JP6052950B2 - オフアクシスデジタルホログラフィーにおける物体波の正確な復元のための装置 - Google Patents
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Description
デジタルホログラフィーの主な長所は明らかに、単一画像だけで対象をリアルタイム三次元(3D)測定することに源を発している。さらに、デジタルホログラフィーは、標本(被測定物)が厳密に焦点位置に配置されていない、又は、光学システムが収差を含んでいるような場合であっても、物体波の振幅及び位相の復元を可能にする。
しかしながら、この方法はCCDカメラ又は光センサーの利用可能な画素の数によって制限される。
図1に図示されている構成はレーザー光源等の光源1、ビームスプリッター3、光源1とビームスプリッター3の間に位置する集光レンズ2、参照ミラー5、第1対物レンズ4、結像レンズ6、光センサー7、第2対物レンズ8、及びサンプル保持器9を備える。
第1参照光線10は集光レンズ2、ビームスプリッター3、第1対物レンズ4を通過して参照ミラー5で反射され、さらに第1対物レンズ4介してビームスプリッター3に戻る。
参照光線はビームスプリッター3で結像レンズ6の方へ逸らされ、光学センサー7に入射する。さらに、光源1は測定光線11を放射する。測定光線11は集光レンズ2を通過してビームスプリッター3で逸らされ、第2対物レンズ8を通過し、サンプル9に当たり、サンプル9で反射され、第2対物レンズ8、ビームスプリッター3、結像レンズ6を再び通過し、最終的にセンサー7に入射して、第1参照光線10とともに干渉縞を形成する。
干渉縞を含むデジタルホログラムをオフアクシス幾何配置によって取得した後、ホログラムにフーリエ変換を施すことによって空間周波数領域への変換を行い、二次元スペクトルを得て、前記空間周波数領域においては異なる干渉項が良好に分離される。
図5Aの中央に図示されているDC項のスペクトルは参照波及び物体波に対する強度を表している(非干渉項)。
それらの中心からの距離は入射傾斜角に依存し、それはこれらの干渉項からのDC項の完全な分離を確実にするために十分に大きくなければならない。そして、DC項と干渉項とを分離できることにより、空間周波数領域において不要な項が濾波により取り除かれ、物体波だけを抽出及び取得することができる。
しかしながら、空間周波数は高解像度カメラを使用しても制限されてしまう。
濾波の後、参照波としての平面波によるホログラムの数値計算的な復元によって対像物の振幅及び位相像が得られる。
光源によりコヒーレント測定光線及び第1コヒーレント参照光線を生成する工程と、
前記測定光線により前記対像物を照射し、前記対像物によって反射された前記測定光線を光センサーに誘導する工程と、
第1参照光線の光軸に対して90°以外の角度で配置されている第1ミラーに前記第1参照光線を誘導し、前記第1ミラーによって反射された前記第1参照光線を前記光センサーに誘導して、前記測定光線と前記第1参照光線とで前記光センサー上に干渉縞を生成する工程と、
前記光センサーを読み取り、前記光センサー上に生成された前記干渉項を表すデジタル信号を得る工程と、
前記デジタル信号を処理してデジタルホログラムを得る工程と、
前記デジタルホログラムを空間周波数領域に変換するフーリエ変換を行って、DC項、第1像項、及び第1共役像項を含む二次元スペクトルを得る工程と、
結果として生じたスペクトルに濾波を行って前記対像物を表す項を得る工程と、を含む方法を開示している。
この方法はデジタルホログラムからの平均強度の減算に基づいており、それは復元された像から、いわゆるDC項の除去だけを可能にする。
この方法はホログラムからDC項を減少させる簡易な方法であるが、多くの場合、十分な結果が得られない。
というのも、例えば、多くの場合、ホログラム面において物体波の強度が一定でないので、物体波によって生ずるDC項はこの方法によって排除することができない。
1つの方法はFFTを使用した空間周波数領域における帯域濾波方法であり、もう1つの方法は4−f系に基づいた光学空間濾波方法である。
これらの方法は、DC項が濾波によって抑制されるようにDC項と所望の項とが十分に分離しているという重要な仮定に依存する。
しかしながら、それらはまた2つの側面によって制限される。
1つはスペクトルの特定の一部だけが利用可能であるということであり、もう1つは空間濾波が多くの場合、所望の次数を選択するために人手による介入が必要であるということである。
この方法においては、システムにおいてホログラムに加えて参照波強度及び物体波強度が取得され、それらは単純な減算によってホログラムのDC項を除去するために使用される。
しかしながら、この方法はビーム遮断器等の付加的なハードウェアを必要とし、かつホログラム以外に2つの像を記録しなければならない。
しかもこの場合、環境条件及びシステムパラメータが一定に保たれるということを前提条件としている。
この技術は、零次スペクトルと物体波スペクトルとが重なり合っている場合であっても、オフアクシスDHMにおける零次を含まない正確な復元を可能にする。
非線形濾波技術はデジタルホログラムに対する2つの現実的な仮定の下で上手く作用する。
1つめの仮定は、物体波のスペクトルがフーリエ領域の象限(quadrant)に限定されなければならないことであり、2つめの仮定は、物体波の強度が参照波の強度より大幅に小さくなければならないことである。
しかしながら、物体波の強度が小さいと干渉縞のビジビリティを低下させ、さらには他の誤差の原因となる信号対雑音比(SNR)の低下を引き起こす可能性がある。これは、この方法の効果が実際の応用において制限される可能性があることを意味する。
結果として、この方法は対像物の事前の知識を必要とせずにDC項の抑制を可能にする。しかしながら、この技術は、その本質的特性上、許容可能な誤差レベルに達するまでにどうしても計算時間を要する。
前記第1参照光線との干渉を避けるように適合した第2コヒーレント参照光線を生成する工程と、
前記第2参照光線を第1ミラーに誘導するとともに前記第1ミラーによって反射された前記光線を光センサーに誘導する工程であって、ただしこのとき、前記第2参照光線の光源から前記光センサーまでの経路が前記第1参照光線の経路と異なる長さを有する工程と、
空間周波数領域におけるフーリエ変換の二次元スペクトルにおいて第2像項及び該第2像項の共役をもたらす工程と、
前記DC項と重なる前記第1像項の部分を前記第2像項の対応する部分によって置き換える工程と、をさらに含む方法によって達成される。
対像物を表すデジタルホログラムを作成するための装置であって、
コヒーレント測定光線及び第1コヒーレント参照光線を生成するように構成された光源と、
光センサーと、
それの光軸に対して90°以外の角度で配置された第1ミラーと、
対像物を保持する保持器と、
前記光センサーに接続された読み取りおよび読み取ったデータを使ってその後の演算を行う手段であって、前記光センサーを読み取り、前記光センサー上に投影された干渉縞を表すデジタル信号を得るための手段と、
前記測定光線を前記光源から前記保持器に保持された前記対像物に誘導し、前記対像物によって反射された前記測定光線を前記光センサーに誘導し、前記第1参照光線を前記光源から前記第1ミラーに誘導し、前記第1ミラーによって反射された前記第1参照光線を前記光センサーに誘導し、それによって前記光学センサーに干渉縞を生成する光学誘導部と、を備え、
前記読み取りおよび読み取ったデータを使ってその後の演算を行う手段は、前記デジタル信号を処理してデジタルホログラムを求め、前記デジタルホログラムを空間周波数領域に変換するフーリエ変換を行ってDC項、第1像項、及び第1共役像項を含む二次元スペクトルを求め、結果として生じたスペクトルに濾波を行って前記対像物を表す項を得るように構成されており、
前記光源は、前記第1参照光線と干渉しない第2コヒーレント参照光線を発射し、
前記光学誘導部は、前記第1参照光線の経路とは異なる第2経路を介して前記第2参照光線を前記第1ミラーに誘導し、前記第1ミラーによって反射された前記光線を前記光センサーに誘導するように構成されており、
前記読み取りおよび読み取ったデータを使ってその後の演算を行う手段は前記DC項と重なる前記第1像項の部分を前記第2像項の対応する部分によって置き換えるように構成されている装置に関する。
前記第1像項に重なってくる前記DC項の部分を前記第2像項の対応する部分で置き換える工程が、
前記像の前記デジタル表現に対し空間周波数領域へのフーリエ変換を行う工程と、
2つの物体波を表すもの残るように前記像の結果として生じる空間周波数スペクトルに空間周波数濾波を行う工程と、
前記2つの物体波を表す成分に逆フーリエ変換を行う工程と、
前記物体波を表すものに前記2つの参照光線を適用する工程と、
結果として生じた前記像にフーリエ変換を行う工程と、
前記第1像の重複スペクトル部分を前記第2像の対応する部分によって置き換える工程と、
前記第1像のスペクトル領域に逆フーリエ変換を行う工程と、によって行われる方法である。
上述したように、本発明のメインクレームは第1及び第2の参照光線が互いに干渉しないことを必要とする。
そのような光線を生成するために複数の可能な方法があるが、好ましい実施形態において、第1参照光線及び第2参照光線は互いに垂直方向に偏光される。
この垂直偏光は、2つの参照光線であって、互いに干渉しないが、どちらの参照光線も測定光線と干渉することが可能な2つの参照光線から成る光線の組を与える。
第2参照光線と測定光線の間の干渉縞が第1参照光線と測定光線の間の参照縞とは異なるように、第1及び第2の参照光線は、相互干渉を回避するための上記要件に加えて、互いに異なる特性を有さなければならない。
この実施形態はまた、第2参照光線の軸に垂直に配置された第2ミラーを備え、光学誘導部が第2参照光線を該第2ミラーを介して誘導するように構成されている装置を提供する。
詳細には、この部分は光線が持つ全エネルギー(スペクトルの総和)の半分を超えてはならない。
この条件を達成するために、もう1つの好ましい実施形態は第1像項の実数部分の絶対値が第1像項の虚数部分の絶対値に等しいという特徴を有する。
本発明の長所を最大に活かすため、本発明はまた、対像物を表す像の復元方法を提供する。
ここで、好ましい実施形態は上述の方法で得られるデジタルホログラムによって表される対像物の像を復元するための方法であって、前記デジタルホログラムが参照波として平面波を使用したデジタル表現として与えられ、前記復元がデジタル式(離散的)に実行される方法を提供する。
本発明はまた、光コヒーレントトモグラフィーに適用することができる。
対応する方法において、測定光線は少なくとも部分的に対像物を貫通するとともに該対像物内において散乱された散乱光を生じるように調整されており、該散乱光は第1及び第2の測定光線の両方と結合されて、光センサー上に干渉縞を形成する。
また、本発明は干渉法に適用することができる。その場合、例えば、測定光線並びに第1及び第2の参照光線が対像物上で合焦するようにし、DC項に重なる第1像項の部分を第2像項の対応する部分によって置き換えるにあたって、2つの参照波を像に適用することが省略される。
この構成において、ホログラムはコヒーレント物体波(O)とコヒーレント参照波(R)との間の干渉によって得られる。そして、二次元(2D)強度分布(IH:Intensity Distribution)は以下のように表すことができる。
第3及び第4の項は干渉項によって生成され、それらは対像物の2つの共役すなわち二重像を生成する。
第3項(R*OU)は物体側における(対物面における)仮想像を生成し、第4項(RO*U)はホログラムの反対側(像面)に位置する実像を生成する。
また、U=R*の場合、第4項は共役物体波に参照強度を掛けたもの(|R|2O*)と同じものになる。
オフアクシスDHの場合、空間周波数領域におけるホログラムの二次元スペクトルはフーリエ変換によって得ることができる。したがって、干渉の異なる項は空間変調によって良好に分離されるので、抽出は容易に実行することができる。すなわち、式(2)の不要な項は帯域通過濾波又は非線形濾波等の複数の技術を使用して取り除くことができ、第3項だけを抽出及び取得することができる。
しかしながら、先に述べたように、ホログラムから抽出された物体波はさらに、DC項と物体波項との間の重複領域によって生ずるノイズを含んでいる。
さらに、非線形濾波法は実際の応用において、それの動作条件によって制限を受ける。
この新規の空間濾波技術は、単一の像における2つのデジタルホログラムの同時取得に基づいており、それらは、明確な空間変調によって分離することができる。
言い換えると、通常単一の参照波を使用する典型的なオフアクシスDHとは異なり、異なる空間変調方向を有する2つの参照波(R1及びR2)がデジタルホログラムを記録するために用いられる。
ここで、2つの参照波の間の干渉は、2つのホログラムを含む上記像に含まれてはならない。
これは実際には、例えば、図3及び図4に示されているように、相互に直交するよう偏光された参照光を使用する又は低コヒーレンス光源を使用することによって実施することができる。
この構成は測定光線11及び第1参照光線10だけではなく、第2参照光線12を扱うことを可能にする。
ここで、第2参照光線は第2ビームスプリッター15を介して第2ミラー16に誘導され、3つの光線10、11及び12が全て画像センサー7に入射することを可能にする。
これは、2つの干渉縞、すなわち測定光線11と第1参照光線10とによる第1干渉縞、及び測定光線と第2参照光線12とによる第2干渉縞が現れることを可能にする。
2つの参照光線10、12の相互干渉を抑制するために、これらの光線は、好ましくは、例えば、偏光ビームスプリッターを第2ビームスプリッター15として使用することによって垂直に偏光される。
この実施形態において、光源は低コヒーレンス光源21である。この光源からの低コヒーレンス光は、その本質的な特徴により、干渉を制限することができる。
図4に図示されたこの実施形態の構成は前述の実施形態の構成と等価であるが、第2参照ミラー16が二つの参照波間の干渉を避けるように配置されており、そして、当然のことながら、低コヒーレンス光源を使用している。
第5項及び第6項はR1による干渉項であり、それらの空間周波数は空間周波数領域における像の中心に対して対称に位置する。
一方、第7項及び第8項はR2による干渉項であり、それらの空間周波数も対称に位置している。この場合、これらの4つの干渉項はR1とR2の異なる空間変調の結果として、空間周波数領域において空間的に分離することができる。この方法において、各項は参照ミラーの傾斜の調節により空間周波数領域の象限に位置することが好ましく、そして、それはハードウェア的に熟練の技を要する作業ではない。
実際、典型的なオフアクシスDHにおいて物体波を抽出するための主な困難は、図5Aに示されているように、空間周波数領域におけるDC項と干渉項(物体波及びそれの共役)の間の重複領域によって生ずる。
例えば、図5Bに示されているように、R1 *Oの重複領域(物体波(R1 *O)周波数内容の左下四半分)はR2 *Oの非重複領域によって置き換えることができる。
これは、参照波の空間変調周波数は領域の対角軸に存在するとしてもよく、重複部分のほとんどは物体波の空間周波数内容のDC項と物体波の間の1つの象限に配置されるという事実に基づいている。
言い換えると、2つの物体波は、それぞれ2つの参照波を使用して得ることができる。
それらは理論的に同一であるが、重複領域のために僅かに異なる。そして、これらの2つの物体波を用い、一方の物体波の重複領域の空間周波数成分が他方の物体波の非重複領域の空間周波数成分によって置き換えられる。
ほとんどの場合、重複領域は、参照波の小さい空間変調成分や高い空間周波成分を有する高剛性対象物の場合を除き、物体波の空間周波数コンテンツの一象限であるので、この方法はより良好な振幅及び位相情報を与えることができる。
結果として、オフアクシスDHにおけるもう1つの参照波の使用は第2ホログラムの生成を可能にする。
この第2ホログラムは第1ホログラムにおけるDC項と物体波の間の重複領域を第2ホログラムにおける空間周波数領域の非重複領域と置き換えるための付加的な物体波を与えるこができる。
フレネル近似を利用することにより、復元された物体波(ΨO)はホログラム面における物体波(ΨH)から次のように計算することができる。
(xO,yO)及び(xH,yH)はそれぞれ、対像物平面及びホログラム面の二次元座標である。
F{ }は空間領域における2Dフーリエ変換を示す。
Aは任意の数であり、参照波及び復元波の振幅によって決まる。
結果として生ずる波(ΨO)から、対像物の振幅及び位相像が分解され、最終的に位相像から3D表面高さマップが得られる。
本発明の効果を実証するために、帯域通過濾波に基づいた典型的な空間濾波技術と2つの参照波を用いる新規の濾波技術とによりオフアクシスDHのシミュレーションを実行した。
デジタルホログラムを生成するために、図7A及び7Bに示されている電子回路画像(181×181画素)を使用した。
図7Aは回路の2D強度画像を示しており、図7Bは3D高さマップを表している。
多義性問題を避けるために高さの最大値は100nmであると仮定した。
対像物平面とホログラム面との間の距離は2mmとした。
このホログラムにおいては、傾斜した参照波を用いて干渉項を空間的に変調した。そして、デジタルホログラムは、図8Bに示されているように、2Dフーリエ変換を適用してDC項、物体波、及びそれの共役項を分解することができた。
物体波(R*O)を含む四半分は左下四半分である。
図9は物体波の空間スペクトルを示している。
図9に示されているように、DC項は、濾波された領域のうちの点線の円の外側において加算されており、これが物体波の空間周波数成分の大部分である。
DC項を除去するために、このスペクトラムにさらなる帯域通過濾波を適用することができるが、先に述べたように、それは物体波の利用可能なスペクトルを制限し、多くの場合、所望の精度レベルを選定するには人手による介入を必要とする。
結果として、図10A及び10Bに示されているような2D強度画像及び3D高さマップが復元された。
なお、数値計算的な伝搬中に画像エッジによって生ずる回折効果を取り除くために画像エッジに対してアポダイゼーションを行った。
図10A及び10Bは、主に残ったDC項によって生ずる、復元された像中のいくつかのアーティファクトを表示している。
左下の四半分は第1参照波(R1 *O)に相当する物体波を含み、左上の四半分は第2参照波(R2 *O)に相当する物体波を含む。すなわち、2つの物体波スペクトルを使用することにより、各参照波を復元波として適用した後に、R1 *Oにおける左下四半分の上部のDC項は、該DC項を含まないR2 *Oにおける左上四半分の上部によって置き換える。この手順によってDC項が排除されるので、図12に示されているように、結果として生ずる物体波の空間スペクトルはDC項による影響を受けない。
図10A及び10Bに示されている従来の方法によって復元された像と比べると、本発明による像はより良好な品質を有し、図10A及び10Bに現れているアーティファクトを全く含まないことがわかる。
ここで、用語「トモグラフィー」はこの用語のより一般的な使用とは異なる意味なのであって、すなわち、貫通性の放射線によって人体を調査したり、貫通性放射線の光源及びその検出器に対して人体を回転させるといった手順や処理を意味するのではない。
散乱された光には上述の実施形態における反射された光線に対するものと同様な処理がなされる。
Claims (13)
- 対象物の像を表すデジタルホログラムを作成するための方法であって、
コヒーレント測定光線及び第1コヒーレント参照光線を生成する工程と、
前記第1コヒーレント参照光線との干渉を避けるように調整した第2コヒーレント参照光線を生成する工程と、
前記コヒーレント測定光線により前記対象物を照射し、前記対象物によって反射された前記コヒーレント測定光線を光センサーに誘導する工程と、
第1コヒーレント参照光線の光軸に対して90°以外の角度で配置された第1ミラーに前記第1コヒーレント参照光線を誘導し、前記第1ミラーによって反射された前記第1コヒーレント参照光線を前記光センサーに誘導し、
前記第2コヒーレント参照光線の光源から前記光センサーまでの経路が前記第1コヒーレント参照光線の光源から前記光センサーのまでの経路と異なる長さを有するように、前記第2コヒーレント参照光線を第2ミラーに誘導し、前記第2ミラーによって反射された前記第2コヒーレント参照光線を前記光センサーに誘導し、
前記コヒーレント測定光線と前記第1及び第2コヒーレント参照光線とで前記光センサー上に干渉縞を生成させる、工程と、
前記光センサーを読み取り、前記光センサー上に生成された前記干渉縞を表すデジタル信号を得る工程と、
デジタルホログラムを得るために前記デジタル信号を処理する工程と、
前記デジタルホログラムを空間周波数領域に変換するフーリエ変換を行い、DC項と、前記コヒーレント測定光線と前記第1コヒーレント参照光線との干渉による第1像項及び第1共役像項と、前記コヒーレント測定光線と前記第2コヒーレント参照光線との干渉による第2像項及び第2共役像項と、を含む二次元スペクトルを得る工程と、
前記二次元スペクトルに濾波を行い、それぞれ前記対象物の像を表す項である前記第1像項及び前記第2像項を得る工程と、
前記空間周波数領域を表す平面において前記第1像項を示す領域の中心を通る横軸に平行な線と縦軸に平行な線とで画される象限のうちで前記DC項に重複する象限を、前記空間周波数領域を表す平面において前記第2像項を示す領域の中心を通る横軸に平行な線と縦軸に平行な線とで画される象限のうちで前記重複する象限に対応する象限によって置き換える工程と、を含む
ことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記DC項と重複する前記第2像項の象限は、前記DC項と重複する前記第1像項の象限に対応する前記第2像項の象限とは、異なる象限である
ことを特徴とする方法。 - 請求項1または請求項2に記載の方法において、
前記第1コヒーレント参照光線及び前記第2コヒーレント参照光線が互いに垂直に偏光されている
ことを特徴とする方法。 - 請求項3に記載の方法において、
前記第1コヒーレント参照光線及び第2コヒーレント参照光線が同一の光源によって生成され、互いに垂直な偏光器によって処理される
ことを特徴とする方法。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の方法において、
前記第2コヒーレント参照光線が、該第2コヒーレント参照光線の軸に垂直に配置された前記第2ミラーを介して誘導される
ことを特徴とする方法。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の方法において、
前記第1像項の実数部分の絶対値が前記第1像項の虚数部分の絶対値に等しい
ことを特徴とする方法。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の方法によって得られるデジタルホログラムによって表される対象物の像を復元するための方法であって、前記デジタルホログラムに対して参照波としての平面波のデジタル表現処理が行われ、前記復元がデジタル式に実行される方法。
- 請求項7に記載の方法において、
前記対象物を表す像をデジタル式に処理して、デジタル高さマップを得る
ことを特徴とする方法。 - 対象物を表すデジタルホログラムを作成するための装置であって、
コヒーレント測定光線、第1コヒーレント参照光線、及び、前記第1コヒーレント参照光線との干渉を避けるように調整された第2コヒーレント参照光線を生成するように構成された光源と、
光センサーと、
前記第1コヒーレント参照光線の光軸に対してπ/2以外の角度で配置された第1ミラーと、
対象物を保持する保持器と、
前記光センサーに接続されており、前記光センサーを読み取り、前記光センサー上に投影された干渉縞を表すデジタル信号を与えるための読み取りおよび読み取ったデータを使ってその後の演算を行う手段と、
前記コヒーレント測定光線を前記光源から前記保持器に保持された前記対象物に誘導し、前記対象物によって反射された前記コヒーレント測定光線を前記光センサーに誘導し、
前記第1コヒーレント参照光線を前記光源から前記第1ミラーに誘導し、前記第1ミラーによって反射された前記第1コヒーレント参照光線を前記光センサーに誘導し、
前記第2コヒーレント参照光線の光源から前記光センサーまでの経路が前記第1コヒーレント参照光線の光源から前記光センサーのまでの経路と異なる長さを有するように、前記第2コヒーレント参照光線を前記光源から第2ミラーに誘導し、前記第2ミラーによって反射された前記第2コヒーレント参照光線を前記光センサーに誘導し、
前記コヒーレント測定光線と前記第1及び第2コヒーレント参照光線とによって前記光センサーに干渉縞を生成するように構成された光学誘導部と、を備え、
前記読み取りおよび読み取ったデータを使ってその後の演算を行う手段は、
前記デジタル信号を処理してデジタルホログラムを得る工程と、
前記デジタルホログラムを空間周波数領域に変換するフーリエ変換を行って、DC項と、前記コヒーレント測定光線と前記第1コヒーレント参照光線との干渉による第1像項及び第1共役像項と、前記コヒーレント測定光線と前記第2コヒーレント参照光線との干渉による第2像項及び第2共役像項と、を含む二次元スペクトルを得る工程と、
前記二次元スペクトルに濾波を行い、前記第1像項及び第2像項を得る工程と、を実行するように構成されており、
前記読み取りおよび読み取ったデータを使ってその後の演算を行う手段は、前記空間周波数領域を表す平面において前記第1像項を示す領域の中心を通る横軸に平行な線と縦軸に平行な線とで画される象限のうちで前記DC項に重複する象限を、前記空間周波数領域を表す平面において前記第2像項を示す領域の中心を通る横軸に平行な線と縦軸に平行な線とで画される象限のうちで前記重複する象限に対応する象限によって置き換えるように構成されている
ことを特徴とする装置。 - 請求項9に記載の装置において、
前記DC項と重複する前記第2像項の象限は、前記DC項と重複する前記第1像項の象限に対応する前記第2像項の象限とは、異なる象限である
ことを特徴とする装置。 - 請求項9又は請求項10に記載の装置において、
前記光学誘導部が、前記第1コヒーレント参照光線の経路上に第1偏光器、前記第2コヒーレント参照光線の経路上に第2偏光器を備え、
前記第1及び第2偏光器は互いに90度回転した配置関係である
ことを特徴とする装置。 - 請求項9から請求項11のいずれかにに記載の装置において、
前記第2ミラーは、前記第2コヒーレント参照光線の軸に垂直に配置されている
ことを特徴とする装置。 - 請求項9から請求項12のいずれかに記載の装置において、
前記光学誘導部が第1光軸及び第2光軸を有するビームスプリッターを備え、
前記光源が前記第1光軸上に配置され、
前記第1ミラーは前記第1光軸上の前記光源と反対側に配置され、
前記光センサーは前記第2光軸上に配置され、
前記保持器は前記対象物を前記光センサーと反対側の第2光軸上に配置するように構成されている
ことを特徴とする装置。
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