JP5959739B2 - リソグラフィクラスタシステム、測定装置、およびリソグラフィ装置の位置決めデバイスを較正するための方法 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2012年7月10日に出願の米国仮出願61/670,023号の利益を主張し、それらの全体が引用により本明細書に含まれる。
Claims (15)
- リソグラフィ装置の位置決めデバイスを較正するための方法であって、前記位置決めデバイスが基板を位置決めするように配置され、前記方法が、
−前記基板の層上に露光パターンを形成するように、前記リソグラフィ装置で前記層上にパターンを露光することによって露光層を生成することであって、前記基板が基準層を有し、前記露光パターンが前記位置決めデバイスによる前記基板の移動に対応する、露光層を生成することと、
−前記基板上の複数の位置で前記露光層と前記基準層との間のオーバーレイデータを測定することと、
−離散コサイン変換によって前記オーバーレイデータを空間領域から周波数領域に変換することで周波数領域データを生成することと、
−前記周波数領域データのサブセットを選択することによってデータサブセットを生成することと、
−逆離散コサイン変換によって前記データサブセットを前記空間領域に変換することで較正データを生成することと、
−前記較正データを用いることによって前記位置決めデバイスを較正することと、
を備える、方法。 - データサブセットを生成することが、前記サブセットの外側のデータをゼロに設定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記周波数領域データがオーバーレイ行列の形態であり、前記オーバーレイ行列の左上隅に位置する係数がベース周波数の周波数領域データに相当する、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記周波数領域データが高周波データ及び低周波データを含み、前記高周波データが高空間周波数を表し、前記低周波データが低空間周波数を表し、前記サブセットが前記低周波データを含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記周波数領域データが、高周波データ、中間周波データ、及び低周波データを含み、前記高周波データが高空間周波数を表し、前記低周波データが低空間周波数を表し、前記中間周波データが前記低空間周波数と前記高空間周波数との間の空間周波数範囲を表し、前記サブセットが前記中間周波データを含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記周波数領域データがオーバーレイ行列の形態であり、前記データサブセットがオーバーレイ部分行列の形態であり、前記オーバーレイ部分行列が正方行列である、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記離散コサイン変換がDCT−IIタイプのものであり、前記逆離散コサイン変換がDCT−IIIタイプのものである、請求項1から6のいずれか1項に記載の方法。
- リソグラフィクラスタシステムであって、
基板上にパターンを露光するためのリソグラフィ装置であって、前記基板を移動させるための位置決めデバイスを備えるリソグラフィ装置と、
基板上のオーバーレイデータを測定する測定装置と、
を備え、前記リソグラフィ装置が、
−基板の層上に露光パターンを生成するように、前記層上に前記パターンを露光することによって露光層を生成し、前記基板が基準層を有し、前記露光パターンが前記位置決めデバイスによる前記基板の移動に対応するように配置され、
前記測定装置が、
−前記基板上の複数の位置で前記露光層と前記基準層との間のオーバーレイデータを測定し、
−離散コサイン変換によって前記オーバーレイデータを空間領域から周波数領域に変換することで周波数領域データを生成し、
−前記周波数領域データのサブセットを選択することによってサブセットデータを生成し、
−逆離散コサイン変換によって前記サブセットデータを前記空間領域に変換することで較正データを生成する、ように配置され、
前記リソグラフィクラスタシステムが、前記較正データを用いて前記位置決めデバイスを較正するように配置されている、リソグラフィクラスタシステム。 - 前記測定装置が、前記周波数領域における前記サブセットの外側のデータをゼロに設定することによって前記サブセットデータを生成するように配置されている、請求項8に記載のリソグラフィクラスタシステム。
- 前記周波数領域データがオーバーレイ行列の形態であり、前記オーバーレイ行列の左上隅に位置する係数がベース周波数の周波数領域データに相当する、請求項8又は9に記載のリソグラフィクラスタシステム。
- 前記周波数領域データが高周波データ及び低周波データを含み、前記高周波データが高周波数を表し、前記低周波データが低周波数を表し、前記サブセットが前記低周波データを含む、請求項8から10のいずれか1項に記載のリソグラフィクラスタシステム。
- 前記周波数領域データが、高周波データ、中間周波データ、及び低周波データを含み、前記高周波データが高空間周波数を表し、前記低周波データが低空間周波数を表し、前記中間周波データが前記低空間周波数と前記高空間周波数との間の空間周波数範囲を表し、前記サブセットが前記中間周波データを含む、請求項8から10のいずれか1項に記載のリソグラフィクラスタシステム。
- 前記周波数領域データがオーバーレイ行列の形態であり、前記サブセットデータがオーバーレイ部分行列の形態であり、前記オーバーレイ部分行列が正方行列である、請求項8から12のいずれか1項に記載のリソグラフィクラスタシステム。
- 前記離散コサイン変換がDCT−IIタイプのものであり、前記逆離散コサイン変換がDCT−IIIタイプのものである、請求項8から13のいずれか1項に記載のリソグラフィクラスタシステム。
- −基板上の複数の位置で前記基板上の露光層と前記基板上の基準層との間のオーバーレイデータを測定し、前記露光層がリソグラフィ装置で前記基板の層上にパターンを露光することによって生成され、前記露光されたパターンが前記リソグラフィ装置の位置決めデバイスによる前記基板の移動に対応し、
−離散コサイン変換によって前記オーバーレイデータを空間領域から周波数領域に変換することで周波数領域データを生成し、
−前記周波数領域データのサブセットを選択することによってサブセットデータを生成し、
−逆離散コサイン変換によって前記サブセットデータを前記空間領域に変換することで較正データを生成する、ように配置され、
前記較正データが、前記位置決めデバイスを較正するのに適している、測定装置。
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