JP5940380B2 - Siと金属Mとを含む膜の製造方法 - Google Patents
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Description
かかる状況下、本発明の目的は、より効率的な蒸着レート、例えば、10μm/min以上の蒸着レートでのSiと金属Mとを含む膜の製造方法を提供することにある。
<1> Siと金属M(但し、金属MはSi以外の金属である。)とを蒸着源に用いて、柱状構造の集合体を有する膜を基板に蒸着により形成するSiと金属Mとを含む膜の製造方法であって、下記(1)および(2)の条件で蒸着するSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
(1)蒸着時の蒸着源の温度が、蒸着源の融点よりも100K以上高い温度であること
(2)蒸着時のSi原子の平均自由行程(λ)が蒸着源−基板間距離(D)よりも小さいこと
<2> 蒸着時の蒸着源の温度が、蒸着源の融点よりも300K以上高い温度である前記<1>に記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
<3> 更に、蒸着時の基板の温度を、蒸着源の温度より700K以上低い条件で蒸着を行う前記<1>または<2>に記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
<4> 蒸着時のSi原子の平均自由行程(λ)が、蒸着源−基板間距離(D)の1/10以下である前記<1>から<3>のいずれかに記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
<5> 蒸着源が、Siと金属Mとの合金および/またはこれらの混合物である前記<1>から<4>のいずれかに記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
<6> 製膜速度が、10〜200μm/分である前記<1>から<5>のいずれかに記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
<7> 金属Mが、銅である前記<1>から<6>のいずれかに記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
<8> 基板の材質が、銅、ステンレス、ニッケル、鉄、コバルト、クロム、マンガン、モリブデン、ニオブ、タングステン、チタンおよびタンタルからなる群より選ばれる1種以上の金属である前記<1>から<7>のいずれかに記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
<9> 前記<1>から<8>のいずれかに記載の製造方法で得られてなるSiと金属Mとを含む膜。
<10> 前記<9>に記載のSiと金属Mとを含む膜を有してなる電極。
<11> 前記<10>に記載の電極を、負極として用いてなるリチウム二次電池。
(1)蒸着時の蒸着源の温度が、蒸着源の融点よりも100K以上高い温度であること
(2)蒸着時のSi原子の平均自由行程(λ)が蒸着源−基板間距離(D)よりも小さいこと
本発明の製造方法により、本発明のSiと金属Mとを含む膜を製造することができる。
本発明における蒸着源としては、Siと金属M(但し、金属MはSi以外の金属である。)とを含む組み合わせであればよく、Si、金属M、Siと金属Mとを含む合金を複数組み合わせてもよい。また、本発明では蒸着源を融点以上に加熱して溶融させるため蒸着源はどのような形状でもよく、溶融速度の観点から粉末状であることが好ましい。
蒸着源として用いる物質は表面に有機物や酸化被膜層が存在する場合がある為、必要に応じて使用前に当該蒸着源として用いる物質に対して、HF処理、酸化処理、還元処理等を行うことが好ましい。
本発明において、蒸着源の温度は蒸着速度を速くする観点から蒸着源の融点よりも100K以上高い温度であり、融点よりも300K以上高い温度であることが好ましい。
ここに「蒸着源の融点」とは、Siと金属Mとを溶融時に別々のボートに入れて接触しない状態で異なる温度で加熱する場合は、Siおよび金属Mの夫々の融点をいい、Siと金属Mの混合物としてSiと金属Mとが接触した状態で同じボートで溶融させる場合は、混合物の融点をいう。また、Siと金属Mの合金の場合は、合金の融点をいう。ここで、融点とは、常圧(1気圧)の時の融点をいう。
一方、蒸着源の温度は、蒸着速度を大きくする観点では、蒸着源の温度は、1800K以上であることが好ましい。蒸着源の温度の上限は、通常、2300K程度である。
なお、本発明では、後述のように蒸着源の温度に加え、基板の温度を、蒸着源の温度より700K以上低くすることが好ましい。
本発明において、Si原子の平均自由行程(λ)が、蒸着源−基板間距離(D)よりも小さいことが条件の一つである。このことは、通常の真空蒸着における雰囲気圧力ではないことを意味しており、通常の真空蒸着(圧力は、0.001Pa程度)においては、前記λは、前記Dよりも大きくなる。なお、好適な条件の一例をとして、蒸着時のSi原子の平均自由行程(λ)が、蒸着源−基板間距離(D)の1/10以下の条件を挙げることができる。
本発明のSiと金属Mとを含む膜の製造方法においては、蒸着源−基板間距離(D)が、基板の垂直方向からみた基板の最小径(P)よりも小さいことが好ましい。これにより、膜の成長速度、すなわち製膜速度をより高くすることができる。本発明のSiと金属Mとを含む膜の製造方法においては、蒸着源と基板とが平行に配置され、色々な方向から蒸着源の原子が飛来する状況にあったとしても、柱状構造の集合体を有するSiと金属Mとを含む膜を得ることができる。
本発明のSiと金属Mとを含む膜の製造方法においては、上記条件下に蒸着を行なうことにより、製膜速度を5μm/分以上、好ましくは10μm/分以上とすることができる。一方、製膜速度が、1000μm/分を超えると均一な膜ができない(膜厚に偏りを生じる)おそれがある。
このため、製膜速度としては、10〜1000μm/分であることが好ましい。それにより、蒸着時間を0.1〜10分としても、実用上有用な厚みのSiと金属Mとを含む膜を製造することができる。
前記基板の材質としては、金属が挙げられ、中でも、銅、ステンレス、ニッケル、鉄、コバルト、クロム、マンガン、モリブデン、ニオブ、タングステン、チタンおよびタンタルからなる群より選ばれる1種以上の元素を含むことが好ましく、より好ましくは、銅、ステンレス、ニッケルおよび鉄からなる群より選ばれる1種以上であり、さらにより好ましくは、銅である。基板として用いる物質は表面に有機物や酸化被膜層が存在する場合がある為、必要に応じて蒸着前に基板として用いる物質に対して酸化処理や還元処理等を行うことが好ましい。
本発明においては、蒸着源の温度に加え、基板の温度をコントロールすることが、本発明の目的とする膜を得る為に有効である。
即ち、基板の温度は、蒸着源の温度よりも700K以上、好ましくは1000K以上低くすることが好ましい。基板の温度を、このように蒸着源の温度より低くすることにより、形成される膜には、柱状構造の集合体のそれぞれの間に、十分な幅と間隔の亀裂を有すため、この形成される膜をリチウム二次電池の負極として用いた場合に、リチウムイオンの吸蔵時等の際に生じる、柱状構造の集合体の体積膨張を緩和することできる。
本発明の膜において、前記柱状集合体は、好ましくはアスペクト比が30以上であり、より好ましくは300以上である。また、前記柱状集合体の厚みは、好ましくは1〜100μmであり、この柱状集合体を構成する柱状構造の直径は、好ましくは10〜1000nmである。
(SEM観察及びEDS分析)
基板上に蒸着により形成した蒸着膜をサンプルステージ上に貼った導電性シート上に載せ、日本電子株式会社製のSEM(JSM−5510)を用いて、加速電圧が20kVの電子線を蒸着膜に照射して蒸着膜の表面および断面のSEM観察を行った。蒸着膜の断面は、蒸着膜および基板を蒸着膜表面に垂直な方向から切断して得た。また、膜の切断面の元素マッピングは、日本電子株式会社製のEDS(JED−2300)を用いて、加速電圧が20kVの電子線を切断面に照射して行った。
(蒸着膜の製造)
チャンバー内に、40×2mmのカーボンボートを設置し、この上に、5−10%のHF溶液を用いてHF処理したSi片(純度99.99%以上)を粉砕して作製したSi粉末と、Cu粉末(純度99.8%以上)とを重量比が9:1(Si:Cu)を混合物として載置し、これを蒸着源とした。蒸着源の混合粉末は、加熱することにより融解してボート上に広がるため、蒸着源のサイズは、40×2mmとなる。カーボンボートの上側に、オゾン処理およびH2還元処理を行ったCu箔(15.5mmφ、500μm厚み)を配置し、これを基板(集電体)とした。Cu箔は、ボートに平行に対向させるようにした。このとき、蒸着源−基板間距離(D)は、25mmとした。Cu箔は水冷管で冷却可能な冷却ブロックの表面に密着させて固定した。ドライポンプで真空引きし、その後アルゴンガスを10sccm導入し、チャンバ―内の圧力を18.9Pa(0.14Torr)に設定した。このときのSi原子の平均自由行程(λ)は、分子運動論からλ=kT/(21/2σp)で求められる。ここでボルツマン定数k=1.38×10-23J/K、温度T=300K、圧力p=18.9Pa、衝突断面積σ=πd2である。SiとArの衝突直径dを0.35nmとすると、平均自由行程λは0.40mmと計算される。
圧力が一定になった後、冷却ブロックに水を流してCu箔を冷却し、カーボンボートの通電(加熱)を開始した。通電開始から60秒後にボートの温度がSiの融点(1687K)を超えた。さらに温度上昇を続けて、通電開始から60〜120秒後に1773〜2073Kで60秒間蒸着を行った後、ボートを冷却した。Cu箔はボートの通電開始から60秒後に623Kまで昇温し、更にSiを蒸着している60秒間で873Kまで昇温した後、ボートの冷却とともに冷却された。この蒸着で膜厚13.5μmのSiとCuとを含む膜を得た(製膜速度13.5μm/分)。
得られた蒸着膜について、SEM観察した際の断面模式図を図1及び図2に、表面模式図を図3に示す。図1及び図2では、本発明の膜が膜厚方向に成長した柱状構造を有することが示されている。図3では、本発明の膜が膜厚方向に成長した柱状構造の集合体(図中1)を有することが示されている。また、切断面をSEM観察した際の断面模式図、切断面をEDSで分析した際のSiのマッピング図及びCuのマッピング図を、図4、図5及び図6にそれぞれ示す。図4、図5及び図6によれば、SiとCuが切断面に均一に分布していることが示されている。
Claims (11)
- 金属Siと金属M(但し、金属MはSi以外の金属である。)とを蒸着源に用いて、柱状構造の集合体を有する膜を基板に蒸着により形成するSiと金属Mとを含む膜の製造方法であって、下記(1)および(2)の条件で蒸着することを特徴とするSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
(1)蒸着時の蒸着源の温度が、蒸着源の融点よりも100K以上高い温度であること
(2)蒸着時のSi原子の平均自由行程(λ)が蒸着源−基板間距離(D)よりも小さいこと - 蒸着時の蒸着源の温度が、蒸着源の融点よりも300K以上高い温度である請求項1に記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
- 更に、蒸着時の基板の温度を、蒸着源の温度より700K以上低い条件で蒸着を行うとする請求項1または2に記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
- 蒸着時のSi原子の平均自由行程(λ)が、蒸着源−基板間距離(D)の1/10以下である請求項1から3のいずれかに記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
- 蒸着源が、金属Siと金属Mとの合金および/またはこれらの混合物である請求項1から4のいずれかに記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
- 製膜速度が、10μm/分以上200μm/分以下である請求項1から5のいずれかに記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
- 蒸着源である金属Siと金属Mとを接触しない状態で、かつ異なる温度で加熱する請求項1から6のいずれかに記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
- 金属Mが、銅である請求項1から7のいずれかに記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
- 基板の材質が、銅、ステンレス、ニッケル、鉄、コバルト、クロム、マンガン、モリブデン、ニオブ、タングステン、チタンおよびタンタルからなる群より選ばれる1種以上の金属である請求項1から8のいずれかに記載のSiと金属Mとを含む膜の製造方法。
- 請求項1から9のいずれかに記載の製造方法によってSiと金属Mとを含む膜を形成する工程を有することを特徴とする電極の製造方法。
- 前記電極が、リチウム二次電池用負極である請求項10に記載の電極の製造方法。
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