JP6019672B2 - Liquid feeding device and method for monitoring liquid feeding device - Google Patents
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Description
本発明は、食品工業、医薬、化学工業、電子機器製造等における、液状材料の送液装置の制御方法に関するものである。 The present invention relates to a method for controlling a liquid material feeding device in the food industry, medicine, chemical industry, electronic equipment manufacturing, and the like.
食品工業などの製造分野で様々な液状材料が使用されている。これら液状材料を用いた製品の品質を安定させるためには、液状材料の高精度な送液量制御が必要であり、近年、より正確に、より均一に液状材料を送り出す事が求められている。そのため、液状材料の送液量の高精度な測定や、液状材料の出力状態の監視を簡易にかつ正確に行うことが重要になっている。 Various liquid materials are used in the manufacturing field such as the food industry. In order to stabilize the quality of products using these liquid materials, it is necessary to control the amount of liquid material to be delivered with high precision, and in recent years, it has been required to deliver liquid materials more accurately and more uniformly. . For this reason, it is important to easily and accurately perform highly accurate measurement of the liquid material feeding amount and monitoring of the output state of the liquid material.
しかし、液状物の特性が変動してしまう場合や、送液装置の各部において液状物の詰まりが発生してしまう場合には、液状材料の出力量の測定精度は得られない。特に液状物の詰まりに関しては、循環配管において液状物の流れる時間が短いために発生頻度が高い場合が多い。 However, when the characteristics of the liquid material fluctuate or when clogging of the liquid material occurs in each part of the liquid delivery device, the measurement accuracy of the output amount of the liquid material cannot be obtained. In particular, the occurrence of clogging with a liquid material is often caused by a short flow time of the liquid material in the circulation pipe.
このような問題を解消する出力量の予測方法として、実際の出力量に対して出力口の圧力や配管内の送液量の測定結果やその他装置内の様々な測定値との相関関係より行う方法が知られている。 As a method for predicting the output amount to solve such problems, the actual output amount is determined from the correlation with the measurement result of the pressure at the output port, the amount of liquid delivered in the pipe, and other various measured values in the apparatus. The method is known.
例えば特許文献1では、図8に示すように出力口6の出力圧力を計測し、出力圧力が事前に登録した圧力となるように液状物の送液量を制御することで出力量を一定に保つ方法が提案されている。これは出力圧力と出力量の関係を予め測定しておき、出力圧力から出力量を予測している。 For example, in Patent Document 1, the output pressure at the output port 6 is measured as shown in FIG. 8, and the output amount is made constant by controlling the liquid feed amount so that the output pressure becomes a pressure registered in advance. A method of keeping is proposed. In this method, the relationship between the output pressure and the output amount is measured in advance, and the output amount is predicted from the output pressure.
特許文献2では、図9に示すように切替部5と出力口6の間の出力配管7に、出力配管7内の送液量を計測する計測部4を設け、計測部4より得られる送液量の積算値により出力量を測定する方法が提案されている。
In
しかしながら、特許文献1の方法では出力する液状物の粘性が変化した場合に正確に出力量を予測する事ができない。粘性が変化した場合、液状物の流れ方が変化してしまい、同じ圧力であっても出力量は変化してしまうからである。 However, the method of Patent Document 1 cannot accurately predict the output amount when the viscosity of the liquid material to be output changes. This is because when the viscosity changes, the flow of the liquid material changes, and the output amount changes even at the same pressure.
また、特許文献2の方法では、切替部5による配管の切り替え時における出力配管7の送液量の変動が大きすぎるため、送液量を正確に計測する事ができない。(図10参照)
しかも、特許文献2の方法では、切替部5の動作が高速の場合、出力側へ送液されている時間のみの送液量を測定することは計測部5の応答性から難しく、また切替部5動作時の送液量の変動を完全に抑えることは難しい。そのために、一定時間の平均値を算出するなどして、その影響を軽減する事が一般的である。ところが、出力配管7や循環配管8の何らかの理由により流れ方が変化してしまった場合、一定時間の平均値ではその変化を捉えることができない。
Moreover, in the method of
Moreover, in the method of
その他、一般的な配管状態の変化を監視する方法として、監視対象の配管の複数位置の圧力を測定し、その差を監視する方法がある。しかしながら、この方法では状態変化の原因となる位置が圧力の測定位置の区間に内でなければ監視する事ができない。また使用する圧力測定機器も2つ以上または複数個必要であるため設備構成が複雑となる問題点もある。 In addition, as a general method for monitoring the change in the piping state, there is a method of measuring pressures at a plurality of positions of the piping to be monitored and monitoring the difference. However, this method cannot be monitored unless the position causing the state change is within the interval of the pressure measurement position. Further, since two or more pressure measuring devices are required, there is a problem that the equipment configuration is complicated.
上記課題を解決するために、本発明の送液装置は、液状物を貯蔵する貯蔵部と、液状物を貯蔵部外に送液する送液部と、貯蔵部から送液された液状物の流路となる送液配管と、送液配管における液状物の送液圧力を計測する計測部と送液配管から供給された液状物を出力する出力部と送液配管から出力部に供給される液状物の流路となる出力配管と送液配管から貯蔵部へ回収される液状物の流路となる循環配管と、送液配管が、出力配管、循環配管に分岐する分岐点にあり、送液配管から出力配管または循環配管に流路が連通するよう、液状物の流路を切り替える切替部と、送液部および切替部を制御する制御部を有し、制御部は、さらに送液状態を監視する監視部を有し、監視部は、切替部の切替タイミング時における計測部の圧力測定値の変化量から、循環配管または出力配管の状態を判定することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, a liquid feeding device of the present invention includes a storage unit for storing a liquid material, a liquid feeding unit for feeding the liquid material outside the storage unit, and a liquid material fed from the storage unit. A liquid supply pipe serving as a flow path, a measuring unit for measuring the liquid supply pressure of the liquid substance in the liquid supply pipe, an output part for outputting the liquid substance supplied from the liquid supply pipe, and the liquid supply pipe are supplied to the output part. The output pipe that becomes the flow path for the liquid material and the circulation pipe that becomes the flow path for the liquid material collected from the liquid feed pipe to the storage section and the liquid feed pipe are at the branch point where the output pipe and the circulation pipe branch. There is a switching unit that switches the flow path of the liquid material so that the flow path communicates from the liquid piping to the output piping or the circulation piping, and a control unit that controls the liquid feeding unit and the switching unit. The monitoring unit monitors the pressure value measured by the measuring unit at the switching timing of the switching unit. From the variation, and judging the state of the circulation pipe or output tubing.
さらに、本発明の送液装置の監視方法は、貯蔵部に貯蔵された液状物をモータ駆動により送液配管に送液する送液ステップと、送液配管から供給された液状物を、出力配管を通して出力部から出力する出力ステップと、送液配管から供給された液状物を、循環配管を通して貯蔵部へ回収する循環ステップと、送液配管から出力配管または循環配管に、液状物の流路を切り替える切替ステップと、送液配管における液状物の送液圧力を計測する計測ステップと、送液部における流路切替タイミング前後の送液圧力値の変化量を算出する算出ステップと、流路切替タイミング前後の送液圧力値の変化量と、予め定めた設定値と比較する比較ステップと、変化量が前期設定値以上の場合に循環配管は異常であると判定する判定ステップとを有する。 Further, the monitoring method of the liquid feeding device of the present invention includes a liquid feeding step of feeding the liquid material stored in the storage unit to the liquid feeding pipe by driving a motor, and a liquid material supplied from the liquid feeding pipe to the output pipe. An output step for outputting from the output section through the circulation section, a circulation step for recovering the liquid substance supplied from the liquid feeding pipe to the storage section through the circulation pipe, and a liquid substance flow path from the liquid feeding pipe to the output pipe or the circulation pipe. A switching step for switching, a measuring step for measuring the liquid feeding pressure of the liquid material in the liquid feeding piping, a calculation step for calculating the amount of change in the liquid feeding pressure value before and after the channel switching timing in the liquid feeding section, and the channel switching timing It has a comparison step for comparing the change amount of the front and rear liquid supply pressure values with a predetermined set value, and a determination step for determining that the circulation piping is abnormal when the change amount is equal to or greater than the set value in the previous period.
本発明の目的は、かかる欠点を解決するためになされたものであり、液状物の粘度が変化しても、詰まり等の異常判定が可能である送液装置および送液装置の監視方法を提供することにある。 An object of the present invention is to solve such drawbacks, and provides a liquid feeding device capable of determining abnormalities such as clogging even if the viscosity of a liquid material changes, and a method for monitoring the liquid feeding device. There is to do.
以下に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。図1は、本実施の形態に係る送液装置の構成を示す概略図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view showing the configuration of the liquid delivery device according to the present embodiment.
送液装置1は、液状物を貯蔵する貯蔵部2と、貯蔵部2から液状物を送液する送液部3と、供給された液状物が通る供給路が設けられた管状部材(送液配管10、出力配管7、循環配管8)と、液状物を出力する出力口6と、送液経路を切り替える切替部5と、送液部3および切替部5を制御する制御部9と、送液圧力を測定する計測部4と、を備えている。
The liquid feeding device 1 includes a
貯蔵部2は、一方端が貯蔵部2から供給された液状物を送液配管10に送液する送液部3に、他方端が送液配管10からの液状物を貯蔵部2に回収する循環配管8に接続している。送液部3はモータ駆動により、貯蔵部2から吸引した液状物を送液配管10に連続的に送出する。送液部3では、モータの回転数が設定された値と常に同じになるようにフィードバック制御を行なっている。
The
計測部4は送液配管10に設置された例えば圧力計等であり、送液配管10での液状物の送液圧力を測定する。
The measuring unit 4 is, for example, a pressure gauge installed in the
送液配管10は、送液配管10から出力口6に供給される液状物の流路となる出力配管7および、送液配管10から貯蔵部2に液状物を回収する液状物の流路となる循環配管8と切替部5を介して連通している。切替部5は、出力配管7と循環配管8とのどちらか一方が送液配管10に連通するように流路を切り替える。
The
切替部5は、出力配管7及び循環配管8それぞれに設置された流路を開閉するバルブであり、これらバルブを開閉制御することによって、流路を貯蔵部2と出力口6との間で液状物を循環させる循環状態か、出力口6から液状物を出力させる出力状態かに切り替える。切替器51は出力配管7側のバルブであり、切替器52は循環配管8側のバルブである。切替部5の切替動作は、運転中は制御部9のタイマー等により所望のタイミングで行う。なお、循環配管8の一部または全部の径は、出力配管7より小さい。
The
液状物を出力口6から出力するとき、切替部5は送液配管10から出力配管7に流路をつなげ出力経路を形成し、貯蔵部2の液状物を送液配管10から出力配管7を経由して出力口6に出力する。液状物を出力しないとき、切替部5は送液配管10から循環配管8に流路をつなげ循環経路を形成し、貯蔵部2の液状物を送液配管10から循環配管8を経由して貯蔵部2に戻し液状物を循環させ続ける。
When the liquid material is output from the output port 6, the
制御部9は送液部3と電気的に接続し、送液部3の動作を制御する。制御部9が設定した値(回転数など)は送液部3に送信され、送液部3の出力回転数に設定される。その入力値が送液部3の出力回転数となり、回転数に応じた量の液状物が送液部3によって汲み上げられることとなる。
The control unit 9 is electrically connected to the
制御部9は、計測部4と電気的に接続し、計測部4が計測した液状物の送液圧力を取得して記憶する。 The control unit 9 is electrically connected to the measuring unit 4 and acquires and stores the liquid feeding pressure of the liquid material measured by the measuring unit 4.
また、制御部9は、切替部5と電気的に接続し、切替部5を制御する。制御部9は、切替部5による出力経路と循環経路との切り替えのタイミングを設定し、タイマー等により設定したタイミングに応じて切替部5を制御する。さらに、制御部9は、送液状態を監視する監視部91を備えている。
The control unit 9 is electrically connected to the
送液装置1の送液動作について説明する。 The liquid feeding operation of the liquid feeding device 1 will be described.
まず、作業者が制御部9の入力部98に送液部3のモータ回転数等の所望の値(N)を入力する。また、作業者は切替部5の切替タイミングを設定する。
First, the operator inputs a desired value (N) such as the motor rotation speed of the
次に、制御部9は、モータに駆動電圧を印加して送液部3のモータを回転駆動させる。これにより、モータは回転数Nで回転を開始し、貯蔵部2から供給された液状物を送液配管10に送液する。切替部5は送液配管10を循環配管8側に連通するように設定しているので、液状物は貯蔵部2への循環を開始する。所定時間が経過するまで、制御部9は、一定流量を維持する送液部3のフィードバック制御を実行する。
Next, the control unit 9 applies a driving voltage to the motor to rotationally drive the motor of the
最初に設定した切替タイミングに基づき、制御部9は、切替部5に切替動作を実行させる。この結果、予め設定したタイミングで出力口6への液状物の出力と貯蔵部2への循環が交互に行われる。なお、循環状態から出力状態に切替える際、切替部5の切替器51が閉から開へ切り替わり、切替器52が開から閉に切り替わる時に、一定時間同時に閉となる切替動作を行う。
Based on the initially set switching timing, the control unit 9 causes the
次に送液を続行するか否かを判断する。送液終了と判断された場合は、切替部5を循環配管8へと切り替えて、送液部3の駆動を停止し、送液を終了する。
送液を続行すると判定された場合は、送液終了と判断されるまで、上記工程を繰り返す。
Next, it is determined whether or not to continue liquid feeding. When it is determined that the liquid feeding is finished, the
When it is determined that the liquid feeding is continued, the above process is repeated until it is determined that the liquid feeding is finished.
次に監視部91の構成を図2に基づいて詳細に説明する。
Next, the configuration of the
制御部9は、送液状態を監視する監視部91と、送液を制御する送液制御部97とを備えている。また、作業者により所望の出力量を予め設定入力するための入力部98を備えている。
The control unit 9 includes a
監視部91は、計測部4から得られる圧力値と、切替器51および切替器52の開閉状態とから循環配管8と出力配管7の送液状態を監視する。
監視部91はデータ取得部92と、演算部93と、判定部94とを備えている。
The
The
データ取得部92は、切替部5の切替タイミングを取得し、切替タイミングに応じて計測部4で計測した送液配管10の圧力値を取得する。
The
計測部4は、以下のタイミングで圧力を測定する。
1.切替器51と切替器52が同時閉の直前の切替器51が閉かつ切替器52が開の状態の送液配管10の圧力PGa。
2.切替器51と切替器52が同時に閉じている時間における送液配管10の圧力PGb。
3.切替器51と切替器52が同時閉の直後の切替器51が開かつ切替器52が閉の状態の送液配管10の圧力PGc
演算部93は、圧力PGbに対して、圧力PGaおよび圧力PGcとの差を演算する。
判定部94は、演算部93で演算された圧力差から循環配管8と出力配管7の状態を判定する。判定は、演算部93のデータと過去のデータまたは予め与えた設定値との差異を比較し、配管の異常有無を判定する。
The measuring unit 4 measures the pressure at the following timing.
1. Pressure PGa of the
2. Pressure PGb of the
3. Pressure PGc of the
The
The
監視部91における配管の異常判定方法に関して、図3を用いて、さらに詳しく説明する。
The piping abnormality determination method in the
図3は、切替部5の切替動作と、送液配管10、出力配管7、循環配管8それぞれの圧力、および、出力部6から出力される液状物の出力量の変化を示す。
FIG. 3 shows the switching operation of the
まず図3(a)の切替動作について説明する。図3(a)では、切替器51と52において同時に閉になる時間がない。流路は瞬時に切り替わる。そのため、送液配管の圧力に大きな変動はない。
出力配管7の圧力は、一定時間T1の間をかけて循環配管8の圧力が伝わる。このため、切替器51が開いた直後の出力口6からの液状物の出力量は、目標とする出力量に到達するまで若干の時間を要する。よって切替器51が開いた直後、出力口からの出力量は少なくなってしまう。
First, the switching operation of FIG. In FIG. 3 (a), there is no time for the
The pressure of the output pipe 7 is transmitted through the predetermined time T1. For this reason, the output amount of the liquid material from the output port 6 immediately after the
図3(b)の切替動作について説明する。図3(b)では、循環状態から出力状態に切替える際に切替器51および切替器52が同時に閉になる時間を一定時間作る。
The switching operation of FIG. 3B will be described. In FIG.3 (b), when switching from a circulation state to an output state, the time which the
切替器51及び切替器52が同時に閉になると送液配管10の出口が塞がってしまうため、送液配管10の圧力が上昇する。
When the
切替器51が開き、切替部5が出力配管側へ切り替わった直後、送液配管10の圧力が
急激に出力配管7へ伝わり、出力配管7の圧力はT1に比べ短い時間T2で上昇する。このため、切替器51が開いた直後の出力口6からの液状物の出力量を急速に上昇させることができるので、目標とする出力量に到達するまでの時間が短く、切替直後から目標とする出力量を得ることが可能になる。
なお、切替器51および切替器52の同時閉の時間は、数十ms〜数百msが望ましい。
Immediately after the
Note that the simultaneous closing time of the
切替部5の切替動作において循環配管8側から出力配管7側へ切り替わる際の計測部4で測定される送液配管10の圧力PGの変化を、図4を用いて説明する。
A change in the pressure PG of the
図4は、詰まりが発生していない通常状態における、切替り前後の計測部4での圧力値PGの変化を図示する。 FIG. 4 illustrates a change in the pressure value PG in the measurement unit 4 before and after switching in a normal state where no clogging has occurred.
まず、循環配管側へ液状物が流れている場合(切替器51が閉、切替器52が開)の圧力PGaは、送液部3から送られる液状物の圧力と、切替部5の切替器52を経由して貯蔵部2へ戻るまでの圧力損失とにより決まる。
First, when the liquid material is flowing to the circulation pipe side (the
次に、送液配管10の出口が塞がる場合(切替器51が閉、切替器52が閉)の圧力PGbは、PGaに比べ徐々に上昇する。送液部3は液状物が流れなくても、モーター回転数を維持するようフィードバック制御されているため、液状物の圧力は送液部3の最大送液圧力に達しない程度に上昇する。
Next, the pressure PGb when the outlet of the
そして出力配管側へ液状物が流れる場合(切替器51が開、切替器52が閉)の圧力PGcは、送液部3から送られる液状物の圧力と、切替部5の切替器51を経由して出力口6から出力されるまでの配管抵抗とにより決まる。詰まり等の出力口6までの間に閉塞する箇所がない通常の場合では、PGcはPGbに比べ低くなる。
When the liquid material flows to the output pipe side (the
次に、循環配管8または出力配管7で配管抵抗が変わった時の計測部4の圧力PGの変化について、図5および図6を用いて説明する。
図5は、循環配管8で詰まりが発生した場合における、切替り前後の圧力変化を図示する。
図5の計測部4において、実線は詰まりが発生していない時の圧力変化を、点線は循環配管8で詰まり発生している時の圧力変化を表している。
Next, a change in the pressure PG of the measuring unit 4 when the pipe resistance is changed in the circulation pipe 8 or the output pipe 7 will be described with reference to FIGS. 5 and 6.
FIG. 5 illustrates the pressure change before and after switching when clogging occurs in the circulation pipe 8.
In the measurement unit 4 of FIG. 5, the solid line represents the pressure change when clogging has not occurred, and the dotted line represents the pressure change when clogging has occurred in the circulation pipe 8.
詰まりが発生すると、循環配管8の経路が狭くなる。循環配管側へ液状物が流れている場合(切替器51が閉、切替器52が開)の圧力PGaは、詰まりが発生する前に比べ、液状物が流れ難くなるために配管抵抗が大きくなる。その結果、PGaは大きく上昇する。
When clogging occurs, the path of the circulation pipe 8 becomes narrow. When the liquid material is flowing to the circulation pipe side (the
送液配管10の出口が塞がる場合(切替器51が閉、切替器52が閉)の圧力PGbは、PGaが上昇したことにより詰まり発生前に比べ少し上昇するか、または等しい圧力となる。
When the outlet of the
出力配管側へ液状物が流れている場合(切替器51が開、切替器52が閉)の圧力PGcは、同様に詰まり発生前に比べて上昇する。
The pressure PGc when the liquid is flowing to the output piping side (the
図6は、液状物の粘度が上昇した場合における、切替り前後の圧力変化を図示する。 FIG. 6 illustrates the pressure change before and after switching when the viscosity of the liquid material increases.
図6に示すように液状物の粘度上昇した場合ではPGa、PGb、PGcそれぞれの圧力が一定数上昇する。 As shown in FIG. 6, when the viscosity of the liquid material increases, the pressures of PGa, PGb, and PGc increase by a certain number.
以上のように、単なるPGaまたはPGc値だけの監視では粘度上昇か出力配管7または循環配管8の経路変化であるかは区別することができない。しかし、PGbとPGaとの差分PGb−a、またはPGbとPGcとの差分PGb−c、を監視することにより、粘度の影響を受けても配管の異常判定が可能になる。 As described above, it is not possible to distinguish whether the viscosity is increased or the path of the output pipe 7 or the circulation pipe 8 is changed by simply monitoring the PGa or PGc value. However, by monitoring the difference PGb-a between PGb and PGa or the difference PGb-c between PGb and PGc, it is possible to determine the abnormality of the pipe even under the influence of the viscosity.
前述した計測部4の計測データPGの各時間の測定値PGa、PGb、PGcを用いて配管経路状態の変化を監視する監視部91の動作を図7のフローチャートを用いて説明する。
まず、ステップ1においてデータ取得部92より、切替部5の切替タイミングと計測部4の送液配管10の圧力値PGを収集する。
The operation of the
First, in step 1, the
次に、ステップ2では、収集データより演算部93にて計測部4の圧力データPGa、PGb、PGcを抽出する。
Next, in
PGbとPGaとの差分PGb−aとPGbとPGcとの差分PGb−cを求める。
この時、単なる差分ではなく、前回の切替部5動作の差分データとの変化量をそれぞれPGb−a、PGb−cとしても良い。
A difference PGb-a between PGb and PGa and a difference PGb-c between PGb and PGc are obtained.
At this time, the amount of change from the difference data of the
次にステップ3において判定部94により予め異常判定用として設定した閾値と比較し、閾値以上の場合は警報として発報を行う。
Next, in
監視部91の動作開始は、例えば切替部5動作の切替器52の閉から開へまたは開から閉へ、または切替器51の閉から開へまたは開から閉へ、または切替器51および切替器52の同時開または同時閉を検出して実行するか、または外部トリガにより動作を行う方法がある。
The start of the operation of the
以上、本発明の送液装置の制御方法について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、実施例に記載した構成を適宜組み合わせるなど、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。 As mentioned above, although the control method of the liquid feeding apparatus of this invention was demonstrated based on the Example, this invention is not limited to the structure described in the said Example, It combines suitably the structure described in the Example. For example, the configuration can be changed as appropriate without departing from the spirit of the invention.
本発明の本発明の送液装置の制御方法は、送液圧力の監視を行うことにより、フィードバックにおいて簡単な制御で送液量の制御を実施するという特性を有していることから、例えば、食品工業、医薬、化学工業、電子機器製造等の液体定量送り装置の用途に好適に用いることができる。
Since the control method of the liquid delivery device of the present invention of the present invention has a characteristic that the liquid feed amount is controlled by simple control in feedback by monitoring the liquid feed pressure, for example, It can be suitably used for applications of liquid metering feeders such as food industry, medicine, chemical industry, and electronic equipment manufacturing.
1 送液装置
2 貯蔵部
3 送液部
4 計測部
5 切替部
51 切替器
52 切替器
6 出力口
7 出力配管
8 循環配管
9 制御部
10 送液配管
91 監視部
92 データ取得部
93 演算部
94 判定部
97 送液制御部
98 入力部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (3)
前記液状物を前記貯蔵部外に送液する送液部と、
前記貯蔵部から送液された前記液状物の流路となる送液配管と、
前記送液配管における前記液状物の送液圧力を計測する計測部と
前記送液配管から供給された前記液状物を出力する出力部と
前記送液配管から前記出力部に供給される前記液状物の流路となる出力配管と
前記送液配管から前記貯蔵部へ回収される前記液状物の流路となる循環配管と、
前記送液配管が、前記出力配管、前記循環配管に分岐する分岐点にあり、
前記送液配管から前記出力配管または前記循環配管に流路が連通するよう、前記液状物の流路を切り替える切替部と、
前記送液部および前記切替部を制御する制御部を有し、
前記制御部は、さらに送液状態を監視する監視部を有し、
前記監視部は、前記切替部の切替タイミング時における計測部の圧力測定値の変化量から、循環配管または出力配管の状態を判定する送液装置
であって、
前記切替部は、前記出力配管および前記循環配管にそれぞれ設けられたバルブであって、
前記出力配管のバルブと前記循環配管のバルブとを開閉することより流路を切り替え、
前記計測部は、前記出力配管のバルブと前記循環配管のバルブが同時閉の直前の前記出力配管のバルブが閉かつ前記循環配管のバルブが開の状態の送液配管の圧力PGaと、前記出力配管のバルブと前記循環配管のバルブが同時に閉じている時間における送液配管の圧力PGbと、前記出力配管のバルブと前記循環配管のバルブが同時閉の直後の前記出力配管のバルブが開かつ前記循環配管のバルブが閉の状態の送液配管の圧力PGcを測定し、
前記監視部は、前記圧力測定値PGa、PGb、PGcの変化量を算出する演算部と、
前記演算部が算出した圧力測定値の変化量を、予め定めた設定値と比較する判定部をさらに有することを特徴とする送液装置。 A storage section for storing a liquid material;
A liquid feeding section for feeding the liquid to the outside of the storage section;
A liquid supply pipe serving as a flow path for the liquid material supplied from the storage unit;
The liquid material supplied to the output unit from the measurement unit that measures the liquid supply pressure of the liquid material in the liquid supply pipe, the output unit that outputs the liquid material supplied from the liquid supply pipe, and the liquid supply pipe An output pipe to be a flow path of the liquid and a circulation pipe to be a flow path of the liquid material collected from the liquid supply pipe to the storage unit;
The liquid supply pipe is at a branch point that branches into the output pipe and the circulation pipe.
A switching unit that switches the flow path of the liquid material so that the flow path communicates from the liquid supply pipe to the output pipe or the circulation pipe;
A controller that controls the liquid feeding unit and the switching unit;
The control unit further includes a monitoring unit for monitoring a liquid feeding state,
The monitoring unit is a liquid feeding device that determines the state of the circulation piping or the output piping from the amount of change in the pressure measurement value of the measuring unit at the switching timing of the switching unit.
Because
The switching unit is a valve provided in each of the output pipe and the circulation pipe,
Switching the flow path by opening and closing the valve of the output pipe and the valve of the circulation pipe,
The measuring unit includes a pressure PGa of a liquid supply pipe in a state where the valve of the output pipe is closed and the valve of the circulation pipe is open immediately before the valve of the output pipe and the valve of the circulation pipe are simultaneously closed, and the output The pressure PGb of the liquid supply piping at the time when the valve of the piping and the valve of the circulation piping are simultaneously closed, the valve of the output piping immediately after the valve of the output piping and the valve of the circulation piping are simultaneously closed and the Measure the pressure PGc of the liquid supply pipe with the valve of the circulation pipe closed,
The monitoring unit calculates a change amount of the pressure measurement values PGa, PGb, PGc;
The liquid delivery device further comprising a determination unit that compares the amount of change in the pressure measurement value calculated by the calculation unit with a predetermined set value .
前記演算部は、前記圧力測定値PGbとPGaの変化量を求め、
前記判定部は、前記変化量が前記設定値より小さいとき前記循環配管が異常であると判定することを特徴とする送液装置。 The liquid delivery device according to claim 1 ,
The calculation unit obtains a change amount of the pressure measurement values PGb and PGa,
The determination unit determines that the circulation pipe is abnormal when the change amount is smaller than the set value.
前記送液配管から供給された前記液状物を、出力配管を通して出力部から出力する出力ステップと、
前記送液配管から供給された前記液状物を、循環配管を通して前記貯蔵部へ回収する循環ステップと、
前記出力配管のバルブと前記循環配管のバルブとを開閉することより流路を切り替える切替ステップと、
前記出力配管のバルブと前記循環配管のバルブが同時閉の直前の前記出力配管のバルブが閉かつ前記循環配管のバルブが開の状態の送液配管の圧力PGaと、前記出力配管のバルブと前記循環配管のバルブが同時に閉じている時間における送液配管の圧力PGbと、前記出力配管のバルブと前記循環配管のバルブが同時閉の直後の前記出力配管のバルブが開かつ前記循環配管のバルブが閉の状態の送液配管の圧力PGcを計測する計測ステップと、
前記圧力測定値PGa、PGb、PGcの変化量を算出する算出ステップと、
算出した圧力測定値の変化量を予め定めた設定値と比較する比較ステップと、
を有することを特徴とする送液装置の監視方法。 A liquid feeding step for feeding the liquid material stored in the storage unit to the liquid feeding pipe by driving a motor;
An output step of outputting the liquid material supplied from the liquid supply pipe from an output section through an output pipe;
A circulation step of recovering the liquid material supplied from the liquid supply pipe to the storage unit through a circulation pipe;
A switching step of switching the flow path by opening and closing the valve of the output pipe and the valve of the circulation pipe ;
The pressure PGa of the liquid supply pipe in a state in which the valve of the output pipe is closed and the valve of the circulation pipe is open immediately before the valve of the output pipe and the valve of the circulation pipe are simultaneously closed, the valve of the output pipe, and the The pressure PGb of the liquid supply pipe at the time when the valves of the circulation pipe are simultaneously closed, the valve of the output pipe immediately after the valve of the output pipe and the valve of the circulation pipe are simultaneously closed, and the valve of the circulation pipe are A measurement step for measuring the pressure PGc of the liquid supply pipe in the closed state ;
A calculation step of calculating a change amount of the pressure measurement values PGa, PGb, PGc ;
A comparison step of comparing the calculated change amount of the pressure measurement value with a predetermined set value ;
A method for monitoring a liquid delivery device, comprising:
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