JP5953690B2 - Oriented electrical steel sheet and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、変圧器の鉄心などの用途に使用される方向性電磁鋼板およびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a grain-oriented electrical steel sheet used for applications such as an iron core of a transformer and a manufacturing method thereof.

近年、エネルギ使用の効率化が進み、変圧器メーカなどを中心に、磁束密度が高く、かつ鉄損が低い電磁鋼板に対する需要が増してきている。
ここに、磁束密度は、電磁鋼板の結晶方位をGoss方位へ集積させることにより向上させることができ、例えば特許文献1には、1.97Tを超える磁束密度Bを有する方向性電磁鋼板の製造方法が示されている。
In recent years, the efficiency of energy use has progressed, and the demand for electrical steel sheets with high magnetic flux density and low iron loss has been increasing mainly by transformer manufacturers.
Here, the magnetic flux density can be improved by integration of the crystal orientation of the electromagnetic steel sheets to Goss orientation, for example, Patent Document 1, a manufacturing method of the grain-oriented electrical steel sheet having a magnetic flux density B 8 of greater than 1.97T It is shown.

一方、鉄損に関しては、素材の高純度化、高配向性、板厚低減、SiおよびAlの添加、磁区細分化などの観点から、その対策が考えられてきた(例えば、非特許文献1参照)。しかしながら、一般に、磁束密度を高くするほど、鉄損は劣化する傾向にある。この理由は、結晶方位が揃うと静磁エネルギが下がるため、鋼板内の磁区幅が広がって、渦電流損が高くなるからである。
渦電流損の低減方法として、被膜張力を向上したり、熱歪みを導入することによって磁区細分化を施す方法がある。しかし、被膜張力を向上させる方法では、特許文献2に示されたように、付与する歪み域が弾性域近傍であり、しかも張力が地鉄の表層にのみかかるものであるため、鉄損の低減効果が小さいという問題がある。
On the other hand, measures against iron loss have been considered from the viewpoints of high purity of material, high orientation, reduction of plate thickness, addition of Si and Al, subdivision of magnetic domains, etc. (for example, see Non-Patent Document 1) ). However, generally, the higher the magnetic flux density, the more the iron loss tends to deteriorate. This is because, when the crystal orientation is aligned, the magnetostatic energy is lowered, so that the magnetic domain width in the steel sheet is expanded and the eddy current loss is increased.
As a method for reducing eddy current loss, there is a method of performing magnetic domain subdivision by improving the film tension or introducing thermal strain. However, in the method of improving the film tension, as shown in Patent Document 2, since the strain region to be applied is in the vicinity of the elastic region and the tension is applied only to the surface layer of the ground iron, the iron loss is reduced. There is a problem that the effect is small.

一方、熱歪みの導入には、レーザや電子ビームを用いる方法が考えられており、いずれも照射による鉄損の改善効果が極めて高いことが知られている。
例えば、特許文献3には、電子ビーム照射によってW17/50が0.8W/kgを下回る鉄損を有する電磁鋼板の製造方法が示されている。また、特許文献4には、電磁鋼板にレーザ照射を施すことによって、鉄損を低減する方法が示されている。
On the other hand, methods of using a laser or an electron beam have been considered for introducing thermal strain, and it is known that all have an extremely high effect of improving iron loss by irradiation.
For example, Patent Document 3 discloses a method for producing an electrical steel sheet having an iron loss with W 17/50 being less than 0.8 W / kg by electron beam irradiation. Patent Document 4 discloses a method for reducing iron loss by applying laser irradiation to an electromagnetic steel sheet.

ところで、レーザや電子ビームを用いた技術による低鉄損化の課題のひとつに、生産性の向上、すなわち照射効率の向上がある。例えば、連続レーザよりも磁気特性が向上するとされるパルスレーザを照射する場合、QスイッチYAGレーザは、パルス周波数が高々10kHz程度にすぎないため、数十m/h以上の走査速度が望まれる生産ラインに組込むには、数十台のレーザ設備が必要になる。そのため、生産コストが大幅に上昇することになる。ここで、COレーザを使用すれば、周波数を100kHz程度とすることで照射速度を向上させることができる技術が、特許文献5等に示されている。 By the way, one of the problems of reducing iron loss by a technique using a laser or an electron beam is to improve productivity, that is, to improve irradiation efficiency. For example, when irradiating a pulsed laser whose magnetic characteristics are expected to be improved compared to a continuous laser, the Q-switched YAG laser has a pulse frequency of only about 10 kHz, so that a scanning speed of several tens of m / h or more is desired. Dozens of laser facilities are required to install in the line. As a result, the production cost increases significantly. Here, a technique that can improve the irradiation speed by using a CO 2 laser and setting the frequency to about 100 kHz is disclosed in Patent Document 5 and the like.

一方、電子ビームを用いた鋼板の低鉄損化では、真空設備の導入が必須であるという制約はあるものの、偏向コイルに流す電流を調整することによって、20m/s以上という速度で、鋼板表面の電子ビームを走査することが可能であるという利点を有している。   On the other hand, in order to reduce the iron loss of a steel sheet using an electron beam, there is a restriction that the introduction of vacuum equipment is essential, but by adjusting the current flowing in the deflection coil, the surface of the steel sheet can be adjusted at a speed of 20 m / s or more. It is possible to scan the electron beam.

特許第4123679号公報Japanese Patent No. 4123679 特公平2-8027号公報Japanese Patent Publication No. 2-8027 特公平7-65106号公報Japanese Patent Publication No.7-65106 特公平3-13293号公報Japanese Patent Publication No.3-13293 特開平6-57333号公報JP-A-6-57333 特開2002-12918号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2002-12918

「軟磁性材料の最近の進歩」第155・156回西山記念技術講座、社団法人日本鉄鋼協会、平成7年2月1日発行"Recent Advances in Soft Magnetic Materials" 155/156 Nishiyama Memorial Technology Course, Japan Iron and Steel Institute, February 1, 1995

しかしながら、特許文献5に記載の技術は、ビーム径が0.8mmと非常に大きいため、鋼板に導入される熱影響の領域が過度に拡大し、ビーム径がより小さい他の方法に比べて鉄損の改善効果が小さいという問題がある。
また、近年、アジアを中心に方向性電磁鋼板の需要が高まるなか、さらなる生産性の向上が求められており、より一層の照射速度の向上が課題になっている。
However, since the technique described in Patent Document 5 has a very large beam diameter of 0.8 mm, the region of the heat effect introduced into the steel sheet is excessively enlarged, and the iron loss compared to other methods with a smaller beam diameter. There is a problem that the improvement effect is small.
Further, in recent years, with increasing demand for grain-oriented electrical steel sheets mainly in Asia, further improvement in productivity has been demanded, and further improvement in irradiation speed has become a problem.

本発明は、上記した現状に鑑み開発されたもので、電子ビームの照射速度を、従来以上に速めた場合であっても、十分に磁区細分化効果を発揮し、優れた磁気特性を有する方向性電磁鋼板およびその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been developed in view of the above-described present situation, and even when the electron beam irradiation speed is increased more than before, the magnetic domain subdivision effect is sufficiently exerted and the direction has excellent magnetic properties. An object of the present invention is to provide a conductive electrical steel sheet and a method for producing the same.

通常、鉄損を低減する目的で行う電子ビーム照射は、被照射材(電磁鋼板)の幅端部からもう一方の幅端部へ、偏向コイルによりビームを偏向させて行っている。ただし、電子銃を複数台使用して、1台での照射域を分割しても良い。   Usually, electron beam irradiation performed for the purpose of reducing iron loss is performed by deflecting a beam from a width end portion of an irradiated material (electromagnetic steel sheet) to the other width end portion by a deflection coil. However, a plurality of electron guns may be used to divide the irradiation area with one.

また、鋼板の幅方向に対する照射は、偏向コイルを用い、照射時間が、照射位置に沿って、長時間(a1)、短時間(a2)を繰り返すようにして行う。その際、長時間(a1)の照射点と引き続く長時間(a1)の照射点との距離:d(mm)を、本発明ではドットピッチと呼ぶ。なお、本発明において、a2はa1に対して十分短く無視できるため、a1の逆数を、照射周波数とみなすことができる。 Irradiation in the width direction of the steel sheet is performed by using a deflection coil so that the irradiation time repeats a long time (a 1 ) and a short time (a 2 ) along the irradiation position. In this case, the distance d (mm) between the long-time (a 1 ) irradiation point and the subsequent long-time (a 1 ) irradiation point is referred to as a dot pitch in the present invention. In the present invention, a 2 since negligible sufficiently shorter than a 1, the inverse of a 1, can be regarded as a radiation frequency.

ここで、照射周波数を高くすれば、走査速度を速くすることは可能であるものの、照射面への単位長さ当たりの入熱量が減少するため、鉄損の低減効果が薄れる。
従って、通常、ビーム照射を高速化する場合には、ビーム電流を高くすることによって、単位時間当たりの入熱量を増やしている。しかし、ビーム電流が過度に高くなると、収束コイルでビームを細く絞ることができなくなるため、熱影響域が拡大してヒステリシス損の劣化につながる。
Here, if the irradiation frequency is increased, the scanning speed can be increased, but since the amount of heat input per unit length to the irradiation surface is reduced, the effect of reducing the iron loss is diminished.
Therefore, normally, when increasing the beam irradiation speed, the amount of heat input per unit time is increased by increasing the beam current. However, if the beam current becomes excessively high, the beam cannot be narrowed down by the focusing coil, so that the heat-affected zone is expanded and hysteresis loss is deteriorated.

ここに、電磁鋼板に対して点列状に電子ビームを照射する場合、
(1) 走査速度(m/s)=照射周波数(Hz)×ドットピッチ(m)
(2) 単位長さ当たりの照射入熱量(J/m)={加速電圧(V)×ビーム電流(A) }/{照射周波数(Hz)×ドットピッチ(m) }
という関係がある。
Here, when irradiating the electromagnetic steel sheet with an electron beam in a point sequence,
(1) Scanning speed (m / s) = Irradiation frequency (Hz) x Dot pitch (m)
(2) Irradiation heat input per unit length (J / m) = {Acceleration voltage (V) x Beam current (A)} / {Irradiation frequency (Hz) x Dot pitch (m)}
There is a relationship.

発明者らは、上記した(1)の式から、ドットピッチを広くすることにより走査速度を高くすることを試みて実験を行い、その結果、以下の知見を得た。     The inventors conducted experiments by trying to increase the scanning speed by increasing the dot pitch from the above formula (1), and as a result, the following knowledge was obtained.

図1(a)および(b)に、電子ビームの照射にかかる熱影響域の様子を模式的に示す。
図1(a)に示したような通常の電子ビーム照射の場合、ドットピッチが0.5mmを超えると、例えビーム電流を高くして、鋼板の単位長さ当たりの照射入熱量を高くしたとしても、鉄損が低減しなくなることが分かった。ここで熱影響域以外に関する電子ビームの照射条件は、後述の好適範囲内とした。
FIGS. 1A and 1B schematically show the state of a heat-affected zone related to electron beam irradiation.
In the case of normal electron beam irradiation as shown in Fig. 1 (a), if the dot pitch exceeds 0.5 mm, even if the beam current is increased and the irradiation heat input per unit length of the steel sheet is increased. It was found that the iron loss was not reduced. Here, the irradiation conditions of the electron beam other than the heat-affected zone were set within the preferable range described later.

次に、発明者らは、照射入熱量の他に、電子ビームの走査方向(以下、照射方向も同じ方向を意味する)における熱影響域の長さをL(μm)とし、電子ビームの走査方向に対し直角方向における熱影響域の長さをL(μm)としたとき、LとLの比が鉄損に大きく影響するのではないかと考えた。そこで、図1(b)および図2に示すように、熱影響域の各点において、電子ビームを微小変動させることを試みた。 Next, the inventors set the length of the heat affected zone in the scanning direction of the electron beam (hereinafter, the irradiation direction also means the same direction) as L 1 (μm) in addition to the irradiation heat input, and When the length of the heat-affected zone in the direction perpendicular to the scanning direction is L 2 (μm), the ratio of L 1 and L 2 is thought to greatly affect the iron loss. Therefore, as shown in FIGS. 1B and 2, an attempt was made to slightly change the electron beam at each point in the heat affected zone.

すなわち、L/Lの値が高くなるように、電子ビーム照射条件を調整して種々の試験を行った。その結果、LとLの比を所定の値とすることで、ドットピッチが0.5mmを超えて広くなっても、ビーム電流値を過度に高くすることなく鉄損を十分低減することが可能であることを見出した。さらに、入熱量が少ないために、ヒステリシス損を低減することが可能であることも併せて見出した。 That is, various tests were performed by adjusting the electron beam irradiation conditions so that the value of L 1 / L 2 was increased. As a result, by setting the ratio of L 1 and L 2 to a predetermined value, even if the dot pitch becomes wider than 0.5 mm, the iron loss can be sufficiently reduced without excessively increasing the beam current value. I found it possible. Furthermore, it has also been found that the hysteresis loss can be reduced because the amount of heat input is small.

なお、LとLの比を調整した(ビームの照射痕が楕円となる)技術が、特許文献6に示されているものの、かかる技術は、単に、レーザ照射痕が発生しない照射方法を説明しているに過ぎない。 Incidentally, by adjusting the ratio of L 1 and L 2 (irradiation signatures of the beam has an elliptical) technology, although in Patent Document 6, such a technology is merely an irradiation method of a laser irradiation mark is not generated It is just an explanation.

本発明は、上記した知見に基づくものであって、その要旨構成は次のとおりである。
1.圧延方向に対し60から120°の方向に、電子ビームの走査方向に沿って微小変動させた電子ビーム照射により形成された点状の熱影響域を、所定の間隔で有する方向性電磁鋼板であって、
上記電子ビームの走査方向における熱影響域の長さをL(μm)、走査方向に対し直角方向における熱影響域の長さをL(μm)とするとき、これらの比(L/L)を、1.2以上としたことを特徴とする方向性電磁鋼板。
The present invention is based on the above-described knowledge, and the gist configuration is as follows.
1. It is a grain-oriented electrical steel sheet having point-like heat-affected zones formed by electron beam irradiation that is slightly changed along the scanning direction of the electron beam in the direction of 60 to 120 ° with respect to the rolling direction at predetermined intervals. And
When the length of the heat affected zone in the scanning direction of the electron beam is L 1 (μm) and the length of the heat affected zone in the direction perpendicular to the scan direction is L 2 (μm), these ratios (L 1 / A grain-oriented electrical steel sheet characterized in that L 2 ) is 1.2 or more.

2.方向性電磁鋼板の表面に、圧延方向に対して60から120°の方向に、電子ビームを照射して、所定の間隔で並ぶ点状の熱影響域を形成するに際し、
上記電子ビームの走査方向に沿って、該電子ビームを微小変動させることにより、上記熱影響域の走査方向における長さ:L(μm)と、走査方向に対し直角方向における長さ:L(μm)との比(L/L)を1.2以上とすることを特徴とする方向性電磁鋼板の製造方法。
2. When the surface of the grain-oriented electrical steel sheet is irradiated with an electron beam in a direction of 60 to 120 ° with respect to the rolling direction to form a point-like heat-affected zone arranged at a predetermined interval,
By minutely changing the electron beam along the scanning direction of the electron beam, the length of the heat affected zone in the scanning direction: L 1 (μm) and the length in the direction perpendicular to the scanning direction: L 2 A method for producing a grain-oriented electrical steel sheet, wherein a ratio (L 1 / L 2 ) to (μm) is 1.2 or more.

本発明に従うことで、鉄損の劣化を招くことなしに、電子ビームの照射速度を、従来にも増して高めることができるため、より一層、電磁鋼板の生産性を向上させることができる。   By following the present invention, the irradiation rate of the electron beam can be increased more than before without causing deterioration of the iron loss, so that the productivity of the electromagnetic steel sheet can be further improved.

(a)および(b)は、電子ビームの照射にかかる熱影響域の様子を模式的に示した図である。(a) And (b) is the figure which showed typically the mode of the heat affected zone concerning irradiation of an electron beam. 熱影響域の各点における電子ビームの走査方向における長さと、ビームの走査方向に対し直角方向における長さを示した図である。It is the figure which showed the length in the scanning direction of the electron beam in each point of a heat affected zone, and the length in the direction orthogonal to the scanning direction of a beam. 微小変動の有無による電子ビームの走査方向に沿った照射時間を比較して示す図である。It is a figure which compares and shows the irradiation time along the scanning direction of the electron beam by the presence or absence of a micro fluctuation.

以下、本発明について具体的に説明する。
はじめに、本発明に従う方向性電磁鋼板の製造条件に関して説明する。
本発明において、方向性電磁鋼板用スラブの成分組成は、二次再結晶が生じる成分組成であればよい。また、インヒビターを利用する場合、例えばAlN系インヒビターを利用する場合であればAlおよびNを、またMnS・MnSe系インヒビターを利用する場合であればMnとSeおよび/またはSを適量含有させればよい。勿論、両インヒビターを併用してもよい。この場合におけるAl、N、SおよびSeの好適含有量はそれぞれ、Al:0.01〜0.065質量%、N:0.005〜0.012質量%、S:0.005〜0.03質量%、Se:0.005〜0.03質量%である。
Hereinafter, the present invention will be specifically described.
First, manufacturing conditions for the grain-oriented electrical steel sheet according to the present invention will be described.
In the present invention, the component composition of the slab for grain-oriented electrical steel sheet may be a component composition that causes secondary recrystallization. Further, when using an inhibitor, for example, when using an AlN-based inhibitor, Al and N, and when using an MnS / MnSe-based inhibitor, an appropriate amount of Mn and Se and / or S should be contained. Good. Of course, both inhibitors may be used in combination. The preferred contents of Al, N, S and Se in this case are Al: 0.01 to 0.065 mass%, N: 0.005 to 0.012 mass%, S: 0.005 to 0.03 mass%, and Se: 0.005 to 0.03 mass%, respectively. .

さらに、本発明は、Al、N、SおよびSeの含有量を制限した、インヒビターを使用しない方向性電磁鋼板にも適用することができる。
この場合には、Al、N、SおよびSe量はそれぞれ、Al:100質量ppm以下、N:50質量ppm以下、S:50質量ppm以下、Se:50質量ppm以下に抑制することが好ましい。
Furthermore, the present invention can also be applied to grain-oriented electrical steel sheets in which the contents of Al, N, S and Se are limited and no inhibitor is used.
In this case, the amounts of Al, N, S and Se are preferably suppressed to Al: 100 mass ppm or less, N: 50 mass ppm or less, S: 50 mass ppm or less, and Se: 50 mass ppm or less, respectively.

本発明の方向性電磁鋼板用スラブの基本成分および任意添加成分について具体的に述べると次のとおりである。
C:0.08質量%以下
Cは、熱延板組織の改善のために添加をするが、0.08質量%を超えると製造工程中に磁気時効の起こらない50質量ppm以下までCを低減することが困難になるため、0.08質量%以下とすることが好ましい。なお、下限に関しては、Cを含まない素材でも二次再結晶が可能であるので特に設ける必要はない。
The basic components and optional components of the slab for grain-oriented electrical steel sheets according to the present invention are specifically described as follows.
C: 0.08 mass% or less C is added to improve the hot-rolled sheet structure, but if it exceeds 0.08 mass%, it is difficult to reduce C to 50 mass ppm or less where no magnetic aging occurs during the manufacturing process. Therefore, the content is preferably 0.08% by mass or less. In addition, regarding the lower limit, since a secondary recrystallization is possible even for a material not containing C, it is not particularly necessary to provide it.

Si:2.0〜8.0質量%
Siは、鋼の電気抵抗を高め、鉄損を改善するのに有効な元素であるが、含有量が2.0質量%に満たないと十分な鉄損低減効果が達成できず、一方、8.0質量%を超えると加工性が著しく低下し、また磁束密度も低下するため、Si量は2.0〜8.0質量%の範囲とすることが好ましい。
Si: 2.0 to 8.0 mass%
Si is an element effective in increasing the electrical resistance of steel and improving iron loss. However, if the content is less than 2.0% by mass, a sufficient iron loss reduction effect cannot be achieved, while 8.0% by mass. If it exceeds 1, the workability is remarkably lowered and the magnetic flux density is also lowered. Therefore, the Si content is preferably in the range of 2.0 to 8.0% by mass.

Mn:0.005〜1.0質量%
Mnは、熱間加工性を良好にする上で必要な元素であるが、含有量が0.005質量%未満ではその添加効果に乏しく、一方1.0質量%を超えると製品板の磁束密度が低下するため、Mn量は0.005〜1.0質量%の範囲とすることが好ましい。
Mn: 0.005 to 1.0 mass%
Mn is an element necessary for improving the hot workability. However, if the content is less than 0.005% by mass, the effect of addition is poor, whereas if it exceeds 1.0% by mass, the magnetic flux density of the product plate decreases. The amount of Mn is preferably in the range of 0.005 to 1.0 mass%.

上記の基本成分以外に、磁気特性改善成分として、次に述べる元素を適宜含有させることができる。
Ni:0.03〜1.50質量%、Sn:0.01〜1.50質量%、Sb:0.005〜1.50質量%、Cu:0.03〜3.0質量%、P:0.03〜0.50質量%、Mo:0.005〜0.10質量%およびCr:0.03〜1.50質量%のうちから選んだ少なくとも1種
Niは、熱延板組織を改善して磁気特性を向上させるために有用な元素である。しかしながら、含有量が0.03質量%未満では磁気特性の向上効果が小さく、一方1.50質量%を超えると二次再結晶が不安定になり磁気特性が劣化する。そのため、Ni量は0.03〜1.50質量%の範囲とするのが好ましい。
In addition to the above basic components, the following elements can be appropriately contained as magnetic property improving components.
Ni: 0.03-1.50 mass%, Sn: 0.01-1.50 mass%, Sb: 0.005-1.50 mass%, Cu: 0.03-3.0 mass%, P: 0.03-0.50 mass%, Mo: 0.005-0.10 mass% and Cr: At least one selected from 0.03 to 1.50 mass%
Ni is an element useful for improving the magnetic properties by improving the hot-rolled sheet structure. However, if the content is less than 0.03% by mass, the effect of improving the magnetic properties is small. On the other hand, if it exceeds 1.50% by mass, the secondary recrystallization becomes unstable and the magnetic properties deteriorate. Therefore, the amount of Ni is preferably in the range of 0.03 to 1.50 mass%.

また、Sn、Sb、Cu、P、MoおよびCrはそれぞれ磁気特性の向上に有用な元素であるが、いずれも上記した各成分の下限に満たないと、磁気特性の向上効果が小さく、一方、上記した各成分の上限量を超えると、二次再結晶粒の発達が阻害されるため、それぞれ上記の範囲で含有させることが好ましい。
なお、上記成分以外の残部は、製造工程において混入する不可避的不純物およびFeである。
Sn, Sb, Cu, P, Mo and Cr are elements useful for improving the magnetic properties, respectively, but if any of them is less than the lower limit of each component described above, the effect of improving the magnetic properties is small, If the upper limit amount of each component described above is exceeded, the development of secondary recrystallized grains is hindered.
The balance other than the above components is inevitable impurities and Fe mixed in the manufacturing process.

次いで、上記した成分組成を有するスラブは、常法に従い加熱して熱間圧延に供するが、鋳造後、加熱せずに直ちに熱間圧延してもよい。薄鋳片の場合には熱間圧延しても良いし、熱間圧延を省略してそのまま以後の工程に進んでもよい。
さらに、必要に応じて熱延板焼鈍を施す。この時、ゴス組織を製品板において高度に発達させるためには、熱延板焼鈍温度として800〜1100℃の範囲が好適である。熱延板焼鈍温度が800℃未満であると、熱間圧延でのバンド組織が残留し、整粒した一次再結晶組織を実現することが困難になり、二次再結晶の発達が阻害される。一方、熱延板焼鈍温度が1100℃を超えると、熱延板焼鈍後の粒径が粗大化しすぎるために、整粒した一次再結晶組織の実現が極めて困難となる。
Next, the slab having the above-described component composition is heated and subjected to hot rolling according to a conventional method, but may be immediately hot rolled after casting without being heated. In the case of a thin slab, hot rolling may be performed, or the hot rolling may be omitted and the process may proceed as it is.
Furthermore, hot-rolled sheet annealing is performed as necessary. At this time, in order to develop a goth structure at a high level in the product plate, a range of 800 to 1100 ° C. is preferable as the hot-rolled sheet annealing temperature. When the hot-rolled sheet annealing temperature is less than 800 ° C, the band structure in hot rolling remains, making it difficult to achieve a sized primary recrystallization structure and inhibiting the development of secondary recrystallization. . On the other hand, when the hot-rolled sheet annealing temperature exceeds 1100 ° C., the grain size after the hot-rolled sheet annealing is excessively coarsened, so that it is very difficult to realize a sized primary recrystallized structure.

熱延板焼鈍後は、1回または中間焼鈍を挟む2回以上の冷間圧延を施した後、再結晶焼鈍を行い、焼鈍分離剤を塗布する。焼鈍分離剤を塗布した後に、二次再結晶およびフォルステライト被膜の形成を目的として最終仕上げ焼鈍を施す。   After hot-rolled sheet annealing, after performing cold rolling of 1 time or 2 times or more sandwiching intermediate annealing, recrystallization annealing is performed and an annealing separator is applied. After applying the annealing separator, a final finish annealing is performed for the purpose of secondary recrystallization and forsterite film formation.

最終仕上げ焼鈍後には、平坦化焼鈍を行って形状を矯正することが有効である。なお、本発明では、平坦化焼鈍前または後に、鋼板表面に絶縁コーティングを施す。ここに、この絶縁コーティングは、本発明では、鉄損低減のために、鋼板に張力を付与できるコーティング(以下、張力コーティングという)を意味する。なお、張力コーティングとしては、シリカを含有する無機系コーティングや物理蒸着法、化学蒸着法等によるセラミックコーティング等が挙げられる。   After the final finish annealing, it is effective to correct the shape by performing flattening annealing. In the present invention, an insulating coating is applied to the steel sheet surface before or after planarization annealing. Here, in the present invention, this insulating coating means a coating (hereinafter referred to as tension coating) that can apply tension to a steel sheet in order to reduce iron loss. Examples of the tension coating include silica-containing inorganic coating, physical vapor deposition, and ceramic coating by chemical vapor deposition.

本発明では、上述した最終仕上げ焼鈍後または張力コーティング後の方向性電磁鋼板に対し、以下に示す条件で電子ビームを照射することによって、磁区細分化処理を施すものである。   In the present invention, the magnetic domain refinement treatment is performed by irradiating the grain-oriented electrical steel sheet after the final finish annealing or tension coating described above with an electron beam under the following conditions.

続いて、本発明に従う電子ビームの照射方法に関して説明する。
まず、電子ビームの照射条件について説明する。
加速電圧:40〜300kV
加速電圧は、40kV以上であって、高いほど同一出力を得るために必要な照射ビーム電流が少なくて済む。その結果、ビーム径を絞ることができ、ヒステリシス損の過度な増大を抑制することができるため好ましい。しかしながら、300kVを超えると照射ビーム電流が過度に少なくなり、ビーム電流の微小な調整が困難となるおそれがある。
Next, an electron beam irradiation method according to the present invention will be described.
First, the electron beam irradiation conditions will be described.
Acceleration voltage: 40-300kV
The acceleration voltage is 40 kV or higher. The higher the acceleration voltage, the smaller the irradiation beam current required to obtain the same output. As a result, it is preferable because the beam diameter can be reduced and excessive increase in hysteresis loss can be suppressed. However, if it exceeds 300 kV, the irradiation beam current becomes excessively small, and fine adjustment of the beam current may be difficult.

照射径:250μm以下
照射径が太いと、熱影響域が拡大し、鉄損(ヒステリシス損)が劣化する。そのため、照射径は250μm以下が好ましい。
なお、照射径の測定は、公知のスリット法で得られる電流(あるいは電圧)曲線の半値幅で規定した。また、照射径の下限に限定はないが、過度に小さいとビームエネルギ密度が過度に高くなり、照射痕が生成し易くなって、耐電圧性や耐錆性が劣化するため、100μm程度以上とするのが好ましい。
Irradiation diameter: 250 μm or less If the irradiation diameter is large, the heat-affected zone expands and iron loss (hysteresis loss) deteriorates. Therefore, the irradiation diameter is preferably 250 μm or less.
The measurement of the irradiation diameter was defined by the half width of a current (or voltage) curve obtained by a known slit method. In addition, there is no limitation on the lower limit of the irradiation diameter, but if it is too small, the beam energy density becomes excessively high, it becomes easy to generate irradiation marks, and the voltage resistance and rust resistance deteriorate, so that it is about 100 μm or more. It is preferable to do this.

線間隔:1〜15mm
本発明における電子ビーム照射は、偏向コイルによって、被照射材の幅端から幅端へ走査させ、同様の走査を被照射材のライン方向に一定の間隔をおいて繰り返す。この間隔を、本発明では、線間隔と呼ぶ。
ここに、線間隔が1mmより狭いと、熱影響域が拡大し、鉄損(ヒステリシス損)が劣化するおそれがある。一方、15mmより広いと、十分に磁区細分化が成されず、鉄損が改善しない傾向にある。従って、本発明における線間隔は、1〜15mmの範囲とするのが好ましい。
Line spacing: 1-15mm
In the present invention, the electron beam irradiation is performed by scanning from the width end to the width end of the irradiated material by the deflection coil, and the same scanning is repeated at a certain interval in the line direction of the irradiated material. In the present invention, this interval is called a line interval.
Here, if the line spacing is narrower than 1 mm, the heat-affected zone is expanded and the iron loss (hysteresis loss) may be deteriorated. On the other hand, when the width is larger than 15 mm, the magnetic domain is not sufficiently subdivided and the iron loss tends not to be improved. Therefore, the line spacing in the present invention is preferably in the range of 1 to 15 mm.

加工室圧力:3Pa以下
加工室内の圧力の値が3Paを超えると、電子銃から発生した電子が散乱され、地鉄に熱影響を与える電子のエネルギが減少するため、十分に磁区細分化が成されず、鉄損が改善しないおそれがある。なお、下限に特に定めはなく圧力は低いほど良い。
なお、幅方向に偏向して照射させる場合は、幅方向のビームが均一になるように、事前に収束電流を調整することが好ましいのは言うまでもない。
Processing chamber pressure: 3 Pa or less When the pressure in the processing chamber exceeds 3 Pa, electrons generated from the electron gun are scattered and the energy of the electrons that have a thermal effect on the ground iron is reduced. There is a risk that iron loss will not be improved. There is no particular lower limit, and the lower the pressure, the better.
Needless to say, it is preferable to adjust the convergence current in advance so that the beam in the width direction becomes uniform when the beam is deflected in the width direction.

電子ビームは、以下に述べる間欠運動を繰り返しながら直線状に鋼板の幅端部から、もう一方の幅端部へ照射する。ただし、始点から終点に向かう方向としては、圧延方向から60から120°の方向とすることが肝要である。というのは、上記した方向を外れると、電子ビームによる磁区細分化効果が十分に発現しないからである。   The electron beam is irradiated linearly from the width end of the steel sheet to the other width end while repeating the intermittent motion described below. However, it is important that the direction from the start point to the end point is 60 to 120 ° from the rolling direction. This is because the magnetic domain fragmentation effect by the electron beam is not sufficiently exhibited when the direction is deviated from the above.

本発明では、各熱影響域の照射方向の長さを、その直角方向の長さの1.2倍以上とすることが最も重要である。というのは長さの比が1.2より小さい、すなわちL/Lが1.2より小さいと、前述したように、電子ビームによる磁区細分化が十分に成されずに、鉄損低減効果が少なくなってしまうからである。従って、L/Lは1.2以上とする。 In the present invention, it is most important that the length in the irradiation direction of each heat-affected zone is at least 1.2 times the length in the perpendicular direction. This is because when the length ratio is smaller than 1.2, that is, when L 1 / L 2 is smaller than 1.2, as described above, the magnetic domain fragmentation by the electron beam is not sufficiently performed, and the iron loss reduction effect is reduced. Because it will end up. Therefore, L 1 / L 2 is 1.2 or more.

ここに、L/Lを1.2以上とするためには、図1(b)に示したように、被照射材表面に照射された電子ビームの走査方向に沿って電子ビームを微小変動させる。かかる変動により、熱影響域が走査方向に長軸となる楕円状あるいはそれに近い形状になる。ついで、幅方向に、このような熱影響域を、所定の間隔(例えば、図1(b)中のドットピッチ)で、照射すればよい。なお、L/Lの上限は特に限定されないものの、鉄損低減効果の観点から1.5以下が好ましい。なお、上記所定の間隔は、必ずしも規則的である必要はなく不規則な間隔でも許容できる。 Here, in order to set L 1 / L 2 to 1.2 or more, as shown in FIG. 1B, the electron beam is slightly changed along the scanning direction of the electron beam applied to the surface of the irradiated material. . Due to such fluctuation, the heat-affected zone becomes an ellipse having a long axis in the scanning direction or a shape close thereto. Then, such a heat-affected zone may be irradiated in the width direction at a predetermined interval (for example, the dot pitch in FIG. 1B). Incidentally, although the upper limit of L 1 / L 2 is not particularly limited, but is preferably 1.5 or less from the viewpoint of reducing iron loss effect. The predetermined interval does not necessarily need to be regular, and irregular intervals can be allowed.

図3に、微小変動の有無による電子ビームの走査方向に沿った照射時間を比較して示す。同図に示したように、微小変動させた場合は、電子ビームが照射される領域(図中x1で示す)が、微小変動させない場合(図中x2で示す)に比較して走査方向に拡大する。なお、ドットピッチの好ましい範囲は0.2〜0.8mmである。 FIG. 3 shows a comparison of irradiation times along the scanning direction of the electron beam depending on the presence or absence of minute fluctuations. As shown in the figure, if it is slight change, (shown in figure x 1) area which the electron beam is irradiated, compared with the scanning direction in the case of not slight change (shown in the figure x 2) Expand to. A preferable range of the dot pitch is 0.2 to 0.8 mm.

なお、本発明における熱照射域の簡易的な判断方法として、被膜付きの試料に電子ビームを照射した場合には、照射熱によって生じた被膜剥離の形状(照射痕)を見て判断することができる。また、被膜がない場合や照射痕が目視で不鮮明な場合などでは、EBSPなどを用いて、歪み分布から、熱照射領域を測定することもできる。 As a simple method for determining the heat irradiation area in the present invention, when a sample with a film is irradiated with an electron beam, it can be determined by looking at the shape (irradiation trace) of film peeling caused by irradiation heat it can. Further, when there is no coating or when the irradiation mark is visually unclear, the heat irradiation region can be measured from the strain distribution using EBSP or the like.

上記した方法で観察した照射痕が、設定したドットピッチあるいはそれ以上の間隔で確認できる場合には、1つの照射痕の形状が、上記楕円状あるいは、それに近い形状であるか否かを確認すれば良く、そのような形状であれば、電子ビームの微小変動がなされているものと判別できる。   If the irradiation traces observed by the above method can be confirmed at a set dot pitch or more, check whether the shape of one irradiation trace is the elliptical shape or a shape close thereto. If it is such a shape, it can be determined that the electron beam has undergone minute fluctuations.

一方、設定したドットピッチよりも狭い間隔で照射痕が確認できる場合は、上記の微小変動が起こり、1つの熱影響域内で温度のムラが生じて、複数の照射痕が生成したものと考えられることから、各照射痕の間隔を測定し、その間隔が最も狭くなる2つの照射痕を、一つの照射痕として扱う。そして、例えば、20個の照射痕の平均的な間隔が、設定したドットピッチ程度になるまで、ドットピッチの調整を繰り返す。その後に、新しく決めた照射痕の形状を測定し、楕円またはそれに近い形状であれば、電子ビームの微小変動がなされているものと判別できる。   On the other hand, when irradiation marks can be confirmed at an interval narrower than the set dot pitch, it is considered that the above-mentioned minute fluctuation occurs and temperature unevenness occurs in one heat-affected zone, and a plurality of irradiation marks are generated. Therefore, the interval between the irradiation marks is measured, and the two irradiation marks whose intervals are the narrowest are handled as one irradiation mark. Then, for example, the adjustment of the dot pitch is repeated until the average interval between the 20 irradiation traces is about the set dot pitch. After that, the shape of the newly determined irradiation mark is measured, and if it is an ellipse or a shape close thereto, it can be determined that a minute fluctuation of the electron beam is made.

本発明において、個々の熱影響域は、図2、3に示したように、微小変動領域を含む1ドットが鋼板をa1秒の間照射する局所的な領域とする。このとき照射のビームスポットは、公知のスリット法によって測定したビーム径を直径とする円形状として考える。ただし、L1/L2≧1.2であれば、その照射痕は電子ビーム走査方向の長さ/その直角方向の長さ≧1.2の範囲となることが、発明者らによる観察結果より明らかとなっている。従って、厳密なL1、L2が未知であっても、前記した照射痕形状となっていれば、本発明に従う電子ビームの微小変動がなされていることを判別することができる。 In the present invention, as shown in FIGS. 2 and 3, each heat-affected zone is a local region in which one dot including a minute variation region irradiates the steel plate for a 1 second. At this time, the irradiation beam spot is considered as a circular shape having a beam diameter measured by a known slit method. However, when L 1 / L 2 ≧ 1.2, it is clear from the observation results by the inventors that the irradiation trace is in the range of the length in the electron beam scanning direction / the length in the perpendicular direction ≧ 1.2. ing. Therefore, even if the exact L 1 and L 2 are unknown, it can be determined that the electron beam according to the present invention has undergone minute fluctuations as long as it has the irradiation mark shape described above.

ここに、照射周波数の逆数は、1ドット当たりの照射時間であるが、微小変動させる場合、その微小変動の照射時間を含むものとする。   Here, the reciprocal of the irradiation frequency is the irradiation time per dot, but in the case of minute fluctuation, the irradiation time of the minute fluctuation is included.

本発明において、上述した工程や製造条件以外については、従来公知の電子ビームを用いた磁区細分化処理を施す方向性電磁鋼板の製造条件を、適用することができる。   In this invention, except the process and manufacturing conditions mentioned above, the manufacturing conditions of the grain-oriented electrical steel sheet which performs a magnetic domain refinement process using the conventionally well-known electron beam are applicable.

本発明は、上記した各条件を満足することにより、圧延方向に対し60から120°の方向に、電子ビームを照射し、所定間隔で点状の熱影響域を形成した方向性電磁鋼板であって、電子ビームの走査方向における点状の熱影響域の長さをL(μm)、走査方向に対し直角方向における長さをL(μm)とするとき、これらの比(L/L)を1.2以上とすることができる。その結果、電子ビーム照射の走査速度が速くても、鉄損が低い方向性電磁鋼板を得ることができる。 The present invention is a grain-oriented electrical steel sheet that radiates an electron beam in a direction of 60 to 120 ° with respect to the rolling direction and forms point-like heat-affected zones at predetermined intervals by satisfying the above-described conditions. When the length of the point-like heat-affected zone in the scanning direction of the electron beam is L 1 (μm) and the length in the direction perpendicular to the scanning direction is L 2 (μm), these ratios (L 1 / L 2 ) can be 1.2 or more. As a result, even if the scanning speed of electron beam irradiation is high, a grain-oriented electrical steel sheet with low iron loss can be obtained.

表1に示す成分組成になる鋼スラブを、連続鋳造にて製造し、1430℃に加熱後、熱間圧延により板厚:1.6mmの熱延板としたのち、1000℃で10秒の熱延板焼鈍を施した。
ついで、冷間圧延により中間板厚:0.55mmとし、雰囲気酸化度PH2O/PH2=0.37、温度:1100℃、時間:100秒の条件で中間焼鈍を実施した。その後、塩酸酸洗により表面のサブスケールを除去したのち、再度、冷間圧延を実施して、板厚:0.23mmの冷延板とした。
ついで、雰囲気酸化度PH2O/PH2=0.45、均熱温度:850℃で150秒保持する脱炭焼鈍を施したのち、MgOを主成分とする焼鈍分離剤を塗布した。その後、二次再結晶と純化を目的とした最終仕上げ焼鈍を1180℃、60hの条件で実施した。
この最終仕上げ焼鈍では、700℃以上の温度領域の冷却過程における平均冷却速度を変化させた。ついで、50%のコロイダルシリカとリン酸マグネシウムからなる張力コーティングを付与し、鉄損を測定した。鉄損は、渦電流損(1.7T、50Hz)が0.56〜0.58W/kgであった。
Steel slabs with the composition shown in Table 1 are manufactured by continuous casting, heated to 1430 ° C, hot rolled into a hot rolled sheet with a thickness of 1.6mm, and then hot rolled at 1000 ° C for 10 seconds. Plate annealing was performed.
Next, intermediate annealing was performed by cold rolling to an intermediate plate thickness of 0.55 mm, atmosphere oxidation degree PH 2 O / PH 2 = 0.37, temperature: 1100 ° C., and time: 100 seconds. Then, after removing the surface subscale by hydrochloric acid pickling, cold rolling was performed again to obtain a cold-rolled sheet having a sheet thickness of 0.23 mm.
Next, after decarburization annealing was performed at atmospheric oxidation degree PH 2 O / PH 2 = 0.45 and soaking temperature: 850 ° C. for 150 seconds, an annealing separator mainly composed of MgO was applied. Then, final finish annealing for the purpose of secondary recrystallization and purification was performed at 1180 ° C. for 60 hours.
In this final finish annealing, the average cooling rate in the cooling process in the temperature range of 700 ° C. or higher was changed. Next, a tension coating composed of 50% colloidal silica and magnesium phosphate was applied, and the iron loss was measured. The iron loss was 0.56 to 0.58 W / kg in eddy current loss (1.7 T, 50 Hz).

Figure 0005953690
Figure 0005953690

その後、表2に示す各照射条件で電子ビームを照射する磁区細分化処理を施し、得られた鋼板の鉄損を、JIS C2556に準拠して測定した。
測定結果を表3に示す。
Then, the magnetic domain fragmentation process which irradiates an electron beam on each irradiation condition shown in Table 2 was performed, and the iron loss of the obtained steel plate was measured based on JIS C2556.
Table 3 shows the measurement results.

Figure 0005953690
Figure 0005953690

Figure 0005953690
Figure 0005953690

記号1と2、3と4および6と7を比較すると、L/Lを1.2以上に大きくすることで、電子ビーム照射前後の全鉄損変化量の大きさ(ΔW17/50の絶対値)がほぼ同等であっても、ヒステリシス損が低く、さらにドットピッチ×周波数で表される走査速度が速くなっていることが分かる。 Comparing symbols 1 and 2, 3 and 4, and 6 and 7, by increasing L 1 / L 2 to 1.2 or more, the magnitude of the total iron loss change before and after electron beam irradiation (the absolute value of ΔW 17/50 It can be seen that even when the values are substantially equal, the hysteresis loss is low and the scanning speed represented by dot pitch × frequency is high.

また、記号5をみると、L/Lを、1.00より大きくしたとしても1.2以上でなければ、鉄損が十分低減しないことが分かる。他方、記号6と8を比較すると、単純に、周波数を高くし、ビーム電流を高くして、走査速度を速くした場合には、ヒステリシス損の増大が影響して、鉄損の低減効果が低くなってしまうことが分かる。 Further, looking at symbol 5, it can be seen that even if L 1 / L 2 is greater than 1.00, the iron loss is not sufficiently reduced unless it is 1.2 or more. On the other hand, comparing symbols 6 and 8, when the frequency is simply increased, the beam current is increased, and the scanning speed is increased, the effect of reducing the iron loss is reduced due to the increase in hysteresis loss. It turns out that it will become.

なお、以上の実施例では、主にインヒビター成分を含んだ方向性電磁鋼板について説明したが、いわゆるインヒビターレスと言われる成分の鋼板についても同様の結果が得られることを確認している。   In the above embodiment, the grain-oriented electrical steel sheet mainly containing an inhibitor component has been described. However, it has been confirmed that the same result can be obtained for a steel sheet having a so-called inhibitorless component.

Claims (2)

圧延方向に対し60から120°の方向に、電子ビームの走査方向に沿って微小変動させた電子ビーム照射により形成された点状の熱影響域を、所定の間隔で有する方向性電磁鋼板であって、
上記電子ビームの走査方向における熱影響域の長さをL(μm)、走査方向に対し直角方向における熱影響域の長さをL(μm)とするとき、これらの比(L/L)を、1.2以上としたことを特徴とする方向性電磁鋼板。
It is a grain-oriented electrical steel sheet having point-like heat-affected zones formed by electron beam irradiation that is slightly changed along the scanning direction of the electron beam in the direction of 60 to 120 ° with respect to the rolling direction at predetermined intervals. And
When the length of the heat affected zone in the scanning direction of the electron beam is L 1 (μm) and the length of the heat affected zone in the direction perpendicular to the scan direction is L 2 (μm), these ratios (L 1 / A grain-oriented electrical steel sheet characterized in that L 2 ) is 1.2 or more.
方向性電磁鋼板の表面に、圧延方向に対して60から120°の方向に、電子ビームを照射して、所定の間隔で並ぶ点状の熱影響域を形成するに際し、
上記電子ビームの走査方向に沿って、該電子ビームを微小変動させることにより、上記熱影響域の走査方向における長さ:L(μm)と、走査方向に対し直角方向における長さ:L(μm)との比(L/L)を1.2以上とすることを特徴とする方向性電磁鋼板の製造方法。
When the surface of the grain-oriented electrical steel sheet is irradiated with an electron beam in a direction of 60 to 120 ° with respect to the rolling direction to form a point-like heat-affected zone arranged at a predetermined interval,
By minutely changing the electron beam along the scanning direction of the electron beam, the length of the heat affected zone in the scanning direction: L 1 (μm) and the length in the direction perpendicular to the scanning direction: L 2 A method for producing a grain-oriented electrical steel sheet, wherein a ratio (L 1 / L 2 ) to (μm) is 1.2 or more.
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