エア吸引口１５４ａからの清浄エアの吸引を一層強力に行うことができる。 In the above-described series of air supply-exhaust steps, the clean air becomes high-pressure air from the narrowed lower end portion of the air injection chamber 170 and is jetted from the air jet port 153a toward the dust removal object G, and dust adhering to the surface is removed. Make sure to peel it off and let it fly into the air. At this time, since the strength of air resistance is generated by the protrusion 152 protruding from the inner surface of the internal duct 150, vibration can be given to the air injected from the air injection port 154a, and dust can be removed more effectively. be able to.
The scattered dust is sucked into the air suction chamber 180 together with clean air through the air suction port 154a. At this time, the protrusions 131, 151, and 152 project from the inner surface of the lower cover 110 and the outer surface of the internal duct 150. Since the strength of the air resistance is generated, the negative pressure of the air passing through the air suction chamber 180 is partially increased in the vicinity of these protrusions, and the suction of clean air from the air suction port 154a can be performed more strongly. it can.

更に、下カバー１１０の天板１２０に形成された排気口１２１，１２２，１２３，１２４は、排気ダクト２００からの距離が遠いほど（端部カバー３２０に近付くほど）開口面積が大きくなっているので、清浄エアの吸引圧が高い端部カバー３１０側のエア流量と、清浄エアの吸引圧が低い端部カバー３２０側のエア流量とをほぼ等しくすることができ、クリーニングヘッドの長手方向の全長にわたって、上カバー２１０の空気溜まり２２０に吸引されるエア流量をほぼ均一にすることが可能である。これにより、クリーニングヘッドの長手方向の全長にわたってほぼ均一な吸引力が得られ、除塵対象物Ｇの表面全域をムラなく除塵することができる。
また、上カバー２１０によって形成された大容量の空気溜まり２２０は、各排気口１２１，１２２，１２３，１２４から個別に取り込んだ吸引エアを一括して排気ダクト２００方向に搬送する機能を有し、この空気溜まり２２０も、清浄エアの円滑な吸引に寄与するものである。 Further, the exhaust ports 121, 122, 123, and 124 formed in the top plate 120 of the lower cover 110 have a larger opening area as the distance from the exhaust duct 200 increases (the closer to the end cover 320). The air flow rate on the end cover 310 side where the clean air suction pressure is high and the air flow rate on the end cover 320 side where the clean air suction pressure is low can be made substantially equal over the entire length of the cleaning head in the longitudinal direction. The air flow rate sucked into the air reservoir 220 of the upper cover 210 can be made substantially uniform. Thereby, a substantially uniform suction force is obtained over the entire length in the longitudinal direction of the cleaning head, and the entire surface of the dust removal object G can be removed without unevenness.
In addition, the large-capacity air reservoir 220 formed by the upper cover 210 has a function of collectively conveying suction air taken in individually from the exhaust ports 121, 122, 123, and 124 toward the exhaust duct 200, This air reservoir 220 also contributes to smooth suction of clean air.

この実施形態によれば、図３に示したような複数種類の排気ダクトやホースを不要とし、比較的シンプルな形状、構造の上カバー２１０、下カバー１１０、内部ダクト１５０、給気ダクト１００及び排気ダクト２００等を主要部品としているので、部品点数も少なく、製造コストの低減が可能である。
また、図３の如く複数種類の排気ダクトをネジ止めして固定する構造ではないため、振動によるネジの緩みや落下のおそれが少ないと共に、構成部品による外形上の凹凸部分も少なく、塵埃が付着する可能性も少ない。このため、クリーニングヘッドとしての除塵性能を向上させることができる。 According to this embodiment, a plurality of types of exhaust ducts and hoses as shown in FIG. 3 are not required, and the upper cover 210, the lower cover 110, the internal duct 150, the air supply duct 100, Since the exhaust duct 200 and the like are main components, the number of components is small, and the manufacturing cost can be reduced.
In addition, as shown in Fig. 3, it does not have a structure in which multiple types of exhaust ducts are fixed with screws, so there is little risk of loosening or dropping of screws due to vibrations, and there are few irregularities on the outer shape due to component parts, and dust adheres. There is little possibility to do. For this reason, the dust removal performance as a cleaning head can be improved.

１００：給気ダクト
１１０：下カバー
１２０：天板
１２１，１２２，１２３，１２４： 排気口
１３０：側板
１３１：突起
１５０：内部ダクト
１５１，１５２：突起
１５３：ノズル板
１５３ａ：エア噴射口
１５４：底板
１５４ａ：エア吸引口
１６１，１６２：スライドガイド
１７０：エア噴射室
１８０：エア吸引室
２００：排気ダクト
２１０：上カバー
２２０：空気溜まり
３１０，３２０：端部カバー
Ｇ：除塵対象物 100: Air supply duct 110: Lower cover 120: Top plate 121, 122, 123, 124: Exhaust port 130: Side plate 131: Projection 150: Internal duct 151, 152: Projection 153: Nozzle plate 153a: Air injection port 154: Bottom plate 154a: Air suction port 161, 162: Slide guide 170: Air injection chamber 180: Air suction chamber 200: Exhaust duct 210: Upper cover 220: Air reservoir 310, 320: End cover G: Dust removal target

Claims (3)

エア噴射口から除塵対象物の表面に清浄エアを噴射して前記表面に付着した塵埃を飛散させ、この塵埃を清浄エアと共にエア吸引口から吸引して排気するようにしたクリーニングヘッドにおいて、
外部から給気ダクトを介して清浄エアがエア噴射室に供給され、前記エア噴射口から清浄エアを噴射させる長尺の内部ダクトと、
前記内部ダクトのほぼ全長にわたり前記内部ダクトを包囲するように配置された下カバーと、
前記下カバーの上端部に連結され、かつ内部の空気溜まりが排気ダクトに連通する上カバーと、
前記上カバー及び下カバーを両カバーの長手方向に沿って相対的にスライドさせて両カバーを連結するためのガイド部材と、
を備え、
前記上カバーの下方に前記ガイド部材を介して連結された前記下カバーの内面と前記内部ダクトの外面との間に、前記エア吸引口に連通するエア吸引室を形成し、前記エア吸引室と前記空気溜まりとを、前記排気ダクトから遠ざかるほど開口面積が大きい排気口により連通させると共に、前記エア吸引室の内面に、空気抵抗を大きくするための突起を形成したことを特徴とするクリーニングヘッド。 In a cleaning head in which clean air is sprayed from the air ejection port onto the surface of the object to be dusted to disperse dust adhering to the surface, and the dust is sucked and exhausted from the air suction port together with clean air.
Clean air is supplied to the air injection chamber from the outside via an air supply duct, and a long internal duct that injects clean air from the air injection port;
A lower cover disposed so as to surround the inner duct over substantially the entire length of the inner duct,
An upper cover connected to the upper end of the lower cover, and an internal air reservoir communicating with the exhaust duct;
A guide member for sliding the upper cover and the lower cover relative to each other along the longitudinal direction of both covers to connect the covers;
With
An air suction chamber that communicates with the air suction port is formed between the inner surface of the lower cover and the outer surface of the internal duct that are connected to each other below the upper cover via the guide member. cleaning the reservoir the air, the Rutotomoni communicated by an opening area farther from the exhaust duct is large exhaust port, the inner surface of the air suction chamber, characterized in that the formation of the projections to increase the air resistance head. 請求項１に記載したクリーニングヘッドにおいて、
前記下カバー及び前記内部ダクトを両者の長手方向に沿って相対的にスライドさせて連結するためのガイド部材を更に備えたことを特徴とするクリーニングヘッド。 The cleaning head according to claim 1,
A cleaning head, further comprising a guide member for slidably connecting the lower cover and the internal duct along the longitudinal direction of both. 請求項１または２に記載したクリーニングヘッドにおいて、
前記エア噴射室の内面に空気抵抗を大きくするための突起を形成したことを特徴とするクリーニングヘッド。 The cleaning head according to claim 1 or 2,
A cleaning head, wherein a protrusion for increasing air resistance is formed on an inner surface of the air ejection chamber .
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