JP6029302B2 - マイクロ波電力供給装置 - Google Patents
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Description
(a)そのマイクロ波電源部の出力(進行波電力)を負荷に伝送する伝送路の負荷側の端末部と負荷との間でインピーダンスの不整合が生じているために、そのマイクロ波電源部の出力(進行波電力)自体が負荷で反射している。
(b)異常状態が生じているマイクロ波電源部以外の他のマイクロ波電源部の出力の一部が負荷で吸収されずに異常状態が生じているマイクロ波電源部に負荷側から進入している。
図1は本発明の第1の実施形態の構成を概略的に示したもので、同図において1はマイクロ波電力が供給される負荷であり、マイクロ波により処理される被処理物が収容されるチャンバである。P1ないしP3はそれぞれ、負荷1に供給するマイクロ波電力を出力する第1ないし第3のマイクロ波電源部である。本発明が対象とするマイクロ波電力供給装置では、共通の負荷1に対して複数のマイクロ波電源部が設けられるが、本実施形態では、3台のマイクロ波電源部が設けられている。
(a)保護対象電源部の出力(進行波電力)を負荷に伝送する伝送路5の負荷側の端末部と負荷1との間でインピーダンスの不整合が生じているために、その保護対象電源部の出力(進行波電力)自体が負荷で反射している。
(b)保護対象電源部以外の他のマイクロ波電源部の出力の一部が、負荷で吸収されずに保護対象電源部に負荷側から進入している。
2 マイクロ波発生源
3 電力検出器
4 伝送路
5 伝送路
6 制御部
601 出力制御手段
602 監視手段
603 制御対象電源部特定手段
604 保護制御手段
604a 第1の保護制御手段
604b 第2の保護制御手段
P1〜P3 マイクロ波電源部
Claims (9)
- 共通の負荷に供給するマイクロ波電力を出力する複数のマイクロ波電源部と、前記複数のマイクロ波電源部に制御情報を与える制御部とを備え、各マイクロ波電源部は、前記負荷に供給される進行波電力及び負荷から戻ってくる反射波電力を検出する機能と前記制御部から与えられる制御情報に応じて出力を制御する機能とを有しているマイクロ波電力供給装置であって、
前記制御部は、
各マイクロ波電源部で検出されている反射波電力の情報を取得して、各マイクロ波電源部で設定値を超える反射波電力が検出されているか否かを監視し、設定値を超える反射波電力が検出されているマイクロ波電源部を保護対象電源部として特定する監視手段と、
前記保護対象電源部を含む前記複数のマイクロ波電源部を順次判定対象電源部として、各判定対象電源部の出力を一時的に停止又は低下させたときに前記保護対象電源部で検出される反射波電力がしきい値以上の低下量だけ低下するか否かを判定し、出力を停止又は低下させたときに前記保護対象電源部で検出される反射波電力をしきい値以上の低下量だけ低下させた判定対象電源部を制御対象電源部として特定する制御対象電源部特定手段と、
前記制御対象電源部の出力を停止又は低下させることにより前記保護対象電源部で検出される反射波電力を前記設定値以下に低減させる保護制御を行うために必要な制御情報を前記制御対象電源部に与える保護制御手段と、
を具備したことを特徴とするマイクロ波電力供給装置。 - 共通の負荷に供給するマイクロ波電力を出力する複数のマイクロ波電源部と、前記複数のマイクロ波電源部に制御情報を与える制御部とを備え、各マイクロ波電源部は、前記負荷に供給される進行波電力及び負荷から戻ってくる反射波電力を検出する機能と前記制御部から与えられる制御情報に応じて出力を制御する機能とを有しているマイクロ波電力供給装置であって、
前記制御部は、
各マイクロ波電源部で検出されている反射波電力の情報を取得して、各マイクロ波電源部で設定値を超える反射波電力が検出されているか否かを監視し、設定値を超える反射波電力が検出されているマイクロ波電源部を保護対象電源部として特定する監視手段と、
前記保護対象電源部の出力を停止又は低下させることにより前記保護対象電源部で検出される反射波電力を設定値以下に低減させる保護制御を行うために必要な制御情報を前記保護対象電源部に与える第1の保護制御手段と、
前記第1の保護制御手段による保護制御を行っても前記保護対象電源部で検出される反射波電力を設定値以下にすることができないときに、前記保護対象電源部以外の他のマイクロ波電源部を順次判定対象電源部として、各判定対象電源部の出力を一時的に停止又は低下させたときに前記保護対象電源部で検出される反射波電力がしきい値以上の低下量だけ低下するか否かを判定し、出力を停止又は低下させたときに前記保護対象電源部で検出される反射波電力のレベルをしきい値以上の低下量だけ低下させた判定対象電源部を制御対象電源部として特定する制御対象電源部特定手段と、
前記制御対象電源部の出力を停止又は低下させることにより前記保護対象電源部で検出される反射波電力を前記設定値以下に低減させる保護制御を行うために必要な制御情報を前記制御対象電源部に与える第2の保護制御手段と、
を具備したことを特徴とするマイクロ波電力供給装置。 - 共通の負荷に供給するマイクロ波電力を出力する複数のマイクロ波電源部と、前記複数のマイクロ波電源部に制御情報を与える制御部とを備え、各マイクロ波電源部は、前記負荷に供給される進行波電力及び負荷から戻ってくる反射波電力を検出する機能と前記制御部から与えられる制御情報に応じて出力を制御する機能とを有しているマイクロ波電力供給装置であって、 前記制御部は、
各マイクロ波電源部で検出されている反射波電力の情報を取得して、各マイクロ波電源部で設定値を超える反射波電力が検出されているか否かを監視し、設定値を超える反射波電力が検出されているマイクロ波電源部を保護対象電源部として特定する監視手段と、
前記保護対象電源部以外の他のマイクロ波電源部を順次判定対象電源部として、各判定対象電源部の出力を一時的に停止又は低下させたときに前記保護対象電源部で検出される反射波電力のレベルがしきい値以上の低下量だけ低下するか否かを判定し、出力を停止又は低下させたときに前記保護対象電源部で検出される反射波電力のレベルをしきい値以上の低下量だけ低下させた判定対象電源部を制御対象電源部として特定する制御対象電源部特定手段と、
前記制御対象電源部特定手段により特定された制御対象電源部の出力を停止又は低下させることにより前記保護対象電源部で検出される反射波電力を前記設定値以下に低減させる保護制御を行うために必要な制御情報を前記制御対象電源部に与える第1の保護制御手段と、
前記制御対象電源部特定手段により制御対象電源部が特定されなかったときに、前記保護対象電源部の出力を停止又は低下させることにより前記保護対象電源部で検出される反射波電力を前記設定値以下に低減させる保護制御を行う第2の保護制御手段と、
を具備したことを特徴とするマイクロ波電力供給装置。 - 前記制御部は、前記保護制御が行われている状態で一定時間が経過する毎に前記制御対象電源部の出力を規定レベルに戻す出力復帰制御を行うために必要な制御情報を前記制御対象電源部に与える出力復帰制御手段を更に備えている請求項1,2又は3に記載のマイクロ波電力供給装置。
- 前記制御部は、前記各マイクロ波電源部の出力を目標値に保つように各マイクロ波電源部に制御情報を与える出力制御手段を備え、
前記出力制御手段は、前記保護制御が行われているときに前記制御対象電源部以外のマイクロ波電源部の出力を増大させることにより前記複数のマイクロ波電源部から負荷に与えられる電力の総量を目標値に保つ制御を行うように各マイクロ波電源部に制御情報を与える請求項1,2,3又は4に記載のマイクロ波電力供給装置。 - 前記制御部は、前記各マイクロ波電源部の出力を目標値に一致させるように各マイクロ波電源部に制御情報を与える出力制御手段を備え、
前記出力制御手段は、前記複数のマイクロ波電源部のそれぞれで検出される進行波電力と反射波電力とから前記負荷に吸収された電力の総量を演算して、演算された電力の総量を目標値に保つ制御を行うように各マイクロ波電源部に制御情報を与える請求項1,2,3又は4に記載のマイクロ波電力供給装置。 - 前記制御部と各マイクロ波電源部との間が通信線を通して接続され、
前記制御部は、各マイクロ波電源部との間に設けられた通信線を通して、前記各手段を動作させるために必要な信号の授受を行うように構成されていること、
を特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載のマイクロ波電力供給装置。 - 各マイクロ波電源部との間で信号の授受を行う制御装置が前記複数のマイクロ波電源部に対して共通に設けられて、該制御装置が各マイクロ波電源部に通信線を通して接続され、
前記制御部は、各手段を動作させるために必要な信号の授受を前記制御装置を介して行うように構成されていること、
を特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載のマイクロ波電力供給装置。 - 前記複数のマイクロ波電源部の中から選択された1つのマイクロ波電源部内に他のマイクロ波電源部との間での信号の授受を行う制御装置が設けられて、該1つのマイクロ波電源部と他のマイクロ波電源部との間が通信線を通して接続され、
前記制御部は、前記選択された1つのマイクロ波電源部に通信線を通して接続されて、各手段を動作させるために必要な信号の授受を前記1つのマイクロ波電源部内の制御装置を介して行うように構成されていること、
を特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載のマイクロ波電力供給装置。
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