JP5938417B2 - One-part epoxy resin composition - Google Patents

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Description

本発明は、フリップチップ実装体向けのアンダーフィル材として用いられる一液型エポキシ樹脂組成物に関し、特に、先供給型のアンダーフィル材としての使用に適したエポキシ樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a one-pack type epoxy resin composition used as an underfill material for a flip chip mounting body, and more particularly to an epoxy resin composition suitable for use as a pre-feed type underfill material.

フリップチップ実装体では、バンプ電極を介して基板上の電極部と、半導体素子としてのチップまたはパッケージと、が接続された構造を有しており、両者の接続部位はアンダーフィルで補強されている。アンダーフィル材の供給方法としては、チップまたはパッケージと、基板上の電極部と、を接続させた後、チップまたはパッケージの外周に沿って後供給型のアンダーフィル材を塗布(ディスペンス)し、毛細管現象を利用して、両者の間隙にアンダーフィル材を充填するキャピラリーフローと、フリップチップボンダー装置を使用して基板上のアンダーフィル材で補強する部位(具体的には、基板上の電極部およびその周辺)に、あらかじめ先供給型のアンダーフィル材を塗布(ディスペンス)しておき、その上からチップまたはパッケージを圧接させることにより、チップまたはパッケージを基板に接続するコンプレッションフローがある。いずれの場合であっても、アンダーフィル材を加熱硬化させることで両者の接続部位を補強する。
工程時間を短縮したりボイドを減少させたりするなどの目的で、いずれの方法の場合であっても予め加熱した(例えば60℃〜120℃)基板上にアンダーフィル材をディスペンスすることから、アンダーフィル材には60℃〜120℃の中温域での安定性が求められる。
The flip chip mounting body has a structure in which an electrode portion on a substrate and a chip or a package as a semiconductor element are connected via a bump electrode, and the connecting portion of both is reinforced with an underfill. . The underfill material can be supplied by connecting the chip or package and the electrode part on the substrate, and then applying (dispensing) a post-feed type underfill material along the outer periphery of the chip or package, and then the capillary tube. Utilizing this phenomenon, a capillary flow that fills the gap between the two with an underfill material, and a portion that is reinforced with an underfill material on a substrate using a flip chip bonder device (specifically, electrode portions on the substrate and There is a compression flow in which a pre-feed type underfill material is applied (dispensed) in advance to the periphery thereof, and the chip or package is pressed from above, thereby connecting the chip or package to the substrate. In either case, the connection portion between the two is reinforced by heat-curing the underfill material.
For the purpose of shortening the process time or reducing voids, the underfill material is dispensed on a preheated substrate (for example, 60 ° C. to 120 ° C.) in any method. The fill material is required to have stability in a medium temperature range of 60 ° C to 120 ° C.

先供給型および後供給型のいずれの場合においても、アンダーフィル材としては、保管や取り扱いが容易であることから一液型エポキシ樹脂組成物が通常用いられる。
しかしながら、一液型エポキシ樹脂組成物は、中温域での安定性が低いことから、基板上にアンダーフィル材をディスペンスする際に硬化反応が進行するおそれがあり、フリップチップ実装時の作業性に問題があった。
In both cases of the pre-feed type and the post-feed type, a one-pack type epoxy resin composition is usually used as the underfill material because it is easy to store and handle.
However, since the one-pack type epoxy resin composition has low stability in the middle temperature range, the curing reaction may proceed when dispensing the underfill material on the substrate. There was a problem.

一液型エポキシ樹脂組成物の速硬化性を維持しつつ、常温域での保存安定性を改善する目的で、該エポキシ樹脂組成物に含有させる硬化促進剤の潜在化が試みられている。その手段としては、硬化促進剤のマイクロカプセル化(特許文献1参照)、硬化促進剤の包接化合物化(特許文献2、3参照)等が提案されている。しかしいずれも、60℃〜120℃の中温域での安定性を高めると速硬化性は損なわれる。たとえば、該エポキシ樹脂組成物の硬化性を制御して、60℃〜120℃の中温域での安定性を高めるために、硬化促進剤の含有量を減らした場合、硬化に要する時間が長くなり、速硬化性は損なわれる。   For the purpose of improving the storage stability in the normal temperature range while maintaining the rapid curability of the one-pack type epoxy resin composition, attempts have been made to latentize the curing accelerator contained in the epoxy resin composition. As the means, microencapsulation of a curing accelerator (see Patent Document 1), inclusion of a curing accelerator into an inclusion compound (see Patent Documents 2 and 3), and the like have been proposed. However, in any case, when the stability in the middle temperature range of 60 ° C. to 120 ° C. is increased, the fast curability is impaired. For example, when the content of the curing accelerator is reduced in order to control the curability of the epoxy resin composition and increase the stability in the middle temperature range of 60 ° C. to 120 ° C., the time required for curing becomes longer. , Fast curability is impaired.

特開2005−344046号公報JP 2005-344046 A 特開2007−39449号公報JP 2007-39449 A 特開2010−180337号公報JP 2010-180337 A

本発明は、上記した従来技術における問題点を解決するため、150℃以上での速硬化性を維持すると共に60℃〜120℃の中温域で高い安定性を有する一液型エポキシ樹脂組成物を提供することを目的とする。   In order to solve the above-described problems in the prior art, the present invention provides a one-pack type epoxy resin composition that maintains high curability at 150 ° C. or higher and has high stability in the middle temperature range of 60 ° C. to 120 ° C. The purpose is to provide.

上記の目的を達成するため、本発明は、(a)液状エポキシ樹脂、(b)酸無水物系硬化剤またはフェノール系硬化剤、(c)潜在性硬化促進剤、(d)5−ヒドロキシイソフタル酸、5−ニトロイソフタル酸たはそれらの混合物、を含み、前記(c)潜在性硬化促進剤が、アミンアダクト化合物をコアとするマイクロカプセル型潜在性硬化促進剤、または、アミンアダクト型潜在性硬化剤である、一液型エポキシ樹脂組成物を提供する。 In order to achieve the above object, the present invention provides (a) a liquid epoxy resin, (b) an acid anhydride curing agent or a phenol curing agent, (c) a latent curing accelerator, (d) 5-hydroxyisophthalate. acid, 5-nitro-isophthalic acid or the look-containing mixtures thereof, wherein the (c) a latent curing accelerator, a microcapsule-type latent curing accelerator and core amine adduct compound, or amine adduct A one-pack type epoxy resin composition which is a latent curing agent is provided.

本発明の一液型エポキシ樹脂組成物において、前記(c)潜在性硬化促進剤が常温で固形であることが好ましい。   In the one-pack type epoxy resin composition of the present invention, it is preferable that the (c) latent curing accelerator is solid at room temperature.

本発明の一液型エポキシ樹脂組成物において、前記(c)および前記(d)の質量比((d)/(c))が0.01〜5であることが好ましい。   In the one-pack type epoxy resin composition of the present invention, the mass ratio ((d) / (c)) of (c) and (d) is preferably 0.01 to 5.

本発明の一液型エポキシ樹脂組成物において、さらに無機充填材を含んでいてもよい。   The one-pack type epoxy resin composition of the present invention may further contain an inorganic filler.

また、本発明は、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物からなるアンダーフィル材を提供する。   The present invention also provides an underfill material comprising the one-pack type epoxy resin composition of the present invention.

また、本発明は、フリップチップボンディング方式により配線基板に半導体チップが実装された半導体装置の製造方法であって、
配線基板を加熱して60℃〜120℃に保持する工程、
前記配線基板上に本発明のアンダーフィル材を塗布する工程、
前記配線基板の前記アンダーフィルが塗布された部位に、半導体チップを位置合わせして圧接する工程、および、
150℃〜200℃で前記アンダーフィル材を硬化させる工程と、
を含む半導体装置の製造方法を提供する。
Further, the present invention is a method for manufacturing a semiconductor device in which a semiconductor chip is mounted on a wiring board by a flip chip bonding method,
A step of heating the wiring board and maintaining it at 60 ° C. to 120 ° C .;
Applying the underfill material of the present invention on the wiring board;
A step of aligning and pressing a semiconductor chip on a portion of the wiring board to which the underfill has been applied; and
Curing the underfill material at 150 ° C. to 200 ° C .;
The manufacturing method of the semiconductor device containing this is provided.

また、本発明は、フリップチップボンディング方式により配線基板に半導体チップが実装された半導体装置の製造方法であって、
配線基板に半導体チップを接続する工程、
前記配線基板を加熱して60℃〜120℃に保持する工程、
前記配線基板と前記半導体チップとの間隙に本発明のアンダーフィル材を充填する工程、および、150℃〜200℃で前記アンダーフィル材を硬化させる工程を含む半導体装置の製造方法を提供する。
Further, the present invention is a method for manufacturing a semiconductor device in which a semiconductor chip is mounted on a wiring board by a flip chip bonding method,
Connecting a semiconductor chip to a wiring board;
A step of heating the wiring substrate and maintaining the temperature at 60 ° C. to 120 ° C .;
Provided is a method for manufacturing a semiconductor device, which includes a step of filling an underfill material of the present invention in a gap between the wiring board and the semiconductor chip, and a step of curing the underfill material at 150 ° C. to 200 ° C.

本発明の一液型エポキシ樹脂組成物は、150℃以上で速硬化性を有しており、かつ、60℃〜120℃の中温域で高い安定性を有していることから、フリップチップ実装時のアンダーフィル材として好適である。本発明の一液型エポキシ樹脂組成物をアンダーフィル材として使用することで、フリップチップ実装時の作業性が向上する。   The one-pack type epoxy resin composition of the present invention has a fast curing property at 150 ° C. or higher, and has a high stability in an intermediate temperature range of 60 ° C. to 120 ° C. Suitable as an underfill material. By using the one-pack type epoxy resin composition of the present invention as an underfill material, workability at the time of flip chip mounting is improved.

以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の一液型エポキシ樹脂組成物は、以下に示す(a)〜(d)成分を必須成分として含有する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The one-pack type epoxy resin composition of the present invention contains the following components (a) to (d) as essential components.

(a)成分:液状エポキシ樹脂
(a)成分の液状エポキシ樹脂は、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物の主剤をなす成分である。
本発明において、液状エポキシ樹脂とは常温で液状のエポキシ樹脂を意味する。
本発明における液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂の平均分子量が約400以下のもの;p−グリシジルオキシフェニルジメチルトリスビスフェノールAジグリシジルエーテルのような分岐状多官能ビスフェノールA型エポキシ樹脂;ビスフェノールF型エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂の平均分子量が約570以下のもの;ビニル(3,4−シクロヘキセン)ジオキシド、3,4−エポキシシクロヘキシルカルボン酸(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル、アジピン酸ビス(3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル)、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)5,1−スピロ(3,4−エポキシシクロヘキシル)−m−ジオキサンのような脂環式エポキシ樹脂;3,3´,5,5´−テトラメチル−4,4´−ジグリシジルオキシビフェニルのようなビフェニル型エポキシ樹脂;ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジル、3−メチルヘキサヒドロフタル酸ジグリシジル、ヘキサヒドロテレフタル酸ジグリシジルのようなグリシジルエステル型エポキシ樹脂;ジグリシジルアニリン、ジグリシジルトルイジン、トリグリシジル−p−アミノフェノール、テトラグリシジル−m−キシリレンジアミン、テトラグリシジルビス(アミノメチル)シクロヘキサンのようなグリシジルアミン型エポキシ樹脂;ならびに1,3−ジグリシジル−5−メチル−5−エチルヒダントインのようなヒダントイン型エポキシ樹脂;ナフタレン環含有エポキシ樹脂が例示される。また、1,3−ビス(3−グリシドキシプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンのようなシリコーン骨格をもつエポキシ樹脂も使用することができる。さらに、(ポリ)エチレングリコールジグリシジルエーテル、(ポリ)プロピレングリコールジグルシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテルのようなジエポキシド化合物;トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテルのようなトリエポキシド化合物等も例示される。
中でも好ましくは、液状ビスフェノール型エポキシ樹脂、液状アミノフェノール型エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂である。さらに好ましくは液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂、液状ビスフェノールF型エポキシ樹脂、p−アミノフェノール型液状エポキシ樹脂、1,3−ビス(3−グリシドキシプロピル)テトラメチルジシロキサンである。
(a)成分としての液状エポキシ樹脂は、単独でも、2種以上併用してもよい。
また、常温で固体のエポキシ樹脂であっても、液状のエポキシ樹脂と併用することにより、混合物として液状を示す場合は用いることができる。
(A) Component: Liquid Epoxy Resin The liquid epoxy resin (a) is a component that forms the main component of the one-pack type epoxy resin composition of the present invention.
In the present invention, the liquid epoxy resin means an epoxy resin that is liquid at room temperature.
As the liquid epoxy resin in the present invention, a bisphenol A type epoxy resin having an average molecular weight of about 400 or less; a branched polyfunctional bisphenol A type epoxy resin such as p-glycidyloxyphenyldimethyltrisbisphenol A diglycidyl ether; bisphenol F type epoxy resin; phenol novolac type epoxy resin having an average molecular weight of about 570 or less; vinyl (3,4-cyclohexene) dioxide, 3,4-epoxycyclohexylcarboxylic acid (3,4-epoxycyclohexyl) methyl, adipic acid Alicyclic epoxy resins such as bis (3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl), 2- (3,4-epoxycyclohexyl) 5,1-spiro (3,4-epoxycyclohexyl) -m-dioxane ; 3, 3 ' Biphenyl type epoxy resin such as 5,5′-tetramethyl-4,4′-diglycidyloxybiphenyl; glycidyl ester such as diglycidyl hexahydrophthalate, diglycidyl 3-methylhexahydrophthalate, diglycidyl hexahydroterephthalate Type epoxy resins; glycidyl amine type epoxy resins such as diglycidyl aniline, diglycidyl toluidine, triglycidyl-p-aminophenol, tetraglycidyl-m-xylylenediamine, tetraglycidyl bis (aminomethyl) cyclohexane; and 1,3 -Hydantoin type epoxy resin such as diglycidyl-5-methyl-5-ethylhydantoin; naphthalene ring-containing epoxy resin is exemplified. Moreover, an epoxy resin having a silicone skeleton such as 1,3-bis (3-glycidoxypropyl) -1,1,3,3-tetramethyldisiloxane can also be used. Furthermore, diepoxide compounds such as (poly) ethylene glycol diglycidyl ether, (poly) propylene glycol diglycidyl ether, butanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, cyclohexane dimethanol diglycidyl ether; trimethylolpropane triglycidyl Examples include ethers and triepoxide compounds such as glycerin triglycidyl ether.
Among these, a liquid bisphenol type epoxy resin, a liquid aminophenol type epoxy resin, a silicone-modified epoxy resin, and a naphthalene type epoxy resin are preferable. More preferred are liquid bisphenol A type epoxy resin, liquid bisphenol F type epoxy resin, p-aminophenol type liquid epoxy resin, and 1,3-bis (3-glycidoxypropyl) tetramethyldisiloxane.
(A) The liquid epoxy resin as a component may be individual or may be used together 2 or more types.
Moreover, even if it is an epoxy resin solid at normal temperature, it can be used when it shows liquid as a mixture by using together with a liquid epoxy resin.

(b)成分:酸無水物系硬化剤またはフェノール系硬化剤
(b)成分は、(a)成分のエポキシ樹脂の硬化剤である。
本発明では、常温での保存安定性、アンダーフィル材として使用する際の流動性、硬化性、および、硬化物物性のバランスに優れるため、エポキシ樹脂の硬化剤として、酸無水物系硬化剤またはフェノール系硬化剤を用いる。
酸無水物系硬化剤の具体例としては、無水フタル酸、無水メチルヘキサヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、無水マレイン酸、ドデセニル無水コハク酸、無水トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルバン酸二無水物、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、3,4−ジメチル−6−(2−メチル−1−プロペニル)―4―シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、1−イソプロピル−4−メチルビシクロ[2.2.2]オクタ−5−エン−2,3−ジカルボン酸無水物が挙げられる。
これらの中でも、無水メチルヘキサヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、3,4−ジメチル−6−(2−メチル−1−プロペニル)―4―シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、1−イソプロピル−4−メチルビシクロ[2.2.2]オクタ−5−エン−2,3−ジカルボン酸無水物、およびそれらの混合物が好ましい。
フェノール系硬化剤の具体例としては、フェノール性水酸基を有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を指し、例えば、フェノールノボラック樹脂およびそのアルキル化物またはアリル化物、クレゾールノボラック樹脂、フェノールアラルキル(フェニレン、ビフェニレン骨格を含む)樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、トリフェノールメタン樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂等が挙げられる。
これらの中でも、組成物を低粘度化できることからアリルフェノールノボラック樹脂が好ましい。
なお、上記の硬化剤のうち、いずれか1種を使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
また、(b)成分としての硬化剤は、要求される特性に応じて適宜選択することができる。酸無水物系硬化剤は、組成物の低粘度化が容易なため、アンダーフィル材として使用する際に注入性に優れる。フェノール系硬化材は応力の低い硬化物を得ることができる。
(B) Component: Acid anhydride type curing agent or phenol type curing agent (b) The component is a curing agent for the epoxy resin of component (a).
In the present invention, the storage stability at room temperature, the fluidity when used as an underfill material, excellent curability, and the balance of physical properties of the cured product. Therefore, as an epoxy resin curing agent, an acid anhydride curing agent or A phenolic curing agent is used.
Specific examples of acid anhydride curing agents include phthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, maleic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, trimellitic anhydride, benzophenone tetracarbanoic acid dianhydride Tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyl-6- (2-methyl-1-propenyl) -4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, 1-isopropyl-4-methylbicyclo [2.2.2] Oct-5-ene-2,3-dicarboxylic anhydride.
Among these, methylhexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyl-6- (2-methyl-1-propenyl) -4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, 1- Isopropyl-4-methylbicyclo [2.2.2] oct-5-ene-2,3-dicarboxylic anhydride and mixtures thereof are preferred.
Specific examples of phenolic curing agents include monomers, oligomers, and polymers in general having a phenolic hydroxyl group. For example, phenol novolak resins and alkylated products or allylated products thereof, cresol novolak resins, phenol aralkyl (including phenylene and biphenylene skeletons) ) Resin, naphthol aralkyl resin, triphenol methane resin, dicyclopentadiene type phenol resin and the like.
Among these, allylphenol novolac resins are preferable because the viscosity of the composition can be reduced.
In addition, any 1 type may be used among said hardening | curing agents, and 2 or more types may be used together.
Moreover, the hardening | curing agent as (b) component can be suitably selected according to the characteristic requested | required. An acid anhydride-based curing agent is excellent in injectability when used as an underfill material because it is easy to lower the viscosity of the composition. The phenolic curing material can obtain a cured product with low stress.

(b)成分の硬化剤の含有量は、(a)成分の液状エポキシ樹脂に含まれるエポキシ基に対する当量比で決定される。
酸無水物硬化剤の場合、(a)成分の液状エポキシ樹脂のエポキシ基1当量に対して硬化剤が、0.6〜1.2当量であることが好ましく、0.7〜1.0当量であることがより好ましい。
フェノール系硬化剤の場合、(a)成分の液状エポキシ樹脂のエポキシ基1当量に対して硬化剤が0.6〜1.2当量であることが好ましく、0.7〜1.1当量であることがより好ましい。
ここで、酸無水物系硬化剤およびフェノール系硬化剤を併用する場合、個々の硬化剤の当量の合計が、液状エポキシ樹脂のエポキシ基1当量に対して0.6〜1.2当量であることが好ましく、0.7〜1.1当量であることがより好ましい。
The content of the curing agent as the component (b) is determined by an equivalent ratio with respect to the epoxy group contained in the liquid epoxy resin as the component (a).
In the case of an acid anhydride curing agent, the curing agent is preferably 0.6 to 1.2 equivalents relative to 1 equivalent of the epoxy group of the liquid epoxy resin of component (a), and 0.7 to 1.0 equivalents It is more preferable that
In the case of a phenolic curing agent, the curing agent is preferably 0.6 to 1.2 equivalents, and 0.7 to 1.1 equivalents with respect to 1 equivalent of the epoxy group of the liquid epoxy resin of component (a). It is more preferable.
Here, when using together an acid anhydride type hardening | curing agent and a phenol type hardening | curing agent, the sum total of the equivalent of each hardening | curing agent is 0.6-1.2 equivalent with respect to 1 equivalent of epoxy groups of a liquid epoxy resin. It is preferable that it is 0.7-1.1 equivalent.

(c)成分:潜在性硬化促進剤
本発明では、速硬化性を有し、かつ、60℃〜120℃の中温域で高い安定性を有する一液型エポキシ樹脂組成物とするため、エポキシ樹脂の硬化促進剤として、潜在性硬化促進剤を用いる。
Component (c): Latent curing accelerator In the present invention, an epoxy resin is used in order to obtain a one-pack type epoxy resin composition having fast curability and high stability in a medium temperature range of 60 ° C to 120 ° C. A latent curing accelerator is used as the curing accelerator.

(c)成分としての潜在性硬化促進剤は、常温で固形であることが、常温での保存安定性に優れるため好ましい。   The latent curing accelerator as the component (c) is preferably solid at room temperature because of excellent storage stability at room temperature.

(c)成分としては、エポキシ樹脂の潜在性硬化促進剤であれば、特に限定されず、公知のものを使用することができるが、マイクロカプセル型潜在性硬化促進剤またはアミンアダクト型潜在性硬化剤が、(d)成分との組み合わせによって60℃〜120℃の中温域での安定性に優れる組成物を得ることができるため好ましい。   The component (c) is not particularly limited as long as it is a latent curing accelerator for an epoxy resin, and a known one can be used, but a microcapsule type latent curing accelerator or an amine adduct type latent curing can be used. The agent is preferable because a composition having excellent stability in a middle temperature range of 60 ° C. to 120 ° C. can be obtained by combination with the component (d).

本発明において、マイクロカプセル型潜在性硬化促進剤とは、1級、2級または3級アミノ基を有するアミン化合物、またはそれらのアミン化合物とエポキシ樹脂との反応により得られたアミンアダクト化合物をコアとして合成樹脂または無機酸化物からなるシェルによって被覆されている構造を有する硬化促進剤であり、好適な潜在性を示すことからアミン化合物はイミダゾール誘導体が好ましい。イミダゾール誘導体の例としては、2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾールを挙げることができる。シェルとなる合成樹脂としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、尿素樹脂を挙げることができ、これらの樹脂を複合して用いることもできる。シェルとなる無機酸化物としては、シリカ、アルミナ、チタニア、マグネシアを挙げることができる。具体的には、イミダゾール誘導体をエポキシ樹脂等の反応物で被覆した潜在性硬化促進剤が液状エポキシ樹脂中に分散されている旭化成イーマテリアルズ株式会社製ノバキュアを挙げることができ、品番としてはHX−3721、HX−3742、HX−3088、HX−3921、HX−3941(いずれも商品名)などが例示される。   In the present invention, the microcapsule-type latent curing accelerator is an amine compound having a primary, secondary, or tertiary amino group, or an amine adduct compound obtained by a reaction between these amine compounds and an epoxy resin. As an amine compound, an imidazole derivative is preferable because it is a curing accelerator having a structure covered with a shell made of a synthetic resin or an inorganic oxide. Examples of imidazole derivatives include 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethyl. Mention may be made of imidazole. Examples of the synthetic resin to be a shell include phenol resin, melamine resin, epoxy resin, urethane resin, and urea resin, and these resins can be used in combination. Examples of the inorganic oxide serving as the shell include silica, alumina, titania, and magnesia. Specific examples include NOVACURE manufactured by Asahi Kasei E-Materials Co., Ltd., in which a latent curing accelerator obtained by coating an imidazole derivative with a reaction product such as an epoxy resin is dispersed in a liquid epoxy resin. -3721, HX-3742, HX-3088, HX-3921, HX-3941 (all are trade names) and the like.

本発明において、アミンアダクト型潜在性硬化促進剤とは、1級、2級または3級アミノ基を有するアミン化合物とエポキシ樹脂の反応生成物(アミン−エポキシアダクト系)やアミン化合物とイソシアネート化合物または尿素化合物との反応生成物(尿素型アダクト系)、更には、これらの硬化剤の表面をイソシアネート化合物や酸性化合物で処理したものを指す。アミン化合物としてはイミダゾール誘導体が好ましく、具体的には、アミン−エポキシアダクト型である味の素ファインテクノ社製アミキュアPN−23、アミキュアPN−40、アミン−尿素アダクト型である富士化成工業社製フジキュアFX−1000、FXR−1121(いずれも商品名)などが例示される。   In the present invention, the amine adduct type latent curing accelerator is a reaction product of an amine compound having a primary, secondary or tertiary amino group and an epoxy resin (amine-epoxy adduct system), an amine compound and an isocyanate compound or A reaction product with a urea compound (urea type adduct system), and further, those obtained by treating the surface of these curing agents with an isocyanate compound or an acidic compound. The amine compound is preferably an imidazole derivative. Specifically, the amine-epoxy adduct type Ajinomoto FineTechno Amicure PN-23, Amicure PN-40, and the amine-urea adduct type Fuji Cure Industry Fujicure FX. -1000, FXR-1121 (both are trade names) and the like.

(c)成分としての潜在性硬化促進剤は、(a)成分としての液状エポキシ樹脂100質量部に対して、0.5〜60質量部であることが好ましく、5〜50質量部であることがより好ましい。   The latent curing accelerator as the component (c) is preferably 0.5 to 60 parts by mass, and 5 to 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the liquid epoxy resin as the component (a). Is more preferable.

(d)成分:5−ヒドロキシイソフタル酸(HIPA)、5−ニトロイソフタル酸(NIPA)、1,3,5−ベンゼントリカルボン酸(BTCA)またはそれらの混合物
本発明において、(d)成分としての5−ヒドロキシイソフタル酸、5−ニトロイソフタル酸、1,3,5−ベンゼントリカルボン酸またはそれらの混合物は、一液型エポキシ樹脂組成物の60℃〜120℃の中温域の安定性を向上させる成分である。
Component (d): 5-hydroxyisophthalic acid (HIPA), 5-nitroisophthalic acid (NIPA), 1,3,5-benzenetricarboxylic acid (BTCA) or a mixture thereof In the present invention, 5 as component (d) -Hydroxyisophthalic acid, 5-nitroisophthalic acid, 1,3,5-benzenetricarboxylic acid or a mixture thereof is a component that improves the stability in the middle temperature range of 60 ° C to 120 ° C of the one-pack type epoxy resin composition. is there.

特許文献2に記載の発明では、予めメタノール等の溶剤に溶解したイミダゾールと、同様に溶剤に溶解したイソフタル酸化合物を加熱・反応させて包接化合物としたものを硬化触媒(硬化促進剤)として用いることで、低温での硬化反応を抑制して、一液安定性の向上を図ると共に、加熱処理を施すことにより、効果的にエポキシ樹脂を硬化させることができるとしている。   In the invention described in Patent Document 2, an imidazole dissolved in a solvent such as methanol in advance and an isophthalic acid compound dissolved in the solvent are heated and reacted to form an inclusion compound as a curing catalyst (curing accelerator). By using it, it is said that the epoxy resin can be effectively cured by suppressing the curing reaction at a low temperature and improving the stability of the one liquid and applying the heat treatment.

特許文献3に記載の発明では、5−ヒドロシキイソフタル酸と、2−エチル−4−メチルイミダゾールと、の包接錯体をエポキシ樹脂の硬化剤または硬化促進剤として用いることで、封止材の保存安定性を向上させるとともに、封止時の封止材の流動性を保ち、かつ、熱による効率的な封止材の硬化速度を実現できるとしている。   In the invention described in Patent Document 3, the inclusion complex of 5-hydroxyisophthalic acid and 2-ethyl-4-methylimidazole is used as a curing agent or curing accelerator for an epoxy resin, thereby The storage stability is improved, the fluidity of the sealing material at the time of sealing is maintained, and an efficient curing rate of the sealing material by heat can be realized.

特許文献2,3に記載の発明は、いずれも硬化促進剤としてのイミダゾールと、イソフタル酸化合物と、で包接化合物(または包接錯体)を形成することで、硬化促進剤の安定性を向上させるとともに、加熱時には包接が解離して速やかに硬化反応が起こることを意図したものであるが、包接化合物(または包接錯体)が安定に形成されると、加熱時に包接が解離され難くなることから、ゲルタイムが長くなり速硬化性が損なわれる。
したがって、150℃以上での速硬化性と60℃〜120℃の中温域での安定性との両立は図れていない。
The inventions described in Patent Documents 2 and 3 both improve the stability of the curing accelerator by forming an inclusion compound (or inclusion complex) with imidazole as a curing accelerator and an isophthalic acid compound. In addition, it is intended that the clathrate dissociates during heating and a rapid curing reaction occurs. However, when the clathrate compound (or clathrate complex) is stably formed, the clathrate is dissociated during heating. Since it becomes difficult, gel time becomes long and quick curability is impaired.
Therefore, it is not possible to achieve both fast curability at 150 ° C. or higher and stability in the middle temperature range of 60 ° C. to 120 ° C.

一方、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物では、(c)成分として潜在性硬化促進剤を使用し、かつ、(d)成分として、HIPA、NIPA、BTCAまたはそれらの混合物を使用することで、150℃以上での速硬化性と60℃〜120℃の中温域での安定性との両立を図ることができる。   On the other hand, in the one-pack type epoxy resin composition of the present invention, a latent curing accelerator is used as the component (c), and HIPA, NIPA, BTCA or a mixture thereof is used as the component (d). In addition, it is possible to achieve both fast curability at 150 ° C. or higher and stability in a medium temperature range of 60 ° C. to 120 ° C.

本発明の一液型エポキシ樹脂組成物において、(c)成分としての潜在性硬化促進剤と、(d)成分としてのHIPA、NIPA、BTCAまたはそれらの混合物と、が、包接化合物(または包接錯体)を形成しないと考えられる。
(c)成分としての潜在性硬化促進剤と、(d)成分としてのHIPA、NIPA、BTCAまたはそれらの混合物と、が、包接化合物(または包接錯体)を形成しないことは、(d)成分としてのHIPA、NIPA、BTCAまたはそれらの混合物の含有量が、後述するように少量であっても、意図した効果が発揮されることから推測できる。
なお、(c)成分としての潜在性硬化促進剤と、(d)成分としてのHIPA、NIPA、BTCAまたはそれらの混合物と、が、包接化合物(または包接錯体)を形成しないのは、(c)成分としての潜在性硬化促進剤がマイクロカプセル型潜在性硬化促進剤の場合は、被覆層によって硬化促進剤成分が覆われていることが理由であると考えられる。一方、(c)成分としての潜在性硬化促進剤がアミンアダクト型潜在性硬化促進剤の場合は、硬化促進剤成分が既に反応していることが理由であると考えられる。
なお、(c)成分としての潜在性硬化促進剤と、(d)成分としてのHIPA、NIPA、BTCAまたはそれらの混合物と、を使用することで、一液型エポキシ樹脂組成物の常温での保存安定性も向上する。
In the one-pack type epoxy resin composition of the present invention, (c) a latent curing accelerator as component and (d) HIPA, NIPA, BTCA or a mixture thereof as component include an inclusion compound (or an inclusion compound). It is considered that no complex is formed.
(C) The latent curing accelerator as component and (d) HIPA, NIPA, BTCA or a mixture thereof as component do not form an inclusion compound (or inclusion complex). Even if the content of HIPA, NIPA, BTCA or a mixture thereof as a component is a small amount as will be described later, it can be estimated that the intended effect is exhibited.
Note that the latent curing accelerator as the component (c) and HIPA, NIPA, BTCA, or a mixture thereof as the component (d) do not form an inclusion compound (or inclusion complex) ( When the latent curing accelerator as the component c) is a microcapsule type latent curing accelerator, it is considered that the reason is that the curing accelerator component is covered with the coating layer. On the other hand, when the latent curing accelerator as the component (c) is an amine adduct type latent curing accelerator, it is considered that the reason is that the curing accelerator component has already reacted.
In addition, by using the latent curing accelerator as the component (c) and HIPA, NIPA, BTCA or a mixture thereof as the component (d), the one-pack type epoxy resin composition can be stored at room temperature. Stability is also improved.

本発明の一液型エポキシ樹脂組成物において、(c)としての潜在性硬化促進剤と、(d)成分としてのHIPA、NIPA、BTCAまたはそれらの混合物と、の質量比((d)/(c))が0.01〜5であることが、150℃以上での速硬化性と60℃〜120℃の中温域での安定性との両立を図るうえで好ましい。
両者の質量比((d)/(c))が0.01よりも小さい場合、(d)成分としてのHIPA、NIPAまたはそれらの混合物の含有量が、(c)成分としての潜在性硬化性促進剤の含有量に対して少ないことから、(d)成分としてのHIPA、NIPA、BTCAまたはそれらの混合物の添加による効果が十分発揮されず、一液型エポキシ樹脂組成物の60℃〜120℃の中温域での安定性が低下するおそれがある。また、一液型エポキシ樹脂組成物の常温での保存安定性が低下するおそれがある。
一方、両者の質量比((d)/(c))が5よりも大きい場合、(d)成分としてのHIPA、NIPA、BTCAまたはそれらの混合物の含有量が、(c)成分としての潜在性硬化性促進剤の含有量に対して多くなることから、一液型エポキシ樹脂組成物の150℃以上での速硬化性が損なわれるおそれがある。また、酸が硬化物中に残るため、一液型エポキシ樹脂組成物をアンダーフィル材として用いて作製した半導体装置の耐湿信頼性に悪影響がでることが予想される。
本発明の一液型エポキシ樹脂組成物において、両者の質量比((d)/(c))が0.012〜1.5であることがより好ましく、0.015〜0.8であることがさらに好ましい。
In the one-component epoxy resin composition of the present invention, the mass ratio ((d) / () of the latent curing accelerator as (c) and HIPA, NIPA, BTCA or a mixture thereof as the component (d). It is preferable that c)) is 0.01 to 5 in order to achieve both fast curability at 150 ° C. or higher and stability in an intermediate temperature range from 60 ° C. to 120 ° C.
When the mass ratio of the two ((d) / (c)) is smaller than 0.01, the content of HIPA, NIPA or a mixture thereof as component (d) is latent curable as component (c). Since there is little with respect to content of an accelerator, the effect by addition of HIPA, NIPA, BTCA, or a mixture thereof as the component (d) is not sufficiently exhibited, and the one-pack type epoxy resin composition has a temperature of 60 ° C to 120 ° C. There is a risk that the stability in the middle temperature range will be reduced. Moreover, there exists a possibility that the storage stability at normal temperature of a one-pack type epoxy resin composition may fall.
On the other hand, when the mass ratio ((d) / (c)) of both is greater than 5, the content of HIPA, NIPA, BTCA as a component (d) or a mixture thereof is a potential as a component (c). Since it increases with respect to content of a sclerosing | hardenable accelerator, there exists a possibility that the quick curability in 150 degreeC or more of a one-pack type epoxy resin composition may be impaired. Moreover, since an acid remains in hardened | cured material, it is anticipated that it will have a bad influence on the moisture resistance reliability of the semiconductor device produced using the one-pack type epoxy resin composition as an underfill material.
In the one-pack type epoxy resin composition of the present invention, the mass ratio ((d) / (c)) of both is more preferably 0.012 to 1.5, and preferably 0.015 to 0.8. Is more preferable.

(e)成分:無機充填材
本発明の一液型エポキシ樹脂組成物を、アンダーフィル材として使用する場合、(e)成分として、無機充填材を含有させることが好ましい。
(e)成分として、無機充填材を含有させることで、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物をアンダーフィル材として使用した場合に、封止した部位の耐湿性および耐サーマルサイクル性、特に耐サーマルサイクル性が向上する。無機充填材の使用により耐サーマルサイクル性が向上するのは、線膨張係数を下げることにより、サーマルサイクルによるアンダーフィル材の硬化物の膨張・収縮を抑制できるからである。
無機充填剤は、添加により線膨張係数を下げる効果を有するものである限り特に限定されず、各種無機充填剤を使用することができる。具体的には非晶質シリカ、結晶性シリカ、アルミナ、チッ化ホウ素、チッ化アルミニウム、チッ化珪素等が挙げられる。
これらの中でも、シリカ、特に、非晶質の球状シリカが、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物をアンダーフィル材として使用した際に流動性に優れ、硬化物の線膨張係数を低減できることから望ましい。
なお、ここで言うシリカは、製造原料に由来する有機基、例えば、メチル基、エチル基等のアルキル基を有するものであってもよい。
非晶質の球状シリカとしては、製造容易性の点からコロイダルシリカが好ましい。
また、無機充填剤として用いるシリカとしては、特開2007−197655号公報に記載の製造方法によって得られたシリカ含有組成物を用いてもよい。
また、無機充填剤は、シランカップリング剤等で表面処理が施されたものであってもよい。表面処理が施された無機充填剤を使用した場合、無機充填剤の凝集を防止する効果が期待される。これにより、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物の保存安定性の向上が期待される。
(E) Component: Inorganic Filler When the one-pack type epoxy resin composition of the present invention is used as an underfill material, it is preferable to contain an inorganic filler as the (e) component.
(E) By containing an inorganic filler as a component, when the one-pack type epoxy resin composition of the present invention is used as an underfill material, the moisture resistance and thermal cycle resistance of the sealed portion, Thermal cycle performance is improved. The reason why the thermal cycle resistance is improved by using the inorganic filler is that the expansion / contraction of the cured product of the underfill material due to the thermal cycle can be suppressed by lowering the linear expansion coefficient.
The inorganic filler is not particularly limited as long as it has an effect of lowering the linear expansion coefficient by addition, and various inorganic fillers can be used. Specific examples include amorphous silica, crystalline silica, alumina, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, and the like.
Among these, silica, particularly amorphous spherical silica, is excellent in fluidity when the one-part epoxy resin composition of the present invention is used as an underfill material, and can reduce the linear expansion coefficient of the cured product. desirable.
In addition, the silica said here may have an organic group derived from a manufacturing raw material, for example, alkyl groups, such as a methyl group and an ethyl group.
The amorphous spherical silica is preferably colloidal silica from the viewpoint of ease of production.
Moreover, as a silica used as an inorganic filler, you may use the silica containing composition obtained by the manufacturing method as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-1976655.
The inorganic filler may be one that has been surface-treated with a silane coupling agent or the like. When an inorganic filler that has been subjected to surface treatment is used, an effect of preventing aggregation of the inorganic filler is expected. Thereby, the improvement of the storage stability of the one-pack type epoxy resin composition of the present invention is expected.

(e)成分としての無機充填材は、平均粒径が0.01〜20μmであることが好ましく、0.1〜5μmであることがより好ましい。
ここで、無機充填材の形状は特に限定されず、球状、不定形、りん片状等のいずれの形態であってもよい。なお、無機充填材の形状が球状以外の場合、無機充填材の平均粒径とは該無機充填材の平均最大径を意味する。
(E) As for the inorganic filler as a component, it is preferable that an average particle diameter is 0.01-20 micrometers, and it is more preferable that it is 0.1-5 micrometers.
Here, the shape of the inorganic filler is not particularly limited, and may be any shape such as a spherical shape, an indeterminate shape, and a flake shape. When the shape of the inorganic filler is other than spherical, the average particle diameter of the inorganic filler means the average maximum diameter of the inorganic filler.

(e)成分として、無機充填材を含有させる場合、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物における無機充填剤の含有量は30〜80質量%であることが好ましい。
ここで言う、無機充填剤の含有量とは、(a)〜(d)成分に加えて、後述する任意の成分まで含めた、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物含有成分全量に対する質量%である。
無機充填剤の含有量が30質量%未満だと、無機充填剤の添加により線膨張係数を下げる効果が不十分であり、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物をアンダーフィル材として使用した場合に、耐サーマルサイクル性を向上させる効果が不十分となるおそれがある。
一方、無機充填剤の含有量が80質量%超だと、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物を先供給型のアンダーフィル材として使用した場合の塗布性や、後供給型のアンダーフィル材として使用した場合の間隙への充填性や電気的接続性が低下するおそれがある。
When an inorganic filler is contained as the component (e), the content of the inorganic filler in the one-pack type epoxy resin composition of the present invention is preferably 30 to 80% by mass.
As used herein, the content of the inorganic filler is, in addition to the components (a) to (d), including any components described below, and is a mass% based on the total amount of the one-component epoxy resin composition-containing component of the present invention. It is.
When the content of the inorganic filler is less than 30% by mass, the effect of lowering the linear expansion coefficient due to the addition of the inorganic filler is insufficient, and the one-pack type epoxy resin composition of the present invention is used as an underfill material In addition, the effect of improving the thermal cycle resistance may be insufficient.
On the other hand, when the content of the inorganic filler is more than 80% by mass, the coating property when the one-pack type epoxy resin composition of the present invention is used as a pre-feed type underfill material, or the post-feed type underfill material When used as, there is a possibility that the filling property into the gap and the electrical connectivity will be lowered.

(その他の配合剤)
本発明の一液型エポキシ樹脂組成物は、上記(a)〜(e)成分以外の成分を必要に応じてさらに含有してもよい。
このような成分の具体例としては、レベリング剤、着色剤、イオントラップ剤、消泡剤、難燃剤などを配合することができる。各配合剤の種類、配合量は常法通りである。また、オキセタン、アクリレート、ビスマレイミドなどの熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、エラストマーなどを配合してもよい。
(Other ingredients)
The one-pack type epoxy resin composition of the present invention may further contain components other than the components (a) to (e) as necessary.
As specific examples of such components, a leveling agent, a colorant, an ion trapping agent, an antifoaming agent, a flame retardant, and the like can be blended. The type and amount of each compounding agent are as usual. Further, thermosetting resins such as oxetane, acrylate, bismaleimide, thermoplastic resins, elastomers, and the like may be blended.

(一液型エポキシ樹脂組成物の調製)
本発明の一液型エポキシ樹脂組成物は、上記(a)〜(e)成分、および、さらに必要に応じて配合するその他の配合剤を混合し、攪拌して調製される。混合攪拌は、ロールミルを用いて行うことができるが、勿論、これに限定されない。
各成分を同時に混合しても、一部成分を先に混合し、残り成分を後から混合するなど、適宜変更しても差支えない。
(Preparation of one-pack type epoxy resin composition)
The one-pack type epoxy resin composition of the present invention is prepared by mixing and stirring the above components (a) to (e) and other compounding agents to be blended as necessary. Although mixing and stirring can be performed using a roll mill, of course, it is not limited to this.
Even if the components are mixed at the same time, some components may be mixed first, and the remaining components may be mixed later.

本発明の一液型エポキシ樹脂組成物は、以下に述べる特性を有しているため、先供給型のアンダーフィル材および後供給型のアンダーフィル材のいずれにも好適である。   Since the one-pack type epoxy resin composition of the present invention has the characteristics described below, it is suitable for both a pre-feed type underfill material and a post-feed type underfill material.

(初期粘度、レオメーター粘度2倍増粘時間)
本発明の一液型エポキシ樹脂組成物は、初期粘度、具体的には、25℃における粘度が0.5〜200Pa・sである。
本発明の一液型エポキシ樹脂組成物は、初期粘度が上記範囲であることに加えて、後述する実施例に記載の手順で測定されるレオメーター粘度2倍増粘時間が20min以上であることから、60℃〜120℃の中温域での安定性が良好であり、先供給型および後供給型のアンダーフィル材として使用した際の作業性が良好である。
(Initial viscosity, rheometer viscosity double viscosity increase time)
The one-pack type epoxy resin composition of the present invention has an initial viscosity, specifically, a viscosity at 25 ° C. of 0.5 to 200 Pa · s.
Since the one-component epoxy resin composition of the present invention has an initial viscosity in the above range, the rheometer viscosity double-thickening time measured by the procedure described in the examples described later is 20 min or more. The stability in the middle temperature range of 60 ° C. to 120 ° C. is good, and the workability when used as a pre-feed type and post-feed type underfill material is good.

また、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物は、常温での保存安定性が良好であり、ポットライフに優れている。具体的には、25℃、湿度50%の環境にて24Hr放置後の粘度上昇率が1.5倍以下である。   Moreover, the one-pack type epoxy resin composition of the present invention has good storage stability at room temperature and is excellent in pot life. Specifically, the rate of increase in viscosity after being left for 24 hours in an environment of 25 ° C. and 50% humidity is 1.5 times or less.

本発明の一液型エポキシ樹脂組成物は、速硬化性に優れており、150〜200℃の温度で3秒〜2時間の加熱で硬化させることができる。
本発明の一液型エポキシ樹脂組成物は、後述する実施例に記載の手順で測定されるゲルタイムが5分以下であることが好ましい。
The one-component epoxy resin composition of the present invention is excellent in rapid curability and can be cured by heating at a temperature of 150 to 200 ° C. for 3 seconds to 2 hours.
The one-pack type epoxy resin composition of the present invention preferably has a gel time of 5 minutes or less as measured by the procedure described in the examples described later.

本発明のアンダーフィル材は、本発明の一液型エポキシ樹脂組成物からなる。
次に、本発明のアンダーフィル材の使用方法について説明する。
本発明のアンダーフィル材は、フリップチップボンディング方式により配線基板に半導体チップが実装された半導体装置を製造する際に、先供給型のアンダーフィル材または後供給型のアンダーフィル材として使用される。
The underfill material of the present invention is composed of the one-pack type epoxy resin composition of the present invention.
Next, a method for using the underfill material of the present invention will be described.
The underfill material of the present invention is used as a pre-feed type underfill material or a post-feed type underfill material when manufacturing a semiconductor device in which a semiconductor chip is mounted on a wiring board by a flip chip bonding method.

先供給型のアンダーフィル材として使用する場合、コンプレッションフローの手順にしたがって、半導体装置を製造することになる。
コンプレッションフローでは、まず始めに配線基板を加熱して60℃〜120℃に保持する。アンダーフィル材で補強する部位(具体的には、基板上の電極部およびその周辺)にアンダーフィル材を塗布するために、アンダーフィル材の塗布に適した温度まで配線基板を加熱するためである。
次に、配線基板上にアンダーフィル材を塗布する。具体的には、フリップチップボンダー装置を使用して基板上のアンダーフィル材で補強する部位(具体的には、基板上の電極部およびその周辺)に、アンダーフィル材を塗布(ディスペンス)する。
次に、アンダーフィルが塗布された部位に、半導体チップを位置合わせして圧接する。半導体の圧接時には、配線基板を200℃〜300℃に加熱する。これにより、アンダーフィル材が半硬化の状態になる。
次に、アンダーフィル材を完全に硬化させるために、ポストキュアの工程を実施する。具体的に、配線基板を150〜200℃に加熱してアンダーフィルを硬化させる。
When used as a pre-feed type underfill material, a semiconductor device is manufactured according to the procedure of the compression flow.
In the compression flow, first, the wiring board is heated and held at 60 ° C. to 120 ° C. This is for heating the wiring board to a temperature suitable for application of the underfill material in order to apply the underfill material to the portion to be reinforced with the underfill material (specifically, the electrode portion on the substrate and its periphery). .
Next, an underfill material is applied on the wiring board. Specifically, the underfill material is applied (dispensed) to a portion (specifically, the electrode portion on the substrate and its periphery) that is reinforced with the underfill material on the substrate using a flip chip bonder device.
Next, the semiconductor chip is aligned and pressed against the portion where the underfill is applied. At the time of pressure welding of the semiconductor, the wiring board is heated to 200 ° C. to 300 ° C. Thereby, an underfill material will be in a semi-hardened state.
Next, in order to completely cure the underfill material, a post cure process is performed. Specifically, the wiring board is heated to 150 to 200 ° C. to cure the underfill.

後供給型のアンダーフィル材として使用する場合、キャピラリーフローの手順にしたがって、半導体装置を製造することになる。
キャピラリーフローでは、まず始めに、配線基板に半導体チップを接続する。具体的には、配線基板上に設けられた電極部と、半導体チップのバンプ電極と、を接続する。一例を挙げると、両者をハンダ接続する場合、配線基板上に設けられた電極部上、若しくは、半導体チップのバンプ電極上、あるいはその両方にフラックスを塗布した後、該電極部上に該バンプ電極が位置するように基板上に半導体素子を仮置きし、その後、該基板を加熱してハンダを溶融させることにより、該電極部と該バンプ電極とを接続する。
次に、配線基板を加熱して60℃〜120℃に保持する。
この状態で、半導体チップの外周に沿ってアンダーフィル材を塗布(ディスペンス)し、毛細管現象を利用して、両者の間隙にアンダーフィル材を充填する。
次に、配線基板を150〜200℃に加熱してアンダーフィルを硬化させる。
When used as a post-feed type underfill material, a semiconductor device is manufactured according to a capillary flow procedure.
In capillary flow, first, a semiconductor chip is connected to a wiring board. Specifically, the electrode part provided on the wiring board and the bump electrode of the semiconductor chip are connected. For example, when soldering both, the flux electrode is applied to the electrode part provided on the wiring board, the bump electrode of the semiconductor chip, or both, and then the bump electrode is applied to the electrode part. The semiconductor element is temporarily placed on the substrate so as to be positioned, and then the substrate is heated to melt the solder, thereby connecting the electrode portion and the bump electrode.
Next, the wiring board is heated and held at 60 ° C. to 120 ° C.
In this state, an underfill material is applied (dispensed) along the outer periphery of the semiconductor chip, and the gap between the two is filled with a capillary phenomenon.
Next, the wiring substrate is heated to 150 to 200 ° C. to cure the underfill.

以下、実施例により、本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited to these.

(実施例1〜、比較例1〜10)
下記表に示す成分を、表に示す量(質量部)で量り取り、各成分を混合した混合物を三本ロールミル混練し、均一な一液型エポキシ樹脂組成物を得た。
なお、表中の記号は、それぞれ以下を表わす。
液状エポキシ樹脂(a1):ナフタレン型エポキシ樹脂(エポキシ当量140g/Eq)
液状エポキシ樹脂(a2):ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量160g/Eq)
硬化剤(b1):酸無水物系硬化剤(3,4−ジメチル−6−(2−メチル−1−プロペニル)―4―シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物)
硬化剤(b2):フェノール系硬化剤(アリルフェノールノボラック樹脂)(水酸基当量135g/Eq)
潜在性硬化促進剤(c1):マイクロカプセル型潜在性硬化促進剤(ノバキュアHX3088、ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂2質量部中に、イミダゾール誘導体をエポキシ樹脂等の反応物で被覆した潜在性硬化促進剤1質量部が分散されている混合物(エポキシ当量170g/Eq)(旭化成イーマテリアルズ株式会社製))
潜在性硬化促進剤(c2):アミンアダクト型潜在性硬化促進剤(アミキュアPN−40J(味の素ファインテクノ株式会社製))
潜在性硬化促進剤(c3):アミンアダクト型潜在性硬化促進剤(フジキュアFXR−1121(富士化成工業株式会社製))
(d1):HIPA
(d2):NIPA
(d3):BTCA
(d´1):HIPA−2MZ(HIPAとイミダゾールとの包接化合物)(日本曹達株式会社製)
(d´2):NIPA−2MZ(NIPAとイミダゾールとの包接化合物)(日本曹達株式会社製)
(d´3):5−アミノイソフタル酸
(d´4):イソフタル酸ジメチル
(d´5):5−ヒドロキシイソフタル酸ジメチル
(d´6):p−トルイル酸
無機充填材(e1):球状シリカ(平均粒径0.6μm)
(Example 1-9, Comparative Examples 1 to 10)
The components shown in the table below were weighed out in the amounts (parts by mass) shown in the table, and the mixture obtained by mixing the components was kneaded with a three roll mill to obtain a uniform one-pack type epoxy resin composition.
In addition, the symbol in a table | surface represents the following, respectively.
Liquid epoxy resin (a1): Naphthalene type epoxy resin (epoxy equivalent 140 g / Eq)
Liquid epoxy resin (a2): Bisphenol F type epoxy resin (epoxy equivalent 160 g / Eq)
Curing agent (b1): acid anhydride curing agent (3,4-dimethyl-6- (2-methyl-1-propenyl) -4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid anhydride)
Curing agent (b2): phenolic curing agent (allylphenol novolac resin) (hydroxyl equivalent: 135 g / Eq)
Latent cure accelerator (c1): Microcapsule type latent cure accelerator (Novacure HX3088, 2 parts by mass of bisphenol A type liquid epoxy resin, latent cure accelerator in which an imidazole derivative is coated with a reaction product such as epoxy resin) Mixture in which 1 part by mass is dispersed (epoxy equivalent 170 g / Eq) (manufactured by Asahi Kasei E-Materials Co., Ltd.))
Latent curing accelerator (c2): amine adduct type latent curing accelerator (Amicure PN-40J (Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.))
Latent curing accelerator (c3): amine adduct type latent curing accelerator (Fujicure FXR-1211 (manufactured by Fuji Kasei Kogyo Co., Ltd.))
(D1): HIPA
(D2): NIPA
(D3): BTCA
(D′ 1): HIPA-2MZ (inclusion compound of HIPA and imidazole) (manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.)
(D′ 2): NIPA-2MZ (inclusion compound of NIPA and imidazole) (manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.)
(D′ 3): 5-aminoisophthalic acid (d′ 4): dimethyl isophthalate (d′ 5): dimethyl 5-hydroxyisophthalate (d′ 6): p-toluic acid inorganic filler (e1): spherical Silica (average particle size 0.6μm)

上記の手順で得られた一液型エポキシ樹脂組成物の硬化性、注入性、該液状封止材の硬化物の外観、および耐サーマルサイクル性を下記方法により評価した。   The curability and pouring properties of the one-pack type epoxy resin composition obtained by the above procedure, the appearance of the cured product of the liquid sealing material, and the thermal cycle resistance were evaluated by the following methods.

(ポットライフ、増粘倍率)
評価用試料として採取した1gの一液型エポキシ樹脂組成物の初期粘度を、HAAKE社製レオメーター(型番:MARS2)を用い、25℃で測定した後、該評価用試料を密閉容器に入れて25℃、湿度50%の環境にて24時間保管した時点における粘度を同様の手順で測定し、調製直後の粘度に対する倍率を算出した。
(Pot life, thickening ratio)
The initial viscosity of 1 g of a one-pack type epoxy resin composition collected as an evaluation sample was measured at 25 ° C. using a HAAKE rheometer (model number: MARS2), and then the evaluation sample was put in a sealed container. The viscosity at the time of storage for 24 hours in an environment of 25 ° C. and 50% humidity was measured in the same procedure, and the ratio to the viscosity immediately after preparation was calculated.

(レオメーター粘度2倍増粘時間)
評価用試料の初期粘度を、HAAKE社製レオメーター(型番:MARS2)で測定した後、該評価用試料を80℃に保持した際に、該評価用試料の粘度が初期粘度の2倍になるまでに要した時間を測定した。実施例4、11、比較例1については、評価用試料を90℃、100℃に保持した場合についても同様の測定を実施した。
(Rheometer viscosity double viscosity increase time)
After measuring the initial viscosity of the evaluation sample with a HAAKE rheometer (model number: MARS2), when the evaluation sample is held at 80 ° C., the viscosity of the evaluation sample is twice the initial viscosity. The time required until is measured. About Example 4, 11 and the comparative example 1, the same measurement was implemented also about the case where the sample for evaluation was hold | maintained at 90 degreeC and 100 degreeC.

(ゲルタイム)
150±2℃の熱板上に評価用試料を約5mmφの大きさに滴下し、糸引きがなくなるまでの時間を、ストップウォッチにより測定した。
(Geltime)
The sample for evaluation was dropped on a hot plate of 150 ± 2 ° C. to a size of about 5 mmφ, and the time until the stringing disappeared was measured with a stopwatch.

実施例1〜の一液型エポキシ樹脂組成物は、いずれも初期粘度、ポットライフ、ゲルタイム、および、レオメーター粘度2倍増粘時間の評価結果がいずれも良好であった。
実施例1〜5の比較から明らかなように、(d)成分としてのHIPAの含有量を調節することによって、一液型エポキシ樹脂組成物の速硬化性と、中温域での安定性と、のバランスを調節することができる。
また、実施例6、7に示すように、潜在性硬化促進剤の種類を変えた場合でも意図した効果を発揮することができる。
また、実施例8に示すように、(d)成分として、NIPAを使用した場合でも意図した効果を発揮することができる。
また、実施例9に示すように、(b)成分として、フェノール系硬化剤を用いた場合でも意図した効果を発揮することができる
(d)成分を含有させなかった比較例1〜3、6はいずれもレオメーター粘度2倍増粘時間の評価結果が劣っていた。また、実施例4、比較例1と、の比較から明らかなように、(d)成分としてHIPA含有することにより、60〜100℃の中温域での安定性、特に80〜90℃の中温域での安定性が向上した。
また、(c),(d)成分の代わりに、HIPAまたはNIPAと、イミダゾールと、の包接化合物を使用した比較例4、5は、(d)成分を含有しない比較例1に比べると中温域の安定性が向上しているが、それに伴い速硬化性が低下した。
(d)成分の代わりに、HIPA、NIPAに類似した構造の化合物(5−アミノイソフタル酸、イソフタル酸ジメチル、5−ヒドロキシイソフタル酸ジメチル、p−トルイル酸を使用した比較例7〜10はいずれもレオメーター粘度2倍増粘時間の評価結果が劣っていた。
In all of the one-component epoxy resin compositions of Examples 1 to 9 , the evaluation results of the initial viscosity, pot life, gel time, and rheometer viscosity doubled thickening time were all good.
As is clear from the comparison of Examples 1 to 5, by adjusting the content of HIPA as the component (d), the quick curability of the one-pack type epoxy resin composition, the stability in the intermediate temperature range, Can be adjusted.
Moreover, as shown in Examples 6 and 7, the intended effect can be exhibited even when the type of the latent curing accelerator is changed.
Moreover, as shown in Example 8, even when NIPA is used as the component (d), the intended effect can be exhibited.
Moreover, as shown in Example 9, even when a phenolic curing agent is used as the component (b), the intended effect can be exhibited .
(D) Comparative examples 1-3 which did not contain a component were all inferior in the evaluation result of the rheometer viscosity 2 time thickening time. Further, as is clear from the comparison between Example 4 and Comparative Example 1, by containing HIPA as the component (d), stability in the middle temperature range of 60 to 100 ° C., particularly 80 to 90 ° C. Improved stability in the middle temperature range.
Further, Comparative Examples 4 and 5 using an inclusion compound of HIPA or NIPA and imidazole instead of the components (c) and (d) had a medium temperature compared to Comparative Example 1 containing no component (d). Although the stability of the area has improved, the fast curability has decreased accordingly.
(D) In place of component, compounds having structures similar to HIPA and NIPA (Comparative Examples 7 to 10 using 5-aminoisophthalic acid, dimethyl isophthalate, dimethyl 5-hydroxyisophthalate, and p-toluic acid are all used. The evaluation result of the rheometer viscosity double thickening time was inferior.

Claims (7)

(a)液状エポキシ樹脂、(b)酸無水物系硬化剤またはフェノール系硬化剤、(c)潜在性硬化促進剤、(d)5−ヒドロキシイソフタル酸、5−ニトロイソフタル酸たはそれらの混合物、を含み、前記(c)潜在性硬化促進剤が、アミンアダクト化合物をコアとするマイクロカプセル型潜在性硬化促進剤、または、アミンアダクト型潜在性硬化剤である、一液型エポキシ樹脂組成物。 (A) a liquid epoxy resin, (b) an acid anhydride curing agent or a phenol type curing agent, (c) a latent curing accelerator, (d) 5-hydroxy isophthalic acid, 5-nitro-isophthalic acid or the thereof mixture only contains the (c) a latent curing accelerator, a microcapsule-type latent curing accelerator and core amine adduct compound, or a amine adduct type latent curing agent, one-pack type epoxy resin Composition. 前記(c)潜在性硬化促進剤が常温で固形である、請求項1に記載の一液型エポキシ樹脂組成物。   The one-pack type epoxy resin composition of Claim 1 whose said (c) latent hardening accelerator is solid at normal temperature. 前記(c)および前記(d)の質量比((d)/(c))が0.01〜5である、請求項1または2に記載の一液型エポキシ樹脂組成物 The one-pack type epoxy resin composition of Claim 1 or 2 whose mass ratio ((d) / (c)) of said (c) and said (d) is 0.01-5 . さらに無機充填材を含有する請求項1〜3のいずれかに記載の一液型エポキシ樹脂組成物 Furthermore, the one-pack type epoxy resin composition in any one of Claims 1-3 containing an inorganic filler . 請求項1〜4のいずれかに記載の一液型エポキシ樹脂組成物からなるアンダーフィル材 The underfill material which consists of a one-pack type epoxy resin composition in any one of Claims 1-4 . フリップチップボンディング方式により配線基板に半導体チップが実装された半導体装置の製造方法であって、
配線基板を加熱して60℃〜120℃に保持する工程、
前記配線基板上に請求項5に記載のアンダーフィル材を塗布する工程、
前記配線基板の前記アンダーフィルが塗布された部位に、半導体チップを位置合わせして圧接する工程、および、
150℃〜200℃で前記アンダーフィル材を硬化させる工程と、
を含む半導体装置の製造方法
A method of manufacturing a semiconductor device in which a semiconductor chip is mounted on a wiring board by a flip chip bonding method,
A step of heating the wiring board and maintaining it at 60 ° C. to 120 ° C .;
Applying the underfill material according to claim 5 on the wiring board;
A step of aligning and pressing a semiconductor chip on a portion of the wiring board to which the underfill has been applied; and
Curing the underfill material at 150 ° C. to 200 ° C .;
A method of manufacturing a semiconductor device including:
フリップチップボンディング方式により配線基板に半導体チップが実装された半導体装置の製造方法であって、
配線基板に半導体チップを接続する工程、
前記配線基板を加熱して60℃〜120℃に保持する工程、
前記配線基板と前記半導体チップとの間隙に請求項5に記載のアンダーフィル材を充填する工程、および、150℃〜200℃で前記アンダーフィル材を硬化させる工程を含む半導体装置の製造方法
A method of manufacturing a semiconductor device in which a semiconductor chip is mounted on a wiring board by a flip chip bonding method,
Connecting a semiconductor chip to a wiring board;
A step of heating the wiring substrate and maintaining the temperature at 60 ° C. to 120 ° C .;
A method for manufacturing a semiconductor device, comprising: filling the gap between the wiring substrate and the semiconductor chip with the underfill material according to claim 5; and curing the underfill material at 150 ° C. to 200 ° C.
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