JP5998640B2 - Load port device - Google Patents

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Description

本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる密閉型の搬送容器の内部に保持されたウエハを半導体処理装置に移載する、或いはウエハを該半導体処理装置より該ポッドに移載する際に用いられる所謂FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard)システム、即ちロードポート装置に関する。   The present invention provides a method for transferring a wafer held in a sealed transfer container called a pod to a semiconductor processing apparatus in a semiconductor manufacturing process or the like, or transferring a wafer from the semiconductor processing apparatus to the pod. The present invention relates to a so-called FIMS (Front-Opening Interface Mechanical Standard) system, that is, a load port device.

半導体製造プロセスは、近年では各種処理装置の内部、ウエハを収容して各処理装置間でのウエハ搬送を可能とするポッド、及び該ポッドより各処理装置へのウエハの受け渡しを行う微小空間、の3空間のみを高清浄状態に保つことで、プロセスを通じての清浄度の管理を行う手法が一般的となっている。このようなポッドは、ウエハを内部に収容し且つ一側面にウエハ挿脱用の開口を有する本体部と、該開口を閉鎖してポッド内部を密閉空間とする蓋と、から構成される。また、該微小空間は、前述したポッドの開口と対向可能な開口部と、該開口部と向かい合い半導体処理装置側に配置される第二の開口部と、を有する。   In recent years, the semiconductor manufacturing process has been carried out in various processing apparatuses, a pod that accommodates wafers and allows wafers to be transferred between the processing apparatuses, and a minute space that transfers wafers from the pod to the processing apparatuses. A method of managing cleanliness through a process by keeping only three spaces in a highly clean state is common. Such a pod is composed of a main body portion that contains a wafer inside and has an opening for inserting and removing a wafer on one side surface, and a lid that closes the opening to make the inside of the pod a sealed space. Further, the minute space has an opening that can face the opening of the pod described above, and a second opening that faces the opening and is disposed on the semiconductor processing apparatus side.

ロードポート装置は、この開口部が形成された隔壁の一部となる部材であるサイドプレートと称呼される壁と、該開口部を閉鎖するドアと、該ドアの動作を司るドア駆動機構と、ポッドが載置される載置台と、から構成される。載置台は、ポッドの開口と開口部とを向かい合わせるようにポッドを支持可能であり、且つポッドと一緒に蓋をドアに向かって近接或いはドアより離間させる。ドアは、ポッドの蓋を保持可能であり、ドア駆動機構によって蓋を保持した状態で開口部を開放、閉鎖すると共に、開口部と第二の開口部との間の空間より下方に退避或いは該空間への侵入をさせられる。微小空間内にはロボットが配置され、該ロボットは開口部−ポッド開口を介してポッド内部に対する侵入及び退避が可能であって、第二の開口部も介して該ポッド内部と該半導体処理装置との間でウエハの移載を行う。   The load port device includes a wall called a side plate that is a member of a partition wall in which the opening is formed, a door that closes the opening, a door drive mechanism that controls the operation of the door, And a mounting table on which the pod is mounted. The mounting table can support the pod so that the opening of the pod faces the opening, and the lid is moved toward or away from the door together with the pod. The door can hold the lid of the pod, and opens and closes the opening while holding the lid by the door drive mechanism, and retracts or lowers the space below the space between the opening and the second opening. You can get into the space. A robot is disposed in the minute space, and the robot can enter and retreat inside the pod through the opening-pod opening, and the inside of the pod, the semiconductor processing apparatus, and the like through the second opening. The wafer is transferred between.

半導体の製造工程において、ポッド内に収容されているウエハには、例えば金属配線等が形成されたものが存在する。この様な金属配線は表面が酸化されることによって素子完成時に所望の特性が得られなくなる恐れがあり、このためにポッド内部における酸素濃度を低レベルに保つ必要がある。この様な要求に対応する技術として、特許文献1では、微小空間内であって開口部に隣接する空間にエンクロージャを配し、該エンクロージャ内の酸素濃度を低下させることにより、ポッド内部への酸素の侵入を抑制しようとする技術が開示されている。   In a semiconductor manufacturing process, for example, a wafer in which a metal wiring is formed exists in a wafer accommodated in a pod. Such metal wiring may oxidize on the surface, so that desired characteristics may not be obtained when the device is completed. For this reason, it is necessary to keep the oxygen concentration inside the pod at a low level. As a technique for meeting such a demand, in Patent Document 1, an enclosure is arranged in a space adjacent to an opening in a minute space, and oxygen concentration in the pod is reduced by reducing the oxygen concentration in the enclosure. A technique for suppressing the intrusion of the camera is disclosed.

特開2009−038073号公報JP 2009-038073 A

特許文献1に開示される方法では、ポッド内の酸素濃度を現状要求されるレベルまで低減することが可能である。ここで、実際のウエハ処理工程では、この酸素濃度を低減するために要する時間の短縮、及びこれに要する窒素等の不活性ガスの量も低減も求められている。本発明はこのような状況に鑑みて為されたものであり、酸素濃度低減操作の所要時間短縮及び使用不活性ガス量の削減を可能とするロードポート装置の提供を目的としている。   In the method disclosed in Patent Document 1, it is possible to reduce the oxygen concentration in the pod to a level required at present. Here, in an actual wafer processing step, it is required to shorten the time required to reduce the oxygen concentration and to reduce the amount of inert gas such as nitrogen required for this. The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a load port device that can shorten the time required for the oxygen concentration reduction operation and reduce the amount of inert gas used.

上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置は、微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートとサイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を開口部と対向させるとともに、開口に取付けられる蓋をドアが保持して密閉容器を開閉するロードポート装置であって、開口部を囲んで微小空間内に配置され、開口部に隣接する微小空間の一部を第二の微小空間として区切るカバー部材と、第二の微小空間の内部に気体を供給すると共に開口部と開口とを介して密閉容器の内部に気体を供給可能なガスパージ装置と、ドアを開口部を閉鎖する位置と閉鎖しない位置との間で移動させるドア駆動機構と、を有し、カバー部材は、微小空間を区切る状態で、ドア駆動機構がドアを開口部より離間させて閉鎖しない位置へ移動させた際に、ドアの少なくとも一部が微小空間に向かって貫通可能な第二の開口部を有することを特徴とする。   In order to solve the above problems, a load port device according to the present invention includes a side plate that forms part of a wall that separates a minute space from an external space, and a door that can close an opening of the side plate. A load port device that opens and closes a sealed container with a door holding a lid attached to the opening while the opening of the sealed container that accommodates an object is opposed to the opening. A cover member that is disposed inside and divides a part of the minute space adjacent to the opening as a second minute space, and supplies a gas to the inside of the second minute space, and the sealed container through the opening and the opening. A gas purging device capable of supplying a gas to the inside of the door, and a door drive mechanism for moving the door between a position where the opening is closed and a position where the door is not closed, and the cover member is in a state of partitioning a minute space, Do When the driving mechanism is moved to a position not closed is spaced from the opening of the door, at least a portion of the door and having a second opening pierceable toward the minute space.

なお、前述したロードポート装置にあっては、ドア駆動機構はドアと共にカバー部材を支持し、ドアと一緒にカバー部材をサイドプレートと平行な方向に駆動可能であることが好ましい。また、カバー部材は開口部と対向して配置される室画定プレートと、開口部の側辺に沿って配置される側面プレートとを有し、開口部の上辺よりも上側においてサイドプレートに対して固定される上部壁部材と組み合わさって、第二の微小空間を形成し、第二の開口部は室画定プレートに配置されることが好ましい。更に、ガスパージ装置はサイドプレートに対して固定されていることが好ましい。   In the load port device described above, the door drive mechanism preferably supports the cover member together with the door, and can drive the cover member together with the door in a direction parallel to the side plate. Further, the cover member has a chamber defining plate arranged opposite to the opening and a side plate arranged along the side of the opening, with respect to the side plate above the upper side of the opening. In combination with the fixed upper wall member, it forms a second microspace, and the second opening is preferably located in the chamber defining plate. Furthermore, the gas purge device is preferably fixed with respect to the side plate.

また、上記課題を解決するために、本発明に係る密閉容器の蓋開閉方法は、微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートとサイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を開口部と対向させるとともに、開口に取付けられる蓋をドアが保持して密閉容器を開閉するロードポート装置における密閉容器の蓋開閉方法であって、微小空間内において開口部を囲んで配置可能なカバー部材により開口部に隣接する微小空間の一部を第二の微小空間として区切る工程と、ドアにより蓋を保持し、ドアを前記開口部から離間させることにより開口を開放する工程と、ドアと共にカバー部材を移動させて開口部を開放する工程と、を有し、ドアを開口部から離間させる際にドアの少なくとも一部が微小空間に向かってカバー部材に設けられた貫通孔を貫通することを特徴とする。   In addition, in order to solve the above-described problem, the lid opening / closing method of the hermetic container according to the present invention can close a side plate that forms a part of a wall that separates a minute space from an external space and an opening of the side plate. Opening and closing of the hermetic container in a load port device that has a door and opens and closes the hermetic container with the door holding the lid attached to the opening while the opening of the hermetic container that accommodates an object is opposed to the opening. A method of partitioning a part of the minute space adjacent to the opening as a second minute space by a cover member that can be disposed surrounding the opening in the minute space, holding the lid by the door, A step of opening the opening by separating from the opening, and a step of opening the opening by moving the cover member together with the door, and when the door is separated from the opening, Characterized in that through the through hole part is provided in the cover member toward the small space even without.

本発明によれば、ポッド内部の残留酸素濃度を100ppm未満のレベルまで低減するに際して、これに要する時間の短縮と使用する不活性ガス量の削減を図ることが可能となる。   According to the present invention, when the residual oxygen concentration inside the pod is reduced to a level of less than 100 ppm, it is possible to shorten the time required for this and reduce the amount of inert gas used.

本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置してこれらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the state which mounted the pod in the load port apparatus which concerns on 1st embodiment of this invention, and looked at these from the side surface. 本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置してこれらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the state which mounted the pod in the load port apparatus which concerns on 1st embodiment of this invention, and looked at these from the side surface. 本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置してこれらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the state which mounted the pod in the load port apparatus which concerns on 1st embodiment of this invention, and looked at these from the side surface. 図1(a)〜1(c)に示した構成における構成を微小空間103側から見た図である。It is the figure which looked at the structure in the structure shown to Fig.1 (a)-1 (c) from the micro space 103 side. 本発明の更なる実施形態を図1(a)〜1(c)と同様の様式にて示す図である。FIG. 2 shows a further embodiment of the invention in a manner similar to FIGS. 1 (a) -1 (c). 本発明の更なる実施形態を図1(a)〜1(c)と同様の様式にて示す図である。FIG. 2 shows a further embodiment of the invention in a manner similar to FIGS. 1 (a) -1 (c). 本発明の更なる実施形態を図1(a)〜1(c)と同様の様式にて示す図である。FIG. 2 shows a further embodiment of the invention in a manner similar to FIGS. 1 (a) -1 (c).

本発明の一実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図1(a)は、本発明の一実施形態におけるロードポート100装置に関し、ポッド1を載置台上に載置した状態を側面から見た場合の概略構成を示している。また、図2は、該ロードポート装置100に関して、図1(a)に示した状態にある構成をドア背面側から見た場合の概略構成を示している。また、図1(b)は図1(a)に示す状態からドアがポッド1の蓋3を保持してポッド開口を開けた状態を、図1(c)は更に蓋3を保持したドアが降下してボッド開口及び開口部を開放した状態を示している。   An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. Fig.1 (a) is related with the load port 100 apparatus in one Embodiment of this invention, and has shown schematic structure at the time of seeing the state which mounted the pod 1 on the mounting base from the side surface. FIG. 2 shows a schematic configuration of the load port apparatus 100 when the configuration in the state shown in FIG. 1A is viewed from the back side of the door. 1B shows a state where the door holds the lid 3 of the pod 1 and opens the pod opening from the state shown in FIG. 1A, and FIG. 1C shows a state where the door further holds the lid 3. It shows a state in which it is lowered and the opening of the bod and the opening are opened.

本実施形態の説明に際し、被収容物のウエハを収容するポッド(密閉容器)について先に述べる。図1(a)〜1(c)等に示されるポッド1は、ポッド本体2と蓋3とから構成される。ポッド本体2は内部にウエハ等を収容する収容空間2bを有し、且つ側面に当該収容空間2bに連通する開口2aを有している。当該開口2aは蓋3により閉鎖される。収容空間2b内には不図示のウエハ(図中二点鎖線により記載)を水平に支持する複数の棚(不図示)が側壁等から突き出しており、当該棚により複数のウエハが均等な間隔を明けて該収容空間2b内にて水平に保持される。なお、本実施例において、ポッド本体2の駆動方向をX軸方向とし、該X軸に直交して該X軸と共にウエハの延在面を規定する方向(紙面に垂直な方向)をY軸方向とし、これら軸からなるXY平面に垂直な方向をZ軸として便宜上規定する。本実施例では鉛直方向がZ軸方向に対応し、本明細書における上方及び下方は鉛直方向における上方及び下方に対応する。しかし、本発明におけるZ軸の延在方向はこの鉛直方向に限定されず、必要に応じて鉛直方向から傾けて設定することも可能である。   In the description of the present embodiment, a pod (sealed container) that accommodates a wafer to be accommodated will be described first. A pod 1 shown in FIGS. 1A to 1C and the like includes a pod body 2 and a lid 3. The pod body 2 has an accommodation space 2b for accommodating a wafer or the like inside, and an opening 2a communicating with the accommodation space 2b on the side surface. The opening 2 a is closed by the lid 3. A plurality of shelves (not shown) that horizontally support a wafer (not shown) (shown by a two-dot chain line in the figure) protrudes from the side wall or the like in the accommodation space 2b, and the plurality of wafers are evenly spaced by the shelf. After dawn, it is held horizontally in the accommodation space 2b. In this embodiment, the driving direction of the pod body 2 is the X-axis direction, and the direction (perpendicular to the paper surface) that defines the wafer extending surface along with the X-axis perpendicular to the X-axis is the Y-axis direction. The direction perpendicular to the XY plane composed of these axes is defined as the Z axis for convenience. In the present embodiment, the vertical direction corresponds to the Z-axis direction, and the upper and lower portions in this specification correspond to the upper and lower portions in the vertical direction. However, the extending direction of the Z-axis in the present invention is not limited to this vertical direction, and can be set to be inclined from the vertical direction as necessary.

次に、本実施形態におけるロードポート装置の構成について、以下に述べる。ロードポート装置100は、サイドプレート105によって外部空間104と分離される微小空間103を構成し、該サイドプレート105に隣接して配置されるポッドの載置台107を有する。サイドプレート105は、微小空間103と外部空間104とを連通させる第一の開口部111を有する。サイドプレート105等によって構築される微小空間103の上部には不図示のファンが配置され、ロードポート装置100が取付けられる半導体処理装置の筐体の外部空間104に存在する気体を微小空間103内部に導入し、微小空間103内部に上方から下方に向かう気体の流である所謂ダウンフローを生成する。なお、当該ファンに対しては、外部空間104の清浄度に応じて、当該空間から導入される気体より塵埃等の汚染物質を除去するフィルタが付随している。微小空間103の下部にはダウンフローが流出可能となるような構造が配置されており、該微小空間103内部で発生する粉塵等は当該ダウンフローに運ばれて微小空間103の下部から外部空間104に排出される。   Next, the configuration of the load port device in the present embodiment will be described below. The load port device 100 forms a micro space 103 separated from the external space 104 by a side plate 105, and includes a pod mounting table 107 disposed adjacent to the side plate 105. The side plate 105 has a first opening 111 that allows the minute space 103 and the external space 104 to communicate with each other. A fan (not shown) is arranged above the minute space 103 constructed by the side plate 105 and the like, and gas existing in the outer space 104 of the housing of the semiconductor processing apparatus to which the load port device 100 is attached is introduced into the minute space 103. The so-called down flow, which is a gas flow from the upper side to the lower side, is generated inside the micro space 103. The fan is accompanied by a filter that removes contaminants such as dust from the gas introduced from the space according to the cleanliness of the external space 104. A structure that allows the downflow to flow out is disposed below the minute space 103, and dust or the like generated inside the minute space 103 is carried by the downflow from the lower part of the minute space 103 to the external space 104. To be discharged.

第一の開口部111を略閉鎖するドア121は、ドアシステム120の一部を構成する。ドアシステム120は、ドア121、ドアアーム125及びドア駆動機構123を有する。ドア121は、蓋3を保持可能であると共に、ポッド本体2に対する蓋3の固定及び分離の操作が可能となっている。ドア駆動機構123は、X軸駆動機構部123aと、Z軸駆動機構部123bとを有する。X軸駆動機構部123aはドアアーム125の一端と連結されてドアアーム125を介してドア121を支持し、ドアアーム125をX軸方向に平行移動させることでドア121のポッド1に対する接近及び離間を促す。Z軸駆動機構部123bは、ドア121及びドアアーム125をZ軸に沿って昇降させ、第一の開口部111の開閉を行う。また、Z軸駆動機構部123bは、ドア121等と共に後述するカバー部材の昇降も行う。   The door 121 that substantially closes the first opening 111 constitutes a part of the door system 120. The door system 120 includes a door 121, a door arm 125, and a door drive mechanism 123. The door 121 can hold the lid 3 and can be operated to fix and separate the lid 3 from the pod body 2. The door drive mechanism 123 includes an X-axis drive mechanism portion 123a and a Z-axis drive mechanism portion 123b. The X-axis drive mechanism 123a is connected to one end of the door arm 125, supports the door 121 via the door arm 125, and moves the door arm 125 in parallel in the X-axis direction to promote the approach and separation of the door 121 from the pod 1. The Z-axis drive mechanism 123b moves the door 121 and the door arm 125 up and down along the Z-axis, and opens and closes the first opening 111. The Z-axis drive mechanism 123b also moves up and down a cover member described later together with the door 121 and the like.

ポッド1を載置する載置台107は、載置されたポッド1を固定可能であると共に該ポッド1を前述した第一の開口部111(より正確にはこれを閉鎖するドア121)に対して接近及び離間させることが可能である。載置台107は、不図示のテーブル駆動機構によりポッド1がドア121と所定の間隔になるまで或いはドア121と当接するまでポッド1の接近動作を行い、ポッド1の駆動が停止した状態でドア121は蓋3を保持する。前述したように、ドア121はこの状態でポッド本体2からの蓋3の分離を行い、更にドア駆動機構123により第一の開口部111に対して下方に移動することによってポッド1の開口部2aを微小空間103に対して開放させる。   The mounting table 107 on which the pod 1 is mounted can fix the mounted pod 1 and can fix the pod 1 with respect to the first opening 111 (more precisely, the door 121 that closes the pod 1). It is possible to approach and separate. The mounting table 107 performs an approaching operation of the pod 1 until the pod 1 reaches a predetermined distance from the door 121 or comes into contact with the door 121 by a table driving mechanism (not shown), and the door 121 is driven in a state where the driving of the pod 1 is stopped. Holds the lid 3. As described above, the door 121 separates the lid 3 from the pod main body 2 in this state, and further moves downward with respect to the first opening 111 by the door driving mechanism 123, thereby opening the opening 2a of the pod 1. Is opened to the minute space 103.

本実施形態に係るロードポート装置100は、上述した構成に加え、パージ装置200、及びカバー部材250を有する。本実施形態において、ガスパージ装置200は以上に述べたロードポート装置100に対し固定されて用いられる。ガスパージ装置200は、カーテンノズル210及び一対のパージノズル220を有する。カーテンノズル210は、第一の開口部111の上辺より上方であって、この上辺に沿う姿勢で微小空間103側にサイドプレート105より突き出す(X軸方向に突き出す)ように配置される。該カーテンノズル210は、第一の開口部111の上辺より突き出す庇(上部壁部材)を形成し、該庇よりZ軸下方に沿って窒素等の不活性ガスを連続的に供給し、微小空間103内の第一の開口部111に隣接する空間へ該不活性ガスによるカーテンを生成する。また、この庇形状により、微小空間103の天井部より供給されるダウンフローが第一の開口部111に隣接する空間へ流入することを抑制している。なお、本実施形態において、カーテンノズル210は直方体形状を有し、フィルタ部材より構成される底面の全域には多数のガス噴出し口が設けられている。   The load port device 100 according to the present embodiment includes a purge device 200 and a cover member 250 in addition to the configuration described above. In the present embodiment, the gas purge device 200 is used fixed to the load port device 100 described above. The gas purge apparatus 200 includes a curtain nozzle 210 and a pair of purge nozzles 220. The curtain nozzle 210 is disposed above the upper side of the first opening 111 and protrudes from the side plate 105 toward the minute space 103 in a posture along the upper side (projects in the X-axis direction). The curtain nozzle 210 forms a ridge (upper wall member) protruding from the upper side of the first opening 111, and continuously supplies an inert gas such as nitrogen along the lower side of the Z-axis from the ridge, A curtain made of the inert gas is generated in a space adjacent to the first opening 111 in 103. In addition, this saddle shape suppresses the downflow supplied from the ceiling portion of the minute space 103 from flowing into the space adjacent to the first opening 111. In the present embodiment, the curtain nozzle 210 has a rectangular parallelepiped shape, and a large number of gas ejection ports are provided over the entire bottom surface constituted by the filter member.

一対のパージノズル220は、各々第一の開口部111の両側辺の周辺において該側辺に平行に延在するように、サイドベース105の微小空間103側に配置される。これら一対のパージノズル220はカーテンノズル210より形成されるガスカーテンの内部に位置するように配置される。パージノズル220の各々にはパージガス供給用の開口スリット(不図示)が設けられて、第一の開口部111を介して微小空間103から外部空間104の方向に不活性ガスを噴出すことを可能としている。ポッド1が載置台107上に配置され、ドア121によってポッド1の開口2aが開放された状態において、これらパージノズル220はポッド収容空間2bに向けて不活性ガスの供給を行い、ポッド1内部の雰囲気をガス置換する。   The pair of purge nozzles 220 are arranged on the side of the minute space 103 of the side base 105 so as to extend in parallel with the side sides around the both sides of the first opening 111. The pair of purge nozzles 220 are arranged so as to be positioned inside the gas curtain formed by the curtain nozzle 210. Each of the purge nozzles 220 is provided with an opening slit (not shown) for supplying a purge gas so that an inert gas can be ejected from the minute space 103 toward the external space 104 through the first opening 111. Yes. In a state where the pod 1 is placed on the mounting table 107 and the opening 2a of the pod 1 is opened by the door 121, these purge nozzles 220 supply an inert gas toward the pod housing space 2b, and the atmosphere inside the pod 1 Replace the gas.

カバー部材250は、一対の側面プレート260及び室画定プレート270より構成される。カバー部材250を構成するこれらプレートは、一体としてドア駆動機構123におけるZ軸駆動機構部123bにより支持され、ドア121と一緒に昇降動作が為される。一対の側面プレート260各々は、サイドプレート105より微小空間103側に所定長さ突き出し且つZ軸方向に延在する平板状の部材からなる。この所定長さは、カバー部材250の上昇位置において、微小空間103側端部がカーテンノズル210のサイドプレート105側端部から微小空間103側端部までの距離と一致する長さとされている。また、側面プレート260各々は、第一の開口部111の中心を基準としてパージノズル220よりも外側に配置される。即ち、カバー部材250の上昇位置において、上部壁部材たるカーテンノズル210と側面プレート260とは接続して、第一の開口部111を囲み且つサイドプレート105から所定長さ突き出した、下方が開口するコの字形状部分を形成する。   The cover member 250 includes a pair of side plates 260 and a chamber defining plate 270. These plates constituting the cover member 250 are integrally supported by the Z-axis drive mechanism 123b in the door drive mechanism 123, and are moved up and down together with the door 121. Each of the pair of side plates 260 is made of a flat plate-like member that protrudes from the side plate 105 toward the minute space 103 by a predetermined length and extends in the Z-axis direction. The predetermined length is set to a length at which the end portion on the minute space 103 side coincides with the distance from the end portion on the side plate 105 side of the curtain nozzle 210 to the end portion on the minute space 103 at the raised position of the cover member 250. Further, each of the side plates 260 is disposed outside the purge nozzle 220 with reference to the center of the first opening 111. That is, at the raised position of the cover member 250, the curtain nozzle 210, which is the upper wall member, and the side plate 260 are connected to each other, surround the first opening 111 and protrude from the side plate 105 by a predetermined length. A U-shaped part is formed.

室画定プレート270は、側面プレート260のサイドプレート105とは逆側の自由端である辺(微小空間103側の端部)に対し、該側面プレート260を介してサイドプレート105と対向するように固定される。即ち、側面プレート260及びカーテンノズル210からなるコの字状の囲みの側面に該室拡画定プレート270が配されることにより、第一の開口部111の正面に、微小空間103の一部を区切った第二の微小空間203が形成されることとなる。以上の構成により、ドア121がポッド1の蓋3を保持してポッド開口2aを開放した際には、第一の開口部111を介して第二の微小空間203とポッド1の内部とが連通することとなる。該二の微小空間203内には、カーテンノズル210及びパージノズル220より窒素等不活性ガスが供給され、この空間内での酸素濃度の効果的な低減が行われる。   The chamber defining plate 270 faces the side plate 105 through the side plate 260 with respect to the side (end on the minute space 103 side) which is the free end of the side plate 260 opposite to the side plate 105. Fixed. That is, by arranging the chamber expansion defining plate 270 on the side surface of the U-shaped enclosure composed of the side plate 260 and the curtain nozzle 210, a part of the micro space 103 is formed in front of the first opening 111. A partitioned second minute space 203 is formed. With the above configuration, when the door 121 holds the lid 3 of the pod 1 and opens the pod opening 2a, the second minute space 203 and the inside of the pod 1 communicate with each other through the first opening 111. Will be. An inert gas such as nitrogen is supplied into the second minute space 203 from the curtain nozzle 210 and the purge nozzle 220, and the oxygen concentration in this space is effectively reduced.

本発明において、該室画定プレート270は、ドア121が第一の開口部111から離間する際にドア背面部121aの少なくとも一部が微小空間103に向かって貫通する第二の開口部271を有する。ドア121は、ポッド1の蓋3を保持する機構等を内部に有する関係上、X軸方向においてある程度の厚みを有することが避けられない。第二の開口部271は、当該ドア121において最も厚みを有する部分が貫通可能となるように配置される。これにより、当該第二の開口部271が無い場合と比較して、室画定プレート270をサイドプレート105により近づけて配置しても、ドア121による蓋3のポッド本体2からの取り外しに際して、該ドア121のX軸方向における十分な動作範囲を確保することが可能となる。また、ドア121が第一の開口部111から離間する際に、ドア121の一部、本実施形態ではドア背面部121aが該第二の開口部271に嵌り込むことにより、該第二の開口部271が略閉鎖されるようにその開口形状及び大きさを設定している。従って、第二の開口部271へのドア背面部121aの嵌り込みにより、第二の微小空間203を不活性ガス充満の観点から略密閉空間とすることが可能となる。   In the present invention, the chamber defining plate 270 has a second opening 271 through which at least a part of the door back surface part 121a penetrates toward the minute space 103 when the door 121 moves away from the first opening 111. . The door 121 inevitably has a certain thickness in the X-axis direction because it has a mechanism for holding the lid 3 of the pod 1 inside. The second opening 271 is arranged so that the thickest portion of the door 121 can be penetrated. Thus, even when the chamber defining plate 270 is disposed closer to the side plate 105 than when the second opening 271 is not provided, the door 3 is removed when the lid 3 is removed from the pod body 2 by the door 121. It is possible to ensure a sufficient operation range of 121 in the X-axis direction. Further, when the door 121 is separated from the first opening 111, a part of the door 121, in this embodiment, the door back surface 121 a is fitted into the second opening 271, thereby the second opening. The opening shape and size are set so that the part 271 is substantially closed. Therefore, by fitting the door back surface portion 121a into the second opening 271, the second minute space 203 can be made a substantially sealed space from the viewpoint of filling with the inert gas.

以上に述べた、本発明では、微小空間103側において第一の開口部111及びこれに隣接する空間を囲うように配置されて微小空間103より区切られた第二の微小空間203を画定する、室画定プレート270及び側面プレート260からなるカバー部材に対して、ドア121の少なくとも一部であるX軸方向の突出部を貫通可能な第二の開口部271を配することとしている。これにより、第一の開口部111に対向する位置に配置される室画定プレート270をサイドプレート105へ従来よりも大幅に近づけることが可能となる。従って、ポッド1の内部空間2bのパージ操作を行う際に不活性ガスを供給するための経路及びバッファ空間として作用する第二の微小空間203の容積小さくすることが出来、不活性ガスにより第二の微小空間203や収容空間2bを雰囲気置換するパージ操作に要する時間、及び該パージ操作に用いる不活性ガス量の低減を為すことが可能となる。   In the present invention described above, the second minute space 203 is defined so as to surround the first opening 111 and the space adjacent thereto on the minute space 103 side and is partitioned from the minute space 103. A second opening portion 271 that can penetrate the protruding portion in the X-axis direction, which is at least a part of the door 121, is disposed on the cover member including the chamber defining plate 270 and the side surface plate 260. As a result, the chamber defining plate 270 disposed at a position facing the first opening 111 can be made much closer to the side plate 105 than in the prior art. Therefore, when purging the internal space 2b of the pod 1, the volume of the second minute space 203 acting as a path for supplying the inert gas and the buffer space can be reduced, and the second gas can be reduced by the inert gas. It is possible to reduce the time required for the purge operation to replace the minute space 203 and the storage space 2b, and the amount of inert gas used for the purge operation.

なお、本発明では、これらカバー部材250とドア121とが一緒に昇降の動作を行っている。従って、ポッド1の蓋3を保持したドア121が降下した状態にある時、カバー部材250も降下していることとなる。当該構成とすることにより、図中不図示のロボットが動作すべき状態にある時に、カバー部材250がロボットの動作に影響を及ぼさないように降下している。例えば、ウエハサイズが大きくなり、これを搬送するロボット自体が大型化するに連れて、動作領域近傍に部材が存在した場合、大型化に伴う動作領域の拡大によりこれらと該ロボットとの接触の危険性が高まる可能性が有る。本形態の如く、このような部材であるカバー部材250を動作範囲近傍から遠ざけることにより、ここで述べたロボット-部材間の接触の可能性は大きく低減される。   In the present invention, the cover member 250 and the door 121 are moved up and down together. Therefore, when the door 121 holding the lid 3 of the pod 1 is in the lowered state, the cover member 250 is also lowered. With this configuration, when a robot (not shown) is in a state to be operated, the cover member 250 is lowered so as not to affect the operation of the robot. For example, if a member exists in the vicinity of the operation area as the wafer size increases and the robot itself carrying the wafer increases, there is a risk of contact between the robot and the robot due to enlargement of the operation area accompanying the increase in size. There is a possibility that it increases. As in this embodiment, by moving the cover member 250, which is such a member, away from the vicinity of the operation range, the possibility of contact between the robot and the member described here is greatly reduced.

本形態ではドア駆動機構123におけるZ軸駆動機構部123bによって、ドア121と共にカバー部材250も昇降させることとしている。これらを別個に昇降させる方式の場合には、各々の駆動機構が必要となる。通常駆動機構は動作部における発塵を勘案しておく必要があるが、当該構成の場合には発塵源が複数存在すると共にこれらが個別に移動し、発塵の影響が拡大する恐れがある。通常は微小空間103に生成されるダウンフローをこの発塵源の存在位置に導くことにより、塵等の外部空間への排出を促している。ただ、複数の駆動機構を有する場合には、状況により個々の駆動機構が上下の配置を入れ替えたりする場合も考えられる。このような動作はダウンフロー中における乱流の生成、塵等の巻上げによる塵等の拡散を発生させる恐れがある。本発明ではこの駆動機構を単一とすることにより、ドア121及びカバー部材250の駆動に伴う発塵或いは塵等の拡散を抑制している。   In this embodiment, the cover member 250 is moved up and down together with the door 121 by the Z-axis drive mechanism 123b in the door drive mechanism 123. In the case of a system in which these are raised and lowered separately, each drive mechanism is required. Normally, it is necessary for the drive mechanism to take into account dust generation in the operating part. However, in the case of this configuration, there are a plurality of dust generation sources and they may move individually, which may increase the influence of dust generation. . Normally, the downflow generated in the minute space 103 is guided to the position where the dust generation source exists, thereby urging the discharge of dust and the like to the external space. However, in the case of having a plurality of drive mechanisms, it may be considered that the individual drive mechanisms may change the top and bottom arrangement depending on the situation. Such an operation may cause generation of turbulent flow during downflow and diffusion of dust and the like due to the dust being rolled up. In the present invention, this drive mechanism is used as a single unit to suppress the generation of dust or dust accompanying the drive of the door 121 and the cover member 250.

次に、実際にポッド1より蓋3を取り外し、ポッド1内部のウエハの挿脱を可能とする状態までの操作について、図1(a)〜1(c)を用いて説明する。まず、載置台107上に載置されたポッド1が、不図示のテーブル駆動機構によって第一の開口部111に向かって運ばれ、蓋3がドア121と当接した後に停止される。この状態が図1(a)に対応する。ドア121は蓋3を保持し、X軸駆動機構部123aにより駆動されてドア121が第一の開口部111より離れ、ポッド本体2より蓋3を取り外して開口2aを開放する。その際に、ドア背面部121aは第二の開口部271を貫通して微小空間103側に突出し、蓋3が他の構造物と接触することなく降下可能な最小限の距離だけサイドプレート105から離間した位置にてX軸方向の平行移動である離間動作が停止される。離間動作停止の状態が図1(b)に対応する。   Next, operations up to the state where the lid 3 is actually removed from the pod 1 and the wafer inside the pod 1 can be inserted and removed will be described with reference to FIGS. First, the pod 1 placed on the placing table 107 is conveyed toward the first opening 111 by a table driving mechanism (not shown), and is stopped after the lid 3 comes into contact with the door 121. This state corresponds to FIG. The door 121 holds the lid 3 and is driven by the X-axis drive mechanism 123 a so that the door 121 moves away from the first opening 111, and the lid 3 is removed from the pod body 2 to open the opening 2 a. At that time, the door back surface portion 121a penetrates the second opening portion 271 and protrudes toward the minute space 103 side, and from the side plate 105 by a minimum distance that allows the lid 3 to be lowered without coming into contact with other structures. The separation operation that is parallel movement in the X-axis direction is stopped at the separated position. The state in which the separation operation is stopped corresponds to FIG.

この状態よりドア駆動機構123がドア121及びカバー部材250を一緒に降下させ、ポッド開口2a-第一の開口部111-微小空間103を連通させる。この状態が図1(c)に対応する。この状態ではカバー部材250が第一の開口部111に隣接する領域から退避するため、ウエハ搬送のための不図示のロボットの動作範囲を阻害しなくなる。ウエハに対する各種処理終了後は以上述べた操作とは逆の操作を行ってポッド本体2に対する蓋3の取り付けが行われる。なお、その際には図1(c)或いは1(b)の段階よりガスパージ装置200からの不活性ガスの供給が開始され、ポッド1内部の雰囲気をガス置換する所謂ガスパージ操作が実行される。ポッド1の収容空間2b内の酸素濃度が十分に低下すると考えられる時間パージ操作を行った後に、ドア121がX軸方向に平行移動して図1(a)の状態に戻り、蓋3により開口2aが閉鎖される。   From this state, the door drive mechanism 123 lowers the door 121 and the cover member 250 together to communicate the pod opening 2a-the first opening 111-the minute space 103. This state corresponds to FIG. In this state, the cover member 250 is retracted from the area adjacent to the first opening 111, so that the operation range of a robot (not shown) for wafer transfer is not hindered. After completion of the various processes on the wafer, the lid 3 is attached to the pod body 2 by performing the reverse operation to the above-described operation. At that time, the supply of the inert gas from the gas purge device 200 is started from the stage of FIG. 1C or 1B, and a so-called gas purge operation for replacing the atmosphere inside the pod 1 is performed. After performing a purge operation for a time when the oxygen concentration in the accommodation space 2b of the pod 1 is considered to be sufficiently lowered, the door 121 is translated in the X-axis direction to return to the state of FIG. 2a is closed.

上述した実施形態では、カバー部材250がドア121と共に移動する構成について述べた。しかし、本発明は当該態様に限定されない。例えばカバー部材250が固定されており、ドア121のみがX軸方向及びZ軸方向に駆動する形態としても良い。以下では、カバー部材250がサイドプレート105に対して固定された他の実施形態について述べる。図3(a)〜3(c)は、図1(a)〜1(c)と同様の様式にて、本実施形態に係るロードポート装置100図示したものである。なお、本実施形態においても、ポッド1から蓋3を取り外す動作において、ドア121はX軸方向の後退動作を行うこととしている。しかし、X軸駆動機構部123aを特定の水平軸中心にドアアーム125を回動させる機構と置き換え、ドア121が回動する構成とすることも可能であることに留意されたい。また、図3(a)〜3(c)において示される各構成について、前述した実施形態で詳述した構成と同じ構成に関しては同一の参照番号を用いて示すこととし、ここでの説明は省略する。   In the above-described embodiment, the configuration in which the cover member 250 moves together with the door 121 has been described. However, the present invention is not limited to this aspect. For example, the cover member 250 may be fixed, and only the door 121 may be driven in the X-axis direction and the Z-axis direction. Hereinafter, another embodiment in which the cover member 250 is fixed to the side plate 105 will be described. 3 (a) to 3 (c) illustrate the load port device 100 according to the present embodiment in the same manner as FIGS. 1 (a) to 1 (c). In the present embodiment, the door 121 is also retracted in the X-axis direction in the operation of removing the lid 3 from the pod 1. However, it should be noted that the X-axis drive mechanism 123a may be replaced with a mechanism that rotates the door arm 125 about a specific horizontal axis, and the door 121 may be configured to rotate. 3A to 3C, the same reference numerals are used to denote the same components as those detailed in the above-described embodiment, and the description thereof is omitted here. To do.

本実施形態では、ドア駆動機構123はドア121のみを支持し、カバー部材250はサイドプレート105に対して固定されている。従って、ドア121の昇降に対して、該カバー部材250が影響を及ぼさないように、室画定プレート270の形状が改変されている。第二の開口部271が貫通孔の態様ではなく、ドア背面部121aがZ軸下方に移動可能となるようにZ軸下方が開口した切り込み形状とされている。これにより、ドア121が第一の開口部111より離間してドア背面部121aが第二の開口部271に貫通した後に、ドア121がZ軸方向に沿って降下する際にもドア背面部121aは第二の開口部271と接触することが無くなる。   In the present embodiment, the door drive mechanism 123 supports only the door 121, and the cover member 250 is fixed to the side plate 105. Therefore, the shape of the chamber defining plate 270 is modified so that the cover member 250 does not affect the elevation of the door 121. The second opening 271 is not in the form of a through-hole, but has a cut shape in which the lower side of the Z-axis is opened so that the door back surface part 121a can move downward in the Z-axis. Accordingly, even when the door 121 descends along the Z-axis direction after the door 121 is separated from the first opening 111 and the door back surface 121a penetrates the second opening 271, the door back surface 121a Does not come into contact with the second opening 271.

実際の動作ではまず、載置台107上に載置されたポッド1が、不図示のテーブル駆動機構によって第一の開口部111に向かって運ばれ、蓋3がドア121と当接した後に停止される。この状態が図3(a)に対応する。ドア121は蓋3を保持し、X軸駆動機構部123aにより駆動されてドア121が第一の開口部111より離れ、ポッド本体2より蓋3を取り外して開口2aを開放する。その際に、ドア背面部121aは第二の開口部271を貫通して微小空間103側に突出し、蓋3が他の構造物と接触することなく降下可能な最小限の距離だけサイドプレート105から離間した位置にてX軸方向の平行移動である離間動作が停止される。離間動作停止の状態が図3(b)に対応する。この状態よりドア駆動機構123がドア121及びカバー部材250を降下させ、ポッド開口2a-第一の開口部111-微小空間103を連通させる。この状態が図3(c)に対応する。その際にサイドプレート105に固定されているカバー部材250は当初の位置より動作しない。本構成の場合、第二の微小空間203の密閉度について前述した実施形態に劣る反面、駆動部分が減ることから当該駆動部分に起因した発塵が抑制されるという効果が得られる。   In actual operation, the pod 1 placed on the placing table 107 is first transported toward the first opening 111 by a table driving mechanism (not shown), and stopped after the lid 3 comes into contact with the door 121. The This state corresponds to FIG. The door 121 holds the lid 3 and is driven by the X-axis drive mechanism 123 a so that the door 121 moves away from the first opening 111, and the lid 3 is removed from the pod body 2 to open the opening 2 a. At that time, the door back surface portion 121a penetrates the second opening portion 271 and protrudes toward the minute space 103 side, and from the side plate 105 by a minimum distance that allows the lid 3 to be lowered without coming into contact with other structures. The separation operation that is parallel movement in the X-axis direction is stopped at the separated position. The state in which the separation operation is stopped corresponds to FIG. From this state, the door drive mechanism 123 lowers the door 121 and the cover member 250 to connect the pod opening 2a—the first opening 111—the minute space 103. This state corresponds to FIG. At that time, the cover member 250 fixed to the side plate 105 does not operate from the initial position. In the case of this configuration, the degree of sealing of the second minute space 203 is inferior to that of the above-described embodiment, but since the drive portion is reduced, an effect that dust generation due to the drive portion is suppressed is obtained.

なお、上述した実施形態において、カーテンノズル210を第二の微小空間203の上部壁を構成する部材として用いている。しかし、これらを壁の機能を有する構成と、第二の微小空間203内部に配置されて第一の開口部111に隣接する空間へガスカーテンを生成する機能を有するノズルとに分離することとしても良い。また、ドア121の駆動方向等は便宜上X、Y、及びZ軸により定義しているが、本発明における駆動方向等は当該形態に限定されない。例えば、これら軸に対して所定角度傾けて各々を配置することも可能である。更に、上述した実施形態では半導体処理装置を対象としてポッド及びこれに収容されるウエハを例示しているが、これらを収容容器及び被収容物として種々の物品に対して拡張することも可能である。以上述べたように、本発明によれば、ポッド内部の不活性ガスパージに際してガス供給経路及びバッファ室として利用する第二の微小空間203の容積を従来よりも小さくすることが可能となる。よって、ポッド内部の残留酸素濃度を100ppm未満のレベルまで低減する際に、パージ操作に要する時間の短縮と使用する不活性ガス量の削減とを両立することが可能となる。   In the embodiment described above, the curtain nozzle 210 is used as a member constituting the upper wall of the second minute space 203. However, these can be separated into a configuration having a wall function and a nozzle that is arranged inside the second micro space 203 and has a function of generating a gas curtain in a space adjacent to the first opening 111. good. Further, the driving direction and the like of the door 121 are defined by the X, Y, and Z axes for convenience, but the driving direction and the like in the present invention are not limited to this form. For example, it is possible to place each of them at a predetermined angle with respect to these axes. Furthermore, in the above-described embodiment, the pod and the wafer accommodated in the semiconductor processing apparatus are illustrated, but these can be extended to various articles as a container and a container. . As described above, according to the present invention, it is possible to reduce the volume of the second minute space 203 used as the gas supply path and the buffer chamber when purging the inert gas inside the pod. Therefore, when the residual oxygen concentration inside the pod is reduced to a level of less than 100 ppm, it is possible to achieve both reduction of the time required for the purge operation and reduction of the amount of inert gas used.

以上述べたように、本発明は半導体処理装置に対して好適に用いるロードポート装置に関している。しかしながら、本発明の利用可能性は当該処理装置むけのみに限定されず、例えば液晶ディスプレイのパネルを扱う処理装置等、半導体に準じた各種処理が行われる種々の処理装置に用いられる所謂ロードポート装置やガスパージ装置に対しても適用可能である。   As described above, the present invention relates to a load port apparatus suitably used for a semiconductor processing apparatus. However, the applicability of the present invention is not limited only to the processing apparatus, and for example, a so-called load port apparatus used in various processing apparatuses that perform various processes according to semiconductors, such as a processing apparatus that handles a panel of a liquid crystal display. It can also be applied to gas purge devices.

1:ポッド、 2:ポッド本体、 2a:開口、 2b:収容空間、 3:蓋、 100:ロードポート装置、 103:微小空間、 104:外部空間、 105:サイドプレート、 107:載置台、 111:第一の開口部、 120:ドアシステム、 121:ドア、 121a:ドア背面部、 123:ドア駆動機構、 123a:X軸駆動機構部、 123b:Z軸駆動機構部、 125:ドアアーム、 200:ガスパージ装置、 203:第二の微小空間、 210:カーテンノズル、 220:パージノズル、 250:カバー部材、 260:側面プレート、 270:室画定プレート、 271:第二の開口部 1: Pod, 2: Pod body, 2a: Opening, 2b: Storage space, 3: Lid, 100: Load port device, 103: Micro space, 104: External space, 105: Side plate, 107: Mounting table, 111: 1st opening part, 120: Door system, 121: Door, 121a: Door back surface part, 123: Door drive mechanism, 123a: X axis drive mechanism part, 123b: Z axis drive mechanism part, 125: Door arm, 200: Gas purge Apparatus: 203: second minute space; 210: curtain nozzle; 220: purge nozzle; 250: cover member; 260: side plate; 270: chamber defining plate;

Claims (5)

微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートと前記サイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉するロードポート装置であって、
前記開口部を囲んで前記微小空間内に配置され、前記開口部に隣接する前記微小空間の一部を第二の微小空間として区切るカバー部材と、
前記第二の微小空間の内部に気体を供給すると共に前記開口部と前記開口とを介して前記密閉容器の内部に前記気体を供給可能なガスパージ装置と、
前記ドアを前記開口部を閉鎖する位置と閉鎖しない位置との間で移動させるドア駆動機構と、を有し、
前記カバー部材は、前記微小空間を区切る状態で、前記ドア駆動機構が前記ドアを前記開口部より離間させ前記閉鎖しない位置へ移動させた際に、前記ドアの少なくとも一部が前記微小空間に向かって貫通可能な第二の開口部を有することを特徴とするロードポート装置。
A side plate that forms part of a wall that separates a minute space from an external space, and a door that can close an opening of the side plate, and the opening of an airtight container that accommodates an object to be accommodated A load port device that opens and closes the sealed container with the door holding a lid attached to the opening,
A cover member that surrounds the opening and is disposed in the minute space and divides a part of the minute space adjacent to the opening as a second minute space;
A gas purge device capable of supplying a gas into the second minute space and supplying the gas into the sealed container through the opening and the opening;
A door drive mechanism for moving the door between a position where the opening is closed and a position where the door is not closed;
When the door drive mechanism moves the door away from the opening and moves the door to a position that does not close with the cover member separating the minute space, at least a part of the door faces the minute space. A load port device having a second opening that can be penetrated through.
前記ドア駆動機構は前記ドアと共に前記カバー部材を支持し、前記ドアと一緒に前記カバー部材を前記サイドプレートと平行な方向に駆動可能であることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。   The load port device according to claim 1, wherein the door driving mechanism supports the cover member together with the door, and can drive the cover member together with the door in a direction parallel to the side plate. . 前記カバー部材は前記開口部と対向して配置される室画定プレートと、前記開口部の側辺に沿って配置される側面プレートとを有し、
前記開口部の上辺よりも上側において前記サイドプレートに対して固定される上部壁部材と組み合わさって、前記第二の微小空間を形成し、
前記第二の開口部は前記室画定プレートに配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載のロードポート装置。
The cover member includes a chamber defining plate disposed to face the opening, and a side plate disposed along a side of the opening,
In combination with an upper wall member fixed to the side plate above the upper side of the opening, the second minute space is formed,
The load port device according to claim 1, wherein the second opening is disposed in the chamber defining plate.
前記ガスパージ装置は前記サイドプレートに対して固定されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のロードポート装置。   The load port device according to any one of claims 1 to 3, wherein the gas purge device is fixed to the side plate. 微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートと前記サイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉するロードポート装置における前記密閉容器の蓋開閉方法であって、
前記微小空間内において前記開口部を囲んで配置可能なカバー部材により前記開口部に隣接する前記微小空間の一部を第二の微小空間として区切る工程と
前記ドアにより前記蓋を保持し、前記ドアを前記開口部から離間させることにより前記開口を開放する工程と、
前記ドアと共に前記カバー部材を移動させて前記開口部を開放する工程と、を有し、
前記ドアを前記開口部から離間させる際に前記ドアの少なくとも一部が前記微小空間に向かって前記カバー部材に設けられた貫通孔を貫通することを特徴とする密閉容器の蓋開閉方法。
A side plate that forms part of a wall that separates a minute space from an external space, and a door that can close an opening of the side plate, and the opening of an airtight container that accommodates an object to be accommodated And a lid opening / closing method of the hermetic container in a load port device that opens and closes the hermetic container while the door holds a lid attached to the opening,
A step of partitioning a part of the minute space adjacent to the opening as a second minute space by a cover member that can be disposed to surround the opening in the minute space; Opening the opening by separating the opening from the opening; and
Moving the cover member together with the door to open the opening, and
A lid opening / closing method for a sealed container, wherein at least a part of the door penetrates a through hole provided in the cover member toward the minute space when the door is separated from the opening.
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