JP5989491B2 - 水晶振動子 - Google Patents

Description

本発明は、ＩＴカットの水晶片を用いた水晶振動子に係り、特にエージング特性を向上させ、対環境特性のバラツキを低減することができる水晶振動子に関する。

［先行技術の説明］
ＩＴカットの水晶片を用いた水晶振動子は、恒温槽型の水晶発振器（ＯＣＸＯ：Oven Controlled Crystal Oscillator）等に用いられている。
ＩＴカットの水晶振動子は、結晶のＹ軸に直交する面をＸ軸を中心にして反時計回りに約３４°回転し、更にこの回転した位置からＺ軸を中心にして約１９°回転した面から切り出した２回回転の水晶片に、電極を形成したものである。

［面内回転角度］
結晶軸のＺ軸、Ｘ軸からそれぞれ反時計回りに回転させる２回回転で生じたＺ軸をＺ″軸とする。
丸型の水晶片を用いた水晶振動子では、通常、水晶片を外周上の２点で支持するが、当該２点を結ぶ直線（直径）と、Ｚ″軸との角度を面内回転角度とする。支持点となる２点は、電極が形成された位置である。
また、２回回転カットの水晶振動子においては、Ｚ″軸からの面内回転角度Ψの大きさが、振動特性に影響を与えることがある。

［従来のＩＴカットの水晶振動子におけるエージング特性：図８］
従来のＩＴカットの水晶振動子におけるエージング特性について図８を用いて説明する。図８は、従来のＩＴカットの水晶振動子のエージング特性の例を示す説明図である。
図８に示すように、横軸は電源投入からの日数、縦軸は周波数変化の割合（Δｆ／ｆ）を示しており、従来のＩＴカットの水晶振動子では、電源投入後から約１０日の間に大きな周波数変化があることが認められる。
これは、水晶振動子の製造時にかけられた応力が、振動開始後、徐々に開放されることによるものと考えられる。
尚、図８では、Ｚ″軸からの面内回転角度Ψが０°の場合を示している。

［水晶片の回転ずれ］
また、従来の水晶振動子では、水晶片を支持固定する際に水晶片が回転して、水晶片の角度がずれてしまい、ヒートサイクルや衝撃といった環境に対する耐性（耐環境特性）にバラツキを生じることがあった。

［環境試験の例：図９、図１０］
ここで、２回回転の水晶振動子であるＳＣカットの水晶振動子における面内回転角度と周波数変化量との関係について図９、図１０を用いて説明する。図９は、ヒートサイクル試験の結果を示す説明図であり、図１０は、落下試験の結果を示す説明図である。
［ヒートサイクル試験：図９］
ヒートサイクル試験では、面内回転角度を０°〜９０°の範囲で変えて、−５５℃〜＋１２５℃の各温度において３０分保持を１００サイクル実施した場合の周波数変化量を測定した。図９にその結果を示しており、試験した６サンプルについて、周波数変化量の最大、最低、平均を示している。
図９に示すように、面内回転角度Ψによって周波数変化量は異なり、４５°の場合に＋方向の周波数変化量が最も大きくなっている。

［落下試験：図１０］
落下試験では、面内回転角度を０°〜９０°の範囲で変えて、硬質木板上を１００ｃｍの高さから自由落下させた場合の周波数変化量を測定した。自然落下は各サンプルについて３回行った。
図１０にその結果を示しており、試験した６サンプルについて、周波数変化量の最大、最低、平均を示している。
図１０に示すように、面内回転角度Ψが４５°の場合に周波数変化量が最も大きくなっている。

［関連技術］
尚、水晶振動子に関する技術としては、特開２００４−０９６５６８号公報「ＩＴカットの水晶振動子」（日本電波工業株式会社、特許文献１）、特開２００８−０９９２３０号公報「ＳＣカット水晶振動子及び高安定水晶発振器」（エプソントヨコム株式会社、特許文献２）がある。

特許文献１には、ＩＴカットの水晶振動子において、水晶片の板面の変位が少ない部分として、Ｚ軸からの回転角度が１８°±１８°と１９８°±１８°の部分、及び１０８°±１８°と２８８°±１８°の部分の互いに対向する少なくとも１組の辺縁部分を保持する構成が記載されている。

また、特許文献２には、ＳＣカットの水晶振動子において、Ｚ軸、Ｘ軸からそれぞれ半時計周りに回転させることで生じたＺＺ′軸からの回転角度が８０°〜９０°、１６５°〜１８０°、１４０°〜１５０°、０°〜５°のうち、２点を支持した構成が記載されている。

特開２００４−０９６５６８号公報 特開２００８−０９９２３０号公報

しかしながら、従来のＩＴカットの水晶振動子では、電源投入後の周波数変化が大きく、エージング特性がばらついてしまうという問題点があった。
また、従来のＩＴカットの水晶振動子では、水晶片の回転ずれによって耐環境特性がばらついてしまうという問題点があった。

本発明は、上記実状に鑑みて為されたもので、電源投入後の周波数変化を抑え、エージング特性を向上させ、耐環境特性のバラツキを低減することができるＩＴカットの水晶振動子を提供することを目的とする。

上記従来例の問題点を解決するための本発明は、ＩＴカットの丸型水晶片を備えた水晶振動子であって、水晶片は、外周部の２点で支持されており、２つの点を結ぶ直線と２回回転のＺ″軸とがなす面内回転角度が、周波数変化量がゼロとなる角度を含む、−１２°〜＋４°の範囲、又は＋６０°〜＋８０°の範囲のいずれかであることを特徴としている。

また、本発明は、上記水晶振動子において、水晶片は、支持される２点の位置に切り欠き部を備え、水晶片を支持するサポータが、切り欠き部に係合するスリットを備え、切り欠き部は、支持される点から中心に向かって形成された水平部と、水平部の中心寄りの端部から垂直下向きに形成された垂直部とを備え、切り欠き部の水平部がサポータのスリットに係合して、水晶片が支持されていることを特徴としている。

また、本発明は、ＩＴカットの丸型水晶片を備えた水晶振動子であって、水晶片は、外周部の２点で支持されており、２つの点を結ぶ直線と２回回転のＺ″軸とがなす面内回転角度を、周波数変化量がゼロとなる角度を含む特定の範囲内とし、水晶片は、支持される２点の位置に切り欠き部を備え、水晶片を支持するサポータが、切り欠き部に係合するスリットを備え、切り欠き部は、支持される点から中心に向かって形成された水平部と、水平部の中心寄りの端部から垂直下向きに形成された垂直部とを備え、切り欠き部の水平部がサポータのスリットに係合して、水晶片が支持されていることを特徴としている。

また、本発明は、上記水晶振動子において、サポータが、サポータ本体から水晶片の中心方向とは反対方向に突出する第１の突出部と、第１の突出部から更に上側に突出する第２の突出部と、サポータ本体から第１の突出部及び第２の突出部に亘って連続して形成されたスリットとを備え、水晶片の切り欠き部の水平部が、サポータ本体に形成されたスリットの端部に係合すると共に、水晶片の切り欠き部より上側の外周部が、第２の突出部に形成されたスリットに収納されて、水晶片が支持されていることを特徴としている。

本発明によれば、ＩＴカットの丸型水晶片を備えた水晶振動子であって、水晶片は、外周部の２点で支持されており、当該２つの点を結ぶ直線と２回回転のＺ″軸とがなす面内回転角度を、周波数変化量がゼロとなる角度が、周波数変化量がゼロとなる角度を含む、−１２°〜＋４°の範囲、又は＋６０°〜＋８０°の範囲のいずれかである水晶振動子としているので、周波数経時変化量を極小にして電源投入後の周波数変化を抑え、エージング特性を向上させることができる効果がある。

また、本発明によれば、水晶片は、支持される２点の位置に切り欠き部を備え、水晶片を支持するサポータが、切り欠き部に係合するスリットを備え、切り欠き部は、支持される点から中心に向かって形成された水平部と、水平部の中心寄りの端部から垂直下向きに形成された垂直部とを備え、切り欠き部の水平部がサポータのスリットに係合して、水晶片が支持されている上記水晶振動子としているので、水晶片が回転して最適な面内回転角度からずれてしまうのを防ぐことができ、水晶片を最適な位置で支持した状態を保持して、良好なエージング特性を維持すると共に、耐環境特性のバラツキを低減することができる効果がある。

また、本発明によれば、サポータが、サポータ本体から水晶片の中心方向とは反対方向に突出する第１の突出部と、第１の突出部から更に上側に突出する第２の突出部と、サポータ本体から第１の突出部及び第２の突出部に亘って連続して形成されたスリットとを備え、水晶片の切り欠き部の水平部が、サポータ本体に形成されたスリットの端部に係合すると共に、水晶片の切り欠き部より上側の外周部が、第２の突出部に形成されたスリットに収納されて、水晶片が支持されている上記水晶振動子としているので、水晶片の切り欠き部の水平部と、切り欠き部の上側の外周部の２点でサポータに固定することができ、水晶片を確実に保持してエージング特性を更に安定させ、耐環境特性のバラツキを低減することができる効果がある。

本発明の第１の実施の形態に係る水晶振動子の構成を示す模式説明図である。 ＩＴカット水晶振動子における面内回転角度Ψを示す説明図である。 ＩＴカットの水晶振動子における水晶片の面内回転角度Ψと周波数経時変化との関係を示すグラフである。 第１の水晶振動子における水晶片の支持位置を示す模式説明図である。 第２の水晶振動子における水晶片の形状を示す模式説明図である。 第２の水晶振動子の構成を示す模式説明図であり、（ａ）は正面説明図、（ｂ）は側面説明図、（ｃ）はサポータの先端部分の拡大説明図である。 第２の水晶振動子の変形例の構成を示す説明図であり、（ａ）は正面説明図、（ｂ）は側面説明図、（ｃ）はサポータの先端部分の拡大説明図である。 従来のＩＴカットの水晶振動子のエージング特性の例を示す説明図である。 ヒートサイクル試験の結果を示す説明図である。 落下試験の結果を示す説明図である。

本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
［実施の形態の概要］
本発明の実施の形態に係る水晶振動子は、ＩＴカットの丸型水晶片を用い、水晶片が、外周部の２点で支持され、当該２点を結ぶ直線の２回回転のＺ″軸からの面内回転角度Ψを、−１２°〜＋４°、＋６０°〜＋８０°とする構成としており、電源投入後の周波数変化を抑えることができ、エージング特性を向上させることができるものである。

また、本発明の実施の形態に係る水晶振動子は、上記水晶振動子において、水晶片が、サポータによって支持される２箇所の辺縁部の下側に、Ｌ字型の切り欠きを備えると共に、サポータが、水晶片の当該切り欠き部に係合するスリットを備えた形状であり、水晶片の角度をずれないように保持することができ、良好なエージング特性を維持することができるものである。

［第１の実施の形態に係る水晶振動子の構成：図１］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る水晶振動子の構成を示す模式説明図である。
図１に示すように、第１の実施の形態に係る水晶振動子（第１の水晶振動子）は、水晶片１と、電極２と、サポータ３と、導電性接着剤４と、金属ベース５と、導通端子６とを備えている。

水晶片１は、２回回転カットのＩＴカットの丸型水晶ブランクである。水晶片１は、直径の両端付近の外周部の２点で２本のサポータ３によって金属ベース５上に支持されている。
電極２は、水晶片１の表面及び裏面に設けられており、水晶片１の中心部に設けられた励振電極と、励振電極から外側に引き出された引出電極とを備えている。引出電極は、水晶片１の表面及び裏面において、互いに対向する位置（中心に対して略対称となる位置）に引き出されている。

サポータ３は、水晶片１を金属ベース５上に支持すると共に、電極２と電気的に接続する。サポータ３は、水晶片１の引出電極が形成されている直径の両端となる辺縁部を支持するよう、当該辺縁部付近で内側に「く」の字型に折れ曲がり、曲がった部分に当該辺縁部を挟む（収納する）スリットを備えている。

導電性接着剤４は、水晶片１をサポータ３に固定すると共に、電極２とサポータ３とを電気的に接続する。
導通端子６は、金属ベース５の主面に垂直に設けられ、サポータ３と電気的に接続する共に、金属ベース５の裏面側で外部に導通する。

［面内回転角度：図２］
図２は、ＩＴカット水晶振動子における面内回転角度Ψを示す説明図である。
図２に示すように、結晶軸のＸ″−Ｚ″平面内において、Ｙ軸を中心とする水晶片１がサポータ３によって支持されている２点を結ぶ直径と、Ｚ″軸とがなす角度Ψを面内回転角度と称する。
そして、第１の水晶振動子の特徴として、水晶片の面内回転角度Ψを、周波数経時変化が小さくなる特定の角度とするようにサポータ３で支持している。

［面内回転角度と周波数経時変化の関係：図３］
次に、ＩＴカットの水晶振動子における水晶片の面内回転角度Ψと周波数経時変化との関係について図３を用いて説明する。図３は、ＩＴカットの水晶振動子における水晶片の面内回転角度Ψと周波数経時変化との関係を示すグラフである。
図３では、面内回転角度Ψが−９０°〜＋９０°となる範囲で、水晶片１の支持位置を変えて、電源投入後１０日後における周波数経時変化を測定した例を示している。

図３に示すように、水晶片の面内回転角度Ψによって周波数経時変化の量は異なっており、周波数変化量がほとんどない場合もある。
図３の例では、面内回転角度Ψが−４°付近、＋７０°付近において周波数変化量が極小となっている。
第１の水晶振動子は、このことを利用して、周波数経時変化をできるだけ小さくするよう、特定の面内回転角度で水晶片を支持するようにしたものである。

［第１の水晶振動子における水晶片の支持位置：図４］
次に、第１の水晶振動子における水晶片の支持位置について図４を用いて説明する。図４は、第１の水晶振動子における水晶片の支持位置を示す模式説明図である。
図４に示すように、第１の水晶振動子では、ＩＴカットの丸型水晶片を支持する２点の位置を、Ａ，Ｂの２パターンとしている。

図４に示すように、第１の水晶振動子では、Ｚ″軸からの回転角度が−１２°〜＋４°（−４°±８°）の領域（Ａ領域）及びそれに対向する＋１６８°〜＋１８４°（１７６°±８°）の領域（Ａ′領域）で支持するＡパターンと、＋６０°〜＋８０°（７０°±１０°）の領域（Ｂ領域）及びそれに対向する＋２４０°〜＋２６０°（＋２５０°±１０°）の領域（Ｂ′領域）で支持するＢパターンの２種類の支持位置で水晶片を支持している。
すなわち、第１の水晶振動子では、これらの２パターンに対応する領域に、引出電極を形成している。

これらの２つのパターンは、図３に示したように、各領域内に、いずれも電源投入後１０日間での周波数経時変化量がゼロとなる面内回転角度を含んでいる。
つまり、第１の水晶振動子では、周波数経時変化がほとんど発生しない面内回転角度Ψとなるよう、最適な支持位置で水晶振動子を支持するものである。
これにより、第１の水晶振動子では、電源投入後１０日間における周波数経時変化を最小として、エージング特性のバラツキを抑えることができ、良好な振動特性を得ることができるものである。

尚、Ａパターンの領域の角度範囲がＢパターンに比べて狭いのは、図３のグラフの傾きが大きく、周波数経時変化量が０付近となる角度マージンが小さいためである。
Ａパターン、Ｂパターンについて、更に精度を向上させるために、周波数経時変化が０となる点を中心に±５°程度の狭い範囲にしてもよい。また、いずれのパターンでも、中心からの幅は要求されるスペックに応じて適宜設定可能である。

［第１の実施の形態の効果］
本発明の第１の実施の形態に係る水晶振動子によれば、ＩＴカットの丸型水晶片が外周上の対向する２点で支持された水晶振動子で、２点を結ぶ直線の、結晶軸のＺ″軸に対する面内回転角度が、−１２°〜＋４°の範囲と、６０°〜８０°の範囲のいずれかの範囲に含まれる角度となるよう水晶片１が支持されているので、電源投入からの１０日間における周波数経時変化をほとんど無くすことができ、エージング特性のバラツキを低減し、周波数安定度を向上させることができる効果がある。

［第２の実施の形態に係る別の水晶振動子］
次に、本発明の第２の実施の形態に係る水晶振動子について説明する。
本発明の第２の実施の形態に係る別の水晶振動子（第２の水晶振動子）は、上述した第１の水晶振動子について、水晶片が回転して最適な支持位置（最適な面内回転角度）からずれてしまうのを防ぐため、水晶片の形状及びサポータの形状を改良したものであり、周波数安定度を更に向上させるものである。

［第２の水晶振動子における水晶片の形状：図５］
まず、第２の水晶振動子における水晶片の形状について図５を用いて説明する。図５は、第２の水晶振動子における水晶片の形状を示す模式説明図である。
図５に示すように、第２の水晶振動子の水晶片１１は、ＩＴカットの丸型水晶片であり、両面に電極２を備えている。そして、引出電極の両端がサポータで支持される部分となっている。ここで、引出電極の両端の位置は、両端を結ぶ直線とＺ″軸とが為す角度が、上述した最適な面内回転角度Ψとなる領域内であり、周波数経時変化がほとんど発生しない支持位置である。

そして、第２の水晶振動子の特徴として、水晶片１１の、引出電極が形成されると共にサポータによって支持される２箇所の支持部分に、Ｌ字型の切り欠き部７が形成されている。
切り欠き部７は、Ｌ字型の２辺を備え、水晶片１の支持位置から中心に向かう水平部７１と、水平部７１の中心寄りの端部から金属ベース５に垂直に下向きに形成された垂直部７２とを備えている。
２つの切り欠き部７の水平部７１は、第１の水晶振動子で説明したＡ，Ｂ，Ｃのいずれかのパターンに相当する最適な支持位置（領域内）に形成されている。

［第２の水晶振動子の構成：図６］
第２の水晶振動子の構成について図６を用いて説明する。図６は、第２の水晶振動子の構成を示す模式説明図であり、（ａ）は正面説明図、（ｂ）は側面説明図、（ｃ）はサポータの先端部分の拡大説明図である。
図６（ａ）（ｂ）に示すように、第２の水晶振動子の基本的な構成は、図１に示した第１の水晶振動子と同様であり、水晶片１１と、電極２と、サポータ３１と、導電性接着剤４と、金属ベース５と、導通端子６とを備えており、金属ベース５上に２本のサポータ３１によって水晶片１１が搭載されている。
水晶片１１の形状は、図５に示したように、切り欠き部７を備えた形状である。
また、後述するように、サポータ３１の形状が第１の水晶振動子とは異なっている。
他の構成部分については、第１の水晶振動子と同様であるため説明は省略する。

図６（ｃ）に示すように、第２の水晶振動子のサポータ３１は、金属ベース５に垂直に搭載されるサポータ本体３１ａと、サポータ本体３１ａから外側（水晶片１１の中心方向とは反対側）に突出した第１の突出部３２と、第１の突出部３２から更に金属ベース５とは反対側に略垂直に突出した第２の突出部３３とを備えている。
更に、サポータ本体３１ａから第１の突出部３２、第２の突出部３３に亘って連続して形成されたスリット３４が設けられている。

そして、第２の水晶振動子では、サポータ３１に水晶片１１を搭載した場合には、スリット３４のサポータ本体３１ａ側の端部に、水晶片１１の切り欠き部７の水平部７１が係合して（引っ掛かって）、サポータ３１に支持される。

更に、水晶片１１の切り欠き部７より上側の外周の一部が、スリット３４の第２の突出部側に収まって、一部が外側に突出するようになっている。
そして、サポータ３１のスリット３４と水晶片１１とが接する部分が、導電性接着剤４で接着されている。
２本のサポータ３１は、切り欠き部７を備えた水晶片１１が、上述したようにスリット３４に係合し収納されて搭載されるよう、適切な間隔で金属ベース５上に配置されている。

このように、第２の水晶振動子では、水晶片１１の最適な支持位置に形成された２箇所の切り欠き部７が、スリット３４のサポータ本体３１ａ側の端部に係合し、更に水晶片１１の切り欠き部７の上部の外周部が第２の突出部３３に形成されたスリット３４に収納されることにより、搭載後に水晶片１１が回転してしまうのを防ぎ、最適な位置（最適な面内回転角度）で水晶片１１を支持した状態を維持して、良好なエージング特性を保持することができるものである。

それと共に、第２の水晶振動子では、面内回転角度を所定の値に保つことができるので、水晶振動子間の個体差を低減し、ヒートサイクルや衝撃に対する耐性のバラツキを低減することができるものである。

［第２の水晶振動子の変形例：図７］
次に、第２の水晶振動子の変形例について図７を用いて説明する。図７は、第２の水晶振動子の変形例の構成を示す説明図であり、（ａ）は正面説明図、（ｂ）は側面説明図、（ｃ）はサポータの先端部分の拡大説明図である。
第２の水晶振動子の変形例（変形例）では、図５に示した切り欠き部７を備えた水晶片１１を用いる点は第２の水晶振動子と同様であるが、サポータの形状をより簡易な形状としている。
他の構成部分については、第２の水晶振動子と同様である。

図７（ａ）（ｂ）に示すように、変形例では、２本のサポータ３６によって、切り欠き部７を備えた水晶片１１を金属ベース上に垂直に保持している。
そして、図７（ｃ）に示すように、変形例のサポータ３６は、先端部分にスリット３７が設けられている。

変形例では、水晶片１１が搭載された場合に、切り欠き部７の水平部７１がサポータ３６のスリット３７に係合して、支持されるものである。

変形例のサポータ３７は、第２の水晶振動子のサポータ３１に比べると、水晶片１１の切り欠き部７の上側の外周部を収納するスリットがないため、水晶片１１を保持する安定性は若干劣るものの、水晶片１１の回転を防いで最適な面内角度を保持する効果を備え、更にサポータの製造工程を大幅に簡易にでき、量産性に優れているものである。

［第２の実施の形態の効果］
本発明の第２の実施の形態に係る水晶振動子によれば、ＩＴカットの丸型水晶片１１を備えた水晶振動子であり、Ｚ″軸からの面内回転角度が最適な角度となる直径上の両端に水平部７１を有すると共に水平部７１の下側が垂直に削られたＬ字型の切り欠き部７を備え、当該切り欠き部７の水平部７１が、サポータ３１（又は３７）に設けられたスリットに係合することにより、水晶片１１の回転を防ぐことができ、水晶片を最適な面内回転角度で支持した状態を維持して、エージング特性を良好に保ち、ヒートサイクルや衝撃に対する環境耐性のバラツキを低減することができる効果がある。

また、本発明の第２の水晶振動子によれば、サポータ３１の先端部分が２段に折り曲げられて、第１の突出部３２と第２の突出部３３とを備え、サポータ本体３１ａから第１の突出部、第２の突出部３３に亘って連続して形成されたスリット３４が設けられているので、切り欠き部７を備えた水晶片１１が搭載された場合に、切り欠き部７の水平部７１がスリット３４のサポータ本体３１ａ側の端部に係合すると共に、切り欠き部７の上側の外周部がスリット３４の第２の突出部３３側の部分に収納されるため、水晶片１１を一層安定して保持することができ、更に良好な特性としてバラツキを低減できる効果がある。

本発明は、エージング特性を向上させ、対環境特性のバラツキを低減することができるＩＴカットの水晶振動子に適している。

１，１１...水晶片、 ２...電極、 ３，３１，３６...サポータ、 ４...導電性接着剤、 ５...金属ベース、 ６...導通端子、 ７...切り欠き部、 ７１...水平部、 ７２...垂直部、 ３１ａ...サポータ本体、 ３２...第１の突出部、 ３３...第２の突出部、 ３４，３７...スリット

Claims (4)

1. ＩＴカットの丸型水晶片を備えた水晶振動子であって、
   前記水晶片は、外周部の２点で支持されており、
   前記２つの点を結ぶ直線と２回回転のＺ″軸とがなす面内回転角度が、周波数変化量がゼロとなる角度を含む、−１２°〜＋４°の範囲、又は＋６０°〜＋８０°の範囲のいずれかであることを特徴とする水晶振動子。
2. 水晶片は、支持される２点の位置に切り欠き部を備え、
   前記水晶片を支持するサポータが、前記切り欠き部に係合するスリットを備え、
   前記切り欠き部は、前記支持される点から中心に向かって形成された水平部と、前記水平部の中心寄りの端部から垂直下向きに形成された垂直部とを備え、
   前記切り欠き部の水平部が前記サポータのスリットに係合して、前記水晶片が支持されていることを特徴とする請求項１記載の水晶振動子。
3. ＩＴカットの丸型水晶片を備えた水晶振動子であって、
   前記水晶片は、外周部の２点で支持されており、
   前記２つの点を結ぶ直線と２回回転のＺ″軸とがなす面内回転角度を、周波数変化量がゼロとなる角度を含む特定の範囲内とし、
   前記水晶片は、支持される２点の位置に切り欠き部を備え、
   前記水晶片を支持するサポータが、前記切り欠き部に係合するスリットを備え、
   前記切り欠き部は、前記支持される点から中心に向かって形成された水平部と、前記水平部の中心寄りの端部から垂直下向きに形成された垂直部とを備え、
   前記切り欠き部の水平部が前記サポータのスリットに係合して、前記水晶片が支持されていることを特徴とする水晶振動子。
4. サポータが、前記サポータ本体から水晶片の中心方向とは反対方向に突出する第１の突出部と、前記第１の突出部から更に上側に突出する第２の突出部と、前記サポータ本体から前記第１の突出部及び前記第２の突出部に亘って連続して形成されたスリットとを備え、
   前記水晶片の切り欠き部の水平部が、前記サポータ本体に形成されたスリットの端部に係合すると共に、前記水晶片の前記切り欠き部より上側の外周部が、前記第２の突出部に形成されたスリットに収納されて、前記水晶片が支持されていることを特徴とする請求項２又は３記載の水晶振動子。

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