JP6016581B2 - Resin composition, laminate and wiring board - Google Patents

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本発明は、樹脂組成物、積層体及び配線板に関する。   The present invention relates to a resin composition, a laminate, and a wiring board.

近年、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜又はプリント配線板用保護絶縁膜として、耐熱性に優れるポリイミドが用いられるようになってきている。また、電子・電気機器の薄型・小型化に伴い、プリント配線板においては、電子部品などを高密度に実装することが要求されている。このため、プリント配線板の導電層間を高密度に導通させることができる加工が必要とされている。   In recent years, polyimide having excellent heat resistance has been used as a surface protective film of semiconductor elements, an interlayer insulating film, or a protective insulating film for printed wiring boards. In addition, with the reduction in thickness and size of electronic and electrical equipment, printed wiring boards are required to mount electronic components and the like at high density. For this reason, the process which can be electrically connected between the conductive layers of a printed wiring board with high density is required.

一般的にプリント配線板の製造工程においては、NCドリリング、プラズマエッチング、レーザドリリング、パンチングなどでビアホールやスルーホールを形成し、形成したビアホールやスルーホールにメッキを施して導電層間を導通させる。しかしながら、微細加工を行う場合に用いられるレーザドリリングでは、ビアホールやスルーホールを1穴ずつ形成する必要がある。このため、ロール・ツー・ロール法による連続生産が困難になると共に、コストダウンや生産性向上の面でも大きな障害となっている。   In general, in the manufacturing process of a printed wiring board, via holes and through holes are formed by NC drilling, plasma etching, laser drilling, punching, etc., and the formed via holes and through holes are plated to make conductive layers conductive. However, in laser drilling used when performing microfabrication, it is necessary to form via holes and through holes one by one. For this reason, continuous production by the roll-to-roll method becomes difficult, and it is a major obstacle in terms of cost reduction and productivity improvement.

一方で、化学エッチングによって、層間絶縁膜として用いられるポリイミドを溶解除去してビアホールやスルーホールを形成する提案もなされている。しかしながら、化学エッチングは、ロール・ツー・ロール法による加工に適している一方、ポリイミドの化学エッチングにはヒドラジンなどの強い還元剤を使用しなければならず、普及の妨げとなっている。   On the other hand, proposals have been made to form via holes and through holes by dissolving and removing polyimide used as an interlayer insulating film by chemical etching. However, while chemical etching is suitable for processing by the roll-to-roll method, a strong reducing agent such as hydrazine has to be used for chemical etching of polyimide, which hinders widespread use.

一般的にポリイミドは、プリント配線板の製造工程で一般的に用いられている水酸化ナトリウム溶液に対する溶解性が低い。そこで、アルカリ溶液に対する溶解性を向上するべく、ポリイミド前駆体又は酸性官能基を有するポリイミドを用いるのが一般的である(例えば、特許文献1参照)。   In general, polyimide has low solubility in a sodium hydroxide solution generally used in the production process of a printed wiring board. Therefore, in order to improve the solubility in an alkaline solution, it is common to use a polyimide precursor or a polyimide having an acidic functional group (see, for example, Patent Document 1).

特許文献1には、アルカリ可溶性樹脂として、アルカリ溶液に対する溶解性の観点、さらに、乾燥炉における200℃以下の加熱に対する耐熱性や、フレキシブル配線板の柔軟性の観点から、分子中にカルボキシル基又はフェノール性水酸基を有するポリイミド及びポリイミド前駆体が好ましいことが記載されている。また、アルカリ可溶性樹脂としては、フレキシブル配線板の柔軟性や反りの観点から、ポリアルキレンエーテル構造及び/又はシロキサン構造を有することが好ましいことが記載されている。   In Patent Document 1, as an alkali-soluble resin, from the viewpoint of solubility in an alkaline solution, furthermore, from the viewpoint of heat resistance to heating at 200 ° C. or less in a drying furnace and flexibility of a flexible wiring board, a carboxyl group or It is described that a polyimide having a phenolic hydroxyl group and a polyimide precursor are preferable. Further, it is described that the alkali-soluble resin preferably has a polyalkylene ether structure and / or a siloxane structure from the viewpoint of flexibility and warpage of the flexible wiring board.

また、特許文献1には、ブラインドビアを用いた多層フレキシブル配線板の製造方法が開示されている。この製造方法では、2枚の銅箔上にアルカリ可溶性油脂をそれぞれ塗布して樹脂層を設け、次に、2枚の銅箔上に設けた樹脂層がコア基板の両主面上とそれぞれ対向するように、コア基板の両主面上に樹脂層及び銅箔を積層している。この積層工程では真空プレスを用いて120℃で20分、2MPa程度の加熱条件で積層している。   Patent Document 1 discloses a method for manufacturing a multilayer flexible wiring board using blind vias. In this manufacturing method, a resin layer is provided by applying alkali-soluble fats and oils on two copper foils, and then the resin layers provided on the two copper foils are opposed to both main surfaces of the core substrate, respectively. Thus, a resin layer and a copper foil are laminated on both main surfaces of the core substrate. In this lamination process, lamination is performed using a vacuum press at 120 ° C. for 20 minutes under heating conditions of about 2 MPa.

特開2012−169346号公報JP 2012-169346 A

しかしながら、特許文献1記載のように、アルカリ可溶性樹脂をプリント配線板に用いる場合、120℃での真空プレス時に、アルカリ可溶性樹脂が回路間に気泡が入ってしまう埋め込み不良が発生することがわかった。このような回路間での埋め込み不良が発生すると、プリント配線板において回路間の気泡が熱硬化又はリフロー処理時などの高温環境下において膨張し、絶縁膜が剥がれたり、導体部が露出し、回路間又は層間の絶縁不良を引き起こすという不都合が発生するという課題があった。   However, as described in Patent Document 1, it has been found that when an alkali-soluble resin is used for a printed wiring board, an embedding defect in which air bubbles enter between circuits occurs during vacuum pressing at 120 ° C. . When such an imbedding failure occurs between the circuits, bubbles between the circuits in the printed wiring board expand in a high temperature environment such as during thermosetting or reflow treatment, and the insulating film is peeled off or the conductor part is exposed. There has been a problem that inconvenience of causing an insulation failure between layers or between layers occurs.

本発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、アルカリ加工性、絶縁信頼性、耐熱性及び耐折性に優れていると共に、プレス時の回路間埋め込み性にも優れた樹脂組成物、積層体及び配線板を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such problems, and has a resin composition that is excellent in alkali processability, insulation reliability, heat resistance, and folding resistance, and also excellent in circuit embedding during pressing. It aims at providing a thing, a laminated body, and a wiring board.

本願発明者らは、埋め込み不良発生のメカニズムについて鋭意検討を行った結果、フェノール性水酸基と柔軟セグメントを有する特定構造の樹脂と、熱架橋剤とを含む樹脂組成物が、アルカリ加工性、絶縁信頼性、耐熱性及び耐折性と共に、優れたプレス時の回路間埋め込み性を示すことを見出し、この知見に基づいて本発明をなすに至った。すなわち、本発明は、以下の通りである。   As a result of intensive investigations on the mechanism of occurrence of defective embedding, the present inventors have found that a resin composition containing a resin having a specific structure having a phenolic hydroxyl group and a flexible segment, and a thermal crosslinking agent has an alkali processability and insulation reliability. It has been found that it exhibits excellent inter-circuit embedding during pressing as well as heat resistance, heat resistance, and folding resistance, and has led to the present invention based on this finding. That is, the present invention is as follows.

本発明の樹脂組成物は、(a)フェノール性水酸基並びに下記一般式(1)及び(2)で表される構造を含有する樹脂と、(b)オキサゾリン基を含む化合物と、を含むことを特徴とする。 The resin composition of the present invention comprises (a) a phenolic hydroxyl group and a resin containing a structure represented by the following general formulas (1) and (2), and (b) a compound containing an oxazoline group. Features.

Figure 0006016581
(前記一般式(1)中、R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜炭素数5のアルキル基、フェニル基又はフェノキシ基を示す。mは2以上の整数であり、mの繰り返し単位ごとにR、Rは互いに異なってもよい。)
Figure 0006016581
(前記一般式(2)中、Qは、炭素数1〜炭素数18のアルキレン基を示し、nは2以上の整数であり、nの繰り返し単位ごとにQは互いに異なってもよい。)
Figure 0006016581
(In the general formula (1), R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a phenyl group, or a phenoxy group. M is an integer of 2 or more, and m is repeated. R 1 and R 2 may be different for each unit.)
Figure 0006016581
(In the general formula (2), Q 1 represents an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms, n is an integer of 2 or more, and Q 1 may be different for each repeating unit of n. )

この構成により、配線板の製造時におけるアルカリ加工性、プレス時の回路間埋め込み性及び耐熱性に優れていると共に、耐折性に優れた積層体及び配線板を得ることができる。   With this configuration, it is possible to obtain a laminate and a wiring board that are excellent in alkali workability at the time of manufacturing a wiring board, inter-circuit embedding property and heat resistance at the time of pressing, and excellent in folding resistance.

また、本発明の樹脂組成物において、前記樹脂がポリイミド樹脂であることが好ましい。   In the resin composition of the present invention, the resin is preferably a polyimide resin.

また、本発明の樹脂組成物において、前記一般式(1)及び(2)で表される構造が、それぞれ前記樹脂の全質量中5〜45質量%の範囲内であり、それらの合計は35〜75質量%の範囲内であることが好ましい。   Moreover, in the resin composition of the present invention, the structures represented by the general formulas (1) and (2) are each in the range of 5 to 45% by mass in the total mass of the resin, and the total thereof is 35. It is preferable to be within a range of ˜75 mass%.

本発明の積層体は、金属箔と、前記金属箔の表面上に設けられ、上記記載の樹脂組成物を含む樹脂層と、を具備することを特徴とする。   The laminate of the present invention comprises a metal foil and a resin layer provided on the surface of the metal foil and containing the resin composition described above.

この構成により、樹脂層が配線板の製造時におけるアルカリ加工性、プレス時の回路間埋め込み性及び耐熱性に優れていると共に、耐折性に優れた配線板を得ることができる。   With this configuration, it is possible to obtain a wiring board in which the resin layer is excellent in alkali workability during manufacturing of the wiring board, inter-circuit embedding property and heat resistance during pressing, and excellent in folding resistance.

本発明の積層体において、前記金属箔の厚さが5〜50μmの範囲内であることが好ましい。   In the laminate of the present invention, it is preferable that the metal foil has a thickness in the range of 5 to 50 μm.

また、本発明の配線板は、少なくとも一方の表面に回路を有するコア基板と、前記コア基板の前記回路を有する表面上に設けられた樹脂層と、前記樹脂層の表面上に設けられた金属箔と、を具備し、前記樹脂層が、(a)フェノール性水酸基並びに下記一般式(1)及び(2)で表される構造を含有する樹脂と、(b)オキサゾリン基を含む化合物と、を含む樹脂組成物を用いて形成されることを特徴とする。
The wiring board of the present invention includes a core substrate having a circuit on at least one surface thereof, a resin layer provided on the surface of the core substrate having the circuit, and a metal provided on the surface of the resin layer. Foil, and the resin layer (a) a phenolic hydroxyl group and a resin containing a structure represented by the following general formulas (1) and (2); and (b) a compound containing an oxazoline group , It is formed using the resin composition containing this.

Figure 0006016581
(前記一般式(1)中、R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜炭素数5のアルキル基、フェニル基又はフェノキシ基を示す。mは2以上の整数であり、mの繰り返し単位ごとにR、Rは互いに異なってもよい。)
Figure 0006016581
(前記一般式(2)中、Qは、炭素数1〜炭素数18のアルキレン基を示し、nは2以上の整数であり、nの繰り返し単位ごとにQは互いに異なってもよい。)
Figure 0006016581
(In the general formula (1), R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a phenyl group, or a phenoxy group. M is an integer of 2 or more, and m is repeated. R 1 and R 2 may be different for each unit.)
Figure 0006016581
(In the general formula (2), Q 1 represents an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms, n is an integer of 2 or more, and Q 1 may be different for each repeating unit of n. )

この構成により、樹脂層が配線板の製造時におけるアルカリ加工性、プレス時の回路間埋め込み性及び耐熱性に優れているので、配線板として耐折性に優れる。   With this configuration, the resin layer is excellent in alkali workability at the time of manufacturing the wiring board, inter-circuit embedding property at the time of pressing, and heat resistance, so that it is excellent in folding resistance as a wiring board.

本発明によれば、アルカリ加工性、絶縁信頼性、耐熱性及び耐折性に優れていると共に、プレス時の回路間埋め込み性にも優れた樹脂組成物、積層体及び配線板を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a resin composition, a laminate, and a wiring board that are excellent in alkali processability, insulation reliability, heat resistance and folding resistance, and also excellent in embedding between circuits during pressing. Can do.

以下、本発明の一実施の形態(以下、「実施の形態」と略記する。)について、詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。   Hereinafter, an embodiment of the present invention (hereinafter abbreviated as “embodiment”) will be described in detail. In addition, this invention is not limited to the following embodiment, It can implement by changing variously within the range of the summary.

本実施の形態に係る樹脂組成物は、(a)フェノール性水酸基並びに下記一般式(1)及び(2)で表される構造を含有する樹脂と、(b)熱架橋剤と、を含む。   The resin composition according to the present embodiment includes (a) a phenolic hydroxyl group and a resin containing a structure represented by the following general formulas (1) and (2), and (b) a thermal crosslinking agent.

Figure 0006016581
(上記一般式(1)中、R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜炭素数5のアルキル基、フェニル基又はフェノキシ基を示す。mは2以上の整数であり、mの繰り返し単位ごとにR、Rは互いに異なってもよい。)
Figure 0006016581
(上記一般式(2)中、Qは、炭素数1〜炭素数18のアルキレン基を示し、nは2以上の整数であり、nの繰り返し単位ごとにQは互いに異なってもよい。)
Figure 0006016581
(In the general formula (1), R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a phenyl group, or a phenoxy group. M is an integer of 2 or more, and m is repeated. R 1 and R 2 may be different for each unit.)
Figure 0006016581
(In the general formula (2), Q 1 represents an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms, n is an integer of 2 or more, and Q 1 may be different for each repeating unit of n. )

本実施の形態に係る樹脂組成物において、上記一般式(1)で表わされるポリシロキサン骨格及び上記一般式(2)で表わされるポリアルキレン骨格は、樹脂に柔軟性を付与するのに有効な骨格であり、このような骨格は柔軟セグメントと総称される。   In the resin composition according to the present embodiment, the polysiloxane skeleton represented by the general formula (1) and the polyalkylene skeleton represented by the general formula (2) are skeletons effective for imparting flexibility to the resin. And such skeletons are collectively referred to as flexible segments.

柔軟セグメントとしては、従来から各種骨格が知られている。例えば、特開2008−260907号公報には、ポリアルキレンオキシド骨格を用いた樹脂組成物が開示されている。また、特開2010−53223号公報には、ポリシロキサン骨格を用いた樹脂組成物が開示されている。さらに、特開2010−256881号公報には、ポリシロキサン骨格及びポリアルキレンオキシド骨格を併用した樹脂組成物が開示されている。   As the flexible segment, various skeletons are conventionally known. For example, JP 2008-260907 A discloses a resin composition using a polyalkylene oxide skeleton. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-53223 discloses a resin composition using a polysiloxane skeleton. Furthermore, JP 2010-256881 A discloses a resin composition in which a polysiloxane skeleton and a polyalkylene oxide skeleton are used in combination.

しかしながら、これらの先行技術文献に記載された樹脂組成物を採用しても、アルカリ加工性、絶縁信頼性、耐熱性及び耐折性に加えて、プレス時の回路間埋め込み性にも優れた樹脂層を作製することはできない。   However, even if the resin compositions described in these prior art documents are adopted, in addition to alkali processability, insulation reliability, heat resistance and folding resistance, a resin excellent in embedding between circuits during pressing The layer cannot be made.

すなわち、特開2008−260907号公報に記載の樹脂組成物において、柔軟性、耐折性を向上させるためにポリアルキレンオキシド骨格を多く導入すると、樹脂の吸水率が高まり絶縁信頼性に悪影響を与えてしまう。   That is, in the resin composition described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-260907, if a large amount of polyalkylene oxide skeleton is introduced to improve flexibility and folding resistance, the water absorption rate of the resin increases and adversely affects insulation reliability. End up.

また、特開2010−53223号公報に記載の樹脂組成物において、プレス時の回路間埋め込み性を向上させるためには、ポリシロキサン骨格を多く導入する必要があり、その場合、樹脂のアルカリ溶解性が損なわれてしまう。このため、プレス時の回路間埋め込み性とアルカリ溶解性を両立することが困難である。   Moreover, in the resin composition described in JP 2010-53223 A, it is necessary to introduce a large amount of polysiloxane skeleton in order to improve inter-circuit embedding during pressing, in which case the alkali solubility of the resin Will be damaged. For this reason, it is difficult to achieve both inter-circuit embeddability and alkali solubility during pressing.

さらに、特開2010−256881号公報に記載の樹脂組成物は、アルカリ可溶セグメントとして、カルボキシル基を用いている。この場合、ポリイミドのカルボキシル基と熱架橋剤との架橋反応が低温で進行する。このため、上記樹脂組成物の溶液を塗布して樹脂層を設けた後、当該樹脂層から溶媒を除去する際の加熱で熱可塑性樹脂と熱架橋剤とが反応してアルカリ溶解性が低下し、エッチング速度が低下する問題がある。   Furthermore, the resin composition described in JP 2010-256881 uses a carboxyl group as the alkali-soluble segment. In this case, the crosslinking reaction between the carboxyl group of the polyimide and the thermal crosslinking agent proceeds at a low temperature. For this reason, after applying the solution of the resin composition to provide a resin layer, the thermoplastic resin and the thermal cross-linking agent react with heat when removing the solvent from the resin layer, and the alkali solubility is lowered. There is a problem that the etching rate decreases.

これに対し、本実施の形態に係る樹脂組成物においては、柔軟セグメントとして、上記一般式(1)で表わされるポリシロキサン骨格(以下、柔軟セグメント(1)とも呼ぶ)及び上記一般式(2)で表わされるポリアルキレン骨格(以下、柔軟セグメント(2)とも呼ぶ)を組み合わせて用いることで、低温(例えば、90℃〜120℃)でのプレス(回路間の埋め込み)が可能になり、このような低温条件下、樹脂中のフェノール性水酸基と架橋剤中の反応性官能基との反応を抑制できる。一方、高温(例えば、約180℃)条件下では、フェノール性水酸基と架橋剤中の反応性官能基との反応を進めることができる。   In contrast, in the resin composition according to the present embodiment, as the flexible segment, a polysiloxane skeleton represented by the general formula (1) (hereinafter also referred to as the flexible segment (1)) and the general formula (2). In combination with a polyalkylene skeleton represented by the following (hereinafter also referred to as a flexible segment (2)), pressing (embedding between circuits) at a low temperature (for example, 90 ° C. to 120 ° C.) becomes possible. The reaction of the phenolic hydroxyl group in the resin and the reactive functional group in the crosslinking agent can be suppressed under low temperature conditions. On the other hand, the reaction between the phenolic hydroxyl group and the reactive functional group in the crosslinking agent can proceed under high temperature (for example, about 180 ° C.) conditions.

この結果、本実施の形態に係る樹脂組成物によれば、次のような効果が得られる。   As a result, according to the resin composition concerning this Embodiment, the following effects are acquired.

・アルカリ加工性
本実施の形態に係る樹脂組成物においては、後述のプレス時回路間埋め込み性が良好なので、樹脂中のフェノール性水酸基と架橋剤中の反応性官能基との反応性が適度に低い低温領域でのプレス温度条件設定(例えば100℃、1分間)が可能であり、溶媒を除去して樹脂層を積層する際の樹脂と熱架橋剤との架橋反応を抑制できるため、溶媒乾燥、プレス前後における樹脂組成物のアルカリ溶解性の低下を防ぐことができる。また、上記一般式(1)で表わされるポリシロキサン骨格を多く導入すると疎水性が上がるが、上記一般式(2)のポリアルキレン骨格をバランスよく併用しているため、アルカリ加工性に優れる。
Alkali processability In the resin composition according to the present embodiment, since the embedding between circuits at the time of pressing described later is good, the reactivity between the phenolic hydroxyl group in the resin and the reactive functional group in the cross-linking agent is moderate. It is possible to set the press temperature conditions in a low low temperature region (for example, 100 ° C. for 1 minute) and to suppress the crosslinking reaction between the resin and the thermal crosslinking agent when removing the solvent and laminating the resin layer. Moreover, the fall of the alkali solubility of the resin composition before and behind a press can be prevented. In addition, when a large amount of the polysiloxane skeleton represented by the general formula (1) is introduced, the hydrophobicity increases. However, since the polyalkylene skeleton of the general formula (2) is used in a well-balanced manner, the alkali processability is excellent.

・プレス時回路間埋め込み性
低温条件下では、樹脂中のフェノール性水酸基と架橋剤中の反応性官能基との反応性が適度に低くなるので、樹脂組成物の溶液から一般的な乾燥条件(例えば、常圧下95℃、30分間)、一般的なプレス温度条件(例えば、100℃、1分間)において、溶媒を除去して樹脂層を積層する際の樹脂と熱架橋剤との架橋反応を抑制できる。これにより、プレス時に樹脂組成物の流動性が損なわれることがない。また、上記一般式(1)で表わされるポリシロキサン骨格を多く導入しても極端に溶融粘度を下げることはできないが、上記一般式(2)のポリアルキレン骨格をバランスよく併用しているため、プレス時の回路間埋め込み性に優れた樹脂層が得られる。
-Circuit embedding during pressing Under low temperature conditions, the reactivity between the phenolic hydroxyl group in the resin and the reactive functional group in the cross-linking agent is moderately reduced, so the general drying conditions (from the resin composition solution) For example, under a normal pressure of 95 ° C. for 30 minutes, under a general press temperature condition (for example, 100 ° C. for 1 minute), the crosslinking reaction between the resin and the thermal crosslinking agent when the resin layer is laminated by removing the solvent Can be suppressed. Thereby, the fluidity | liquidity of a resin composition is not impaired at the time of a press. In addition, even if a large amount of the polysiloxane skeleton represented by the general formula (1) is introduced, the melt viscosity cannot be extremely lowered, but the polyalkylene skeleton of the general formula (2) is used in a well-balanced manner, A resin layer excellent in inter-circuit embedding during pressing can be obtained.

・耐熱性
上記一般式(1)のポリシロキサン骨格を導入することにより、ガス透過性が向上し、熱硬化後の樹脂層中の残存溶媒量を低減できるので、熱硬化後の樹脂層を加熱した場合(例えば半田加工)においても、残存溶媒の揮発に基づく樹脂層の膨れなどを低減でき、高い耐熱性が得られる。
-Heat resistance By introducing the polysiloxane skeleton of the above general formula (1), the gas permeability is improved and the amount of residual solvent in the resin layer after thermosetting can be reduced, so the resin layer after thermosetting is heated. In this case (for example, soldering), swelling of the resin layer due to volatilization of the residual solvent can be reduced, and high heat resistance can be obtained.

・絶縁信頼性
熱硬化後のパターニングプロセス時のアルカリによって、露出した樹脂層が溶解又は膨潤してしまうと、樹脂層の絶縁信頼性が悪化する。本実施の形態によれば、樹脂層の熱硬化条件(例えば、180℃、1時間)においては、樹脂のフェノール性水酸基と熱架橋剤の反応性官能基とが反応して架橋結合が形成されるとともに酸性官能基を封止することができるため、熱硬化後の樹脂層は、高いアルカリ耐性を有する。また、上記一般式(2)で表わされるポリアルキレン骨格を多く導入すると親水性が上がるが、上記一般式(1)の疎水性の高いポリシロキサン骨格をバランスよく併用しているため、優れた樹脂層の絶縁信頼性を確保することができる。
Insulation reliability If the exposed resin layer is dissolved or swelled by alkali during the patterning process after thermosetting, the insulation reliability of the resin layer is deteriorated. According to the present embodiment, under the thermosetting conditions of the resin layer (for example, 180 ° C., 1 hour), the phenolic hydroxyl group of the resin reacts with the reactive functional group of the thermal crosslinking agent to form a crosslinked bond. In addition, since the acidic functional group can be sealed, the resin layer after thermosetting has high alkali resistance. Further, when a large amount of the polyalkylene skeleton represented by the general formula (2) is introduced, the hydrophilicity increases. However, since the highly hydrophobic polysiloxane skeleton of the general formula (1) is used in a well-balanced manner, it is an excellent resin. The insulation reliability of the layer can be ensured.

・耐折性
樹脂層及び金属箔からなる積層体(樹脂付金属箔)を複数回折り曲げたときに、樹脂層にクラックが入って下地の金属箔が露出してしまうと、フレキシブル配線板に使用することができない。耐折性を得るためには、硬化処理後にも樹脂層が柔軟性を有することが必要となる。本実施の形態に係る樹脂組成物においては、柔軟セグメント(1)及び(2)を組み合わせて用いることで、低弾性化し、引っ張り試験における破断伸度を向上することができるので、耐折性を確保することができる。
・ Folding resistance When multiple layers of resin layers and metal foil (metal foil with resin) are bent and bent, if the resin layer is cracked and the underlying metal foil is exposed, it is used for flexible wiring boards. Can not do it. In order to obtain folding resistance, the resin layer needs to have flexibility even after the curing treatment. In the resin composition according to the present embodiment, by using a combination of the flexible segments (1) and (2), the elasticity can be lowered and the elongation at break in the tensile test can be improved. Can be secured.

以上説明したように、本実施の形態に係る樹脂組成物によれば、配線板の製造時におけるアルカリ加工性、プレス時の回路間埋め込み性及び耐熱性に優れていると共に、耐折性に優れた積層体及び配線板を得ることができる。   As explained above, according to the resin composition according to the present embodiment, it is excellent in alkali workability at the time of production of a wiring board, inter-circuit embedding property and heat resistance at the time of pressing, and excellent in bending resistance. A laminated body and a wiring board can be obtained.

本実施の形態に係る樹脂組成物においては、樹脂がポリイミド樹脂であることが好ましい。樹脂がポリイミド樹脂である場合、樹脂に優れた耐熱性及び耐燃性を付与することができる。   In the resin composition according to the present embodiment, the resin is preferably a polyimide resin. When the resin is a polyimide resin, excellent heat resistance and flame resistance can be imparted to the resin.

また、本実施の形態に係る樹脂組成物においては、柔軟セグメント(1)及び(2)が、それぞれ樹脂の全質量中5〜45質量%の範囲内であり、これら(1)及び(2)の合計は35〜75質量%であることが好ましい。柔軟セグメント(1)及び(2)が各々5質量%以上かつ合計が35質量%以上あることで、柔軟性、耐折性、プレス時の回路間埋め込み性が良好となる。この観点から柔軟セグメント(1)及び(2)の合計は40質量%以上であることがより好ましく、43質量%以上であることがさらに好ましい。柔軟セグメント(1)及び(2)が各々45質量%以下かつ合計が75質量%以下であることで、アルカリ溶解性、耐熱性、絶縁信頼性が良好となる。この観点から柔軟セグメント(1)及び(2)の合計は70質量%以下であることがより好ましく、62質量%以下であることがさらに好ましい。   Moreover, in the resin composition which concerns on this Embodiment, flexible segments (1) and (2) are in the range of 5-45 mass% in the total mass of resin, respectively (1) and (2) Is preferably 35 to 75% by mass. When each of the flexible segments (1) and (2) is 5% by mass or more and the total is 35% by mass or more, the flexibility, folding resistance, and inter-circuit embedding property are improved. From this viewpoint, the total of the flexible segments (1) and (2) is more preferably 40% by mass or more, and further preferably 43% by mass or more. When the flexible segments (1) and (2) are 45% by mass or less and the total is 75% by mass or less, alkali solubility, heat resistance, and insulation reliability are improved. From this viewpoint, the total of the flexible segments (1) and (2) is more preferably 70% by mass or less, and further preferably 62% by mass or less.

樹脂全質量中における柔軟セグメント(1)及び(2)の柔軟セグメントの含有量は、例えば熱分解GC/MSを用いて測定することができる。   The content of the flexible segments (1) and (2) in the total resin mass can be measured using, for example, pyrolysis GC / MS.

また、本実施の形態に係る樹脂組成物においては、熱架橋剤がオキサゾリン基を含む化合物であることが好ましい。熱架橋剤がオキサゾリン基を含む化合物である場合、常温〜120℃程度の低温領域において、フェノール性水酸基との反応性が適度に抑制され、180℃程度の高温領域に関しては顕著に反応性が向上するので、樹脂組成物の保存安定性、アルカリ加工性及びキュア後のアルカリ耐性が優れている。   In the resin composition according to the present embodiment, the thermal crosslinking agent is preferably a compound containing an oxazoline group. When the thermal cross-linking agent is a compound containing an oxazoline group, the reactivity with the phenolic hydroxyl group is moderately suppressed in the low temperature range from room temperature to 120 ° C., and the reactivity is remarkably improved in the high temperature range of about 180 ° C. Therefore, the storage stability of the resin composition, the alkali processability and the alkali resistance after curing are excellent.

本実施の形態に係る積層体は、金属箔と、金属箔の表面上に設けられ、上記記載の樹脂組成物を含む樹脂層と、を具備する樹脂付金属箔である。以下、本実施の形態に係る積層体を樹脂付金属箔とも呼ぶ。本実施の形態に係る樹脂付金属箔において、金属箔の厚さは5〜50μmの範囲内であることが好ましい。   The laminate according to the present embodiment is a metal foil with a resin including a metal foil and a resin layer provided on the surface of the metal foil and including the resin composition described above. Hereinafter, the laminate according to the present embodiment is also referred to as a resin-added metal foil. In the resin-coated metal foil according to the present embodiment, the thickness of the metal foil is preferably in the range of 5 to 50 μm.

ここで、樹脂層は、例えば、上記記載の本実施の形態に係る樹脂組成物を溶媒に溶解した樹脂組成物溶液(以下、ワニスとも呼ぶ)を、金属箔の表面上に塗布し、加熱処理により脱溶媒して得ることができる。   Here, the resin layer is, for example, applied to the surface of the metal foil with a resin composition solution (hereinafter also referred to as varnish) obtained by dissolving the resin composition according to the present embodiment described above in a solvent, and subjected to heat treatment. Can be obtained by removing the solvent.

上記記載の樹脂付金属箔を用いて配線板を作成できる。より具体的には、配線板は、少なくとも一方の表面に回路を有するコア基板と、コア基板の回路を有する表面上に、上記樹脂付金属箔を、樹脂層が当該表面に対向するように積層することにより得られる。   A wiring board can be created using the metal foil with resin described above. More specifically, the wiring board has a core substrate having a circuit on at least one surface, and the metal foil with resin is laminated on the surface having the circuit of the core substrate so that the resin layer faces the surface. Can be obtained.

配線板の製造方法は、より具体的には、以下の通りである。まず、コア基板の回路を有する表面上に、上記記載の樹脂付金属箔を、樹脂層が当該表面に対向するように積層する。次に、積層されたコア基板及び樹脂付金属箔を第1の温度条件下でプレス処理する。次に、金属箔の表面上にレジストマスクを形成し、このレジストマスクを用いて金属箔の一部を選択的に除去して樹脂層表面の一部を露出させる。次いで、樹脂層表面が露出した領域内の樹脂層をアルカリ溶液で選択的に溶解除去してコア回路の表面上の回路の一部を露出させる。そして、一部が溶解除去された樹脂層を第1の温度条件よりも高い温度の第2の温度条件下で熱硬化させて、上記記載の配線板を得ることができる。   More specifically, the method of manufacturing the wiring board is as follows. First, the metal foil with resin described above is laminated on the surface having the circuit of the core substrate so that the resin layer faces the surface. Next, the laminated core substrate and the metal foil with resin are pressed under a first temperature condition. Next, a resist mask is formed on the surface of the metal foil, and a part of the metal foil is selectively removed using the resist mask to expose a part of the resin layer surface. Next, the resin layer in the region where the resin layer surface is exposed is selectively dissolved and removed with an alkaline solution to expose a part of the circuit on the surface of the core circuit. Then, the above-described wiring board can be obtained by thermosetting the resin layer partially dissolved and removed under a second temperature condition higher than the first temperature condition.

このような配線板の製造方法によれば、樹脂層に、(a)フェノール性水酸基並びに上記一般式(1)及び(2)で表される構造を含有する樹脂と、(b)熱架橋剤と、を含む樹脂組成物を用いているので、まず、アルカリ溶液による樹脂層の除去の際には、アルカリ溶液に容易に溶解することができる。また、第1の温度条件下でのプレス加工時には、回路間埋め込み性に優れている。また、第2の温度条件下での熱硬化後の樹脂層中の残存溶媒量を低減できるので、熱硬化後の樹脂層を加熱した場合(例えば、半田加工)においても、残存溶媒の揮発に基づく樹脂層の膨れなどを低減でき、高い耐熱性が得られる。また、熱硬化後に別のアルカリパターニング工程でアルカリによって露出した樹脂層が溶解又は膨潤することがなく、樹脂層の絶縁信頼性が確保される。さらに、得られた配線板においても樹脂層は十分な柔軟性を有するので、複数回折り曲げたときに、樹脂層にクラックが入って下地の金属箔が露出してしまうことがない。   According to such a method of manufacturing a wiring board, the resin layer contains (a) a phenolic hydroxyl group and a resin containing the structure represented by the general formulas (1) and (2), and (b) a thermal crosslinking agent. Therefore, when the resin layer is removed with an alkaline solution, the resin composition can be easily dissolved in the alkaline solution. Further, the inter-circuit embedding property is excellent at the time of press working under the first temperature condition. In addition, since the amount of residual solvent in the resin layer after thermosetting under the second temperature condition can be reduced, the residual solvent can be volatilized even when the resin layer after thermosetting is heated (for example, soldering). The swelling of the resin layer based on it can be reduced and high heat resistance is obtained. In addition, the resin layer exposed by alkali in another alkali patterning step after thermosetting does not dissolve or swell, and the insulation reliability of the resin layer is ensured. Furthermore, since the resin layer also has sufficient flexibility in the obtained wiring board, the resin layer is not cracked and the underlying metal foil is not exposed when bent multiple times.

すなわち、本実施の形態に係る配線板は、少なくとも一方の表面に回路を有するコア基板と、コア基板の前記回路を有する表面上に設けられた樹脂層と、樹脂層の表面上に設けられた金属箔と、を具備し、樹脂層が、(a)フェノール性水酸基並びに上記一般式(1)及び(2)で表される構造を含有する樹脂と、(b)熱架橋剤と、を含む樹脂組成物を用いて形成される。   That is, the wiring board according to the present embodiment is provided on the surface of the core substrate having a circuit on at least one surface thereof, the resin layer provided on the surface of the core substrate having the circuit, and the surface of the resin layer. A metal foil, and the resin layer includes (a) a phenolic hydroxyl group and a resin containing the structure represented by the general formulas (1) and (2), and (b) a thermal crosslinking agent. It is formed using a resin composition.

かかる構成により、樹脂層は、配線板の製造時におけるアルカリ加工性、プレス時の回路間埋め込み性及び耐熱性に優れているため、これを用いた配線板は、微細な導体回路を被覆することができ、アルカリ加工により微細なパターンを形成することが可能であり、実装時の熱負荷がかかる工程(例えば、半田接合の場合はリフローなど)における耐熱性、耐折性に優れている。   With this configuration, the resin layer is excellent in alkali workability at the time of manufacturing the wiring board, inter-circuit embedding property at the time of pressing, and heat resistance. Therefore, the wiring board using the resin layer covers a fine conductor circuit. It is possible to form a fine pattern by alkali processing, and it is excellent in heat resistance and folding resistance in a process (for example, reflow in the case of solder bonding) where a heat load is applied during mounting.

以下、本実施の形態に係る樹脂組成物、積層体及び配線板について、さらに詳細に説明する。   Hereinafter, the resin composition, the laminate, and the wiring board according to the present embodiment will be described in more detail.

<樹脂組成物>
まず、本実施の形態に係る樹脂組成物の各構成要素について説明する。
<Resin composition>
First, each component of the resin composition according to the present embodiment will be described.

(a)フェノール性水酸基及び上記一般式(1)、(2)で表される構造を含有する樹脂
(a)樹脂としては、フェノール性水酸基及び上記一般式(1)、(2)で表される構造、すなわち柔軟セグメント(1)、(2)を含有するものであれば、特に制限されない。(a)樹脂としては、例えば、ポリイミド樹脂、変性ポリウレタン、ポリアミド、フェノール樹脂、レゾール樹脂、及び、ノボラック樹脂が挙げられる。これらの中でも、柔軟性、耐折性などの観点で、(a−1)ポリイミド、(a−2)変性ポリウレタン、(a−3)ポリアミドなどが好ましく、耐熱性、難燃性などの観点で(a−1)ポリイミドがより好ましい。
(A) Resin containing phenolic hydroxyl group and the structure represented by the above general formulas (1) and (2) (a) The resin is represented by phenolic hydroxyl group and the above general formulas (1) and (2). As long as the structure contains the flexible segments (1) and (2). Examples of (a) resin include polyimide resin, modified polyurethane, polyamide, phenol resin, resol resin, and novolac resin. Among these, (a-1) polyimide, (a-2) modified polyurethane, (a-3) polyamide and the like are preferable from the viewpoint of flexibility and folding resistance, and from the viewpoint of heat resistance and flame retardancy. (A-1) Polyimide is more preferable.

(a−1)ポリイミド
フェノール性水酸基及び柔軟セグメント(1)、(2)を含むポリイミドは、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを反応させることにより合成される。
(A-1) Polyimide A polyimide containing a phenolic hydroxyl group and flexible segments (1) and (2) is synthesized by reacting a tetracarboxylic dianhydride and a diamine.

テトラカルボン酸二無水物としては、特に制限はなく、従来公知のテトラカルボン酸二無水物を用いることができる。テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、無水ピロメリット酸、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’−オキシジフタル酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物(以下ODPAとも略称する)、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、2,2−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、1,3−ジヒドロ−1,3−ジオキソ−5−イソベンゾフランカルボン酸−1,4−フェニレンエステル、4−(2,5−ジオキソテトラヒドロフラン−3−イル)−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−1,2−ジカルボン酸無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,5,6−ピリジンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス(4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス(4−(3,4−ジカルボキシベンゾイルオキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ビフェニル二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、2,3,5,6−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロ−3−フラニル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸二無水物、ビシクロ[2,2,2]オクト−7−エン−2,3,5,6テトラカルボン酸二無水物、及び、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物が挙げられる。これらのテトラカルボン酸二無水物は単独あるいは2種以上混合して用いてもよい。   There is no restriction | limiting in particular as tetracarboxylic dianhydride, A conventionally well-known tetracarboxylic dianhydride can be used. Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride. 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-benzophenonetetra Carboxylic dianhydride, 3,3′-oxydiphthalic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (hereinafter also abbreviated as ODPA), bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxy) Fe E) Ethane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) ) Methane dianhydride, 2,2-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) propane, 1,3-dihydro-1,3-dioxo-5-isobenzofurancarboxylic acid-1,4-phenylene ester, 4- (2,5-dioxotetrahydrofuran-3-yl) -1,2,3,4-tetrahydronaphthalene-1,2-dicarboxylic anhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,5,6-pyridinetetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis (4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl) hexafluoropropane dianhydride, 2 , 2-bis (4- (3,4-dicarboxybenzoyloxy) phenyl) hexafluoropropane dianhydride, 2,2'-bis (trifluoromethyl) -4,4'-bis (3,4-di Carboxyphenoxy) biphenyl dianhydride, cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 5 -(2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic dianhydride, bicyclo [2,2,2] Examples include octo-7-ene-2,3,5,6 tetracarboxylic dianhydride and 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride. These tetracarboxylic dianhydrides may be used alone or in combination of two or more.

また、上記一般式(1)で表されるポリシロキサン骨格(柔軟セグメント(1))を含む酸二無水物として、信越化学社製のX−22−2290ASなどが例示できる。また、上記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン骨格(柔軟セグメント(2))を含む酸二無水物としては、東邦化学工業社製のビスフェノールA骨格にアルキレンオキシドを付加した両末端酸二無水物のCRD−2(エチレンオキシド2モル付加体)、CRD−18(エチレンオキシド18モル付加体)、CRD−30(エチレンオキシド30モル付加体)、CRD−060(プロピレンオキシド6モル付加体)、CRD−101(プロピレンオキシド10モル付加体)CRD−181(プロピレンオキシド18モル付加体)などが挙げられる。   Moreover, X-22-2290AS by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. can be illustrated as an acid dianhydride containing the polysiloxane skeleton (soft segment (1)) represented by the general formula (1). Moreover, as an acid dianhydride containing the polyoxyalkylene skeleton represented by the general formula (2) (flexible segment (2)), both terminal acids obtained by adding alkylene oxide to a bisphenol A skeleton manufactured by Toho Chemical Industry Co., Ltd. Dianhydrides CRD-2 (ethylene oxide 2 mol adduct), CRD-18 (ethylene oxide 18 mol adduct), CRD-30 (ethylene oxide 30 mol adduct), CRD-060 (propylene oxide 6 mol adduct), CRD -101 (propylene oxide 10 mol adduct) CRD-181 (propylene oxide 18 mol adduct) and the like.

フェノール性水酸基を含有するジアミンとしては、例えば、2,4−ジアミノフェノール、2,5−ジアミノフェノール、2,6−ジアミノフェノール、3,5−ジアミノフェノール、2,5−ジアミノベンゼン−1,4−ジオール、4,6−ジアミノベンゼン−1,3−ジオール、4,4’−ジアミノビフェニル−3,3’−ジオール、3,3’−ジアミノビフェニル−4,4’−ジオール、5,5’−スルホニル−ビス(2−アミノフェノール)、4,4’−スルホニル−ビス(2−アミノフェノール)、5,5’−チオ−ビス(2−アミノフェノール)、4,4’−チオ−ビス(2−アミノフェノール)、5,5’−オキシ−ビス(2−アミノフェノール)、4,4’−オキシ−ビス(2−アミノフェノール)、5,5’−メチレン−ビス(2−アミノフェノール)、4,4’−メチレン−ビス(2−アミノフェノール)、5,5’−(プロパン−2,2−ジイル)−ビス(2−アミノフェノール)、4,4’−(プロパン−2,2−ジイル)−ビス(2−アミノフェノール)、5,5’−フェニレン−ビス(2−アミノフェノール)、及び、4,4’−フェニレン−ビス(2−アミノフェノール)2,2’−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(以下6FAPとも略称する)が挙げられる。   Examples of the diamine containing a phenolic hydroxyl group include 2,4-diaminophenol, 2,5-diaminophenol, 2,6-diaminophenol, 3,5-diaminophenol, and 2,5-diaminobenzene-1,4. -Diol, 4,6-diaminobenzene-1,3-diol, 4,4'-diaminobiphenyl-3,3'-diol, 3,3'-diaminobiphenyl-4,4'-diol, 5,5 ' -Sulfonyl-bis (2-aminophenol), 4,4'-sulfonyl-bis (2-aminophenol), 5,5'-thio-bis (2-aminophenol), 4,4'-thio-bis ( 2-aminophenol), 5,5′-oxy-bis (2-aminophenol), 4,4′-oxy-bis (2-aminophenol), 5,5′-methylene- (2-aminophenol), 4,4′-methylene-bis (2-aminophenol), 5,5 ′-(propane-2,2-diyl) -bis (2-aminophenol), 4,4 ′ -(Propane-2,2-diyl) -bis (2-aminophenol), 5,5'-phenylene-bis (2-aminophenol), and 4,4'-phenylene-bis (2-aminophenol) 2,2′-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane (hereinafter also abbreviated as 6FAP).

上記一般式(1)で表されるポリシロキサン骨格(柔軟セグメント(1))を有するジアミン類としては、例えば、α,ω−ビス(2−アミノエチル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(4−アミノブチル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(4−アミノフェニル)ポリジメチルシロキサン、及び、α,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジフェニルシロキサンが挙げられ、市販品では信越化学工業社製のPAM−E、KF−8010、X−22−161A、X−22−1660B−3などが挙げられる。   Examples of the diamine having a polysiloxane skeleton represented by the general formula (1) (flexible segment (1)) include α, ω-bis (2-aminoethyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis ( 3-aminopropyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis (4-aminobutyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis (4-aminophenyl) polydimethylsiloxane, and α, ω-bis (3-amino) Propyl) polydiphenylsiloxane, and commercially available products include PAM-E, KF-8010, X-22-161A, and X-22-1660B-3 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

また、上記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン骨格(柔軟セグメント(2))を有するジアミン類としては、米ハンツマン社製のジェファーミンED−600、ED−900、ED−2003、EDR−148、HK−511などのポリオキシエチレンジアミンや、ジェファーミンD−230、D−400、D−2000、D−4000、独BASF社製のポリエーテルアミンD−230、D−400、D−2000などのポリオキシプロピレンジアミンや、ジェファーミンXTJ−542、XTJ−533、XTJ−536などのポリテトラメチレンエチレン基を持つものなどが使用例として挙げられる。   Examples of diamines having a polyoxyalkylene skeleton (flexible segment (2)) represented by the general formula (2) include Jeffamine ED-600, ED-900, ED-2003, and EDR manufactured by Huntsman. -148, HK-511 and other polyoxyethylenediamines, Jeffamine D-230, D-400, D-2000, D-4000, polyether amine D-230, D-400, D-2000 manufactured by BASF Germany Examples thereof include polyoxypropylenediamines such as those having a polytetramethyleneethylene group such as Jeffamine XTJ-542, XTJ-533, and XTJ-536.

更にこれらのジアミンと併せて、既知のジアミンを用いることもでき、具体的には、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)アルカン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)アルカン、1,5−ビス(4−アミノフェノキシ)アルカン、1,4−ジアミノベンゼン、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−ジアミノトルエン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、3,7−ジアミノ−ジメチルジベンゾチオフェン−5,5−ジオキシド、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、4,4’−ジアミノベンズアニリド、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)−2,2−ジメチルプロパン、1,2−ビス[2−(4−アミノフェノキシ)エトキシ]エタン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、5−アミノ−1−(4−アミノメチル)−1,3,3−トリメチルインダン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(以下、APBとも略称する)、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4、4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、トリメチレン−ビス(4−アミノベンゾエート)、4−アミノフェニル−4−アミノベンゾエート、2−メチル−4−アミノフェニル−4−アミノベンゾエート、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、1−アミノ−3−アミノメチル−3,5,5−トリメチルシクロヘキサン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシベンゼン)などが挙げられる。   Furthermore, known diamines can be used in combination with these diamines. Specifically, 1,3-bis (4-aminophenoxy) alkane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) alkane, 1, 5-bis (4-aminophenoxy) alkane, 1,4-diaminobenzene, 1,3-diaminobenzene, 2,4-diaminotoluene, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3, 4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-bis (trifluoromethyl) -4, 4'-diaminobiphenyl, 3,7-diamino-dimethyldibenzothiophene-5,5-dioxide, 4,4'-diaminobenzofe 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′-bis (4-aminophenyl) sulfide, 4,4′-diaminobenzanilide, 1,3-bis (4-aminophenoxy) -2,2-dimethyl Propane, 1,2-bis [2- (4-aminophenoxy) ethoxy] ethane, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 5-amino-1- (4-aminomethyl) -1,3 3-trimethylindane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (hereinafter also abbreviated as APB) ), 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 2,2-bis (4-aminophenoxyphe) Propane, trimethylene-bis (4-aminobenzoate), 4-aminophenyl-4-aminobenzoate, 2-methyl-4-aminophenyl-4-aminobenzoate, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] Sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 1-amino-3-aminomethyl-3,5,5 -Trimethylcyclohexane, 1,3-bis (4-aminophenoxybenzene) and the like.

本実施の形態に係る樹脂組成物であって、樹脂がポリイミドである場合、ポリイミド1g当たりのフェノール性水酸基の量は、0.20〜2.50ミリモルであることが好ましい。フェノール性水酸基の量が0.20ミリモル以上であることで、樹脂組成物に良好なアルカリ溶解性を付与することができ、また熱架橋剤の反応性官能基との架橋点を十分な量とすることができ、耐熱性を良好にすることができる。フェノール性水酸基の量が2.50ミリモル以下であることで、キュア時に熱架橋剤とフェノール性水酸基が反応した後の、フェノール性水酸基の残量が十分に低くなるため、キュア後のアルカリ耐性を良好とすることができ、かつ架橋点の量が適切であるために、耐折性を良好なものとすることができる。   In the resin composition according to the present embodiment, when the resin is polyimide, the amount of phenolic hydroxyl group per gram of polyimide is preferably 0.20 to 2.50 mmol. When the amount of the phenolic hydroxyl group is 0.20 mmol or more, good alkali solubility can be imparted to the resin composition, and the crosslinking point with the reactive functional group of the thermal crosslinking agent is set to a sufficient amount. Heat resistance can be improved. Since the amount of the phenolic hydroxyl group is 2.50 mmol or less, the residual amount of the phenolic hydroxyl group after the reaction between the thermal crosslinking agent and the phenolic hydroxyl group at the time of curing becomes sufficiently low. Since it can be made good and the amount of crosslinking points is appropriate, the folding resistance can be made good.

上記一般式(1)、(2)に示す柔軟セグメント(1)、(2)は、それぞれポリイミド全質量中の5〜45質量%を占めることが樹脂組成物の柔軟性、耐折性、アルカリ溶解性、耐熱性、絶縁信頼性、プレス時の回路埋め込み性の点で好ましい。5質量%以上であることで、柔軟性、耐折性、プレス時の回路埋め込み性を良好とすることができ好ましい。より好ましくは15質量%以上であり、さらに好ましくは18質量%以上であり、特に好ましくは20質量%以上である。45質量%以下であることで、アルカリ溶解性、耐熱性、絶縁信頼性を良好とすることができ好ましい。より好ましくは40質量%以下であり、さらに好ましくは35質量%以下である。   The flexible segments (1) and (2) shown in the general formulas (1) and (2) each occupy 5 to 45% by mass in the total mass of the polyimide. It is preferable in terms of solubility, heat resistance, insulation reliability, and circuit embedding during pressing. It is preferable that the content is 5% by mass or more because flexibility, folding resistance, and circuit embedding during pressing can be improved. More preferably, it is 15 mass% or more, More preferably, it is 18 mass% or more, Most preferably, it is 20 mass% or more. When the content is 45% by mass or less, alkali solubility, heat resistance, and insulation reliability can be improved, which is preferable. More preferably, it is 40 mass% or less, More preferably, it is 35 mass% or less.

水酸基及び上記一般式(1)、(2)に示す柔軟セグメント(1)、(2)を含むポリイミドは、例えば、以下のような方法で得られる。まず反応原料を室温から80℃で重縮合反応することにより、ポリアミド酸構造からなるポリイミド前駆体が製造される。次に、このポリイミド前駆体を100℃〜400℃の加熱による熱イミド化、又は無水酢酸などのイミド化剤を用いて化学イミド化することにより、ポリアミド酸に対応する繰り返し単位構造を有するポリイミドが得られる。加熱してイミド化する場合、副生する水を除去するために、共沸剤(好ましくは、トルエンやキシレン)を共存させて、ディーンシュターク型脱水装置を用いて、還流下、脱水を行うことも好ましい。   The polyimide containing a hydroxyl group and the flexible segments (1) and (2) represented by the general formulas (1) and (2) can be obtained, for example, by the following method. First, a polyimide precursor having a polyamic acid structure is produced by subjecting a reaction raw material to a polycondensation reaction from room temperature to 80 ° C. Next, this polyimide precursor is thermally imidized by heating at 100 ° C. to 400 ° C., or chemically imidized using an imidizing agent such as acetic anhydride, whereby a polyimide having a repeating unit structure corresponding to polyamic acid is obtained. can get. In the case of imidization by heating, in order to remove by-product water, dehydration is carried out under reflux using a Dean-Stark type dehydrator in the presence of an azeotropic agent (preferably toluene or xylene). Is also preferable.

また、80℃〜220℃で反応を行うことにより、ポリイミド前駆体の合成と熱イミド化反応とを共に進行させて、ポリイミドを得ることも好ましい。例えば、ジアミン成分と酸二無水物成分とを有機溶媒中に懸濁又は溶解させてから、80℃〜220℃の加熱下に反応を行い、ポリイミド前駆体の生成と脱水イミド化とを共に行わせることにより、ポリイミドを得ることができる。   Moreover, it is also preferable to obtain a polyimide by carrying out the reaction at 80 ° C. to 220 ° C. to advance both the synthesis of the polyimide precursor and the thermal imidization reaction. For example, after suspending or dissolving a diamine component and an acid dianhydride component in an organic solvent, the reaction is carried out under heating at 80 ° C. to 220 ° C., and both generation of a polyimide precursor and dehydration imidization are performed. By making it, a polyimide can be obtained.

また、ポリイミド前駆体のポリマー主鎖の末端が、モノアミン誘導体又はカルボン酸誘導体からなる末端封止剤で末端封止することも可能である。ポリイミドのポリマー主鎖の末端が封止されることで、末端官能基に由来する貯蔵安定性に優れる。   Moreover, the terminal of the polymer main chain of the polyimide precursor can be end-capped with an end-capping agent made of a monoamine derivative or a carboxylic acid derivative. By sealing the terminal of the polymer main chain of polyimide, the storage stability derived from the terminal functional group is excellent.

モノアミン誘導体からなる末端封止剤としては、例えば、アニリン、o−トルイジン、m−トルイジン、p−トルイジン、2,3−キシリジン、2,6−キシリジン、3,4−キシリジン、3,5−キシリジン、o−クロロアニリン、m−クロロアニリン、p−クロロアニリン、o−ブロモアニリン、m−ブロモアニリン、p−ブロモアニリン、o−ニトロアニリン、p−ニトロアニリン、m−ニトロアニリン、o−アミノフェノール、p−アミノフェノール、m−アミノフェノール,o−アニシジン、m−アニシジン、p−アニシジン,o−フェネチジン、m−フェネチジン、p−フェネチジン、o−アミノベンズアルデヒド、p−アミノベンズアルデヒド、m−アミノベンズアルデヒド、o−アミノベンズニトリル、p−アミノベンズニトリル、m−アミノベンズニトリル,2−アミノビフェニル,3−アミノビフェニル、4−アミノビフェニル、2−アミノフェニルフェニルエーテル、3−アミノフェニルフェニルエーテル,4−アミノフェニルフェニルエーテル、2−アミノベンゾフェノン、3−アミノベンゾフェノン、4−アミノベンゾフェノン、2−アミノフェニルフェニルスルフィド、3−アミノフェニルフェニルスルフィド、4−アミノフェニルフェニルスルフィド、2−アミノフェニルフェニルスルホン、3−アミノフェニルフェニルスルホン、4−アミノフェニルフェニルスルホン、α−ナフチルアミン、β−ナフチルアミン、1−アミノ−2−ナフトール、5−アミノ−1−ナフトール、2−アミノ−1−ナフトール、4−アミノ−1−ナフトール、5−アミノ−2−ナフトール、7−アミノ−2−ナフトール、8−アミノ−1−ナフトール、8−アミノ−2−ナフトール、1−アミノアントラセン、2−アミノアントラセン、及び、9−アミノアントラセンの芳香族モノアミンを挙げることができ、この中で好ましくはアニリンの誘導体が使用される。これらは単独でも、2種以上を混合して用いることもできる。   Examples of the end capping agent comprising a monoamine derivative include aniline, o-toluidine, m-toluidine, p-toluidine, 2,3-xylidine, 2,6-xylidine, 3,4-xylidine, and 3,5-xylidine. O-chloroaniline, m-chloroaniline, p-chloroaniline, o-bromoaniline, m-bromoaniline, p-bromoaniline, o-nitroaniline, p-nitroaniline, m-nitroaniline, o-aminophenol P-aminophenol, m-aminophenol, o-anisidine, m-anisidine, p-anisidine, o-phenetidine, m-phenetidine, p-phenetidine, o-aminobenzaldehyde, p-aminobenzaldehyde, m-aminobenzaldehyde, o-aminobenzonitrile, p-aminobenzonitrile Ryl, m-aminobenzonitrile, 2-aminobiphenyl, 3-aminobiphenyl, 4-aminobiphenyl, 2-aminophenylphenyl ether, 3-aminophenylphenyl ether, 4-aminophenylphenyl ether, 2-aminobenzophenone, 3 -Aminobenzophenone, 4-aminobenzophenone, 2-aminophenyl phenyl sulfide, 3-aminophenyl phenyl sulfide, 4-aminophenyl phenyl sulfide, 2-aminophenyl phenyl sulfone, 3-aminophenyl phenyl sulfone, 4-aminophenyl phenyl sulfone , Α-naphthylamine, β-naphthylamine, 1-amino-2-naphthol, 5-amino-1-naphthol, 2-amino-1-naphthol, 4-amino-1-naphthol, 5-amino Aromatic monoamines of 2-naphthol, 7-amino-2-naphthol, 8-amino-1-naphthol, 8-amino-2-naphthol, 1-aminoanthracene, 2-aminoanthracene, and 9-aminoanthracene Of these, derivatives of aniline are preferably used. These may be used alone or in combination of two or more.

カルボン酸誘導体からなる末端封止剤としては、主に無水カルボン酸誘導体が挙げられ、無水フタル酸、2,3−ベンゾフェノンジカルボン酸無水物、3,4−ベンゾフェノンジカルボン酸無水物、2,3−ジカルボキシフェニルフェニルエーテル無水物、3,4−ジカルボキシフェニルフェニルエーテル無水物、2,3−ビフェニルジカルボン酸無水物、3,4−ビフェニルジカルボン酸無水物、2,3−ジカルボキシフェニルフェニルスルホン無水物、3,4−ジカルボキシフェニルフェニルスルホン無水物、2,3−ジカルボキシフェニルフェニルスルフィド無水物、3,4−ジカルボキシフェニルフェニルスルフィド無水物、1,2−ナフタレンジカルボン酸無水物、2,3−ナフタレンジカルボン酸無水物、1,8−ナフタレンジカルボン酸無水物、1,2−アントラセンジカルボン酸無水物、2,3−アントラセンジカルボン酸無水物、1,9−アントラセンジカルボン酸無水物などの芳香族ジカルボン酸無水物が挙げられる。これらの芳香族ジカルボン酸無水物の中で、好ましくは無水フタル酸が使用される。これらは単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。   Examples of the terminal blocking agent comprising a carboxylic acid derivative include carboxylic anhydride derivatives, such as phthalic anhydride, 2,3-benzophenone dicarboxylic anhydride, 3,4-benzophenone dicarboxylic anhydride, 2,3- Dicarboxyphenyl phenyl ether anhydride, 3,4-dicarboxyphenyl phenyl ether anhydride, 2,3-biphenyl dicarboxylic acid anhydride, 3,4-biphenyl dicarboxylic acid anhydride, 2,3-dicarboxyphenyl phenyl sulfone anhydride 3,4-dicarboxyphenyl phenyl sulfone anhydride, 2,3-dicarboxyphenyl phenyl sulfide anhydride, 3,4-dicarboxyphenyl phenyl sulfide anhydride, 1,2-naphthalenedicarboxylic acid anhydride, 2, 3-Naphthalenedicarboxylic anhydride, 1,8-naphthalene Carboxylic acid anhydride, 1,2-anthracene dicarboxylic acid anhydride, 2,3-anthracene dicarboxylic acid anhydride, 1,9-aromatic dicarboxylic acid anhydrides such as anthracene dicarboxylic acid anhydride. Of these aromatic dicarboxylic acid anhydrides, phthalic anhydride is preferably used. These may be used alone or in combination of two or more.

ポリイミドの合成に用いる溶媒としては、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどのアミド溶媒、γ−ブチロラクトン(以下、「GBL」とも略称する)、γ−バレロラクトンなどのラクトン溶媒、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、ヘキサメチルスルホキシドなどの含硫黄系溶媒、クレゾール、フェノールなどのフェノール系溶媒、ジエチレングリコールジメチルエーテル(ジグライム)、トリエチレングリコールジメチルエーテル(トリグライム)、テトラグライム、ジオキサン、テトラヒドロフランなどのエーテル溶媒、安息香酸ブチル、安息香酸エチル、安息香酸メチルなどのエステル溶媒が挙げられる。また、これらの有機溶媒は、単独で使用してもよく、複数を併用してもよい。   As a solvent used for the synthesis of polyimide, amide solvents such as N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, γ -Butyrolactone (hereinafter also abbreviated as "GBL"), lactone solvents such as γ-valerolactone, sulfur-containing solvents such as dimethyl sulfoxide, diethyl sulfoxide and hexamethyl sulfoxide, phenol solvents such as cresol and phenol, diethylene glycol dimethyl ether ( Ether solvents such as diglyme), triethylene glycol dimethyl ether (triglyme), tetraglyme, dioxane, tetrahydrofuran, and ester solvents such as butyl benzoate, ethyl benzoate, and methyl benzoate. I can get lost. These organic solvents may be used alone or in combination.

特に限定するものではないが、ポリイミドの分子量を高くし、耐熱性や耐折性を良好とする観点から、ポリイミド中の酸二無水物のモル数(A)と、ジアミンのモル数(B)との比率(A)/(B)は、0.3〜2.0であることが好ましく、より好ましくは、0.5〜1.3である。   Although it does not specifically limit, from the viewpoint of increasing the molecular weight of polyimide and improving heat resistance and folding resistance, the number of moles of acid dianhydride in the polyimide (A) and the number of moles of diamine (B) The ratio (A) / (B) is preferably 0.3 to 2.0, and more preferably 0.5 to 1.3.

水酸基含有ポリイミドの重量平均分子量は、5000以上500000以下であることが好ましい。ここで、重量平均分子量とは、既知の数平均分子量のポリスチレンを標準として、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによって測定される分子量をいう。重量平均分子量は10000以上200000以下がより好ましく、15000以上100000以下がさらに好ましい。重量平均分子量が5000以上500000以下であると樹脂組成物の溶液を用いて得られる保護膜の強伸度が改善され、機械物性に優れる。さらに塗布時に所望する膜厚にて滲み無く塗布できる。   The hydroxyl group-containing polyimide preferably has a weight average molecular weight of 5,000 or more and 500,000 or less. Here, the weight average molecular weight refers to a molecular weight measured by gel permeation chromatography using polystyrene having a known number average molecular weight as a standard. The weight average molecular weight is more preferably from 10,000 to 200,000, and even more preferably from 15,000 to 100,000. When the weight average molecular weight is 5,000 or more and 500,000 or less, the strength and elongation of the protective film obtained using the resin composition solution is improved, and the mechanical properties are excellent. Further, it can be applied without blurring at a desired film thickness at the time of application.

(a−2)変性ポリウレタン
水酸基及び上記一般式(1)、(2)の柔軟セグメント(1)、(2)を含む変性ポリウレタンとしては、ウレタン結合に、ウレア結合を介してジアミン骨格を導入するウレア変性ポリウレタンが挙げられるが、イミド結合、アミド結合、アミドイミド結合などを介して変性されたポリウレタンであっても構わない。
(A-2) Modified polyurethane As a modified polyurethane containing a hydroxyl group and the flexible segments (1) and (2) of the above general formulas (1) and (2), a diamine skeleton is introduced into a urethane bond via a urea bond. Urea-modified polyurethane is exemplified, but polyurethane modified through an imide bond, an amide bond, an amide-imide bond, or the like may be used.

ウレア変性ポリウレタンはジイソシアネートとジオールとジアミンとを反応させることにより合成される。   Urea-modified polyurethane is synthesized by reacting diisocyanate, diol and diamine.

ジイソシアネート化合物の具体例としては、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、p−キシレンジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、4、4’−ジフェニルメタンジイソシアネート(以下、MDIとも略称する)、1,5−ナフタレンジイソシアネート、3,3’−ジメチルビフェニルー4,4’−ジイソシアネート、へキサンメチレンジイソシアネート、トリメチルへキサンメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、メチルシキロヘキシルー2,4−(又は2,6)ジイソシアネート、1,3−ビス(イソシアネートメチル)シクロへキサンなどを挙げることができる。これらは単独で用いても組み合わせて用いてもよい。   Specific examples of the diisocyanate compound include 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, p-xylene diisocyanate, m-xylene diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate (hereinafter also abbreviated as MDI), 1,5-naphthalene diisocyanate, 3,3′-dimethylbiphenyl-4,4′-diisocyanate, hexanemethylene diisocyanate, trimethylhexanemethylene diisocyanate, lysine diisocyanate, isophorone diisocyanate, 4,4′-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), Examples thereof include methylcyclohexyl 2,4- (or 2,6) diisocyanate and 1,3-bis (isocyanate methyl) cyclohexane. These may be used alone or in combination.

上記柔軟セグメント(1)を含むジオールとしては、両末端をヒドロキシ基で変性したKF−6001、KF−6002、KF−6003などが挙げられ、上記柔軟セグメント(2)の構造を含むジオールとしては、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加体、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加体、ビスフェノールFのエチレンオキサイド付加体、ビスフェノールFのプロピレンオキサイド付加体、水添ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加体、水添ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加体などが挙げられる。   Examples of the diol containing the flexible segment (1) include KF-6001, KF-6002, and KF-6003 modified at both ends with a hydroxyl group. Examples of the diol containing the structure of the flexible segment (2) include Ethylene oxide adduct of bisphenol A, propylene oxide adduct of bisphenol A, ethylene oxide adduct of bisphenol F, propylene oxide adduct of bisphenol F, ethylene oxide adduct of hydrogenated bisphenol A, propylene oxide addition of hydrogenated bisphenol A Examples include the body.

また、その他ジオール化合物の具体例としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエステルポリオール、ポリカーボネートジオール、ネオペンチルグリコール、1,3−ブチレングリコール、1,6−へキサンジオール、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタンジオール、1,4−ビス−β−ヒドロキシエトキシシクロヘキサン、シクロヘキサンジメタノール、トリシクロデカンジメタノール、水添ビスフェノールA、水添ビスフェノールF、ヒドロキノンジヒドロキシエチルエーテル、p−キシレングリコール、ジヒドロキシエチルスルホン、ビスー(2−ヒドロキシエチル)−2,4−トリレンジカルバメート、2,4−トリレンービスー(2−ヒドロキシエチル)−m−キシレンカルバメート、ビス(2−ヒドロキシエチル)イソフタレート、及び市販されているポリカーボネートジオールやポリブタジエンジオールなどが挙げられ、上記柔軟セグメント(1)及び/又は柔軟セグメント(2)の構造を含むジオールと組み合わせて使用することができる。   Specific examples of other diol compounds include ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyester polyol, polycarbonate diol, neopentyl glycol, 1,3. -Butylene glycol, 1,6-hexanediol, 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol, 1,4-bis-β-hydroxyethoxycyclohexane, cyclohexanedimethanol, tricyclodecane dimethanol, water Bisphenol A, hydrogenated bisphenol F, hydroquinone dihydroxyethyl ether, p-xylene glycol, dihydroxyethyl sulfone, bis (2 Hydroxyethyl) -2,4-tolylene dicarbamate, 2,4-tolylene-bis- (2-hydroxyethyl) -m-xylene carbamate, bis (2-hydroxyethyl) isophthalate, and commercially available polycarbonate diol and polybutadiene diol And can be used in combination with a diol containing the structure of the flexible segment (1) and / or the flexible segment (2).

また、フェノール性水酸基を含有するジアミンとしては、例えば、2,4−ジアミノフェノール、2,5−ジアミノフェノール、2,6−ジアミノフェノール、3,5−ジアミノフェノール、2,5−ジアミノベンゼン−1,4−ジオール、4,6−ジアミノベンゼン−1,3−ジオール、4,4’−ジアミノビフェニル−3,3’−ジオール、3,3’−ジアミノビフェニル−4,4’−ジオール、5,5’−スルホニル−ビス(2−アミノフェノール)、4,4’−スルホニル−ビス(2−アミノフェノール)、5,5’−チオ−ビス(2−アミノフェノール)、4,4’−チオ−ビス(2−アミノフェノール)、5,5’−オキシ−ビス(2−アミノフェノール)、4,4’−オキシ−ビス(2−アミノフェノール)、5,5’−メチレン−ビス(2−アミノフェノール)、4,4’−メチレン−ビス(2−アミノフェノール)、5,5’−(プロパン−2,2−ジイル)−ビス(2−アミノフェノール)、4,4’−(プロパン−2,2−ジイル)−ビス(2−アミノフェノール)、5,5’−フェニレン−ビス(2−アミノフェノール)、及び、4,4’−フェニレン−ビス(2−アミノフェノール)2,2’−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(以下6FAPとも略称する)が挙げられる。   Examples of the diamine containing a phenolic hydroxyl group include 2,4-diaminophenol, 2,5-diaminophenol, 2,6-diaminophenol, 3,5-diaminophenol, and 2,5-diaminobenzene-1. , 4-diol, 4,6-diaminobenzene-1,3-diol, 4,4′-diaminobiphenyl-3,3′-diol, 3,3′-diaminobiphenyl-4,4′-diol, 5, 5'-sulfonyl-bis (2-aminophenol), 4,4'-sulfonyl-bis (2-aminophenol), 5,5'-thio-bis (2-aminophenol), 4,4'-thio- Bis (2-aminophenol), 5,5′-oxy-bis (2-aminophenol), 4,4′-oxy-bis (2-aminophenol), 5,5′-methyl Bis (2-aminophenol), 4,4′-methylene-bis (2-aminophenol), 5,5 ′-(propane-2,2-diyl) -bis (2-aminophenol), 4, 4 '-(propane-2,2-diyl) -bis (2-aminophenol), 5,5'-phenylene-bis (2-aminophenol), and 4,4'-phenylene-bis (2-amino) Phenol) 2,2′-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane (hereinafter also abbreviated as 6FAP).

また、上記一般式(1)、(2)に示す柔軟セグメント(1)、(2)をポリマー骨格中に導入する場合、これらの構造を含むジアミンを用いて、ウレア結合を介して導入してもよい。   In addition, when the flexible segments (1) and (2) shown in the general formulas (1) and (2) are introduced into the polymer skeleton, they are introduced via urea bonds using diamines containing these structures. Also good.

上記一般式(1)で表されるポリシロキサン骨格(柔軟セグメント(1))を有するジアミン類としては、例えば、α,ω−ビス(2−アミノエチル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(4−アミノブチル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(4−アミノフェニル)ポリジメチルシロキサン、及び、α,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジフェニルシロキサンが挙げられ、市販品では信越化学工業社製のPAM−E、KF−8010、X−22−161A、X−22−1660B−3などが挙げられる。   Examples of the diamine having a polysiloxane skeleton represented by the general formula (1) (flexible segment (1)) include α, ω-bis (2-aminoethyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis ( 3-aminopropyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis (4-aminobutyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis (4-aminophenyl) polydimethylsiloxane, and α, ω-bis (3-amino) Propyl) polydiphenylsiloxane, and commercially available products include PAM-E, KF-8010, X-22-161A, and X-22-1660B-3 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

上記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン骨格(柔軟セグメント(2))を有するジアミン類としては、米ハンツマン社製のジェファーミンED−600、ED−900、ED−2003、EDR−148、HK−511などのポリオキシエチレンジアミンや、ジェファーミンD−230、D−400、D−2000、D−4000、独BASF社製のポリエーテルアミンD−230、D−400、D−2000などのポリオキシプロピレンジアミンや、ジェファーミンXTJ−542、XTJ−533、XTJ−536などのポリテトラメチレンエチレン基を持つものなどが使用例として挙げられる。   Examples of diamines having a polyoxyalkylene skeleton (flexible segment (2)) represented by the general formula (2) include Jeffamine ED-600, ED-900, ED-2003, and EDR-148 manufactured by Huntsman. , Polyoxyethylenediamine such as HK-511, Jeffamine D-230, D-400, D-2000, D-4000, polyether amine D-230, D-400, D-2000 manufactured by BASF Germany Examples of use include polyoxypropylene diamine and those having polytetramethylene ethylene groups such as Jeffamine XTJ-542, XTJ-533, and XTJ-536.

変性ポリウレタン1g当たりのフェノール性水酸基の量は0.20〜2.50ミリモルであることが好ましい。フェノール性水酸基の量が0.20ミリモル以上であることで、樹脂組成物に良好なアルカリ溶解性を付与することができ、また熱架橋剤の反応性官能基との架橋点を十分な量とすることができ、耐熱性を良好にすることができる。フェノール性水酸基の量が2.50ミリモル以下であることで、キュア時に熱架橋剤とフェノール性水酸基が反応した後の、フェノール性水酸基の残量が十分に低くなるため、キュア後のアルカリ耐性を良好とすることができ、かつ架橋点の量が適切であるために、耐折性を良好なものとすることができる。   The amount of phenolic hydroxyl group per gram of modified polyurethane is preferably 0.20 to 2.50 mmol. When the amount of the phenolic hydroxyl group is 0.20 mmol or more, good alkali solubility can be imparted to the resin composition, and the crosslinking point with the reactive functional group of the thermal crosslinking agent is set to a sufficient amount. Heat resistance can be improved. Since the amount of the phenolic hydroxyl group is 2.50 mmol or less, the residual amount of the phenolic hydroxyl group after the reaction between the thermal crosslinking agent and the phenolic hydroxyl group at the time of curing becomes sufficiently low. Since it can be made good and the amount of crosslinking points is appropriate, the folding resistance can be made good.

上記一般式(1)、(2)の柔軟セグメント(1)、(2)は変性ポリウレタン全質量中の5〜45質量%を占めることが樹脂組成物の柔軟性、耐折性、アルカリ溶解性、耐熱性、絶縁信頼性、プレス時の回路埋め込み性の点で好ましい。5質量%以上であることで、柔軟性、耐折性、プレス時の回路埋め込み性を良好とすることができ好ましい。より好ましくは15質量%以上であり、さらに好ましくは18質量%以上であり、特に好ましくは20質量%以上である。45質量%以下であることで、アルカリ溶解性、耐熱性、絶縁信頼性を良好とすることができ好ましい。より好ましくは40質量%以下であり、さらに好ましくは35質量%以下である。   The flexible segments (1) and (2) of the above general formulas (1) and (2) occupy 5 to 45% by mass in the total mass of the modified polyurethane. The flexibility, folding resistance and alkali solubility of the resin composition From the viewpoint of heat resistance, insulation reliability, and circuit embedding property during pressing. It is preferable that the content is 5% by mass or more because flexibility, folding resistance, and circuit embedding during pressing can be improved. More preferably, it is 15 mass% or more, More preferably, it is 18 mass% or more, Most preferably, it is 20 mass% or more. When the content is 45% by mass or less, alkali solubility, heat resistance, and insulation reliability can be improved, which is preferable. More preferably, it is 40 mass% or less, More preferably, it is 35 mass% or less.

本実施の形態の、フェノール性水酸基と上記一般式(1)、(2)に示す柔軟セグメント(1)、(2)を含む変性ポリウレタンは、無溶媒もしくは溶媒中で、ジイソシアネート化合物、ジアミン化合物及びジオール化合物を20〜120℃程度の温度で反応させることによって得ることもできるが、フェノール性水酸基を含むジアミンを用いる場合、あらかじめ、無溶媒もしくは溶媒中で、ジイソシアネート化合物とポリオール化合物を20〜120℃程度の温度で反応させ、プレポリマーを合成した後、フェノール性水酸基を含有するジアミン化合物を加え、20〜120℃程度の温度で鎖延長反応させて得る方法が反応を制御し易いため好適である。前記反応は、ウレタン化触媒の存在下で行うのが好適である。   The modified polyurethane containing the phenolic hydroxyl group and the flexible segments (1) and (2) shown in the general formulas (1) and (2) of the present embodiment is a diisocyanate compound, a diamine compound and Although it can also be obtained by reacting the diol compound at a temperature of about 20 to 120 ° C., when a diamine containing a phenolic hydroxyl group is used, the diisocyanate compound and the polyol compound are used in a solvent-free or solvent beforehand at 20 to 120 ° C. A method obtained by reacting at a temperature of about 1 to synthesize a prepolymer, and then adding a diamine compound containing a phenolic hydroxyl group and causing a chain extension reaction at a temperature of about 20 to 120 ° C. is preferable because the reaction can be easily controlled. . The reaction is preferably performed in the presence of a urethanization catalyst.

特に限定するものではないが、変性ポリウレタンの分子量を高くし、耐熱性や耐折性を良好とする観点から、ジイソシアネートのモル数(C)と、ジオールのモル数(D)及びジアミンのモル数(E)の合計との比率[(C)/((D)+(E))]は、0.3〜2.0であることが好ましく、より好ましくは、0.5〜1.3である。   Although it does not specifically limit, from the viewpoint of increasing the molecular weight of the modified polyurethane and improving heat resistance and folding resistance, the number of moles of diisocyanate (C), the number of moles of diol (D), and the number of moles of diamine The ratio [(C) / ((D) + (E))] to the sum of (E) is preferably 0.3 to 2.0, more preferably 0.5 to 1.3. is there.

溶媒中で反応する際に用いる溶剤としては、特に限定されないが、含窒素系溶媒、例えば、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、及び、N−メチルカプロラクタム、含硫黄原子溶媒、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、ジメチルスルホン、ジエチルスルホン、及び、ヘキサメチルスルホルアミド、並びに、含酸素溶媒、例えば、フェノ−ル系溶媒のクレゾ−ル、フェノ−ル、キシレノ−ルなど、ジグライム系溶媒のジエチレングリコ−ルジメチルエ−テル、エチレングリコールジエチルエーテル、カルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、メトキシプロピオン酸メチル、メトキシプロピオン酸エチル、エトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル、トリエチレングリコ−ルジメチルエ−テル、テトラグライムなど、ケトン系溶媒のアセトン、アセトフェノン、プロピオフェノン、シクロヘキサノン、イソホロンなど、エーテル系溶剤のエチレングリコール、ジオキサン、テトラヒドロフランなど、ラクトン系溶媒のγ−ブチロラクトンなど、を挙げることができる。特に、γ−ブチロラクトン、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコ−ルジメチルエ−テルなどを好適に使用することができる。   The solvent used in the reaction in the solvent is not particularly limited, but nitrogen-containing solvents such as N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethyl Formamide, N-methyl-2-pyrrolidone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, and N-methylcaprolactam, a sulfur-containing atomic solvent such as dimethyl sulfoxide, diethyl sulfoxide, dimethyl sulfone, diethyl sulfone, and Hexamethylsulfuramide, as well as oxygen-containing solvents such as phenolic solvents cresol, phenol, xylenol, diglyme solvents diethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, carbitol Acetate, propylene glycol Ether ether, propylene glycol ethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, diethylene glycol ethyl ether acetate, methyl methoxypropionate, ethyl methoxypropionate, methyl ethoxypropionate, ethyl ethoxypropionate, triethylene glycol dimethyl ether, tetra Examples include glyme, ketone solvents such as acetone, acetophenone, propiophenone, cyclohexanone and isophorone, ether solvents such as ethylene glycol, dioxane and tetrahydrofuran, and lactone solvents such as γ-butyrolactone. In particular, γ-butyrolactone, diethylene glycol ethyl ether acetate, triethylene glycol dimethyl ether and the like can be preferably used.

また、ウレタン化触媒としては、ウレタン化反応を促進する化合物であれば、特に限定されないが、具体的には、例えば、ジブチルチンジラウレート、ジオクチルチンジラウレート、スタナスオクトエートなどの錫系触媒、トリエチレンジアミン、トリエチルアミン、N,N,N’,N’−テトラメチルプロピレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラキス(2−ヒドロキシプロピル)エチレンジアミン、N−メチルモルホリン、1,2−ジメチルイミダゾール、1,5−ジアザ−ビシクロ(4,3,0)ノネン−5、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−ウンデセン−7(以下DBUと略称する)、これらアミン系触媒のボラン塩、DBUフェノール塩、DBUオクチル酸塩、DBU炭酸塩などの各種アミン塩系触媒、ナフテン酸マグネシウム、ナフテン酸鉛、酢酸カリウムなどのカルボキシレート類、トリエチルホスフィン、トリベンジルホスフィンなどのトリアルキルホスフィン類、ナトリウムメトキシドなどのアルカリ金属のアルコキシド類、及び、亜鉛系有機金属触媒が挙げられる。硬化物の絶縁特性や環境負荷の点から、DBUなどのアミン系触媒が好適である。   The urethanization catalyst is not particularly limited as long as it is a compound that promotes the urethanation reaction. Specifically, for example, a tin-based catalyst such as dibutyltin dilaurate, dioctyltin dilaurate, stannous octoate, Ethylenediamine, triethylamine, N, N, N ′, N′-tetramethylpropylenediamine, N, N, N ′, N′-tetrakis (2-hydroxypropyl) ethylenediamine, N-methylmorpholine, 1,2-dimethylimidazole, 1,5-diaza-bicyclo (4,3,0) nonene-5, 1,8-diazabicyclo (5,4,0) -undecene-7 (hereinafter abbreviated as DBU), borane salts of these amine catalysts, Various amine salt catalysts such as DBU phenol salt, DBU octylate, DBU carbonate, naphthenic acid Neshiumu, lead naphthenate, carboxylates such as potassium acetate, triethyl phosphine, trialkylphosphine such as tribenzylphosphine, alkoxides of alkali metals such as sodium methoxide, and, zinc-based organometallic catalysts. An amine-based catalyst such as DBU is preferred from the viewpoint of the insulating properties of the cured product and the environmental load.

水酸基含有ポリイミドの重量平均分子量は、5000以上500000以下であることが好ましい。重量平均分子量は10000以上200000以下がより好ましく、15000以上100000以下がさらに好ましい。重量平均分子量が5000以上500000以下であると樹脂組成物の溶液を用いて得られる保護膜の強伸度が改善され、機械物性に優れる。さらに塗布時に所望する膜厚にて滲み無く塗布できる。   The hydroxyl group-containing polyimide preferably has a weight average molecular weight of 5,000 or more and 500,000 or less. The weight average molecular weight is more preferably from 10,000 to 200,000, and even more preferably from 15,000 to 100,000. When the weight average molecular weight is 5,000 or more and 500,000 or less, the strength and elongation of the protective film obtained using the resin composition solution is improved, and the mechanical properties are excellent. Furthermore, it can apply | coat without a blur with the film thickness desired at the time of application | coating.

(a−3)ポリアミド
フェノール性水酸基と柔軟セグメント(1)、(2)を含むポリアミドは、ジカルボン酸とジアミンの反応により合成することができる。
(A-3) Polyamide A polyamide containing a phenolic hydroxyl group and flexible segments (1) and (2) can be synthesized by a reaction of a dicarboxylic acid and a diamine.

フェノール性水酸基を有するジカルボン酸としては、5−ヒドロキシイソフタル酸、4−ヒドロキシイソフタル酸などが挙げられる。   Examples of the dicarboxylic acid having a phenolic hydroxyl group include 5-hydroxyisophthalic acid and 4-hydroxyisophthalic acid.

上記一般式(1)で表わされるポリシロキサン骨格(柔軟セグメント(1))を有するジカルボン酸としては、両末端カルボン酸基含有ポリジメチルシロキサンとして、東レ・ダウコーニング・シリコーン社製のBY16−750、BY16−750Cなどが挙げられる。   As the dicarboxylic acid having a polysiloxane skeleton represented by the above general formula (1) (flexible segment (1)), as both-end carboxylic acid group-containing polydimethylsiloxane, BY16-750 manufactured by Toray Dow Corning Silicone, BY16-750C etc. are mentioned.

また、その他ジカルボン酸の具体例としては、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、4,4’−オキシ二安息香酸、4,4’−ビフェニルジカルボン酸、3,3’−、メチレン二安息香酸、4,4’−メチレン二安息香酸、4,4’−チオ二安息香酸、3,3’−カルボニル二安息香酸、4,4’−カルボニル二安息香酸、4,4’−スルフォニル二安息香酸、1,5−ナフタレンジカルボン酸、1,4−ナフタレンジカルボン酸、2,6−ナフタレンジカルボン酸、1,2−ナフタレンジカルボン酸、2,2’−ビス(3−カルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2’−ビス(4−カルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパンなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。またこれらは1種又は2種以上混合して用いても良い。また、上記ジカルボン酸を酸クロリドにしたものを用いることがジアミンとの反応性の観点では好ましい。ジカルボン酸クロリドは市販のものを用いることもできるが、ジカルボン酸に塩化チオニルなどの酸クロリド化試薬を用いて公知の方法で合成することもできる。   Specific examples of other dicarboxylic acids include phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, 4,4′-oxydibenzoic acid, 4,4′-biphenyldicarboxylic acid, 3,3′-, methylene dibenzoic acid, 4,4′-methylene dibenzoic acid, 4,4′-thiodibenzoic acid, 3,3′-carbonyl dibenzoic acid, 4,4′-carbonyl dibenzoic acid, 4,4′-sulfonyldibenzoic acid, 1,5-naphthalenedicarboxylic acid, 1,4-naphthalenedicarboxylic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, 1,2-naphthalenedicarboxylic acid, 2,2′-bis (3-carboxyphenyl) hexafluoropropane, 2, Examples thereof include, but are not limited to, 2′-bis (4-carboxyphenyl) hexafluoropropane. Moreover, you may use these 1 type or in mixture of 2 or more types. Moreover, it is preferable to use what made the said dicarboxylic acid into acid chloride from a reactive viewpoint with diamine. A commercially available dicarboxylic acid chloride can be used, but it can also be synthesized by a known method using an acid chloride reagent such as thionyl chloride as the dicarboxylic acid.

フェノール性水酸基を含有するジアミンとしては、例えば、3,5−ジアミノフェノールが挙げられる。アミノ基と水酸基が隣接する構造のジアミンの場合、キュア工程において閉環し、ベンゾオキサゾールが生成する可能性があり、その際に副生成物として水が発生するので、アウトガスの観点で適さない。   Examples of the diamine containing a phenolic hydroxyl group include 3,5-diaminophenol. In the case of a diamine having a structure in which an amino group and a hydroxyl group are adjacent to each other, ring closure may occur in the curing step, and benzoxazole may be generated. At this time, water is generated as a by-product, which is not suitable from the viewpoint of outgassing.

上記一般式(1)で表されるポリシロキサン骨格(柔軟セグメント(1))を有するジアミン類としては、例えば、α,ω−ビス(2−アミノエチル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(4−アミノブチル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(4−アミノフェニル)ポリジメチルシロキサン、及び、α,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジフェニルシロキサンが挙げられ、市販品では信越化学工業社製のPAM−E、KF−8010、X−22−161A、X−22−1660B−3などが挙げられる。   Examples of the diamine having a polysiloxane skeleton represented by the general formula (1) (flexible segment (1)) include α, ω-bis (2-aminoethyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis ( 3-aminopropyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis (4-aminobutyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis (4-aminophenyl) polydimethylsiloxane, and α, ω-bis (3-amino) Propyl) polydiphenylsiloxane, and commercially available products include PAM-E, KF-8010, X-22-161A, and X-22-1660B-3 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

上記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン骨格(柔軟セグメント(2))を有するジアミン類としては、米ハンツマン社製のジェファーミンED−600、ED−900、ED−2003、EDR−148、HK−511などのポリオキシエチレンジアミンや、ジェファーミンD−230、D−400、D−2000、D−4000、独BASF社製のポリエーテルアミンD−230、D−400、D−2000などのポリオキシプロピレンジアミンや、ジェファーミンXTJ−542、XTJ−533、XTJ−536などのポリテトラメチレンエチレン基を持つものなどが使用例として挙げられる。   Examples of diamines having a polyoxyalkylene skeleton (flexible segment (2)) represented by the general formula (2) include Jeffamine ED-600, ED-900, ED-2003, and EDR-148 manufactured by Huntsman. , Polyoxyethylenediamine such as HK-511, Jeffamine D-230, D-400, D-2000, D-4000, polyether amine D-230, D-400, D-2000 manufactured by BASF Germany Examples of use include polyoxypropylene diamine and those having polytetramethylene ethylene groups such as Jeffamine XTJ-542, XTJ-533, and XTJ-536.

ポリアミド1g当たりのフェノール性水酸基の量は0.20〜2.50ミリモルであることが好ましい。フェノール性水酸基の量が0.20ミリモル以上であることで、樹脂組成物に良好なアルカリ溶解性を付与することができ、また熱架橋剤の反応性官能基との架橋点を十分な量とすることができ、耐熱性を良好にすることができる。フェノール性水酸基の量が2.50ミリモル以下であることで、キュア時に熱架橋剤とフェノール性水酸基が反応した後の、フェノール性水酸基の残量が十分に低くなるため、キュア後のアルカリ耐性を良好とすることができ、かつ架橋点の量が適切であるために、耐折性を良好なものとすることができる。   The amount of phenolic hydroxyl group per gram of polyamide is preferably 0.20 to 2.50 mmol. When the amount of the phenolic hydroxyl group is 0.20 mmol or more, good alkali solubility can be imparted to the resin composition, and the crosslinking point with the reactive functional group of the thermal crosslinking agent is set to a sufficient amount. Heat resistance can be improved. Since the amount of the phenolic hydroxyl group is 2.50 mmol or less, the residual amount of the phenolic hydroxyl group after the reaction between the thermal crosslinking agent and the phenolic hydroxyl group at the time of curing becomes sufficiently low. Since it can be made good and the amount of crosslinking points is appropriate, the folding resistance can be made good.

上記一般式(1)、(2)に示す柔軟セグメント(1)、(2)はポリアミド全質量中の5〜45質量%を占めることが樹脂組成物の柔軟性、耐折性、アルカリ溶解性、耐熱性、絶縁信頼性、プレス時の回路埋め込み性の点で好ましい。5質量%以上であることで、柔軟性、耐折性、プレス時の回路埋め込み性を良好とすることができ好ましい。より好ましくは15質量%以上であり、さらに好ましくは18質量%以上であり、特に好ましくは20質量%以上である。45質量%以下であることで、アルカリ溶解性、耐熱性、絶縁信頼性を良好とすることができ好ましい。より好ましくは40質量%以下であり、さらに好ましくは35質量%以下である。   The flexible segments (1) and (2) shown in the general formulas (1) and (2) occupy 5 to 45% by mass in the total mass of the polyamide. The flexibility, folding resistance and alkali solubility of the resin composition From the viewpoint of heat resistance, insulation reliability, and circuit embedding property during pressing. It is preferable that the content is 5% by mass or more because flexibility, folding resistance, and circuit embedding during pressing can be improved. More preferably, it is 15 mass% or more, More preferably, it is 18 mass% or more, Most preferably, it is 20 mass% or more. When the content is 45% by mass or less, alkali solubility, heat resistance, and insulation reliability can be improved, which is preferable. More preferably, it is 40 mass% or less, More preferably, it is 35 mass% or less.

特に限定するものではないが、ポリアミドの分子量を高くし、耐熱性や耐折性を良好とする観点から、ジカルボン酸のモル数(F)と、ジアミンのモル数(G)との比率(F)/(G)は、0.3以上であることが好ましく、より好ましくは、0.5以上である。一方、活性なジカルボン酸の量を制御し、保存安定性を良好にする観点から、(F)/(G)は、2.0以下であることが好ましく、1.3以下であることがより好ましい。また、酸クロリドを原料として用いる場合は、ポリマー骨格中に残存する塩素の量を制御し、電子材料として好適に用いるため、(F)/(G)が1.0以下であることが好ましい。   Although not particularly limited, the ratio of the number of moles of dicarboxylic acid (F) to the number of moles of diamine (G) (F) from the viewpoint of increasing the molecular weight of polyamide and improving heat resistance and folding resistance. ) / (G) is preferably 0.3 or more, and more preferably 0.5 or more. On the other hand, from the viewpoint of controlling the amount of active dicarboxylic acid and improving storage stability, (F) / (G) is preferably 2.0 or less, more preferably 1.3 or less. preferable. Further, when acid chloride is used as a raw material, (F) / (G) is preferably 1.0 or less in order to control the amount of chlorine remaining in the polymer skeleton and to use it suitably as an electronic material.

(b)熱架橋剤
熱架橋剤としては、樹脂中のフェノール性水酸基と反応する架橋性官能基を有するものであれば特に制限はない。架橋性官能基を有する化合物としては、例えば、(b−1)オキサゾリン化合物、(b−2)エポキシ化合物、メチロール化合物、イソシアネート化合物、ベンゾオキサジン化合物、酸無水物化合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、及び、カルボジイミド化合物が挙げられるが、入手性、反応性、保存安定性などの観点で、(b−1)オキサゾリン化合物、(b−2)エポキシ化合物が好ましい。
(B) Thermal crosslinking agent The thermal crosslinking agent is not particularly limited as long as it has a crosslinkable functional group that reacts with a phenolic hydroxyl group in the resin. Examples of the compound having a crosslinkable functional group include (b-1) oxazoline compound, (b-2) epoxy compound, methylol compound, isocyanate compound, benzoxazine compound, acid anhydride compound, melamine resin, urea resin, and And carbodiimide compounds, (b-1) oxazoline compounds and (b-2) epoxy compounds are preferred from the viewpoints of availability, reactivity, storage stability, and the like.

(b−1)オキサゾリン化合物
オキサゾリン化合物とは、分子内に少なくとも1個のオキサゾリン基を有する化合物である。オキサゾリン化合物としては、ポリイミドの水酸基を封止し、更にポリイミドとの間に架橋を形成する観点から、分子内に2個以上のオキサゾリン基を有するものが好ましい。
(B-1) Oxazoline Compound An oxazoline compound is a compound having at least one oxazoline group in the molecule. As the oxazoline compound, those having two or more oxazoline groups in the molecule are preferable from the viewpoint of sealing the hydroxyl group of polyimide and forming a cross-link with the polyimide.

オキサゾリン化合物としては、例えば、1,3−ビス(4,5−ジヒドロ−2−オキサゾリル)ベンゼン(以下、PBOとも略称する)、日本触媒社製のK−2010E、K−2020E、K−2030E、2,6−ビス(4−イソプロピル−2−オキサゾリン−2−イル)ピリジン、2,6−ビス(4−フェニル−2−オキサゾリン−2−イル)ピリジン、2,2’−イソプロピリデンビス(4−フェニル−2−オキサゾリン)、及び、2,2’−イソプロピリデンビス(4−ターシャルブチル−2−オキサゾリン)が挙げられる。また、2−ビニル−2−オキサゾリン、2−ビニル−4−メチル−2−オキサゾリン、2−ビニル−5−メチル−2−オキサゾリン、2−イソプロペニル−2−オキサゾリン、2−イソプロペニル−4−メチル−2−オキサゾリンなどの重合性単量体の共重合体を挙げることができる。これらのオキサゾリン化合物は、単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the oxazoline compound include 1,3-bis (4,5-dihydro-2-oxazolyl) benzene (hereinafter also abbreviated as PBO), K-2010E, K-2020E, K-2030E manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd. 2,6-bis (4-isopropyl-2-oxazolin-2-yl) pyridine, 2,6-bis (4-phenyl-2-oxazolin-2-yl) pyridine, 2,2′-isopropylidenebis (4 -Phenyl-2-oxazoline) and 2,2'-isopropylidenebis (4-tertiarybutyl-2-oxazoline). Also, 2-vinyl-2-oxazoline, 2-vinyl-4-methyl-2-oxazoline, 2-vinyl-5-methyl-2-oxazoline, 2-isopropenyl-2-oxazoline, 2-isopropenyl-4- Mention may be made of copolymers of polymerizable monomers such as methyl-2-oxazoline. These oxazoline compounds may be used alone or in combination of two or more.

(b−2)エポキシ化合物
エポキシ化合物としては、分子内に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物を用いることが好ましい。2官能エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂などのビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型ノボラックなどのノボラック型エポキシ樹脂、変性ノボラック型エポキシ樹脂、及び、ジシクロペンタジエンと各種フェノール類と反応させて得られる各種ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂のエポキシ化物であるジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂が挙げられる。これらの2官能エポキシ化合物の中でも、耐熱性、耐溶剤性、メッキ液耐性に優れる観点から、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、変性ノボラック型エポキシ樹脂及びジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂を用いることが好ましい。
(B-2) Epoxy compound As the epoxy compound, it is preferable to use an epoxy compound having two or more epoxy groups in the molecule. Examples of the bifunctional epoxy compound include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol type epoxy resin such as bisphenol F type epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, novolak such as bisphenol type novolak. Type epoxy resin, modified novolak type epoxy resin, and dicyclopentadiene type epoxy resin which is an epoxidized product of various dicyclopentadiene modified phenol resins obtained by reacting dicyclopentadiene with various phenols. Among these bifunctional epoxy compounds, bisphenol A type epoxy resin, novolac type epoxy resin, modified novolac type epoxy resin and dicyclopentadiene type epoxy resin are used from the viewpoint of excellent heat resistance, solvent resistance, and plating solution resistance. Is preferred.

ビスフェノールA型のエポキシ樹脂として、DIC社製EPICRON(登録商標)840(以下840)、三菱化学社製jER 828EL、jER 1001、jER 1004などが挙げられる。   Examples of the bisphenol A type epoxy resin include EPICRON (registered trademark) 840 (hereinafter 840) manufactured by DIC, jER 828EL, jER 1001, and jER 1004 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂としては、例えば、XD−1000(商品名:日本化薬社製)、及び、HP−7200(商品名:DIC社製)が挙げられる。ノボラック型エポキシ樹脂としては、NC−7000L(商品名:日本化薬社製)、エピクロンN−680(商品名:DIC社製)などが挙げられる。変性ノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、NC−3000(商品名:日本化薬社製)が挙げられる。これらのエポキシ化合物(エポキシ樹脂)は、単独で用いてもよく、又は2種以上を混合して用いてもよい。また、これらのエポキシ樹脂には不純物イオンである、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン、ハロゲンイオン、特に塩素イオンや加水分解性塩素などを300ppm以下に低減した高純度品を用いることがエレクトロマイグレーション防止や金属導体回路の腐食防止のために好ましい。   Examples of the dicyclopentadiene type epoxy resin include XD-1000 (trade name: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and HP-7200 (trade name: manufactured by DIC). Examples of the novolak type epoxy resin include NC-7000L (trade name: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and Epicron N-680 (trade name: manufactured by DIC). Examples of the modified novolac type epoxy resin include NC-3000 (trade name: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.). These epoxy compounds (epoxy resins) may be used alone or in admixture of two or more. In addition, it is preferable to use high-purity products in which the impurity ions such as alkali metal ions, alkaline earth metal ions, halogen ions, particularly chlorine ions and hydrolyzable chlorine are reduced to 300 ppm or less for these epoxy resins. This is preferable for prevention of corrosion and corrosion of metal conductor circuits.

上記エポキシ化合物を使用する場合は、必要に応じて硬化剤を使用することもできる。硬化剤としては、例えば、フェノール系化合物、脂肪族アミン、脂環族アミン、芳香族ポリアミン、ポリアミド、脂肪族酸無水物、脂環族酸無水物、芳香族酸無水物、ジシアンジアミド、有機酸ジヒドラジド、三フッ化ホウ素アミン錯体、イミダゾール類、及び、第3級アミンが挙げられ、中でもフェノール系化合物が好ましく、分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するフェノール系化合物がより好ましい。このような化合物としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、t−ブチルフェノールノボラック樹脂、ジシクロペンタジェンクレゾールノボラック樹脂、ジシクロペンタジェンフェノールノボラック樹脂、キシリレン変性フェノールノボラック樹脂、ナフトール系化合物、トリスフェノール系化合物、テトラキスフェノールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ポリ−p−ビニルフェノール樹脂、及び、フェノールアラルキル樹脂が挙げられる。これらの化合物は、数平均分子量が400〜1500の範囲内のものが好ましい。これにより、半導体装置組立加熱時に、半導体素子又は装置などの汚染の原因となるアウトガスを有効に低減できる。   When using the said epoxy compound, a hardening | curing agent can also be used as needed. Examples of the curing agent include phenolic compounds, aliphatic amines, alicyclic amines, aromatic polyamines, polyamides, aliphatic acid anhydrides, alicyclic acid anhydrides, aromatic acid anhydrides, dicyandiamide, and organic acid dihydrazides. , Boron trifluoride amine complexes, imidazoles, and tertiary amines. Among them, phenol compounds are preferable, and phenol compounds having at least two phenolic hydroxyl groups in the molecule are more preferable. Examples of such compounds include phenol novolak resins, cresol novolak resins, t-butylphenol novolak resins, dicyclopentagen cresol novolak resins, dicyclopentagen phenol novolak resins, xylylene-modified phenol novolak resins, naphthol compounds, tris Examples include phenolic compounds, tetrakisphenol novolak resins, bisphenol A novolac resins, poly-p-vinylphenol resins, and phenol aralkyl resins. These compounds preferably have a number average molecular weight in the range of 400-1500. Thereby, the outgas which becomes a cause of contamination of a semiconductor element or a device at the time of assembling and heating the semiconductor device can be effectively reduced.

熱架橋剤の添加量としては、樹脂の水酸基のモル量と反応性官能基(例えば、オキサゾリン基、エポキシ基)のモル量との比が、水酸基/反応性官能基=2〜0.5の範囲であることが好ましく、1.5〜0.7の範囲であることがより好ましい。水酸基/反応性官能基=2以下であることにより、樹脂組成物のアルカリ加工性が向上し、水酸基/反応性官能基=0.5以上であることで、樹脂組成物の柔軟性、耐熱性が向上する。   As the addition amount of the thermal crosslinking agent, the ratio of the molar amount of the hydroxyl group of the resin to the molar amount of the reactive functional group (for example, oxazoline group, epoxy group) is hydroxyl group / reactive functional group = 2 to 0.5. The range is preferable, and the range of 1.5 to 0.7 is more preferable. When the hydroxyl group / reactive functional group = 2 or less, the alkali processability of the resin composition is improved, and when the hydroxyl group / reactive functional group = 0.5 or more, the flexibility and heat resistance of the resin composition are improved. Will improve.

(c)難燃剤
本実施の形態に係る樹脂組成物においては、難燃性を向上する観点から、難燃剤を含有させて用いることもできる。難燃剤の種類としては、特に制限はないが、含ハロゲン化合物、含リン化合物及び無機難燃剤などが挙げられる。これらの難燃剤は、単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。
(C) Flame retardant In the resin composition which concerns on this Embodiment, a flame retardant can also be contained and used from a viewpoint of improving a flame retardance. The type of flame retardant is not particularly limited, and examples thereof include halogen-containing compounds, phosphorus-containing compounds, and inorganic flame retardants. These flame retardants may be used alone or in combination of two or more.

難燃剤の添加量としては、特に制限はなく、用いる難燃剤の種類に応じて適宜変更可能である。難燃剤の添加量としては、一般的に樹脂組成物中のポリイミドを基準として、5質量%から50質量%の範囲で用いられることが好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as addition amount of a flame retardant, According to the kind of flame retardant to be used, it can change suitably. The amount of the flame retardant added is generally preferably in the range of 5% by mass to 50% by mass based on the polyimide in the resin composition.

含ハロゲン化合物としては、塩素原子や臭素原子を含む有機化合物などが挙げられる。含ハロゲン化合物難燃剤としては、例えば、ペンタブロモジフェニルエーテル、オクタブロモジフェニルエーテル、デカブロモジフェニルエーテル、テトラブロモビスフェノールA、及び、ヘキサブロモシクロドデカンテトラブロモビスフェノールAが挙げられる。   Examples of the halogen-containing compound include organic compounds containing a chlorine atom or a bromine atom. Examples of the halogen-containing compound flame retardant include pentabromodiphenyl ether, octabromodiphenyl ether, decabromodiphenyl ether, tetrabromobisphenol A, and hexabromocyclododecane tetrabromobisphenol A.

含リン化合物としては、ホスファゼン、ホスフィン、ホスフィンオキサイド、リン酸エステル、及び亜リン酸エステルなどが挙げられる。特に、樹脂組成物との相溶性の観点から、ホスファゼン、ホスファイオキサイド、又はリン酸エステルが好ましく用いられる。ホスファゼンとしては、例えば、シアノ基や、ヒドロキシル基、メチル基などを有する置換ヘキサ(フェノキシ)シクロトリホスファゼンを用いることができる。   Examples of the phosphorus-containing compound include phosphazene, phosphine, phosphine oxide, phosphate ester, and phosphite ester. In particular, from the viewpoint of compatibility with the resin composition, phosphazene, phosphite oxide, or phosphate ester is preferably used. As the phosphazene, for example, a substituted hexa (phenoxy) cyclotriphosphazene having a cyano group, a hydroxyl group, a methyl group, or the like can be used.

無機難燃剤としては、アンチモン化合物や金属水酸化物などが挙げられる。アンチモン化合物としては、三酸化アンチモンや五酸化アンチモンが挙げられる。アンチモン化合物と上記含ハロゲン化合物とを併用することにより、プラスチックの熱分解温度域で、酸化アンチモンが難燃剤からハロゲン原子を引き抜いてハロゲン化アンチモンを生成するため、相乗的に難燃性を上げることができる。金属水酸化物としては、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウムなどが挙げられる。   Examples of inorganic flame retardants include antimony compounds and metal hydroxides. Examples of the antimony compound include antimony trioxide and antimony pentoxide. By using an antimony compound in combination with the above halogen-containing compound, antimony oxide pulls out halogen atoms from the flame retardant to produce antimony halide in the thermal decomposition temperature range of the plastic, thus synergistically increasing the flame retardancy. Can do. Examples of the metal hydroxide include aluminum hydroxide and magnesium hydroxide.

無機難燃剤は、有機溶媒に溶解しない。このため、無機難燃剤としては、その粉末の粒径が100μm以下であることが好ましい。粉末の粒径が100μm以下であれば、樹脂組成物に混入しやすく、硬化後の樹脂の透明性が維持されるため好ましい。さらに、難燃性を向上する観点から、粉末の粒径としては、50μm以下であることがより好ましく、10μm以下であることがさらに好ましい。   Inorganic flame retardants do not dissolve in organic solvents. For this reason, as an inorganic flame retardant, it is preferable that the particle size of the powder is 100 micrometers or less. If the particle size of the powder is 100 μm or less, it is preferable because it is easily mixed into the resin composition and the transparency of the cured resin is maintained. Furthermore, from the viewpoint of improving flame retardancy, the particle size of the powder is more preferably 50 μm or less, and even more preferably 10 μm or less.

(d)その他
本実施の形態に係る樹脂組成物においては、樹脂組成物の酸化を防ぐ観点から、酸化防止剤を含有させて用いることもできる。酸化防止剤としては、例えば、ビス[3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロピオン酸][エチレンビス(オキシエチレン)](商品名:イルガノックス245(IRGANOX245)、BASF社製)を用いることができる。
(D) Others In the resin composition according to the present embodiment, from the viewpoint of preventing oxidation of the resin composition, an antioxidant can be used. As an antioxidant, for example, bis [3- (3-tert-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl) propionic acid] [ethylene bis (oxyethylene)] (trade name: IRGANOX 245), BASF) can be used.

また、本実施の形態に係る樹脂組成物は、金属箔と樹脂層との密着性を向上する観点から、密着材を含有させて用いることもできる。密着材としては特に限定されないが、フェノール化合物、含窒素有機化合物、アセチルアセトン金属錯体などを挙げることができる。   Moreover, the resin composition which concerns on this Embodiment can also be made to contain an adhesive material from a viewpoint of improving the adhesiveness of metal foil and a resin layer. Although it does not specifically limit as an adhesive material, A phenol compound, a nitrogen-containing organic compound, an acetylacetone metal complex etc. can be mentioned.

本実施の形態に係る樹脂組成物は、塗布時の均一性の観点で有機溶媒を含む樹脂組成物溶液(ワニス)とすることが好ましい。この場合、塗布後に加温乾燥して脱溶媒して樹脂層を得ることができる。   The resin composition according to the present embodiment is preferably a resin composition solution (varnish) containing an organic solvent from the viewpoint of uniformity during coating. In this case, it is possible to obtain a resin layer by heating and drying after coating and removing the solvent.

このような有機溶媒としては、例えば、エタノール、メタノール、イソプロピルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルコール溶媒、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン溶媒、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどのアミド溶媒、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトンなどのラクトン溶媒、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、ヘキサメチルスルホキシドなどの含硫黄系溶媒、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフランなどのエーテル溶媒、及び、安息香酸ブチル、安息香酸エチル、安息香酸メチルなどのエステル溶媒が挙げられる。また、これらの有機溶媒は、単独で使用してもよいし、複数併用してもよい。   Examples of such an organic solvent include alcohol solvents such as ethanol, methanol, isopropyl alcohol, ethylene glycol, and propylene glycol; ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone; N, N-dimethylacetamide, N, N- Amide solvents such as diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, lactone solvents such as γ-butyrolactone, γ-valerolactone, dimethyl sulfoxide, diethyl sulfoxide, hexamethyl Sulfur-containing solvents such as sulfoxide, diethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, dioxane, tetrahydro Examples include ether solvents such as furan, and ester solvents such as butyl benzoate, ethyl benzoate, and methyl benzoate. These organic solvents may be used alone or in combination.

有機溶媒としては、樹脂を合成する際に用いた有機溶媒を含む樹脂溶液を、脱溶媒することなくそのまま用いることが製造コストの観点から好ましいが、樹脂溶液を貧溶媒に投入して樹脂の固形分(例えば、ポリイミドの固形分)を再沈殿、乾燥してから上述した有機溶媒に再溶解させて用いてもよい。   As the organic solvent, it is preferable from the viewpoint of production cost that the resin solution containing the organic solvent used in the synthesis of the resin is used as it is without removing the solvent. A portion (for example, solid content of polyimide) may be re-precipitated and dried, and then re-dissolved in the organic solvent described above.

樹脂組成物の溶液における有機溶媒の含有量としては、溶液を塗工して樹脂層を形成できる濃度であれば、特に制限されない。有機溶媒の含有量としては、形成する樹脂層の膜厚を容易に制御する観点から、溶液中の固形分濃度が20質量%以上80質量%以下となる含有量であることが好ましく、形成する樹脂層の膜厚均一性の観点から、30質量%以上70質量%以下となる含有量であることがより好ましい。   The content of the organic solvent in the resin composition solution is not particularly limited as long as it is a concentration at which the solution can be applied to form a resin layer. The content of the organic solvent is preferably such that the solid content concentration in the solution is 20% by mass or more and 80% by mass or less from the viewpoint of easily controlling the film thickness of the resin layer to be formed. From the viewpoint of film thickness uniformity of the resin layer, the content is more preferably 30% by mass or more and 70% by mass or less.

塗工膜にする時、その塗工方式に応じて粘度及びチクソトロピーの調整を行う。必要に応じて、フィラーやチクソトロピー性付与剤を添加して用いることも可能である。また、公知の消泡剤やレベリング剤や顔料などの添加剤を加えることも可能である。   When forming a coating film, the viscosity and thixotropy are adjusted according to the coating method. If necessary, a filler or a thixotropic agent can be added and used. It is also possible to add additives such as known antifoaming agents, leveling agents and pigments.

樹脂組成物の溶液を塗工する場合、その塗工方式に応じて粘度とチクソトロピーの調整を行う。この場合、必要に応じて、フィラーやチクソトロピー性付与剤を添加して用いることも可能である。また、公知の消泡剤やレベリング剤や顔料などの添加剤を加えることも可能である。また、高温酸素雰囲気下での酸化を防止する観点から、酸化防止剤を添加してもよい。更に、アクリルモノマーと光ラジカル発生剤を加えて、ネガ型感光性樹脂組成物としても使用することもできる。   When a resin composition solution is applied, the viscosity and thixotropy are adjusted according to the application method. In this case, it is also possible to add and use a filler or a thixotropy imparting agent as necessary. It is also possible to add additives such as known antifoaming agents, leveling agents and pigments. Moreover, you may add antioxidant from a viewpoint which prevents the oxidation in high temperature oxygen atmosphere. Furthermore, it can also be used as a negative photosensitive resin composition by adding an acrylic monomer and a photo radical generator.

<樹脂付金属箔(積層体)>
本実施の形態に係る樹脂組成物は、樹脂付金属箔に好適に用いることができる。本実施の形態に係る樹脂付金属箔とは、金属箔と、この金属箔上に設けられ上記樹脂組成物を含んでなる樹脂層と、を備える。この樹脂付金属箔においては、厚さが5μmから50μmの範囲内であることが好ましい。
<Metal foil with resin (laminate)>
The resin composition according to the present embodiment can be suitably used for a metal foil with a resin. The metal foil with a resin according to the present embodiment includes a metal foil and a resin layer provided on the metal foil and including the resin composition. This metal foil with resin preferably has a thickness in the range of 5 μm to 50 μm.

金属箔としては、公知の金属箔、合金箔が適用可能であるが、配線形成性の観点から、電解銅箔、圧延銅箔が好ましい。更に微細配線形成性及び特にフレキシブル基板に用いる場合は、耐折性の観点から厚さ18μm以下の銅箔が好ましい。銅箔表面には、粗化処理、ニッケルや亜鉛などの公知のめっき処理、クロメート処理、アルミニウムアルコラート処理、アルミニウムキレート処理、シランカップリング剤処理などの表面処理を行ってもよい。   Known metal foils and alloy foils can be used as the metal foil, but electrolytic copper foil and rolled copper foil are preferred from the viewpoint of wiring formability. Furthermore, when using for fine wiring formation property and especially a flexible substrate, a copper foil with a thickness of 18 μm or less is preferable from the viewpoint of folding resistance. The copper foil surface may be subjected to a surface treatment such as a roughening treatment, a known plating treatment such as nickel or zinc, a chromate treatment, an aluminum alcoholate treatment, an aluminum chelate treatment, or a silane coupling agent treatment.

次に、樹脂付金属箔の製造方法に関して説明する。まず、樹脂組成物の溶液を任意の方法で上記金属箔上に塗工する。塗工方法としては、バーコート、ローラーコート、ダイコート、ブレードコート、ディップコート、ドクターナイフ、スプレーコート、フローコート、スピンコート、スリットコート、及び、はけ塗りが挙げられる。塗工後、基材上に塗布した樹脂組成物中の溶媒を除去するために、加熱乾燥処理を行う。   Next, the manufacturing method of resin-coated metal foil will be described. First, the resin composition solution is applied onto the metal foil by any method. Examples of the coating method include bar coating, roller coating, die coating, blade coating, dip coating, doctor knife, spray coating, flow coating, spin coating, slit coating, and brush coating. After coating, a heat drying treatment is performed to remove the solvent in the resin composition applied on the substrate.

加熱の態様については特に限定されないが、アルカリ水溶液に可溶とするため、50℃〜140℃において1分間〜60分間加熱することが好ましい。さらに高温領域(例えば160℃〜200℃)の加熱で主として酸性官能基の封止や架橋反応が生じ、アルカリ水溶液に不溶となる。   Although it does not specifically limit about the aspect of a heating, In order to make it soluble in alkaline aqueous solution, it is preferable to heat at 50 to 140 degreeC for 1 minute-60 minutes. Further, heating in a high temperature region (for example, 160 ° C. to 200 ° C.) mainly causes sealing of acidic functional groups and a crosslinking reaction, and becomes insoluble in an aqueous alkali solution.

また、アルカリ可溶性を損なわずに溶媒などの揮発成分を十分に除去するため、真空乾燥法などで50℃〜140℃において1分間〜60分間加熱してもよい。乾燥工程後に溶媒が多く残存していると、後の熱工程時にアウトガスが発生する。   Moreover, in order to fully remove volatile components, such as a solvent, without impairing alkali solubility, you may heat for 1 minute-60 minutes by 50 degreeC-140 degreeC by a vacuum drying method etc. If a large amount of solvent remains after the drying step, outgas is generated during the subsequent heating step.

50℃〜140℃において1分間〜60分間加熱した樹脂組成物はアルカリ水溶液に可溶であるため、フレキシブルプリント配線板の製造で用いられるレーザドリリング加工などを不要とし、アルカリ水溶液でビア、スルーホール加工する樹脂付金属箔タイプの絶縁材料として使用できる。   Since the resin composition heated at 50 to 140 ° C. for 1 to 60 minutes is soluble in an alkaline aqueous solution, it eliminates the need for laser drilling or the like used in the manufacture of flexible printed wiring boards. It can be used as an insulating material of resin-coated metal foil type.

この樹脂付金属箔の樹脂層上に、任意の防汚用や保護用のカバーフィルムを設けてもよい。カバーフィルムとしては、低密度ポリエチレンなど樹脂組成物を保護するフィルムであれば限定されない。   An optional antifouling or protective cover film may be provided on the resin layer of the metal foil with resin. As a cover film, if it is a film which protects resin compositions, such as low density polyethylene, it will not be limited.

<プリント配線板>
本実施の形態に係る樹脂付金属箔は、両面又は片面フレキシブルプリント配線板に好適に用いることができる。両面の回路形成が完了したコア基板の両側に上記樹脂付金属箔を積層して、多層フレキシブル配線基板を製造する場合、その形成方法としては、本実施の形態に係る樹脂組成物を用いた樹脂層上のカバーフィルムを剥離して、両面フレキシブル基板の両面の導電層と接触させた状態で、熱プレス、熱ラミネート、熱真空プレス、熱真空ラミネートなどを行う方法などが挙げられる。この中で、樹脂層との接着性や、コア基板の両面フレキシブル基板の形成されている貫通孔や銅配線回路への樹脂埋め込み性の観点から、熱真空プレス、熱真空ラミネートが好ましい。更に、ロール・ツー・ロールによる生産性の観点から、熱真空ラミネートが特に好ましい。
<Printed wiring board>
The metal foil with resin according to the present embodiment can be suitably used for a double-sided or single-sided flexible printed wiring board. When a multilayer flexible wiring board is manufactured by laminating the above metal foil with resin on both sides of a core substrate on which circuit formation on both sides has been completed, a resin using the resin composition according to the present embodiment is used as the formation method. Examples of the method include performing a heat press, a heat laminate, a heat vacuum press, a heat vacuum laminate and the like in a state where the cover film on the layer is peeled off and brought into contact with the conductive layers on both sides of the double-sided flexible substrate. Among these, from the viewpoint of adhesiveness with the resin layer and resin embedding properties in the through-hole in which the double-sided flexible substrate of the core substrate is formed and the copper wiring circuit, thermal vacuum press and thermal vacuum lamination are preferable. Furthermore, from the viewpoint of productivity by roll-to-roll, thermal vacuum lamination is particularly preferable.

積層する際、及び、樹脂層を接着する際の加熱温度は、導電性基材に密着しうる温度であれば限定されない。導電性基材への密着の観点から、50℃以上、150℃以下が好ましい。より好ましくは、70℃以上、120℃以下である。   The heating temperature at the time of laminating and adhering the resin layer is not limited as long as it can be adhered to the conductive substrate. From the viewpoint of adhesion to the conductive substrate, 50 ° C. or higher and 150 ° C. or lower is preferable. More preferably, it is 70 degreeC or more and 120 degrees C or less.

また積層時の圧力は、加熱温度条件との組み合わせで樹脂フローを制御できる圧力条件であれば限定されない。真空プレス又は真空ラミネータ装置に依存しないためには0.3MPa以上4.0MPa以下であることが好ましい。生産時間の短縮化では真空ラミネータやクイックプレス装置などが好適に用いられ、より好ましくは0.5MPa以上1.0MPa以下である。   Moreover, the pressure at the time of lamination | stacking will not be limited if it is a pressure condition which can control a resin flow in combination with a heating temperature condition. In order not to depend on a vacuum press or a vacuum laminator apparatus, it is preferable that it is 0.3 MPa or more and 4.0 MPa or less. For shortening the production time, a vacuum laminator, a quick press device, or the like is preferably used, and more preferably 0.5 MPa or more and 1.0 MPa or less.

次に樹脂層のブラインドビア形成プロセスに関して説明する。なお、ブラインドビア形成プロセスについては特許文献1に開示がある。   Next, the blind via forming process for the resin layer will be described. The blind via formation process is disclosed in Patent Document 1.

積層した樹脂付金属箔の金属層上にドライフィルムレジストをラミネートした後、露光・現像、及びエッチングにより、ブラインドビアを形成する部位のコンフォーマルマスクを形成し、ブラインドビアを形成する部位の樹脂層のみを露出させる。アルカリ溶液でドライフィルムレジストを剥離するのと同時に樹脂層をアルカリ現像し、ブラインドビア開けを行う。この際のアルカリ溶液はドライフィルムを剥離し、樹脂層が溶解し得るものであれば限定されない。このような溶液として、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液などが挙げられる。一般的に用いられている製造設備やプロセス条件などの観点から、炭酸ナトリウム水溶液及び水酸化ナトリウム水溶液が好ましい。樹脂層現像方法としては、スプレー現像、浸漬現像、パドル現像などが挙げられる。   After laminating a dry film resist on the metal layer of the laminated metal foil with resin, a conformal mask is formed on the part where the blind via is formed by exposure, development and etching, and the resin layer where the blind via is formed Only expose. At the same time as the dry film resist is peeled off with an alkaline solution, the resin layer is alkali-developed and a blind via is opened. The alkaline solution at this time is not limited as long as it can peel the dry film and dissolve the resin layer. Examples of such a solution include a sodium carbonate aqueous solution, a potassium carbonate aqueous solution, a sodium hydroxide aqueous solution, a potassium hydroxide aqueous solution, and a tetramethylammonium hydroxide aqueous solution. From the viewpoint of generally used production equipment and process conditions, an aqueous sodium carbonate solution and an aqueous sodium hydroxide solution are preferred. Examples of the resin layer development method include spray development, immersion development, and paddle development.

次いで、アルカリ可溶性樹脂層を加熱硬化(キュア)する。加熱硬化は、150℃以上200℃以下が好ましいが、最初に70℃以上、120℃以下の予備加熱プロセスを入れる多段ステップで実施してもよい。   Next, the alkali-soluble resin layer is heat-cured (cured). The heat curing is preferably 150 ° C. or higher and 200 ° C. or lower, but may be performed in a multi-stage step where a preheating process of 70 ° C. or higher and 120 ° C. or lower is first introduced.

加熱硬化における反応雰囲気は、空気雰囲気下でも不活性ガス雰囲気下でも実施可能である。加熱硬化に要する時間は、反応条件によって異なるが、通常は24時間以内であり、特に好適に好ましくは1時間から8時間の範囲で実施される。加熱硬化後の樹脂層にはアルカリ耐性を付与する必要がある。後のパターニングプロセス時のアルカリにより、露出した樹脂層が溶解あるいは膨潤してしまうと、基板平滑性、絶縁信頼性、及びビア接続信頼性に悪影響を与えるためである。   The reaction atmosphere in heat curing can be carried out in an air atmosphere or an inert gas atmosphere. Although the time required for heat curing varies depending on the reaction conditions, it is usually within 24 hours, particularly preferably 1 to 8 hours. It is necessary to impart alkali resistance to the resin layer after heat curing. This is because if the exposed resin layer is dissolved or swelled by alkali in the subsequent patterning process, the substrate smoothness, insulation reliability, and via connection reliability are adversely affected.

次に、従来の多層フレキシブル配線板の製造プロセスに従い、ブライドビアのめっき処理、及び金属箔層のパターニングを行う。パターニングはサブトラクティブ法、セミアディティブ法のどちらで行ってもよい。以降の工程も従来の多層フレキシブル配線板と同一であり、カバーレイ形成などの表面処理を行い、多層フレキシブル基板を製造する。   Next, in accordance with a conventional manufacturing process of a multilayer flexible wiring board, a plating process of a brid via and a patterning of a metal foil layer are performed. Patterning may be performed by either a subtractive method or a semi-additive method. Subsequent processes are the same as those of the conventional multilayer flexible wiring board, and surface treatment such as coverlay formation is performed to manufacture a multilayer flexible substrate.

樹脂付銅箔の樹脂層に多くの溶媒が残存している場合や架橋反応時に副生成物が発生する場合は加熱硬化工程及び多層フレキブル基板のリフロープロセスなどの熱工程時において、アウトガスが発生し、導電層と絶縁層間にデラミネーションが発生するため、樹脂付金属箔の樹脂層にはアウトガスを低減する組成設計が必要である。   When a large amount of solvent remains in the resin layer of the resin-coated copper foil or when a by-product is generated during the crosslinking reaction, outgas is generated during the heat curing process and the reflow process of the multilayer flexible substrate. Since delamination occurs between the conductive layer and the insulating layer, the resin layer of the resin-coated metal foil needs a composition design that reduces outgas.

以上説明したように、本実施の形態において、(a)樹脂中の柔軟セグメント(1)、(2)は、樹脂組成物、樹脂付金属箔及びプリント配線板に柔軟性を付与するのに有効な骨格である。柔軟セグメント(1)、(2)の構造を樹脂骨格中に導入することにより、柔軟セグメント(1)の弱点である低温プレス性及びアルカリ溶解性と、柔軟セグメント(2)の弱点である耐熱性及び絶縁信頼性と、を損なわずに樹脂組成物、樹脂付金属箔及びプリント配線板に適度な柔軟性及び耐折性を付与することが可能になる。   As described above, in this embodiment, (a) the flexible segments (1) and (2) in the resin are effective for imparting flexibility to the resin composition, the metal foil with resin, and the printed wiring board. Skeleton. By introducing the structure of the flexible segments (1) and (2) into the resin skeleton, low-temperature pressability and alkali solubility, which are weak points of the flexible segment (1), and heat resistance, which are weak points of the flexible segment (2) In addition, it is possible to impart appropriate flexibility and folding resistance to the resin composition, the resin-attached metal foil, and the printed wiring board without impairing the insulation reliability.

次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。なお、本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。実施例及び比較例において、各評価は以下のように実施した。   Next, examples performed for clarifying the effects of the present invention will be described. In addition, this invention is not limited at all by the following examples. In the examples and comparative examples, each evaluation was performed as follows.

<重量平均分子量>
重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)にて、下記の条件により測定した。溶媒としては、N,N−ジメチルホルムアミド(和光純薬工業社製、高速液体クロマトグラフ用)を用い、測定前に24.8mmol/Lの臭化リチウム一水和物(和光純薬工業社製、純度99.5%)及び63.2mmol/Lのリン酸(和光純薬工業社製、高速液体クロマトグラフ用)を加えたものを使用した。また、重量平均分子量を算出するための検量線は、スタンダードポリスチレン(東ソー社製)を用いて作成した。
カラム:Shodex KD−806M(昭和電工社製)
流速:1.0mL/分
カラム温度:40℃
ポンプ:PU−2080Plus(JASCO社製)
検出器:RI−2031Plus(RI:示差屈折計、JASCO社製)
UV―2075Plus(UV−VIS:紫外可視吸光計、JASCO社製)
<Weight average molecular weight>
The weight average molecular weight was measured by gel permeation chromatography (GPC) under the following conditions. As the solvent, N, N-dimethylformamide (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., for high performance liquid chromatograph) was used. , Purity 99.5%) and 63.2 mmol / L phosphoric acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., for high performance liquid chromatograph) were used. A calibration curve for calculating the weight average molecular weight was prepared using standard polystyrene (manufactured by Tosoh Corporation).
Column: Shodex KD-806M (manufactured by Showa Denko KK)
Flow rate: 1.0 mL / min Column temperature: 40 ° C
Pump: PU-2080 Plus (manufactured by JASCO)
Detector: RI-2031Plus (RI: differential refractometer, manufactured by JASCO)
UV-2075 Plus (UV-VIS: UV-Visible Absorber, manufactured by JASCO)

<樹脂付銅箔の作製>
真空吸着及び加熱できる塗工台(マツキ科学社製)上に厚み12μmの電解銅箔(F1−WS/古河サーキットフォイル社製)の粗面側を敷き、真空吸着により電解銅箔を貼り付けた後、ギャップが125μmのアプリケーター(マツキ科学社製)を用いて、電解銅箔粗面上に樹脂組成物溶液を塗布した。その後、乾燥器(ESPEC社製、SPHH−10l)95℃で30分加熱して、脱溶媒を行い、樹脂層厚みが30±5μmの樹脂付銅箔を得た。
<Production of copper foil with resin>
A rough surface side of an electrolytic copper foil having a thickness of 12 μm (F1-WS / Furukawa Circuit Foil) was laid on a coating table (Matsuki Science Co., Ltd.) capable of vacuum adsorption and heating, and the electrolytic copper foil was attached by vacuum adsorption. Then, the resin composition solution was apply | coated on the electrolytic copper foil rough surface using the applicator (made by Matsuki Scientific company) whose gap is 125 micrometers. Thereafter, a dryer (SPHH-10l, manufactured by ESPEC) was heated at 95 ° C. for 30 minutes to remove the solvent, and a resin-coated copper foil having a resin layer thickness of 30 ± 5 μm was obtained.

<低温プレス性>
100mm×100mmのサイズの両面フレキシブル基板(エスパネックスM、新日鉄化学社製、絶縁層の厚さ25μm、導電層:銅箔F2−WS(12μm))の一方の導電層の全面を、あらかじめ、ラインアンドスペースが50μm/50μmでパターニングされた基板に上記樹脂付銅箔の樹脂層を真空プレス機(北川精機社製)にて、100〜120℃の温度条件で、1.0MPaで1分間加圧して積層した。こうして得られた積層体を光学顕微鏡(ECLIPS LV100 ニコン社製)、透過光、10倍の条件で観察し、回路間に気泡(埋め込み不良)がないかを確認した。100℃の温度条件にて気泡が確認されなかった場合を◎、110℃の温度条件にて気泡が確認されなかった場合を○、120℃の温度条件で気泡が確認されなかった場合を△、120℃の温度条件では完全に樹脂を埋め込めず、気泡が発生した場合を×とした。
<Low temperature pressability>
100 mm x 100 mm double-sided flexible substrate (Espanex M, manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., insulation layer thickness 25 μm, conductive layer: copper foil F2-WS (12 μm)) The resin layer of the copper foil with resin is pressed on a substrate patterned with an and space of 50 μm / 50 μm with a vacuum press (made by Kitagawa Seiki Co., Ltd.) at a temperature of 100 to 120 ° C. for 1 minute. And laminated. The laminated body thus obtained was observed under an optical microscope (ECLIPS LV100, manufactured by Nikon Corp.) and transmitted light at 10 times, and it was confirmed whether there were bubbles (embedding defects) between the circuits. The case where bubbles were not confirmed under the temperature condition of 100 ° C., the case where bubbles were not confirmed under the temperature condition of 110 ° C., the case where bubbles were not confirmed under the temperature condition of 120 ° C., The case where the resin was not completely embedded under the temperature condition of 120 ° C. and bubbles were generated was indicated as x.

<アルカリ加工性評価>
3%塩酸水溶液で酸洗浄した両面フレキシブル基板(エスパネックスM、新日鉄化学社製、絶縁層の厚さ25μm、導電層:銅箔F2−WS(12μm))の一方の導電層上に上記樹脂付銅箔の樹脂層を真空プレス機(北川精機社製)にて、120℃、1.0MPaで1分間加圧して積層した。次に、こうして得られた積層体の導電層上にドライフィルムレジスト(サンフォートAQ2578 旭化成イーマテリアルズ社製)をラミネートし、200μmφの円孔パターンを形成した後、塩化第二鉄エッチング液で円孔形成部の導電層をエッチング除去した。
<Alkali processability evaluation>
Double-sided flexible substrate (Espanex M, manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., insulation layer thickness 25 μm, conductive layer: copper foil F2-WS (12 μm)) with the above resin on one conductive layer washed with a 3% hydrochloric acid aqueous solution The resin layer of copper foil was laminated by pressurizing at 120 ° C. and 1.0 MPa for 1 minute with a vacuum press (manufactured by Kitagawa Seiki Co., Ltd.). Next, a dry film resist (Sanfort AQ2578 manufactured by Asahi Kasei E-Materials Co., Ltd.) is laminated on the conductive layer of the laminate thus obtained to form a circular hole pattern of 200 μmφ, and then circled with a ferric chloride etching solution. The conductive layer in the hole forming part was removed by etching.

その後、50℃に加温した3wt%の水酸化ナトリウム水溶液を樹脂組成物層に圧力0.18MPaでスプレーし、0.18MPaで120秒間蒸留水でのスプレー水洗及びエアーガンによる乾燥を実施し、ブラインドビアを形成した。30μmの厚みの樹脂層を1分以内のアルカリスプレー時間で除去でき、ブラインドビアの底に両面フレキシブル基板の導電層が完全に露出した場合を◎とし、樹脂層を2分以内のスプレー時間で除去でき、ブラインドビアの底に両面フレキシブル基板の導電層が完全に露出した場合を○とし、2分のスプレー時間ではブラインドビアの底に樹脂層が残存した場合を△とし、3分スプレーしたが、ブラインドビアの底に樹脂層が残存した場合を×とした。   Thereafter, a 3 wt% sodium hydroxide aqueous solution heated to 50 ° C. is sprayed onto the resin composition layer at a pressure of 0.18 MPa, spray water washing with distilled water at 0.18 MPa for 120 seconds and drying with an air gun are performed. A via was formed. A resin layer with a thickness of 30 μm can be removed with an alkali spray time of less than 1 minute, and when the conductive layer of the double-sided flexible board is completely exposed at the bottom of the blind via, the resin layer is removed with a spray time of less than 2 minutes. Yes, when the conductive layer of the double-sided flexible substrate is completely exposed at the bottom of the blind via, and when the resin layer remains on the bottom of the blind via in the spray time of 2 minutes, and sprayed for 3 minutes, The case where the resin layer remained at the bottom of the blind via was marked as x.

<絶縁信頼性(HAST耐性)評価>
絶縁信頼性評価は、以下のように実施した。樹脂組成物溶液をPETフィルムに塗布し、乾燥器(ESPEC社製、SPHH−10l)にて大気中90℃で30分間溶媒乾燥を行って、乾燥後の樹脂厚みが25μmの樹脂付PETを得た。これを銅厚12μm、ラインアンドスペースが20μm/20μmのくし型基板上に、真空プレス機(北川精機社製)にて、140℃、1.0MPaで1分間加圧した後にPETフィルムを剥離し、乾燥器(ESPEC社製、SPHH−10l)にて、180℃で1時間キュアして、積層体を得た。こうして得られた積層体にマイグレーションテスタのケーブルを半田付けし、下記条件にて絶縁信頼性試験を行った。
絶縁劣化評価システム:SIR−12(楠本化成社製)
HASTチャンバー:EHS−211M(エスペック社製)
温度:110℃
湿度:85%
印加電圧:2V
印加時間:504時間
<Evaluation of insulation reliability (HAST resistance)>
The insulation reliability evaluation was performed as follows. The resin composition solution is applied to a PET film, and solvent drying is performed at 90 ° C. for 30 minutes in the air using a dryer (SPHH-10L, manufactured by ESPEC) to obtain a PET with a resin having a resin thickness after drying of 25 μm. It was. This was pressed on a comb-type substrate having a copper thickness of 12 μm and a line and space of 20 μm / 20 μm with a vacuum press (made by Kitagawa Seiki Co., Ltd.) at 140 ° C. and 1.0 MPa for 1 minute, and then the PET film was peeled off. Then, it was cured at 180 ° C. for 1 hour in a dryer (SPHH-10 l, manufactured by ESPEC) to obtain a laminate. A migration tester cable was soldered to the laminate thus obtained, and an insulation reliability test was performed under the following conditions.
Insulation degradation evaluation system: SIR-12 (Enomoto Kasei Co., Ltd.)
HAST chamber: EHS-211M (Espec Corp.)
Temperature: 110 ° C
Humidity: 85%
Applied voltage: 2V
Application time: 504 hours

絶縁抵抗値:1.0×10Ω未満を×、1.0×10Ω〜1.0×10Ω未満を△、1.0×10Ω〜1.0×10Ω未満を○、1.0×10Ω以上を◎とした。 Insulation resistance: 1.0 × × less than 10 6 Omega, less than 1.0 × 10 6 Ω~1.0 × 10 7 Ω △, 1.0 × 10 7 Ω~1.0 × less than 10 8 Omega ○, and 1.0 × 10 8 Ω or more as ◎.

<半田耐熱性評価>
上記樹脂付銅箔を乾燥器(ESPEC社製、SPHH−10l)にて、80℃で2時間脱湿乾燥した。次に、予め3%塩酸水溶液で酸洗浄した電解銅箔F2−WS(9μm)の光沢面上に、真空プレス機(北川精機社製)にて樹脂付銅箔の樹脂組成物層を100℃、1.0MPaの条件で1分間加圧して積層した後、上記乾燥器を用いて180℃で、1時間キュアした。
<Solder heat resistance evaluation>
The resin-coated copper foil was dehumidified and dried at 80 ° C. for 2 hours with a dryer (SPHH-10 l, manufactured by ESPEC). Next, the resin composition layer of the resin-coated copper foil was placed at 100 ° C. on the glossy surface of the electrolytic copper foil F2-WS (9 μm) that had been acid-washed in advance with a 3% hydrochloric acid aqueous solution using a vacuum press machine (manufactured by Kitagawa Seiki) The laminate was pressed for 1 minute under the condition of 1.0 MPa, and then cured at 180 ° C. for 1 hour using the dryer.

キュア後の試料を10cm×10cmに切断したものを260℃の半田浴上に樹脂付銅箔の導電層を下にして120秒間フロートして試験を行った。試験時に肉眼で外観を観察し、導電層に樹脂層と導体層との間のデラミネーションに起因する膨れが発生しているかを確認し、下記の基準により評価した。肉眼で膨れが全く確認されなかった場合を◎とし、60秒間は全く膨れがなく、60秒以降に発生した場合を○とし、20秒以上60秒以内に膨れが発生した場合を△とし、20秒以内に膨れが発生した場合を×とした。   The cured sample was cut to 10 cm × 10 cm and floated on a 260 ° C. solder bath with the resin-coated copper foil conductive layer down for 120 seconds for testing. The appearance was observed with the naked eye during the test, and it was confirmed whether or not the swelling due to delamination between the resin layer and the conductor layer occurred in the conductive layer, and the evaluation was performed according to the following criteria. The case where no swelling was confirmed with the naked eye was marked ◎, the case where there was no swelling for 60 seconds, the case where it occurred after 60 seconds, ○, the case where swelling occurred within 20 seconds to 60 seconds, △, The case where blistering occurred within a second was taken as x.

<耐折性評価>
得られた樹脂付銅箔を乾燥器(ESPEC社製、SPHH−10l)にて、180℃で1時間キュアした後、1.5cm×5cmに切断した。この試料を樹脂組成物側の面を外側にして長辺方向を二分するように折り曲げ、750gの分銅を載せて10秒間保持した後、平らに戻した状態で750gの分銅を載せ10秒保持した。このサイクルを1回とし、試験後の折り曲げ部の外観を100倍の光学顕微鏡で観察し、樹脂組成物にクラックが入って下地の銅が露出するまで上記の折り曲げ作業を繰り返し、耐折回数を調べた。1回目で下地の銅が露出して耐折回数が0回の場合を×とし、耐折回数1回の場合を△とし、耐折回数2回〜4回の場合を○とし、5回折り曲げても下地の銅が露出しなかったものを◎とした。
<Folding resistance evaluation>
The obtained copper foil with resin was cured at 180 ° C. for 1 hour with a drier (manufactured by ESPEC, SPHH-10 l), and then cut into 1.5 cm × 5 cm. The sample was bent so that the surface of the resin composition side was the outside and the long side direction was divided in half, and a weight of 750 g was put on it and held for 10 seconds. Then, a weight of 750 g was put on and held for 10 seconds. . With this cycle as one time, the appearance of the folded part after the test was observed with a 100 × optical microscope, and the above folding operation was repeated until the resin composition was cracked and the underlying copper was exposed. Examined. The first time when the underlying copper is exposed and the folding resistance is 0, x is marked, the folding resistance is 1 when △, the folding resistance is 2-4, and the folding is 5 times. Even if the underlying copper was not exposed, it was marked ◎.

<ホスファゼン化合物Aの合成>
シアノ基を有するホスファゼン化合物Aは、特開2002−114981号公報の合成例17記載の方法で合成した。
<Synthesis of phosphazene compound A>
The phosphazene compound A having a cyano group was synthesized by the method described in Synthesis Example 17 of JP-A No. 2002-114981.

攪拌装置、加熱装置、温度計及び脱水装置を備えた容量2リットルの四ツ口フラスコに4−シアノフェノール1.32モル(157.2g)、フェノール2.20モル(124.2g)、水酸化ナトリウム2.64モル(105.6g)及びトルエン1000mlを添加した。この混合物を加熱還流し、系から水を除き、シアノフェノール及びフェノールのナトリウム塩のトルエン溶液を調製した。このシアノフェノール及びフェノールのナトリウム塩のトルエン溶液に、1ユニットモル(115.9g)のジクロロホスファゼンオリゴマーを含む20%クロルベンゼン溶液580gを撹拌しながら内温30℃以下で滴下した。この混合溶液を12時間還流した後、反応混合物に5%水酸化ナトリウム水溶液を添加し2回洗浄した。次に有機層を希硫酸で中和した後、水洗を2回行い、有機層を濾過し、濃縮、真空乾燥して、目的物(ホスファゼン化合物A)を得た。   4-cyanophenol 1.32 mol (157.2 g), phenol 2.20 mol (124.2 g), hydroxylation in a 2 liter four-necked flask equipped with a stirrer, heating device, thermometer and dehydrator Sodium 2.64 mol (105.6 g) and 1000 ml toluene were added. This mixture was heated to reflux, water was removed from the system, and a toluene solution of cyanophenol and a sodium salt of phenol was prepared. 580 g of a 20% chlorobenzene solution containing 1 unit mol (115.9 g) of dichlorophosphazene oligomer was added dropwise to the toluene solution of cyanophenol and sodium salt of phenol at an internal temperature of 30 ° C. or lower while stirring. After the mixed solution was refluxed for 12 hours, a 5% aqueous sodium hydroxide solution was added to the reaction mixture and washed twice. Next, the organic layer was neutralized with dilute sulfuric acid, and then washed twice with water. The organic layer was filtered, concentrated, and dried in vacuo to obtain the desired product (phosphazene compound A).

[合成例1](ポリイミドA)の合成
三口セパラブルフラスコに窒素導入管、温度計、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を取り付けた。乾燥窒素雰囲気下、オイルバス60℃で、γ―ブチロラクトン(GBL)147.1g、トルエン45.0g、2,2’−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(6FAP)10.62g、ポリアルキルエーテルジアミン(分子量430、商品名:D400、BASF社製)19.18g、シリコーンジアミン(分子量860、商品名:KF−8010、信越化学社製)18.40gを入れ、均一になるまで攪拌した。さらに、4,4’−オキシジフタル酸二無水物(ODPA)31.02gを少しずつ添加した後に、180℃まで昇温し、2時間加熱した。反応中、副生する水は、トルエンと共沸し、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を用いて、還流下、脱水を行った。副生水を抜いた後、還流を止め、3時間かけてトルエンを全抜きし、室温まで冷却した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリイミドAワニスを得た。重量平均分子量は2.2万であった。原料仕込み比からポリマー中の上記一般式(1)及び(2)で示す柔軟セグメント(1)及び(2)の構造、繰り返し単位数、含有質量%及びフェノール性水酸基のミリモル量を算出した結果を表1に示す。
[Synthesis Example 1] Synthesis of (Polyimide A) A three-necked separable flask was equipped with a ball cooling tube equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a water separation trap. Under a dry nitrogen atmosphere, in an oil bath at 60 ° C., 147.1 g of γ-butyrolactone (GBL), 45.0 g of toluene, 2,2′-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane (6FAP) 10. 62 g, polyalkyl ether diamine (molecular weight 430, trade name: D400, manufactured by BASF) 19.18 g, silicone diamine (molecular weight 860, trade name: KF-8010, manufactured by Shin-Etsu Chemical) 18.40 g are uniformly added. Until stirred. Furthermore, after adding 31.02 g of 4,4'-oxydiphthalic dianhydride (ODPA) little by little, it heated up to 180 degreeC and heated for 2 hours. During the reaction, by-product water was azeotroped with toluene and dehydrated under reflux using a ball-mounted condenser equipped with a water separation trap. After draining by-product water, the reflux was stopped and toluene was completely drained over 3 hours and cooled to room temperature. Next, the product was pressure filtered through a 5 μm filter to obtain a polyimide A varnish. The weight average molecular weight was 22,000. The result of calculating the structure of the flexible segments (1) and (2) represented by the above general formulas (1) and (2), the number of repeating units, the content mass%, and the mmol amount of the phenolic hydroxyl group in the polymer from the raw material charge ratio Table 1 shows.

ここで柔軟セグメント(1)及び(2)の含有質量%は次のように算出した。まず、柔軟セグメント(1)及び(2)を含む原料(例えばポリアルキルエーテルジアミン)中における柔軟セグメント(1)及び(2)の質量含有率(p1又はp2)を求める。次に、各原料の仕込み量の総計から、重合によって発生する副生成物(ポリイミドであればイミド化によって発生する水)の理論質量を引いた値をポリマーの総量(W)とする。柔軟セグメント(1)又は(2)を含む原料の仕込み量をw1又はw2とし、柔軟セグメント(1)の含有質量%は(w1×p1)/W、柔軟セグメント(2)の含有率は(w2×p2)/Wの式から算出した。   Here, the content mass% of the flexible segments (1) and (2) was calculated as follows. First, the mass content (p1 or p2) of the flexible segments (1) and (2) in the raw material (for example, polyalkyl ether diamine) containing the flexible segments (1) and (2) is determined. Next, a value obtained by subtracting the theoretical mass of the by-product generated by polymerization (water generated by imidization in the case of polyimide) from the total charged amount of each raw material is defined as the total amount (W) of the polymer. The feed amount of the raw material including the flexible segment (1) or (2) is w1 or w2, the content mass% of the flexible segment (1) is (w1 × p1) / W, and the content of the flexible segment (2) is (w2 * It calculated from the formula of p2) / W.

ポリマー中のフェノール性水酸基のミリモル量は、まず、フェノール性水酸基を含む原料の仕込み量と原料のフェノール価数からフェノール性水酸基のミリモル量(M)を求め、M/Wの式により算出した。   The millimolar amount of the phenolic hydroxyl group in the polymer was calculated from the formula M / W by first obtaining the millimolar amount (M) of the phenolic hydroxyl group from the charged amount of the raw material containing the phenolic hydroxyl group and the phenol valence of the raw material.

[合成例2](ポリイミドB)の合成
三口セパラブルフラスコに窒素導入管、温度計、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を取り付けた。乾燥窒素雰囲気下、オイルバス60℃で、GBL176.1g、トルエン45.0g、6FAP 12.82g、D400 25.80gを入れ、均一になるまで攪拌した。さらに、ODPA 18.92g、両末端酸二無水物変性シリコーン(分子量956、商品名:X−22−2290AS、信越化学工業社製)37.28gを少しずつ添加した後に、180℃まで昇温し、2時間加熱した。反応中、副生する水は、トルエンと共沸し、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を用いて、還流下、脱水を行った。副生水を抜いた後、還流を止め、3時間かけてトルエンを全抜きし、室温まで冷却した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリイミドBワニスを得た。重量平均分子量は2.3万であった。原料仕込み比から、合成例1と同様にポリマー中の柔軟セグメント(1)、(2)の構造、繰り返し単位数、含有質量%及びフェノール性水酸基のミリモル量を算出した結果を表1に示す。
[Synthesis Example 2] Synthesis of (Polyimide B) A three-necked separable flask was equipped with a ball cooling tube equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a water separation trap. GBL176.1g, toluene 45.0g, 6FAP 12.82g, D400 25.80g was put at 60 degreeC of oil baths in dry nitrogen atmosphere, and it stirred until it became uniform. Further, 18.92 g of ODPA and 37.28 g of both terminal acid dianhydride-modified silicone (molecular weight 956, trade name: X-22-2290AS, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) were added little by little, and the temperature was raised to 180 ° C. Heated for 2 hours. During the reaction, by-product water was azeotroped with toluene and dehydrated under reflux using a ball-mounted condenser equipped with a water separation trap. After draining by-product water, the reflux was stopped and toluene was completely drained over 3 hours and cooled to room temperature. Next, the product was subjected to pressure filtration with a 5 μm filter to obtain a polyimide B varnish. The weight average molecular weight was 23,000. Table 1 shows the results of calculating the structure of the flexible segments (1) and (2), the number of repeating units, the content mass%, and the mmol amount of the phenolic hydroxyl group from the raw material charging ratio in the same manner as in Synthesis Example 1.

[合成例3](ポリイミドC)の合成
三口セパラブルフラスコに窒素導入管、温度計、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を取り付けた。乾燥窒素雰囲気下、オイルバス60℃で、GBL176.1g、トルエン45.0g、6FAP 21.98g、KF−8010 30.10gを入れ、均一になるまで攪拌した。さらに、ODPA 15.51g、ビスフェノールAのプロピレンオキシド10モル付加体の両末端酸二無水物(分子量1150、商品名:CRD−101、東邦化学社製)57.50gを少しずつ添加した後に、180℃まで昇温し、2時間加熱した。反応中、副生する水は、トルエンと共沸し、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を用いて、還流下、脱水を行った。副生水を抜いた後、還流を止め、3時間かけてトルエンを全抜きし、室温まで冷却した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリイミドCワニスを得た。重量平均分子量は2.7万であった。原料仕込み比から、合成例1と同様にポリマー中の柔軟セグメント(1)、(2)の構造、繰り返し単位数、含有質量%及びフェノール性水酸基のミリモル量を算出した結果を表1に示す。
[Synthesis Example 3] Synthesis of (Polyimide C) A three-necked separable flask was equipped with a cooling tube with a ball equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a water separation trap. GBL176.1g, toluene 45.0g, 6FAP 21.98g, KF-8010 30.10g was put in oil bath 60 degreeC in dry nitrogen atmosphere, and it stirred until it became uniform. Furthermore, after adding 15.51 g of ODPA and 57.50 g of bisphenol A propylene oxide 10 mol adducts at both ends (molecular weight 1150, trade name: CRD-101, manufactured by Toho Chemical Co., Ltd.) little by little, 180 The temperature was raised to 0 ° C. and heated for 2 hours. During the reaction, by-product water was azeotroped with toluene and dehydrated under reflux using a ball-mounted condenser equipped with a water separation trap. After draining by-product water, the reflux was stopped and toluene was completely drained over 3 hours and cooled to room temperature. Next, the product was pressure filtered through a 5 μm filter to obtain a polyimide C varnish. The weight average molecular weight was 27,000. Table 1 shows the results of calculating the structure of the flexible segments (1) and (2), the number of repeating units, the content mass%, and the mmol amount of the phenolic hydroxyl group from the raw material charging ratio in the same manner as in Synthesis Example 1.

[合成例4](ポリイミドD)の合成
三口セパラブルフラスコに窒素導入管、温度計、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を取り付けた。乾燥窒素雰囲気下、オイルバス60℃で、GBL171.0g、トルエン45.0g、6FAP 17.58g、ポリアルキルエーテルジアミン(分子量1000、商品名:ジェファーミン(XTJ−542)、ハンツマン社製)22.00g、KF−8010 21.50gを入れ、均一になるまで攪拌した。さらに、ODPA 31.02gを少しずつ添加した後に、180℃まで昇温し、2時間加熱した。反応中、副生する水は、トルエンと共沸し、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を用いて、還流下、脱水を行った。副生水を抜いた後、還流を止め、3時間かけてトルエンを全抜きし、室温まで冷却した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリイミドDワニスを得た。重量平均分子量は2.5万であった。原料仕込み比から、合成例1と同様にポリマー中の柔軟セグメント(1)、(2)の構造、繰り返し単位数、含有質量%及びフェノール性水酸基のミリモル量を算出した結果を表1に示す。
[Synthesis Example 4] Synthesis of (Polyimide D) A three-necked separable flask was equipped with a ball cooling tube equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a water separation trap. 21. GBL 171.0 g, toluene 45.0 g, 6FAP 17.58 g, polyalkyl ether diamine (molecular weight 1000, trade name: Jeffamine (XTJ-542), manufactured by Huntsman) in an oil bath 60 ° C. in a dry nitrogen atmosphere 00 g and 21.50 g of KF-8010 were added and stirred until uniform. Furthermore, after adding 31.02 g of ODPA little by little, it heated up to 180 degreeC and heated for 2 hours. During the reaction, by-product water was azeotroped with toluene and dehydrated under reflux using a ball-mounted condenser equipped with a water separation trap. After draining by-product water, the reflux was stopped and toluene was completely drained over 3 hours and cooled to room temperature. Next, the product was pressure-filtered with a 5 μm filter to obtain a polyimide D varnish. The weight average molecular weight was 25,000. Table 1 shows the results of calculating the structure of the flexible segments (1) and (2), the number of repeating units, the content mass%, and the mmol amount of the phenolic hydroxyl group from the raw material charging ratio in the same manner as in Synthesis Example 1.

[合成例5](ポリイミドE)の合成
三口セパラブルフラスコに窒素導入管、温度計、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を取り付けた。乾燥窒素雰囲気下、オイルバス60℃で、GBL137.2g、トルエン45.0g、6FAP 20.03g、D400 11.83g、KF−8010 11.01gを入れ、均一になるまで攪拌した。さらに、ODPA 31.02gを少しずつ添加した後に、180℃まで昇温し、2時間加熱した。反応中、副生する水は、トルエンと共沸し、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を用いて、還流下、脱水を行った。副生水を抜いた後、還流を止め、3時間かけてトルエンを全抜きし、室温まで冷却した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリイミドEワニスを得た。重量平均分子量は2.1万であった。原料仕込み比から、合成例1と同様にポリマー中の柔軟セグメント(1)、(2)の構造、繰り返し単位数、含有質量%及びフェノール性水酸基のミリモル量を算出した結果を表1に示す。
[Synthesis Example 5] Synthesis of (Polyimide E) A three-necked separable flask was equipped with a ball cooling tube equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a water separation trap. GBL137.2g, toluene 45.0g, 6FAP 20.03g, D400 11.83g, KF-8010 11.01g was put in oil bath 60 degreeC in dry nitrogen atmosphere, and it became uniform. Furthermore, after adding 31.02 g of ODPA little by little, it heated up to 180 degreeC and heated for 2 hours. During the reaction, by-product water was azeotroped with toluene and dehydrated under reflux using a ball-mounted condenser equipped with a water separation trap. After draining by-product water, the reflux was stopped and toluene was completely drained over 3 hours and cooled to room temperature. Next, the product was pressure-filtered with a 5 μm filter to obtain a polyimide E varnish. The weight average molecular weight was 21,000. Table 1 shows the results of calculating the structure of the flexible segments (1) and (2), the number of repeating units, the content mass%, and the mmol amount of the phenolic hydroxyl group from the raw material charging ratio in the same manner as in Synthesis Example 1.

[合成例6](ポリイミドF)の合成
三口セパラブルフラスコに窒素導入管、温度計、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を取り付けた。乾燥窒素雰囲気下、オイルバス60℃で、GBL309.0g、トルエン45.0g、6FAP 9.52g、XTJ−542 69.00gを入れ、均一になるまで攪拌した。さらに、ODPA 3.72g、X−22−2290AS 84.13gを少しずつ添加した後に、180℃まで昇温し、2時間加熱した。反応中、副生する水は、トルエンと共沸し、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を用いて、還流下、脱水を行った。副生水を抜いた後、還流を止め、3時間かけてトルエンを全抜きし、室温まで冷却した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリイミドFワニスを得た。重量平均分子量は2.4万であった。原料仕込み比から、合成例1と同様にポリマー中の柔軟セグメント(1)、(2)の構造、繰り返し単位数、含有質量%及びフェノール性水酸基のミリモル量を算出した結果を表1に示す。
[Synthesis Example 6] Synthesis of (Polyimide F) A three-necked separable flask was equipped with a ball cooling tube equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a water separation trap. Under a dry nitrogen atmosphere, an oil bath at 60 ° C. was charged with 30 g of GBL, 45.0 g of toluene, 9.52 g of 6FAP, and 69.00 g of XTJ-542 and stirred until uniform. Furthermore, after adding ODPA 3.72g and X-22-2290AS 84.13g little by little, it heated up to 180 degreeC and heated for 2 hours. During the reaction, by-product water was azeotroped with toluene and dehydrated under reflux using a ball-mounted condenser equipped with a water separation trap. After draining by-product water, the reflux was stopped and toluene was completely drained over 3 hours and cooled to room temperature. Next, the product was pressure-filtered with a 5 μm filter to obtain a polyimide F varnish. The weight average molecular weight was 24,000. Table 1 shows the results of calculating the structure of the flexible segments (1) and (2), the number of repeating units, the content mass%, and the mmol amount of the phenolic hydroxyl group from the raw material charging ratio in the same manner as in Synthesis Example 1.

[合成例7](ポリウレタンA)の合成
窒素導入管、温度計を備えた三口セパラブルフラスコを準備し、乾燥窒素雰囲気下、オイルバス90℃で、GBL100.0g、ビスフェノールAのプロピレンオキシド付加体のジオール(分子量580、商品名:アデカポリオール(BPX−33)、旭電化社製)を入れ、均一になるまで攪拌した。さらに、4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI) 24.77gを添加し溶解させた後、90℃で2時間撹拌した。この溶液にKF−8010 17.20gを添加して90℃で2時間反応させた後、40℃まで冷却し、さらにこの溶液に6FAP 10.99g、GBL 52.2gを40℃で10時間撹拌した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリウレタンAワニスを得た。重量平均分子量は3.0万であった。原料仕込み比から、合成例1と同様にポリマー中の柔軟セグメント(1)、(2)の構造、繰り返し単位数、含有質量%及びフェノール性水酸基のミリモル量を算出した結果を表1に示す。
[Synthesis Example 7] (Polyurethane A) Synthesis A three-necked separable flask equipped with a nitrogen inlet tube and a thermometer was prepared, and GBL 100.0 g, propylene oxide adduct of bisphenol A was added at 90 ° C. in an oil bath under a dry nitrogen atmosphere. Diol (molecular weight 580, trade name: Adeka polyol (BPX-33), manufactured by Asahi Denka Co., Ltd.) was added and stirred until uniform. Further, 24.77 g of 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI) was added and dissolved, and then stirred at 90 ° C. for 2 hours. 17.20 g of KF-8010 was added to this solution and reacted at 90 ° C. for 2 hours, and then cooled to 40 ° C. Further, 10.99 g of 6FAP and 52.2 g of GBL were stirred at 40 ° C. for 10 hours. . Next, the product was pressure filtered through a 5 μm filter to obtain a polyurethane A varnish. The weight average molecular weight was 30,000. Table 1 shows the results of calculating the structure of the flexible segments (1) and (2), the number of repeating units, the content mass%, and the mmol amount of the phenolic hydroxyl group from the raw material charging ratio in the same manner as in Synthesis Example 1.

[合成例8](ポリアミドA)の合成
窒素導入管、温度計を備えた三口セパラブルフラスコを準備し、乾燥窒素雰囲気下、N−メチル−2−ピロリドン115.81g、3,5−ジアミノフェノール6.21g、XTJ−542 23.00g、KF−8010 23.22gを入れ、均一になるまで撹拌した。さらに0〜5℃の氷浴中で、テレフタル酸ジクロリド19.69gをN−メチル−2−ピロリドン19.69gに溶かした溶液を30分かけてゆっくりと滴下し、室温で3時間反応させた。この溶液にベンゾイルクロリド 0.84gをゆっくりと滴下した後、3時間撹拌した。反応終了後、この溶液を1000gの蒸留水中に加え、沈殿物をろ別し、減圧乾燥してポリアミドA粉体を得た。重量平均分子量は2.9万であった。原料仕込み比から、合成例1と同様にポリマー中の柔軟セグメント(1)、(2)の構造、繰り返し単位数、含有質量%及びフェノール性水酸基のミリモル量を算出した結果を表1に示す。
[Synthesis Example 8] (Polyamide A) Synthesis A three-necked separable flask equipped with a nitrogen introduction tube and a thermometer was prepared, and 115.81 g of N-methyl-2-pyrrolidone, 3,5-diaminophenol was prepared in a dry nitrogen atmosphere. 6.21 g, XTJ-542 23.00 g, and KF-8010 23.22 g were added and stirred until uniform. Further, a solution prepared by dissolving 19.69 g of terephthalic acid dichloride in 19.69 g of N-methyl-2-pyrrolidone in an ice bath at 0 to 5 ° C. was slowly added dropwise over 30 minutes and reacted at room temperature for 3 hours. To this solution, 0.84 g of benzoyl chloride was slowly added dropwise and stirred for 3 hours. After completion of the reaction, this solution was added to 1000 g of distilled water, and the precipitate was filtered off and dried under reduced pressure to obtain polyamide A powder. The weight average molecular weight was 29,000. Table 1 shows the results of calculating the structure of the flexible segments (1) and (2), the number of repeating units, the content mass%, and the mmol amount of the phenolic hydroxyl group from the raw material charging ratio in the same manner as in Synthesis Example 1.

[実施例1]
ポリイミドAワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドAの固形分が53.6質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物として1,3−ビス(4,5−ジヒドロ−2−オキサゾリル)ベンゼン(以下、PBO)が4.4質量%、難燃剤として複合水酸化マグネシウムMGZ−5R(堺化学工業社製)が40.0質量%、酸化防止剤としてイルガノックス245(BASF社製)(以下、IRG245)が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が〇、アルカリ加工性が〇、HAST耐性が◎、半田耐熱性が◎、耐折性が○であった。評価結果を表2に示す。
[Example 1]
The polyimide A varnish is used as it is, diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, the solid content of polyimide A is 53.6% by mass, and the compound containing two oxazoline groups is 1, 4.4% by mass of 3-bis (4,5-dihydro-2-oxazolyl) benzene (hereinafter referred to as PBO), 40.0% by mass of composite magnesium hydroxide MGZ-5R (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) as a flame retardant A resin-coated copper foil was prepared using a resin composition solution prepared so that Irganox 245 (manufactured by BASF) (hereinafter, IRG245) was 2.0% by mass as an antioxidant, and the evaluation was performed. . As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ◯, the alkali workability was ◯, the HAST resistance was ◎, the solder heat resistance was ◎, and the folding resistance was ○. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例2]
ポリイミドAワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドAの固形分が55.8質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが2.2質量%、難燃剤として複合水酸化マグネシウムMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が〇、アルカリ加工性が○、HAST耐性が○、半田耐熱性が○、耐折性が○であった。評価結果を表2に示す。
[Example 2]
Polyimide A varnish is used as it is, diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 55.8% by mass of polyimide A and 2 oxazoline groups. Resin-coated copper using a resin composition solution prepared such that 2.2% by mass, composite magnesium hydroxide MGZ-5R is 40.0% by mass as a flame retardant, and IRG245 is 2.0% by mass as an antioxidant A foil was prepared and evaluated. As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ◯, the alkali workability was ◯, the HAST resistance was ◯, the solder heat resistance was ◯, and the folding resistance was ◯. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例3]
ポリイミドAワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドAの固形分が50.0質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが8・0質量%、難燃剤として複合水酸化マグネシウムMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が〇、アルカリ加工性が○、HAST耐性が○、半田耐熱性が○、耐折性が○であった。評価結果を表2に示す。
[Example 3]
Using polyimide A varnish as it is, it is diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 50.0% by mass of polyimide A and 2 oxazoline groups. Resin-coated copper using a resin composition solution prepared so that 8.0% by mass, 40.0% by mass of composite magnesium hydroxide MGZ-5R as a flame retardant, and 2.0% by mass of IRG245 as an antioxidant A foil was prepared and evaluated. As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ◯, the alkali workability was ◯, the HAST resistance was ◯, the solder heat resistance was ◯, and the folding resistance was ◯. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例4]
ポリイミドBワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドBの固形分が53.6質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが4.4質量%、難燃剤として複合水酸化マグネシウムMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が〇、アルカリ加工性が◎、HAST耐性が◎、半田耐熱性が◎、耐折性が○であった。評価結果を表2に示す。
[Example 4]
Polyimide B varnish is used as it is, diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 53.6% by mass of polyimide B and 2 oxazoline groups. Resin-coated copper using a resin composition solution prepared to be 4.4% by mass, 40.0% by mass of composite magnesium hydroxide MGZ-5R as a flame retardant, and 2.0% by mass of IRG245 as an antioxidant A foil was prepared and evaluated. As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ◯, the alkali workability was ◎, the HAST resistance was ◎, the solder heat resistance was ◎, and the folding resistance was ○. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例5]
ポリイミドCワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドCの固形分が52.4質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが5.6質量%、難燃剤として複合水酸化マグネシウムMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が〇、アルカリ加工性が◎、HAST耐性が◎、半田耐熱性が◎、耐折性が○であった。評価結果を表2に示す。
[Example 5]
Using polyimide C varnish as it is, it is diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 52.4% by mass of polyimide C and 2 oxazoline groups. Copper with resin using a solution of a resin composition prepared so that 5.6% by mass, composite magnesium hydroxide MGZ-5R is 40.0% by mass as a flame retardant, and IRG245 is 2.0% by mass as an antioxidant A foil was prepared and evaluated. As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ◯, the alkali workability was ◎, the HAST resistance was ◎, the solder heat resistance was ◎, and the folding resistance was ○. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例6]
ポリイミドDワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドDの固形分が52.0質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが6.0質量%、難燃剤として複合水酸化マグネシウムMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が〇、アルカリ加工性が◎、HAST耐性が○、半田耐熱性が◎、耐折性が◎であった。評価結果を表2に示す。
[Example 6]
Polyimide D varnish is used as it is, diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 52.0% by mass of polyimide D and 2 oxazoline groups. Copper with resin using a resin composition solution prepared so that 6.0% by mass, 40.0% by mass of composite magnesium hydroxide MGZ-5R as a flame retardant, and 2.0% by mass of IRG245 as an antioxidant A foil was prepared and evaluated. As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ◯, the alkali workability was ◎, the HAST resistance was ○, the solder heat resistance was ◎, and the folding resistance was ◎. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例7]
ポリイミドDワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドDの固形分が48.3質量%、ビスフェノールA型のエポキシ基を2つ含有するエポキシ化合物CとしてDIC社製EPICRON(登録商標)840(以下840)を9.7質量%、難燃剤として複合水酸化マグネシウムMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が〇、アルカリ加工性が◎、HAST耐性が○、半田耐熱性が◎、耐折性が○であった。評価結果を表2に示す。
[Example 7]
Using polyimide D varnish as it is, it is diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, the solid content of polyimide D is 48.3% by mass, and contains two epoxy groups of bisphenol A type Epoxy compound C EPICRON (registered trademark) 840 (hereinafter 840) 9.7% by mass, composite magnesium hydroxide MGZ-5R is 40.0% by mass as a flame retardant, and IRG245 is 2.0 as an antioxidant. Resin-coated copper foil was prepared using a resin composition solution prepared so as to have a mass%, and evaluated. As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ◯, the alkali workability was ◎, the HAST resistance was ◯, the solder heat resistance was ◎, and the folding resistance was ◯. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例8]
ポリイミドEワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドEの固形分が49.8質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが8.2質量%、難燃剤として複合水酸化マグネシウムMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が△、アルカリ加工性が◎、HAST耐性が◎、半田耐熱性が◎、耐折性が△であった。評価結果を表2に示す。
[Example 8]
Polyimide E varnish is used as it is, diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 49.8% by mass of polyimide E and 2 oxazoline groups. Resin-coated copper using a resin composition solution prepared such that 8.2% by mass, composite magnesium hydroxide MGZ-5R is 40.0% by mass as a flame retardant, and IRG245 is 2.0% by mass as an antioxidant A foil was prepared and evaluated. The evaluation results were Δ for low-temperature pressability, ◎ for alkali workability, ◎ for HAST resistance, ◎ for solder heat resistance, and △ for folding resistance. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例9]
ポリイミドEワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドEの固形分が58.4質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが9.6質量%、難燃剤としてシアノ基を有するホスファゼン化合物Aが30.0質量%に、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が〇、アルカリ加工性が◎、HAST耐性が△、半田耐熱性が◎、耐折性が○であった。評価結果を表2に示す。
[Example 9]
Polyimide E varnish is used as it is, diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 58.4% by mass of polyimide E and 2 oxazoline groups. 9.6% by mass, phosphazene compound A having a cyano group as a flame retardant is 30.0% by mass, and IRG245 is 2.0% by mass as an antioxidant. A copper foil was prepared and evaluated. As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ◯, the alkali workability was ◎, the HAST resistance was Δ, the solder heat resistance was ◎, and the folding resistance was ◯. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例10]
ポリイミドFワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドFの固形分が56.0質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが2.0質量%、難燃剤として複合水酸化マグネシウムMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が〇、アルカリ加工性が△、HAST耐性が△、半田耐熱性が○、耐折性が◎であった。評価結果を表2に示す。
[Example 10]
Using polyimide F varnish as it is, it is diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 56.0% by mass of polyimide F and 2 oxazoline groups. Copper with resin using a solution of a resin composition prepared so that 2.0 mass%, composite magnesium hydroxide MGZ-5R is 40.0 mass% as a flame retardant, and IRG245 is 2.0 mass% as an antioxidant A foil was prepared and evaluated. As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ◯, the alkali workability was Δ, the HAST resistance was Δ, the solder heat resistance was ◯, and the folding resistance was ◎. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例11]
ポリウレタンAワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリウレタンAの固形分が53.6質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが4.4質量%、難燃剤として複合水酸化マグネシウムMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が〇、アルカリ加工性が〇、HAST耐性が○、半田耐熱性が○、耐折性が○であった。評価結果を表2に示す。
[Example 11]
Polyurethane A varnish is used as it is, diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 53.6% by mass of polyurethane A and 2 oxazoline groups. Resin-coated copper using a resin composition solution prepared to be 4.4% by mass, 40.0% by mass of composite magnesium hydroxide MGZ-5R as a flame retardant, and 2.0% by mass of IRG245 as an antioxidant A foil was prepared and evaluated. As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ◯, the alkali workability was ◯, the HAST resistance was ◯, the solder heat resistance was ◯, and the folding resistance was ◯. The evaluation results are shown in Table 2.

[実施例12]
ポリアミドAの粉体を53.9質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが4.1質量%、難燃剤として複合水酸化マグネシウムMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%で樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が〇、アルカリ加工性が〇、HAST耐性が○、半田耐熱性が○、耐折性が○であった。評価結果を表2に示す。
[Example 12]
Polyamide A powder 53.9% by mass, PBO 4.1% by mass as a compound containing two oxazoline groups, composite magnesium hydroxide MGZ-5R 40.0% by mass as a flame retardant, antioxidant It diluted with GBL so that IRG245 might be 2.0 mass% and the solid content of a resin composition might be 45 mass%, produced the copper foil with resin using the solution of the prepared resin composition, and performed the evaluation . As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ◯, the alkali workability was ◯, the HAST resistance was ◯, the solder heat resistance was ◯, and the folding resistance was ◯. The evaluation results are shown in Table 2.

[合成例9](ポリイミドG)の合成
短鎖シロキサン(上記一般式(1)の構造でm=1)と上記一般式(2)のポリアルキレンオキシド骨格を含有するポリイミドを合成した。
[Synthesis Example 9] Synthesis of (Polyimide G) A polyimide containing a short-chain siloxane (m = 1 in the structure of the above general formula (1)) and a polyalkylene oxide skeleton of the above general formula (2) was synthesized.

三口セパラブルフラスコに窒素導入管、温度計、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を取り付けた。乾燥窒素雰囲気下、オイルバス60℃で、GBL165.9g、トルエン45.0g、6FAP 10.99g、D400 17.20g、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(東京化成工業社製)30.10gを入れ、均一になるまで攪拌した。さらに、ODPA 31.02gを少しずつ添加した後に、180℃まで昇温し、2時間加熱した。反応中、副生する水は、トルエンと共沸し、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を用いて、還流下、脱水を行った。副生水を抜いた後、還流を止め、3時間かけてトルエンを全抜きし、室温まで冷却した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリイミドGワニスを得た。重量平均分子量は1.8万であった。原料仕込み比から、合成例1と同様にポリマー中の柔軟セグメント(1)、(2)の構造、繰り返し単位数、含有質量%及びフェノール性水酸基のミリモル量を算出した結果を表1に示す。   A three-necked separable flask was equipped with a nitrogen condenser, a thermometer, and a ball condenser equipped with a moisture separation trap. Under a dry nitrogen atmosphere, oil bath at 60 ° C., GBL 165.9 g, toluene 45.0 g, 6FAP 10.99 g, D400 17.20 g, 1,3-bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane (Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) (Made) 30.10 g was added and stirred until uniform. Furthermore, after adding 31.02 g of ODPA little by little, it heated up to 180 degreeC and heated for 2 hours. During the reaction, by-product water was azeotroped with toluene and dehydrated under reflux using a ball-mounted condenser equipped with a water separation trap. After draining by-product water, the reflux was stopped and toluene was completely drained over 3 hours and cooled to room temperature. Next, polyimide G varnish was obtained by carrying out pressure filtration of the product with a 5 micrometers filter. The weight average molecular weight was 18,000. Table 1 shows the results of calculating the structure of the flexible segments (1) and (2), the number of repeating units, the content mass%, and the mmol amount of the phenolic hydroxyl group from the raw material charging ratio in the same manner as in Synthesis Example 1.

[合成例10](ポリイミドH)の合成
上記一般式(2)で示す柔軟セグメント(2)を含まないポリイミドを合成した。
[Synthesis Example 10] Synthesis of (Polyimide H) A polyimide not containing the flexible segment (2) represented by the general formula (2) was synthesized.

三口セパラブルフラスコに窒素導入管、温度計、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を取り付けた。乾燥窒素雰囲気下、オイルバス60℃で、GBL162.1g、トルエン45.0g、6FAP 20.14g、KF−8010 36.12gを入れ、均一になるまで攪拌した。さらに、ODPA 31.02gを少しずつ添加した後に、180℃まで昇温し、2時間加熱した。反応中、副生する水は、トルエンと共沸し、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を用いて、還流下、脱水を行った。副生水を抜いた後、還流を止め、3時間かけてトルエンを全抜きし、室温まで冷却した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリイミドHワニスを得た。重量平均分子量は2.0万であった。原料仕込み比から、合成例1と同様にポリマー中の柔軟セグメント(1)、(2)の構造、繰り返し単位数、含有質量%及びフェノール性水酸基のミリモル量を算出した結果を表1に示す。   A three-necked separable flask was equipped with a nitrogen condenser, a thermometer, and a ball condenser equipped with a moisture separation trap. Under a dry nitrogen atmosphere, an oil bath at 60 ° C. was charged with 162.1 g of GBL, 45.0 g of toluene, 20.14 g of 6FAP, and 36.12 g of KF-8010, and stirred until uniform. Furthermore, after adding 31.02 g of ODPA little by little, it heated up to 180 degreeC and heated for 2 hours. During the reaction, by-product water was azeotroped with toluene and dehydrated under reflux using a ball-mounted condenser equipped with a water separation trap. After draining by-product water, the reflux was stopped and toluene was completely drained over 3 hours and cooled to room temperature. Next, polyimide H varnish was obtained by carrying out pressure filtration of the product with a 5 micrometers filter. The weight average molecular weight was 20,000. Table 1 shows the results of calculating the structure of the flexible segments (1) and (2), the number of repeating units, the content mass%, and the mmol amount of the phenolic hydroxyl group from the raw material charging ratio in the same manner as in Synthesis Example 1.

[合成例11](ポリイミドI)の合成
フェノール性水酸基を含有しないポリイミドを合成した。
[Synthesis Example 11] Synthesis of (Polyimide I) A polyimide not containing a phenolic hydroxyl group was synthesized.

三口セパラブルフラスコに窒素導入管、温度計、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を取り付けた。乾燥窒素雰囲気下、オイルバス60℃で、GBL143.4g、トルエン45.0g、D400 19.35g、KF−8010 18.49g、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(商品名;APB−N、三井化学社製)14.7gを入れ、均一になるまで攪拌した。さらに、ODPA 31.02gを少しずつ添加した後に、180℃まで昇温し、2時間加熱した。反応中、副生する水は、トルエンと共沸し、水分分離トラップを備えた玉付冷却管を用いて、還流下、脱水を行った。副生水を抜いた後、還流を止め、3時間かけてトルエンを全抜きし、室温まで冷却した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリイミドIワニスを得た。重量平均分子量は2.6万であった。原料仕込み比から、合成例1と同様にポリマー中の柔軟セグメント(1)、(2)の構造、繰り返し単位数、含有質量%及びフェノール性水酸基のミリモル量を算出した結果を表1に示す。   A three-necked separable flask was equipped with a nitrogen condenser, a thermometer, and a ball condenser equipped with a moisture separation trap. Under a dry nitrogen atmosphere, oil bath at 60 ° C., GBL 143.4 g, toluene 45.0 g, D400 19.35 g, KF-8010 18.49 g, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (trade name; APB- N, made by Mitsui Chemicals) was added and stirred until uniform. Furthermore, after adding 31.02 g of ODPA little by little, it heated up to 180 degreeC and heated for 2 hours. During the reaction, by-product water was azeotroped with toluene and dehydrated under reflux using a ball-mounted condenser equipped with a water separation trap. After draining by-product water, the reflux was stopped and toluene was completely drained over 3 hours and cooled to room temperature. Next, the product was subjected to pressure filtration with a 5 μm filter to obtain a polyimide I varnish. The weight average molecular weight was 26,000. Table 1 shows the results of calculating the structure of the flexible segments (1) and (2), the number of repeating units, the content mass%, and the mmol amount of the phenolic hydroxyl group from the raw material charging ratio in the same manner as in Synthesis Example 1.

[比較例1]
ポリイミドGワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドGの固形分が54.0質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが4.0質量%、難燃剤としてMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が×、アルカリ加工性が○、HAST耐性が△、半田耐熱性が◎、耐折性が×であった。評価結果を表3に示す。
[Comparative Example 1]
Polyimide G varnish is used as it is, diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 54.0% by mass of polyimide G and 2 oxazoline groups. A resin-coated copper foil was prepared using a resin composition solution prepared so that 4.0% by mass, MGZ-5R as a flame retardant was 40.0% by mass, and IRG245 was 2.0% by mass as an antioxidant. The evaluation was performed. The evaluation results were x for low-temperature pressability, ○ for alkali workability, Δ for HAST resistance, ◎ for solder heat resistance, and x for folding resistance. The evaluation results are shown in Table 3.

[比較例2]
ポリイミドGワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドGの固形分が63.3質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが4.7質量%、難燃剤としてホスファゼン化合物Aが30.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が△、アルカリ加工性が○、HAST耐性が×、半田耐熱性が◎、耐折性が△であった。評価結果を表3に示す。
[Comparative Example 2]
Polyimide G varnish is used as it is, diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 63.3% by mass of polyimide G and 2 oxazoline groups. A copper foil with a resin was prepared using a resin composition solution prepared to be 4.7% by mass, 30.0% by mass of phosphazene compound A as a flame retardant, and 2.0% by mass of IRG245 as an antioxidant. The evaluation was performed. The evaluation results were Δ for low-temperature pressability, ○ for alkali workability, × for HAST resistance, ◎ for solder heat resistance, and Δ for folding resistance. The evaluation results are shown in Table 3.

[比較例3]
ポリイミドHワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドHの固形分が50.8質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが7.2質量%、難燃剤としてMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が×、アルカリ加工性が×、HAST耐性が◎、半田耐熱性が◎、耐折性が○であった。評価結果を表3に示す。
[Comparative Example 3]
Polyimide H varnish is used as it is, diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 50.8% by mass of polyimide H and 2 oxazoline groups. A copper foil with resin was prepared using a resin composition solution prepared so that 7.2 mass%, MGZ-5R as flame retardant was 40.0 mass%, and IRG245 was 2.0 mass% as an antioxidant. The evaluation was performed. The evaluation results were x for low-temperature pressability, x for alkali workability, ◎ for HAST resistance, ◎ for solder heat resistance, and 折 for folding resistance. The evaluation results are shown in Table 3.

[比較例4]
ポリイミドHワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドHの固形分が46.7質量%、ビスフェノールA型のエポキシ基を2つ含有するエポキシ化合物として840を11.3質量%、難燃剤としてMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が×、アルカリ加工性が×、HAST耐性が◎、半田耐熱性が◎、耐折性が△であった。評価結果を表3に示す。
[Comparative Example 4]
Using polyimide H varnish as it is, it is diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, the solid content of polyimide H is 46.7% by mass, and contains two epoxy groups of bisphenol A type 840 as an epoxy compound, 11.3% by mass, MGZ-5R as a flame retardant, 40.0% by mass, and IRG245 as an antioxidant, 2.0% by mass. A copper foil was prepared and evaluated. The evaluation results were x for low-temperature pressability, x for alkali workability, ◎ for HAST resistance, ◎ for solder heat resistance, and △ for folding resistance. The evaluation results are shown in Table 3.

[比較例5]
ポリイミドIワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドIの固形分が53.0質量%、オキサゾリン基を2つ含有する化合物としてPBOが5.0質量%、難燃剤としてMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が○、アルカリ加工性が×、HAST耐性が×、半田耐熱性が×、耐折性が○であった。評価結果を表3に示す。
[Comparative Example 5]
Using polyimide I varnish as it is, it is diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, PBO is a compound containing 53.0% by mass of polyimide I and 2 oxazoline groups. A copper foil with resin was prepared using a solution of a resin composition prepared so that 5.0 mass%, MGZ-5R as flame retardant was 40.0 mass%, and IRG245 was 2.0 mass% as an antioxidant. The evaluation was performed. As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ○, the alkali workability was ×, the HAST resistance was ×, the solder heat resistance was ×, and the folding resistance was ○. The evaluation results are shown in Table 3.

[比較例6]
ポリイミドAワニスをそのまま用いて、樹脂組成物の固形分が45質量%になるようにGBLで希釈し、ポリイミドAの固形分が58.0質量%、難燃剤としてMGZ−5Rが40.0質量%、酸化防止剤としてIRG245が2.0質量%になるよう調合した樹脂組成物の溶液を用いて樹脂付銅箔を作製し、その評価を行った。評価結果は、低温プレス性が○、アルカリ加工性が○、HAST耐性が×、半田耐熱性が△、耐折性が◎であった。評価結果を表3に示す。
[Comparative Example 6]
Using polyimide A varnish as it is, it is diluted with GBL so that the solid content of the resin composition is 45% by mass, the solid content of polyimide A is 58.0% by mass, and MGZ-5R is 40.0% by mass as a flame retardant. %, A resin-coated copper foil was prepared using a resin composition solution prepared so that IRG245 was 2.0 mass% as an antioxidant, and evaluated. As a result of the evaluation, the low-temperature pressability was ○, the alkali workability was ○, the HAST resistance was ×, the solder heat resistance was Δ, and the folding resistance was ◎. The evaluation results are shown in Table 3.

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以上の実施例及び比較例から以下の点を確認することができた。
表2から分かるように、上記一般式(1)、(2)の両方の骨格を有するポリイミドに関しては、低温プレス性、アルカリ加工性、HAST耐性、半田耐熱性及び耐折性がいずれも良好である(実施例1から10参照)。また、上記一般式(1)、(2)の両方の骨格を有するポリウレタン、ポリアミドに関しても良好な結果が得られることから(実施例11、12参照)、樹脂の種類に制限されずに効果を奏することが分かる。これに対して、表3から分かるように、上記一般式(1)を満たさない短鎖のシロキサンを樹脂骨格に導入した場合は、柔軟性を十分に付与することができないため、低温プレス性、HAST耐性及び耐折性に劣る(比較例1、2)。また、上記一般式(2)の構造を導入しない場合は、上記一般式(1)の構造を十分に導入しても低温プレス性に劣り、また上記一般式(1)の構造は疎水性が高いためアルカリ加工性に劣る(比較例3,4)。
The following points could be confirmed from the above examples and comparative examples.
As can be seen from Table 2, the polyimides having both skeletons of the general formulas (1) and (2) have good low-temperature pressability, alkali workability, HAST resistance, solder heat resistance, and folding resistance. Yes (see Examples 1 to 10). Moreover, since good results are obtained with respect to polyurethane and polyamide having both skeletons of the above general formulas (1) and (2) (see Examples 11 and 12), the effect is not limited by the type of resin. I understand that I play. On the other hand, as can be seen from Table 3, when a short-chain siloxane that does not satisfy the general formula (1) is introduced into the resin skeleton, sufficient flexibility cannot be imparted. Inferior to HAST resistance and folding resistance (Comparative Examples 1 and 2). When the structure of the general formula (2) is not introduced, the structure of the general formula (1) is inferior in low-temperature pressability even when the structure of the general formula (1) is sufficiently introduced, and the structure of the general formula (1) is hydrophobic. Since it is high, it is inferior to alkali workability (Comparative Examples 3 and 4).

上記結果より、上記一般式(1)、(2)を両方骨格中に導入することが低温プレス性、アルカリ加工性、HAST耐性、半田耐熱性及び耐折性を両立する上で重要であることが分かる。   From the above results, it is important to introduce both the general formulas (1) and (2) into the skeleton in order to achieve both low-temperature pressability, alkali workability, HAST resistance, solder heat resistance and folding resistance. I understand.

また、樹脂にフェノール性水酸基がない場合、アルカリ加工性を付与することができないが、HAST耐性、耐熱性にも劣ることが分かり(比較例5)、樹脂にフェノール性水酸基を含有していても架橋剤を添加しない場合にはHAST耐性に劣ることが分かる(比較例6)。   Moreover, when there is no phenolic hydroxyl group in the resin, alkali processability cannot be imparted, but it is found that the resin is inferior in HAST resistance and heat resistance (Comparative Example 5), and even if the resin contains a phenolic hydroxyl group. It can be seen that the HAST resistance is inferior when no cross-linking agent is added (Comparative Example 6).

この結果より、樹脂中にフェノール性水酸基などの反応性官能基を導入し、かつ熱架橋剤を添加することで、キュア時に樹脂組成物中で形成される3次元ネットワークが、HAST耐性及び耐熱性の向上に寄与していると考えられる。   From this result, by introducing a reactive functional group such as phenolic hydroxyl group into the resin and adding a thermal crosslinking agent, the three-dimensional network formed in the resin composition at the time of curing is HAST resistant and heat resistant. It is thought that it contributes to improvement.

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can change and implement variously.

本発明の樹脂組成物、積層体及び配線板は、例えば、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜、ボンディングシート、プリント配線板用保護絶縁膜、及び、プリント配線板用基板として好適に用いることができる。   The resin composition, laminate and wiring board of the present invention are suitably used, for example, as a surface protection film for semiconductor elements, an interlayer insulating film, a bonding sheet, a protective insulating film for printed wiring boards, and a printed wiring board substrate. Can do.

Claims (6)

(a)フェノール性水酸基並びに下記一般式(1)及び(2)で表される構造を含有する樹脂と、(b)オキサゾリン基を含む化合物と、を含むことを特徴とする樹脂組成物。
Figure 0006016581
(前記一般式(1)中、R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜炭素数5のアルキル基、フェニル基又はフェノキシ基を示す。mは2以上の整数であり、mの繰り返し単位ごとにR、Rは互いに異なってもよい。)
Figure 0006016581
(前記一般式(2)中、Qは、炭素数1〜炭素数18のアルキレン基を示し、nは2以上の整数であり、nの繰り返し単位ごとにQは互いに異なってもよい。)
A resin composition comprising (a) a phenolic hydroxyl group and a resin containing a structure represented by the following general formulas (1) and (2), and (b) a compound containing an oxazoline group .
Figure 0006016581
(In the general formula (1), R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a phenyl group, or a phenoxy group. M is an integer of 2 or more, and m is repeated. R 1 and R 2 may be different for each unit.)
Figure 0006016581
(In the general formula (2), Q 1 represents an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms, n is an integer of 2 or more, and Q 1 may be different for each repeating unit of n. )
前記樹脂がポリイミド樹脂であることを特徴とする請求項1記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the resin is a polyimide resin. 前記一般式(1)及び(2)で表される構造が、それぞれ前記樹脂の全質量中5〜45質量%の範囲内であり、それらの合計は35〜75質量%の範囲内であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の樹脂組成物。   The structures represented by the general formulas (1) and (2) are in the range of 5 to 45% by mass in the total mass of the resin, respectively, and the total thereof is in the range of 35 to 75% by mass. The resin composition according to claim 1 or 2, wherein 金属箔と、前記金属箔の表面上に設けられ、請求項1から請求項3のいずれかに記載の樹脂組成物を含む樹脂層と、を具備することを特徴とする積層体。   A laminate comprising: a metal foil; and a resin layer that is provided on a surface of the metal foil and includes the resin composition according to any one of claims 1 to 3. 前記金属箔の厚さが5〜50μmの範囲内であることを特徴とする請求項4記載の積層体。   The laminate according to claim 4, wherein the thickness of the metal foil is in the range of 5 to 50 μm. 少なくとも一方の表面に回路を有するコア基板と、前記コア基板の前記回路を有する表面上に設けられた樹脂層と、前記樹脂層の表面上に設けられた金属箔と、を具備し、
前記樹脂層が、(a)フェノール性水酸基並びに下記一般式(1)及び(2)で表される構造を含有する樹脂と、(b)オキサゾリン基を含む化合物と、を含む樹脂組成物を用いて形成されることを特徴とする配線板。
Figure 0006016581
(前記一般式(1)中、R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜炭素数5のアルキル基、フェニル基又はフェノキシ基を示す。mは2以上の整数であり、mの繰り返し単位ごとにR、Rは互いに異なってもよい。)
Figure 0006016581
(前記一般式(2)中、Qは、炭素数1〜炭素数18のアルキレン基を示し、nは2以上の整数であり、nの繰り返し単位ごとにQは互いに異なってもよい。)
A core substrate having a circuit on at least one surface, a resin layer provided on the surface of the core substrate having the circuit, and a metal foil provided on the surface of the resin layer,
A resin composition in which the resin layer contains (a) a phenolic hydroxyl group and a resin containing a structure represented by the following general formulas (1) and (2), and (b) a compound containing an oxazoline group is used. A wiring board characterized by being formed.
Figure 0006016581
(In the general formula (1), R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a phenyl group, or a phenoxy group. M is an integer of 2 or more, and m is repeated. R 1 and R 2 may be different for each unit.)
Figure 0006016581
(In the general formula (2), Q 1 represents an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms, n is an integer of 2 or more, and Q 1 may be different for each repeating unit of n. )
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