JP6001123B2 - センサー - Google Patents
センサー Download PDFInfo
- Publication number
- JP6001123B2 JP6001123B2 JP2015074686A JP2015074686A JP6001123B2 JP 6001123 B2 JP6001123 B2 JP 6001123B2 JP 2015074686 A JP2015074686 A JP 2015074686A JP 2015074686 A JP2015074686 A JP 2015074686A JP 6001123 B2 JP6001123 B2 JP 6001123B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensing electrode
- heater
- sensing
- sensor according
- insulating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 37
- 239000011540 sensing material Substances 0.000 claims description 32
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 20
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 69
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 2
- 230000036541 health Effects 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000007084 catalytic combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/14—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Description
200:ヒータ
300:感知電極
400:感知物質
Claims (21)
- 垂直方向に積み重ねられた複数の絶縁層と、
少なくとも2以上の前記絶縁層の上に各々形成されて垂直方向に分離されて形成され、電気的に互いに接続された少なくとも2以上のヒータパターンと、
前記ヒータパターンと絶縁されて少なくとも2以上の前記絶縁層の上に各々形成されて垂直方向に分離されて形成され、電気的に互いに接続された少なくとも2以上の感知電極パターンと、
少なくとも2以上の前記絶縁層に少なくとも一部が埋め込まれて前記感知電極パターンと接触される感知物質と、
を備え、
前記ヒータパターンおよび前記感知電極パターンは異なる絶縁層に形成されて垂直方向に交互に配置され、
前記ヒータパターンおよび前記感知電極パターンは垂直方向に少なくとも一部が重なり合って形成されたセンサー。 - 前記絶縁層は、複数のセラミック板が積み重ねられてなる請求項1に記載のセンサー。
- 前記絶縁層内の所定の領域に外部に露出されるように形成され、前記ヒータパターンおよび感知電極パターンに各々電源を供給するための第1および第2の露出電極をさらに備える請求項2に記載のセンサー。
- 前記少なくとも2以上のヒータパターンは少なくとも2枚以上のセラミック板の上部に各々形成され、導電性物質が埋め込まれた孔を介して接続された請求項3に記載のセンサー。
- 前記少なくとも2以上の感知電極パターンは少なくとも2枚以上のセラミック板に各々形成され、導電性物質が埋め込まれた孔を介して接続された請求項4に記載のセンサー。
- 前記少なくとも2以上の感知電極パターンは、(+)電源が供給される感知電極パターンと、(−)電源が供給される感知電極パターンとが分離された請求項5に記載のセンサー。
- 前記感知電極パターンには、少なくとも一つ以上の切欠部が形成された請求項5に記載のセンサー。
- 前記ヒータパターンおよび前記感知電極パターンは、異なるセラミック板に形成されて前記セラミック板の積層方向に交互に配置された請求項5に記載のセンサー。
- 前記感知電極パターンは、下側から上側に進むにつれてその直径が拡径された請求項8に記載のセンサー。
- 前記少なくとも2枚以上のセラミック板における前記ヒータパターンおよび感知電極パターンの内側に開口が形成され、前記感知物質が前記開口に埋め込まれる請求項9に記載のセンサー。
- 前記開口は、その下側の前記感知電極パターンが露出されるように形成された請求項10に記載のセンサー。
- 前記感知物質を覆うように前記絶縁層の上部に設けられた上部カバーをさらに備え、
前記上部カバーは、少なくとも2枚以上のセラミック板、金属板またはプラスチック板が積み重ねられ、少なくとも一つの開口および網目が形成された請求項1に記載のセンサー。 - 前記上部カバーの開口は、前記絶縁層の開口よりも大きく形成された請求項12に記載のセンサー。
- 前記絶縁層の下部に設けられたヒートシンクをさらに備え、
前記ヒートシンクは、少なくとも2枚以上のセラミック板が積み重ねられ、前記積み重ねられたセラミック板には開口が形成された請求項3または請求項12に記載のセンサー。 - 前記ヒートシンクの所定の領域に形成された第3の露出電極をさらに備える請求項14に記載のセンサー。
- 前記ヒートシンクの下部に設けられた下部カバーをさらに備える請求項14に記載のセンサー。
- 垂直方向に積み重ねられた複数の絶縁層内に垂直方向に形成されたヒータと、感知電極および感知物質を備えて少なくとも一つのガスを感知する単位センサーを備え、前記ヒータと、感知電極および感知物質が各々水平方向に複数配置されて異なる複数の対象物を感知する複数の単位センサーを備え、
前記ヒータは、少なくとも2以上のヒータパターンが少なくとも2以上の前記絶縁層内に垂直方向に分離されて形成されて電気的に互いに接続されることにより構成され、前記感知電極は、少なくとも2以上の感知電極パターンが前記少なくとも2以上のヒータパターンと絶縁されて前記絶縁層内に上下方向に分離されて形成されて電気的に互いに接続されることにより構成され、前記感知物質は、前記絶縁層内に少なくとも一部が埋め込まれて前記感知電極と接触され、
前記ヒータパターンおよび前記感知電極パターンは異なる絶縁層に形成されて垂直方向に交互に配置され、
前記ヒータパターンおよび前記感知電極パターンは垂直方向に少なくとも一部が重なり合って形成されたセンサー。 - 水平方向に配列された前記複数のヒータは、少なくとも2以上の温度で各々発熱する請求項17に記載のセンサー。
- 前記複数の感知電極には、各々少なくとも一つ以上の切欠部が形成された請求項18に記載のセンサー。
- 前記複数の感知物質は、少なくとも2以上の材料により形成された請求項19に記載のセンサー。
- 前記感知物質を覆うように前記絶縁層の上部に設けられた上部カバーと、
前記絶縁層の下部に設けられたヒートシンクと、
前記ヒートシンクの下部に設けられた下部カバーと、
をさらに備える請求項17に記載のセンサー。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2014-0041128 | 2014-04-07 | ||
KR1020140041128A KR101649586B1 (ko) | 2014-04-07 | 2014-04-07 | 센서 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015200647A JP2015200647A (ja) | 2015-11-12 |
JP6001123B2 true JP6001123B2 (ja) | 2016-10-05 |
Family
ID=52813989
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015074686A Expired - Fee Related JP6001123B2 (ja) | 2014-04-07 | 2015-04-01 | センサー |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9417202B2 (ja) |
EP (1) | EP2930501B1 (ja) |
JP (1) | JP6001123B2 (ja) |
KR (1) | KR101649586B1 (ja) |
CN (1) | CN104977326A (ja) |
TW (1) | TWI563254B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10015841B2 (en) | 2014-09-24 | 2018-07-03 | Point Engineering Co., Ltd. | Micro heater and micro sensor and manufacturing methods thereof |
KR101808239B1 (ko) | 2015-09-04 | 2017-12-13 | (주)포인트엔지니어링 | 마이크로 히터 및 마이크로 센서 |
KR101805784B1 (ko) * | 2015-11-11 | 2017-12-07 | (주)포인트엔지니어링 | 마이크로 히터 및 마이크로 센서 및 마이크로 센서 제조방법 |
CN107966165B (zh) | 2016-10-19 | 2020-12-22 | 华邦电子股份有限公司 | 电阻式环境传感器及电阻式环境传感器阵列 |
WO2018110441A1 (ja) * | 2016-12-15 | 2018-06-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 水素検出装置、燃料電池自動車、水素漏洩監視システム、複合センサモジュール、水素検出方法、およびプログラム |
CN115753909A (zh) * | 2017-04-05 | 2023-03-07 | 松下控股株式会社 | 气体传感器 |
JP6805089B2 (ja) * | 2017-06-19 | 2020-12-23 | 新コスモス電機株式会社 | 半導体式ガスセンサおよびガス検知方法 |
KR101984390B1 (ko) * | 2017-08-22 | 2019-05-30 | 한국광기술원 | 양방향 가스센서 패키지 및 그의 조립방법 |
JP6896576B2 (ja) * | 2017-09-20 | 2021-06-30 | 株式会社東芝 | ガスセンサおよびその製造方法 |
JP7177522B2 (ja) | 2018-02-01 | 2022-11-24 | センサー デベロップメント コーポレーション | 揮発性フェロモンおよび情報化学物質を検知することによって貯蔵産物中の昆虫幼体および昆虫成体を検出するためのデバイス |
US11272699B2 (en) | 2018-02-01 | 2022-03-15 | Sensor Development Corporation | Device for detecting insect larvae and adult insects in stored products by sensing their volatile pheromones and semiochemicals |
KR102178381B1 (ko) * | 2018-08-24 | 2020-11-16 | 한국전자기술연구원 | 가스 전농축기 |
CN111272828B (zh) * | 2020-03-26 | 2022-04-12 | 微纳感知(合肥)技术有限公司 | 一种mems气体传感器及其阵列、制备方法 |
WO2023120354A1 (ja) * | 2021-12-24 | 2023-06-29 | 京セラ株式会社 | セラミック基板、セラミック基板の製造方法、配線基板、パッケージ、マイク装置、ガスセンサ装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57178146A (en) * | 1981-04-27 | 1982-11-02 | Nippon Soken Inc | Detector for gaseous component |
JPS61139762A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-06-27 | Agency Of Ind Science & Technol | 樹脂の電気物性検出装置 |
US4935289A (en) * | 1986-09-18 | 1990-06-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Gas sensor and method for production thereof |
JPH0335153A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Toshiba Corp | ガスセンサ |
KR970028533A (ko) * | 1995-11-21 | 1997-06-24 | 이형도 | 후막형 가스센서 |
US5798556A (en) * | 1996-03-25 | 1998-08-25 | Motorola, Inc. | Sensor and method of fabrication |
DE10221084A1 (de) * | 2002-05-11 | 2003-11-20 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zum Messen einer Gaskonzentration |
KR20040016605A (ko) | 2002-08-19 | 2004-02-25 | (주)니즈 | 가스센서 감지소자 조립방법 |
KR100618627B1 (ko) * | 2003-11-28 | 2006-09-08 | 주식회사 오토전자 | 마이크로 가스센서 어레이 및 그 제조방법 |
GB0500393D0 (en) * | 2005-01-10 | 2005-02-16 | Univ Warwick | Microheaters |
KR100809421B1 (ko) * | 2006-09-29 | 2008-03-05 | 한국전자통신연구원 | 나노 크기의 감지물질을 갖는 다중가스 감지센서 및 이를이용한 감지방법 |
KR100843169B1 (ko) * | 2006-12-26 | 2008-07-02 | 전자부품연구원 | 마이크로 가스센서 어레이 및 그 제조방법 |
JP5139955B2 (ja) * | 2008-11-04 | 2013-02-06 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ、ガスセンサ素子及びガスセンサ |
KR101094870B1 (ko) * | 2008-12-17 | 2011-12-15 | 한국전자통신연구원 | 습도 센서 및 이의 제조 방법 |
JP2012068069A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-04-05 | Hitachi Automotive Systems Ltd | ガスセンサ |
DE102011009128B4 (de) | 2011-01-21 | 2015-11-19 | Excelitas Technologies Singapore Pte Ltd | Heizung für einen Sensor, beheizter Strahlungssensor, Strahlungserfassungsverfahren |
JP5832479B2 (ja) * | 2012-08-09 | 2015-12-16 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
-
2014
- 2014-04-07 KR KR1020140041128A patent/KR101649586B1/ko active IP Right Grant
-
2015
- 2015-04-01 JP JP2015074686A patent/JP6001123B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2015-04-02 CN CN201510154970.1A patent/CN104977326A/zh active Pending
- 2015-04-04 US US14/678,981 patent/US9417202B2/en active Active
- 2015-04-07 EP EP15162645.4A patent/EP2930501B1/en not_active Not-in-force
- 2015-04-07 TW TW104111045A patent/TWI563254B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2930501A1 (en) | 2015-10-14 |
TWI563254B (en) | 2016-12-21 |
JP2015200647A (ja) | 2015-11-12 |
CN104977326A (zh) | 2015-10-14 |
US9417202B2 (en) | 2016-08-16 |
EP2930501B1 (en) | 2018-03-21 |
KR101649586B1 (ko) | 2016-08-19 |
TW201538972A (zh) | 2015-10-16 |
KR20150116210A (ko) | 2015-10-15 |
US20150285754A1 (en) | 2015-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6001123B2 (ja) | センサー | |
JP2015200644A (ja) | センサー素子 | |
US10241094B2 (en) | Micro heater, micro sensor and micro sensor manufacturing method | |
JP2011112642A (ja) | 環境ガスセンサー及びその製造方法 | |
JP2007535288A5 (ja) | ||
CN104807855A (zh) | 微机电气体感测装置 | |
JP5141775B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP5163228B2 (ja) | バリスタ | |
JP2014013820A (ja) | 導電パターン形成基板 | |
KR101984390B1 (ko) | 양방향 가스센서 패키지 및 그의 조립방법 | |
KR102465281B1 (ko) | 가스 센서 | |
JP6208543B2 (ja) | パッケージおよび電子装置 | |
JP2013070249A (ja) | イメージセンサ | |
KR101666572B1 (ko) | 고온 센서 패키지 | |
JP6085038B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
WO2015019643A1 (ja) | サーミスタ素子 | |
KR20180054433A (ko) | 필러 구조체 및 이를 포함하는 전자 기기 | |
TWI769542B (zh) | 氣體感測結構 | |
JP2011175837A (ja) | セラミックヒータ | |
JP6166162B2 (ja) | 蓋体、電子部品収納用パッケージおよび電子装置 | |
JP2012138534A (ja) | 積層型電子部品 | |
JP2018205078A (ja) | 半導体式ガス検知素子および半導体式ガス検知素子の製造方法 | |
JP6978347B2 (ja) | 加熱容器 | |
CN203480967U (zh) | 层叠型ptc热敏电阻 | |
KR20150119603A (ko) | 복합형 One-Chip 기체센서 어레이 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160216 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160512 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160831 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6001123 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |