JP6040469B2 - デジタルホログラフィ装置 - Google Patents
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Description
医療進歩を実現する有力な手段の一つである顕微鏡での細胞観察、及び、各種精密機器・加工機などの高精度化・高精密化・多様化に伴う物体の3次元形状・歪等の高度な計測や解析と、各種燃料を使用する燃焼装置の高効率化を実現するための燃焼室の観測と、地震や津波などの自然災害を考慮した各種建築物の耐負荷特性など物体の3次元変位・応力計測や解析等は、ますますその重要性を増し、様々な測定・解析法が開発されている。
図12は、非特許文献1に開示された従来のデジタルホログラフィ装置の構成を示す模式図である。デジタルホログラフィは、3次元物体への光照射によって得られる干渉パターン(干渉縞)から、コンピュータを用いて3次元物体の像を再生する技術である。具体的には、図12に示すように、3次元物体(被写体)への光照射によって得られる物体光と、上記物体光に対して可干渉である参照光とが作る干渉パターンを、CCD(charge coupled device)等の撮像素子を用いて記録し、この記録された干渉パターンに基づいて、コンピュータで回折積分し、3次元物体の像を再生する(非特許文献1)。
図13は、従来の他のデジタルホログラフィ装置の構成を示す模式図である。デジタルホログラフィ装置では、干渉パターンを記録する撮像素子は画素密度が低く(画素間隔が長く)、また、参照光のCCDカメラの撮像面に対して入射角が垂直から斜めになればなるほど干渉パターンの明暗の干渉パターンの間隔が狭くなるので、干渉パターンを正確に撮像するために、干渉パターンの明暗の間隔ができるだけ広くなるようにCCDカメラの撮像面に対して参照光をほぼ垂直に入射させる。すなわち、CCDカメラの撮像面には、参照光と物体光とがほぼ同じ方向から入射する。
図14は、従来のさらに他のデジタルホログラフィ装置の機能を示す模式図である。図14のデジタルホログラフィ装置は物体光と参照光の干渉像を撮像するのは同様であるが、上記図13に示した逐次位相シフトデジタルホログラフィに対し、図14に示すように、本発明者らにより、物体光と複数位相の参照光に対するホログラムの情報(干渉パターンI1、I2、I3、I4)を同図中に示すように例えばモザイク状に1回の撮像で取得し、リアルタイムで、しかも不要な像成分を除去した鮮明な被写体の3次元情報を得るための並列位相シフトデジタルホログラフィ(従来法1)が考案された(非特許文献3)。ここで、3次元情報は、被写体の3次元の形状、位置または分布の情報を含む。
図16は、従来法2に係る像再生アルゴリズムを示す模式図である。本明細書においては、前述した(3)補間処理に伴う計測範囲(視野)の狭窄を小さくすることと、(4)処理時間をできるだけ短くするという課題の解決に対応して、複数位相のモザイク状のホログラムから、情報の欠落している画素の補間処理なしで位相シフト法にて計算することによって1種類の複素振幅分布を得る技術を「従来法2」という。
本発明者らは、本願発明の前提として、前述した課題を解決する構成を特許文献3、特許文献4により提案している。これらの特許文献3、特許文献4は、本願の出願時点で未公開である。
図17は、比較法1に係る像再生アルゴリズムを示す模式図である。比較法1は、前述した(3)補間処理に伴う計測範囲(視野)の狭窄という課題の解決に対応するものであり、複数種類の補間処理により1枚のホログラムから複数のホログラムと複数の複素振幅分布を生成し、空間周波数分布面でどの複素振幅分布を選択、抽出するかを決める。
比較法2は、本発明者らが特許文献4により提案した構成であるが、前述した(1)0次回折光の残存という課題の解決に対応するもので、特に、不要な像成分である0次回折光を正確に除去して強度ムラを補正し、被写体を高精度に計測することができる。
図18は、従来法、比較法における問題を説明するための図であり、(a)は従来の逐次位相シフトデジタルホログラフィ装置による被写体の3次元像を示す画像であり、(b)は従来法1に係るデジタルホログラフィ装置による被写体の3次元像を示す画像であり、(c)は従来法2に係るデジタルホログラフィ装置による被写体の3次元像を示す画像であり、(d)は比較法1に係るデジタルホログラフィ装置による被写体の3次元像を示す画像である。
図20は、上記従来法2(補間なし)による物体像の合焦面、共役像の合焦面を示す画像と、上記比較法1(複数の補間処理)による物体像の合焦面、共役像の合焦面を示す画像との差分を示す画像である。
本実施の形態は、並列位相シフトデジタルホログラフィにおいて、従来法の技術の問題点、及び比較法の技術の問題点を解決することを目的とするものである。すなわち、特に、(1)0次回折光除去能力を高め、(2)残留共役像を除去し、(3)計測範囲(視野)を拡大し、(4)処理計算時間が短いという4つの重大な課題の解決が可能な新たな像再生アルゴリズムとそれを用いた計測装置を実現するものである。
対策(A)
ホログラムから参照光強度分布を減算してから位相シフト法を適用し、位相シフト法誤差により残留していた0次回折光や、参照光同士の干渉成分を除去する。
対策(B)
被写体の像の大部分と共役像は空間周波数分布面で分離されているので、空間フィルタリングで残留共役像を除去する。
対策(C)
複数の方向で位相シフト法の計算結果の画像を生成し、空間周波数分布面で被写体の情報が劣化せずに多く含まれている画像を選択・抽出することにより視野拡大を実現する。
(デジタルホログラフィ装置1Aの構成)
図1は、実施の形態に係るデジタルホログラフィ装置1Aの構成を示す模式図である。デジタルホログラフィ装置1Aは、並列2段階位相シフトデジタルホログラフィを実現するためのシステムである。図1は、撮像素子6の撮像面に微小偏光子アレイ5を貼り付ける場合の光学系の一例を示している。図1に示すデジタルホログラフィ装置1Aを説明する。まず、光源32から出射されるレーザ光は垂直偏光成分のみを有するものとする。光源32から出射されたレーザ光は、ビーム分割素子BS1によって物体光と参照光とに分けられる。
図2は、デジタルホログラフィ装置1Aの動作を示すフローチャートである。まず、参照光強度分布Ir(x、y)をメモリ9に記録しておく。そして、撮像素子6により撮像された2種類のホログラムの情報を含む並列位相シフトホログラムI(x、y)をメモリ9に記録する(ステップS1)。参照光強度分布Ir(x、y)は、並列位相シフトホログラムI(x、y)を記録した後でメモリ9に記録してもよいし、デジタルホログラフィ装置1Aの起動時、停止時など、撮像素子6で並列位相シフトホログラムを撮像する時と強度分布が大きく変わらないという条件を満たせば、任意の時に記録すればよい。そして、参照光減算器2は、並列位相シフトホログラムI(x、y)から参照光強度分布Ir(x、y)を減算して参照光減算ホログラムI´(x、y)を生成する(ステップS2)。
ステップS2で前述した並列位相シフトホログラムI(x、y)から参照光強度分布Ir(x、y)を減算して参照光減算ホログラムI´(x、y)を生成する処理を具体的に説明する。
U(x、y):物体光
α:位相シフト量
ここで、並列位相シフトホログラムから参照光強度分布を差し引いたものを、I´(x、y:α)とすると、
図4(a)はデジタルホログラフィ装置1Aに係る参照光減算処理前(参照光減算処理を適用しなかった時)の被写体の3次元像を示す画像であり、(b)は参照光減算処理適用後の被写体の3次元像を示す画像であり、(c)は両者の差分を取った後の値を示す画像である。図5は、参照光減算処理適用前後の被写体の3次元像を示す画像の差分を取った後の値を示す画像の詳細を説明するための図である。
ステップS6で前述した空間フィルタリング処理を具体的に説明する。空間フィルタリング処理は、下記の(式10)により表される。
F[*]:フーリエ変換、
U(x、y):物体(被写体)の再生像の複素振幅、
W(fx、fy):空間周波数領域における透過フィルタ(窓関数)であって、特定の空間周波数領域の空間スペクトルを透過させる機能を有する。窓関数には、矩形、ガウス窓、ハニング窓、ハミング窓などが含まれる。この透過フィルタは、信号処理分野で用いられているあらゆる種類の関数を用いることが可能である。
fx、fy:空間周波数、
また、近傍画素を用いた方向Dに対して、撮像素子で記録可能な最大空間周波数fMの半分で空間スペクトルを遮断するように窓関数を選択する。たとえば、x軸方向に隣り合う2画素を用いて位相シフト法の計算を行って複素振幅分布を得た場合、矩形窓を適用するとき、
図6(a)はデジタルホログラフィ装置1Aの空間フィルタリング処理を適用した被写体の3次元像を示す画像であり、(b)はその空間周波数分布を示す画像である。
図7は、デジタルホログラフィ装置1Aに係るN種類複素振幅生成処理を説明するための図である。図2のステップS3〜S7で前述したように、N種類の方向D=D1、…、DN(Nは2以上の整数)について、方向Di(iは1以上N以下の整数)に沿った並列位相シフトホログラムHL1の画素を利用して複素振幅計算処理を含む位相シフト法の計算を行い、合計N種類のフーリエ変換後の複素振幅SP2を得る。
a、b、c:重み、
である。
提案アルゴリズムの有効性を確認するために原理確認実験を行った。逐次記録された位相シフトホログラムを用いて、並列2段階位相シフトデジタルホログラフィに必要なホログラムを計算機内で等価的に生成し、本実施の形態に係るアルゴリズムで像を再生した。比較のために、従来の像再生アルゴリズムでも像を再生した。
記録光源:波長632.8nmのHe-Neレーザ、
撮像素子:画素数2448(H) 2050(V)、画素間隔3.45(H)×3.45(V)μmのCCDカメラ、
被写体:アヒル、柵、ヒヨコのミニチュア模型
(撮像素子から300mmの位置にアヒル、380mの位置に柵、350mmの位置にヒヨコを配置)、
図9(a)は従来の逐次位相シフトデジタルホログラフィ装置による被写体の3次元像を示す画像であり、(b)は従来法1に係るデジタルホログラフィ装置による被写体の3次元像を示す画像であり、(c)は従来法2に係るデジタルホログラフィ装置による被写体の3次元像を示す画像であり、(d)は比較法1に係るデジタルホログラフィ装置による被写体の3次元像を示す画像であり、(e)は上記デジタルホログラフィ装置に係るN(=2)方向処理を適用した被写体の3次元像を示す画像である。
本実施の形態に係る提案アルゴリズムの有効性を確認するために並列位相シフトデジタルホログラフィの光学系を組んでさらに実験を行った。
記録光源:波長532nmのNd:YVO4レーザ、
撮像素子:画素数1164(H) 874(V)の偏光子アレイ付きCCDカメラ、
被写体:折り鶴(撮像素子から475mm),賽(撮像素子から600mm)、
図10(b)、(d)、図11(b)、(d)に示す本実施の形態に係る画像は、再生像の中央に0次回折光の重畳が見られず、被写体のみの像を再生できていることが分かる。よって、位相シフト法の計算精度を向上することができ、画質向上を達成することができた。
以上のように本実施の形態では、並列位相シフトデジタルホログラフィにおいて、0次回折光、−1次回折光あるいは1次回折光のいずれか一方、及び参照光同士の干渉などの影響を極力取り除き、解像度の優れた視野拡大アルゴリズムを提案し、原理確認実験と実証実験とにより有効性を確認した。本実施の形態に係るアルゴリズムは、特許文献3で並列位相シフトデジタルホログラフィに対して提案している像再生アルゴリズムよりも、位相シフト法の計算精度向上により0次回折光除去能力を高め、残留共役像の除去も可能なため、より高精度に計測できる点で有効である。本実施の形態に係るアルゴリズムを用いた計測方法によって、並列位相シフトデジタルホログラフィで大きな物体の高画質イメージングを達成することができる。
2 参照光減算器(参照光減算手段)
3 演算器(演算手段)
4 フーリエ変換器(フーリエ変換手段)
5 再生器(再生手段)
6 空間フィルタリング器(空間フィルタリング手段)
7 N種類複素振幅生成器(N種類複素振幅生成手段)
8 空間スペクトル分布生成器(空間スペクトル分布生成手段)
HL1 並列位相シフトホログラム
SP1 空間スペクトル分布
SP2 複素振幅
Claims (11)
- 被写体の参照光の位相シフト量が異なるホログラム情報を含む並列位相シフトホログラムから前記参照光の強度分布を減算した参照光減算ホログラムを生成する参照光減算手段と、
前記参照光減算ホログラムから前記参照光の位相シフト量が異なる第1ホログラム及び第2ホログラムを抽出し、前記参照光の強度分布と前記第1ホログラムと前記第2ホログラムとに基づき複素振幅を求める演算手段と、
前記複素振幅をフーリエ変換するフーリエ変換手段と、
前記フーリエ変換手段によりフーリエ変換された複素振幅を逆フーリエ変換し、回折積分して前記被写体の3次元像を再生する再生手段とを備えたことを特徴とするデジタルホログラフィ装置。 - 前記並列位相シフトホログラム及び前記参照光の強度分布はメモリに記録されており、
前記参照光減算手段は、前記メモリに記録された並列位相シフトホログラムから前記メモリに記録された参照光の強度分布を減算する請求項1に記載のデジタルホログラフィ装置。 - 前記フーリエ変換手段によりフーリエ変換された複素振幅の所定の空間周波数領域の空間スペクトルを透過させる空間フィルタリング手段をさらに備え、
前記再生手段は、空間フィルタリング手段を透過した空間スペクトルを逆フーリエ変換し、回折積分して前記被写体の3次元像を再生する請求項1に記載のデジタルホログラフィ装置。 - 前記参照光減算ホログラムから前記参照光の位相シフト量が異なる第1ホログラム及び第2ホログラムを抽出し、前記第1ホログラム及び第2ホログラムをそれぞれN種類の方向(Nは1以上の整数)の近傍画素を用いた位相シフト法計算処理によりN種類の複素振幅を生成するN種類複素振幅生成手段をさらに備え、
前記フーリエ変換手段は、前記N種類複素振幅生成手段により生成された前記N種類の複素振幅をフーリエ変換し、
前記フーリエ変換手段によりフーリエ変換されたN種類の複素振幅から空間周波数帯域幅の広い複素振幅を選択するか、又は、前記空間周波数帯域幅に従って前記N種類の複素振幅を重み付けをすることにより、空間スペクトル成分を抽出して空間スペクトル分布を生成する空間スペクトル分布生成手段をさらに備え、
前記再生手段は、前記空間スペクトル分布生成手段により生成された空間スペクトル分布を逆フーリエ変換し、回折積分して前記被写体の3次元像を再生する請求項1に記載のデジタルホログラフィ装置。 - 被写体の参照光の位相シフト量が異なるホログラム情報を含む並列位相シフトホログラムから前記参照光の位相シフト量が異なる第1ホログラム及び第2ホログラムを抽出し、前記参照光の強度分布と前記第1ホログラムと前記第2ホログラムとに基づき複素振幅を求める演算手段と、
前記複素振幅をフーリエ変換するフーリエ変換手段と、
前記フーリエ変換手段によりフーリエ変換された複素振幅の所定の空間周波数領域の空間スペクトルを透過させる空間フィルタリング手段と、
前記空間フィルタリング手段を透過した複素振幅を逆フーリエ変換し、回折積分して前記被写体の3次元像を再生する再生手段とを備えたことを特徴とするデジタルホログラフィ装置。 - 被写体の参照光の位相シフト量が異なるホログラム情報を含む並列位相シフトホログラムから前記参照光の強度分布を減算した参照光減算ホログラムを生成する参照光減算手段をさらに備え、
前記演算手段は、前記参照光減算ホログラムから前記参照光の位相シフト量が異なる第1ホログラム及び第2ホログラムを抽出し、前記参照光の強度分布と前記第1ホログラムと前記第2ホログラムとに基づき複素振幅を求める演算する請求項5に記載のデジタルホログラフィ装置。 - 前記並列位相シフトホログラムから前記参照光の位相シフト量が異なる第1ホログラム及び第2ホログラムを抽出し、前記第1ホログラム及び第2ホログラムをそれぞれN種類の方向(Nは1以上の整数)の近傍画素を用いた位相シフト法計算処理によりN種類の複素振幅を生成するN種類複素振幅生成手段をさらに備え、
前記フーリエ変換手段は、前記N種類複素振幅生成手段により生成された前記N種類の複素振幅をフーリエ変換し、
前記フーリエ変換手段によりフーリエ変換されたN種類の複素振幅から空間周波数帯域幅の広い複素振幅を選択するか、又は、前記空間周波数帯域幅に従って前記N種類の複素振幅を重み付けをすることにより、空間スペクトル成分を抽出して空間スペクトル分布を生成する空間スペクトル分布生成手段をさらに備え、
前記再生手段は、前記空間スペクトル分布生成手段により生成された空間スペクトル分布を逆フーリエ変換し、回折積分して前記被写体の3次元像を再生する請求項5に記載のデジタルホログラフィ装置。 - 被写体の参照光の位相シフト量が異なるホログラム情報を含む並列位相シフトホログラムから前記参照光の位相シフト量が異なる第1ホログラム及び第2ホログラムを抽出し、前記第1ホログラム及び第2ホログラムをそれぞれN種類の方向(Nは2以上の整数)の近傍画素を用いた位相シフト法計算処理によりN種類の複素振幅を生成するN種類複素振幅生成手段と、
前記N種類複素振幅生成手段により生成された前記N種類の複素振幅をフーリエ変換するフーリエ変換手段と、
前記フーリエ変換手段によりフーリエ変換されたN種類の複素振幅から空間周波数帯域幅の広い複素振幅を選択するか、又は、前記空間周波数帯域幅に従って前記N種類の複素振幅を重み付けをすることにより、空間スペクトル成分を抽出して空間スペクトル分布を生成する空間スペクトル分布生成手段と、
前記空間スペクトル分布生成手段により生成された空間スペクトル分布を逆フーリエ変換し、回折積分して前記被写体の3次元像を再生する再生手段とを備えたことを特徴とするデジタルホログラフィ装置。 - 前記空間スペクトル分布生成手段は、前記N種類の方向のうち、前記複素振幅の中心をとおって前記方向に垂直な直線に対する距離が最小の方向に対応する複素振幅の空間スペクトル成分を抽出する請求項8に記載のデジタルホログラフィ装置。
- 被写体の参照光の位相シフト量が異なるホログラム情報を含む並列位相シフトホログラムから前記参照光の強度分布を減算した参照光減算ホログラムを生成する参照光減算手段をさらに備え、
前記N種類複素振幅生成手段は、前記参照光減算ホログラムから前記参照光の位相シフト量が異なる第1ホログラム及び第2ホログラムを抽出し、前記第1ホログラム及び第2ホログラムをそれぞれN種類の方向(Nは2以上の整数)の近傍画素を用いた位相シフト法計算処理によりN種類の複素振幅を生成する請求項8に記載のデジタルホログラフィ装置。 - 前記フーリエ変換手段によりフーリエ変換されたN種類の複素振幅の所定の空間周波数領域の空間スペクトルを透過させる空間フィルタリング手段をさらに備え、
前記空間スペクトル分布生成手段は、前記空間フィルタリング手段を透過したN種類の複素振幅から空間周波数帯域幅の広い複素振幅を選択するか、又は、前記空間周波数帯域幅に従って前記N種類の複素振幅を重み付けをすることにより、空間スペクトル成分を抽出して空間スペクトル分布を生成する請求項8に記載のデジタルホログラフィ装置。
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