JP6043812B2 - Flexible sintering method of rare earth permanent magnet alloy and sintering equipment thereof - Google Patents

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Description

本発明は、希土類永久磁石合金の処理方法に関し、特にネオジム鉄ホウ素希土類永久磁石合金のフレキシブルな焼結処理方法及びその焼結設備に関する。   The present invention relates to a method for treating a rare earth permanent magnet alloy, and more particularly to a flexible sintering method for a neodymium iron boron rare earth permanent magnet alloy and a sintering facility thereof.

ネオジム鉄ホウ素希土類永久磁石体は、電子、モーター及びハイブリッド動力型車などに幅広く応用され、未来はより広いところに応用されそうである。   Neodymium iron boron rare earth permanent magnets are widely applied to electronics, motors, hybrid power vehicles, etc., and the future is likely to be applied to a wider area.

従来のネオジム鉄ホウ素希土類永久磁石合金の焼結設備として、中国実用新案第01248403.2号を参照することができる。この設備は、炉本体と、炉本体内に設けられた加熱室と、加熱室の壁に設けられたノズルとを含み、かつ炉本体の一側にはバルブが設けられており、炉本体はバルブにより真空パイプが設けられた密閉のグローブボックスに連結されることを特徴とする。その目的は、製品の酸化、冷却の均一性及び一様性などのような問題を解決することにある。   As a conventional neodymium iron boron rare earth permanent magnet alloy sintering facility, reference can be made to Chinese utility model No. 01248403.2. This facility includes a furnace body, a heating chamber provided in the furnace body, and a nozzle provided on the wall of the heating chamber, and a valve is provided on one side of the furnace body, The valve is connected to a sealed glove box provided with a vacuum pipe. Its purpose is to solve problems such as product oxidation, cooling uniformity and uniformity.

従来の設備は、整備に関する投資が多く、占用面積が多く、自動化レベルが低く、ネオジム鉄ホウ素希土類永久磁石合金の焼結過程の無酸化を実現できない問題がある。   Conventional equipment has a large investment in maintenance, a large occupied area, a low level of automation, and there is a problem that the non-oxidation of the sintering process of the neodymium iron boron rare earth permanent magnet alloy cannot be realized.

特許文献1:中国実用新案第01248403.2号公報     Patent Document 1: Chinese Utility Model No. 01248403.2

上述した技術的問題を解決するため、本発明は希土類永久磁石合金のフレキシブルな焼結処理方法及びその焼結設備を提供する。   In order to solve the above technical problems, the present invention provides a flexible sintering method for rare earth permanent magnet alloys and a sintering facility thereof.

本発明の希土類永久磁石合金のフレキシブルな焼結処理方法は以下の技術方法を採用する。
具体的には以下の処理過程を行う。
(1)希土類永久磁石合金の細かい粉末は、不活性気体中の圧縮機内で重さを量り、金型に入れ、配向成型で半製品にするとともにこの半製品を材料容器に入れ、材料容器は材料載置板上に配列する。第二搬送密閉ボックスと圧縮機とを当接させるとともに、当接された2つの隔離バルブのフランジを密閉ロックする。2つの隔離バルブの間の空気が不活性気体に交換された後に2つの隔離バルブを開け、第二搬送密閉ボックス内の材料フォークは圧縮機内の材料載置板を第二搬送密閉ボックス内に搬入し、2つの隔離バルブを閉める。第二搬送密閉ボックスは離れるとともに、グローブボックスの1#室側の1#隔離バルブに当接される。
(2)第二搬送密閉ボックスとグローブボックスの1#隔離バルブとの間の空気が不活性気体に交換された後に当接された2つの隔離バルブを開け、第二搬送密閉ボックス内の底部ローラー搬送装置は材料載置板をグローブボックスの1#室内に搬入する。2つの隔離バルブを閉めると、第二搬送密閉ボックスが離れる。グローブボックスの2#隔離バルブを開け、1#室内の材料は底部ローラー搬送装置により2#室に搬入され、2#隔離バルブを閉める。2#室において手動で半製品を黒鉛材料容器に入れ、黒鉛材料容器を材料載置板上に配置する。
(3)第一搬送密閉ボックスを2#室側の3#隔離バルブに当接させ、当接された2つの隔離バルブのフランジを密閉ロックする。2つの隔離バルブの間の空気が不活性気体に交換された後に連結された2つの隔離バルブを開け、2#室と第一搬送密閉ボックスの底部ローラー搬送装置とを起動して、2#室内の材料載置板を第一搬送密閉ボックス内に搬入する。2つの隔離バルブを閉めると、第一搬送密閉ボックスが離れる。
(4)第一搬送密閉ボックスと焼結炉の隔離バルブとを当接させ、当接されたフランジを密閉ロックする。2つの隔離バルブの間の空気が不活性気体に交換された後にバランスバルブを開け、炉内の気圧と第一搬送密閉ボックスの気圧のバランスが取られると、連結された2つの隔離バルブを開ける。第一搬送密閉ボックス内の送りねじ駆動装置、シリンダーにより昇降する材料フォークを起動して、材料載置板を焼結炉内に搬入した後、2つの隔離バルブを閉めると、第一搬送密閉ボックスが離れる。
(5)焼結炉を真空にし、真空度が50Paより高いか或いは保護性気体を導入するとき、予め設定した処理曲線で加熱保温を行い、最高の温度1200℃で焼結する。窒素又はアルゴンを0.01〜0.03MPaまで導入し、送風機を起動して材料容器と材料容器内の希土類永久磁石合金半製品を冷却し、80℃以下に冷却されると、少なくとも5分ほど置いてから送風機を止める。炉内の圧力が大気圧と同じになると、焼結炉の4#隔離バルブを開け、材料出口側車の材料フォークで材料載置板を取り出した後、4#隔離バルブを閉めると、材料出口側車が離れる。
The following technical method is adopted as the flexible sintering method for the rare earth permanent magnet alloy of the present invention.
Specifically, the following processing steps are performed.
(1) The fine powder of the rare earth permanent magnet alloy is weighed in a compressor in an inert gas, put in a mold, made into a semi-finished product by orientation molding, and this semi-finished product is put in a material container. It arranges on a material mounting board. The second conveyance hermetic box and the compressor are brought into contact with each other, and the flanges of the two separated isolation valves are hermetically locked. After the air between the two isolation valves is exchanged with an inert gas, the two isolation valves are opened, and the material fork in the second transfer sealed box carries the material mounting plate in the compressor into the second transfer sealed box. And close the two isolation valves. While the second transfer sealed box is separated, it comes into contact with the 1 # isolation valve on the 1 # chamber side of the glove box.
(2) Open the two isolation valves abutted after the air between the second transfer sealed box and the 1 # isolation valve of the glove box is exchanged with an inert gas, and the bottom roller in the second transfer sealed box The transfer device carries the material placing plate into the 1 # chamber of the glove box. When the two isolation valves are closed, the second transfer sealed box is released. Open the 2 # isolation valve of the glove box, the material in the 1 # chamber is carried into the 2 # chamber by the bottom roller transport device, and the 2 # isolation valve is closed. In the 2 # chamber, the semi-finished product is manually placed in the graphite material container, and the graphite material container is placed on the material placing plate.
(3) The first transfer sealed box is brought into contact with the 3 # isolation valve on the 2 # chamber side, and the flanges of the two contacted isolation valves are hermetically locked. Open the two isolation valves connected after the air between the two isolation valves is exchanged with the inert gas, start the 2 # chamber and the bottom roller transfer device of the first transfer sealed box, and start the 2 # chamber The material mounting plate is carried into the first transfer sealed box. When the two isolation valves are closed, the first transfer sealed box is released.
(4) The first transfer sealing box and the isolation valve of the sintering furnace are brought into contact with each other, and the contacted flange is hermetically locked. The balance valve is opened after the air between the two isolation valves is exchanged with an inert gas, and when the atmospheric pressure in the furnace and the pressure in the first transfer sealed box are balanced, the two connected isolation valves are opened. . When the feed screw driving device in the first transfer sealed box, the material fork that is moved up and down by the cylinder is activated, the material mounting plate is carried into the sintering furnace, and the two isolation valves are closed, the first transfer sealed box Leave.
(5) When the sintering furnace is evacuated and the degree of vacuum is higher than 50 Pa or protective gas is introduced, heat insulation is performed with a preset processing curve, and sintering is performed at a maximum temperature of 1200 ° C. When nitrogen or argon is introduced to 0.01 to 0.03 MPa, the blower is activated to cool the material container and the rare earth permanent magnet alloy semi-finished product in the material container, and when cooled to 80 ° C. or less, at least about 5 minutes. Stop the blower after placing it. When the pressure inside the furnace becomes the same as the atmospheric pressure, open the 4 # isolation valve of the sintering furnace, take out the material mounting plate with the material fork of the material outlet side car, and then close the 4 # isolation valve, the material outlet The side car leaves.

本発明の処理方法が採用する焼結設備は、グローブボックスと、2つの搬送密閉ボックスと、圧縮機と、焼結炉と、材料出口側車とを含む。該グローブボックスの両端には物流通路がそれぞれ設けられ、圧縮機と焼結炉はそれぞれ各物流通路の一側に配列され、2つの搬送密閉ボックスはそれぞれ2つの物流通路中で移動する。2つの搬送密閉ボックスと焼結炉及び圧縮機との間の対向面と、グローブボックスの両端とには隔離バルブがそれぞれ設けられ、かつ隔離バルブによりグローブボックス、焼結炉及び圧縮機の隔離バルブにそれぞれ連結される。   The sintering equipment employed by the processing method of the present invention includes a glove box, two transfer sealed boxes, a compressor, a sintering furnace, and a material outlet side wheel. A distribution passage is provided at each end of the glove box, the compressor and the sintering furnace are arranged on one side of each distribution passage, and the two transfer sealed boxes move in the two distribution passages. Isolation valves are respectively provided on the opposing surfaces between the two transporting sealed boxes and the sintering furnace and the compressor, and at both ends of the glove box, and the isolation valves of the glove box, the sintering furnace, and the compressor are provided by the isolation valves. Respectively.

さらに、前記グローブボックスは二室真空又は保護気体密閉型ボックスであり、該グローブボックスは二個の密閉室を有し、二個の密閉室の間には2#隔離バルブが設けられ、二個の密閉室の端面には1#と3#隔離バルブが設けられている。各室には真空パイプと、不活性気体導入パイプと、気体放出バルブ用パイプと、圧力計と、真空計とが設けられ、二室の間にはバランスバルブ用パイプが設けられ、このバランスバルブ用パイプにより二室の圧力バランスを取る。二室内には材料載置板を載置する2#、3#底部ローラー搬送装置がそれぞれ設けられている。2#室にはグローブボックスフランジモジュールが設けられている。   Furthermore, the glove box is a two-chamber vacuum or protective gas sealed box, the glove box has two sealed chambers, and a 2 # isolation valve is provided between the two sealed chambers. 1 # and 3 # isolation valves are provided on the end face of the closed chamber. Each chamber is provided with a vacuum pipe, an inert gas introduction pipe, a gas discharge valve pipe, a pressure gauge, and a vacuum gauge, and a balance valve pipe is provided between the two chambers. Balance the pressure in the two chambers with a pipe. In the two chambers, 2 # and 3 # bottom roller conveying devices for placing the material placing plates are respectively provided. The 2 # chamber is provided with a glove box flange module.

さらに、前記搬送密閉ボックスの一端には5#隔離バルブが設けられ、他端にはボックスドアが設けられている。搬送密閉ボックスと、グローブボックス、焼結炉又は圧縮機とが当接するとき、隔離バルブ上の2つのフランジの密閉を確保する。   In addition, a 5 # isolation valve is provided at one end of the transport sealed box, and a box door is provided at the other end. When the conveying sealed box and the glove box, sintering furnace or compressor abut, the two flanges on the isolation valve are sealed.

さらに、前記搬送密閉ボックスの内部には材料をグローブボックスに搬入する1#底部ローラー搬送装置と材料を焼結炉に搬入する材料フォーク構造とが設けられ、搬送密閉ボックスの底部には全方向ローラーが設けられ、搬送密閉ボックスには1#真空パイプと、不活性気体導入パイプと、1#気体放出バルブ用パイプとが連結されている。   Further, a 1 # bottom roller transport device for transporting material into the glove box and a material fork structure for transporting material into the sintering furnace are provided inside the transport sealed box, and an omnidirectional roller is disposed at the bottom of the transport sealed box. And a 1 # vacuum pipe, an inert gas introduction pipe, and a 1 # gas discharge valve pipe are connected to the transport sealed box.

さらに、前記材料フォーク構造は材料フォークと、ローラーレールフレームと、送りねじ駆動装置と、1#モーター減速装置と、第一シリンダーとを含み、1#モーター減速装置の出力軸は送りねじ駆動装置の送りねじの一端に連結され、送りねじ駆動装置の他端は第一シリンダが支持するローラーレールフレーム上に連結され、1#底部ローラー搬送装置は支持フレームによりボックス底部上に取り付けられる。   Further, the material fork structure includes a material fork, a roller rail frame, a feed screw drive device, a 1 # motor speed reducer, and a first cylinder. The output shaft of the 1 # motor speed reducer is a feed screw drive device. Connected to one end of the feed screw, the other end of the feed screw driving device is connected to the roller rail frame supported by the first cylinder, and the 1 # bottom roller transport device is attached to the box bottom by the support frame.

さらに、前記第一シリンダーはボックスの下側に固定され、第一シリンダーのピストンはボックス内に挿入されとともに材料フォークのローラーレールフレームのローラー軸にリンク連結され、ローラーは1#ローラーレール装置のレール内で移動する。   Further, the first cylinder is fixed to the lower side of the box, the piston of the first cylinder is inserted into the box and linked to the roller shaft of the roller rail frame of the material fork, and the roller is a rail of the 1 # roller rail device. Move in.

さらに、前記焼結炉は一個又は複数個であり、その一端には物流通路の一側に位置する4#隔離バルブが設けられ、他端には高圧密閉ロック部にロックされる炉ドアが設けられる。前記焼結炉の炉内には加熱室が設けられ、加熱室の内部には遮熱層が設けられ、遮熱層の内部には複数組のヒーターと熱電対(thermocouple)が設けられており、ヒーターは加熱室上に設けられた電極と加熱室の外に設けられた銅線とにより、加熱電源ボックスに電気連結される。炉内には経方向に沿って遮熱層を貫通し、かつ互いに連通された複数個のノズルが設けられている。焼結炉の外壁は冷却水中置式二層構造を有し、その上には冷却水出入用パイプが設けられている。焼結炉の内室には不活性気体導入パイプと、安全バルブ用パイプと、気体放出バルブ用パイプと、風冷却システムとが連結されている。第一搬送密閉ボックス内の材料フォークにより材料載置板を炉内の加熱室の材料載置台に載置させる。   In addition, one or more sintering furnaces are provided, one end of which is provided with a 4 # isolation valve located on one side of the distribution passage, and the other end is provided with a furnace door which is locked to a high pressure hermetic lock. It is done. A heating chamber is provided in the furnace of the sintering furnace, a heat shield layer is provided in the heating chamber, and a plurality of sets of heaters and thermocouples are provided in the heat shield layer. The heater is electrically connected to the heating power source box by an electrode provided on the heating chamber and a copper wire provided outside the heating chamber. A plurality of nozzles penetrating the heat shield layer along the warp direction and communicating with each other are provided in the furnace. The outer wall of the sintering furnace has a two-layer structure in which the cooling water is placed, and a cooling water inlet / outlet pipe is provided thereon. An inert gas introduction pipe, a safety valve pipe, a gas discharge valve pipe, and a wind cooling system are connected to the inner chamber of the sintering furnace. The material placing plate is placed on the material placing table in the heating chamber in the furnace by the material fork in the first transfer sealed box.

さらに、前記焼結炉内と4#隔離バルブとの間には圧力バランスを取るバランスバルブ用パイプが連結されている。   Further, a balance valve pipe is connected between the inside of the sintering furnace and the 4 # isolation valve.

さらに、前記風冷却システムは外循環構造又は内循環構造を有し、かつ送風機と、熱交換器と、炉内に沿って設けられた複数個のノズルとを含み、各ノズルに連通された風通路の一端は送風機に連結され、他端は熱交換器に連結される。   Furthermore, the wind cooling system has an external circulation structure or an internal circulation structure, and includes a blower, a heat exchanger, and a plurality of nozzles provided along the furnace, and is connected to each nozzle. One end of the passage is connected to the blower, and the other end is connected to the heat exchanger.

さらに、前記焼結炉が複数個である場合、物流通路の前に配列される。   Furthermore, when there are a plurality of the sintering furnaces, they are arranged in front of the distribution passage.

本発明は並列式フレキシブルな生産方法を採用し、ネオジム鉄ホウ素希土類永久磁石合金の焼結処理時間が24時間もかかるので、ネオジム鉄ホウ素希土類永久磁石合金半製品を圧縮機から取り出した後、グローブボックスの手動でこの半製品を黒鉛材料容器に入れ、黒鉛材料容器を材料載置板上に配置する時間が1時間しかかからない。これにより単室焼結炉のグローブボックスを削除し、一個のグローブボックスを複数個の隔離バルブの単室焼結炉に対応させ、保護気体の搬送密閉ボックスにより焼結炉に当接させることができる。   The present invention adopts a parallel flexible production method, and the sintering process time of the neodymium iron boron rare earth permanent magnet alloy takes 24 hours. It takes only 1 hour to manually put the semi-finished product into the graphite material container and place the graphite material container on the material placing plate. As a result, the glove box of the single-chamber sintering furnace can be deleted, and one glove box can be made to correspond to the single-chamber sintering furnace of a plurality of isolation valves, and can be brought into contact with the sintering furnace by a protective gas transfer sealed box. it can.

本発明はフレキシブルな生産方法を採用し、搬送密閉ボックスにより圧縮機に当接させることにより、圧縮から焼結までの無酸素の連結を実現し、磁性体の特性を有効に向上させ、生産の自動化レベルを大幅に向上させることができる。   The present invention adopts a flexible production method, and abuts against the compressor by a conveyance sealed box, thereby realizing an oxygen-free connection from compression to sintering, effectively improving the characteristics of the magnetic material, The automation level can be greatly improved.

本発明の希土類永久磁石合金のフレキシブルな焼結設備を示す図である。It is a figure which shows the flexible sintering equipment of the rare earth permanent magnet alloy of this invention. 図1中の搬送密閉ボックスを示す図である。It is a figure which shows the conveyance sealed box in FIG. 図1中のグローブボックスを示す図である。It is a figure which shows the glove box in FIG. 図1中の焼結炉を示す図である。It is a figure which shows the sintering furnace in FIG. 図4の焼結炉を示す平面図である。It is a top view which shows the sintering furnace of FIG. 図1中の搬送密閉ボックスの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the conveyance sealed box in FIG.

以下図面と実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。   The present invention will be described in detail below based on the drawings and examples.

実施例:図1に示したとおり、本発明の設備は、グローブボックス1と、第一、第二搬送密閉ボックス2、6と、圧縮機5と、焼結炉3と、材料出口側車4とを含む。該グローブボックス1の両端には物流通路がそれぞれ設けられ、圧縮機5と焼結炉3はそれぞれ各物流通路の一側に配列され、第一、第二搬送密閉ボックス2、6はそれぞれ2つの物流通路中で移動することができる。第一、第二搬送密閉ボックス2、6と焼結炉3及び圧縮機5との間の対向面と、グローブボックス1の両端とには隔離バルブがそれぞれ設けられ、これらの隔離バルブはそれぞれグローブボックス1、焼結炉3及び圧縮機5の隔離バルブに連結される。前記焼結炉3と圧縮機5との数が複数個である場合、それらを並列に配置することができる。   Example: As shown in FIG. 1, the equipment of the present invention includes a glove box 1, first and second transfer sealed boxes 2 and 6, a compressor 5, a sintering furnace 3, and a material outlet side vehicle 4. Including. A distribution passage is provided at both ends of the glove box 1, the compressor 5 and the sintering furnace 3 are arranged on one side of each distribution passage, and the first and second transfer sealed boxes 2, 6 each have two You can move in the logistics path. Isolation valves are provided on the opposing surfaces between the first and second transfer sealed boxes 2 and 6 and the sintering furnace 3 and the compressor 5 and on both ends of the glove box 1, respectively. It is connected to the isolation valve of the box 1, the sintering furnace 3 and the compressor 5. When there are a plurality of sintering furnaces 3 and compressors 5, they can be arranged in parallel.

図3に示したとおり、前記グローブボックス1は二室真空又は保護気体密閉型ボックスである。この実施例のグローブボックスは二個の密閉室、すなわち1#室32と2#室38とを有する。二個の密閉室の間には2#隔離バルブ36が設けられ、二個の密閉室の端面には1#隔離バルブ31と3#隔離バルブ43とがそれぞれ設けられている。各室には真空パイプと、不活性気体導入パイプと、気体放出バルブ用パイプと、圧力計と、真空計とが設けられ、二室の間にはバランスバルブ用パイプが設けられ、このバランスバルブ用パイプにより二室の圧力バランスを取る。二室内には材料載置板44を載置する2#、3#底部ローラー搬送装置46、45がそれぞれ設けられている。2#室38にはグローブボックスフランジモジュール37と2#キャビネット39とが設けられている。   As shown in FIG. 3, the glove box 1 is a two-chamber vacuum or protective gas sealed box. The glove box of this embodiment has two sealed chambers, that is, a 1 # chamber 32 and a 2 # chamber 38. A 2 # isolation valve 36 is provided between the two sealed chambers, and a 1 # isolation valve 31 and a 3 # isolation valve 43 are provided on the end surfaces of the two sealed chambers, respectively. Each chamber is provided with a vacuum pipe, an inert gas introduction pipe, a gas discharge valve pipe, a pressure gauge, and a vacuum gauge, and a balance valve pipe is provided between the two chambers. Balance the pressure in the two chambers with a pipe. In the two chambers, 2 # and 3 # bottom roller conveying devices 46 and 45 for placing the material placing plate 44 are provided, respectively. In the 2 # chamber 38, a glove box flange module 37 and a 2 # cabinet 39 are provided.

図1に示したとおり、前記第一、第二搬送密閉ボックス2、6の構造が同一であり、両者の一端には5#隔離バルブ14が設けられ、他端にはボックスドア7が設けられている。第一、第二搬送密閉ボックス2、6と、グローブボックス1、焼結炉3又は圧縮機5とを当接させることにより、2つの隔離バルブのフランジの密閉を確保する。5#隔離バルブ14と1#隔離バルブ31及び3#隔離バルブ43との間の空気は、搬送密閉ボックスの5#隔離バルブ14に設けられたバルブの4#真空パイプ30により真空にするか、或いは不活性気体導入パイプで不活性気体を吹き入れることにより交換することができる。   As shown in FIG. 1, the structures of the first and second transfer sealed boxes 2 and 6 are the same, and a 5 # isolation valve 14 is provided at one end of both, and a box door 7 is provided at the other end. ing. By bringing the first and second transfer sealed boxes 2 and 6 into contact with the glove box 1, the sintering furnace 3, or the compressor 5, the sealing of the flanges of the two isolation valves is ensured. The air between the 5 # isolation valve 14 and the 1 # isolation valve 31 and 3 # isolation valve 43 can be evacuated by the 4 # vacuum pipe 30 of the valve provided in the 5 # isolation valve 14 of the transport sealed box, Or it can replace | exchange by blowing inactive gas with an inert gas introduction pipe.

図2に示したとおり、前記搬送密閉ボックスの内部には、材料をグローブボックス1に搬送する1#底部ローラー搬送装置と、材料を焼結炉3又は圧縮機に運ぶ材料フォーク構造とが設けられている。搬送密閉ボックスの底部には、全方向ローラー19が設けられており、搬送密閉ボックスには、1#真空パイプ12と、不活性気体導入パイプと、1#気体放出バルブ用パイプ8とが連結されている。   As shown in FIG. 2, a 1 # bottom roller transport device for transporting the material to the glove box 1 and a material fork structure for transporting the material to the sintering furnace 3 or the compressor are provided inside the transport sealed box. ing. An omnidirectional roller 19 is provided at the bottom of the transport sealed box, and a 1 # vacuum pipe 12, an inert gas introduction pipe, and a 1 # gas discharge valve pipe 8 are connected to the transport sealed box. ing.

前記材料フォーク構造は、材料フォーク17と、ローラーレールフレーム20と、送りねじ駆動装置29と、1#モーター減速装置18と、第一シリンダー27とを含む。1#モーター減速装置18はローラーレールフレーム20上に固定され、その出力軸は送りねじ21の一端に連結され、送りねじ21の他端はローラーレールフレーム20に連結され、第一シリンダー27はローラーレールフレーム20のローラー軸を支持する。材料フォーク17には送りねじ駆動装置29が固定されている。送りねじが回転するときに送りねじ駆動装置29中のナットを駆動することにより、材料フォーク17のローラーがローラーレールフレーム20に沿って転動するとともに、材料フォークが移動する。1#底部ローラー搬送装置16は支持フレーム81によりボックス底部22上に取り付けられる。前記第一シリンダー27はボックスの下側に固定され、第一シリンダー27のピストンはボックス内に挿入されとともに材料フォークのローラーレールフレーム20のローラー軸にリンク連結され、ローラーは1#ローラーレール装置28のレールにそって移動する。前記1#、2#、3#底部ローラー搬送装置16、46、45は構造が同一し、いずれも支持フレーム81によりボックス内に固定され、いずれもモーターと複数個のローラー支持フレームとチェーンホイール及びチェーンとで構成される。モーターの駆動によりチェーンホイールが回転し、その上の材料載置板44が移動される。作動するとき、第一シリンダー27によって1#ローラーレール装置28のローラーがレールに沿って上下に移動し、1#モーター減速装置18が送りねじ駆動装置29を駆動することによって材料フォーク17上のローラーがローラーレールフレーム20のレールに沿って水平に移動する。これにより上下及び水平移動を実現する。   The material fork structure includes a material fork 17, a roller rail frame 20, a feed screw drive device 29, a 1 # motor speed reducer 18, and a first cylinder 27. 1 # motor speed reducer 18 is fixed on roller rail frame 20, its output shaft is connected to one end of feed screw 21, the other end of feed screw 21 is connected to roller rail frame 20, and first cylinder 27 is a roller. The roller shaft of the rail frame 20 is supported. A feed screw driving device 29 is fixed to the material fork 17. By driving the nut in the feed screw driving device 29 when the feed screw rotates, the roller of the material fork 17 rolls along the roller rail frame 20 and the material fork moves. The 1 # bottom roller transport device 16 is mounted on the box bottom 22 by a support frame 81. The first cylinder 27 is fixed to the lower side of the box, and the piston of the first cylinder 27 is inserted into the box and linked to the roller shaft of the roller rail frame 20 of the material fork. Move along the rail. The 1 #, 2 #, 3 # bottom roller conveying devices 16, 46, 45 have the same structure, and are all fixed in a box by a support frame 81, all of which have a motor, a plurality of roller support frames, a chain wheel, Consists of a chain. The chain wheel is rotated by driving the motor, and the material placing plate 44 thereon is moved. When activated, the first cylinder 27 causes the rollers of the 1 # roller rail device 28 to move up and down along the rails, and the 1 # motor speed reducer 18 drives the feed screw drive 29 to cause the rollers on the material fork 17 to move. Moves horizontally along the rails of the roller rail frame 20. This realizes vertical and horizontal movement.

図4、図5に示したとおり、前記焼結炉3は一個又は複数個である。複数個である場合、それらは物流通路の前に配列される。焼結炉3の一端には、物流通路の一側に位置する4#隔離バルブ56が設けられ、他端には高圧密閉ロック部52にロックされる炉ドア53が設けられている。前記炉内には加熱室が設けられ、加熱室の内部には遮熱層59が設けられ、遮熱層59の内部には複数組のヒーター58と熱電対(thermocouple)55が設けられている。ヒーター58は加熱室上に設けられた電極54と加熱室の外に設けられた銅線49とにより、加熱電源ボックス48に電気連結される。炉内には、経方向に沿って遮熱層59を貫通しかつ互いに連通された複数個のノズル60が設けられている。焼結炉の外壁は冷却水中置式二層構造を有し、その上には冷却水出入用パイプ57が設けられている。焼結炉の内室には、不活性気体導入パイプと、安全バルブ用パイプ67と、気体放出バルブ用パイプ68と、風冷却システムとが連結されている。第一搬送密閉ボックス2内の材料フォーク17により材料載置板44を炉内の加熱室の材料載置台に載置させる。前記焼結炉3の炉内と4#隔離バルブ56との間には、圧力バランスを取るバランスバルブ用パイプ69が連結されている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the sintering furnace 3 is one or plural. In the case of a plurality, they are arranged in front of the distribution passage. One end of the sintering furnace 3 is provided with a 4 # isolation valve 56 located on one side of the physical distribution passage, and the other end is provided with a furnace door 53 that is locked to the high-pressure hermetic lock portion 52. A heating chamber is provided in the furnace, a heat shielding layer 59 is provided in the heating chamber, and a plurality of sets of heaters 58 and thermocouples 55 are provided in the heat shielding layer 59. . The heater 58 is electrically connected to the heating power source box 48 by an electrode 54 provided on the heating chamber and a copper wire 49 provided outside the heating chamber. In the furnace, a plurality of nozzles 60 penetrating the heat shield layer 59 along the warp direction and communicating with each other are provided. The outer wall of the sintering furnace has a two-layer structure in which the cooling water is placed, and a cooling water inlet / outlet pipe 57 is provided thereon. An inert gas introduction pipe, a safety valve pipe 67, a gas discharge valve pipe 68, and a wind cooling system are connected to the inner chamber of the sintering furnace. The material placing plate 44 is placed on the material placing table in the heating chamber in the furnace by the material fork 17 in the first transfer sealed box 2. A balance valve pipe 69 is connected between the inside of the sintering furnace 3 and the 4 # isolation valve 56 to balance the pressure.

前記風冷却システムは外循環構造又は内循環構造を有し、かつ送風機50と、熱交換器51と、焼結炉の炉内に沿って設けられた複数個のノズル60とを含む。各ノズル60に連通された風通路の一端は送風機50に連結され、他端は熱交換器51に連結される。   The wind cooling system has an external circulation structure or an internal circulation structure, and includes a blower 50, a heat exchanger 51, and a plurality of nozzles 60 provided along a furnace of a sintering furnace. One end of the air passage communicated with each nozzle 60 is connected to the blower 50, and the other end is connected to the heat exchanger 51.

真空システムは、直列に連結された拡散ポンプ64と、ルーツポンプ63と、プランジャポンプ又は回転翼型ポンプ62と、真空パイプとを含む。拡散ポンプ64と、ルーツポンプ63と、プランジャポンプ又は回転翼型ポンプ62とには、高真空フラップバルブ61が設けられている。   The vacuum system includes a diffusion pump 64, a roots pump 63, a plunger pump or rotor blade pump 62, and a vacuum pipe connected in series. A high vacuum flap valve 61 is provided in the diffusion pump 64, the roots pump 63, and the plunger pump or the rotary blade pump 62.

図6に示したとおり、前記各隔離バルブは、いずれも単一方向密閉型プラグバルブ構造を有し、かつバルブ本体と、第二シリンダー70と、内部に設けられた水冷却バルブ板75と、ヒンジ板76と、リンク78と、2#ローラーレール装置77と、当接塊79とを含む。該水冷却バルブ板75は複数個のリンク78によりヒンジ板76上に連結され、バルブ本体内には2#ローラーレール装置77のガイドレール24に設けられている。水冷却バルブ板75とヒンジ板76の上にはガイドレール24に沿って滑動するローラー23が設けられている。第二シリンダー70はバルブ本体の外に置かれ、そのピストンはバルブ本体内に挿入されるとともにヒンジ板76に連結される。当接塊79はバルブ本体内のバルブ底部25上に置かれ、バルブ側フランジ26に接近する水冷却バルブ板75の一端にはゴムリング74が設けられる。第二シリンダー70はヒンジ板76がガイドレール24上で移動するように駆動し、水冷却バルブ板75は当接塊79に当接し、複数個のリンク78は水冷却バルブ板75をバルブ側フランジ26に接近する方向へ移動させ、ゴムリング74は隔離密閉作用を奏する。水冷却バルブ板75の水出入パイプ軸72と第二シリンダー70のピストンとは、連結板73により一緒に連動する。水冷却バルブ板75上に遮熱板を更に設けることができる。バルブ本体上に上フランジ80を更に設けることにより、修理するとき上フランジ80を通して水冷却バルブ板75をバルブ本体から移出することができる。   As shown in FIG. 6, each of the isolation valves has a unidirectional sealed plug valve structure, and has a valve body, a second cylinder 70, a water cooling valve plate 75 provided inside, It includes a hinge plate 76, a link 78, a 2 # roller rail device 77, and a contact mass 79. The water cooling valve plate 75 is connected to the hinge plate 76 by a plurality of links 78, and is provided on the guide rail 24 of the 2 # roller rail device 77 in the valve body. A roller 23 that slides along the guide rail 24 is provided on the water cooling valve plate 75 and the hinge plate 76. The second cylinder 70 is placed outside the valve body, and its piston is inserted into the valve body and connected to the hinge plate 76. The contact mass 79 is placed on the valve bottom 25 in the valve body, and a rubber ring 74 is provided at one end of the water cooling valve plate 75 approaching the valve side flange 26. The second cylinder 70 is driven so that the hinge plate 76 moves on the guide rail 24, the water cooling valve plate 75 contacts the contact mass 79, and the plurality of links 78 connect the water cooling valve plate 75 to the valve side flange. 26, the rubber ring 74 has an isolating and sealing action. The water inlet / outlet pipe shaft 72 of the water cooling valve plate 75 and the piston of the second cylinder 70 are linked together by a connecting plate 73. A heat shield plate can be further provided on the water cooling valve plate 75. By further providing an upper flange 80 on the valve body, the water cooling valve plate 75 can be transferred from the valve body through the upper flange 80 when repairing.

本発明の操作過程は次のとおりであり。   The operation process of the present invention is as follows.

動力電気、動力空気源、循環冷却用水及び媒質空気源を検査する。すべての主要・補助設備が壊れず、正常の作業状態になっているかを検査する。グローブボックス1と、焼結炉3と、第一、第二搬送密閉ボックス2、6と、圧縮機5とはいずれも独立するキャビネットを有し、かつ別々に操作するモデルを採用することにより、設備が生産要求を満たすようにする。すなわち、真空システムが起動されるとともに互いにロック状態になり、不活性気体バルブが開けられるとともに所定の流量まで調節される。各隔離バルブ、炉ドア及びボックスドアはすべてが閉められる。ヒーターは壊れていない。   Check power electricity, power air source, circulating cooling water and medium air source. Inspect all main / auxiliary equipments to ensure that they are not broken and in normal working condition. By adopting a model in which the glove box 1, the sintering furnace 3, the first and second transfer sealed boxes 2, 6, and the compressor 5 all have independent cabinets and are operated separately, Ensure equipment meets production requirements. That is, the vacuum system is activated and locked to each other, and the inert gas valve is opened and adjusted to a predetermined flow rate. Each isolation valve, furnace door and box door are all closed. The heater is not broken.

第一、第二搬送密閉ボックス2、6は搬送車上に設けられた密閉ボックスである。作動するとき、ボックスドア7と5#隔離バルブ14とを閉め、1#真空パイプ12を開けるととにより、搬送密閉ボックスを真空にするか或いは不活性気体交換ボックス内の空気を搬送密閉ボックス内に吹き入れることができる。搬送密閉ボックス内の圧力は1#圧力計13で制御する。ボックスの左右両側に1#観察窓9が対称に設けられ、天井に1#キャビネット10と、2#観察窓11と、1#気体放出バルブ用パイプ8とが設けられているので、操作を容易にすることができる。第二搬送密閉ボックス6は、全方向ローラー19の移動によりグローブボックス1の1#隔離バルブ31と圧縮機5とに当接させ、かつ位置スイッチで位置を固定することができる。第一搬送密閉ボックス2は、全方向ローラー19の移動によりグローブボックス1の3#隔離バルブ43と焼結炉3とに当接させ、かつ位置スイッチでその位置を固定することができる。   The first and second transport sealed boxes 2 and 6 are sealed boxes provided on the transport vehicle. When operating, the box door 7 and the 5 # isolation valve 14 are closed, and the 1 # vacuum pipe 12 is opened to evacuate the transfer sealed box or allow the air in the inert gas exchange box to pass through the transfer sealed box. Can be blown into. The pressure in the transport sealed box is controlled by a 1 # pressure gauge 13. The 1 # observation window 9 is provided symmetrically on the left and right sides of the box, and the 1 # cabinet 10, 2 # observation window 11 and 1 # gas discharge valve pipe 8 are provided on the ceiling, so that the operation is easy. Can be. The second transfer sealed box 6 can be brought into contact with the 1 # isolation valve 31 of the glove box 1 and the compressor 5 by the movement of the omnidirectional roller 19 and can be fixed in position by a position switch. The first transport sealed box 2 can be brought into contact with the 3 # isolation valve 43 of the glove box 1 and the sintering furnace 3 by the movement of the omnidirectional roller 19 and can be fixed in position by a position switch.

(1)希土類永久磁石合金の細かい粉末は不活性気体中の圧縮機5内で重さを量り、金型に入れ、配向成型された半製品を材料容器15に入れる。材料容器15は材料載置板44上に配列し、第二搬送密閉ボックス6と圧縮機5とを当接させるとともに、当接された2つの隔離バルブのフランジをロックする。2つの隔離バルブの間の空気が不活性気体に交換された後、当接された2つの隔離バルブを開ける(すなわち、4#真空パイプ30を開けて、2つの隔離バルブの間の空間を真空にし、真空ポンプを止める。空気導入パイプにより不活性気体を導入し、第二搬送密閉ボックス6と圧縮機5内の圧力バランスが取られると、2つの隔離バルブを開ける。)。第二搬送密閉ボックス6の材料フォークを起動して圧縮機内の材料容器15を載置させた材料載置板44を取り出し、材料フォークは材料載置板44を第二搬送密閉ボックス6内に搬入する。2つの隔離バルブを閉め、当接ロックされたフランジを開放すると、第二搬送密閉ボックス6は圧縮機5から離れるとともに、グローブボックス1の1#室側の1#隔離バルブ31に当接される。   (1) The fine powder of the rare earth permanent magnet alloy is weighed in the compressor 5 in an inert gas, put into a mold, and the semi-finished product formed into the orientation mold is put into the material container 15. The material container 15 is arranged on the material placing plate 44, abuts the second conveyance hermetic box 6 and the compressor 5, and locks the flanges of the two abutting isolation valves. After the air between the two isolation valves is exchanged with inert gas, the two abutting isolation valves are opened (ie, the 4 # vacuum pipe 30 is opened to evacuate the space between the two isolation valves) When the inert gas is introduced through the air introduction pipe and the pressure balance between the second transfer hermetic box 6 and the compressor 5 is balanced, the two isolation valves are opened.) The material fork of the second transport sealed box 6 is activated to take out the material placing plate 44 on which the material container 15 in the compressor is placed, and the material fork carries the material placing plate 44 into the second transport sealed box 6. To do. When the two isolation valves are closed and the contact-locked flange is opened, the second transfer sealing box 6 is separated from the compressor 5 and is in contact with the 1 # isolation valve 31 on the 1 # chamber side of the glove box 1. .

(2)第二搬送密閉ボックス6をグローブボックス1側へ移動させて1#隔離バルブ31に当接させ、当接された2つの隔離バルブのフランジをロックする。5#、1#隔離バルブの間の空気が不活性気体に交換された後、当接された2つの隔離バルブを開ける(すなわち、4#真空パイプ30を開けて、5#、1#隔離バルブ14、31の間の空間を真空にし、真空ポンプを止める。空気導入パイプにより不活性気体を導入し、第二搬送密閉ボックス6と1#室32内の圧力バランスが取られると、5#、1#隔離バルブ14、31を開ける。)。1#底部ローラー搬送装置16と2#底部ローラー搬送装置46とを起動して、材料容器15を載置させる材料載置板44を1#室32内に搬入し、5#、1#隔離バルブ14、31を閉め、当接ロックされた2つの隔離バルブのフランジを開放すると、第二搬送密閉ボックス6が離れる。1#室32と2#室38の圧力バランスが取られると、グローブボックス1の2#隔離バルブ36を開け、2#底部ローラー搬送装置46と3#底部ローラー搬送装置45を起動して、材料容器15を載置させる材料載置板44を1#室32から2#室38に搬入し、2#隔離バルブ36を閉める。2#室において手動で半製品を黒鉛材料容器に入れ、黒鉛材料容器を材料載置板44上に配置する。   (2) The second transfer hermetic box 6 is moved to the glove box 1 side and brought into contact with the 1 # isolation valve 31, and the flanges of the two contacted isolation valves are locked. After the air between the 5 # and 1 # isolation valves is exchanged with an inert gas, the two abutting isolation valves are opened (ie, the 4 # vacuum pipe 30 is opened and the 5 #, 1 # isolation valve is opened) 14 and 31 are evacuated, and the vacuum pump is stopped.When an inert gas is introduced by the air introduction pipe and the pressure balance in the second transfer sealed box 6 and the 1 # chamber 32 is balanced, 5 #, 1 # Open isolation valves 14, 31). The 1 # bottom roller transport device 16 and the 2 # bottom roller transport device 46 are activated to carry the material placement plate 44 on which the material container 15 is placed into the 1 # chamber 32, and the 5 #, 1 # isolation valve. When the 14 and 31 are closed and the flanges of the two abutment-locked isolation valves are opened, the second transfer sealed box 6 is separated. When the pressure balance between the 1 # chamber 32 and the 2 # chamber 38 is taken, the 2 # isolation valve 36 of the glove box 1 is opened, the 2 # bottom roller transport device 46 and the 3 # bottom roller transport device 45 are activated, and the material The material placement plate 44 on which the container 15 is placed is carried from the 1 # chamber 32 to the 2 # chamber 38, and the 2 # isolation valve 36 is closed. In the 2 # chamber, the semi-finished product is manually placed in the graphite material container, and the graphite material container is placed on the material placing plate 44.

(3)第一搬送密閉ボックス2をグローブボックス1の2#室側へ移動させて3#隔離バルブ43に当接させ、当接された2つの隔離バルブのフランジをロックする。2つの隔離バルブの間の空気が不活性気体に交換された後、連結された5#、3#隔離バルブを開ける(すなわち、4#真空パイプ30を開けて、5#、3#隔離バルブ14、43の間の空間を真空にし、真空ポンプを止める。空気導入パイプにより不活性気体を導入し、第一搬送密閉ボックス2と2#室38内の圧力バランスが取られると、5#、3#隔離バルブ14、43を開ける。)。2#室の1#底部ローラー搬送装置16と3#底部ローラー搬送装置45とを起動して、2#室の材料容器15を載置させる材料載置板44を第一搬送密閉ボックス2内に搬入し、5#、3#隔離バルブ14、43を閉め、ロック当接された5#、3#隔離バルブのフランジを開放すると、第一搬送密閉ボックス2が離れる。   (3) The first transfer sealed box 2 is moved to the 2 # chamber side of the glove box 1 and brought into contact with the 3 # isolation valve 43, and the flanges of the two contacted isolation valves are locked. After the air between the two isolation valves is exchanged with an inert gas, the connected 5 #, 3 # isolation valve is opened (ie, the 4 # vacuum pipe 30 is opened and the 5 #, 3 # isolation valve 14 is opened. , 43 is evacuated, and the vacuum pump is stopped, and an inert gas is introduced by the air introduction pipe, and when the pressure balance in the first transfer sealed box 2 and the 2 # chamber 38 is balanced, 5 #, 3 # Open isolation valves 14 and 43.) The 1 # bottom roller transport device 16 and 3 # bottom roller transport device 45 in the 2 # chamber are activated, and the material placement plate 44 for placing the material container 15 in the 2 # chamber is placed in the first transport sealed box 2. When the 5 # and 3 # isolation valves 14 and 43 are closed, and the flanges of the 5 # and 3 # isolation valves that are in lock contact are opened, the first transfer sealed box 2 is separated.

(4)第一搬送密閉ボックス2を焼結炉3側へ移動させて4#隔離バルブ56に当接させ、当接された5#、4#隔離バルブ14、56のフランジをロックする。5#、4#隔離バルブ14、56の間の空気が不活性気体に交換された後にバランスバルブを開ける。炉内の気圧と第一搬送密閉ボックスの気圧のバランスが取られると、連結された5#、4#隔離バルブ14、56を開ける(すなわち、4#真空パイプ30を開けて、5#、4#隔離バルブ14、56の間の空間を真空にし、真空ポンプを止める。空気導入パイプにより不活性気体を導入し、第一搬送密閉ボックス2と焼結炉3内の圧力バランスが取られると、2つの隔離バルブ14、56を開ける。)。1#モーター減速装置18を起動して、送りねじ駆動装置29で材料フォーク17を焼結炉3内に挿入させ、第一シリンダー27により材料フォーク17が1#ローラーレール装置28に沿って下へ移動するようにする。材料載置板44を焼結炉3の材料載置台に置き、材料フォーク17を第一搬送密閉ボックス2内に戻す。4#隔離バルブ56と5#隔離バルブ14を閉め、当接ロックされた5#、4#隔離バルブ14、56のフランジを開放すると、第一搬送密閉ボックス2が離れる。   (4) The first transfer hermetic box 2 is moved to the sintering furnace 3 side and brought into contact with the 4 # isolation valve 56, and the flanges of the contacted 5 # and 4 # isolation valves 14 and 56 are locked. The balance valve is opened after the air between the 5 #, 4 # isolation valves 14, 56 is exchanged with an inert gas. When the pressure in the furnace and the pressure in the first transfer sealed box are balanced, the connected 5 #, 4 # isolation valves 14, 56 are opened (ie, the 4 # vacuum pipe 30 is opened, 5 #, 4 # is opened). # Vacuum the space between the isolation valves 14 and 56 and stop the vacuum pump.When the inert gas is introduced by the air introduction pipe and the pressure balance in the first transfer sealed box 2 and the sintering furnace 3 is balanced, Open the two isolation valves 14, 56). The 1 # motor speed reducer 18 is activated, and the material fork 17 is inserted into the sintering furnace 3 by the feed screw driving device 29, and the material fork 17 is moved down along the 1 # roller rail device 28 by the first cylinder 27. Try to move. The material mounting plate 44 is placed on the material mounting table of the sintering furnace 3, and the material fork 17 is returned into the first transfer sealed box 2. When the 4 # isolation valve 56 and the 5 # isolation valve 14 are closed and the flanges of the 5 # and 4 # isolation valves 14 and 56 that are locked against contact are opened, the first transfer sealed box 2 is released.

(5)焼結炉3を真空にし、真空度50Paより高いか或いは保護性気体を導入するとき、予め設定した処理曲線で加熱保温し、最高の温度1200℃で焼結し、不活性気体(窒素又はアルゴン)を0.01〜0.03MPaまで導入し、送風機50を起動して材料容器15と材料容器15内の希土類永久磁石合金半製品を冷却する。冷却気体は空気パイプのノズル60により材料容器15に向かい、加熱された気体は送風機50の風と熱交換器51の効率的な熱交換とにより循環して冷却される。2#キャビネット39は焼結炉3に対して電気制御を行う。80℃以下に冷却された後、少なくとも5分ほど置いてから送風機を止める。炉内は気体放出バルブ用パイプ68で空気導入を行い、炉内の圧力が大気圧と同じになると、焼結炉3の4#隔離バルブを開け、材料出口側車4の材料フォークで材料載置板44を焼結炉3を取り出した後、4#隔離バルブを閉めると、材料出口側車4が離れる。   (5) When the sintering furnace 3 is evacuated and the degree of vacuum is higher than 50 Pa or a protective gas is introduced, it is heated and kept at a preset processing curve, sintered at a maximum temperature of 1200 ° C., and an inert gas ( Nitrogen or argon) is introduced to 0.01 to 0.03 MPa, and the blower 50 is activated to cool the material container 15 and the rare earth permanent magnet alloy semi-finished product in the material container 15. The cooling gas is directed to the material container 15 by the nozzle 60 of the air pipe, and the heated gas is circulated and cooled by the wind of the blower 50 and the efficient heat exchange of the heat exchanger 51. The 2 # cabinet 39 performs electrical control on the sintering furnace 3. After cooling to 80 ° C. or lower, leave it for at least 5 minutes before turning off the blower. Air is introduced into the furnace through a gas discharge valve pipe 68, and when the pressure in the furnace becomes the same as the atmospheric pressure, the 4 # isolation valve of the sintering furnace 3 is opened, and the material is loaded with the material fork of the material outlet side car 4. After the placing plate 44 is taken out of the sintering furnace 3, when the 4 # isolation valve is closed, the material outlet side wheel 4 is separated.

生産するとき、外部制御システムが設備の状況を連続にチェックし、設備は予め設定したソフトウェアによって自動運転をする。すべての操作はコンピュータインタのヒューマンコンピュータインタラクションで行う。   During production, the external control system continuously checks the status of the equipment, and the equipment is automatically operated by preset software. All operations are performed by human computer interaction.

外部制御システムの表示パネルは以下のような情報を表示することができる。例えば、真空ポンプ、真空バルブ及び真空パイプ真空度の運転状況;搬送密閉ボックスの搬送及び運転状況の駆動及び表示;隔離バルブの運転状況の駆動及び表示;グローブボックス1、焼結炉3、第一、第二搬送密閉ボックス2、6及び5#隔離バルブ14の圧力と焼結炉3の温度;不活性気体の運転状況、安全バルブの状況;実際の冷却水、動力空気の圧力、警報管理;関係のあるすべての処理パラメーター(設定値と実際値)の表示;パラメーターの入力;従来の処理パラメーター/データの表示及び保存である。設備のすべての主要部品は表示パネルで操作することができる。   The display panel of the external control system can display the following information. For example, operation status of vacuum pump, vacuum valve and vacuum pipe vacuum degree; conveyance and operation status of conveyance sealed box; drive and indication of operation status of isolation valve; glove box 1, sintering furnace 3, first , The pressure of the second transfer sealed box 2, 6 and 5 # isolation valve 14 and the temperature of the sintering furnace 3; the operation status of the inert gas, the status of the safety valve; the actual cooling water, the pressure of the power air, the alarm management; Display all relevant processing parameters (set values and actual values); enter parameters; display and store conventional processing parameters / data. All main parts of the facility can be operated on the display panel.

本発明の処理方法と現在の処理方法とでそれぞれ生産して得た製品の品質を比較してみると、下記のとおりである。   A comparison of the quality of products produced by the processing method of the present invention and the current processing method is as follows.

比率調節:重量パーセント比による18%のNd、8.5%のPr、3%のDy、1.02%のB、0.3%のAlを含ませ、残りはFeで配合する。溶解、水素粉砕、気流磨き、磁場成型製造によって製造した半製品は、保護グローブボックスを有する単室焼結炉に入れて真空焼結を行う。430℃まで昇温すると保温脱気のため3時間保温し、真空度は1Paより高い。この保温後は、850℃まで昇温させ、2時間保温する。次は1080℃まで昇温させ、真空焼結保温を2時間行い、真空度はE−2Paに達する。次は900℃によった2時間のエージングと500℃によった4時間のエージングとをそれぞれ行う。   Ratio adjustment: 18% Nd by weight percentage ratio, 8.5% Pr, 3% Dy, 1.02% B, 0.3% Al, and the remainder is Fe. Semi-finished products manufactured by melting, hydrogen crushing, airflow polishing, and magnetic field molding manufacture are placed in a single-chamber sintering furnace having a protective glove box and vacuum sintered. When the temperature is raised to 430 ° C., the temperature is kept for 3 hours for heat insulation and deaeration, and the vacuum is higher than 1 Pa. After this heat retention, the temperature is raised to 850 ° C. and kept for 2 hours. Next, the temperature is raised to 1080 ° C., vacuum sintering is maintained for 2 hours, and the degree of vacuum reaches E-2 Pa. Next, aging is performed at 900 ° C. for 2 hours and aging is performed at 500 ° C. for 4 hours.

実施例1:比率調節と同様な材料比率を採用し、本発明の焼結処理方法により焼結を行う。昇温させる前に真空にし、真空度が1Paより高くなるとき、400℃まで加熱し始め、3時間保温する。加熱炉内の温度が400℃〜850℃昇温するとき複数の昇温保温ステップを行い、かつ850℃のとき2時間保温し、真空度は3E−2Paに達する。昇温を継続し、加熱温度が1080℃になると2時間焼結し、真空度はE−2Paに達する。かつ比率調節中のエージング方法によってエージングを行う。   Example 1: A material ratio similar to the ratio adjustment is adopted, and sintering is performed by the sintering method of the present invention. Vacuum is applied before the temperature is raised, and when the degree of vacuum becomes higher than 1 Pa, heating is started up to 400 ° C. and the temperature is kept for 3 hours. When the temperature in the heating furnace is raised from 400 ° C. to 850 ° C., a plurality of heating and holding steps are performed, and when it is 850 ° C., the temperature is kept for 2 hours, and the degree of vacuum reaches 3E-2 Pa. When the temperature rise is continued and the heating temperature reaches 1080 ° C., sintering is performed for 2 hours, and the degree of vacuum reaches E-2 Pa. Aging is performed by an aging method during the ratio adjustment.

実施例2:比率調節と同様な材料比率を採用し、本発明の焼結処理方法により焼結を行う。昇温させる前に真空排気を開始し、真空度が1Paより高くなるとき、450℃まで加熱し始め、3時間保温する。加熱炉内の温度が450℃〜850℃昇温するとき複数の昇温保温ステップを行い、かつ850℃のとき2時間保温し、真空度は3E−2Paに達する。昇温を継続し、加熱温度が1080℃になると2時間焼結し、真空度はE−2Paに達する。かつ比率調節中のエージング方法によりエージングを行う。   Example 2: A material ratio similar to the ratio adjustment is adopted, and sintering is performed by the sintering method of the present invention. Evacuation is started before the temperature is raised, and when the degree of vacuum becomes higher than 1 Pa, heating to 450 ° C. is started and the temperature is kept for 3 hours. When the temperature in the heating furnace rises from 450 ° C. to 850 ° C., a plurality of heating and holding steps are performed, and when it is 850 ° C., the temperature is kept for 2 hours, and the degree of vacuum reaches 3E-2 Pa. When the temperature rise is continued and the heating temperature reaches 1080 ° C., sintering is performed for 2 hours, and the degree of vacuum reaches E-2 Pa. Aging is performed by an aging method during the ratio adjustment.

実施例3:比率調節と同様な材料比率を採用し、本発明の焼結処理方法により焼結を行う。昇温させる前に真空排気を開始し、真空度が1Paより高くなるとき、400℃まで加熱し始め、3時間保温する。加熱炉内の温度が400℃〜900℃昇温するとき複数の昇温保温ステップを行い、かつ900℃になると2時間保温し、真空度を3E−2Paにする。昇温を継続し、加熱温度が1080℃になると2時間焼結し、真空度はE−2Paに達する。かつ比率調節中のエージング方法によってエージングを行う。   Example 3: A material ratio similar to the ratio adjustment is adopted, and sintering is performed by the sintering method of the present invention. Evacuation is started before the temperature is raised, and when the degree of vacuum becomes higher than 1 Pa, heating to 400 ° C. is started and the temperature is kept for 3 hours. When the temperature in the heating furnace is raised from 400 ° C. to 900 ° C., a plurality of temperature raising and holding steps are performed. When the temperature rise is continued and the heating temperature reaches 1080 ° C., sintering is performed for 2 hours, and the degree of vacuum reaches E-2 Pa. Aging is performed by an aging method during the ratio adjustment.

実施例4:比率調節と同様な材料比率を採用し、本発明の焼結処理方法により焼結を行う。昇温させる前に真空排気を開始し、真空度が1Paより高くなるとき、400℃まで加熱し始め、3時間保温する。加熱炉内の温度が400℃〜900℃昇温するとき複数の昇温保温ステップを行い、かつ900℃になると2時間保温し、真空度を3E−2Paにする。昇温を継続し、加熱温度が1070℃になると3時間焼結し、真空度はE−2Paに達する。かつ比率調節中のエージング方法によってエージングを行う。   Example 4: A material ratio similar to the ratio adjustment is adopted, and sintering is performed by the sintering method of the present invention. Evacuation is started before the temperature is raised, and when the degree of vacuum becomes higher than 1 Pa, heating to 400 ° C. is started and the temperature is kept for 3 hours. When the temperature in the heating furnace is raised from 400 ° C. to 900 ° C., a plurality of temperature raising and holding steps are performed, and when the temperature reaches 900 ° C., the temperature is kept for 2 hours, and the degree of vacuum is set to 3E-2 Pa. When the temperature rise is continued and the heating temperature reaches 1070 ° C., sintering is performed for 3 hours, and the degree of vacuum reaches E-2 Pa. Aging is performed by an aging method during the ratio adjustment.

実施例5:比率調節と同様な材料比率を採用し、本発明の焼結処理方法により焼結を行う。昇温させる前に真空排気を開始し、真空度が1Paより高くなるとき、500℃まで加熱し始め、3時間保温する。加熱炉内の温度が500℃〜900℃昇温するとき複数の昇温保温ステップを行い、かつ900℃になると2時間保温し、真空度を3E−2Paにする。昇温を継続し、加熱温度が1070℃になると3時間焼結し、真空度はE−2Paに達する。かつ比率調節中のエージング方法によってエージングを行う。   Example 5: A material ratio similar to the ratio adjustment is adopted, and sintering is performed by the sintering method of the present invention. Evacuation is started before the temperature is raised, and when the degree of vacuum becomes higher than 1 Pa, heating is started to 500 ° C. and the temperature is kept for 3 hours. When the temperature in the heating furnace is raised from 500 ° C. to 900 ° C., a plurality of temperature raising and holding steps are performed, and when the temperature reaches 900 ° C., the temperature is kept for 2 hours, and the degree of vacuum is set to 3E-2 Pa. When the temperature rise is continued and the heating temperature reaches 1070 ° C., sintering is performed for 3 hours, and the degree of vacuum reaches E-2 Pa. Aging is performed by an aging method during the ratio adjustment.


上記の各列に示されたとおり、本発明の並列式フレキシブルな生産方法は、単室焼結炉のグローブボックスを削除し、一個のグローブボックスを複数個の隔離バルブの単室焼結炉に対応させ、保護気体の搬送密閉ボックスにより焼結炉及び圧縮機に当接させることができるので、圧縮から焼結までの無酸素の連結を実現することができる。グローブボックスが設けられた従来の焼結炉の生産方法と比較してみると、本発明は磁性体の品性を有効に向上させ、生産の自動化レベルを大幅に向上させることができる。   As shown in each row above, the parallel flexible production method of the present invention eliminates the glove box of a single chamber sintering furnace and replaces one glove box with a single chamber sintering furnace of a plurality of isolation valves. Correspondingly, since it can be brought into contact with the sintering furnace and the compressor by means of the protective gas carrying hermetically sealed box, an oxygen-free connection from compression to sintering can be realized. When compared with the production method of a conventional sintering furnace provided with a glove box, the present invention can effectively improve the quality of the magnetic material and greatly improve the level of automation of production.

この技術分野の一般技術者は本発明の技術的事項を理解することができ、かつ特許請求の範囲の要旨を逸脱しない範囲内で具体的な実施例に対して様々な変更を行うことができる。例えば複数の焼結炉を設けることができる。   A general engineer in this technical field can understand the technical matters of the present invention, and can make various modifications to the specific embodiments without departing from the scope of the claims. . For example, a plurality of sintering furnaces can be provided.

1 グローブボックス
2 第一搬送密閉ボックス
3 焼結炉
4 材料出口側車
5 圧縮機
6 第二搬送密閉ボックス
7 ボックスドア
8 1#気体放出バルブ用パイプ
9 1#観察窓
10 1#キャビネット
11 2#観察窓
12 1#真空パイプ
13 1#圧力計
14 5#隔離バルブ
15 材料容器
16 1#底部ローラー搬送装置
17 材料フォーク
18 1#モーター減速装置
19 全方向ローラー
20 ローラーレールフレーム
21 送りねじ
22 ボックス底部
23 ローラー
24 ガイドレール
25 バルブ底部
26 バルブ側フランジ
27 第一シリンダー
28 1#ローラーレール装置
29 送りねじ駆動装置
30 4#真空パイプ
31 1#隔離バルブ
32 1#室
33 2#気体放出バルブ用パイプ
34 2#真空パイプ
35 2#圧力計
36 2#隔離バルブ
37 グローブボックスフランジモジュール
38 2#室
39 2#キャビネット
40 3#気体放出バルブ用パイプ
41 3#真空パイプ
42 3#圧力計
43 3#隔離バルブ
44 材料載置板
45 3#底部ローラー搬送装置
46 2#底部ローラー搬送装置
47 3#キャビネット
48 加熱電源ボックス
49 銅線
50 送風機
51 熱交換器
52 高圧密閉ロック部
53 炉ドア
54 電極
55 熱電対(thermocouple)
56 4#隔離バルブ
57 冷却水出入用パイプ
58 ヒーター
59 遮熱層
60 ノズル
61 高真空フラップバルブ
62 プランジャポンプ又は回転翼型ポンプ
63 ルーツポンプ
64 拡散ポンプ
65 コールドトラップ
66 電気接続点圧力計
67 安全バルブ用パイプ
68 気体放出バルブ用パイプ
69 バランスバルブ用パイプ
70 第二シリンダー
71 磁力スイッチ
72 水出入パイプ軸
73 連結板
74 ゴムリング
75 水冷却バルブ板
76 ヒンジ板
77 2#ローラーレール装置
78 リンク
79 当接塊
80 上フランジ
81 支持フレーム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glove box 2 1st conveyance sealed box 3 Sintering furnace 4 Material exit side vehicle 5 Compressor 6 2nd conveyance sealed box 7 Box door 8 1 # Pipe for gas release valve 9 1 # Observation window 10 1 # Cabinet 11 2 # Observation window 12 1 # Vacuum pipe 13 1 # Pressure gauge 14 5 # Isolation valve 15 Material container 16 1 # Bottom roller transport device 17 Material fork 18 1 # Motor speed reducer 19 Omni-directional roller 20 Roller rail frame 21 Feed screw 22 Box bottom 23 Roller 24 Guide rail 25 Valve bottom 26 Valve side flange 27 First cylinder 28 1 # Roller rail device 29 Feed screw drive device 30 4 # Vacuum pipe 31 1 # Isolation valve 32 1 # chamber 33 2 # Pipe for gas release valve 34 2 # Vacuum pipe 35 2 # Pressure gauge 36 2 # isolation valve 37 glove box flange module 38 2 # chamber 39 2 # cabinet 40 3 # pipe for gas release valve 41 3 # vacuum pipe 42 3 # pressure gauge 43 3 # isolation valve 44 material mounting plate 45 3 # bottom roller Conveying device 46 2 # Bottom roller conveying device 47 3 # Cabinet 48 Heating power supply box 49 Copper wire 50 Blower 51 Heat exchanger 52 High-pressure hermetic lock part 53 Furnace door 54 Electrode 55 Thermocouple
56 4 # Isolation valve 57 Cooling water inlet / outlet pipe 58 Heater 59 Heat shield layer 60 Nozzle 61 High vacuum flap valve 62 Plunger pump or rotary blade type pump 63 Roots pump 64 Diffusion pump 65 Cold trap 66 Electrical connection point pressure gauge 67 Safety valve Pipe 68 for gas release valve 69 Pipe for balance valve 70 Second cylinder 71 Magnetic switch 72 Water inlet / outlet pipe shaft 73 Connecting plate 74 Rubber ring 75 Water cooling valve plate 76 Hinge plate 77 2 # Roller rail device 78 Link 79 Contact Mass 80 Upper flange 81 Support frame

Claims (7)

希土類永久磁石合金のフレキシブルな焼結処理方法において、
(1)希土類永久磁石合金の細かい粉末は不活性気体中の圧縮機内で重さを量り、金型に入れ、配向成型で半製品にするとともにこの半製品を材料容器に入れ、材料容器は材料載置板上に配列し、第二搬送密閉ボックスと圧縮機とを当接させるとともに、当接された2つの隔離バルブのフランジを密閉ロックし、2つの隔離バルブの間の空気が不活性気体に交換された後に2つの隔離バルブを開け、第二搬送密閉ボックス内の材料フォークは圧縮機内の材料載置板を第二搬送密閉ボックス内に搬入し、2つの隔離バルブを閉めると、第二搬送密閉ボックスが離れるとともに、グローブボックスの1番室側の1番隔離バルブに当接される工程と、
(2)第二搬送密閉ボックスとグローブボックスの1番隔離バルブとの間の空気が不活性気体に交換された後に当接された2つの隔離バルブを開け、第二搬送密閉ボックス内の底部ローラー搬送装置は材料載置板をグローブボックスの1番室内に搬入し、2つの隔離バルブを閉めると、第二搬送密閉ボックスが離れ;グローブボックスの2番隔離バルブを開け、1番室内の材料は底部ローラー搬送装置により2番室に搬入され、2番隔離バルブを閉め;2番室において手動で半製品を黒鉛材料容器に入れ、黒鉛材料容器を材料載置板上に配置する工程と、
(3)第一搬送密閉ボックスを2番室側の3番隔離バルブに当接させ、当接された2つの隔離バルブのフランジを密閉ロックし;2つの隔離バルブの間の空気が不活性気体に交換された後に連結された2つの隔離バルブを開け、2番室と第一搬送密閉ボックスの底部ローラー搬送装置とを起動して、2番室内の材料載置板を第一搬送密閉ボックス内に搬入し;2つの隔離バルブを閉めると、第一搬送密閉ボックスが離れる工程と、
(4)第一搬送密閉ボックスと焼結炉の隔離バルブとを当接させ、当接されたフランジを密閉ロックし;2つの隔離バルブの間の空気が不活性気体に交換された後にバランスバルブを開け、炉内の気圧と第一搬送密閉ボックスの気圧のバランスが取られると、連結された2つの隔離バルブを開け、第一搬送密閉ボックス内の送りねじ駆動装置、シリンダーにより昇降する材料フォークを起動して、材料載置板を焼結炉内に搬入した後、2つの隔離バルブを閉めると、第一搬送密閉ボックスが離れる工程と、
(5)焼結炉を真空にし、真空度の上限値である50Paより小さいとき或いは保護性気体を導入するとき、予め設定された加熱保温に基づいて加熱保温を行い、最高の温度1200℃で焼結し;窒素又はアルゴンを0.01〜0.03MPaまで導入し、送風機を起動して材料容器と材料容器内の希土類永久磁石合金半製品を冷却し、かつ80℃以下に冷却されると、少なくとも5分後に送風機を止め;炉内の圧力が大気圧と同じになると、焼結炉の4番隔離バルブを開け、材料出口側車の材料フォークで材料載置板を取り出した後、4番隔離バルブを閉めると、材料出口側車が離れる工程と、を含む処理過程を行うことを特徴とする希土類永久磁石合金のフレキシブルな焼結処理方法。
In the flexible sintering method of rare earth permanent magnet alloy,
(1) The fine powder of rare earth permanent magnet alloy is weighed in a compressor in an inert gas, put into a mold, made into a semi-finished product by orientation molding, and this semi-finished product is put into a material container. Arranged on the mounting plate, abuts the second transport sealed box and the compressor, and seals the flanges of the two separated isolation valves, and the air between the two isolation valves is an inert gas. After opening the two isolation valves, the material fork in the second transfer sealed box carries the material mounting plate in the compressor into the second transfer sealed box and closes the two isolation valves. A step of contacting the first isolation valve on the first chamber side of the glove box while the conveyance sealed box is separated;
(2) Open the two isolation valves abutted after the air between the second transfer sealed box and the first isolation valve of the glove box is exchanged with an inert gas, and the bottom roller in the second transfer sealed box The transfer device carries the material mounting plate into the first chamber of the glove box, and when the two isolation valves are closed, the second transfer sealed box is separated; the second isolation valve of the glove box is opened and the material in the first chamber is Carrying into the second chamber by the bottom roller transport device, closing the second isolation valve; manually placing the semi-finished product into the graphite material container in the second chamber, and placing the graphite material container on the material mounting plate;
(3) The first transfer sealing box is brought into contact with the third isolation valve on the second chamber side, and the flanges of the two isolation valves in contact with each other are hermetically locked; the air between the two isolation valves is an inert gas Open the two isolation valves connected after the replacement, and activate the second chamber and the bottom roller transport device of the first transport sealed box to place the material mounting plate in the second chamber in the first transport sealed box When the two isolation valves are closed, the first transfer sealed box is separated;
(4) The first transfer sealed box and the isolation valve of the sintering furnace are brought into contact with each other, and the contacted flange is hermetically locked; the balance valve after the air between the two isolation valves is exchanged with an inert gas When the pressure in the furnace and the pressure in the first transfer sealed box are balanced, the two connected isolation valves are opened, the feed screw drive in the first transfer sealed box, and the material fork that moves up and down by the cylinder , And after bringing the material mounting plate into the sintering furnace, closing the two isolation valves causes the first transfer sealed box to leave,
(5) When the sintering furnace is evacuated and less than 50 Pa, which is the upper limit of the degree of vacuum, or when a protective gas is introduced, heat insulation is performed based on a preset heat insulation, and the maximum temperature is 1200 ° C. Sintering; When nitrogen or argon is introduced to 0.01 to 0.03 MPa, the blower is activated to cool the material container and the rare earth permanent magnet alloy semi-finished product in the material container, and when cooled to 80 ° C. or lower After at least 5 minutes, stop the blower; when the pressure in the furnace becomes the same as the atmospheric pressure, open the 4th isolation valve of the sintering furnace and take out the material mounting plate with the material fork of the material outlet side car. A method of flexible sintering of a rare earth permanent magnet alloy, comprising: performing a treatment process including: a step of separating a material outlet side vehicle when the isolation valve is closed.
焼結設備であって、
請求項1に記載の希土類永久磁石合金のフレキシブルな焼結処理方法に用いられ、
グローブボックスと、2つの搬送密閉ボックスと、圧縮機と、焼結炉と、材料出口側車とを含み;該グローブボックスの両端には物流通路がそれぞれ設けられ、圧縮機と焼結炉はそれぞれ各物流通路の一側に配列され、2つの搬送密閉ボックスはそれぞれ2つの物流通路中で移動し、
一方の前記搬送密閉ボックスの焼結炉側の一端には隔離バルブが設けられ、
他方の前記搬送密閉ボックスの圧縮機側の一端には隔離バルブが設けられ、
グローブボックスの両端には、隔離バルブがそれぞれ設けられ、かつ前記グローブボックスと、この隔離バルブにより焼結炉・圧縮機の隔離バルブにそれぞれ連結されることを特徴とする焼結設備。
A sintering facility,
It is used for the flexible sintering method of the rare earth permanent magnet alloy according to claim 1,
A glove box, two conveying sealed boxes, a compressor, a sintering furnace, and a material outlet side vehicle; distribution passages are provided at both ends of the glove box, and the compressor and the sintering furnace are respectively Arranged on one side of each logistics passage, the two transport sealed boxes each move in the two logistics passages,
An isolation valve is provided at one end on the side of the sintering furnace of the one of the transfer sealed boxes,
An isolation valve is provided at one end on the compressor side of the other transport sealed box,
An isolation valve is provided at both ends of the glove box, and the glove box is connected to the isolation valve of the sintering furnace / compressor by the isolation valve.
前記グローブボックスは二室真空又は二室保護気体密閉型ボックスであり、該グローブボックスは二個の密閉室を有し、二個の密閉室の間には2番隔離バルブが設けられ、二個の密閉室の端面には1番と3番隔離バルブが設けられており;各室には真空パイプと、不活性気体導入パイプと、気体放出バルブ用パイプと、圧力計と、真空計とが設けられ、二室の間にはバランスバルブ用パイプが設けられ、このバランスバルブ用パイプにより二室の圧力バランスを取り;二室内には材料載置板を載置する2番、3番底部ローラー搬送装置がそれぞれ設けられており;2番室にはグローブボックスフランジモジュールが設けられていることを特徴とする請求項2に記載の焼結設備。   The glove box is a two-chamber vacuum or two-chamber protective gas sealed box, the glove box has two sealed chambers, and a second isolation valve is provided between the two sealed chambers. No. 1 and No. 3 isolation valves are provided at the end face of the sealed chamber; each chamber has a vacuum pipe, an inert gas introduction pipe, a gas discharge valve pipe, a pressure gauge, and a vacuum gauge. A balance valve pipe is provided between the two chambers, and the pressure balance of the two chambers is balanced by this balance valve pipe; the second and third bottom rollers for placing the material placing plate in the two chambers The sintering equipment according to claim 2, wherein a conveying device is provided; a glove box flange module is provided in the second chamber. 前記搬送密閉ボックスの一端には5番隔離バルブが設けられ、他端にはボックスドアが設けられており、
搬送密閉ボックスと、グローブボックス、焼結炉又は圧縮機とが当接するとき、隔離バルブ上の2つのフランジの密閉を確保することを特徴とする請求項2に記載の焼結設備。
The transport sealed box has one isolation valve at one end and a box door at the other end,
The sintering equipment according to claim 2, wherein when the conveyance sealed box and the glove box, the sintering furnace, or the compressor come into contact with each other, sealing of the two flanges on the isolation valve is ensured.
前記搬送密閉ボックスの内部には材料をグローブボックスに搬入する1番底部ローラー搬送装置と材料を焼結炉に搬入する材料フォーク構造とが設けられ、搬送密閉ボックスの底部には全方向ローラーが設けられ、搬送密閉ボックスには1番真空パイプと、不活性気体導入パイプと、1番気体放出バルブ用パイプとが連結されていることを特徴とする請求項2に記載の焼結設備。   The inside of the conveyance sealed box is provided with a first bottom roller conveyance device for carrying the material into the glove box and a material fork structure for carrying the material into the sintering furnace, and an omnidirectional roller is provided at the bottom of the conveyance sealed box The sintering equipment according to claim 2, wherein a first vacuum pipe, an inert gas introduction pipe, and a first gas discharge valve pipe are connected to the transport sealed box. 前記材料フォーク構造は材料フォークと、ローラーレールフレームと、送りねじ駆動装置と、1番モーター減速装置と、第一シリンダーとを含み、1番モーター減速装置の出力軸は送りねじ駆動装置の送りねじの一端に連結され、送りねじ駆動装置の他端は第一シリンダが支持するローラーレールフレーム上に連結され、1番底部ローラー搬送装置は支持フレームによりボックス底部上に取り付けられることを特徴とする請求項5に記載の焼結設備。   The material fork structure includes a material fork, a roller rail frame, a feed screw driving device, a No. 1 motor speed reduction device, and a first cylinder. An output shaft of the No. 1 motor speed reduction device is a feed screw of the feed screw driving device. The other end of the feed screw driving device is connected to a roller rail frame supported by the first cylinder, and the bottom roller transporting device is attached to the bottom of the box by a support frame. Item 6. The sintering facility according to Item 5. 前記第一シリンダーはボックスの下側に固定され、この第一シリンダーのピストンはボックス内に挿入されとともに材料フォークのローラーレールフレームのローラー軸にリンク連結され、ローラーは1番ローラーレール装置のレール内で移動することを特徴とする請求項6に記載の焼結設備。   The first cylinder is fixed to the lower side of the box, the piston of the first cylinder is inserted into the box and linked to the roller shaft of the roller rail frame of the material fork, and the roller is in the rail of the first roller rail device. The sintering equipment according to claim 6, wherein the sintering equipment is moved at a high speed.
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