JP5989994B2

JP5989994B2 - Transport mechanism

Info

Publication number: JP5989994B2
Application number: JP2012003573A
Authority: JP
Inventors: 晃一大日野
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-01-11
Filing date: 2012-01-11
Publication date: 2016-09-07
Anticipated expiration: 2032-01-11
Also published as: JP2013143507A

Description

本発明は、板状物の表面を吸引保持して搬送する搬送機構に関するものである。 The present invention relates to a transport mechanism that sucks and holds the surface of a plate-shaped object.

研削装置などの加工装置においては、カセットに複数枚の板状物が収容され、研削加工時に収容されている板状物をその表面を吸引保持することでカセットから搬出し、研削加工後の板状物をカセットに搬入するための搬送機構が配設されている。搬送機構は、板状物の表面に当接して板状物を吸引保持する保持部と、保持部の板状物に当接する面に配設され、板状物の存在を検出する静電容量センサなどの板状物検出センサとを備えており、板状物が保持部に当接されたことを静電容量センサで検出すると搬送動作を行うものである。 In a processing device such as a grinding device, a plurality of plate-like objects are accommodated in a cassette, and the plate-like object accommodated during grinding is sucked and held from the cassette, and the plate after grinding is processed. A transport mechanism for carrying the articles into the cassette is provided. The transport mechanism is disposed on a holding part that abuts on the surface of the plate-like object and sucks and holds the plate-like object, and a capacitance that detects the presence of the plate-like object. A plate-like object detection sensor such as a sensor is provided, and a conveying operation is performed when the capacitance sensor detects that the plate-like object is in contact with the holding portion.

特開２００２−２７０６７４号公報JP 2002-270674 A 特開２００７−２８９６７３号公報JP 2007-289673 A

例えば、板状物がニオブ酸リチウムで形成されており、板状物検出センサの板状物と対向する表面がポリイミド（ＰＩ）で形成されている場合、加工後の板状物を搬送機構により複数枚連続して搬送動作を行うと、板状物と保持部とが接着してしまうという問題があった。 For example, when the plate is made of lithium niobate and the surface of the plate detection sensor facing the plate is made of polyimide (PI), the processed plate is made by a transport mechanism. When a plurality of sheets are continuously conveyed, there is a problem that the plate-like object and the holding part are bonded.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、搬送機構による加工後の板状物の搬送動作を繰り返し行っても、板状物と保持部とが接着することを抑制することができる搬送機構を提供することを目的とする。 This invention is made | formed in view of the above, Comprising: Even if it repeatedly performs the conveyance operation of the plate-shaped object after a process by a conveyance mechanism, it can suppress that a plate-shaped object and a holding | maintenance part adhere | attach. An object is to provide a transport mechanism.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る搬送機構は、常温の状態で加水分解を引き起こす板状物に加工水を供給しながら加工処理を施した後である加工後の前記加工水に付着した前記板状物に当接して前記板状物を吸引保持する保持部と、前記保持部を移動させる駆動部とを備え、前記保持部には、前記板状物に当接する面側に配設され、前記板状物の存在を検出する板状物検出センサを備え、前記加工水に付着した前記板状物と当接する面は、少なくとも耐加水分解性を有する物質で形成され、前記耐加水分解性を有する物質は、前記板状物の加水分解により生じる水酸化イオンによるアルカリアタックにより加水分解を起こした結果、カルボキシル基を含む物質になりにくい物質あるいはカルボキシル基を含む物質にまったくならない物質であることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the conveyance mechanism according to the present invention is after processing is performed while supplying processing water to a plate-like material that causes hydrolysis at room temperature. A holding portion that sucks and holds the plate-like object in contact with the plate-like object attached to the processed water, and a drive unit that moves the holding portion, and the holding portion includes the plate-like object. A substance that is provided on the surface side to be in contact and has a plate-like object detection sensor that detects the presence of the plate-like object, and the surface that comes into contact with the plate-like object attached to the processed water has at least hydrolysis resistance. The hydrolysis-resistant substance is formed of a substance that does not easily become a substance containing a carboxyl group or a carboxyl group as a result of hydrolysis by an alkaline attack by a hydroxide ion generated by hydrolysis of the plate-like material. Containing substances Characterized in that it is a substance that does not at all.

本発明の搬送機構は、板状物と当接する面は、少なくとも耐加水分解性を有する物質で形成されているので、水酸化物イオンによる加水分解を生じることがなく、加水分解が生じることにより、板状物と保持部とが接着することを抑制することができるという効果を奏する。 In the transport mechanism of the present invention, the surface that comes into contact with the plate-like object is formed of a substance having at least hydrolysis resistance, so that hydrolysis does not occur due to hydroxide ions. And there exists an effect that it can suppress that a plate-shaped object and a holding part adhere.

図１は、実施形態に係る研削装置の構成例を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a grinding apparatus according to an embodiment. 図２は、搬送機構の構成例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of the transport mechanism. 図３は、加水分解を説明するための模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining hydrolysis.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. Various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る搬送機構を備える研削装置の構成例を示す図である。図２は、搬送機構の構成例を示す図である。図３は、加水分解を説明するための模式図である。 Embodiment
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a grinding apparatus including a transport mechanism according to the embodiment. FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of the transport mechanism. FIG. 3 is a schematic diagram for explaining hydrolysis.

図１に示すように、本実施形態に係る搬送機構１は、加工装置である研削装置１００に用いられるものである。研削装置１００は、２つのカセット１１１，１１２と、中心合わせテーブル１２０と、ターンテーブル１３０と、２つの研削手段１４０，１５０と、研削ホイール移動手段１６０，１７０と、洗浄手段１８０と、搬送機構１とを含んで構成されている。なお、搬送機構１を含むこれらの装置は、図示しない制御装置により加工動作、本実施形態では研削加工を行うように制御される。 As shown in FIG. 1, the transport mechanism 1 according to this embodiment is used for a grinding apparatus 100 that is a processing apparatus. The grinding apparatus 100 includes two cassettes 111 and 112, a centering table 120, a turntable 130, two grinding means 140 and 150, grinding wheel moving means 160 and 170, a cleaning means 180, and a transport mechanism 1. It is comprised including. Note that these devices including the transport mechanism 1 are controlled by a control device (not shown) to perform a machining operation, in this embodiment, a grinding process.

板状物Ｗは、少なくとも搬送機構１の後述する保持部２と当接する表面が、常温の状態で加水分解を引き起こす物質で形成される半導体ウエーハなどである。ここで、常温の状態で加水分解を引き起こす物質としては、常温の水環境下で、加水分解を起こすことができる物質にアルカリアタックを行う水酸化物イオンを生成するニオブ酸リチウム、銅などがある。つまり、板状物Ｗは、常温の状態で加水分解を起こす物質を不純物としてではなく含有する、例えば板状物Ｗ自体あるいは板状物Ｗ上のリードフレームなどが常温の状態で加水分解を引き起こす物質である。なお、常温とは、上記研削装置１００を使用することができる温度域をいい、１５〜２５℃程度である。 The plate-like object W is a semiconductor wafer or the like in which at least the surface of the transport mechanism 1 that comes into contact with a later-described holding unit 2 is made of a substance that causes hydrolysis at room temperature. Here, examples of substances that cause hydrolysis at room temperature include lithium niobate and copper that generate hydroxide ions that perform alkali attack on substances that can cause hydrolysis in a water environment at room temperature. . That is, the plate-like product W contains a substance that causes hydrolysis at room temperature, not as an impurity. For example, the plate-like product W itself or a lead frame on the plate-like product W causes hydrolysis at room temperature. It is a substance. In addition, normal temperature means the temperature range which can use the said grinding apparatus 100, and is about 15-25 degreeC.

カセット１１１，１１２は、板状物Ｗを複数収納するものであり、カセット１１１が加工前、本実施形態では研削前の板状物Ｗを収容し、カセット１１２が加工後、本実施形態では研削後の板状物Ｗを収容するものである。カセット１１１は研削前の板状物Ｗが搬送機構１により搬出され、カセット１１２は研削後の板状物Ｗが搬送機構１により搬入される。つまり、カセット１１１，１１２に対する板状物Ｗの搬出入は、搬送機構１により行われる。 The cassettes 111 and 112 store a plurality of plate-like objects W. The cassette 111 accommodates the plate-like object W before processing, in this embodiment, before grinding, and after the cassette 112 is processed, grinding in this embodiment. The latter plate-like object W is accommodated. In the cassette 111, the plate-like object W before grinding is carried out by the transport mechanism 1, and in the cassette 112, the plate-like object W after grinding is carried in by the transport mechanism 1. That is, the carrying mechanism 1 carries out the loading and unloading of the plate-like object W with respect to the cassettes 111 and 112.

中心合わせテーブル１２０は、ターンテーブル１３０の後述するチャックテーブル１３１，１３２，１３３，１３４に対する研削前の板状物Ｗの位置合わせを行うものであり、搬送機構１とターンテーブル１３０との間に配設されている。中心合わせテーブル１２０により位置合わせが行われた板状物Ｗは、第１搬送手段１９１によりターンテーブル１３０のチャックテーブル１３１〜１３４に搬送される。 The center alignment table 120 is used to align the plate-like object W before grinding with respect to chuck tables 131, 132, 133, and 134, which will be described later, of the turn table 130, and is arranged between the transport mechanism 1 and the turn table 130. It is installed. The plate-like object W that has been aligned by the center alignment table 120 is conveyed to the chuck tables 131 to 134 of the turntable 130 by the first conveyance means 191.

ターンテーブル１３０は、板状物Ｗを研削手段１４０，１５０による研削加工を行える位置まで搬送するものであり、円盤形状であり、研削手段１４０，１５０と対向する側の面に、複数、本実施形態では４つのチャックテーブル１３１〜１３４が配設されている。ターンテーブル１３０は、回転可能に支持されており、図示しないモータなどの回転駆動源が発生する回転力により、周方向に所定角度、本実施形態では９０度ずつ回転することができる。 The turntable 130 conveys the plate-like object W to a position where it can be ground by the grinding means 140, 150. The turntable 130 has a disk shape, and a plurality of the turntables 130 are provided on the surface facing the grinding means 140, 150. In the embodiment, four chuck tables 131 to 134 are arranged. The turntable 130 is rotatably supported and can be rotated by a predetermined angle in the circumferential direction by 90 degrees in the present embodiment by a rotational force generated by a rotational drive source such as a motor (not shown).

チャックテーブル１３１〜１３４は、板状物Ｗを保持するものである。チャックテーブル１３１〜１３４は、表面を構成する部分がポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、表面に載置された板状物Ｗを吸引することで保持するものである。なお、チャックテーブル１３１〜１３４は、回転可能に支持されており、図示しないモータなどの回転駆動源が発生する回転力により、周方向に回転することができる。また、チャックテーブル１３１〜１３４の周囲には、図示しないクランプ部が設けられており、クランプ部がエアーアクチュエータにより駆動することで、板状物Ｗを図示しないフレームを介して挟時する。 The chuck tables 131 to 134 hold the plate-like object W. The chuck tables 131 to 134 have a disk shape in which a portion constituting the surface is made of porous ceramic or the like, and are connected to a vacuum suction source (not shown) via a vacuum suction path (not shown) and are placed on the surface. The object W is held by being sucked. The chuck tables 131 to 134 are rotatably supported, and can be rotated in the circumferential direction by a rotational force generated by a rotational drive source such as a motor (not shown). In addition, a clamp part (not shown) is provided around the chuck tables 131 to 134, and the clamp part is driven by an air actuator so that the plate-like object W is clamped via a frame (not shown).

研削手段１４０，１５０は、チャックテーブル１３１〜１３４に保持された板状物Ｗと研削砥石１４３，１５３とを相対回転させることでそれぞれ研削加工を行うものであり、研削手段１４０が粗研削用の研削機構であり、研削手段１５０が仕上げ研削用の研削機構である。各研削手段１４０，１５０は、研削ホイール１４１，１５１と、スピンドル１４２，１５２と、図示しない加工水供給手段をそれぞれ含んで構成されている。研削ホイール１４１，１５１は、円盤形状であり、板状物Ｗと対向する側に周方向に複数の研削砥石１４３，１５３が回転方向に垂直に取り付けられている。研削砥石１４３，１５３は、研削砥石１５３のほうが研削砥石１４３よりも目が細かく形成されている。研削ホイール１４１，１５１は、研削砥石１４３，１５３が板状物Ｗと接触した状態で、回転することにより、板状物Ｗを研削するものである。研削ホイール１４１，１５１は、スピンドル１４２，１５２に着脱自在に装着される。スピンドル１４２，１５２は、鉛直方向を回転軸として円筒形状のハウジング１４４，１５４に回転自在に支持されることで、鉛直方向を回転軸として研削ホイール１４１，１５１を回転可能に支持するものであり、ハウジング１４４，１５４に配設されているモータ１４５，１５５に連結されている。研削ホイール１４１，１５１は、モータ１４５，１５５により発生した回転力により回転駆動する。加工水供給手段は、研削手段１４０，１５０による研削加工の際に、加工水、本実施形態では研削水（少なくとも水を含む液体）を板状物Ｗと研削砥石１４３，１５３との間に供給するものである。つまり、研削手段１４０，１５０は、板状物Ｗに加工水を供給しながら加工処理である研削加工処理を施すものである。なお、研削ホイール１４１，１５１の外径（研削砥石１４３，１５３により研削加工ができる領域の外径）は、チャックテーブル１３１〜１３４に保持される板状物Ｗの外径以上に設定されている。 The grinding means 140 and 150 perform grinding by rotating the plate-like object W held by the chuck tables 131 to 134 and the grinding wheels 143 and 153, respectively. The grinding means 140 is used for rough grinding. It is a grinding mechanism, and the grinding means 150 is a grinding mechanism for finish grinding. Each of the grinding means 140 and 150 includes grinding wheels 141 and 151, spindles 142 and 152, and a processing water supply means (not shown). The grinding wheels 141 and 151 have a disk shape, and a plurality of grinding wheels 143 and 153 are attached to the side facing the plate-like object W in the circumferential direction perpendicular to the rotation direction. As for the grinding wheels 143 and 153, the grinding wheel 153 has finer eyes than the grinding wheel 143. The grinding wheels 141 and 151 grind the plate-like object W by rotating in a state where the grinding wheels 143 and 153 are in contact with the plate-like object W. The grinding wheels 141 and 151 are detachably attached to the spindles 142 and 152. The spindles 142 and 152 are rotatably supported by the cylindrical housings 144 and 154 with the vertical direction as a rotation axis, so that the grinding wheels 141 and 151 are rotatably supported with the vertical direction as a rotation axis. The motors 145 and 155 are connected to the housings 144 and 154. The grinding wheels 141 and 151 are rotationally driven by the rotational force generated by the motors 145 and 155. The processing water supply means supplies the processing water, in this embodiment, the grinding water (at least a liquid containing water) between the plate-like object W and the grinding wheels 143 and 153 during the grinding by the grinding means 140 and 150. To do. That is, the grinding means 140 and 150 perform grinding processing that is processing while supplying processing water to the plate-like object W. The outer diameter of the grinding wheels 141 and 151 (the outer diameter of the region that can be ground by the grinding wheels 143 and 153) is set to be equal to or larger than the outer diameter of the plate-like object W held by the chuck tables 131 to 134. .

研削ホイール移動手段１６０，１７０は、チャックテーブル１３１〜１３４に保持された板状物Ｗに対して研削ホイール１４１，１５１を研削装置１００における鉛直方向に相対移動させるものである。研削ホイール移動手段１６０，１７０は、パルスモータ１６１，１７１により発生した回転力により、研削手段１４０，１５０を一対のガイドレール１６２，１７２によりガイドしつつ、ターンテーブル１３０に対して鉛直方向に移動させる。 The grinding wheel moving means 160 and 170 are for moving the grinding wheels 141 and 151 in the vertical direction in the grinding apparatus 100 with respect to the plate-like object W held on the chuck tables 131 to 134. The grinding wheel moving means 160 and 170 move the grinding means 140 and 150 in the vertical direction with respect to the turntable 130 while being guided by the pair of guide rails 162 and 172 by the rotational force generated by the pulse motors 161 and 171. .

洗浄手段１８０は、スピンナテーブル１８１を有し、研削後の板状物Ｗが載置され、保持される。スピンナテーブル１８１は、装置本体１０１に収納されている回転駆動源と連結されている。洗浄手段１８０は、ターンテーブル１３０のチャックテーブル１３１〜１３４に保持されていた研削後の板状物Ｗが第２搬送手段１９２によりスピンナテーブル１８１に搬送され、スピンナテーブル１８１に保持されると、回転駆動源が発生する回転力により、板状物Ｗを回転させ、図示しない洗浄液噴射装置から板状物Ｗに対して洗浄液を噴射することで洗浄する。つまり、洗浄手段１８０は、板状物Ｗに加工水を供給しながら加工処理である洗浄加工処理を施すものである。なお、洗浄手段１８０は、洗浄後の板状物Ｗに対して図示しない気体噴射装置から気体を噴射することで乾燥させてもよい。 The cleaning means 180 has a spinner table 181 on which the plate-like object W after grinding is placed and held. The spinner table 181 is connected to a rotation drive source housed in the apparatus main body 101. The cleaning means 180 rotates when the ground plate-like object W held on the chuck tables 131 to 134 of the turntable 130 is transferred to the spinner table 181 by the second transfer means 192 and held on the spinner table 181. The plate-like object W is rotated by the rotational force generated by the drive source, and cleaning is performed by spraying the cleaning liquid onto the plate-like object W from a cleaning liquid ejecting apparatus (not shown). That is, the cleaning unit 180 performs a cleaning process that is a process while supplying the processing water to the plate-like object W. The cleaning means 180 may be dried by injecting gas from a gas injection device (not shown) onto the washed plate-like object W.

搬送機構１は、カセット１１１，１１２および加工処理装置の間、本実施形態ではカセット１１１および中心合わせテーブル１２０の間と、洗浄手段１８０およびカセット１１２の間で板状物Ｗを搬送するものである。搬送機構１は、装置本体１０１内に収容されており、図２に示すように、保持部２と、駆動部３と、２つの板状物検出センサ４，５とを含んで構成されている。 The transport mechanism 1 transports the plate-like object W between the cassettes 111 and 112 and the processing apparatus, between the cassette 111 and the centering table 120 in this embodiment, and between the cleaning means 180 and the cassette 112. . The transport mechanism 1 is accommodated in the apparatus main body 101, and includes a holding unit 2, a driving unit 3, and two plate-like object detection sensors 4 and 5, as shown in FIG. .

保持部２は、研削前および研削後の板状物Ｗに当接するものであり、当接した板状物Ｗを吸引保持するものである。保持部２は、平板状に形成されており、常温の状態で加水分解を起こさない物質であるステンレス鋼などで形成されている。保持部２は、基部２１から第１支持部２２および第２支持部２３が同方向に突出したＵ字形状に形成されている。各支持部２２，２３は、板状物Ｗと対向する側に第１吸引部２４、第２吸引部２５がそれぞれ配設されている。各吸引部２４，２５は、板状物Ｗに直接当接する搬送パッドであり、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続され、当接した板状物Ｗを吸引することで保持するものである。つまり、各吸引部２４，２５は、保持部２の板状物Ｗが当接する面であり、少なくとも板状物Ｗと当接する表面が耐加水分解性を有する物質で形成されている。ここで、板状物Ｗと当接する面とは、保持部２により板状物Ｗを吸引保持した際に、板状物Ｗと直接当接する部分をいう。また、耐加水分解性を有する物質とは、上記水酸化物イオンによるアルカリアタックにより加水分解を起こした結果、カルボキシル基を含む物質になりにくい、あるいはまったくならない物質をいう。耐加水分解性を有する物質とは、例えば、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＢ）、ポリテトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアセタール（ＰＯＭ）のうち少なくとも１種類から構成される物質である。 The holding unit 2 is in contact with the plate-like object W before and after grinding, and sucks and holds the plate-like object W in contact therewith. The holding part 2 is formed in a flat plate shape and is made of stainless steel or the like which is a substance that does not cause hydrolysis at room temperature. The holding part 2 is formed in a U shape in which the first support part 22 and the second support part 23 protrude from the base part 21 in the same direction. Each support part 22, 23 is provided with a first suction part 24 and a second suction part 25 on the side facing the plate-like object W, respectively. Each suction part 24, 25 is a transport pad that directly contacts the plate-like object W, and is connected to a vacuum suction source (not shown) via a vacuum suction path (not shown), and sucks the contacted plate-like object W. It is to hold. That is, each suction part 24, 25 is a surface on which the plate-like object W of the holding part 2 comes into contact, and at least the surface in contact with the plate-like object W is formed of a substance having hydrolysis resistance. Here, the surface in contact with the plate-like object W refers to a portion that directly contacts the plate-like object W when the plate-like object W is sucked and held by the holding unit 2. Moreover, the substance having hydrolysis resistance refers to a substance that hardly or does not become a substance containing a carboxyl group as a result of hydrolysis caused by the alkali attack by the hydroxide ion. Examples of the substance having hydrolysis resistance include polybutylene terephthalate (PBT), polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PB), polytetrafluoroethylene (PTFE), polyether ether ketone (PEEK), and polyacetal (POM). It is a substance comprised from at least 1 type.

駆動部３は、保持部２を移動、本実施形態では、カセット１１１および中心合わせテーブル１２０の間と、洗浄手段１８０およびカセット１１２の間を移動させるものである。駆動部３は、第１アーム３１と、第２アーム３２と、保持部旋回手段３３と、第１アーム旋回手段３４と、第２アーム旋回手段３５と、鉛直方向移動手段３６とを含んで構成されている。 The drive unit 3 moves the holding unit 2. In the present embodiment, the drive unit 3 moves between the cassette 111 and the centering table 120 and between the cleaning unit 180 and the cassette 112. The drive unit 3 includes a first arm 31, a second arm 32, a holding unit turning unit 33, a first arm turning unit 34, a second arm turning unit 35, and a vertical direction moving unit 36. Has been.

第１アーム３１は、保持部２との間に保持部旋回手段３３が連結され、第２アーム３２との間に第１アーム旋回手段３４が連結されている。第２アーム３２は、第１アーム３１との間に上記第１アーム旋回手段３４が連結され、鉛直方向移動手段３６との間に第２アーム旋回手段３５が連結されている。保持部旋回手段３３は、図示しない旋回駆動源が発生する回転力により保持部２を第１アーム３１に対して水平に旋回させるものである。第１アーム旋回手段３４は、図示しない旋回駆動源が発生する回転力により第１アーム３１を第２アーム３２に対して水平に旋回させるものである。第２アーム旋回手段３５は、図示しない旋回駆動源が発生する回転力により第２アーム３１を鉛直方向移動手段３６に対して水平に旋回させるものである。鉛直方向移動手段３６は、図示しない鉛直方向移動駆動源が発生する駆動力により保持部２を装置本体１０１に対して鉛直方向に移動、すなわち上下動させるものである。つまり、駆動部３は、保持部２を水平方向に旋回動作させるとともに、鉛直方向に上下動作させることで、カセット１１１，１１２の板状物Ｗを収納している収納箇所に移動することができ、中心合わせテーブル１２０および洗浄手段１８０のスピンナテーブル１８１に移動することができる。 The first arm 31 is connected to the holding part 2 with the holding part turning means 33, and the second arm 32 is connected to the first arm turning means 34. The second arm 32 is connected with the first arm turning means 34 between the first arm 31 and the second arm turning means 35 with the vertical movement means 36. The holding part turning means 33 turns the holding part 2 horizontally with respect to the first arm 31 by a rotational force generated by a turning drive source (not shown). The first arm turning means 34 turns the first arm 31 horizontally with respect to the second arm 32 by a rotational force generated by a turning drive source (not shown). The second arm turning means 35 turns the second arm 31 horizontally with respect to the vertical direction moving means 36 by a rotational force generated by a turning drive source (not shown). The vertical direction moving means 36 moves the holding unit 2 in the vertical direction with respect to the apparatus main body 101 by a driving force generated by a vertical direction moving drive source (not shown), that is, moves up and down. That is, the drive unit 3 can move to the storage location in which the plate-like objects W of the cassettes 111 and 112 are stored by rotating the holding unit 2 in the horizontal direction and moving it up and down in the vertical direction. The centering table 120 and the spinner table 181 of the cleaning means 180 can be moved.

板状物検出センサ４，５は、保持部２の板状物Ｗに当接する面側に配設され、板状物Ｗの存在を検出するものである。板状物検出センサ４，５は、各吸引部２４，２５の板状物Ｗと対向する側にそれぞれ配設されており、例えば静電容量センサや限定反射式センサなど、板状物Ｗに直接当接することを条件に板状物Ｗが保持部２に当接していることを検出するものである。つまり、板状物検出センサ４，５は、板状物Ｗと当接する面であり、少なくとも板状物Ｗと当接する表面が耐加水分解性を有する物質で形成されている。 The plate-like object detection sensors 4 and 5 are disposed on the surface side of the holding unit 2 that contacts the plate-like object W, and detect the presence of the plate-like object W. The plate-like object detection sensors 4 and 5 are respectively disposed on the sides of the suction portions 24 and 25 facing the plate-like object W. It is detected that the plate-like object W is in contact with the holding portion 2 on the condition that it is in direct contact. That is, the plate-like object detection sensors 4 and 5 are surfaces that come into contact with the plate-like object W, and at least the surface that comes into contact with the plate-like object W is formed of a substance having hydrolysis resistance.

次に、本実施形態に係る搬送機構１を用いた研削装置１００の加工動作について説明する。まず、オペレータが加工内容情報を登録し、研削加工の開始指示があった場合に、研削加工の動作を開始する。研削加工において、搬送機構１は、カセット１１１に収納されている研削前の板状物Ｗに対して保持部２を鉛直方向において対向するまで移動し、保持部２に板状物Ｗを当接させ、板状物検出センサ４，５により板状物Ｗが保持部２に当接したと検出すると、板状物Ｗと当接する各吸引部２４，２５により板状物Ｗを保持部２に吸引保持する。次に、搬送機構１は、中心合わせテーブル１２０まで吸引保持した板状物Ｗを搬送し、板状物Ｗの保持を解除して中心合わせテーブル１２０に板状物Ｗを載置する。次に、中心合わせテーブル１２０において板状物Ｗの中心の位置合わせが行われ、第１搬送手段１９１により搬入位置に位置するターンテーブル１３０のチャックテーブル１３１〜１３４に板状物Ｗが搬送され、搬送されたチャックテーブル１３１〜１３４により保持される。次に、ターンテーブル１３０が所定角度回転することで、板状物Ｗが研削手段１４０にまで搬送され、研削手段１４０により研削水が供給されながら粗研削が行われると、ターンテーブル１３０が再度所定角度回転し、粗研削が行われた板状物Ｗが研削手段１５０にまで搬送され、研削手段１５０により研削水が供給されながら仕上げ研削が行われる。このとき、研削後の板状物Ｗには研削液が付着した状態となる。次に、ターンテーブル１３０が再度所定角度回転することで、仕上げ研削が行われた板状物Ｗがターンテーブル１３０における搬出位置まで搬送され、第２搬送手段１９２により洗浄手段１８０に搬送され、スピンナテーブル１８１に載置され、洗浄手段１８０により洗浄液が供給されることで洗浄が行われる。このとき、洗浄後の板状物Ｗには洗浄液が付着した状態となる。次に、搬送機構１は、研削後の板状物Ｗに対して保持部２を鉛直方向において対向するまで移動させ、保持部２に板状物Ｗを当接させ、板状物検出センサ４，５により板状物Ｗが保持部２に当接したと検出すると、板状物Ｗと当接する各吸引部２４，２５により板状物Ｗを保持部２に吸引保持する。次に、搬送機構１は、カセット１１２まで吸引保持した板状物Ｗを搬送し、カセット１１２の空いている収納箇所に板状物Ｗを挿入し、板状物Ｗの保持を解除して板状物Ｗをカセット１１２に搬入する。 Next, the processing operation of the grinding apparatus 100 using the transport mechanism 1 according to the present embodiment will be described. First, when the operator registers the machining content information and receives an instruction to start grinding, the grinding operation is started. In the grinding process, the transport mechanism 1 moves the holding unit 2 until it opposes the plate-like object W before grinding stored in the cassette 111 in the vertical direction, and the plate-like object W comes into contact with the holding unit 2. When the plate-like object detection sensors 4 and 5 detect that the plate-like object W has come into contact with the holding part 2, the plate-like object W is brought into the holding part 2 by the suction parts 24 and 25 that come into contact with the plate-like object W. Hold by suction. Next, the transport mechanism 1 transports the plate-like object W sucked and held to the centering table 120, releases the holding of the plate-like object W, and places the plate-like object W on the centering table 120. Next, the center of the plate-like object W is aligned on the centering table 120, and the plate-like object W is conveyed to the chuck tables 131 to 134 of the turntable 130 located at the loading position by the first conveying means 191. It is held by the conveyed chuck tables 131 to 134. Next, when the turntable 130 rotates by a predetermined angle, the plate-like object W is conveyed to the grinding means 140, and when the rough grinding is performed while the grinding water is supplied by the grinding means 140, the turntable 130 is again set to the predetermined value. The plate-like object W rotated by an angle and subjected to rough grinding is conveyed to the grinding means 150, and finish grinding is performed while grinding water is supplied by the grinding means 150. At this time, the grinding liquid is attached to the plate-like object W after grinding. Next, when the turntable 130 rotates again by a predetermined angle, the plate-like object W that has undergone finish grinding is transported to the unloading position on the turntable 130, transported to the cleaning device 180 by the second transporting device 192, and spinner Cleaning is performed by placing the cleaning liquid on the table 181 and supplying the cleaning liquid by the cleaning means 180. At this time, the cleaning liquid adheres to the plate-like object W after cleaning. Next, the transport mechanism 1 moves the holding unit 2 in the vertical direction with respect to the plate-like object W after grinding to bring the plate-like object W into contact with the holding unit 2, thereby detecting the plate-like object detection sensor 4. , 5, the plate-like object W is sucked and held in the holding part 2 by the suction parts 24, 25 coming into contact with the plate-like object W. Next, the transport mechanism 1 transports the plate-like object W sucked and held to the cassette 112, inserts the plate-like object W into an empty storage location of the cassette 112, releases the holding of the plate-like object W, and releases the plate The article W is carried into the cassette 112.

上記研削加工動作において、保持部２の板状物と当接する面、本実施形態では、各吸引部２４，２５および板状物検出センサ４，５の板状物Ｗと当接する表面は、板状物Ｗは研削液、洗浄液などの加工水に付着したあるいは付着していた板状物Ｗと当接することで、水環境下となる。ここで、板状物Ｗがニオブ酸リチウムで形成され、上記板状物Ｗと当接する面が耐加水分解性を有さない物質、例えばポリイミド（ＰＩ）で形成されている場合に生じる問題点について説明する。なお、耐加水分解性を有さない物質には、ポリイミド（ＰＩ）の他に、ポリアミド（ＰＡ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）などがある。 In the grinding operation described above, the surface of the holding unit 2 that comes into contact with the plate-like object, in this embodiment, the surface that comes into contact with the plate-like object W of each of the suction units 24 and 25 and the plate-like object detection sensors 4 and 5 The shaped object W comes into a water environment by coming into contact with the plate-like object W adhered or adhered to the processing water such as grinding liquid or cleaning liquid. Here, the problem that occurs when the plate-like object W is formed of lithium niobate and the surface in contact with the plate-like object W is formed of a substance having no hydrolysis resistance, for example, polyimide (PI). Will be described. In addition, as a substance which does not have hydrolysis resistance, there are polyamide (PA), polyetherimide (PEI) and the like in addition to polyimide (PI).

図３に示すように、板状物Ｗを形成するニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）は、常温の水（Ｈ_２Ｏ）環境下で、水素イオン（Ｈ^＋）とリチウムイオン（Ｌｉ^＋）とのイオン交換により、水酸化リチウムと（ＬｉＯＨ）と水酸化ニオブ（ＨＮｂＯ_３）となる。水酸化リチウム（ＬｉＯＨ）は、イオン化合物であり電解質であることから、常温の水（Ｈ_２Ｏ）環境下で、リチウムイオン（Ｌｉ^＋）および水酸化物イオン（ＯＨ⁻）の解離が進む。つまり、板状物Ｗの表面には、水酸化物イオンが存在することとなり、板状物Ｗと保持部２が当接することで、板状物Ｗと当接する面を形成するポリイミド（ＰＩ）のイミド基に水酸化物イオン（ＯＨ⁻）がアルカリアタックし、イミド環の開環が進む、すなわち加水分解が生じ、イミノ基（ＮＨ）およびカルボキシル基（ＣＯＯＨ）が生成される。ここで、カルボキシル基（ＣＯＯＨ）を有する物質は、接着性を有しているため、その接着作用から板状物Ｗが保持部２に接着することがあり、例えば、搬送機構１により研削後の板状物Ｗをカセット１１２に搬入する搬入動作を５００枚程度繰り返し行うと、板状物Ｗが保持部２に接着してしまい、板状物Ｗの保持を解除してもカセット１１２に板状物Ｗを収納することができないという問題が生じていた。なお、板状物Ｗが銅（Ｃｕ）で形成されている場合は、常温の水（Ｈ_２Ｏ）環境下で、イオン交換により、水酸化銅と（Ｃｕ（ＯＨ）_２）と水素（Ｈ_２）となる。水酸化銅（Ｃｕ（ＯＨ）_２）は、イオン化合物であり電解質であることから、常温の水（Ｈ_２Ｏ）環境下で、銅イオン（Ｃｕ_２ ^＋）および水酸化物イオン（ＯＨ⁻）の解離が進むこととなる。 As shown in FIG. 3, lithium niobate (LiNbO ₃ ) that forms the plate-like object W is a mixture of hydrogen ions (H ⁺ ) and lithium ions (Li ⁺ ) in a normal temperature water (H ₂ O) environment. By ion exchange, lithium hydroxide, (LiOH), and niobium hydroxide (HNbO ₃ ) are obtained. Since lithium hydroxide (LiOH) is an ionic compound and an electrolyte, dissociation of lithium ions (Li ⁺ ) and hydroxide ions (OH ⁻ ) proceeds in a normal temperature water (H ₂ O) environment. In other words, hydroxide ions are present on the surface of the plate-like object W, and the polyimide (PI) that forms a surface that comes into contact with the plate-like object W when the plate-like object W and the holding portion 2 abut. Hydroxide ion (OH ⁻ ) undergoes an alkali attack on the imide group, and the ring opening of the imide ring proceeds, that is, hydrolysis occurs, and an imino group (NH) and a carboxyl group (COOH) are generated. Here, since the substance having a carboxyl group (COOH) has adhesiveness, the plate-like object W may adhere to the holding part 2 due to its adhesive action. If the carrying-in operation of carrying the plate-like object W into the cassette 112 is repeated about 500 sheets, the plate-like object W adheres to the holding unit 2, and even if the holding of the plate-like object W is released, There was a problem that the object W could not be stored. In addition, when the plate-like object W is formed with copper (Cu), copper hydroxide, (Cu (OH) ₂ ), and hydrogen (H) are obtained by ion exchange in a normal temperature water (H ₂ O) environment. ₂ ). Since copper hydroxide (Cu (OH) ₂ ) is an ionic compound and an electrolyte, copper ion (Cu ₂ ⁺ ) and hydroxide ion (OH ⁻ ) in a normal temperature water (H ₂ O) environment. The dissociation proceeds.

しかしながら、本実施形態に係る搬送機構１は、板状物Ｗと当接する面である各吸引部２４，２５および板状物検出センサ４，５の板状物Ｗと当接する表面は、耐加水分解性を有する物質で形成されているため、水酸化物イオン（ＯＨ⁻）のアルカリアタックにより加水分解を生じることはないので、イミノ基（ＮＨ）およびカルボキシル基（ＣＯＯＨ）が生成されることを抑制することができる。従って、搬送機構１による研削後の板状物Ｗの搬送動作を繰り返し行っても、板状物Ｗと保持部２とが接着することを抑制することができる。これにより、板状物Ｗと保持部２とが接着することで、搬送動作による板状物Ｗの破損を抑制することができる。また、各吸引部２４，２５である搬送パッドは消耗品であり、寿命を考慮した定期交換前に、板状物Ｗと保持部２とが接着すること交換することを抑制することができ、ランニングコストを低減することができる。 However, in the transport mechanism 1 according to the present embodiment, the surfaces of the suction units 24 and 25 that are in contact with the plate-like object W and the plate-like objects W of the plate-like object detection sensors 4 and 5 are not resistant to water. Since it is formed of a decomposable substance, hydrolysis does not occur due to alkali attack of hydroxide ions (OH ⁻ ), so that imino groups (NH) and carboxyl groups (COOH) are generated. Can be suppressed. Therefore, even if the conveyance operation of the plate-like object W after grinding by the conveyance mechanism 1 is repeatedly performed, the adhesion between the plate-like object W and the holding unit 2 can be suppressed. Thereby, the plate-shaped object W and the holding | maintenance part 2 adhere | attach, and the damage of the plate-shaped object W by conveyance operation | movement can be suppressed. Moreover, the conveyance pad which is each suction | inhalation part 24 and 25 is a consumable part, and it can suppress exchanging that the plate-shaped object W and the holding | maintenance part 2 adhere | attach before the periodical replacement | exchange which considered the lifetime, Running cost can be reduced.

なお、上記実施形態では、保持部２の板状物Ｗと当接するすべての面が耐加水分解性を有する物質で形成されているが、これに限定されるものではなく、一部が耐加水分解性を有する物質で形成されていてもよい。例えば、各吸引部２４，２５あるいは板状物検出センサ４，５のいずれか一方が耐加水分解性を有する物質で形成されていてもよい。また、上記実施形態では、保持部２による板状物Ｗの保持として各吸引部２４，２５による吸引保持としたが、これに限定されるものではなく、例えば機械的に把持することで、板状物Ｗを保持してもよい。この場合、把持の際に、板状物Ｗと当接する部分にパッドが用いられる場合は、このパッドを耐加水分解性を有する物質で形成することとなる。また、上記実施形態では、洗浄手段１８０を有する研削装置１００に搬送機構１を用いる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、研削手段のみの研削装置、洗浄手段のみの洗浄装置、切削水を供給しながら切削ブレードにより板状物Ｗを切削する切削装置に用いてもよい。つまり、加工水を供給しながら加工処理を行う加工装置であれば、いずれの装置にも本実施形態に係る搬送機構を用いることで、上記効果を奏することができる。 In the above-described embodiment, all surfaces of the holding portion 2 that come into contact with the plate-like object W are formed of a substance having hydrolysis resistance. However, the present invention is not limited to this, and part of the surface is resistant to hydrolysis. It may be formed of a degradable substance. For example, any one of the suction portions 24 and 25 or the plate-like object detection sensors 4 and 5 may be formed of a substance having hydrolysis resistance. Moreover, in the said embodiment, although it was set as the suction holding | maintenance by each suction part 24,25 as holding | maintenance of the plate-shaped object W by the holding | maintenance part 2, it is not limited to this, For example, a board | plate is obtained by mechanically holding. The article W may be held. In this case, when a pad is used in a portion that comes into contact with the plate-like object W during gripping, the pad is formed of a substance having hydrolysis resistance. Moreover, although the case where the conveyance mechanism 1 is used for the grinding apparatus 100 having the cleaning unit 180 has been described in the above-described embodiment, the present invention is not limited to this, and the grinding device only includes the grinding unit, the cleaning unit includes only the cleaning unit, You may use for the cutting apparatus which cuts the plate-shaped object W with a cutting blade, supplying cutting water. That is, as long as the processing device performs processing while supplying processing water, the above-described effect can be achieved by using the transport mechanism according to the present embodiment in any device.

１搬送機構
２保持部
２４第１吸引部
２５第２吸引部
３駆動部
４，５板状物検出センサ
１００研削装置
１１１，１１２カセット
１２０中心合わせテーブル
１３０ターンテーブル
１４０，１５０研削手段
１６０，１７０研削ホイール移動手段
１８０洗浄手段
１９１第１搬送手段
１９２第２搬送手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Conveyance mechanism 2 Holding part 24 1st suction part 25 2nd suction part 3 Drive part 4,5 Plate-shaped object detection sensor 100 Grinding device 111,112 Cassette 120 Centering table 130 Turntable 140,150 Grinding means 160,170 Grinding Wheel moving means 180 Cleaning means 191 First conveying means 192 Second conveying means

Claims

The plate-like material is sucked and held in contact with the plate-like material adhering to the processed water after being processed while supplying processing water to the plate-like material causing hydrolysis in a room temperature state. A holding unit that moves, and a drive unit that moves the holding unit,
The holding unit includes a plate-shaped object detection sensor that is disposed on a surface that contacts the plate-shaped object and detects the presence of the plate-shaped object,
The surface in contact with the plate attached to the processed water is formed of a substance having at least hydrolysis resistance ,
The substance having hydrolysis resistance is completely different from a substance containing a carboxyl group or a substance containing a carboxyl group as a result of hydrolysis caused by an alkaline attack by hydroxide ions generated by hydrolysis of the plate-like material. A transport mechanism characterized in that it is a non-contaminated substance .