JP6017974B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係るレーザー加工装置の概略構成例を示す図である。図1に示す実施形態に係るレーザー加工装置1は、カセットエレベータ10と、仮置き手段20と、洗浄手段30と、チャックテーブル40と、レーザー光線照射手段50と、搬送手段60と、表示手段70と、制御手段80と、を含んで構成されている。レーザー加工装置1は、被加工物Wを保持したチャックテーブル40と、レーザー光線照射手段50とを相対移動させることで、被加工物Wにレーザー加工、特に、溶解及び冷却による加工を施して、被加工物Wにレーザー加工溝又は分割溝を形成する。
40 チャックテーブル
50 レーザー光線照射手段
51 レーザー光線発生手段
52 加工ヘッド
521 集光レンズ
522 液体噴射手段
523 パイプ
523b 側面
523c 透明部
524 気体流入路
528 撮像手段
C 液柱
L レーザー光線
W 被加工物
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルで保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段とを備えたレーザー加工装置であって、
前記レーザー光線照射手段は、レーザー光線発生手段と、加工ヘッドとを含み、
前記加工ヘッドは、
前記レーザー光線発生手段から発生されたレーザー光線を集光する集光レンズと、
前記被加工物に液体を噴射して、前記集光レンズで集光されたレーザー光線が導光される液柱を形成する液体噴射手段と、
前記液体噴射手段で形成された前記液柱が通過する少なくとも側面に透明部を有するパイプと、
前記パイプ内に前記液柱を囲繞する気体を流入させる気体流入路と、
前記パイプの側面の前記透明部から前記パイプ内を通過する前記レーザー光線及び前記液柱を撮像する撮像手段と、を有するレーザー加工装置。
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JP2013008795A JP6017974B2 (ja) | 2013-01-21 | 2013-01-21 | レーザー加工装置 |
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