JP6008165B2 - 露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図11(B)に基づいて説明する。
Pm=Pp=Wp×2 …(2)
次に、第2の実施形態について、図12〜図17(B)に基づいて説明する。本第2の実施形態は、上記第1の実施形態と比べ、露光装置における基板ステージPSTの位置を計測する位置計測システムの構成が異なるのみなので、この位置計測システムを中心として説明し、上記第1の実施形態で説明した部材と同様の構成及び機能を有する部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
Claims (19)
- 第1方向に並んで配置された第1区画領域と第2区画領域を有する基板を、エネルギビームに対して所定面に沿って前記第1方向に交差する第2方向に移動させつつ走査露光して前記基板上にパターンを形成する露光方法であって、
前記第1区画領域に対する前記走査露光において、前記基板を保持して移動する移動体に対向して前記第2方向に離間して配置され、前記移動体上の移動鏡に光を照射し、該光の前記移動鏡からの反射光を受光して、前記所定面内で前記第1方向に関する前記移動体の位置を計測する複数の干渉計のうち、前記移動体が前記第2方向に等速移動する際には、第1干渉計により、前記移動体が前記第2方向に加減速移動する際には、第2干渉計により、それぞれ前記移動体の前記第1方向の位置を計測することと、
前記第1、第2干渉計の切り換えに際して、前記移動体と該移動体の外部との一方に配置された少なくとも1つのヘッドを用いて前記移動体と該移動体の外部との他方に設けられたグレーティングに光を照射し、前記グレーティングからの光を受光して前記移動体の位置を計測し、該計測結果を基準にして前記第1及び第2干渉計間で計測結果をリセットすることと、
前記第2干渉計を用いて前記移動体の前記第1方向の位置を計測しつつ、前記走査露光を行う領域を前記第1区画領域から前記第2区画領域へ変更するために前記移動体を前記第1方向に移動させることと、
を含む露光方法。 - 前記リセットすることでは、前記ヘッドを1つ用い、
前記グレーティングの長さは、前記第1方向に関して、少なくとも前記移動体の移動距離よりも長い請求項1に記載の露光方法。 - 前記リセットすることでは、前記移動体が前記第1方向に移動する毎の移動距離に等しい離間距離を隔てて前記第1方向に沿って配置された複数の前記ヘッドを用いる請求項2に記載の露光方法。
- 基板を所定面に沿って走査方向にスキャン駆動しつつ該基板にエネルギビームを照射することと、前記基板を前記所定面内で前記走査方向に垂直な非走査方向にステップ駆動することと、を繰り返して、前記基板上にパターンを形成する露光方法であって、
前記基板を保持して移動する移動体のステップ駆動毎の駆動距離に等しい離間距離を前記非走査方向に隔てて前記移動体と該移動体の外部との一方に配置された複数のヘッドのうち前記移動体と該移動体の外部との他方に前記走査方向に延設されたグレーティングに対向し、前記グレーティングに光を照射し、前記グレーティングからの光を受光するヘッドにより、前記移動体の位置を計測し、該計測結果に基づいて前記移動体を前記走査方向にスキャン駆動することを含む露光方法。 - 前記複数のヘッドからの計測結果に基づいて前記移動体を前記非走査方向にステップ駆動することをさらに含む請求項4に記載の露光方法。
- 前記グレーティングの少なくとも一部は、前記非走査方向に関して、前記移動体のステップ駆動の距離と同程度以上の幅を有する請求項5に記載の露光方法。
- 前記グレーティングの少なくとも一部は、前記非走査方向に関して、前記複数のヘッドのうちの互いに隣接するヘッド間の離間距離の最大と同程度以上の幅を有する請求項5又は6に記載の露光方法。
- 前記移動体に対向して配置された少なくとも1つの干渉計から前記移動体上に設けられた移動鏡に光を照射し、前記移動鏡からの光を受光することにより、前記移動体の位置を計測し、該計測結果に基づいて前記移動体を前記非走査方向にステップ駆動する請求項4に記載の露光方法。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光方法により基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、
を含むデバイス製造方法。 - 第1方向に並んで配置された第1区画領域と第2区画領域を有する基板を、エネルギビームに対して所定面に沿って前記第1方向に交差する第2方向に移動させつつ走査露光して前記基板上にパターンを形成する露光装置であって、
前記基板を保持して移動する移動体と、
前記第2方向に離間して配置され、前記移動体に設けられた移動鏡に光を照射し、前記光の前記移動鏡からの反射光を受光して、前記所定面内で前記第1方向に関する前記移動体の位置を計測する第1及び第2干渉計を含み、前記移動体の少なくとも前記第1方向の位置を計測する干渉計システムと、
前記移動体と該移動体の外部との一方に配置された少なくとも1つのヘッドを有し、該ヘッドから前記移動体と該移動体の外部との他方に設けられたグレーティングに光を照射し、前記グレーティングからの光を受光して前記移動体の前記所定面内の位置を計測するエンコーダシステムと、
前記第1区画領域に対する前記走査露光において、前記移動体を前記第2方向に等速移動させる際には、前記第1干渉計により、前記移動体を前記第2方向に加減速移動させる際には、前記第2干渉計により、それぞれ前記移動体の前記第1方向の位置を計測するとともに、前記第1、第2干渉計の切り換えに際して、前記エンコーダシステムの計測結果を基準にして前記第1及び第2干渉計間で計測結果をリセットする制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記走査露光を行う領域を前記第1区画領域から前記第2区画領域へ変更するために前記移動体の前記第1方向の移動に際して、前記第2干渉計を用いる露光装置。 - 前記制御装置は、前記第1区画領域内の異なる領域に対する走査露光において、前記移動体の前記第1方向の移動に際して、前記第2干渉計を用いる請求項10に記載の露光装置。
- 前記エンコーダシステムは、前記ヘッドを1つ有し、
前記グレーティングの長さは、前記第1方向に関して、少なくとも前記移動体の移動距離よりも長い請求項10又は11に記載の露光装置。 - 前記エンコーダシステムは、前記移動体が前記第1方向に移動する毎の移動距離に等しい離間距離を隔てて前記第1方向に沿って配置された複数の前記ヘッドを有する請求項10又は11に記載の露光装置。
- 基板を所定面に沿って走査方向にスキャン駆動しつつ該基板にエネルギビームを照射することと、前記基板を前記所定面内で前記走査方向に垂直な非走査方向にステップ駆動することと、を繰り返して、前記基板上にパターンを形成する露光装置であって、
前記基板を保持して移動する移動体と、
前記移動体のステップ駆動毎の駆動距離に等しい離間距離を前記非走査方向に隔てて前記移動体と該移動体の外部との一方に配置された複数のヘッドを有し、該複数のヘッドのうち前記移動体と該移動体の外部との他方に前記走査方向に延設されたグレーティングに対向し、前記グレーティングに光を照射し、前記グレーティングからの光を受光するヘッドにより、前記移動体の位置を計測するエンコーダシステムと、を備え、
前記エンコーダシステムからの計測結果に基づいて前記移動体を前記走査方向にスキャン駆動する露光装置。 - 前記エンコーダシステムからの計測結果に基づいて前記移動体を前記非走査方向にステップ駆動する請求項14に記載の露光装置。
- 前記グレーティングの少なくとも一部は、前記非走査方向に関して、前記移動体のステップ駆動の距離と同程度以上の幅を有する請求項15に記載の露光装置。
- 前記グレーティングの少なくとも一部は、前記非走査方向に関して、前記複数のヘッドのうちの互いに隣接するヘッド間の離間距離の最大と同程度以上の幅を有する請求項15又は16に記載の露光装置。
- 前記移動体に対向して配置された少なくとも1つの干渉計を有し、該干渉計から前記移動体上に設けられた移動鏡に光を照射し、前記移動鏡からの光を受光して前記移動体の位置を計測する干渉計システムをさらに備え、
前記干渉計システムからの計測結果に基づいて前記移動体を前記非走査方向にステップ駆動する請求項14に記載の露光装置。 - 請求項10〜18のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、
を含むデバイス製造方法。
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