JP6006682B2 - マルチセンサおよびセンシングシステム - Google Patents
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- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 33
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 33
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 33
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 31
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 26
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 20
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000012938 design process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Description
上記マルチセンサにおいて、前記センサ回路は、前記トランスデューサと並列に接続されるインピーダンス調整回路を有し、前記インピーダンス調整回路は、前記第1の接続部および第3の接続部を介して、前記トランスデューサと接続する。
上記マルチセンサにおいて、前記センサ回路は、前記トランスデューサと並列に接続されるインピーダンス調整回路を有し、前記インピーダンス調整回路は、前記第2の接続部および第3の接続部を介して、前記トランスデューサと接続する。
上記マルチセンサにおいて、前記センサ回路は、前記トランスデューサと並列に接続されるインピーダンス調整回路を有し、前記インピーダンス調整回路は、第3の接続部および第4の接続部を介して、前記トランスデューサと接続する。
図4に、本発明の第1の実施形態に係るマルチセンサの構成例を示す。図4の構成要素は、図3に示す構成例の要素を抜き出し、電気的な接続関係を示したものである。具体的には、図4では、センサ選択回路51により選択された1つのセンサ回路20(センサセル)と、当該センサ回路20に接続されるトランスデューサ10とを示している。
図5に、本発明の第2の実施形態に係るマルチセンサの構成例を示す。
図6に、本発明の第3の実施形態に係るマルチセンサの構成例を示す。
図7に、本発明の第4の実施形態に係るマルチセンサの構成例を示す。
図8に、本発明の第5の実施形態に係るマルチセンサの構成例を示す。
図9から図12に本発明の第6の実施形態に係るマルチセンサの構成例を示す。
図13に、本発明の第7の実施形態に係るセンシングシステムの構成例を示す。
200:センサ信号処理部
201:センサアレイ
20:センサ回路(センサセル)
21:センシング回路
22:駆動回路
23:インピーダンス調整回路
30:A/D変換回路
40:出力回路
50:制御部
60:キャリブレーション・感度調整部
70〜73:インタフェース部
Claims (16)
- マルチセンサであって、
物理量を電気量に変換する複数の種類のトランスデューサと、
前記電気量を電気信号に変換する複数の種類のセンサ回路が、同一平面上に配置されたセンサ信号処理部と、を有し、
前記複数のセンサ回路のそれぞれに、前記トランスデューサが対向して配置され、電気的に接続されること
を特徴とするマルチセンサ。 - マルチセンサであって、
物理量を電気量に変換する複数の種類のトランスデューサと、
前記電気量を電気信号に変換する複数の種類のセンサ回路が、同一平面上に配置されたセンサ信号処理部と、
前記センサ回路と前記トランスデューサとを接続するための第1の接続部と、を有し、
前記第1の接続部は、前記トランスデューサの電極と、前記センサ回路の電極とを導電性材料を用いて結合することにより、
前記複数のセンサ回路のそれぞれに、前記トランスデューサが接続されること
を特徴とするマルチセンサ。 - マルチセンサであって、
物理量を電気量に変換する複数の種類のトランスデューサと、
前記電気量を電気信号に変換する複数の種類のセンサ回路が、同一平面上に配置されたセンサ信号処理部と、
前記センサ回路と前記トランスデューサとを接続するための第1の接続部と、を有し、
前記第1の接続部は、対向して配置された前記トランスデューサ側の電極と、前記センサ回路側の電極とが容量性結合することにより、
前記複数のセンサ回路のそれぞれに、前記トランスデューサが接続されること
を特徴とするマルチセンサ。 - マルチセンサであって、
物理量を電気量に変換する複数の種類のトランスデューサと、
前記電気量を電気信号に変換する複数の種類のセンサ回路が、同一平面上に配置されたセンサ信号処理部と、
前記センサ回路と前記トランスデューサとを接続するための第1の接続部と、を有し、
前記第1の接続部は、対向して配置された前記トランスデューサ側のコイルと、前記センサ回路側のコイルとが誘導性結合することにより、
前記複数のセンサ回路のそれぞれに、前記トランスデューサが接続されること
を特徴とするマルチセンサ。 - 請求項2から請求項4のいずれか一項に記載のマルチセンサであって、
前記センサ回路は、前記第1の接続部を介して前記トランスデューサと接続し、電気信号を印加する駆動回路を有すること
を特徴とするマルチセンサ。 - 請求項2から請求項4のいずれか一項に記載のマルチセンサであって、
前記センサ回路は、第2の接続部を介して前記トランスデューサに電気信号を印加する駆動回路を有すること
を特徴とするマルチセンサ。 - 請求項2から請求項6のいずれか一項に記載のマルチセンサであって、
前記センサ回路は、前記トランスデューサと前記第1の接続部を介して直列に接続されるインピーダンス調整回路を有すること
を特徴とするマルチセンサ。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のマルチセンサであって、
前記センサ回路は、前記トランスデューサと並列に接続されるインピーダンス調整回路を有すること
を特徴とするマルチセンサ。 - 請求項6記載のマルチセンサであって、
前記センサ回路は、前記トランスデューサと並列に接続されるインピーダンス調整回路を有し、
前記インピーダンス調整回路は、前記第1の接続部および前記第2の接続部を介して、前記トランスデューサと接続すること
を特徴とするマルチセンサ。 - 請求項6記載のマルチセンサであって、
前記センサ回路は、前記トランスデューサと並列に接続されるインピーダンス調整回路を有し、
前記インピーダンス調整回路は、前記第1の接続部および第3の接続部を介して、前記トランスデューサと接続すること
を特徴とするマルチセンサ。 - 請求項6記載のマルチセンサであって、
前記センサ回路は、前記トランスデューサと並列に接続されるインピーダンス調整回路を有し、
前記インピーダンス調整回路は、前記第2の接続部および第3の接続部を介して、前記トランスデューサと接続すること
を特徴とするマルチセンサ。 - 請求項6記載のマルチセンサであって、
前記センサ回路は、前記トランスデューサと並列に接続されるインピーダンス調整回路を有し、
前記インピーダンス調整回路は、第3の接続部および第4の接続部を介して、前記トランスデューサと接続すること
を特徴とするマルチセンサ。 - 請求項1から請求項12のいずれか一項に記載のマルチセンサであって、
前記センサ信号処理部は、アナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換回路を有し、前記A/D変換回路のダイナミックレンジは可変であること
を特徴とするマルチセンサ。 - 請求項1から請求項13のいずれか一項に記載のマルチセンサであって、
前記センサ信号処理部は、前記センサ回路の感度調整またはキャリブレーションを行う調整部を有すること
を特徴とするマルチセンサ。 - 請求項1から請求項14のいずれか一項に記載のマルチセンサと、前記マルチセンサを制御する制御装置とを備えるセンシングシステムであって、
前記制御装置は、前記マルチセンサの任意のセンサ回路を起動させる制御信号を、前記マルチセンサに送信し、
前記マルチセンサのセンサ信号処理部は、前記制御信号で指定されたセンサ回路を起動する制御部を有すること
を特徴とするセンシングシステム。 - 請求項15記載のセンシングシステムであって、
前記制御装置は、前記マルチセンサのセンサ回路毎に、感度調整またはキャリブレーションを指示する制御信号、またはA/D変換のダイナミックレンジが指定された制御信号を、前記マルチセンサに送信し、
前記マルチセンサの制御部は、前記制御信号に従って、センサ回路毎に感度またはキャリブレーションを調整、またはA/D変換のダイナミックレンジを変更すること
を特徴とするセンシングシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013121849A JP6006682B2 (ja) | 2013-06-10 | 2013-06-10 | マルチセンサおよびセンシングシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013121849A JP6006682B2 (ja) | 2013-06-10 | 2013-06-10 | マルチセンサおよびセンシングシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014238369A JP2014238369A (ja) | 2014-12-18 |
JP6006682B2 true JP6006682B2 (ja) | 2016-10-12 |
Family
ID=52135619
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013121849A Expired - Fee Related JP6006682B2 (ja) | 2013-06-10 | 2013-06-10 | マルチセンサおよびセンシングシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6006682B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IL244746B (en) * | 2016-03-24 | 2021-03-25 | Pulsenmore Ltd | A complete system for linking sensors to smart devices |
WO2020255762A1 (ja) * | 2019-06-18 | 2020-12-24 | 日本電産株式会社 | マイクロホンアレイ装置および音響解析システム |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08154903A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-18 | Hitachi Ltd | 生体情報モニタリングシート |
JP2002298279A (ja) * | 2001-01-26 | 2002-10-11 | Texas Instruments Inc | 状態応答検出システムおよび方法 |
JP5058409B2 (ja) * | 2001-03-12 | 2012-10-24 | 一介 前中 | 集積型マルチセンサ |
-
2013
- 2013-06-10 JP JP2013121849A patent/JP6006682B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014238369A (ja) | 2014-12-18 |
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