JP5968181B2 - Rolling bearing polishing equipment - Google Patents

Rolling bearing polishing equipment Download PDF

Info

Publication number
JP5968181B2
JP5968181B2 JP2012217982A JP2012217982A JP5968181B2 JP 5968181 B2 JP5968181 B2 JP 5968181B2 JP 2012217982 A JP2012217982 A JP 2012217982A JP 2012217982 A JP2012217982 A JP 2012217982A JP 5968181 B2 JP5968181 B2 JP 5968181B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grindstone
rolling bearing
base end
pusher jig
end portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012217982A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2014069287A (en
Inventor
太田 敦司
敦司 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP2012217982A priority Critical patent/JP5968181B2/en
Publication of JP2014069287A publication Critical patent/JP2014069287A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5968181B2 publication Critical patent/JP5968181B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Rolling Contact Bearings (AREA)

Description

この発明は、転がり軸受の研磨装置に関するものである。   The present invention relates to a rolling bearing polishing apparatus.

転がり軸受は、内輪の外周面と外輪の内周面とに、転動体が転動自在に嵌め込まれる溝形状の転動面を備えている。内輪および外輪は、切削加工や熱処理、粗仕上げ加工等が施された後に、転動面を研磨することにより超仕上げ加工が施されて形成される。   The rolling bearing includes a groove-shaped rolling surface into which a rolling element is fitted so as to roll freely on the outer circumferential surface of the inner ring and the inner circumferential surface of the outer ring. The inner ring and the outer ring are formed by being subjected to super-finishing by polishing the rolling surfaces after being subjected to cutting, heat treatment, rough finishing, or the like.

転動面に超仕上げ加工を施すための転がり軸受の研磨装置は、微細粒子により形成された超仕上げ用の砥石と、砥石を保持する砥石ホルダー(請求項の「砥石保持具」に相当。)と、砥石に接続されて砥石を加圧する砥石加圧レバー(請求項の「プッシャー治具」に相当。)と、を備えている(例えば、特許文献1参照)。
転動面の超仕上げ加工は、内輪または外輪であるワークを該ワークの中心軸周りに回転させながら、砥石加圧レバーにより砥石の先端部をワークの転動面に押圧しつつ、砥石ホルダーおよび砥石加圧レバーごと砥石を転動面に沿うように揺動させて研磨することにより行われる。
A polishing apparatus for a rolling bearing for super-finishing a rolling surface includes a super-finishing grindstone formed of fine particles and a grindstone holder for holding the grindstone (corresponding to “grinding stone holder” in claims). And a grindstone pressure lever (corresponding to a “pusher jig” in claims) connected to the grindstone and pressurizing the grindstone (see, for example, Patent Document 1).
Super-finishing of the rolling surface is performed by rotating the workpiece, which is an inner ring or outer ring, around the center axis of the workpiece, while pressing the tip of the grinding wheel against the rolling surface of the workpiece with the grinding wheel pressure lever, This is performed by grinding the grindstone together with the grinding wheel pressure lever so as to swing along the rolling surface.

一般に、砥石ホルダーには、砥石が挿通される挿通孔が形成されており、挿通孔の軸線に沿って砥石が移動可能に保持される。また、砥石の基端部には、例えば樹脂部材が設けられており、砥石の基端部と砥石加圧レバーとは、砥石の基端部の樹脂部材と砥石加圧レバーとの間に浸透した切削油の表面張力(界面張力)により互いに吸着し合って接続されている。   Generally, the grindstone holder is formed with an insertion hole through which the grindstone is inserted, and the grindstone is held movably along the axis of the insertion hole. Further, for example, a resin member is provided at the base end portion of the grindstone, and the base end portion of the grindstone and the grindstone pressure lever penetrate between the resin member at the base end portion of the grindstone and the grindstone pressure lever. Are attached to each other by the surface tension (interfacial tension) of the cutting oil.

ところで、超仕上げ加工の終了後、ワークを移動および交換する際に、移動するワークと砥石とが接触することにより、砥石の損傷や脱落が発生するおそれがある。そこで、砥石加圧レバーおよび砥石加圧レバーに接続された砥石をワークから離反する方向に移動させ、ワークと砥石との離間距離を十分に確保した後に、ワークを移動および交換することにより、砥石とワークとの接触を防止して砥石の損傷や脱落を防止している。   By the way, when the workpiece is moved and exchanged after the superfinishing process is finished, the moving workpiece and the grindstone come into contact with each other, so that the grindstone may be damaged or dropped off. Therefore, by moving the grinding wheel pressure lever and the grinding wheel connected to the grinding wheel pressure lever in the direction away from the workpiece, and ensuring a sufficient separation distance between the workpiece and the grinding stone, the workpiece is moved and replaced, thereby moving the grinding wheel. This prevents the grinding stone from being damaged and falling off by preventing contact with the workpiece.

特開2004−130457号公報JP 2004-130457 A

しかし、従来技術の転がり軸受の研磨装置には、以下の点で改善の余地があった。
従来の転がり軸受の研磨装置にあっては、砥石の基端部とプッシャー治具との間に切削油が十分に浸透していない場合や、転動面の超仕上げ加工時に発生する磨耗粉等が砥石の基端部とプッシャー治具との間に侵入した場合には、切削油の表面張力が十分に得られない。このため、プッシャー治具が砥石をワークから離反する方向に移動させたときに、砥石の基端部とプッシャー治具との接続が解除されて砥石が移動できないおそれがある。したがって、ワークと砥石との離間距離を十分に確保できず、ワークの交換時にワークと砥石とが接触し、砥石の損傷や脱落が発生するおそれがある。
However, the conventional rolling bearing polishing apparatus has room for improvement in the following points.
In conventional rolling bearing polishing equipment, if the cutting oil does not penetrate sufficiently between the base end of the grinding wheel and the pusher jig, or wear powder generated during super-finishing of the rolling surface, etc. However, the surface tension of the cutting oil cannot be sufficiently obtained when the steel enters between the base end of the grindstone and the pusher jig. For this reason, when the pusher jig moves the grindstone in a direction away from the workpiece, the connection between the base end of the grindstone and the pusher jig may be released and the grindstone may not move. Therefore, a sufficient separation distance between the workpiece and the grindstone cannot be ensured, and the workpiece and the grindstone may come into contact with each other when the workpiece is replaced, and the grindstone may be damaged or dropped off.

これに対して、砥石とプッシャー治具とを相対移動不能に強固に固定し、砥石とプッシャー治具との接続が解除されるのを防止することが考えられる。しかし、砥石とプッシャー治具との間でプッシャー治具等の製造誤差を吸収できず、砥石保持具の挿通孔内で砥石が傾いた状態で移動するおそれがある。これにより、砥石が傾斜した状態で砥石保持具の挿通孔の内周面と接触するため、砥石保持具が磨耗して砥石の保持位置にズレが発生し、精度良く転動面を超仕上げ加工できないおそれがある。   On the other hand, it is conceivable to firmly fix the grindstone and the pusher jig so that they cannot be moved relative to each other, thereby preventing the connection between the grindstone and the pusher jig from being released. However, manufacturing errors such as the pusher jig cannot be absorbed between the grindstone and the pusher jig, and the grindstone may move in an inclined state in the insertion hole of the grindstone holder. As a result, the grindstone comes into contact with the inner peripheral surface of the insertion hole of the grindstone holder in an inclined state, so that the grindstone retainer wears out and a deviation occurs in the grindstone holding position, and the rolling surface is superfinished with high accuracy. It may not be possible.

そこで本発明は、ワーク交換時の砥石の損傷や脱落を防止できるとともに、砥石保持具の磨耗を抑制して精度良く砥石を保持できる転がり軸受の研磨装置の提供を課題とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a rolling bearing polishing apparatus that can prevent the grinding stone from being damaged or dropped off when the workpiece is replaced, and can hold the grinding stone with high accuracy by suppressing the wear of the grinding wheel holder.

上記の課題を解決するため、本発明の転がり軸受の研磨装置は、内輪と、前記内輪を囲繞する外輪と、前記内輪と前記外輪との間に転動自在に保持された複数の転動体と、前記内輪の外周面および前記外輪の内周面に形成され、前記転動体が嵌め込まれる転動面と、を備えた転がり軸受の前記転動面を超仕上げ加工するための転がり軸受の研磨装置であって、ワークである前記内輪または前記外輪に当接し、前記転動面を研磨して超仕上げ加工する砥石と、前記ワークの中心軸に直交する第一方向に沿うように前記砥石を挿通可能な挿通孔を備え、前記第一方向に沿うように前記砥石を移動可能に保持する砥石保持具と、前記第一方向に直交する第二方向に沿うように延在し、前記砥石の基端部が接続されて前記砥石を前記第一方向に沿うように移動させ、前記転動面に対して前記砥石を当接または離反させるプッシャー治具と、を備え、前記砥石の基端部は、前記プッシャー治具に対して、前記第一方向と前記第二方向とに直交する第三方向に沿う軸線を中心に回動可能に接続されていることを特徴としている。   In order to solve the above-described problems, a rolling bearing polishing apparatus according to the present invention includes an inner ring, an outer ring surrounding the inner ring, and a plurality of rolling elements that are rotatably held between the inner ring and the outer ring. A rolling bearing polishing apparatus for superfinishing the rolling surface of the rolling bearing, comprising: a rolling surface formed on an outer peripheral surface of the inner ring and an inner peripheral surface of the outer ring, and the rolling element is fitted into the rolling ring. The grindstone is in contact with the inner ring or the outer ring, which is a workpiece, and grinds the rolling surface to perform superfinishing, and the grindstone is inserted along a first direction perpendicular to the central axis of the workpiece. A grindstone holder provided with a possible insertion hole, and movably holding the grindstone along the first direction, and extending along a second direction orthogonal to the first direction, The end is connected and the grindstone is along the first direction. And a pusher jig that contacts or separates the grindstone from the rolling surface, and a base end portion of the grindstone is disposed in the first direction and the first direction with respect to the pusher jig. It is characterized by being connected so as to be rotatable about an axis along a third direction orthogonal to the two directions.

本発明によれば、砥石の基端部は、プッシャー治具に対して、第三方向に沿う軸線を中心に回動可能に接続されているので、ワーク交換時に砥石をワークから確実に離反させることができ、ワーク交換時に砥石とワークとが接触するのを防止できる。
また、取付誤差や製造誤差等によりプッシャー治具のズレが発生しても、砥石の基端部が回動してプッシャー治具のズレを吸収し、砥石にズレが発生するのを防止できる。これにより、砥石を第一方向に沿うように移動させて、砥石をワークに対して当接離反させることができるので、砥石が傾いた状態で砥石保持具の挿通孔の内周面に接触するのを防止できる。
したがって、ワーク交換時の砥石の損傷や脱落を防止できるとともに、砥石保持具の磨耗を抑制して精度良く砥石を保持できる。
According to the present invention, the base end portion of the grindstone is connected to the pusher jig so as to be rotatable around an axis line along the third direction, so that the grindstone is reliably separated from the work when the work is replaced. It is possible to prevent the grindstone and the workpiece from contacting each other during workpiece exchange.
Further, even when the pusher jig is displaced due to an attachment error, a manufacturing error, or the like, the base end portion of the grindstone can be rotated to absorb the displacement of the pusher jig, thereby preventing the grinder from being displaced. Thereby, since the grindstone can be moved along the first direction and the grindstone can be brought into contact with and separated from the workpiece, the grindstone comes into contact with the inner peripheral surface of the insertion hole of the grindstone holder in a tilted state. Can be prevented.
Therefore, it is possible to prevent the grinding stone from being damaged or dropped off when the workpiece is replaced, and it is possible to hold the grinding stone with high accuracy by suppressing the wear of the grinding stone holder.

また、前記砥石の基端部および前記プッシャー治具のいずれか一方には、凸部が形成され、前記砥石の基端部および前記プッシャー治具のいずれか他方には、前記凸部と嵌合可能な凹部が形成され、前記砥石の基端部と前記プッシャー治具とは、前記凸部と前記凹部とが嵌合することにより接続され、前記凸部の前記第二方向と交差する側面と、前記凹部の前記第二方向と交差する側面との間には、隙間が設けられていることを特徴としている。   A convex portion is formed on one of the base end portion of the grindstone and the pusher jig, and the convex portion is fitted on either one of the base end portion of the grindstone and the pusher jig. A concave portion is formed, and the base end portion of the grindstone and the pusher jig are connected by fitting the convex portion and the concave portion, and a side surface that intersects the second direction of the convex portion; A gap is provided between a side surface of the recess that intersects the second direction.

本発明によれば、砥石の基端部とプッシャー治具とは、凸部と凹部とが嵌合することにより接続されているので、従来技術と比べて砥石とプッシャー治具との接続が解除されるのを抑制できる。したがって、砥石をワークから確実に離反させることができるので、ワーク交換時の砥石の損傷や脱落を防止できる。
また、凸部の第二方向と交差する側面と凹部の第二方向と交差する側面との間に隙間を設けているので、砥石の基端部は、第三方向に沿う軸線を中心に容易に回動できる。したがって、砥石保持具の磨耗を確実に抑制して精度良く砥石を保持できる。
また、凸部と凹部とを嵌合および解除するだけで、砥石の基端部とプッシャー治具とを容易に着脱できる。したがって、転がり軸受の研磨装置を容易にメンテナンスできる。
According to the present invention, since the base end portion of the grindstone and the pusher jig are connected by fitting the convex portion and the concave portion, the connection between the grindstone and the pusher jig is released as compared with the prior art. Can be suppressed. Therefore, since the grindstone can be reliably separated from the workpiece, it is possible to prevent the grindstone from being damaged or dropped when the workpiece is replaced.
In addition, since a gap is provided between the side surface that intersects the second direction of the convex portion and the side surface that intersects the second direction of the concave portion, the base end portion of the grindstone is easily centered about the axis line along the third direction. Can be rotated. Therefore, it is possible to hold the grindstone with high accuracy by reliably suppressing the wear of the grindstone holder.
Further, the base end portion of the grindstone and the pusher jig can be easily attached and detached simply by fitting and releasing the convex portion and the concave portion. Therefore, the rolling bearing polishing apparatus can be easily maintained.

また、前記砥石の基端部と前記プッシャー治具とは、前記第三方向に沿うように設けられたピン部材により接続されていることを特徴としている。   Further, the base end portion of the grindstone and the pusher jig are connected by a pin member provided along the third direction.

本発明によれば、ピン部材により砥石の基端部とプッシャー治具とが確実に接続されるとともに、ピン部材の中心軸周りに砥石の基端部が容易に回動できる。したがって、砥石をワークから離反させてワーク交換時の砥石の損傷や脱落を確実に防止できるとともに、砥石保持具の磨耗をさらに抑制して精度良く砥石を保持できる。   According to the present invention, the base end portion of the grindstone and the pusher jig are reliably connected by the pin member, and the base end portion of the grindstone can be easily rotated around the central axis of the pin member. Therefore, the grindstone can be separated from the work to reliably prevent the grindstone from being damaged or dropped when the work is replaced, and the grindstone can be held with high accuracy by further suppressing wear of the grindstone holder.

また、前記砥石の基端部および前記プッシャー治具のいずれか一方には、係合爪部が形成され、前記砥石の基端部および前記プッシャー治具のいずれか他方には、前記係合爪部と係合可能な係合凹部が形成され、前記砥石の基端部と前記プッシャー治具とは、前記係合爪部と前記係合凹部とが係合することにより接続されていることを特徴としている。   Further, an engagement claw portion is formed on one of the base end portion of the grindstone and the pusher jig, and the engagement claw is formed on the other end of the base end portion of the grindstone and the pusher jig. An engagement recess that can be engaged with the portion is formed, and the proximal end portion of the grindstone and the pusher jig are connected by engagement of the engagement claw portion and the engagement recess. It is a feature.

本発明によれば、係合爪部と係合凹部とを係合および解除するだけで、砥石の基端部とプッシャー治具とを容易に着脱できる。したがって、転がり軸受の研磨装置を容易にメンテナンスできる。   According to the present invention, the base end portion of the grindstone and the pusher jig can be easily attached and detached simply by engaging and releasing the engaging claw portion and the engaging concave portion. Therefore, the rolling bearing polishing apparatus can be easily maintained.

また、前記砥石の基端部と前記プッシャー治具との間には、中間部材が設けられ、前記砥石の基端部と前記プッシャー治具とは、前記中間部材を介して接続されていることを特徴としている。   Further, an intermediate member is provided between the base end portion of the grindstone and the pusher jig, and the base end portion of the grindstone and the pusher jig are connected via the intermediate member. It is characterized by.

本発明によれば、中間部材の形状を適宜変更することにより、種々の砥石およびプッシャー治具に対応できる。特に、砥石を複雑な形状に加工するのは困難であるため、砥石を加工することなく中間部材の形状を適宜変更して、種々の砥石およびプッシャー治具の形状に対応させる場合に好適である。   According to the present invention, various grinding wheels and pusher jigs can be handled by appropriately changing the shape of the intermediate member. In particular, since it is difficult to process the grindstone into a complicated shape, it is suitable when the shape of the intermediate member is appropriately changed without processing the grindstone to correspond to the shapes of various grindstones and pusher jigs. .

また、前記砥石の基端部と前記プッシャー治具とは、磁力により接続されていることを特徴としている。   Further, the base end portion of the grindstone and the pusher jig are connected by magnetic force.

本発明によれば、砥石の基端部とプッシャー治具とを容易に着脱できる。したがって、転がり軸受の研磨装置を容易にメンテナンスできる。   According to the present invention, the base end portion of the grindstone and the pusher jig can be easily attached and detached. Therefore, the rolling bearing polishing apparatus can be easily maintained.

また、前記砥石の基端部に、樹脂部材を備えたことを特徴としている。   Further, a resin member is provided at a base end portion of the grindstone.

本発明によれば、樹脂部材は複雑な形状を容易にインジェクション成型できるので、プッシャー治具に対応した砥石の基端部の形状を適宜形成できる。   According to the present invention, since the resin member can be easily injection-molded with a complicated shape, the shape of the base end portion of the grindstone corresponding to the pusher jig can be appropriately formed.

本発明によれば、砥石の基端部は、プッシャー治具に対して、第三方向に沿う軸線を中心に回動可能に接続されているので、ワーク交換時に砥石をワークから確実に離反させることができ、ワーク交換時に砥石とワークとが接触するのを防止できる。
また、取付誤差や製造誤差等によりプッシャー治具のズレが発生しても、砥石の基端部が回動してプッシャー治具のズレを吸収し、砥石にズレが発生するのを防止できる。これにより、砥石を第一方向に沿うように移動させて、砥石をワークに対して当接離反させることができるので、砥石が傾いた状態で砥石保持具の挿通孔の内周面に接触するのを防止できる。
したがって、ワーク交換時の砥石の損傷や脱落を防止できるとともに、砥石保持具の磨耗を抑制して精度良く砥石を保持できる。
According to the present invention, the base end portion of the grindstone is connected to the pusher jig so as to be rotatable around an axis line along the third direction, so that the grindstone is reliably separated from the work when the work is replaced. It is possible to prevent the grindstone and the workpiece from contacting each other during workpiece exchange.
Further, even when the pusher jig is displaced due to an attachment error, a manufacturing error, or the like, the base end portion of the grindstone can be rotated to absorb the displacement of the pusher jig, thereby preventing the grinder from being displaced. Thereby, since the grindstone can be moved along the first direction and the grindstone can be brought into contact with and separated from the workpiece, the grindstone comes into contact with the inner peripheral surface of the insertion hole of the grindstone holder in a tilted state. Can be prevented.
Therefore, it is possible to prevent the grinding stone from being damaged or dropped off when the workpiece is replaced, and it is possible to hold the grinding stone with high accuracy by suppressing the wear of the grinding stone holder.

実施形態に係る情報記録再生装置の斜視図である。1 is a perspective view of an information recording / reproducing apparatus according to an embodiment. 実施形態に係る軸受装置の側面断面図である。It is side surface sectional drawing of the bearing apparatus which concerns on embodiment. 第一実施形態に係る転がり軸受の研磨装置の全体模式図であり、図3(a)は正面図であり、図3(b)は側面図である。It is a whole schematic diagram of the grinding device of a rolling bearing concerning a first embodiment, Drawing 3 (a) is a front view, and Drawing 3 (b) is a side view. 第一実施形態に係る転がり軸受の研磨装置の斜視図である。It is a perspective view of the grinding | polishing apparatus of the rolling bearing which concerns on 1st embodiment. 第一実施形態に係る転がり軸受の研磨装置の平面図である。It is a top view of the grinding | polishing apparatus of the rolling bearing which concerns on 1st embodiment. 図5のA−A線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the AA line of FIG. 図5のB−B線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the BB line of FIG. 第一実施形態の変形例に係る転がり軸受の研磨装置の平面図である。It is a top view of the grinding | polishing apparatus of the rolling bearing which concerns on the modification of 1st embodiment. 第二実施形態に係る転がり軸受の研磨装置の平面図である。It is a top view of the grinding | polishing apparatus of the rolling bearing which concerns on 2nd embodiment. 図9のC−C線に沿った断面図である。It is sectional drawing along CC line of FIG. 第三実施形態に係る転がり軸受の研磨装置の平面図である。It is a top view of the grinding | polishing apparatus of the rolling bearing which concerns on 3rd embodiment. 第四実施形態に係る転がり軸受の研磨装置の平面図である。It is a top view of the grinding | polishing apparatus of the rolling bearing which concerns on 4th embodiment. 中間部材の斜視図である。It is a perspective view of an intermediate member. 第五実施形態に係る転がり軸受の研磨装置の平面図である。It is a top view of the grinding | polishing apparatus of the rolling bearing which concerns on 5th embodiment. 第五実施形態の変形例に係る転がり軸受の研磨装置の平面図である。It is a top view of the grinding | polishing apparatus of the rolling bearing which concerns on the modification of 5th embodiment.

以下に、第一実施形態に係る転がり軸受の研磨装置について説明をする。以下では、実施形態に係る転がり軸受を備えた情報記録再生装置および転がり軸受を備えた軸受装置について説明したあと、第一実施形態に係る転がり軸受の研磨装置について説明をする。   The rolling bearing polishing apparatus according to the first embodiment will be described below. Below, after explaining the information recording / reproducing apparatus provided with the rolling bearing which concerns on embodiment, and the bearing apparatus provided with the rolling bearing, the grinding | polishing apparatus of the rolling bearing which concerns on 1st embodiment is demonstrated.

(情報記録再生装置)
図1は、実施形態に係る情報記録再生装置1の斜視図である。
図1に示すように、情報記録再生装置1は、記録層を有するディスク(磁気記録媒体)Dに対して、書き込みおよび読み取りを行う装置である。情報記録再生装置1は、アーム(回動部材)8と、アーム8の先端側に支持されたヘッドジンバルアセンブリ4と、ヘッドジンバルアセンブリ4の先端に装着されたスライダ2と、ヘッドジンバルアセンブリ4をスキャン移動させるアクチュエータ(VCM:ボイスコイルモータ)6と、ディスクDを回転させるスピンドルモータ7と、情報に応じて変調した電流をスライダ2に供給する制御部5と、これら各構成品を内部に収容するハウジング9と、を備えている。
(Information recording / reproducing device)
FIG. 1 is a perspective view of an information recording / reproducing apparatus 1 according to the embodiment.
As shown in FIG. 1, the information recording / reproducing apparatus 1 is an apparatus that writes and reads data on a disk (magnetic recording medium) D having a recording layer. The information recording / reproducing apparatus 1 includes an arm (rotating member) 8, a head gimbal assembly 4 supported on the tip side of the arm 8, a slider 2 attached to the tip of the head gimbal assembly 4, and a head gimbal assembly 4. An actuator (VCM: voice coil motor) 6 for moving the scan, a spindle motor 7 for rotating the disk D, a control unit 5 for supplying a current modulated in accordance with information to the slider 2, and these components are housed inside. And a housing 9 to be provided.

ハウジング9は、例えばアルミニウムや鉄、ステンレス等の金属材料からなり、上部に開口部を有する箱型形状のものであって、平面視四角形状の底部9aと、底部9aの周縁部から垂直に立設された周壁(不図示)とで構成されている。周壁に囲まれたハウジング9の内側には、上述した各構成品を収容する収容凹部が形成される。底部9aの略中心には、スピンドルモータ7が取り付けられており、スピンドルモータ7に中心孔を嵌め込むことでディスクDが着脱自在に固定されている。   The housing 9 is made of a metal material such as aluminum, iron, or stainless steel, and has a box shape with an opening at the top. The housing 9 stands vertically from the rectangular bottom 9a and the peripheral edge of the bottom 9a. It is comprised with the surrounding wall (not shown) provided. A housing recess for housing each of the above-described components is formed inside the housing 9 surrounded by the peripheral wall. A spindle motor 7 is attached to substantially the center of the bottom portion 9a, and the disc D is detachably fixed by fitting a center hole into the spindle motor 7.

ディスクDの側方には、軸受装置10が配置されている。軸受装置10の一方側端部は、ハウジング9の底部9aに支持されている。軸受装置10の外周面には、アーム8が外嵌固着されている。アーム8の基端部は、上述したアクチュエータ6に接続されている。またアーム8は、基端側から先端側に向かって、ディスクDの表面と平行に延設されている。
アーム8の先端には、ヘッドジンバルアセンブリ4が接続されている。ヘッドジンバルアセンブリ4は、サスペンション3と、サスペンション3の先端に装着され、ディスクDの表面に対向配置されたスライダ2と、を備えている。スライダ2は、ディスクDに対する情報の書き込み(記録)を行う記録素子と、ディスクDから情報の読み取り(再生)を行う再生素子とを備えている。
A bearing device 10 is disposed on the side of the disk D. One end of the bearing device 10 is supported by the bottom 9 a of the housing 9. An arm 8 is fitted and fixed to the outer peripheral surface of the bearing device 10. The base end portion of the arm 8 is connected to the actuator 6 described above. Further, the arm 8 extends in parallel with the surface of the disk D from the proximal end side toward the distal end side.
A head gimbal assembly 4 is connected to the tip of the arm 8. The head gimbal assembly 4 includes a suspension 3 and a slider 2 that is attached to the tip of the suspension 3 and is disposed to face the surface of the disk D. The slider 2 includes a recording element for writing (recording) information on the disk D and a reproducing element for reading (reproducing) information from the disk D.

上記のように構成された情報記録再生装置1において、情報の記録または再生を行うには、まずスピンドルモータ7を駆動して、ディスクDの中心軸L2回りにディスクDを回転させる。また、アクチュエータ6を駆動して、軸受装置10を回動中心としてアーム8を回動させる。これにより、ヘッドジンバルアセンブリ4の先端に配置されたスライダ2を、ディスクDの表面の各部にスキャン移動させることができる。そして、スライダ2の記録素子または再生素子を駆動することにより、ディスクDに対する情報の記録または再生を行うことができる。   In the information recording / reproducing apparatus 1 configured as described above, in order to record or reproduce information, the spindle motor 7 is first driven to rotate the disk D around the central axis L2 of the disk D. Further, the actuator 6 is driven to rotate the arm 8 around the bearing device 10 as the rotation center. As a result, the slider 2 disposed at the tip of the head gimbal assembly 4 can be scanned and moved to each part of the surface of the disk D. Then, by driving the recording element or reproducing element of the slider 2, information can be recorded or reproduced on the disk D.

(軸受装置)
図2は、実施形態に係る軸受装置10の側面断面図である。
図2に示すように、軸受装置10は、略円柱状に形成されたシャフト20と、シャフト20の軸方向に並んで配置された一対の転がり軸受11,12と、一対の転がり軸受11,12に外嵌される略円筒状のスリーブ15と、を備えている。シャフト20、一対の転がり軸受11,12およびスリーブ15は、それぞれ共通の中心軸L1に対して同軸上に配置されている。
(Bearing device)
FIG. 2 is a side sectional view of the bearing device 10 according to the embodiment.
As shown in FIG. 2, the bearing device 10 includes a shaft 20 formed in a substantially cylindrical shape, a pair of rolling bearings 11 and 12 arranged side by side in the axial direction of the shaft 20, and a pair of rolling bearings 11 and 12. And a substantially cylindrical sleeve 15 that is externally fitted to the sleeve. The shaft 20, the pair of rolling bearings 11 and 12, and the sleeve 15 are arranged coaxially with respect to the common central axis L1.

シャフト20は、略円柱形状の棒状部材であり、長手方向(軸方向)の一端側に第一転がり軸受11が装着され、第一転がり軸受11と軸方向に所定間隔を空けて第二転がり軸受12が装着されている。また、シャフト20の一端側の端面には、シャフト20の本体部の直径よりも拡径され、第一転がり軸受11と当接されるフランジ部20aが形成されている。   The shaft 20 is a substantially cylindrical rod-like member, and the first rolling bearing 11 is attached to one end side in the longitudinal direction (axial direction), and the second rolling bearing is spaced apart from the first rolling bearing 11 in the axial direction. 12 is mounted. In addition, a flange portion 20 a that is larger in diameter than the diameter of the main body portion of the shaft 20 and is in contact with the first rolling bearing 11 is formed on the end face on one end side of the shaft 20.

第一転がり軸受11および第二転がり軸受12は、同一形状で形成された軸受である。したがって、以下では、第一転がり軸受11についてのみ説明をし、第二転がり軸受12については説明を省略する。
第一転がり軸受11は、内輪11aと、内輪11aに対して同軸に配置されて内輪11aを囲繞する外輪11bと、内輪11aと外輪11bとの間に転動自在に保持された複数の転動体11cと、を有している。
第一転がり軸受11の内輪11aには、転動体11cを転動自在に保持する側面断面が円弧状の内輪転動面11dが形成されている。内輪転動面11dは、内輪11aの外周面の全周にわたって形成されている。
第一転がり軸受11の外輪11bには、転動体11cを転動自在に保持する側面断面が円弧状の外輪転動面11eが、内輪転動面11dに対向するように形成されている。外輪転動面11eは、外輪11bの内周面の全周にわたって形成されている。
The first rolling bearing 11 and the second rolling bearing 12 are bearings formed in the same shape. Accordingly, only the first rolling bearing 11 will be described below, and the description of the second rolling bearing 12 will be omitted.
The first rolling bearing 11 includes an inner ring 11a, an outer ring 11b that is disposed coaxially with the inner ring 11a and surrounds the inner ring 11a, and a plurality of rolling elements that are rotatably held between the inner ring 11a and the outer ring 11b. 11c.
The inner ring 11a of the first rolling bearing 11 is formed with an inner ring rolling surface 11d having an arc-shaped side section that holds the rolling element 11c in a freely rolling manner. The inner ring rolling surface 11d is formed over the entire circumference of the outer circumferential surface of the inner ring 11a.
The outer ring 11b of the first rolling bearing 11 is formed with an outer ring rolling surface 11e having an arc-shaped side section that holds the rolling element 11c in a freely rolling manner so as to face the inner ring rolling surface 11d. The outer ring rolling surface 11e is formed over the entire circumference of the inner circumferential surface of the outer ring 11b.

スリーブ15は、円筒状に形成された部材であり、長手方向(軸方向)の一端側に第一転がり軸受11が装着され、他端側に第二転がり軸受12が装着される。
スリーブ15の軸方向の中間部には、第一転がり軸受11と第二転がり軸受12との間隔を所定距離に保持するスペーサ部17が径方向内側に突出形成されている。なお、スリーブ15とスペーサ部17とは別部材で構成してもよい。
The sleeve 15 is a cylindrical member, and the first rolling bearing 11 is mounted on one end side in the longitudinal direction (axial direction), and the second rolling bearing 12 is mounted on the other end side.
A spacer portion 17 that holds the distance between the first rolling bearing 11 and the second rolling bearing 12 at a predetermined distance is formed on the intermediate portion in the axial direction of the sleeve 15 so as to protrude radially inward. In addition, you may comprise the sleeve 15 and the spacer part 17 by another member.

(第一実施形態の転がり軸受の研磨装置)
図3は、第一実施形態に係る転がり軸受の研磨装置30の全体模式図であり、図3(a)は正面図であり、図3(b)は側面図である。なお、図3(a)では、分かり易くするために、バッキングプレート26については部分的に断面図としている。また、図3(b)では、分かり易くするために、バッキングプレート26およびフロントプレート27を二点鎖線で図示している。
第一実施形態に係る転がり軸受の研磨装置30は、ワークWである内輪11aの内輪転動面11dを超仕上げ加工するための装置である。なお、図3(a)および(b)における上下方向は鉛直上下方向に相当する。また、以下では、水平面内においてワークWの中心軸L1に直交する方向をX方向(請求項の「第一方向」に相当。)と定義し、ワークWの中心軸L1に沿うとともにX方向に直交する方向をY方向(請求項の「第二方向」に相当。)と定義し、X方向とY方向とに直交する方向をZ方向(請求項の「第三方向」に相当。)と定義する。本実施形態においては、X方向およびY方向が水平方向に相当し、Z方向が鉛直方向に相当している。
(Rolling bearing polishing apparatus of the first embodiment)
FIG. 3 is an overall schematic view of the rolling bearing polishing device 30 according to the first embodiment, FIG. 3 (a) is a front view, and FIG. 3 (b) is a side view. In FIG. 3A, the backing plate 26 is partially shown in a sectional view for easy understanding. Further, in FIG. 3B, the backing plate 26 and the front plate 27 are illustrated by two-dot chain lines for easy understanding.
The rolling bearing polishing device 30 according to the first embodiment is a device for superfinishing the inner ring rolling surface 11d of the inner ring 11a that is the workpiece W. Note that the vertical direction in FIGS. 3A and 3B corresponds to the vertical vertical direction. In the following, the direction orthogonal to the central axis L1 of the workpiece W in the horizontal plane is defined as the X direction (corresponding to the “first direction” in the claims), and along the central axis L1 of the workpiece W and in the X direction. A direction orthogonal to the Y direction (corresponding to “second direction” in claims) is defined, and a direction orthogonal to the X direction and Y direction is referred to as Z direction (corresponding to “third direction” in claims). Define. In the present embodiment, the X direction and the Y direction correspond to the horizontal direction, and the Z direction corresponds to the vertical direction.

図3(a)および(b)に示すように、本実施形態の転がり軸受の研磨装置30は、主にプレッシャーロータ22と、バッキングプレート26と、フロントプレート27と、シュー28と、一対の回転ローラ25a,25bと、砥石31と、砥石保持具40と、プッシャー治具50と、により構成されている。以下に、転がり軸受の研磨装置30の各構成部品について説明する。   As shown in FIGS. 3A and 3B, the rolling bearing polishing apparatus 30 of this embodiment mainly includes a pressure rotor 22, a backing plate 26, a front plate 27, a shoe 28, and a pair of rotations. The rollers 25 a and 25 b, the grindstone 31, the grindstone holder 40, and the pusher jig 50 are configured. Below, each component of the grinding | polishing apparatus 30 of a rolling bearing is demonstrated.

図3(a)に示すように、プレッシャーロータ22は、ワークWの中心軸L1と同軸上に配置された円柱状の部材である。プレッシャーロータ22は、Y方向に沿ってスライド移動可能となっており、ワークW側に設けられた縮径部22aがワークWに挿入可能となっている。縮径部22aは、ワークWに挿入されてワークWを回転自在に支持する。
バッキングプレート26およびフロントプレート27は、それぞれワークWを挟んでY方向(すなわち軸方向)の両側に配置されており、ワークWのY方向への移動を規制している。
図3(b)に示すように、シュー28は、X方向において後述する砥石31とは反対側に配置されている。シュー28は、砥石31をワークWに押圧してワークWの内輪転動面11dを超仕上げ加工する際に、ワークWと当接してX方向への移動を規制するとともに、ワークWの内輪転動面11d以外の外周面Waを研磨している。
As shown in FIG. 3A, the pressure rotor 22 is a columnar member arranged coaxially with the central axis L1 of the workpiece W. The pressure rotor 22 is slidable along the Y direction, and a reduced diameter portion 22 a provided on the workpiece W side can be inserted into the workpiece W. The reduced diameter portion 22a is inserted into the workpiece W and rotatably supports the workpiece W.
The backing plate 26 and the front plate 27 are respectively disposed on both sides in the Y direction (that is, the axial direction) with the workpiece W interposed therebetween, and restrict the movement of the workpiece W in the Y direction.
As shown in FIG. 3B, the shoe 28 is disposed on the opposite side to the grindstone 31 described later in the X direction. When the shoe 28 presses the grindstone 31 against the workpiece W to superfinish the inner ring rolling surface 11d of the workpiece W, the shoe 28 abuts against the workpiece W and restricts movement in the X direction. The outer peripheral surface Wa other than the moving surface 11d is polished.

一対の回転ローラ25a,25bは、円柱状の部材であり、ワークWを挟んでZ方向(すなわち鉛直上下方向)の両側に配置されている。例えば、上側の回転ローラ25aは、ワークWに向かって付勢されており、下側の回転ローラ25bは、ワークWと当接してワークWの下側への移動を規制している。これにより、一対の回転ローラ25a,25bの外周面は、それぞれワークWの外周面Waと当接する。
本実施形態では、例えば上側の回転ローラ25aが不図示のモータ等の駆動装置に接続されており、回転ローラ25aの中心軸周りに回転可能に形成されている。上側の回転ローラ25aが回転することにより、ワークWは、プレッシャーロータ22および下側の回転ローラ25bに支持されて中心軸L1周りに回転する。
The pair of rotating rollers 25a and 25b are cylindrical members, and are disposed on both sides in the Z direction (that is, the vertical vertical direction) with the workpiece W interposed therebetween. For example, the upper rotating roller 25a is urged toward the workpiece W, and the lower rotating roller 25b is in contact with the workpiece W and restricts the downward movement of the workpiece W. Thereby, the outer peripheral surfaces of the pair of rotating rollers 25a and 25b are in contact with the outer peripheral surface Wa of the workpiece W, respectively.
In the present embodiment, for example, the upper rotating roller 25a is connected to a driving device such as a motor (not shown) and is formed to be rotatable around the central axis of the rotating roller 25a. As the upper rotating roller 25a rotates, the workpiece W is supported by the pressure rotor 22 and the lower rotating roller 25b and rotates around the central axis L1.

(砥石)
図4は、第一実施形態に係る転がり軸受の研磨装置30の斜視図である。
図5は、第一実施形態に係る転がり軸受の研磨装置30の平面図である。なお、図4および図5では、分かり易くするために、転がり軸受の研磨装置30うちプッシャー治具50、砥石保持具40および砥石31以外の図示を省略している。また、図5において、砥石31の先端部31aがワークWから離間している状態を二点鎖線で図示している。
図4に示すように、砥石31は、ワークWである例えば内輪11aの内輪転動面11dに当接して、内輪転動面11dを超仕上げ加工するものである。
図5に示すように、砥石31は、例えば合成ダイヤモンド等の砥粒がボンド等の結合材料によって結合された角柱状の部材であり、ワークWの内輪転動面11dに当接する先端部31aと、プッシャー治具50に接続される基端部31bと、先端部31aと基端部31bとの間に配置される本体部31cと、により構成されている。
(Whetstone)
FIG. 4 is a perspective view of the rolling bearing polishing apparatus 30 according to the first embodiment.
FIG. 5 is a plan view of the rolling bearing polishing apparatus 30 according to the first embodiment. In FIGS. 4 and 5, illustrations other than the pusher jig 50, the grindstone holder 40, and the grindstone 31 in the polishing device 30 of the rolling bearing are omitted for easy understanding. Further, in FIG. 5, a state where the tip 31 a of the grindstone 31 is separated from the workpiece W is illustrated by a two-dot chain line.
As shown in FIG. 4, the grindstone 31 is in contact with the inner ring rolling surface 11d of the inner ring 11a, which is a workpiece W, and superfinishes the inner ring rolling surface 11d.
As shown in FIG. 5, the grindstone 31 is a prismatic member in which abrasive grains such as synthetic diamond are bonded by a bonding material such as a bond, and a tip portion 31 a that contacts the inner ring rolling surface 11 d of the workpiece W. The base end 31b is connected to the pusher jig 50, and the main body 31c is disposed between the front end 31a and the base end 31b.

図6は、図5のA−A線に沿った断面図である。
図6に示すように、砥石31の本体部31cは、後述する砥石保持具40に形成された挿通孔42内に挿通されており、砥石保持具40によってX方向に沿うように移動可能に保持される。
砥石31の先端部31aは、Z方向から見て内輪転動面11dの側面断面(図2参照)と同じ曲率を有する曲面形状に形成されている。砥石31の先端部31aは、中心軸L1周りに回転するワークWの内輪転動面11dに向かって、プッシャー治具50によって押圧される。
FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
As shown in FIG. 6, the main body 31 c of the grindstone 31 is inserted into an insertion hole 42 formed in the grindstone holder 40 described later, and is held movably along the X direction by the grindstone holder 40. Is done.
The tip 31a of the grindstone 31 is formed in a curved shape having the same curvature as the side cross section (see FIG. 2) of the inner ring rolling surface 11d when viewed from the Z direction. The tip 31a of the grindstone 31 is pressed by the pusher jig 50 toward the inner ring rolling surface 11d of the work W rotating around the central axis L1.

砥石31の基端部31bは、プッシャー治具50に接続されており、ブロック状の樹脂部材32を備えている。樹脂部材32は、X方向から見た外形が砥石31の本体部31cと同一の矩形状に形成されている。樹脂部材32は、例えば接着剤により砥石31に接着固定されて砥石31と一体化しており、砥石31の基端部31bを構成するとともに、プッシャー治具50の凹部52と嵌合可能な凸部33を構成している。   A base end portion 31 b of the grindstone 31 is connected to a pusher jig 50 and includes a block-shaped resin member 32. The resin member 32 is formed in the same rectangular shape as the main body 31c of the grindstone 31 when viewed from the X direction. The resin member 32 is bonded and fixed to the grindstone 31 with an adhesive, for example, and is integrated with the grindstone 31. The resin member 32 constitutes a base end portion 31b of the grindstone 31, and a convex portion that can be fitted into the concave portion 52 of the pusher jig 50. 33 is constituted.

(砥石保持具)
図5に示すように、砥石保持具40は、例えばアルミニウム等の金属材料により形成された長尺の棒状部材であり、Y方向に沿うように延在している。
砥石保持具40の先端部40aには、X方向に沿うように砥石31を挿通可能な挿通孔42が形成されている。挿通孔42は、砥石保持具40の先端部40aをX方向に貫通しており、挿通孔42内には、砥石31の本体部31cが配置される。挿通孔42の内形は、砥石31の外形よりも若干大きく形成されており、X方向に沿うように砥石31を移動可能に保持している。
(Whetstone holder)
As shown in FIG. 5, the grindstone holder 40 is a long rod-like member formed of a metal material such as aluminum, and extends along the Y direction.
An insertion hole 42 through which the grindstone 31 can be inserted is formed in the distal end portion 40a of the grindstone holder 40 along the X direction. The insertion hole 42 penetrates the distal end portion 40 a of the grindstone holder 40 in the X direction, and the main body portion 31 c of the grindstone 31 is disposed in the insertion hole 42. The inner shape of the insertion hole 42 is slightly larger than the outer shape of the grindstone 31, and holds the grindstone 31 so as to be movable along the X direction.

砥石保持具40の基端部40bは、転がり軸受の研磨装置30の本体(不図示)に、例えばモータ等のアクチュエータ(不図示)を介して接続されている。アクチュエータは、超仕上げ加工前後のワークWの着脱時に砥石保持具40を移動させ、砥石保持具40に保持された砥石31を、ワークWの加工原点位置に対して近接離反させている。また、アクチュエータは、内輪転動面11dの超仕上げ加工時に、砥石保持具40に保持された砥石31を、砥石保持具40ごとワークWの内輪転動面11dの湾曲形状に沿って揺動させている。   The base end portion 40b of the grindstone holder 40 is connected to a main body (not shown) of a rolling bearing polishing device 30 via an actuator (not shown) such as a motor. The actuator moves the grindstone holder 40 when attaching and detaching the workpiece W before and after the superfinishing process, and moves the grindstone 31 held by the grindstone holder 40 close to and away from the machining origin position of the workpiece W. Further, the actuator swings the grindstone 31 held by the grindstone holder 40 along with the curved shape of the inner ring rolling face 11d of the workpiece W together with the grindstone holder 40 at the time of superfinishing the inner ring rolling face 11d. ing.

(プッシャー治具)
プッシャー治具50は、砥石保持具40と同様に、例えばアルミニウム等の金属材料により形成された長尺の棒状部材であり、砥石保持具40に対して略平行に、Y方向に沿うように延在している。
図6に示すように、プッシャー治具50の先端部50aには、砥石31が配置されている側に開口を有する凹部52が形成されている。凹部52は、砥石31の基端部31bの樹脂部材32(すなわち凸部33)が嵌合可能に形成されている。
(Pusher jig)
The pusher jig 50 is a long rod-like member formed of a metal material such as aluminum, for example, like the grindstone holder 40, and extends substantially parallel to the grindstone holder 40 along the Y direction. Exist.
As shown in FIG. 6, a concave portion 52 having an opening on the side where the grindstone 31 is disposed is formed at the distal end portion 50 a of the pusher jig 50. The concave portion 52 is formed so that the resin member 32 (that is, the convex portion 33) of the base end portion 31b of the grindstone 31 can be fitted.

図7は、図5のB−B線に沿った断面図である。
図7に示すように、凹部52のZ方向に面する両側面52a,52bの離間距離は、砥石31の凸部33のZ方向に面する両側面33a,33bの離間距離よりも短くなるように形成されている。これにより、砥石31の基端部31bは、凹部52のZ方向に面する両側面52a,52bにより挟持されて、砥石31のZ方向への移動が抑制された状態で保持される。
また、凹部52のY方向に面する(すなわちY方向と交差する)両側面52c,52dの離間距離は、砥石31の凸部33のY方向に面する(すなわちY方向と交差する)両側面33c,33dの離間距離よりも広くなるように形成されている。したがって、凸部33の側面33cと凹部52の側面52cとの間、および凸部33の側面33dと凹部52の側面52dとの間には、隙間が形成される。これにより、砥石31の基端部31bは、凹部52内においてY方向に移動可能な状態で保持され、Z方向に沿う軸線Pを中心に回動可能に接続される。
7 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
As shown in FIG. 7, the distance between the side surfaces 52 a and 52 b facing the Z direction of the recess 52 is shorter than the distance between the side surfaces 33 a and 33 b facing the Z direction of the convex portion 33 of the grindstone 31. Is formed. Thereby, the base end part 31b of the grindstone 31 is clamped by the both side surfaces 52a and 52b facing the Z direction of the recessed part 52, and is hold | maintained in the state in which the movement to the Z direction of the grindstone 31 was suppressed.
In addition, the distance between the side surfaces 52c and 52d facing the Y direction of the concave portion 52 (that is, intersecting the Y direction) is the both side surfaces facing the Y direction of the convex portion 33 of the grindstone 31 (that is, intersecting the Y direction). It is formed so as to be wider than the separation distance between 33c and 33d. Therefore, a gap is formed between the side surface 33 c of the convex portion 33 and the side surface 52 c of the concave portion 52, and between the side surface 33 d of the convex portion 33 and the side surface 52 d of the concave portion 52. Thereby, the base end part 31b of the grindstone 31 is held in a state of being movable in the Y direction in the recess 52, and is connected so as to be rotatable around the axis P along the Z direction.

図5に示すように、プッシャー治具50の基端部50bは、砥石保持具40の基端部40bに、例えば油圧シリンダ等の加圧手段(不図示)を介して接続されている。加圧手段は、プッシャー治具50を砥石保持具40に対して略平行の状態としたまま、X方向にスライド移動させるものである。これにより、プッシャー治具50は、プッシャー治具50の先端部50aに接続された砥石31をX方向に沿って移動させ、内輪転動面11dに対して砥石31の先端部31aを当接または離反させることができる。   As shown in FIG. 5, the proximal end portion 50 b of the pusher jig 50 is connected to the proximal end portion 40 b of the grindstone holder 40 via a pressurizing means (not shown) such as a hydraulic cylinder. The pressurizing means slides the pusher jig 50 in the X direction while keeping the pusher jig 50 substantially parallel to the grindstone holder 40. As a result, the pusher jig 50 moves the grindstone 31 connected to the tip 50a of the pusher jig 50 along the X direction so that the tip 31a of the grindstone 31 abuts against the inner ring rolling surface 11d. Can be separated.

(作用)
続いて、上述のように形成された転がり軸受の研磨装置30の作用について説明する。
図3(a)に示すように、まず、ワークWを転がり軸受の研磨装置30にセットする。
具体的には、不図示のアクチュエータを駆動して、砥石31を砥石保持具40およびプッシャー治具50ごと、ワークWの加工原点位置から離間させる。このとき、プッシャー治具50と砥石保持具40とは略平行のまま互いに離間した状態(すなわち砥石31がプッシャー治具50により押圧されていない状態)となっている。
(Function)
Next, the operation of the rolling bearing polishing apparatus 30 formed as described above will be described.
As shown in FIG. 3A, first, the workpiece W is set in a polishing device 30 for a rolling bearing.
Specifically, an actuator (not shown) is driven to separate the grindstone 31 from the processing origin position of the workpiece W together with the grindstone holder 40 and the pusher jig 50. At this time, the pusher jig 50 and the grindstone holder 40 are separated from each other while being substantially parallel (that is, the grindstone 31 is not pressed by the pusher jig 50).

次いで、バッキングプレート26、フロントプレート27、シュー28および一対の回転ローラ25a,25bで囲まれた領域に、中心軸L1がY方向に沿うようにワークWをセットする。
次いで、プレッシャーロータ22をY方向に沿ってスライド移動させ、先端の縮径部22aをワークWに挿入して、ワークWを中心軸L1周りに回転可能に支持する。
次いで、不図示のアクチュエータを駆動して、砥石31を砥石保持具40およびプッシャー治具50ごと、ワークWの加工原点位置に移動させる。
Next, the workpiece W is set in a region surrounded by the backing plate 26, the front plate 27, the shoe 28, and the pair of rotating rollers 25a and 25b so that the central axis L1 is along the Y direction.
Next, the pressure rotor 22 is slid along the Y direction, and the reduced diameter portion 22a at the tip is inserted into the workpiece W to support the workpiece W so as to be rotatable around the central axis L1.
Next, an actuator (not shown) is driven to move the grindstone 31 to the processing origin position of the workpiece W together with the grindstone holder 40 and the pusher jig 50.

続いて、図3(b)に示すように、上側の回転ローラ25aを回転させて、ワークWを中心軸L1周りに回転させる。
次いで、図5に示すように、加圧手段を作動させてプッシャー治具50を砥石保持具40側(図5における左側)にスライド移動させ、砥石31の先端部31aを回転するワークWの内輪転動面11dに押圧する。
ここで、例えば転がり軸受の研磨装置30の本体に対するプッシャー治具50の取付誤差や、プッシャー治具50の製造誤差等により、プッシャー治具50のズレが発生する場合がある。しかし、砥石31の基端部31bは、プッシャー治具50に対して、軸線Pを中心に回動可能に接続されているので、砥石31の基端部31bが回動して、X方向およびY方向に対するプッシャー治具50のズレを吸収できる。これにより、砥石31は、傾いた状態で砥石保持具40の挿通孔42の内周面に接触するのが防止されて、X方向に沿うように砥石保持具40の挿通孔42内を移動する。
Subsequently, as shown in FIG. 3B, the upper rotating roller 25a is rotated to rotate the workpiece W around the central axis L1.
Next, as shown in FIG. 5, the pressing means 50 is operated to slide the pusher jig 50 toward the grindstone holder 40 (left side in FIG. 5), and the inside of the work W rotating the tip 31 a of the grindstone 31. Press against the rolling surface 11d.
Here, the pusher jig 50 may be displaced due to, for example, an attachment error of the pusher jig 50 with respect to the main body of the rolling bearing polishing apparatus 30 or a manufacturing error of the pusher jig 50. However, since the base end portion 31b of the grindstone 31 is connected to the pusher jig 50 so as to be rotatable about the axis P, the base end portion 31b of the grindstone 31 is rotated to rotate in the X direction. The displacement of the pusher jig 50 with respect to the Y direction can be absorbed. Thereby, the grindstone 31 is prevented from coming into contact with the inner peripheral surface of the insertion hole 42 of the grindstone holder 40 in an inclined state, and moves in the insertion hole 42 of the grindstone holder 40 along the X direction. .

次いで、回転するワークWの内輪転動面11dに砥石31の先端部31aを押圧したまま、不図示のアクチュエータを駆動し、内輪転動面11dの湾曲形状に沿って、砥石保持具40およびプッシャー治具50ごと砥石31の先端部31aを揺動させる。これにより、内輪転動面11dには、超仕上げ加工が施される。内輪転動面11dが研磨され、所定の面粗度になった時点で、内輪転動面11dの超仕上げ加工が終了する。   Next, the actuator (not shown) is driven while pressing the tip 31a of the grindstone 31 against the inner ring rolling surface 11d of the rotating workpiece W, and the grindstone holder 40 and the pusher are moved along the curved shape of the inner ring rolling surface 11d. The tip portion 31a of the grindstone 31 is swung together with the jig 50. Thereby, super finishing is given to inner ring rolling surface 11d. When the inner ring rolling surface 11d is polished and has a predetermined surface roughness, the super finishing of the inner ring rolling surface 11d is completed.

内輪転動面11dの超仕上げ加工が終了した後、ワークWを着脱してワークWの交換を行う。このとき、加圧手段の作動を解除して、プッシャー治具50を砥石保持具40とは反対側(図5における右側)にスライド移動させ、砥石31の先端部31aをワークWから離反させる。
ここで、従来技術においては、砥石の基端部とプッシャー治具とは、切削油の表面張力(界面張力)により互いに吸着し合って接続されていたため、砥石とプッシャー治具との接続が解除されて砥石がワークから離反できないおそれがあった。
しかし、本実施形態では、砥石31は、基端部31bの凸部33とプッシャー治具50の凹部52とが嵌合することにより接続されているので、従来技術と比べて砥石31とプッシャー治具50との接続が解除されるのを抑制できる。したがって、砥石31をワークWから確実に離反させることができる。また、砥石31をワークWから離反させる場合においても、前述同様に、砥石31の基端部31bが回動して、Y方向に対するプッシャー治具50のズレが吸収される。したがって、砥石31は、傾いた状態で砥石保持具40の挿通孔42の内周面に接触するのが防止されて、X方向に沿うように砥石保持具40の挿通孔42内を移動する。
After the superfinishing of the inner ring rolling surface 11d is completed, the workpiece W is attached and detached and the workpiece W is exchanged. At this time, the operation of the pressurizing means is released, and the pusher jig 50 is slid to the side opposite to the grindstone holder 40 (right side in FIG. 5) to separate the tip 31a of the grindstone 31 from the workpiece W.
Here, in the prior art, since the base end portion of the grindstone and the pusher jig are connected to each other by the surface tension (interface tension) of the cutting oil, the connection between the grindstone and the pusher jig is released. There was a possibility that the grindstone could not be separated from the workpiece.
However, in the present embodiment, the grindstone 31 is connected by fitting the convex portion 33 of the base end portion 31b and the concave portion 52 of the pusher jig 50, so that the grindstone 31 and the pusher treatment are compared with the prior art. It is possible to suppress the connection with the tool 50 from being released. Therefore, the grindstone 31 can be reliably separated from the workpiece W. Further, when the grindstone 31 is separated from the workpiece W, the base end portion 31b of the grindstone 31 rotates as described above, and the displacement of the pusher jig 50 with respect to the Y direction is absorbed. Therefore, the grindstone 31 is prevented from coming into contact with the inner peripheral surface of the insertion hole 42 of the grindstone holder 40 in an inclined state, and moves in the insertion hole 42 of the grindstone holder 40 along the X direction.

(第一実施形態の効果)
第一実施形態によれば、砥石31の基端部31bは、プッシャー治具50に対して、Z方向に沿う軸線Pを中心に回動可能に接続されているので、ワークW交換時に砥石31をワークWから確実に離反させることができ、ワークW交換時に砥石31とワークWとが接触するのを防止できる。
また、取付誤差や製造誤差等により、プッシャー治具50のズレが発生しても、砥石31の基端部31bが回動してプッシャー治具50のズレを吸収し、砥石31にズレが発生するのを防止できる。これにより、砥石31をX方向に沿うように移動させて、砥石31をワークWに対して当接離反させることができるので、砥石31が傾いた状態で砥石保持具40の挿通孔42の内周面に接触するのを防止できる。
したがって、ワークW交換時の砥石31の損傷や脱落を防止できるとともに、砥石保持具40の磨耗を抑制して精度良く砥石31を保持できる。
(Effects of the first embodiment)
According to the first embodiment, the base end portion 31b of the grindstone 31 is connected to the pusher jig 50 so as to be rotatable about the axis P along the Z direction. Can be reliably separated from the workpiece W, and contact between the grindstone 31 and the workpiece W can be prevented when the workpiece W is exchanged.
Even if the pusher jig 50 is displaced due to an attachment error or a manufacturing error, the base end portion 31b of the grindstone 31 rotates to absorb the displacement of the pusher jig 50, and the grindstone 31 is displaced. Can be prevented. Accordingly, the grindstone 31 can be moved along the X direction so that the grindstone 31 can be brought into contact with and separated from the workpiece W, so that the inside of the insertion hole 42 of the grindstone holder 40 in a state where the grindstone 31 is inclined. Contact with the peripheral surface can be prevented.
Therefore, the grindstone 31 can be prevented from being damaged or dropped when the workpiece W is exchanged, and the grindstone 31 can be held with high accuracy by suppressing the wear of the grindstone holder 40.

また、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50とは、凸部33と凹部52とが嵌合することにより接続されているので、従来技術と比べて砥石31とプッシャー治具50との接続が解除されるのを抑制できる。したがって、砥石31をワークWから確実に離反させることができるので、ワークW交換時の砥石31の損傷や脱落を防止できる。
また、凸部33のY方向と交差する側面33c,33dと凹部52のY方向と交差する側面52c,52dとの間に隙間を設けているので、砥石31の基端部31bは、Z方向に沿う軸線Pを中心に容易に回動できる。したがって、砥石保持具40の磨耗を確実に抑制して精度良く砥石31を保持できる。
また、凸部33と凹部52とを嵌合および解除するだけで、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50とを容易に着脱できる。したがって、転がり軸受の研磨装置30を容易にメンテナンスできる。
Moreover, since the base end part 31b of the grindstone 31 and the pusher jig 50 are connected by fitting the convex part 33 and the concave part 52, the grindstone 31 and the pusher jig 50 are compared with the prior art. It is possible to suppress the disconnection. Therefore, since the grindstone 31 can be reliably separated from the workpiece W, the grindstone 31 can be prevented from being damaged or dropped when the workpiece W is replaced.
Moreover, since the clearance gap is provided between the side surfaces 33c and 33d which cross | intersect the Y direction of the convex part 33, and the side surfaces 52c and 52d which cross | intersect the Y direction of the recessed part 52, the base end part 31b of the grindstone 31 is Z direction. It can be easily rotated around the axis line P. Therefore, it is possible to hold the grindstone 31 with high accuracy by reliably suppressing the wear of the grindstone holder 40.
Moreover, the base end part 31b of the grindstone 31 and the pusher jig | tool 50 can be easily attached or detached only by fitting and releasing the convex part 33 and the recessed part 52. FIG. Therefore, the rolling bearing polishing apparatus 30 can be easily maintained.

(第一実施形態の変形例)
図8は、第一実施形態の変形例に係る転がり軸受の研磨装置30の平面図である。
続いて、第一実施形態の変形例に係る転がり軸受の研磨装置30について説明する。なお、以下では、第一実施形態と同様の構成部分については説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
第一実施形態の転がり軸受の研磨装置30は、砥石31に凸部33が形成され、プッシャー治具50に凹部52が形成されていた(図6参照)。
これに対して、図8に示す第一実施形態の変形例のように、砥石31に凹部34が形成され、プッシャー治具50に凸部54が形成されていてもよい。
(Modification of the first embodiment)
FIG. 8 is a plan view of a rolling bearing polishing apparatus 30 according to a modification of the first embodiment.
Then, the grinding | polishing apparatus 30 of the rolling bearing which concerns on the modification of 1st embodiment is demonstrated. In addition, below, description is abbreviate | omitted about the component similar to 1st embodiment, and only a different part is demonstrated.
In the rolling bearing polishing apparatus 30 according to the first embodiment, a convex portion 33 is formed on the grindstone 31, and a concave portion 52 is formed on the pusher jig 50 (see FIG. 6).
On the other hand, the recessed part 34 may be formed in the grindstone 31, and the convex part 54 may be formed in the pusher jig | tool 50 like the modification of 1st embodiment shown in FIG.

図8に示すように、砥石31の基端部31bは、樹脂部材32を備えている。樹脂部材32は、プッシャー治具50側に開口を有するとともにZ方向視で略C字形状に形成された凹部34を備えている。
また、プッシャー治具50の先端部50aは、樹脂部材32の凹部34に嵌合可能な凸部54を備えている。凸部54は、Z方向に沿って延設されるとともに砥石31側に向かって突出した略円柱形状に形成されている。
As shown in FIG. 8, the base end portion 31 b of the grindstone 31 includes a resin member 32. The resin member 32 includes an opening on the pusher jig 50 side and a recess 34 formed in a substantially C shape when viewed in the Z direction.
Further, the distal end portion 50 a of the pusher jig 50 includes a convex portion 54 that can be fitted into the concave portion 34 of the resin member 32. The convex portion 54 is formed in a substantially cylindrical shape that extends along the Z direction and protrudes toward the grindstone 31 side.

プッシャー治具50の凸部54の外形は、砥石31の凹部34の内形よりも若干小さく形成されており、砥石31の凹部34とプッシャー治具50の凸部54とを嵌合したとき、凸部54の外周面と凹部34の内周面との間には隙間が形成される。また、砥石31の凹部34とプッシャー治具50の凸部54とを嵌合したとき、砥石31の基端部31bの端面とプッシャー治具50の先端部50aとの間には隙間が形成される。これにより、砥石31の基端部31bは、プッシャー治具50に対して、凸部54のZ方向に沿う中心軸である軸線P周りに回動可能に接続される。
なお、砥石31の凹部34は樹脂部材32に形成されており、弾性変形可能となっている。したがって、X方向から砥石31の凹部34にプッシャー治具50の凸部54を嵌合できる。
The outer shape of the convex portion 54 of the pusher jig 50 is slightly smaller than the inner shape of the concave portion 34 of the grindstone 31, and when the concave portion 34 of the grindstone 31 and the convex portion 54 of the pusher jig 50 are fitted, A gap is formed between the outer peripheral surface of the convex portion 54 and the inner peripheral surface of the concave portion 34. Further, when the concave portion 34 of the grindstone 31 and the convex portion 54 of the pusher jig 50 are fitted, a gap is formed between the end surface of the base end portion 31 b of the grindstone 31 and the distal end portion 50 a of the pusher jig 50. The Thereby, the base end part 31b of the grindstone 31 is connected to the pusher jig 50 so as to be rotatable around an axis P that is a central axis along the Z direction of the convex part 54.
The recess 34 of the grindstone 31 is formed in the resin member 32 and can be elastically deformed. Therefore, the convex portion 54 of the pusher jig 50 can be fitted into the concave portion 34 of the grindstone 31 from the X direction.

(第二実施形態)
図9は、第二実施形態に係る転がり軸受の研磨装置30の平面図である。
図10は、図9のC−C線に沿った断面図である。
続いて、第二実施形態の転がり軸受の研磨装置30について説明する。
第一実施形態の転がり軸受の研磨装置30は、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50とは、砥石31の凸部33とプッシャー治具50の凹部52とが嵌合することにより接続されていた(図6参照)。
これに対して、図9に示すように、第二実施形態の転がり軸受の研磨装置30は、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50とは、ピン部材61により接続されている点で、第一実施形態とは異なっている。なお、以下では、第一実施形態と同様の構成部分については説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
(Second embodiment)
FIG. 9 is a plan view of the rolling bearing polishing apparatus 30 according to the second embodiment.
10 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
Next, the rolling bearing polishing apparatus 30 according to the second embodiment will be described.
In the rolling bearing polishing device 30 of the first embodiment, the base end portion 31b of the grindstone 31 and the pusher jig 50 are connected by fitting the convex portion 33 of the grindstone 31 and the concave portion 52 of the pusher jig 50. (See FIG. 6).
On the other hand, as shown in FIG. 9, in the rolling bearing polishing device 30 of the second embodiment, the base end portion 31 b of the grindstone 31 and the pusher jig 50 are connected by a pin member 61. This is different from the first embodiment. In addition, below, description is abbreviate | omitted about the component similar to 1st embodiment, and only a different part is demonstrated.

図10に示すように、砥石31の基端部31bは、プッシャー治具50側に開口を有する断面視略U字形状に形成されており、プッシャー治具50の先端部50aをZ方向の両側から挟持している。砥石31の基端部31bには、Z方向に沿って貫通する貫通孔35が形成されている。また、プッシャー治具50の先端部50aには、砥石31の貫通孔35と同心の貫通孔55が形成されている。   As shown in FIG. 10, the base end portion 31 b of the grindstone 31 is formed in a substantially U shape in sectional view having an opening on the pusher jig 50 side, and the distal end portion 50 a of the pusher jig 50 is formed on both sides in the Z direction. It is pinched from. A through hole 35 penetrating along the Z direction is formed in the base end portion 31 b of the grindstone 31. Further, a through hole 55 concentric with the through hole 35 of the grindstone 31 is formed at the tip 50a of the pusher jig 50.

砥石31の貫通孔35およびプッシャー治具50の貫通孔55には、ピン部材61が挿通されている。
ピン部材61は、例えば金属等からなる円柱状の部材であり、砥石31の貫通孔35およびプッシャー治具50の貫通孔55の内部に配置される本体部61aと、本体部61aの上方において拡径した頭部61bとを有している。ピン部材61の頭部61bが砥石31の上面に当接することにより、ピン部材61の下方への脱落が防止される。また、ピン部材61の本体部61aが砥石31の貫通孔35およびプッシャー治具50の貫通孔55の内部に配置されることにより、砥石31の基端部31bは、プッシャー治具50に対して、ピン部材61の中心軸である軸線P周りに回動可能に接続される。
なお、第二実施形態では、砥石31の基端部31bに樹脂部材32(図6参照)を設けることなく貫通孔35を形成しているが、砥石31の基端部31bに樹脂部材32を設け、樹脂部材32に貫通孔35を形成してもよい。
A pin member 61 is inserted into the through hole 35 of the grindstone 31 and the through hole 55 of the pusher jig 50.
The pin member 61 is a columnar member made of, for example, metal or the like, and expands above the main body 61a and the main body 61a disposed inside the through hole 35 of the grindstone 31 and the through hole 55 of the pusher jig 50. And a head 61b having a diameter. When the head portion 61b of the pin member 61 contacts the upper surface of the grindstone 31, the pin member 61 is prevented from falling off. Further, the main body portion 61 a of the pin member 61 is disposed inside the through hole 35 of the grindstone 31 and the through hole 55 of the pusher jig 50, so that the base end portion 31 b of the grindstone 31 is located with respect to the pusher jig 50. The pin member 61 is pivotally connected around an axis P that is the central axis of the pin member 61.
In addition, in 2nd embodiment, although the through-hole 35 is formed in the base end part 31b of the grindstone 31 without providing the resin member 32 (refer FIG. 6), the resin member 32 is formed in the base end part 31b of the grindstone 31. The through hole 35 may be formed in the resin member 32.

(第二実施形態の効果)
第二実施形態によれば、ピン部材61により砥石31の基端部31bとプッシャー治具50とが確実に接続されるとともに、ピン部材61の中心軸(すなわち軸線P)周りに砥石31の基端部31bが容易に回動できる。したがって、砥石31をワークWから離反させてワークW交換時の砥石31の損傷や脱落を確実に防止できるとともに、砥石保持具40の磨耗をさらに抑制して精度良く砥石31を保持できる。
(Effect of the second embodiment)
According to the second embodiment, the base end portion 31 b of the grindstone 31 and the pusher jig 50 are securely connected by the pin member 61, and the base of the grindstone 31 around the central axis (that is, the axis P) of the pin member 61. The end 31b can be easily rotated. Therefore, the grindstone 31 can be separated from the workpiece W to reliably prevent the grindstone 31 from being damaged or dropped when the workpiece W is exchanged, and the grindstone holder 40 can be further prevented from being worn and the grindstone 31 can be held with high accuracy.

(第三実施形態)
図11は、第三実施形態に係る転がり軸受の研磨装置30の平面図である。
続いて、第三実施形態の転がり軸受の研磨装置30について説明する。なお、以下では、第一実施形態と同様の構成部分については説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
図11に示すように、第三実施形態の転がり軸受の研磨装置30は、砥石31の基端部31bに係合凹部332aが形成され、プッシャー治具50には係合爪部352a,352bが形成され、係合凹部332aと係合爪部352a,352bとが係合して、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50とが接続されている点で、第一実施形態とは異なっている。
(Third embodiment)
FIG. 11 is a plan view of the rolling bearing polishing apparatus 30 according to the third embodiment.
Next, the rolling bearing polishing apparatus 30 according to the third embodiment will be described. In addition, below, description is abbreviate | omitted about the component similar to 1st embodiment, and only a different part is demonstrated.
As shown in FIG. 11, in the rolling bearing polishing device 30 of the third embodiment, an engagement recess 332 a is formed in the base end portion 31 b of the grindstone 31, and the engagement claw portions 352 a and 352 b are formed in the pusher jig 50. Unlike the first embodiment, the engaging recess 332a and the engaging claws 352a and 352b are engaged and the base end 31b of the grindstone 31 and the pusher jig 50 are connected. ing.

砥石31の基端部31bは、樹脂部材332を備えている。樹脂部材332は、プッシャー治具50側に開口を有するとともにZ方向視で略U字形状に形成された係合凹部332aを備えている。
プッシャー治具50の先端部50aには、砥石31側に向かって一対の係合爪部352a,352bが立設されている。一対の係合爪部352a,352bは、X方向に沿って延びるとともに、砥石31側の先端部が互いにY方向に広がるように形成されている。一対の係合爪部352a,352bの先端部におけるY方向に沿った最大幅は、係合凹部332aのY方向に沿った幅よりも広くなるように形成されている。これにより、係合凹部332a内に一対の係合爪部352a,352bを配置することで、係合凹部332aと一対の係合爪部352a,352bとが係合可能となっている。
砥石31の基端部31bは、プッシャー治具50に対して、一対の係合爪部352a,352bの基端部近傍においてZ方向に沿う軸線P周りに回動可能に接続される。
The base end portion 31 b of the grindstone 31 includes a resin member 332. The resin member 332 includes an engagement recess 332a having an opening on the pusher jig 50 side and formed in a substantially U shape when viewed in the Z direction.
A pair of engaging claw portions 352a and 352b are erected on the front end portion 50a of the pusher jig 50 toward the grindstone 31 side. The pair of engaging claws 352a and 352b are formed so as to extend along the X direction and so that the front end portions on the side of the grindstone 31 spread in the Y direction. The maximum width along the Y direction at the distal ends of the pair of engaging claws 352a and 352b is formed to be wider than the width along the Y direction of the engaging recess 332a. Thus, by disposing the pair of engagement claw portions 352a and 352b in the engagement recess 332a, the engagement recess 332a and the pair of engagement claw portions 352a and 352b can be engaged.
The proximal end portion 31b of the grindstone 31 is connected to the pusher jig 50 so as to be rotatable around the axis P along the Z direction in the vicinity of the proximal end portions of the pair of engaging claws 352a and 352b.

(第三実施形態の効果)
第三実施形態によれば、係合爪部352a,352bと係合凹部332aとを係合および解除するだけで、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50とを容易に着脱できる。したがって、転がり軸受の研磨装置30を容易にメンテナンスできる。
(Effect of the third embodiment)
According to the third embodiment, the base end portion 31b of the grindstone 31 and the pusher jig 50 can be easily attached and detached simply by engaging and releasing the engaging claws 352a and 352b and the engaging recess 332a. Therefore, the rolling bearing polishing apparatus 30 can be easily maintained.

(第四実施形態)
図12は、第四実施形態に係る転がり軸受の研磨装置30の平面図である。
続いて、第四実施形態の転がり軸受の研磨装置30について説明する。なお、以下では、第一実施形態と同様の構成部分については説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
図12に示すように、第四実施形態の転がり軸受の研磨装置30は、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50との間に中間部材65が設けられ、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50とは中間部材65を介して接続されている点で、第一実施形態とは異なっている。
(Fourth embodiment)
FIG. 12 is a plan view of a rolling bearing polishing apparatus 30 according to a fourth embodiment.
Next, the rolling bearing polishing apparatus 30 according to the fourth embodiment will be described. In addition, below, description is abbreviate | omitted about the component similar to 1st embodiment, and only a different part is demonstrated.
As shown in FIG. 12, in the rolling bearing polishing device 30 of the fourth embodiment, an intermediate member 65 is provided between the base end portion 31 b of the grindstone 31 and the pusher jig 50, and the base end portion 31 b of the grindstone 31. And the pusher jig 50 are different from those of the first embodiment in that they are connected via an intermediate member 65.

図12に示すように、砥石31の基端部31bには、凸部433が形成されている。凸部433は、Z方向から見て砥石31の先端部31a側に短辺を有し、プッシャー治具50側に長辺を有する略等足台形状に形成されており、Z方向に沿って延設されている。また、プッシャー治具50の先端部50aには、凸部454が形成されている。凸部454は、Z方向から見てプッシャー治具50の先端部50a側に短辺を有し、砥石31側に長辺を有する略等足台形状に形成されており、Z方向に沿って延設されている。砥石31の凸部433およびプッシャー治具50の凸部454は、いわゆるダブテール凸部となっている。   As shown in FIG. 12, a convex portion 433 is formed at the base end portion 31 b of the grindstone 31. The convex portion 433 is formed in a substantially isosceles shape having a short side on the tip 31a side of the grindstone 31 and a long side on the pusher jig 50 side when viewed from the Z direction, and along the Z direction. It is extended. Further, a convex portion 454 is formed at the tip portion 50 a of the pusher jig 50. The convex portion 454 is formed in a substantially isosceles shape having a short side on the distal end portion 50a side of the pusher jig 50 as viewed from the Z direction and a long side on the grindstone 31 side, along the Z direction. It is extended. The convex part 433 of the grindstone 31 and the convex part 454 of the pusher jig 50 are so-called dovetail convex parts.

図13は、中間部材65の斜視図である。
中間部材65は、例えば樹脂や金属等により形成された略ブロック状の部材である。中間部材65のX方向の両側面には、それぞれプッシャー治具50の凸部454および砥石31の凸部433(いずれも図12参照)と嵌合可能な溝部65a,65bが、Z方向に沿って延設されている。溝部65a,65bは、それぞれZ方向から見て、プッシャー治具50の凸部454および砥石31の凸部433の外形に対応した略等足台形状に形成されており、いわゆるダブテール溝部となっている。
FIG. 13 is a perspective view of the intermediate member 65.
The intermediate member 65 is a substantially block-shaped member made of, for example, resin or metal. On both side surfaces of the intermediate member 65 in the X direction, groove portions 65a and 65b that can be fitted to the convex portion 454 of the pusher jig 50 and the convex portion 433 of the grindstone 31 (both see FIG. 12) along the Z direction. It is extended. The groove portions 65a and 65b are formed in a substantially isosceles shape corresponding to the outer shapes of the convex portion 454 of the pusher jig 50 and the convex portion 433 of the grindstone 31 when viewed from the Z direction, and are so-called dovetail groove portions. Yes.

本実施形態は、プッシャー治具50の凸部454および砥石31の凸部433がそれぞれダブテール凸部となっており、中間部材65の溝部65a,65bがそれぞれダブテール溝部となっている。したがって、プッシャー治具50の凸部454と溝部65aとを嵌合し、砥石31の凸部433と溝部65bとを嵌合することにより、砥石31とプッシャー治具50とのX方向への相対移動が確実に規制される。これにより、砥石31とプッシャー治具50との接続が解除されるのが確実に抑制される。
また、本実施形態は、プッシャー治具50の凸部454と嵌合される溝部65aの内形が、プッシャー治具50の凸部454の外形よりも若干大きく形成されている。これにより、図12に示すように、プッシャー治具50の凸部454と溝部65aとを嵌合したとき、砥石31の基端部31bは、プッシャー治具50に対して、凸部454のX方向およびY方向の略中央においてZ方向に沿う軸線P周りに回動可能に接続される。
In the present embodiment, the convex portion 454 of the pusher jig 50 and the convex portion 433 of the grindstone 31 are respectively dovetail convex portions, and the groove portions 65a and 65b of the intermediate member 65 are respectively dovetail groove portions. Therefore, by fitting the convex portion 454 and the groove portion 65a of the pusher jig 50 and fitting the convex portion 433 and the groove portion 65b of the grindstone 31, the grindstone 31 and the pusher jig 50 are relatively aligned in the X direction. Movement is reliably regulated. This reliably prevents the connection between the grindstone 31 and the pusher jig 50 from being released.
Further, in the present embodiment, the inner shape of the groove 65a fitted to the convex portion 454 of the pusher jig 50 is formed to be slightly larger than the outer shape of the convex portion 454 of the pusher jig 50. Accordingly, as shown in FIG. 12, when the convex portion 454 of the pusher jig 50 and the groove portion 65 a are fitted, the base end portion 31 b of the grindstone 31 is in the X of the convex portion 454 with respect to the pusher jig 50. And pivotally connected around the axis P along the Z direction at the approximate center in the direction and the Y direction.

プッシャー治具50の凸部454と嵌合される溝部65aは、Z方向の上側端部が閉塞されてストッパ部65cとなっている。
ストッパ部65cは、プッシャー治具50の凸部454と溝部65aとを嵌合したときプッシャー治具50の凸部454の上端面と当接する。これにより、中間部材65の下方への移動が規制されて中間部材65の落下が防止される。
The groove portion 65a fitted to the convex portion 454 of the pusher jig 50 is closed at the upper end in the Z direction to form a stopper portion 65c.
The stopper portion 65c contacts the upper end surface of the convex portion 454 of the pusher jig 50 when the convex portion 454 of the pusher jig 50 and the groove portion 65a are fitted. Thereby, the downward movement of the intermediate member 65 is restricted, and the fall of the intermediate member 65 is prevented.

(第四実施形態の効果)
第四実施形態によれば、中間部材65の形状を適宜変更することにより、種々の砥石31およびプッシャー治具50に対応できる。特に、砥石31を複雑な形状に加工するのは困難であるため、砥石31を加工することなく中間部材65の形状を適宜変更して、種々の砥石31およびプッシャー治具50の形状に対応させる場合に好適である。
(Effect of the fourth embodiment)
According to the fourth embodiment, it is possible to cope with various grindstones 31 and pusher jigs 50 by appropriately changing the shape of the intermediate member 65. In particular, since it is difficult to process the grindstone 31 into a complicated shape, the shape of the intermediate member 65 is appropriately changed without processing the grindstone 31 so as to correspond to the shapes of various grindstones 31 and pusher jigs 50. It is suitable for the case.

(第五実施形態)
図14は、第五実施形態に係る転がり軸受の研磨装置30の平面図である。
続いて、第五実施形態の転がり軸受の研磨装置30について説明する。なお、以下では、第一実施形態と同様の構成部分については説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
図14に示すように、第五実施形態の転がり軸受の研磨装置30は、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50とが磁力により接続されている点で、第一実施形態とは異なっている。
砥石31の基端部31bには、例えば鉄等の磁性材料により形成された板状の被吸着部材37が貼付されている。また、プッシャー治具50の先端部50aには、砥石31の基端部31bに対応する位置に、マグネット57が貼付されている。これにより、砥石31の基端部31bは、マグネット57の磁力により吸引されてプッシャー治具50に接続される。砥石31の基端部31bは、プッシャー治具50に対して、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50のマグネット57の境界面におけるY方向の略中央付近において、Z方向に沿う軸線P周りに回動可能に接続される。
(Fifth embodiment)
FIG. 14 is a plan view of a rolling bearing polishing apparatus 30 according to a fifth embodiment.
Next, a rolling bearing polishing apparatus 30 according to a fifth embodiment will be described. In addition, below, description is abbreviate | omitted about the component similar to 1st embodiment, and only a different part is demonstrated.
As shown in FIG. 14, the rolling bearing polishing device 30 of the fifth embodiment is different from the first embodiment in that the base end portion 31b of the grindstone 31 and the pusher jig 50 are connected by magnetic force. ing.
A plate-like attracting member 37 made of a magnetic material such as iron is attached to the base end portion 31b of the grindstone 31. A magnet 57 is attached to the distal end portion 50 a of the pusher jig 50 at a position corresponding to the proximal end portion 31 b of the grindstone 31. Thereby, the base end portion 31 b of the grindstone 31 is attracted by the magnetic force of the magnet 57 and connected to the pusher jig 50. The proximal end portion 31b of the grindstone 31 has an axis P along the Z direction in the vicinity of the approximate center in the Y direction on the boundary surface between the proximal end portion 31b of the grindstone 31 and the magnet 57 of the pusher jig 50 with respect to the pusher jig 50. It is pivotally connected around.

(第五実施形態の変形例)
図15は、第五実施形態の変形例に係る転がり軸受の研磨装置30の平面図である。
図15に示す第五実施形態の変形例のように、被吸着部材37のプッシャー治具50側の端面37aを、Z方向から見てプッシャー治具50側に膨出する曲面に形成してもよい。これにより、被吸着部材37の端面37aと、プッシャー治具50のマグネット57とは線接触できる。したがって、砥石31の基端部31bは、プッシャー治具50に対して、軸線P周りに容易に回動可能に接続される。
(Modification of the fifth embodiment)
FIG. 15 is a plan view of a rolling bearing polishing apparatus 30 according to a modification of the fifth embodiment.
As in the modification of the fifth embodiment shown in FIG. 15, the end surface 37a on the pusher jig 50 side of the attracted member 37 may be formed as a curved surface that bulges toward the pusher jig 50 when viewed from the Z direction. Good. Thereby, the end surface 37a of the attracted member 37 and the magnet 57 of the pusher jig 50 can be in line contact. Therefore, the base end portion 31 b of the grindstone 31 is connected to the pusher jig 50 so as to be easily rotatable around the axis P.

(第五実施形態および第五実施形態の変形例の効果)
第五実施形態および第五実施形態の変形例によれば、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50とを容易に着脱できる。したがって、転がり軸受の研磨装置30を容易にメンテナンスできる。
(Effects of the fifth embodiment and the modification of the fifth embodiment)
According to the fifth embodiment and the modification of the fifth embodiment, the base end portion 31b of the grindstone 31 and the pusher jig 50 can be easily attached and detached. Therefore, the rolling bearing polishing apparatus 30 can be easily maintained.

なお、この発明の技術範囲は上記の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。   The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

各実施形態および各変形例においては、転がり軸受の研磨装置30により、内輪11aの内輪転動面11dを超仕上げ加工していたが、超仕上げ加工の対象は内輪転動面11dに限定されない。例えば、転がり軸受の研磨装置30により、外輪11bの外輪転動面11eを超仕上げ加工してもよい。   In each embodiment and each modification, the inner ring rolling surface 11d of the inner ring 11a has been superfinished by the rolling bearing polishing device 30, but the superfinishing target is not limited to the inner ring rolling surface 11d. For example, the outer ring rolling surface 11e of the outer ring 11b may be superfinished by the grinding device 30 of the rolling bearing.

樹脂部材32の形状は、第一実施形態および第一実施形態の変形例に限定されることはない。
また、第二実施形態では、砥石31の基端部31bが断面視略U字形状に形成されており、プッシャー治具50の先端部50aをZ方向の両側から挟持するとともに、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50の先端部50aにピン部材61が挿通されていた(図10参照)。これに対して、例えば砥石31の基端部31bにおけるZ方向の両側面のうち一方側面を凹ませて段部を形成し、この段部にプッシャー治具50の先端部50aを重ねて配置するとともに、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50の先端部50aにピン部材61が挿通されていてもよい。
また、ピン部材61の形状は、第二実施形態に限定されることはない。例えば、ピン部材61は、ボルトであり、砥石31の基端部31bおよびプッシャー治具50のいずれか一方に螺着されることにより、砥石31の基端部31bとプッシャー治具50とが回動可能に接続されていてもよい。
The shape of the resin member 32 is not limited to the first embodiment and the modification of the first embodiment.
Moreover, in 2nd embodiment, the base end part 31b of the grindstone 31 is formed in the cross-sectional view substantially U shape, and while the front-end | tip part 50a of the pusher jig | tool 50 is clamped from the both sides of a Z direction, the base of the grindstone 31 is included. The pin member 61 was inserted through the end 31b and the tip 50a of the pusher jig 50 (see FIG. 10). On the other hand, for example, one of the side surfaces in the Z direction of the base end portion 31b of the grindstone 31 is recessed to form a stepped portion, and the tip end portion 50a of the pusher jig 50 is placed on this stepped portion. In addition, the pin member 61 may be inserted through the base end portion 31 b of the grindstone 31 and the tip end portion 50 a of the pusher jig 50.
Moreover, the shape of the pin member 61 is not limited to 2nd embodiment. For example, the pin member 61 is a bolt, and is screwed into either the base end portion 31b of the grindstone 31 or the pusher jig 50, whereby the base end portion 31b of the grindstone 31 and the pusher jig 50 are rotated. It may be movably connected.

また、第三実施形態では、砥石31の基端部31bに係合凹部332aが形成され、プッシャー治具50には係合爪部352a,352bが形成されていたが、砥石31の基端部31bに係合凸部が形成され、プッシャー治具50に係合凹部が形成されていてもよい。
また、係合凹部332aおよび係合爪部352a,352bの形状は、第三実施形態に限定されることはない。
また、中間部材65の形状は、第四実施形態に限定されることはない。
In the third embodiment, the engagement recess 332 a is formed in the proximal end portion 31 b of the grindstone 31, and the engagement claws 352 a and 352 b are formed in the pusher jig 50. An engaging convex portion may be formed on 31 b and an engaging concave portion may be formed on the pusher jig 50.
Further, the shapes of the engaging recess 332a and the engaging claws 352a and 352b are not limited to the third embodiment.
Further, the shape of the intermediate member 65 is not limited to the fourth embodiment.

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。   In addition, it is possible to appropriately replace the components in the above-described embodiments with known components without departing from the spirit of the present invention.

11・・・第一転がり軸受(転がり軸受) 11a・・・内輪 11b・・・外輪 11c・・・転動体 11d・・・内輪転動面(転動面) 11e・・・外輪転動面(転動面) 12・・・第二転がり軸受(転がり軸受) 30・・・転がり軸受の研磨装置 31・・・砥石 31b・・・砥石の基端部 32,332・・・樹脂部材 33・・・凸部 33c,33d・・・側面 34・・・凹部 40・・・砥石保持具 42・・・挿通孔 50・・・プッシャー治具 52・・・凹部 52c,52d・・・側面 54・・・凸部 61・・・ピン部材 65・・・中間部材 332a・・・係合凹部 352a,352b・・・係合凹部 L1・・・中心軸 P・・・軸線 W・・・ワーク DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... 1st rolling bearing (rolling bearing) 11a ... Inner ring 11b ... Outer ring 11c ... Rolling body 11d ... Inner ring rolling surface (rolling surface) 11e ... Outer ring rolling surface ( Rolling surface) 12... 2nd rolling bearing (rolling bearing) 30... Rolling bearing polishing device 31... Grinding stone 31 b... Base end portion 32, 332.・ Protrusions 33c, 33d ... sides 34 ... concaves 40 ... grinding stone holders 42 ... insertion holes 50 ... pusher jigs 52 ... concaves 52c, 52d ... sides 54 ... -Convex part 61 ... Pin member 65 ... Intermediate member 332a ... Engaging recess 352a, 352b ... Engaging recess L1 ... Central axis P ... Axis W ... Workpiece

Claims (7)

内輪と、前記内輪を囲繞する外輪と、前記内輪と前記外輪との間に転動自在に保持された複数の転動体と、前記内輪の外周面および前記外輪の内周面に形成され、前記転動体が嵌め込まれる転動面と、を備えた転がり軸受の前記転動面を加工するための転がり軸受の研磨装置であって、
ワークである前記内輪または前記外輪に当接し、前記転動面を研磨して加工する砥石と、
前記ワークの中心軸に直交する第一方向に沿うように前記砥石を挿通可能な挿通孔を備え、前記第一方向に沿うように前記砥石を移動可能に保持する砥石保持具と、
前記第一方向に直交する第二方向に沿うように延在し、前記砥石の基端部が接続されて前記砥石を前記第一方向に沿うように移動させ、前記転動面に対して前記砥石を当接または離反させるプッシャー治具と、
を備え、
前記砥石の基端部は、前記プッシャー治具に対して、前記第一方向と前記第二方向とに直交する第三方向に沿う軸線を中心に回動可能に接続されていることを特徴とする転がり軸受の研磨装置。
An inner ring, an outer ring surrounding the inner ring, a plurality of rolling elements rotatably held between the inner ring and the outer ring, an outer peripheral surface of the inner ring and an inner peripheral surface of the outer ring, A rolling bearing polishing device for processing the rolling surface of a rolling bearing provided with a rolling surface into which a rolling element is fitted,
A grindstone that abuts on the inner ring or the outer ring, which is a workpiece, and grinds and processes the rolling surface;
A grindstone holder that includes an insertion hole through which the grindstone can be inserted along a first direction orthogonal to the central axis of the workpiece, and that holds the grindstone movably along the first direction;
Extending along a second direction orthogonal to the first direction, the base end of the grindstone is connected, the grindstone is moved along the first direction, and the rolling surface is A pusher jig for contacting or separating the grindstone,
With
The base end portion of the grindstone is connected to the pusher jig so as to be rotatable about an axis along a third direction orthogonal to the first direction and the second direction. Polishing device for rolling bearings.
請求項1に記載の転がり軸受の研磨装置であって、
前記砥石の基端部および前記プッシャー治具のいずれか一方には、凸部が形成され、
前記砥石の基端部および前記プッシャー治具のいずれか他方には、前記凸部と嵌合可能な凹部が形成され、
前記砥石の基端部と前記プッシャー治具とは、前記凸部と前記凹部とが嵌合することにより接続され、
前記凸部の前記第二方向と交差する側面と、前記凹部の前記第二方向と交差する側面との間には、隙間が設けられていることを特徴とする転がり軸受の研磨装置。
The rolling bearing polishing apparatus according to claim 1,
A convex portion is formed on one of the base end portion of the grindstone and the pusher jig,
On the other end of the base end portion of the grindstone and the pusher jig, a concave portion that can be fitted with the convex portion is formed,
The base end portion of the grindstone and the pusher jig are connected by fitting the convex portion and the concave portion,
A rolling bearing polishing apparatus, wherein a gap is provided between a side surface of the convex portion intersecting with the second direction and a side surface of the concave portion intersecting with the second direction.
請求項1に記載の転がり軸受の研磨装置であって、
前記砥石の基端部と前記プッシャー治具とは、前記第三方向に沿うように設けられたピン部材により接続されていることを特徴とする転がり軸受の研磨装置。
The rolling bearing polishing apparatus according to claim 1,
A rolling bearing polishing apparatus, wherein a base end portion of the grindstone and the pusher jig are connected by a pin member provided along the third direction.
請求項1に記載の転がり軸受の研磨装置であって、
前記砥石の基端部および前記プッシャー治具のいずれか一方には、係合爪部が形成され、
前記砥石の基端部および前記プッシャー治具のいずれか他方には、前記係合爪部と係合可能な係合凹部が形成され、
前記砥石の基端部と前記プッシャー治具とは、前記係合爪部と前記係合凹部とが係合することにより接続されていることを特徴とする転がり軸受の研磨装置。
The rolling bearing polishing apparatus according to claim 1,
An engagement claw portion is formed on one of the base end portion of the grindstone and the pusher jig,
On the other end of the base end of the grindstone and the pusher jig, an engagement recess that can be engaged with the engagement claw is formed.
The rolling bearing polishing apparatus according to claim 1, wherein the base end portion of the grindstone and the pusher jig are connected by engaging the engaging claw portion and the engaging concave portion.
請求項1に記載の転がり軸受の研磨装置であって、
前記砥石の基端部と前記プッシャー治具との間には、中間部材が設けられ、
前記砥石の基端部と前記プッシャー治具とは、前記中間部材を介して接続されていることを特徴とする転がり軸受の研磨装置。
The rolling bearing polishing apparatus according to claim 1,
Between the base end of the grindstone and the pusher jig, an intermediate member is provided,
A rolling bearing polishing apparatus, wherein a base end portion of the grindstone and the pusher jig are connected via the intermediate member.
請求項1に記載の転がり軸受の研磨装置であって、
前記砥石の基端部と前記プッシャー治具とは、磁力により接続されていることを特徴とする転がり軸受の研磨装置。
The rolling bearing polishing apparatus according to claim 1,
A rolling bearing polishing apparatus, wherein a base end portion of the grindstone and the pusher jig are connected by magnetic force.
請求項1から6のいずれか1項に記載の転がり軸受の研磨装置であって、
前記砥石の基端部に、樹脂部材を備えたことを特徴とする転がり軸受の研磨装置。
A rolling bearing polishing apparatus according to any one of claims 1 to 6,
A rolling bearing polishing apparatus comprising a resin member at a base end of the grindstone.
JP2012217982A 2012-09-28 2012-09-28 Rolling bearing polishing equipment Active JP5968181B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012217982A JP5968181B2 (en) 2012-09-28 2012-09-28 Rolling bearing polishing equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012217982A JP5968181B2 (en) 2012-09-28 2012-09-28 Rolling bearing polishing equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014069287A JP2014069287A (en) 2014-04-21
JP5968181B2 true JP5968181B2 (en) 2016-08-10

Family

ID=50744987

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012217982A Active JP5968181B2 (en) 2012-09-28 2012-09-28 Rolling bearing polishing equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5968181B2 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104385087A (en) * 2014-10-14 2015-03-04 内蒙古第一机械集团有限公司 Inner raceway circular arc groove grinding device for holes
JP6540243B2 (en) * 2015-06-04 2019-07-10 株式会社ジェイテクト Compound grinding machine equipped with superfinishing apparatus and superfinishing apparatus
CN105437023A (en) * 2015-12-31 2016-03-30 无锡诚石轴承有限公司 Multi-channel mandrel machining equipment
CN108115483A (en) * 2017-12-22 2018-06-05 新昌县三源轴承有限公司 A kind of bearing Double End polishing machine of automatic feed/discharge
CN108145559A (en) * 2017-12-22 2018-06-12 新昌县三源轴承有限公司 A kind of multistation bearing grinding device
CN111761503B (en) * 2020-06-29 2022-03-08 宁波安杰森精密机械制造有限公司 Bearing ring channel ultra-lapping device

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58109266A (en) * 1981-12-23 1983-06-29 Osaka Seiki Kk Super finishing for ring-shaped work
JPS6272049U (en) * 1985-10-23 1987-05-08
JPS62184965U (en) * 1986-05-12 1987-11-25
DE19804885C5 (en) * 1998-02-09 2004-07-15 Supfina Grieshaber Gmbh & Co. Kg Superfinishing device
JP4110396B2 (en) * 2003-02-28 2008-07-02 日本精工株式会社 Super finishing method and super finishing device for bearing raceway surface

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014069287A (en) 2014-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5968181B2 (en) Rolling bearing polishing equipment
CN101224552B (en) Grinding method of a disk-shaped substrate and grinding apparatus
US9174316B2 (en) Method of manufacturing roller
CN101107096A (en) Method and device for grinding spheres of ceramic
CN106239355B (en) Electromagnetic chuck and multifunctional grinding machine with same
TW201139058A (en) Apparatus for chamfering of disk-shaped workpiece
JP2015044273A (en) Dressing device, chemical mechanical polishing apparatus having the same, and dresser disk used in the same
JP6575192B2 (en) Electromagnetic chuck and composite grinding machine equipped with electromagnetic chuck
JP4894753B2 (en) Super finishing whetstone and super finishing method using the same
JPS635222B2 (en)
KR20140031816A (en) Carrier apparatus of thin disk-shaped workpiece, method of manufacturing the same, and both-side grinding machine
JP2012143852A (en) Apparatus for manufacturing glass disc
JP3702379B2 (en) Double-side grinding machine for thin disk-shaped workpieces
CN210757172U (en) A dabber anchor clamps for work piece processing of polishing
JP5852596B2 (en) Grinding apparatus and grinding method
JP5206194B2 (en) Truing method and truing device for grinding wheel
JP5916121B2 (en) Shaft-shaped workpiece processing equipment
JP6589391B2 (en) Electromagnetic chuck and composite grinding machine equipped with electromagnetic chuck
JP5523438B2 (en) Bearing body and grinding device
JP3942573B2 (en) Smoothing tool and smoothing method
JP2010211882A (en) Grinding machine for magnetic recording disk base, manufacturing method of disk base, and grinding wheel for the disk base
JP4788132B2 (en) Grinding wheel apparatus and grinding machine equipped with the same
JP2001170862A (en) Work holding device
JP2008142853A (en) Superfinishing method and superfinisher
JP2015230734A (en) Method for processing glass substrate for magnetic recording medium, method for manufacturing glass substrate for magnetic recording medium, and device for processing glass substrate for magnetic recording medium

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150708

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160525

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160621

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160705

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5968181

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250