JP6043060B2

JP6043060B2 - Holding device

Info

Publication number: JP6043060B2
Application number: JP2011270678A
Authority: JP
Inventors: 淳宮成; 誠士大石
Original assignee: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Current assignee: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Priority date: 2011-12-09
Filing date: 2011-12-09
Publication date: 2016-12-14
Anticipated expiration: 2031-12-09
Also published as: JP2013122977A; TW201334112A; TWI552257B

Description

本発明は、例えばウェハ等の基板を保持する保持装置に関する。 The present invention relates to a holding device that holds a substrate such as a wafer.

近年、ＩＣカード、携帯電話などの電子機器の薄型化、小型化、軽量化などが要求されている。これらの要求を満たすためには、組み込まれる半導体チップについても薄型の半導体チップを使用しなければならない。このため、半導体チップの基となる半導体ウェハの厚さ（膜厚）は現状では１２５μｍ〜１５０μｍであるが、次世代のチップ用には２５μｍ〜５０μｍにしなければならないといわれている。したがって、上記の膜厚の半導体ウェハを得るためには、半導体ウェハの薄板化工程が必要不可欠である。 In recent years, electronic devices such as IC cards and mobile phones have been required to be thinner, smaller, and lighter. In order to satisfy these requirements, a thin semiconductor chip must be used as a semiconductor chip to be incorporated. For this reason, the thickness (film thickness) of the semiconductor wafer that is the basis of the semiconductor chip is currently 125 μm to 150 μm, but it is said that it must be 25 μm to 50 μm for next-generation chips. Therefore, in order to obtain a semiconductor wafer having the above film thickness, a semiconductor wafer thinning step is indispensable.

半導体ウェハの薄板化工程は次のように行なう。まず、半導体ウェハの回路形成面を覆うように、半導体ウェハを保護するためのサポートプレートを、両面に接着層を有するテープまたは接着剤を介して貼り付ける。次に、これを反転して、半導体ウェハの裏面をクラインダーによって研削して薄板化する。続いて、薄板化した半導体ウェハの裏面を、ダイシングフレームに保持されているダイシングテープ上に固定する。さらに、この状態で半導体ウェハの回路形成面を覆うサポートプレートを剥離した後、ダイシング装置によって各チップに分割する。 The process of thinning the semiconductor wafer is performed as follows. First, a support plate for protecting the semiconductor wafer is attached via a tape or adhesive having adhesive layers on both sides so as to cover the circuit formation surface of the semiconductor wafer. Next, this is reversed, and the back surface of the semiconductor wafer is ground by a cylinder to make it thinner. Subsequently, the back surface of the thinned semiconductor wafer is fixed on a dicing tape held by a dicing frame. Further, in this state, the support plate that covers the circuit forming surface of the semiconductor wafer is peeled, and then divided into chips by a dicing apparatus.

上記のように薄板化工程を行った場合、サポートプレートを剥離したあと、半導体ウェハの回路形成面に、接着剤等が残存してしまう。このため、付着している接着剤等を除去して、半導体ウェハの回路形成面を清浄な面にしなければならない。つまり、半導体ウェハをダイシングテープ上に固定した状態で、半導体ウェハの回路形成面を覆うサポートプレートを剥離した後、ダイシング装置によって各チップに分割する前に、半導体ウェハの表面に対して洗浄処理をすることが必要である。 When the thinning process is performed as described above, an adhesive or the like remains on the circuit formation surface of the semiconductor wafer after the support plate is peeled off. For this reason, it is necessary to remove the adhering adhesive and the like so that the circuit formation surface of the semiconductor wafer becomes a clean surface. In other words, with the semiconductor wafer fixed on the dicing tape, after the support plate covering the circuit formation surface of the semiconductor wafer is peeled off, the surface of the semiconductor wafer is cleaned before being divided into chips by a dicing device. It is necessary to.

この洗浄処理を行なう際や、その前のサポートプレートを剥離する際に、半導体ウェハを保持台等に載せて固定する場合がある。 When this cleaning process is performed or when the previous support plate is peeled off, the semiconductor wafer may be mounted on a holding table or the like and fixed.

半導体ウェハを保持する保持装置として、特許文献１〜３が報告されている。 Patent Documents 1 to 3 have been reported as holding devices for holding a semiconductor wafer.

特許文献１に記載の基板処理装置は、半導体ウェハを破損させることなく、サポートプレートから剥離するためのものである。 The substrate processing apparatus described in Patent Document 1 is for peeling from a support plate without damaging a semiconductor wafer.

特許文献２には、ウェハから保護テープを剥離する際に、リングフレームをその位置に固定するために押さえる押さえ部材を備えた剥離装置が記載されている。 Patent Document 2 describes a peeling device that includes a pressing member that holds down a ring frame in order to fix the protective tape when peeling a protective tape from a wafer.

特許文献３には、テープが粘着している複数枚のウェハをスピンさせる際に押さえる押さえ手段を備えるスピンナー洗浄装置が記載されている。 Patent Document 3 describes a spinner cleaning apparatus that includes a pressing unit that holds down a plurality of wafers to which a tape is adhered.

特開２００９−５９７７６号公報（２００９年３月１９日公開）JP 2009-59776 A (published March 19, 2009) 特開２００３−５９８６２号公報（２００３年２月２８日公開）JP 2003-59862 A (published February 28, 2003) 特開２００６−１２８３５９号公報（２００６年５月１８日公開）JP 2006-128359 A (published May 18, 2006)

溶剤を用いてウェハを洗浄する際に、ダイシングテープとダイシングフレームとの界面に溶剤が浸入すると、ダイシングテープとダイシングフレームとの粘着性が低下する。このように、ダイシングテープとダイシングフレームとの粘着性が低下した状態でウェハをスピンさせると、回転時の遠心力によりダイシングテープからダイシングフレームが離脱する可能性がある。 When the wafer is cleaned using a solvent, if the solvent enters the interface between the dicing tape and the dicing frame, the adhesiveness between the dicing tape and the dicing frame decreases. As described above, when the wafer is spun in a state where the adhesiveness between the dicing tape and the dicing frame is lowered, the dicing frame may be detached from the dicing tape due to centrifugal force during rotation.

特許文献１〜３には、溶剤の浸入によるダイシングテープとダイシングフレームとの粘着性の低下については記載されておらず、また、その解決に資する技術も開示されていない。したがって、ダイシングテープとダイシングフレームとの粘着性が低下した状態でウェハをスピンさせると、ダイシングテープからダイシングフレームが離脱する可能性がある。 Patent Documents 1 to 3 do not describe a decrease in adhesiveness between the dicing tape and the dicing frame due to the penetration of the solvent, and do not disclose a technique that contributes to the solution. Therefore, if the wafer is spun in a state where the adhesiveness between the dicing tape and the dicing frame is lowered, the dicing frame may be detached from the dicing tape.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ウェハをスピンさせる際の、ダイシングテープからのダイシングフレームの離脱を防ぐことが可能な保持装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a holding device capable of preventing the dicing frame from being detached from the dicing tape when the wafer is spun.

上記の課題を解決するために、本発明に係る保持装置は、外周に枠部を備えるとともに片面に基板が接着されている支持膜を保持する保持装置であって、上記支持膜を介して上記基板を保持し、上記基板の面方向に垂直な直線を回転軸として回転可能な保持部と、上記保持部に設けられ、上記保持部において上記基板を保持したときに、上記枠部よりも外側に位置し、上記保持部を回転させることによって生じる遠心力により上記枠部を把持する振り子を備えた把持部と、上記保持部において上記基板を保持したときに、上記枠部よりも外側の位置から上記基板の面方向とは異なる方向に突出するように設けられた保護部とを備えている。 In order to solve the above-described problems, a holding device according to the present invention is a holding device that holds a support film having a frame portion on the outer periphery and a substrate bonded to one side, and the above-described support film is interposed through the support film. A holding portion that holds the substrate and is rotatable on a straight line perpendicular to the surface direction of the substrate as a rotation axis, and provided on the holding portion, and is outside of the frame portion when the holding portion holds the substrate. And a gripping part having a pendulum for gripping the frame part by centrifugal force generated by rotating the holding part, and a position outside the frame part when the substrate is held by the holding part. And a protective part provided so as to protrude in a direction different from the surface direction of the substrate.

本発明によれば、ダイシングテープとダイシングフレームとの粘着性が低下していても、ウェハをスピンさせる際の、ダイシングテープからのダイシングフレームの離脱を防ぐことができるという効果を奏する。 According to the present invention, it is possible to prevent the dicing frame from being detached from the dicing tape when the wafer is spun even if the adhesiveness between the dicing tape and the dicing frame is lowered.

本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分上面図である。It is a partial top view which shows the outline of the structure of the holding | maintenance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the outline of the structure of the holding | maintenance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. ウェハをスピンさせた状態における、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分上面図である。It is a partial top view which shows the outline of the structure of the holding | maintenance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention in the state which spun the wafer. ウェハをスピンさせた状態における、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing the outline of the structure of the holding device concerning one embodiment of the present invention in the state where the wafer was spun. ダイシングフレームの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a dicing frame.

以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

〔保持装置１０〕
本発明に係る保持装置の一実施形態について、図１〜４を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分上面図であり、図２は、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分断面図である。図３は、ウェハをスピンさせた状態における、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分上面図であり、図４は、ウェハをスピンさせた状態における、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分断面図である。図２は、保持装置１０を図１に示すＡ−Ａ’線において切断した断面図であり、図４は、保持装置１０を図３に示すＢ−Ｂ’線において切断した断面図である。 [Holding device 10]
An embodiment of a holding device according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a partial top view showing an outline of the structure of a holding device according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing an outline of the structure of a holding device according to one embodiment of the present invention. is there. FIG. 3 is a partial top view showing an outline of the structure of the holding device according to the embodiment of the present invention in a state in which the wafer is spun, and FIG. 4 is a diagram of the present invention in a state in which the wafer is spun. It is a fragmentary sectional view showing the outline of the structure of the holding device concerning an embodiment. 2 is a cross-sectional view of the holding device 10 taken along the line AA ′ shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the holding device 10 taken along the line BB ′ shown in FIG.

保持装置１０は、保持台（保持部）１３、振り子１１、及びガードピン（保護部）１２を備えており、外周にダイシングフレーム（枠部）２２を備えるとともに片面にウェハ（基板）（図示せず）が接着されているダイシングテープ（支持膜）２１を保持するものである。 The holding device 10 includes a holding table (holding unit) 13, a pendulum 11, and a guard pin (protecting unit) 12. The holding device 10 includes a dicing frame (frame unit) 22 on the outer periphery and a wafer (substrate) (not shown) on one side. ) Is attached to a dicing tape (support film) 21.

保持台１３は、図２に示すように、ダイシングテープ２１を介してウェハ２０を保持する。そして、保持台１３は、ウェハ２０の面方向に垂直な直線を回転軸として回転可能になっている。保持台１３は、回転駆動部を備えていてもよい。また、保持台１３は、ダイシングテープ２１を吸着することによって、ウェハ２０を保持する吸引部１４を備えていてもよい。保持台１３のウェハ２０を載せる面は円形状であることが好ましい。 As shown in FIG. 2, the holding table 13 holds the wafer 20 via a dicing tape 21. The holding table 13 is rotatable about a straight line perpendicular to the surface direction of the wafer 20 as a rotation axis. The holding table 13 may include a rotation driving unit. Further, the holding table 13 may include a suction unit 14 that holds the wafer 20 by sucking the dicing tape 21. The surface on which the wafer 20 is placed on the holding table 13 is preferably circular.

吸引部１４は、ウェハ２０をダイシングテープ２１が接着されている側の面から吸引する。吸引機構としては従来公知の吸引機構が設けられていればよい。例えば、吸着面上の気体を吸引するための吸引孔（図示せず）が設けられていてもよい。そして、この吸引孔は、真空ポンプなどの減圧手段に接続されており、ウェハ２０を配置し、吸引手段を作動させることで、ウェハ２０と吸着面との間が減圧された状態になり、これによって吸着することができる。吸引孔は、板状部材の所定の位置に孔を形成することで設けることができ、例えば、吸引孔はプレートを貫通する貫通孔であってもよい。また、ポーラスな材質を用いて形成してもよい。ポーラスな材質としては、たとえば、ポリプロピレン、カーボン、アルミニウム、セラミック等を例示することができる。これにより、ウェハ２０を保持台１３上に固定することができる。なお、吸引部１４のウェハ２０を載せる面は円形状であることが好ましい。 The suction unit 14 sucks the wafer 20 from the surface on the side where the dicing tape 21 is bonded. A conventionally known suction mechanism may be provided as the suction mechanism. For example, a suction hole (not shown) for sucking gas on the adsorption surface may be provided. The suction hole is connected to a decompression unit such as a vacuum pump. By placing the wafer 20 and operating the suction unit, the space between the wafer 20 and the suction surface is decompressed. Can be adsorbed by. The suction hole can be provided by forming a hole at a predetermined position of the plate-like member. For example, the suction hole may be a through-hole penetrating the plate. Moreover, you may form using a porous material. Examples of the porous material include polypropylene, carbon, aluminum, and ceramic. Thereby, the wafer 20 can be fixed on the holding table 13. Note that the surface of the suction unit 14 on which the wafer 20 is placed is preferably circular.

ダイシングテープ２１は、ウェハの保持台１３側の面に接着剤を介して貼り付けられている。ウェハ２０のダイシングテープ２１が貼り付けられた面に背向する面には、サポートプレート２４が貼り付けられている。 The dicing tape 21 is affixed to the surface of the wafer holding table 13 via an adhesive. A support plate 24 is attached to the surface of the wafer 20 that faces away from the surface to which the dicing tape 21 is attached.

例えば、本実施形態では、まず、ウェハ２０は薄化プロセスに供される。具体的には、ウェハ２０の片面に接着剤を塗布して接着剤層２３を形成した上でサポートプレート２４が接着される。そして、サポートプレート２４が接着された面とは反対側の面を研磨してウェハ２０は薄化される。なお、サポートプレート２４は、ウェハ２０を薄化する工程で支持する役割を果たす部材である。サポートプレート２４は、例えば、その膜厚が、５００〜１０００μｍであるガラスで形成されている。次に、ウェハ２０のサポートプレート２４が接着された面とは反対側の面にダイシングテープ２１が接着されて保持台１３上に載せられる。 For example, in the present embodiment, first, the wafer 20 is subjected to a thinning process. Specifically, an adhesive is applied to one surface of the wafer 20 to form an adhesive layer 23, and then the support plate 24 is bonded. Then, the wafer 20 is thinned by polishing the surface opposite to the surface to which the support plate 24 is bonded. The support plate 24 is a member that plays a role of supporting the wafer 20 in the thinning process. The support plate 24 is made of, for example, glass having a film thickness of 500 to 1000 μm. Next, the dicing tape 21 is bonded to the surface of the wafer 20 opposite to the surface to which the support plate 24 is bonded, and is placed on the holding table 13.

ダイシングテープ２１は、外周にダイシングフレーム２２を備えている。ダイシングテープ２１としては、ベースフィルムが、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）やポリオレフィン、ポリプロピレン等の樹脂フィルムが用いられる。また、ダイシングテープ２１は、サポートプレート２４を外した後におけるウェハ２０の強度を補填し、取り扱いを容易にする役割を果たす。 The dicing tape 21 includes a dicing frame 22 on the outer periphery. As the dicing tape 21, a base film is a resin film such as PVC (polyvinyl chloride), polyolefin, or polypropylene. The dicing tape 21 supplements the strength of the wafer 20 after the support plate 24 is removed and plays a role of facilitating handling.

次に、サポートプレート２４上から溶剤を供給することで、接着剤層２３を構成する接着剤を溶解して当該接着剤層２３を除去し、サポートプレート２４を取り外すことができる。なお、サポートプレート２４は面方向に垂直な貫通孔が形成されており、上面から供給される溶剤が接着剤層２３に到達するようになっている。また、このとき、ウェハ２０上には接着剤は完全には除去されず残存することになる。なお、保持台１３上にはサポートプレート２４を除去した後に載せてもよい。 Next, by supplying a solvent from the support plate 24, the adhesive constituting the adhesive layer 23 is dissolved, the adhesive layer 23 is removed, and the support plate 24 can be removed. The support plate 24 is formed with a through hole perpendicular to the surface direction so that the solvent supplied from the upper surface reaches the adhesive layer 23. At this time, the adhesive remains on the wafer 20 without being completely removed. Note that the support plate 24 may be placed on the holding table 13 after being removed.

サポートプレート２４を剥離した後、ウェハ２０上に残存する接着剤を除去するために、ウェハ２０を保持する保持台１３を回転させながら、ウェハ２０に溶剤を供給する。保持装置１０を回転させると、その遠心力により振り子１１がダイシングフレーム２２方向に傾き、振り子１１の上側がダイシングフレーム２２を把持する。 After the support plate 24 is peeled off, a solvent is supplied to the wafer 20 while rotating the holding table 13 holding the wafer 20 in order to remove the adhesive remaining on the wafer 20. When the holding device 10 is rotated, the pendulum 11 is tilted toward the dicing frame 22 by the centrifugal force, and the upper side of the pendulum 11 holds the dicing frame 22.

保持台１３が備えていてもよい回転駆動部は、保持台１３に載せられているウェハ２０を保持台１３と共に回転させるためのものである。回転駆動部は、ウェハ２０の面方向に垂直な直線を回転軸としてウェハ２０を回転させるように構成されている。ウェハ２０は、その中心が上記回転軸上になるように保持台１３上に載せられる。これにより、保持装置１０はウェハ２０を回転させることができる。回転駆動部によるウェハ２０の回転数は、用途等に応じて適宜設定すればよく、例えば、５００ｍｉｎ^−１以上、３０００ｍｉｎ^−１以下としてもよい。 The rotation drive unit that the holding table 13 may have is for rotating the wafer 20 placed on the holding table 13 together with the holding table 13. The rotation driving unit is configured to rotate the wafer 20 about a straight line perpendicular to the surface direction of the wafer 20 as a rotation axis. The wafer 20 is placed on the holding table 13 so that the center thereof is on the rotation axis. Thereby, the holding device 10 can rotate the wafer 20. Rotational speed of the wafer 20 by the rotation driving section may be appropriately set in accordance with the application etc., for example, 500 min ^-1 or more may be 3000 min ^-1 or less.

振り子１１は、保持台１３の外周に設けられており、保持台１３においてウェハを保持したとき、ダイシングフレーム２２よりも外側に位置する。そして、図３及び４に示すように、保持台１３を回転させることによって生じる遠心力により、振り子１１はダイシングフレーム２２側に傾斜して、ダイシングフレーム２２を、振り子１１の上側と保持台１３との間に挟みこむように把持する。振り子１１は、ダイシングフレーム２２の把持部として機能する。 The pendulum 11 is provided on the outer periphery of the holding table 13, and is located outside the dicing frame 22 when the wafer is held on the holding table 13. 3 and 4, the pendulum 11 is tilted toward the dicing frame 22 due to the centrifugal force generated by rotating the holding table 13, and the dicing frame 22 is placed on the upper side of the pendulum 11 and the holding table 13. Grip it in between. The pendulum 11 functions as a grip portion of the dicing frame 22.

振り子１１は、軸支部１１ａにより軸支されている。そして、振り子１１は、軸支部１１ａよりも下側（保持台１３を中心としてウェハ２０が保持されている側の反対側）が、軸支部１１ａよりも上側（保持台１３を中心としてウェハ２０が保持されている側）よりも重量が重くなっており、軸支部１１ａを中心として回転可能になっている。また、軸支部１１ａは、振り子１１において保持台１３のウェハ２０（ダイシングテープ２１）載置面に沿った方向の位置が、中心よりも保持台１３側になっている。これにより、図４の矢印に示すように、保持台１３の回転により生じる遠心力によって、振り子１１の軸支部１１ａよりも上側がダイシングフレーム２２側（内側）に傾斜し、振り子１１の軸支部１１ａよりも下側がダイシングフレーム２２の反対側（外側）に傾斜する。 The pendulum 11 is pivotally supported by a pivotal support portion 11a. The pendulum 11 has a lower side than the shaft support 11a (the side opposite to the side where the wafer 20 is held around the holding table 13) and an upper side than the shaft support 11a (the wafer 20 around the holding table 13 holds the wafer 20). It is heavier than the holding side) and is rotatable about the shaft support portion 11a. Further, in the pendulum 11, the position of the shaft support portion 11 a along the wafer 20 (dicing tape 21) mounting surface of the holding table 13 is closer to the holding table 13 than the center. Thereby, as shown by the arrow in FIG. 4, due to the centrifugal force generated by the rotation of the holding table 13, the upper side of the shaft support 11 a of the pendulum 11 is inclined to the dicing frame 22 side (inner side), The lower side is inclined to the opposite side (outside) of the dicing frame 22.

振り子１１は、ダイシングフレーム２２を把持してウェハ２０を確実に保持台１３上に保持するために、少なくとも４つ設けられていることが好ましく、それぞれの振り子１１が、ダイシングフレーム２２の外周において等間隔に設けられていることがより好ましい。 It is preferable that at least four pendulums 11 are provided in order to hold the wafer 20 on the holding table 13 by holding the dicing frame 22, and each pendulum 11 is provided on the outer periphery of the dicing frame 22. More preferably, they are provided at intervals.

このように、保持台１３を回転させるとき、振り子１１によりダイシングフレーム２２を把持するが、このとき、ウェハ２０に供給された溶剤がダイシングテープ２１とダイシングフレーム２２との界面に浸入し、ダイシングテープ２１とダイシングフレーム２２との粘着性を低下させることがある。そして、ダイシングテープ２１とダイシングフレーム２２との粘着性が低下した状態で、保持装置１０を回転させると、ダイシングテープ２１からダイシングフレーム２２が離脱するおそれがある。 As described above, when the holding table 13 is rotated, the pendulum 11 holds the dicing frame 22. At this time, the solvent supplied to the wafer 20 enters the interface between the dicing tape 21 and the dicing frame 22, and the dicing tape is used. 21 and the dicing frame 22 may be reduced in adhesiveness. If the holding device 10 is rotated in a state where the adhesiveness between the dicing tape 21 and the dicing frame 22 is lowered, the dicing frame 22 may be detached from the dicing tape 21.

これを防ぐために、保持装置１０は、ガードピン１２を備えている。ガードピン１２は、保持台１３においてウェハ２０を保持したときに、ダイシングフレーム２２よりも外側の位置からウェハ２０の面に沿った面方向とは異なる方向に突出するように設けられている。すなわち、ガードピン１２は、保持台１３のウェハ２０載置面（ダイシングテープ２１載置面）に垂直な方向に突出するように設けられていてもよい。ガードピン１２が設けられていることによって、ダイシングテープ２１とダイシングフレーム２２との粘着性が低下した状態で保持装置１０を回転させたとしても、ダイシングフレーム２２はガードピン１２に接触し、ダイシングテープ２１からダイシングフレーム２２が離脱しない。 In order to prevent this, the holding device 10 includes a guard pin 12. The guard pins 12 are provided so as to protrude in a direction different from the surface direction along the surface of the wafer 20 from a position outside the dicing frame 22 when the wafer 20 is held on the holding table 13. That is, the guard pins 12 may be provided so as to protrude in a direction perpendicular to the wafer 20 mounting surface (the dicing tape 21 mounting surface) of the holding table 13. Even if the holding device 10 is rotated in a state where the adhesiveness between the dicing tape 21 and the dicing frame 22 is reduced due to the provision of the guard pins 12, the dicing frame 22 contacts the guard pins 12 and the dicing tape 21 The dicing frame 22 does not leave.

ガードピン１２は、どの位置からのダイシングフレーム２２の離脱をも防げるように、少なくとも４つ設けられていることが好ましく、それぞれのガードピン１２が、ダイシングフレーム２２の外周において等間隔に設けられていることがより好ましい。 It is preferable that at least four guard pins 12 are provided so as to prevent the dicing frame 22 from being detached from any position, and the guard pins 12 are provided at equal intervals on the outer periphery of the dicing frame 22. Is more preferable.

ガードピン１２は、保持台１３にウェハ２０が保持されたときに、ダイシングフレーム２２に設けられた直線状に切り取られた部分に対応する位置、すなわち、切り取り部に向き合う位置に設けられていることが好ましい。ダイシングフレーム２２には、図５に示すように、ダイシングフレーム２２の外周の一部が直線状に切り取られた切り取り部２２ａ〜２２ｄが設けられている。図５は、ダイシングフレームの一例を示す図である。すなわち、ガードピン１２は、ダイシングフレーム２２の湾曲した部分ではなく、直線の切り取り部２２ａ〜２２ｄに対応する位置に設けられていればよい。これにより、ダイシングテープ２１とダイシングフレーム２２との粘着性が低下した状態で保持装置１０を回転させたとしても、ダイシングフレーム２２とガードピン１２とが好適に接触し、ダイシングテープ２１からのダイシングフレーム２２の離脱を防ぐことができる。 When the wafer 20 is held on the holding table 13, the guard pin 12 is provided at a position corresponding to a linearly cut portion provided on the dicing frame 22, that is, a position facing the cut portion. preferable. As shown in FIG. 5, the dicing frame 22 is provided with cut portions 22 a to 22 d in which a part of the outer periphery of the dicing frame 22 is cut linearly. FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a dicing frame. That is, the guard pin 12 may be provided not at the curved portion of the dicing frame 22 but at a position corresponding to the straight cut portions 22a to 22d. Accordingly, even if the holding device 10 is rotated in a state where the adhesiveness between the dicing tape 21 and the dicing frame 22 is lowered, the dicing frame 22 and the guard pin 12 are preferably in contact with each other, and the dicing frame 22 from the dicing tape 21 is contacted. The withdrawal of can be prevented.

また、ガードピン１２と振り子１１とは、隣接して設けられていることが好ましい。さらに、図１及び３に示すように、ガードピン１２が設けられている台から延びる軸を振り子１１の軸支部１１ａとして振り子１１を設けていてもよい。このように、ガードピン１２と振り子１１とを一体形成することによって、装置の構成が単純になり、装置の製造及び組み立てが容易になる。また、ガードピン１２は、図１及び３に示すように、２つのガードピン１２で振り子１１を挟むように設けられていてもよい。 Moreover, it is preferable that the guard pin 12 and the pendulum 11 are provided adjacent to each other. Further, as shown in FIGS. 1 and 3, the pendulum 11 may be provided with the shaft extending from the base on which the guard pin 12 is provided as the shaft support portion 11 a of the pendulum 11. Thus, by integrally forming the guard pin 12 and the pendulum 11, the configuration of the apparatus is simplified, and the manufacture and assembly of the apparatus are facilitated. Moreover, the guard pin 12 may be provided so that the pendulum 11 may be sandwiched between the two guard pins 12 as shown in FIGS.

ガードピン１２は、保持台１３においてウェハを保持したとき、ダイシングフレーム２２から０．２〜５ｍｍ離れた位置に設けられていることが好ましい。これにより、ダイシングフレーム２２がダイシングテープ２１に接着しているときには、ガードピン１２はダイシングフレーム２２には接触しないが、ダイシングテープ２１とダイシングフレーム２２との粘着性が低下した状態で保持装置１０を回転させたときに、ガードピン１２がダイシングフレーム２２に接触し、ダイシングテープ２１からのダイシングフレーム２２の離脱をより確実に防ぐことができる。 The guard pins 12 are preferably provided at a position 0.2 to 5 mm away from the dicing frame 22 when the wafer is held on the holding table 13. Accordingly, when the dicing frame 22 is bonded to the dicing tape 21, the guard pin 12 does not contact the dicing frame 22, but the holding device 10 is rotated in a state where the adhesiveness between the dicing tape 21 and the dicing frame 22 is reduced. When this is done, the guard pins 12 come into contact with the dicing frame 22, and the detachment of the dicing frame 22 from the dicing tape 21 can be prevented more reliably.

また、ガードピン１２は、金属又は樹脂材料により形成されていることが好ましい。ガードピン１２を形成する金属材料としては、例えば、アルミニウム、ステンレススチール、チタン等が挙げられる。ガードピン１２を形成する樹脂材料としては、例えば、ポリオキシメチレン（ＰＯＭ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）が挙げられる。
このような材料によりガードピン１２を形成することによって、ダイシングテープ２１からのダイシングフレーム２２の離脱を防止するのに必要な剛性を付与することができ、かつ軽量であるため装置の重量化を防ぐことができる。 Moreover, it is preferable that the guard pin 12 is formed with the metal or the resin material. Examples of the metal material forming the guard pin 12 include aluminum, stainless steel, and titanium. Examples of the resin material for forming the guard pin 12 include polyoxymethylene (POM), polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene / perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), polypropylene (PP), polyethylene (PE ), Polyphenylene sulfide (PPS), and polyetheretherketone (PEEK).
By forming the guard pin 12 from such a material, the rigidity necessary for preventing the dicing frame 22 from being detached from the dicing tape 21 can be imparted, and the weight is reduced because of the light weight. Can do.

ガードピン１２は、先端部が細くなっている円柱状等の柱形状であることが好ましいものの、その形状は特に限定されない。また、ガードピン１２の高さは、特に限定されないが、ダイシングフレーム２２の厚さ以上であればよく、例えばダイシングフレーム２２の上面から０．５〜５ｍｍの高さであり得る。また、ガードピン１２の径は、必要な剛性が得られる径であれば特に限定されない。 Although it is preferable that the guard pin 12 has a columnar shape such as a columnar shape with a thin tip, the shape is not particularly limited. Further, the height of the guard pin 12 is not particularly limited, but may be equal to or greater than the thickness of the dicing frame 22, and may be, for example, a height of 0.5 to 5 mm from the upper surface of the dicing frame 22. Moreover, the diameter of the guard pin 12 will not be specifically limited if it is a diameter from which required rigidity is acquired.

本発明は、例えば、薄板化ウェハの表面処理等に利用することができる。 The present invention can be used, for example, for surface treatment of a thinned wafer.

１０保持装置
１１振り子
１１ａ軸支部
１２ガードピン（保護部）
１３保持台（保持部）
１４吸引部
２０ウェハ（基板）
２１ダイシングテープ
２２ダイシングフレーム
２２ａ〜２２ｄ切り取り部
２３接着剤層
２４サポートプレート DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Holding device 11 Pendulum 11a Shaft support part 12 Guard pin (protection part)
13 Holding stand (holding part)
14 Suction unit 20 Wafer (substrate)
21 Dicing tape 22 Dicing frame 22a-22d Cut-out part 23 Adhesive layer 24 Support plate

Claims

A holding device for holding a supporting film having a frame portion on the outer periphery and a substrate bonded to one side,
Holding the substrate via the support film, and a holding unit that is rotatable about a straight line perpendicular to the surface direction of the substrate as a rotation axis;
A pendulum is provided in the holding part, and is located outside the frame part when the substrate is held in the holding part, and grips the frame part by a centrifugal force generated by rotating the holding part. Holding part,
A protection unit provided to protrude in a direction different from the surface direction of the substrate from a position outside the frame unit when the substrate is held in the holding unit;
With
The protective part is provided at a position 0.2 to 5 mm away from the frame part when the substrate is held in the holding part .
The holding device, wherein the protection portion is provided at a position corresponding to a linear cutout portion provided in the frame portion when the substrate is held in the holding portion .

The holding device according to claim 1, wherein four or more protection units are provided and are provided at equal intervals.

The holding device according to claim 1, wherein the protection part is formed of a metal or a resin material.

The holding device according to claim 1, wherein the protection part has a column shape.

The holding device according to claim 1, wherein the holding unit includes a suction unit that sucks the substrate from a surface to which the support film is bonded.