JP5982904B2 - Gas barrier laminate film and method for producing gas barrier laminate film - Google Patents

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本発明は、食品、日用品、医薬品などの包装分野、および電子機器関連部材などの分野において、特に高いガスバリア性が必要とされる場合に、好適に用いられる透明なガスバリア性積層フィルムに関するものである。   The present invention relates to a transparent gas barrier laminate film that is suitably used when high gas barrier properties are required in the fields of packaging of foods, daily necessities, pharmaceuticals, etc., and fields related to electronic devices. .

食品、日用品、医薬品などの包装に用いられる包装材料や電子機器関連部材などに用いられる包装材料は、収容物の変質を抑制して、その機能や性質を包装中においても保持できるようにするため、包装材料を透過する酸素、水蒸気など、収容物を変質させる気体による影響を防止する必要があり、これらの気体を遮断するガスバリア性を備えていることが求められている。   Packaging materials used for packaging of food, daily necessities, pharmaceuticals, etc., and packaging materials used for electronic equipment-related materials, etc., to prevent deterioration of the contents and to retain their functions and properties even during packaging In addition, it is necessary to prevent the influence of gases such as oxygen and water vapor that permeate the packaging material, which alters the contents, and it is required to have gas barrier properties that block these gases.

通常のガスバリア性を有する包装材料としては、比較的ガスバリア性に優れている塩化ビニリデン樹脂フィルムまたは塩化ビニリデン樹脂をコーティングしたフィルムなどがよく用いられてきたが、これらの包装材料は、高度なガスバリア性が要求される包装に用いることはできない。従って高度なガスバリア性が要求される場合には、アルミニウムなどの金属箔をガスバリア層として積層した包装材料を用いざるを得なかった。   As packaging materials having ordinary gas barrier properties, vinylidene chloride resin films or films coated with vinylidene chloride resins that are relatively excellent in gas barrier properties have been often used. However, these packaging materials have high gas barrier properties. Cannot be used for packaging that requires Therefore, when a high gas barrier property is required, a packaging material in which a metal foil such as aluminum is laminated as a gas barrier layer has to be used.

アルミニウムなどの金属箔を積層した包装材料は、温度や湿度の影響が殆どなく、高度なガスバリア性を有している。しかし、こうした包装材料では、それを透視して収容物を確認することができない、使用後に不燃物として廃棄処理しなければならない、収容物の検査に金属探知器が使用できない、などの多くの欠点を有していた。   A packaging material in which a metal foil such as aluminum is laminated has almost no influence of temperature and humidity and has a high gas barrier property. However, these packaging materials have many disadvantages, such as being unable to see the contents through them, having to be disposed of as non-combustible materials after use, and being unable to use metal detectors to inspect the contents. Had.

これらの欠点を克服した包装材料として、特許文献1には、透明なプラスチックフィルムからなる基材層に、透明な酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムなどの無機酸化物の蒸着薄膜層をガスバリア層とし、その上に適宜のガスバリア性被膜層とを積層してなる積層フィルムが開示されている。   As a packaging material that overcomes these drawbacks, Patent Document 1 discloses that a gas barrier layer is formed by depositing a thin film layer of a transparent inorganic oxide such as silicon oxide, aluminum oxide, or magnesium oxide on a base layer made of a transparent plastic film. In addition, a laminated film obtained by laminating an appropriate gas barrier coating layer thereon is disclosed.

また近年、次世代のFPD(フラットパネルディスプレイ)として期待される電子ペーパー、有機ELディスプレイなどの開発が進むなかで、これらFPDのフレキシブル化を達成するため、ガラス基板をプラスチックフィルムに置き換えたいという要求が高まっている。   In recent years, with the development of electronic paper and organic EL displays expected as next-generation FPDs (flat panel displays), there is a demand to replace glass substrates with plastic films in order to achieve flexibility in these FPDs. Is growing.

ガラス基板には環境由来の酸素や水蒸気による内部素子の劣化を抑制するため必要とされるガスバリア性が備わっている。しかし、上述した包装材料用のガスバリアフィルムはそのバリアレベルには達しておらず、プラスチックフィルムが適用され得る電子ペーパー、有機ELディスプレイなどでは、食品包材用バリアフィルムの100倍から1万倍のガスバリア性が必要とも言われている。   The glass substrate has a gas barrier property required to suppress deterioration of internal elements due to oxygen and water vapor derived from the environment. However, the above-described gas barrier film for packaging materials does not reach the barrier level, and in electronic paper, organic EL display, etc. to which a plastic film can be applied, it is 100 to 10,000 times as large as a food packaging barrier film. It is said that gas barrier properties are necessary.

このような高いガスバリア性を有するプラスチックフィルムを実現するために、電子ビーム蒸着や誘導加熱蒸着を用いた反応性蒸着法、スパッタリング法、プラズマ化学蒸着(CVD)法などのドライコーティング法により成膜された無機酸化物薄膜は、高いガスバリア性の発現が期待できるものとして検討されている。   In order to realize such a plastic film having a high gas barrier property, it is formed by a dry coating method such as a reactive vapor deposition method using electron beam vapor deposition or induction heating vapor deposition, a sputtering method, or a plasma chemical vapor deposition (CVD) method. Inorganic oxide thin films have been studied as those that can be expected to exhibit high gas barrier properties.

しかしながら、上記ドライコーティング法を用いたとしても、高いガスバリア性を目指すために緻密な膜を得ようとすると、高温プロセスが必要であったり、緻密であるために膜中の応力が大きくなる傾向がある。そのため、プラスチックフィルムの使用可能な温度範囲では緻密な膜を得ることが困難であったり、プラスチックフィルムと無機酸化物薄膜との熱膨張係数の差が大きいため密着不良やクラックが発生したりする問題が生じ、高いガスバリア性の発現は容易ではない。   However, even if the dry coating method is used, if a dense film is obtained in order to aim at high gas barrier properties, a high-temperature process is required, or the stress in the film tends to increase due to the denseness. is there. For this reason, it is difficult to obtain a dense film within the usable temperature range of the plastic film, or problems such as poor adhesion and cracking due to the large difference in thermal expansion coefficient between the plastic film and the inorganic oxide thin film. And high gas barrier properties are not easily developed.

その中で、有機シラン化合物を用いたプラズマCVD法による酸化珪素薄膜は、高いガスバリア性を発現するバリア層として検討されており、特許文献2には炭素濃度および、酸化珪素薄膜の組成を制御することで、密着性と透明性が改善するとの報告がある。   Among them, a silicon oxide thin film formed by a plasma CVD method using an organosilane compound has been studied as a barrier layer exhibiting a high gas barrier property. Patent Document 2 controls the carbon concentration and the composition of the silicon oxide thin film. As a result, it has been reported that adhesion and transparency are improved.

特開平7−164591号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-164591 特開平11−322981号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-322981

しかしながら、特許文献2に記載された酸化珪素薄膜は、水蒸気バリア性は若干劣ると記載されており、特に高いガスバリア性を必要とする電子ペーパーやLCD(液晶ディスプレイ)、有機ELディスプレイなどのFPD向けとしては、ガスバリア性が不十分である。   However, the silicon oxide thin film described in Patent Document 2 is described as being slightly inferior in water vapor barrier properties, and is particularly suitable for FPDs such as electronic paper, LCD (liquid crystal display), and organic EL displays that require high gas barrier properties. As such, the gas barrier properties are insufficient.

本発明の目的は、食品、日用品、医薬品などの包装分野や電子機器関連部材などの分野において、特に高いガスバリア性が必要とされる場合に好適に用いることができる透明なガスバリア性積層フィルムを提供することにある。
さらに本発明の目的は、上述した電子ペーパーやLCD、有機ELディスプレイなどのFPD向けとして、ガスバリア性が不十分である問題を解決するものであり、水蒸気バリ
ア性に優れた、透明なガスバリア性積層フィルムを提供することにある。
An object of the present invention is to provide a transparent gas barrier laminated film that can be suitably used in the fields of packaging of foods, daily necessities, pharmaceuticals, etc. and fields related to electronic equipment, especially when high gas barrier properties are required. There is to do.
Furthermore, the object of the present invention is to solve the problem of insufficient gas barrier properties for FPDs such as the above-mentioned electronic paper, LCD, and organic EL display, and is a transparent gas barrier laminate having excellent water vapor barrier properties. To provide a film.

上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、プラスチックフィルムからなる基材層の片面に、アンカー層(以下「第1のアンカー層」と称する。)と、酸化珪素からなるガスバリア層(以下「第1のガスバリア層」と称する。)、さらにこのガスバリア層上にアンカー層(以下「第2のアンカー層」と称する。)と、酸化珪素からなるガスバリア層(以下「第2のガスバリア層」と称する。)とを順次形成されたガスバリア性積層フィルムであって、第1および第2のアンカー層の表面の算術平均粗さ(Ra)が5nm以下であり、基材層のガスバリア層を積層しない側の表面に無機フィラーを含むコーティング層を備え、コーティング層の表面の算術平均粗さ(Ra)が、100nm以上であることを特徴とする。   As means for solving the above problems, the invention according to claim 1 is characterized in that an anchor layer (hereinafter referred to as “first anchor layer”) and silicon oxide are formed on one side of a base material layer made of a plastic film. A gas barrier layer (hereinafter referred to as a “first gas barrier layer”), an anchor layer (hereinafter referred to as a “second anchor layer”) on the gas barrier layer, and a gas barrier layer (hereinafter referred to as “a second anchor layer”). The gas barrier laminate film is formed in order, and the arithmetic average roughness (Ra) of the surfaces of the first and second anchor layers is 5 nm or less. A coating layer containing an inorganic filler is provided on the surface of the layer on which the gas barrier layer is not laminated, and the arithmetic average roughness (Ra) of the surface of the coating layer is 100 nm or more.

また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のガスバリア性積層フィルムであって、無機フィラーの粒径が30nm以上300nm以下であり、無機フィラーがコーティング層中に1.25質量%以上25質量%以下の割合で含まれることを特徴とする。   The invention according to claim 2 is the gas barrier laminate film according to claim 1, wherein the inorganic filler has a particle size of 30 nm to 300 nm, and the inorganic filler is 1.25% by mass in the coating layer. It is contained at a ratio of 25% by mass or less.

また、請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載のガスバリア性積層フィルムであって、第1および第2のアンカー層の厚さがそれぞれ20nm以上1000nm以下であることを特徴とする。   The invention according to claim 3 is the gas barrier laminate film according to claim 1 or 2, wherein the thicknesses of the first and second anchor layers are 20 nm or more and 1000 nm or less, respectively. To do.

また、請求項4に記載の発明は、請求項1から3のいずれか1項に記載のガスバリア性積層フィルムであって、第1および第2のアンカー層の表面の算術平均粗さ(Ra)がいずれも3nm以下であることを特徴とする。   The invention according to claim 4 is the gas barrier laminate film according to any one of claims 1 to 3, wherein the arithmetic average roughness (Ra) of the surfaces of the first and second anchor layers is as follows. Is 3 nm or less.

また、請求項5に記載の発明は、請求項1から4のいずれか1項に記載のガスバリア性積層フィルムであって、第1および第2のアンカー層が少なくともポリオール類とイソシアネート化合物とから形成されてなることを特徴とする。   The invention according to claim 5 is the gas barrier laminate film according to any one of claims 1 to 4, wherein the first and second anchor layers are formed of at least a polyol and an isocyanate compound. It is characterized by being made.

また、請求項6に記載の発明は、請求項1から5のいずれか1項に記載のガスバリア性積層フィルムであって、第1および第2のガスバリア層が厚さがそれぞれ10nm以上1000nm以下であることを特徴とする。   The invention according to claim 6 is the gas barrier laminate film according to any one of claims 1 to 5, wherein the first and second gas barrier layers each have a thickness of 10 nm to 1000 nm. It is characterized by being.

また、請求項7に記載の発明は、請求項1から6のいずれか1項に記載のガスバリア性積層フィルムであって、400nm以上1000nm以下における分光透過率が85%以上であることを特徴とする。   The invention according to claim 7 is the gas barrier laminate film according to any one of claims 1 to 6, wherein the spectral transmittance at 400 nm or more and 1000 nm or less is 85% or more. To do.

また、請求項8に記載の発明は、プラスチックフィルムからなる基材層の片面に、第1のアンカー層と、酸化珪素からなる第1のガスバリア層、さらに第1のガスバリア層上に、第2のアンカー層と、酸化珪素からなる第2のガスバリア層とが順次形成されたガスバリア性積層フィルムの製造方法において、基材層の片面に、表面の算術平均粗さ(Ra)が5nm以下である第1のアンカー層を形成する工程と、第1のアンカー層の表面に、第1のガスバリア層を形成する工程と、第1のガスバリア層の表面に、表面の算術平均粗さ(Ra)が5nm以下である第2のアンカー層を形成する工程と、第2のアンカー層の表面に、第2のガスバリア層を形成する工程と、基材層の、ガスバリア層を積層しない側の表面に、無機フィラーを含むコーティング剤により、算術平均粗さ(Ra)が、100nm以上であるコーティング層を形成する工程とを備えることを特徴とする。   In the invention according to claim 8, the first anchor layer, the first gas barrier layer made of silicon oxide, and the second gas barrier layer are formed on one side of the base material layer made of a plastic film. In the method for producing a gas barrier laminate film in which the anchor layer and the second gas barrier layer made of silicon oxide are sequentially formed, the arithmetic average roughness (Ra) of the surface is 5 nm or less on one side of the base material layer. The step of forming the first anchor layer, the step of forming the first gas barrier layer on the surface of the first anchor layer, and the arithmetic average roughness (Ra) of the surface on the surface of the first gas barrier layer A step of forming a second anchor layer of 5 nm or less, a step of forming a second gas barrier layer on the surface of the second anchor layer, and a surface of the base material layer on which the gas barrier layer is not laminated, Co containing inorganic filler The coating agent, the arithmetic average roughness (Ra), characterized in that it comprises a step of forming a coating layer is 100nm or more.

また、請求項9に記載の発明は、請求項8に記載のガスバリア性積層フィルムの製造方法であって、無機フィラーの粒径が30nm以上300nm以下であり、無機フィラーがコーティング剤に対して0.5質量%以上10質量%以下の割合で含まれることを特徴とする。   The invention according to claim 9 is the method for producing a gas barrier laminate film according to claim 8, wherein the particle size of the inorganic filler is 30 nm or more and 300 nm or less, and the inorganic filler is 0 with respect to the coating agent. It is contained in the ratio of 5 mass% or more and 10 mass% or less.

また、請求項10に記載の発明は、請求項8または9に記載のガスバリア性積層フィルムの製造方法であって、第1および第2のアンカー層、第1および第2のガスバリア層ならびにコーティング層が、巻取り(Roll to Roll)方式で形成されたものであることを特徴とする。   The invention according to claim 10 is the method for producing a gas barrier laminate film according to claim 8 or 9, wherein the first and second anchor layers, the first and second gas barrier layers, and the coating layer are provided. Is formed by a roll-to-roll method.

また、請求項11に記載の発明は、請求項8から10のいずれか1項に記載のガスバリア性積層フィルムの製造方法であって、第1および第2のアンカー層が少なくともポリオール類とイソシアネート化合物を含むアンカー剤を塗布して形成されたものであることを特徴とする。   The invention according to claim 11 is the method for producing a gas barrier laminate film according to any one of claims 8 to 10, wherein the first and second anchor layers are at least a polyol and an isocyanate compound. It is characterized by being formed by applying an anchor agent containing

また、請求項12に記載の発明は、請求項8から11のいずれか1項に記載のガスバリア性積層フィルムの製造方法であって、第1および第2のガスバリア層がプラズマ化学蒸着(CVD)法により形成されたものであることを特徴とする。   The invention according to claim 12 is the method for producing a gas barrier laminate film according to any one of claims 8 to 11, wherein the first and second gas barrier layers are formed by plasma chemical vapor deposition (CVD). It is formed by the law.

本発明のガスバリア性積層フィルムおよびその製造方法は、プラスチックフィルムからなる基材層の片面に、第1のアンカー層と、酸化珪素からなる第1のガスバリア層、さらにこの第1のガスバリア層上に第2のアンカー層と、酸化珪素からなる第2のガスバリア層とを順次形成された構成からなることにより、単層のガスバリア層における微少な欠陥を補完するとともに、ガスバリア層を保護し、上記のFPD用途にも適合し得る高度なガスバリア性を有するガスバリア性積層フィルムを得ることができる。   The gas barrier laminate film of the present invention and the production method thereof are provided on one side of a base material layer made of a plastic film, on a first anchor layer, a first gas barrier layer made of silicon oxide, and further on the first gas barrier layer. By comprising the structure in which the second anchor layer and the second gas barrier layer made of silicon oxide are sequentially formed, the small defect in the single gas barrier layer is complemented, and the gas barrier layer is protected, A gas barrier laminate film having a high gas barrier property that can be adapted to FPD applications can be obtained.

この時、第1および第2のアンカー層の表面の算術平均粗さ(Ra)を、いずれも5nm以下とすることにより、優れたガスバリア性を安定して発揮するガスバリア性積層フィルムを得ることができる。   At this time, by setting the arithmetic average roughness (Ra) of the surfaces of the first and second anchor layers to 5 nm or less, it is possible to obtain a gas barrier laminate film that stably exhibits excellent gas barrier properties. it can.

さらに、基材層のガスバリア層を形成しない側の表面に、粒径が30nm以上300nm以下の無機フィラーを0.5質量%以上10質量%以下含んだコーティングを施し形成した無機フィラーを含むコーティング層を備え、コーティング層の表面の算術平均粗さ(Ra)を100nmとすることにより、途中工程においてフィルムの表裏面がブロッキングすることを防止し安定的に製造することができる。特に、粒径が30nm以上300nm以下の無機フィラーがコーティング層中に(0.5)質量%以上(10)質量%以下の割合で含まれることにより、上記効果をさらに奏する。   Furthermore, a coating layer containing an inorganic filler formed by applying a coating containing 0.5 to 10% by mass of an inorganic filler having a particle size of 30 to 300 nm on the surface of the base material layer on which the gas barrier layer is not formed The arithmetic average roughness (Ra) of the surface of the coating layer is set to 100 nm, so that the front and back surfaces of the film can be prevented from blocking during the intermediate process and can be stably produced. In particular, when the inorganic filler having a particle size of 30 nm to 300 nm is contained in the coating layer at a ratio of (0.5) mass% to (10) mass%, the above effect is further exhibited.

また、第1および第2のアンカー層の厚さを、それぞれ20nm以上1000nm以下とした場合には、アンカー層の塗工面のRaを安定的に小さくすることを担保できると共に、過剰な膜厚に起因する密着性の低下を防止する効果がある。   Further, when the thicknesses of the first and second anchor layers are set to 20 nm or more and 1000 nm or less, respectively, it is possible to ensure that the Ra of the coated surface of the anchor layer is stably reduced, and an excessive film thickness. There is an effect of preventing the resulting decrease in adhesion.

また、第1および第2のアンカー層の表面の算術平均粗さ(Ra)を、いずれも3nm以下とした場合には、ガスバリア層のガスバリア性をさらに向上せしめる効果がある。   Further, when the arithmetic average roughness (Ra) of the surfaces of the first and second anchor layers is 3 nm or less, there is an effect of further improving the gas barrier property of the gas barrier layer.

また、第1および第2のアンカー層が、少なくともポリオール類とイソシアネート化合物を含むアンカー剤を塗布して形成されてなるものである場合には、優れたガスバリア性が安定して発揮される。   Further, when the first and second anchor layers are formed by applying an anchor agent containing at least a polyol and an isocyanate compound, excellent gas barrier properties are stably exhibited.

また、第1および第2のガスバリア層の厚さがそれぞれ10nm以上1000nm以下である場合には、優れたガスバリア性が安定して発揮される。   Further, when the thicknesses of the first and second gas barrier layers are 10 nm or more and 1000 nm or less, excellent gas barrier properties are stably exhibited.

また、400nm以上1000nm以下における分光透過率が85%以上である場合には、可視光の透過性が良好であり、透明性が必要とされる用途にも用いることができる。   Further, when the spectral transmittance at 400 nm or more and 1000 nm or less is 85% or more, the visible light transmittance is good, and it can also be used for applications requiring transparency.

また、第1および第2のアンカー層、第1および第2のガスバリア層ならびにコーティング層が、巻取り(Roll to Roll)方式で形成されたものである場合には、生産効率が良好であり、安定した品質のガスバリア性積層フィルムを能率よく生産することができる。   In addition, when the first and second anchor layers, the first and second gas barrier layers, and the coating layer are formed by a roll-to-roll method, production efficiency is good. Stable quality gas barrier laminate films can be produced efficiently.

また、第1および第2のガスバリア層がプラズマ化学蒸着(CVD)法により形成されたものである場合には、優れたガスバリア性が安定して発揮される。   Further, when the first and second gas barrier layers are formed by a plasma chemical vapor deposition (CVD) method, excellent gas barrier properties are stably exhibited.

図1は、本発明に係るガスバリア性積層フィルムの一実施態様における断面構成を示した断面模式図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a cross-sectional configuration in one embodiment of a gas barrier laminate film according to the present invention.

以下、本発明に係るガスバリア性積層フィルムを実施するための最良の形態を、図面に沿って説明する。図1は、本発明に係るガスバリア性積層フィルムの一実施態様における断面構成を示した断面模式図である。基材層(1)上に、第1のアンカー層(2)と酸化珪素からなる第1のガスバリア層(3)と、第2のアンカー層(4)、酸化珪素からなる第2のガスバリア層(5)が順次積層されている。また、基材層(1)の、第1のガスバリア層(3)および第2のアンカー層(4)を積層しない側の上にコーティング層(7)が積層されている。   Hereinafter, the best mode for carrying out a gas barrier laminate film according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a cross-sectional configuration in one embodiment of a gas barrier laminate film according to the present invention. On the base material layer (1), a first anchor layer (2), a first gas barrier layer (3) made of silicon oxide, a second anchor layer (4), and a second gas barrier layer made of silicon oxide. (5) are sequentially stacked. Moreover, the coating layer (7) is laminated | stacked on the side which does not laminate | stack the 1st gas barrier layer (3) and the 2nd anchor layer (4) of a base material layer (1).

[基材層(1)について]
本発明のガスバリア性積層フィルム(6)において、基材層(1)は透明なプラスチックフィルムからなっている。透明なプラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)などのポリエステルフィルム、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィンフィルム、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリスチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリアクリルニトリルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリ乳酸などの生分解性プラスチックフィルム、などが用いられる。
[Substrate layer (1)]
In the gas barrier laminate film (6) of the present invention, the substrate layer (1) is made of a transparent plastic film. Examples of transparent plastic films include polyester films such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyolefin films such as polyethylene and polypropylene, polyether sulfone (PES), polystyrene films, polyamide films, and polyvinyl chloride. Films, polycarbonate films, polyacrylonitrile films, polyimide films, biodegradable plastic films such as polylactic acid, and the like are used.

これらの透明なプラスチックフィルムは、延伸、未延伸のどちらでもよいが、機械的強度や寸法安定性などが優れたものが好ましい。特に、耐熱性や寸法安定性などの面から、包装材料には二軸方向に延伸したポリエチレンテレフタレートが好ましく用いられる。   These transparent plastic films may be either stretched or unstretched, but those having excellent mechanical strength and dimensional stability are preferred. In particular, from the viewpoints of heat resistance and dimensional stability, polyethylene terephthalate stretched biaxially is preferably used as the packaging material.

さらに、高度な耐熱性や寸法安定性が求められるLCDや有機ELディスプレイなどのFPD向けには、ポリエチレンナフタレートやポリエーテルスルフォン、ポリカーボネートなどが好ましく用いられる。   Furthermore, polyethylene naphthalate, polyether sulfone, polycarbonate, and the like are preferably used for FPDs such as LCDs and organic EL displays that require high heat resistance and dimensional stability.

また、透明なプラスチックフィルムは、帯電防止剤、紫外線防止剤、可塑剤、滑剤等などの添加剤を含有してもよい。さらに、透明なプラスチックフィルムにおいて、他の層を積層する側の表面には、密着性をよくするために、コロナ処理、低温プラズマ処理、イオンボンバード処理、薬品処理、溶剤処理などを施してもよい。   Moreover, the transparent plastic film may contain additives such as an antistatic agent, an ultraviolet ray preventing agent, a plasticizer, and a lubricant. Further, in the transparent plastic film, the surface on the side where other layers are laminated may be subjected to corona treatment, low temperature plasma treatment, ion bombardment treatment, chemical treatment, solvent treatment, etc. in order to improve adhesion. .

これらの透明なプラスチックフィルムからなる基材層(1)の厚さは、特に制限を受けるものではないが、包装材料としての適性や他の層を積層する場合の加工適性などを考慮すると、実用的には3μm以上200μm以下の範囲、特に6μm以上30μm以下の範囲であることが好ましく、太陽電池、電子ペーパーや有機ELディスプレイなどのFPD向けとしては、加工適正などを考慮すると、実用的には25μm以上200μm以下の範囲であることが好ましい。   The thickness of the base material layer (1) made of these transparent plastic films is not particularly limited. However, considering the suitability as a packaging material and the workability when other layers are laminated, it is practical. Specifically, it is preferably in the range of 3 μm or more and 200 μm or less, particularly in the range of 6 μm or more and 30 μm or less. It is preferably in the range of 25 μm or more and 200 μm or less.

[コーティング層(7)について]
本発明のガスバリア性積層フィルム(6)において、特に巻取り(Roll to Roll)方式で作製する場合、表面の算術平均粗さ(Ra)が小さい平滑面同士が接触すると、ブロッキングが起こり傷や膜はがれなどによるガスバリア性劣化の可能性がある。ブロッキングを防ぐため、後述する第1のアンカー層(2)と接触する基材層(1)表面、すなわち、基材層(1)の、ガスバリア層を積層しない側の表面のRaは100nm以上であることが好ましい。基材(1)表面のRaは、無機フィラーを含むコーティング剤を塗布してコーティング層(7)を形成することによって調整できる。
[Coating layer (7)]
In the gas barrier laminate film (6) of the present invention, particularly when it is produced by a roll-to-roll method, if smooth surfaces with small arithmetic average roughness (Ra) of the surfaces come into contact with each other, blocking occurs and scratches or films There is a possibility of gas barrier deterioration due to peeling. In order to prevent blocking, Ra of the surface of the base material layer (1) that comes into contact with the first anchor layer (2) described later, that is, the surface of the base material layer (1) on the side where the gas barrier layer is not laminated is 100 nm or more. Preferably there is. Ra of the surface of the substrate (1) can be adjusted by applying a coating agent containing an inorganic filler to form the coating layer (7).

コーティング剤に含まれる無機フィラーは、粒径が30nm以上300nm以下、より好ましくは80nm以上200nmであることが好ましい。粒径が30nmより小さいと、第1のアンカー層(2)と接触する基材層(1)表面のRaを100nm以上に調整することが困難であるため、ブロッキングを防ぐ効果が小さくなり、また、300nmより大きいと、基材層(1)の透明性が損なわれる可能性がある。   The inorganic filler contained in the coating agent preferably has a particle size of 30 nm to 300 nm, more preferably 80 nm to 200 nm. If the particle size is smaller than 30 nm, it is difficult to adjust Ra of the surface of the base material layer (1) in contact with the first anchor layer (2) to 100 nm or more, so that the effect of preventing blocking becomes small. If it is larger than 300 nm, the transparency of the substrate layer (1) may be impaired.

また、無機フィラーは、コーティング剤に対して0.5質量%以上10質量%以下、より好ましくは2質量%以上6.5質量%以下の割合で含まれていることが好ましい。コーティング剤に含まれる無機フィラーが0.5質量%より少ない場合、基材層(1)表面のRaを100nm以上に調整することが困難であるため、ブロッキングを防ぐ効果が小さくなり、一方、10質量%より多い場合、基材層(1)の透明性が損なわれる可能性がある。このコーティング剤によりコーティング層(7)を形成する場合、無機フィラーがコーティング層(7)中に1.25質量%以上25質量%以下の割合で含まれることが好ましい。コーティング層(7)中に含まれる無機フィラーが1.25質量%より少ない場合、基材層(1)表面のRaを100nm以上に調整することが困難であるため、ブロッキングを防ぐ効果が小さくなり、一方、25質量%より多い場合、基材層(1)の透明性が損なわれる可能性がある。   Moreover, it is preferable that the inorganic filler is contained in a ratio of 0.5% by mass or more and 10% by mass or less, more preferably 2% by mass or more and 6.5% by mass or less with respect to the coating agent. When the amount of the inorganic filler contained in the coating agent is less than 0.5% by mass, it is difficult to adjust the Ra of the surface of the base material layer (1) to 100 nm or more. When it is more than mass%, the transparency of the base material layer (1) may be impaired. When forming a coating layer (7) with this coating agent, it is preferable that an inorganic filler is contained in the coating layer (7) in the ratio of 1.25 mass% or more and 25 mass% or less. When the inorganic filler contained in the coating layer (7) is less than 1.25% by mass, it is difficult to adjust the Ra of the surface of the base material layer (1) to 100 nm or more, so the effect of preventing blocking is reduced. On the other hand, when it is more than 25% by mass, the transparency of the base material layer (1) may be impaired.

無機フィラーには、酸化珪素、酸化アルミ、酸化カルシウム、炭化カルシウムなどが好ましく用いられる。また、コーティング剤には、無機フィラーの他、ポリウレタン樹脂やエポキシ樹脂などの公知のバインダー樹脂や、トルエン、MEK(メチルエチルケトン)などの公知の溶媒が含まれる。   As the inorganic filler, silicon oxide, aluminum oxide, calcium oxide, calcium carbide and the like are preferably used. In addition to the inorganic filler, the coating agent includes a known binder resin such as polyurethane resin and epoxy resin, and a known solvent such as toluene and MEK (methyl ethyl ketone).

コーティング層(7)は、周知のコーティング方法、例えばディッピング法、ロールコート法、グラビアコート法、ダイコート法、エアナイフコート法、コンマコート法などを用いて基材層(1)にコーティングし、その後溶媒などを除去し、コーティング膜を乾燥・硬化させることで得ることができる。効率的で生産コストの低減が可能であるため巻取り(Roll to Roll)方式で作製することが好ましい。   The coating layer (7) is coated on the substrate layer (1) using a known coating method such as dipping method, roll coating method, gravure coating method, die coating method, air knife coating method, comma coating method, etc. And the like, and the coating film is dried and cured. Since it is efficient and the production cost can be reduced, it is preferable to manufacture by a roll-to-roll method.

[第1のアンカー層(2)および第2のアンカー層(4)について]
本発明のガスバリア性積層フィルム(6)における第1のアンカー層(2)の役割は、基材層(1)の表面を平滑化することにより、第1のアンカー層(2)上に形成する第1のガスバリア層(3)が優れたガスバリア性を発現するものである。また第2のアンカー層(4)の役割は、第1のガスバリア層(3)の表面を平滑化することにより、第2のアンカー層(4)上に形成する第2のガスバリア層(5)が優れたガスバリア性を発現するものである。
[About the first anchor layer (2) and the second anchor layer (4)]
The role of the first anchor layer (2) in the gas barrier laminate film (6) of the present invention is formed on the first anchor layer (2) by smoothing the surface of the base material layer (1). The first gas barrier layer (3) exhibits excellent gas barrier properties. The role of the second anchor layer (4) is to smooth the surface of the first gas barrier layer (3) to thereby form the second gas barrier layer (5) formed on the second anchor layer (4). Expresses excellent gas barrier properties.

第1のアンカー層(2)および第2のアンカー層(4)の表面のRaは、5nm以下であることが好ましく、3nm以下であることがより好ましい。第1のアンカー層(2)および第2のアンカー層(4)の表面のRaが5nmより大きく、平滑でない表面にガスバリア層を形成した場合、均一な膜形成ができず、十分なガスバリア性が発現しない。そのため、第1のアンカー層(2)によって基材層(1)の表面を平滑化する場合、Raを5nm以下にする必要がある。   Ra of the surface of the first anchor layer (2) and the second anchor layer (4) is preferably 5 nm or less, and more preferably 3 nm or less. When the Ra of the surface of the first anchor layer (2) and the second anchor layer (4) is larger than 5 nm and a gas barrier layer is formed on a non-smooth surface, a uniform film cannot be formed and sufficient gas barrier properties are obtained. Not expressed. Therefore, when the surface of the base material layer (1) is smoothed by the first anchor layer (2), Ra needs to be 5 nm or less.

なお、優れたガスバリア性の発現に寄与するのは微小領域の表面平滑性であり、上述のRaは、数μmから数百μmの領域で測定することが好ましく、例えば、走査プローブ顕微鏡を用い、タッピングモードで測定することができる。   In addition, it is surface smoothness of a micro area that contributes to the expression of excellent gas barrier properties, and the above-mentioned Ra is preferably measured in an area of several μm to several hundred μm. For example, using a scanning probe microscope, It can be measured in tapping mode.

第1のアンカー層(2)および第2のアンカー層(4)の膜厚は、いずれも20nm以上1000nm以下であることが好ましい。膜厚が20nm未満であると均一な膜形成が難しく十分な平滑化機能が発揮できない。また、膜厚が1000nmを超えるとガスバリア性積層体の光学特性を制御することが困難となる他、アンカー層硬化時の内部応力が過度に働き、密着性が低下する恐れがある。   The film thicknesses of the first anchor layer (2) and the second anchor layer (4) are preferably 20 nm or more and 1000 nm or less. If the film thickness is less than 20 nm, it is difficult to form a uniform film and a sufficient smoothing function cannot be exhibited. On the other hand, when the film thickness exceeds 1000 nm, it becomes difficult to control the optical characteristics of the gas barrier laminate, and the internal stress at the time of curing the anchor layer works excessively, which may reduce the adhesion.

第1のアンカー層(2)および第2のアンカー層(4)は、周知のコーティング方法、例えばディッピング法、ロールコート法、グラビアコート法、ダイコート法、エアナイフコート法、コンマコート法などを用いて基材層(1)または第1のガスバリア層(3)にコーティングし、その後溶媒などを除去し、コーティング膜を乾燥・硬化させることで得ることができる。特に平滑なアンカー層を形成するためには、ダイコート法やグラビアコート法も用いることが好ましい。加えて、効率的で生産コストの低減が可能であるため巻取り(Roll to Roll)方式で作製することが好ましい。   The first anchor layer (2) and the second anchor layer (4) are formed using a known coating method such as a dipping method, a roll coating method, a gravure coating method, a die coating method, an air knife coating method, or a comma coating method. It can be obtained by coating the base material layer (1) or the first gas barrier layer (3), then removing the solvent and drying / curing the coating film. In particular, in order to form a smooth anchor layer, it is preferable to use a die coating method or a gravure coating method. In addition, since it is efficient and can reduce the production cost, it is preferable to manufacture by a roll-to-roll method.

本発明のガスバリア性積層フィルム(6)において、第1のアンカー層(2)および第2のアンカー層(4)は、アクリルポリオール、ポリエステルポリオールなどのポリオール類とTDI(トリレンジイソシアネート)、HDI(ヘキサメチレンジイソシアネート)などのイソシアネート化合物を任意の配合比で混合したアンカー剤を調製し、アンカー剤を基材層(1)または第1のガスバリア層(3)にコーティングして形成する。アンカー剤は、トルエン、MEK(メチルエチルケトン)などの溶媒を加え、任意の濃度に希釈してもよい。   In the gas barrier laminate film (6) of the present invention, the first anchor layer (2) and the second anchor layer (4) are composed of polyols such as acrylic polyol and polyester polyol, TDI (tolylene diisocyanate), HDI ( An anchor agent in which an isocyanate compound such as hexamethylene diisocyanate) is mixed at an arbitrary mixing ratio is prepared, and the anchor agent is coated on the base layer (1) or the first gas barrier layer (3). The anchor agent may be diluted to an arbitrary concentration by adding a solvent such as toluene or MEK (methyl ethyl ketone).

[第1のガスバリア層(3)および第2のガスバリア層(5)について]
本発明のガスバリア性積層フィルム(6)において、第1のガスバリア層(3)および第2のガスバリア層(5)の膜厚は、それぞれ10nm以上100nm以下であることが好ましい。膜厚が10nm未満であるとガスバリア材としての機能を十分に果たすことができず、また100nmを超えるとガスバリア層にクラックが生じやすくなる他、ガスバリア性積層フィルム(6)の光学特性を制御することが困難となる。
[About the first gas barrier layer (3) and the second gas barrier layer (5)]
In the gas barrier laminate film (6) of the present invention, the first gas barrier layer (3) and the second gas barrier layer (5) preferably have a thickness of 10 nm or more and 100 nm or less, respectively. If the film thickness is less than 10 nm, the function as a gas barrier material cannot be sufficiently achieved, and if it exceeds 100 nm, the gas barrier layer tends to crack, and the optical properties of the gas barrier laminate film (6) are controlled. It becomes difficult.

本発明のガスバリア性積層フィルム(6)において、第1のガスバリア層(3)および第2のガスバリア層(5)の形成方法は、特に限定されるものではないが、基材層(1)の表面に、酸化珪素からなるガスバリア層を真空中において成膜して、高いガスバリア性を発現させるためには、現時点ではプラズマ化学蒸着(CVD)法が好ましく、上記プラスチックフィルムからなる基材層の片面もしくは両面に成膜することができる。また、プラスチック基材の特徴を活かした巻取(Roll to Roll)方式による連続蒸着を行うことができ、巻取式の真空蒸着成膜装置を用いることが好ましい。また、プラズマ発生装置としては、直流(DC)プラズマ、低周波プラズマ、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、3極構造プラズマ、マイクロ波プラズマなどの低温プラズマ発生装置が用いられる。   In the gas barrier laminate film (6) of the present invention, the method for forming the first gas barrier layer (3) and the second gas barrier layer (5) is not particularly limited, but the substrate layer (1) In order to form a gas barrier layer made of silicon oxide on the surface in vacuum and to exhibit high gas barrier properties, plasma chemical vapor deposition (CVD) is currently preferred, and one side of the base material layer made of the plastic film Or it can form into a film on both surfaces. Further, it is possible to perform continuous vapor deposition by a roll-to-roll method utilizing the characteristics of the plastic substrate, and it is preferable to use a roll-up vacuum deposition apparatus. As the plasma generator, a low-temperature plasma generator such as direct current (DC) plasma, low-frequency plasma, high-frequency plasma, pulse wave plasma, tripolar plasma, or microwave plasma is used.

プラズマCVD法により積層される酸化珪素からなるガスバリア層は、分子内に炭素を有するシラン化合物と酸素ガスを原料として成膜することができ、この原料に不活性ガスを加えて成膜することもできる。分子内に炭素を有するシラン化合物としては、テトラエトキシシラン(TEOS)、テトラメトキシシラン(TMOS)、テトラメチルシラン(TMS)、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)、テトラメチルジシロキサン、メチルトリメトキシシランなどの比較的低分子量のシラン化合物を選択し、これらシラン化合物の1つまたは、複数を選択しても良い。   The gas barrier layer made of silicon oxide laminated by the plasma CVD method can be formed using a silane compound having carbon in the molecule and oxygen gas as raw materials, and can be formed by adding an inert gas to the raw materials. it can. Examples of silane compounds having carbon in the molecule include tetraethoxysilane (TEOS), tetramethoxysilane (TMOS), tetramethylsilane (TMS), hexamethyldisiloxane (HMDSO), tetramethyldisiloxane, and methyltrimethoxysilane. A relatively low molecular weight silane compound may be selected, and one or more of these silane compounds may be selected.

プラズマCVD法による成膜では、上記シラン化合物を気化させ酸素ガスと混合したものを電極間に導入し、低温プラズマ発生装置にて電力を印加してプラズマ化し、上記第1のアンカー層(2)および第2のアンカー層(4)に積層することができる。また、プラズマCVD法では、酸化珪素からなるガスバリア層の膜質を様々な方法で変えることが可能であり、ガスバリア層の酸素成分や炭素成分の組成比を増減させることが比較的容易にでき、例えば、シラン化合物やガス種の変更、シラン化合物と酸素ガスの混合比や、印加電力の増減などがその有効な手法となる。   In the film formation by the plasma CVD method, the silane compound vaporized and mixed with oxygen gas is introduced between the electrodes, and the plasma is formed by applying electric power with a low temperature plasma generator, and the first anchor layer (2). And a second anchor layer (4). Further, in the plasma CVD method, the film quality of the gas barrier layer made of silicon oxide can be changed by various methods, and the composition ratio of the oxygen component and the carbon component of the gas barrier layer can be relatively easily increased and decreased. Effective methods include changing the silane compound and the gas type, mixing ratio of the silane compound and oxygen gas, and increasing or decreasing the applied power.

本発明のガスバリア積層フィルム(6)を太陽電池モジュールの表面保護シートやFPD向けに用いる場合、高い光透過性が求められるため、ガスバリア性積層フィルムの400nm以上1000nm以下における分光透過率は85%以上であることが好ましく、また90%以上であることがより好ましい。   When the gas barrier laminate film (6) of the present invention is used for a surface protection sheet or FPD of a solar cell module, high light transmittance is required. Therefore, the spectral transmittance of the gas barrier laminate film at 400 nm to 1000 nm is 85% or more. It is preferable that it is 90% or more.

以下、本発明に係るガスバリア性積層フィルムについて、実施例および比較例によりさらに説明するが、本発明は下記例に制限されるものではない。   Hereinafter, the gas barrier laminate film according to the present invention will be further described with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following examples.

<実施例1>
基材層(1)として、片面に粒径150nmの酸化珪素からなる無機フィラーが1.2質量%含まれるコーティング剤を塗布し、反対面は未処理である厚さ100μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムを用意した。このとき、コーティングによって形成されたコーティング層(7)の表面算術平均粗さ(Ra)は700nmであった。フィルムの未処理面にアクリルポリオールとヘキサメチレンジイソシアネート(HDI)をNCO比で6:4に混合し、MEK(メチルエチルケトン)で固形分10%に希釈したアンカー剤をダイコート法によりコーティングし、乾燥・硬化させ厚さ50nmの第1のアンカー層(2)を形成した。このとき、第1のアンカー層(2)のRaは3nmであった。
<Example 1>
As a base material layer (1), a coating agent containing 1.2% by mass of an inorganic filler made of silicon oxide having a particle size of 150 nm is applied on one side, and the other side is untreated polyethylene terephthalate (PET) having a thickness of 100 μm. A film was prepared. At this time, the surface arithmetic average roughness (Ra) of the coating layer (7) formed by coating was 700 nm. On the untreated surface of the film, acrylic polyol and hexamethylene diisocyanate (HDI) are mixed at an NCO ratio of 6: 4, and the anchor agent diluted to 10% solids with MEK (methyl ethyl ketone) is coated by the die coating method, then dried and cured Thus, a first anchor layer (2) having a thickness of 50 nm was formed. At this time, Ra of the first anchor layer (2) was 3 nm.

続いてプラズマCVD法を用い、ヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)/酸素=10/100sccmの混合ガスを電極間に導入し、電力を0.5kW印加してプラズマ化し、第1のアンカー層(2)上に酸化珪素からなる厚さ60nmの第1のガスバリア層(3)を形成した。次に、第1のアンカー層(2)と同様に厚さ50nmの第2のアンカー層(4)を形成した。このとき、第2のアンカー層(4)のRaは4nmであった。続いて、第1のガスバリア層(3)と同様にして厚さ60nmの第2のガスバリア層(5)を形成した。なお、第1のアンカー層(2)から第2のガスバリア層に到るまで、巻取り(Roll to Roll)方式を用いて積層した。こうして、実施例1のガスバリア性積層フィルムを作製した。   Subsequently, using a plasma CVD method, a mixed gas of hexamethyldisiloxane (HMDSO) / oxygen = 10/100 sccm is introduced between the electrodes, electric power is applied to 0.5 kW to form plasma, and the first anchor layer (2) A first gas barrier layer (3) made of silicon oxide and having a thickness of 60 nm was formed thereon. Next, a second anchor layer (4) having a thickness of 50 nm was formed in the same manner as the first anchor layer (2). At this time, Ra of the second anchor layer (4) was 4 nm. Subsequently, a second gas barrier layer (5) having a thickness of 60 nm was formed in the same manner as the first gas barrier layer (3). In addition, it laminated | stacked using the rolling (Roll to Roll) system from the 1st anchor layer (2) to the 2nd gas barrier layer. Thus, the gas barrier laminate film of Example 1 was produced.

<実施例2>
実施例1のガスバリア性積層フィルムにおいて、厚さ100nmの第1のアンカー層(2)、および第2のアンカー層(4)を形成した。このとき第1のアンカー層(2)のRaは1nm、第2のアンカー層(4)のRaは2nmであった。その他は、実施例1と同様にして実施例2のガスバリア性積層フィルムを作製した。
<Example 2>
In the gas barrier laminate film of Example 1, a first anchor layer (2) and a second anchor layer (4) having a thickness of 100 nm were formed. At this time, Ra of the first anchor layer (2) was 1 nm, and Ra of the second anchor layer (4) was 2 nm. Otherwise, the gas barrier laminate film of Example 2 was produced in the same manner as Example 1.

<比較例1>
実施例1のガスバリア性積層フィルムにおいて、基材層(1)として、片面にコーティング層(7)が形成され、反対面は未処理であるポリエチレンナフタレート(PEN)を基材に用いた以外は、実施例1と同様にして比較例1のガスバリア性積層フィルムを作製した。このとき、コーティング層(7)表面のRaは20nmであった。
<Comparative Example 1>
In the gas barrier laminate film of Example 1, as a base material layer (1), a coating layer (7) was formed on one side, and the opposite side was used untreated polyethylene naphthalate (PEN) as a base material. In the same manner as in Example 1, a gas barrier laminate film of Comparative Example 1 was produced. At this time, Ra on the surface of the coating layer (7) was 20 nm.

<比較例2>
比較例1のガスバリア性積層フィルムにおいて、コーティング層(7)表面のRaが5nmであるポリエチレンナフタレート(PEN)を基材に用いた以外は、比較例1と同様にして比較例2のガスバリア性積層フィルムを作製した。
<Comparative example 2>
The gas barrier property of Comparative Example 2 was the same as that of Comparative Example 1 except that polyethylene naphthalate (PEN) having a Ra of 5 nm on the surface of the coating layer (7) was used as the base material in the gas barrier laminated film of Comparative Example 1. A laminated film was produced.

<比較例3>
実施例1のガスバリア性積層フィルムにおいて、厚さ10nmの第1のアンカー層(2)および第2のアンカー層(4)を形成した。このとき第1のアンカー層(2)および第2のアンカー層(4)のRaは10nmであった。その他は実施例1と同様にして比較例3のガスバリア性積層フィルムを作製した。
<Comparative Example 3>
In the gas barrier laminate film of Example 1, a first anchor layer (2) and a second anchor layer (4) having a thickness of 10 nm were formed. At this time, Ra of the first anchor layer (2) and the second anchor layer (4) was 10 nm. Otherwise, the gas barrier laminate film of Comparative Example 3 was produced in the same manner as in Example 1.

<比較評価>
実施例1、2および比較例1、2、3のガスバリア性積層フィルムについて、モダンコントロール社製の水蒸気透過率計(MOCON PERMATRAN−W 3/31)により、40℃−90%RH雰囲気下での水蒸気透過率(g/m/24h)を測定した。この測定結果を表1に示す。
<Comparison evaluation>
About the gas-barrier laminated films of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1, 2, and 3, using a water vapor permeability meter (MOCON PERMATRAN-W 3/31) manufactured by Modern Control Co., under a 40 ° C.-90% RH atmosphere. water vapor transmission rate (g / m 2 / 24h) was measured. The measurement results are shown in Table 1.

Figure 0005982904
Figure 0005982904

表1からわかるように、実施例1、2のガスバリア性積層フィルムは、低い水蒸気透過率であった。一方、比較例1、2、3のガスバリア性積層フィルムは、実施例1、2と比べて水蒸気透過率が高かった。比較例1、2のガスバリア性積層フィルムを光学顕微鏡で観察したところ、フィルムの表裏面がブロッキングして生じたと思われるガスバリア層のはがれが確認された。   As can be seen from Table 1, the gas barrier laminate films of Examples 1 and 2 had a low water vapor transmission rate. On the other hand, the gas barrier laminate films of Comparative Examples 1, 2, and 3 had higher water vapor permeability than Examples 1 and 2. When the gas barrier laminated films of Comparative Examples 1 and 2 were observed with an optical microscope, it was confirmed that the gas barrier layer was peeled off because the front and back surfaces of the film were blocked.

1・・・基材層
2・・・第1のアンカー層
3・・・第1のガスバリア層
4・・・第2のアンカー層
5・・・第2のガスバリア層
6・・・ガスバリア性積層フィルム
7・・・コーティング層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base material layer 2 ... 1st anchor layer 3 ... 1st gas barrier layer 4 ... 2nd anchor layer 5 ... 2nd gas barrier layer 6 ... Gas barrier property lamination | stacking Film 7 ... coating layer

Claims (8)

プラスチックフィルムからなる基材層の片面に、第1のアンカー層と、酸化珪素からなる第1のガスバリア層、さらに該第1のガスバリア層上に、第2のアンカー層と、酸化珪素からなる第2のガスバリア層とが順次形成されたガスバリア性積層フィルムにおいて、
前記第1および第2のアンカー層は、ポリオール類とイソシアネート化合物の硬化層からなり、かつその表面の算術平均粗さ(Ra)が、5nm以下であり、
前記基材層の、ガスバリア層を積層しない側の表面に、粒径が、30nm以上300nm以下であり、層中に1.25質量%以上25質量%以下の割合で含まれる無機フィラーを有するコーティング層を備え、
該コーティング層の表面の算術平均粗さ(Ra)が、100nm以上であることを特徴とするガスバリア性積層フィルム。
A first anchor layer and a first gas barrier layer made of silicon oxide are formed on one surface of a base material layer made of a plastic film, and a second anchor layer and a first oxide made of silicon oxide are formed on the first gas barrier layer. In the gas barrier laminate film in which two gas barrier layers are sequentially formed,
It said first and second anchor layer is a cured layer of polyols and an isocyanate compound, an arithmetic mean roughness of the surface of the Katsuso (Ra) is, and a 5nm or less,
A coating having an inorganic filler on the surface of the base material layer on which the gas barrier layer is not laminated, the particle size of which is 30 nm or more and 300 nm or less, and is contained in the layer at a ratio of 1.25% by mass or more and 25% by mass or less. With layers,
A gas barrier laminate film, wherein the surface of the coating layer has an arithmetic average roughness (Ra) of 100 nm or more.
前記第1および第2のアンカー層の厚さが、それぞれ20nm以上1000nm以下であることを特徴とする請求項1に記載のガスバリア性積層フィルム。 The thickness of the said 1st and 2nd anchor layer is 20 nm or more and 1000 nm or less, respectively, The gas-barrier laminated film of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記第1および第2のアンカー層の表面の算術平均粗さ(Ra)が、3nm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のガスバリア性積層フィルム。 The arithmetic average roughness of the first and the surface of the second anchor layer (Ra) is, the gas barrier laminate film according to claim 1 or 2, characterized in that a 3nm or less. 前記第1および第2のガスバリア層が、厚さがそれぞれ10nm以上1000nm以下であることを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載のガスバリア性積層フィルム。 Wherein the first and second gas barrier layer, the gas barrier laminate film according to any one of claims 1 to 3, wherein the thickness is 10nm or more 1000nm or less, respectively. 400nm以上1000nm以下における分光透過率が85%以上であることを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載のガスバリア性積層フィルム。 Gas barrier laminate film according to claim 1, any one of 4 to spectral transmittance at 400nm or 1000nm or less, characterized in that 85% or more. プラスチックフィルムからなる基材層の片面に、第1のアンカー層と、酸化珪素からなる第1のガスバリア層、さらに該第1のガスバリア層上に、第2のアンカー層と、酸化珪素からなる第2のガスバリア層とが順次形成されたガスバリア性積層フィルムの製造方法において、
前記基材層の、ガスバリア層を積層しない側の表面に、粒径が、30nm以上300nm以下であり、層中に1.25質量%以上25質量%以下の割合で含まれる無機フィラーを含むコーティング剤により、算術平均粗さ(Ra)が、100nm以上であるコーティング層を形成する工程と
前記基材層の片面に、ポリオール類とイソシアネート化合物の硬化層からなり、かつその表面の算術平均粗さ(Ra)が5nm以下である前記第1のアンカー層を形成する工程と、
前記第1のアンカー層の表面に、前記第1のガスバリア層を形成する工程と、
前記第1のガスバリア層の表面に、ポリオール類とイソシアネート化合物の硬化層からなり、かつその表面の算術平均粗さ(Ra)が5nm以下である前記第2のアンカー層を形成する工程と、
前記第2のアンカー層の表面に、前記第2のガスバリア層を形成する工程と
備えることを特徴とするガスバリア性積層フィルムの製造方法。
A first anchor layer and a first gas barrier layer made of silicon oxide are formed on one surface of a base material layer made of a plastic film, and a second anchor layer and a first oxide made of silicon oxide are formed on the first gas barrier layer. In the method for producing a gas barrier laminated film in which two gas barrier layers are sequentially formed,
A coating containing an inorganic filler on the surface of the base material layer on which the gas barrier layer is not laminated, the particle size of which is 30 nm or more and 300 nm or less, and which is contained in the layer at a ratio of 1.25 mass% or more and 25 mass% or less. The step of forming a coating layer having an arithmetic average roughness (Ra) of 100 nm or more by an agent and a cured layer of polyols and an isocyanate compound on one side of the base material layer , and the arithmetic average roughness of the surface Forming the first anchor layer wherein (Ra) is 5 nm or less;
Forming the first gas barrier layer on the surface of the first anchor layer;
Forming the second anchor layer on the surface of the first gas barrier layer, comprising a hardened layer of polyols and an isocyanate compound, and having an arithmetic average roughness (Ra) of the surface of 5 nm or less;
Forming the second gas barrier layer on the surface of the second anchor layer ;
A method for producing a gas barrier laminate film, comprising:
前記第1および第2のアンカー層、前記第1および第2のガスバリア層ならびにコーティング層が、巻取り(Roll to Roll)方式で形成されたものであることを特徴とする請求項6に記載のガスバリア性積層フィルムの製造方法。 The said 1st and 2nd anchor layer, the said 1st and 2nd gas barrier layer, and a coating layer are formed by the roll-up (Roll to Roll) system, The Claim 6 characterized by the above-mentioned. A method for producing a gas barrier laminate film. 前記第1および第2のガスバリア層が、プラズマ化学蒸着(CVD)法により形成されたものであることを特徴とする請求項6または7に記載のガスバリア性積層フィルムの製造方法。 The method for producing a gas barrier laminate film according to claim 6 or 7 , wherein the first and second gas barrier layers are formed by a plasma chemical vapor deposition (CVD) method.
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