JP5929479B2 - Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid from nozzle openings, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus that eject ink as liquid.

液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口と、ノズル開口に連通する圧力発生室等の流路とを具備し、圧力発生手段によって圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズル開口からインク滴を吐出させるものがある。   An ink jet recording head, which is a typical example of a liquid ejecting head that ejects liquid droplets, includes, for example, a nozzle opening and a flow path such as a pressure generating chamber that communicates with the nozzle opening. Some ink droplets cause ink droplets to be ejected from the nozzle openings by causing a pressure change.

かかるインクジェット式記録ヘッドでは、ノズル開口からインクに含まれる成分が蒸発することで、インクが増粘し、インク滴の吐出特性が時間の経過と共にばらつきが生じ、液体の噴射品質を一定に保つことができない。また、インクに含まれる成分が沈降し、連続して吐出させた場合のインク滴の成分と、時間を空けて吐出させた場合のインク滴の成分とに差異が生じることでも液体の噴射品質にばらつきが生じてしまう。   In such an ink jet recording head, the components contained in the ink evaporate from the nozzle openings, thereby increasing the viscosity of the ink, causing variations in the ejection characteristics of the ink droplets over time, and keeping the liquid ejection quality constant. I can't. In addition, the liquid ejection quality is also caused by the difference between the ink droplet component when the component contained in the ink settles and ejected continuously and the component of the ink droplet when ejected after a while. Variation will occur.

このため、複数の圧力発生室が共通して連通する共通液体室であるマニホールドにインクを供給すると共に、マニホールドからインクを回収して、供給と回収とを繰り返すことでインクを循環させて、インクの増粘及びインクに含まれる成分の沈降を抑制したインクジェット式記録ヘッドが提案されている(例えば、特許文献1及び2参照)。   For this reason, ink is supplied to a manifold which is a common liquid chamber in which a plurality of pressure generating chambers communicate in common, and ink is recovered from the manifold, and the ink is circulated by repeating supply and recovery, thereby providing ink. Inkjet recording heads have been proposed in which the thickening of the ink and the sedimentation of components contained in the ink are suppressed (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

特開2009−247938号公報JP 2009-247938 A 特許第3161095号公報Japanese Patent No. 3161095

しかしながら、マニホールド内のインクを循環させても、マニホールド内のインクの流れの中心の温度と、マニホールドから供給された圧力発生室に連通するノズル開口近傍のインクの温度とで温度差(温度勾配)が生じ、マニホールド内を所望の温度のインクが循環したとしても、ノズル開口近傍のインクの温度がマニホールド内のインクの温度よりも低くなり、最適な温度でインクを吐出させることができずに、最適な吐出特性を得ることができないという問題がある。   However, even if the ink in the manifold is circulated, the temperature difference (temperature gradient) between the temperature at the center of the ink flow in the manifold and the temperature of the ink near the nozzle opening communicating with the pressure generating chamber supplied from the manifold. Even if the ink at the desired temperature circulates in the manifold, the temperature of the ink near the nozzle opening becomes lower than the temperature of the ink in the manifold, and the ink cannot be ejected at the optimum temperature. There is a problem that optimum ejection characteristics cannot be obtained.

また、マニホールドの容積を小さくすると、マニホールド内のインクの温度と圧力発生室内のインクの温度との温度勾配を小さくすることができるものの、圧力損失が増大し、圧力発生手段の圧力変化がマニホールド側で吸収できなくなり、クロストークが発生するなどの問題が生じてしまう。   If the volume of the manifold is reduced, the temperature gradient between the temperature of the ink in the manifold and the temperature of the ink in the pressure generating chamber can be reduced, but the pressure loss increases and the pressure change of the pressure generating means is Cannot be absorbed and causes problems such as crosstalk.

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。   Such a problem exists not only in an ink jet recording head but also in a liquid ejecting head that ejects liquid other than ink.

本発明はこのような事情に鑑み、マニホールドの容積が減少するのを抑制して、温度勾配を低減して、最適な温度で液体を吐出させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, the present invention provides a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that can suppress a decrease in volume of a manifold, reduce a temperature gradient, and eject liquid at an optimal temperature. For the purpose.

[適用例1]上記課題を解決する本発明の適用例は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、前記マニホールドに液体を供給する導入路と、前記マニホールドからの液体を外部に排出する排出路と、を具備し、前記マニホールド内には、前記導入路が開口する導入口と、前記排出路が開口する排出口との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられており、前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールド側の開口に向かって突出して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる適用例では、突起部を設けることで、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心が圧力発生室の開口側に移動するため、マニホールドを流れる液体とノズル開口近傍の液体との温度差(温度勾配)を低減することができる。また、突起部を設けただけなので、マニホールドの容積を著しく減少させることがなく、圧力損失が増大するのを抑制して、吐出特性等に悪影響を与えるのを抑制することができる。また、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室の開口側に確実に移動させることができる。
[適用例2]上記課題を解決する本発明の別の適用例は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、前記マニホールドに液体を供給する導入路と、前記マニホールドからの液体を外部に排出する排出路と、を具備し、前記マニホールド内には、前記導入路が開口する導入口と、前記排出路が開口する排出口との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられており、前記マニホールドの一側面は可撓性を有するコンプライアンス基板で構成され、前記突起部はコンプライアンス基板に接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる適用例では、突起部を設けることで、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心が圧力発生室の開口側に移動するため、マニホールドを流れる液体とノズル開口近傍の液体との温度差(温度勾配)を低減することができる。また、突起部を設けただけなので、マニホールドの容積を著しく減少させることがなく、圧力損失が増大するのを抑制して、吐出特性等に悪影響を与えるのを抑制することができる。また、突起部によって部材の剛性を向上することができると共に、コンプライアンス基板の剥離等を抑制することができる。
[適用例3]ここで、前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールド側の開口に向かって突出して設けられていることが好ましい。これによれば、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室の開口側に確実に移動させることができる。
[適用例4]また、前記突起部は、前記導入口から前記排出口までの間に複数個設けられていることが好ましい。これによれば、複数の突起部によってマニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室の開口側に確実に移動させることができる。
[適用例5]さらに本発明の他の適用例は、上記適用例の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる適用例では、マニホールドの容積が減少するのを抑制して、温度勾配を低減して、最適な温度で液体を吐出させることができる液体噴射装置を実現できる。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、前記マニホールドに液体を供給する導入路と、前記マニホールドからの液体を外部に排出する排出路と、を具備し、前記マニホールド内には、前記導入路が開口する導入口と、前記排出路が開口する排出口との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、突起部を設けることで、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心が圧力発生室の開口側に移動するため、マニホールドを流れる液体とノズル開口近傍の液体との温度差(温度勾配)を低減することができる。また、突起部を設けただけなので、マニホールドの容積を著しく減少させることがなく、圧力損失が増大するのを抑制して、吐出特性等に悪影響を与えるのを抑制することができる。
Application Example 1 An application example of the present invention that solves the above-described problem is that a pressure generation chamber that communicates with a nozzle opening that ejects liquid, a pressure generation unit that causes a pressure change in the pressure generation chamber, and a plurality of the pressures A manifold communicating with the generation chamber; an introduction path for supplying liquid to the manifold; and a discharge path for discharging the liquid from the manifold to the outside. A protrusion that protrudes in a direction intersecting the flow direction of the liquid flowing in the manifold is provided between the opening and the discharge opening in which the discharge passage opens, and the protrusion is formed in the pressure generation chamber. The liquid ejecting head is provided so as to protrude toward the opening on the manifold side.
In such an application example, by providing the protrusion, the center of the flow of the liquid flowing from the inlet to the outlet is moved to the opening side of the pressure generating chamber, so that the liquid flowing in the manifold and the liquid in the vicinity of the nozzle opening And the temperature difference (temperature gradient) can be reduced. Further, since only the protrusions are provided, the volume of the manifold is not significantly reduced, the increase in pressure loss can be suppressed, and adverse effects on the discharge characteristics and the like can be suppressed. Further, the center of the flow of the liquid flowing through the manifold from the inlet to the outlet can be reliably moved to the opening side of the pressure generating chamber.
[Application Example 2] Another application example of the present invention that solves the above-described problem is that a pressure generation chamber that communicates with a nozzle opening that ejects liquid, a pressure generation unit that causes a pressure change in the pressure generation chamber, A manifold communicating with the pressure generation chamber; an introduction path for supplying liquid to the manifold; and a discharge path for discharging liquid from the manifold to the outside. The introduction path is open in the manifold. A protrusion projecting in a direction intersecting with the flow direction of the liquid flowing in the manifold is provided between the inlet opening to be opened and the discharge opening to which the discharge passage is opened, and one side surface of the manifold is flexible. The liquid ejecting head is characterized in that the liquid ejecting head is formed of a compliance substrate having a property, and the protrusion is bonded to the compliance substrate.
In such an application example, by providing the protrusion, the center of the flow of the liquid flowing from the inlet to the outlet is moved to the opening side of the pressure generating chamber, so that the liquid flowing in the manifold and the liquid in the vicinity of the nozzle opening And the temperature difference (temperature gradient) can be reduced. Further, since only the protrusions are provided, the volume of the manifold is not significantly reduced, the increase in pressure loss can be suppressed, and adverse effects on the discharge characteristics and the like can be suppressed. Further, the rigidity of the member can be improved by the protruding portion, and peeling of the compliance substrate can be suppressed.
Application Example 3 Here, it is preferable that the protrusion is provided so as to protrude toward an opening on the manifold side of the pressure generating chamber. According to this, the center of the flow of the liquid flowing through the manifold from the inlet to the outlet can be reliably moved to the opening side of the pressure generating chamber.
Application Example 4 In addition, it is preferable that a plurality of the protrusions are provided between the introduction port and the discharge port. According to this, the center of the flow of the liquid flowing through the manifold from the inlet to the outlet can be reliably moved to the opening side of the pressure generating chamber by the plurality of protrusions.
Application Example 5 Another application example of the invention is a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the application example.
In such an application example, it is possible to realize a liquid ejecting apparatus that can suppress a decrease in the volume of the manifold, reduce a temperature gradient, and discharge liquid at an optimum temperature.
According to another aspect of the present invention for solving the above-described problems, a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid, a pressure generating means for causing a pressure change in the pressure generating chamber, and a plurality of the pressure generating chambers communicate with each other. A manifold, an introduction path for supplying a liquid to the manifold, and a discharge path for discharging the liquid from the manifold to the outside. In the manifold, an introduction port for opening the introduction path; In the liquid ejecting head, a protrusion protruding in a direction intersecting with a flow direction of the liquid flowing in the manifold is provided between the discharge port where the discharge path is opened.
In this aspect, by providing the protrusion, the center of the flow of the liquid flowing from the inlet to the outlet is moved to the opening side of the pressure generating chamber, so that the liquid flowing through the manifold and the liquid in the vicinity of the nozzle opening Temperature difference (temperature gradient) can be reduced. Further, since only the protrusions are provided, the volume of the manifold is not significantly reduced, the increase in pressure loss can be suppressed, and adverse effects on the discharge characteristics and the like can be suppressed.

ここで、前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールド側の開口に向かって突出して設けられていることが好ましい。これによれば、マニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室の開口側に確実に移動させることができる。   Here, it is preferable that the protrusion is provided so as to protrude toward the opening on the manifold side of the pressure generating chamber. According to this, the center of the flow of the liquid flowing through the manifold from the inlet to the outlet can be reliably moved to the opening side of the pressure generating chamber.

また、前記突起部は、前記導入口から前記排出口までの間に複数個設けられていることが好ましい。これによれば、複数の突起部によってマニホールドを導入口から排出口に向かって流れる液体の流れの中心を圧力発生室の開口側に確実に移動させることができる。   Moreover, it is preferable that a plurality of the protrusions are provided between the introduction port and the discharge port. According to this, the center of the flow of the liquid flowing through the manifold from the inlet to the outlet can be reliably moved to the opening side of the pressure generating chamber by the plurality of protrusions.

また、前記マニホールドの一側面は可撓性を有するコンプライアンス基板で構成され、前記突起部はコンプライアンス基板に接合されていることが好ましい。これによれば、突起部によって部材の剛性を向上することができると共に、コンプライアンス基板の剥離等を抑制することができる。   Further, it is preferable that one side surface of the manifold is configured by a compliance substrate having flexibility, and the protrusion is bonded to the compliance substrate. According to this, the rigidity of the member can be improved by the protruding portion, and peeling of the compliance substrate can be suppressed.

さらに本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、マニホールドの容積が減少するのを抑制して、温度勾配を低減して、最適な温度で液体を吐出させることができる液体噴射装置を実現できる。
According to still another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the above aspect.
In this aspect, it is possible to realize a liquid ejecting apparatus that can suppress a decrease in the volume of the manifold, reduce a temperature gradient, and discharge liquid at an optimum temperature.

実施形態1に係る記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態1に係る記録ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態1に係る記録ヘッドの流路を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a flow path of the recording head according to the first embodiment. 実施形態1に係る記録ヘッドと比較した流路を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a flow path compared with the recording head according to the first embodiment. 実施形態1及び比較した記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the recording head compared with the first embodiment. 他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a recording head according to another embodiment. 他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a recording head according to another embodiment. 一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a recording apparatus according to an embodiment.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの断面図及びその要部を拡大した図であり、図3は、インクジェット式記録ヘッドの流路構成を示す図2のA−A′線断面図である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head showing an example of a liquid jet head according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the ink jet recording head and an enlarged view of a main part thereof. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 2 showing the flow path configuration of the ink jet recording head.

図示するように、インクジェット式記録ヘッド1は、ヘッド本体11、ケース部材40等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。本実施形態では、ヘッド本体11は、流路形成基板10と、連通板15と、ノズルプレート20と、保護基板30と、を具備する。   As shown in the figure, the ink jet recording head 1 includes a plurality of members such as a head main body 11 and a case member 40, and the plurality of members are joined by an adhesive or the like. In the present embodiment, the head main body 11 includes a flow path forming substrate 10, a communication plate 15, a nozzle plate 20, and a protective substrate 30.

ヘッド本体11を構成する流路形成基板10には、複数の圧力発生室12が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口21が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室12の並設方向、又は第1の方向Xと称する。また、流路形成基板10には、圧力発生室12が第1の方向Xに並設された列が複数列、本実施形態では、2列設けられている。この圧力発生室12が第1の方向Xに沿って形成された圧力発生室12の列が複数列設された列設方向を、以降、第2の方向Yと称する。なお、圧力発生室12が第1の方向Xに並設された2列は、一方の圧力発生室12の列に対して、他方の圧力発生室12の列が第1の方向Xで隣り合う圧力発生室12の間隔の半分だけ第1の方向Xにずれた位置に配置されている。これにより、詳しくは後述するノズル開口21も同様に、ノズル開口21の2列が半分の間隔だけ第1の方向Xにずれて配置されて、解像度を2倍にしている。   In the flow path forming substrate 10 constituting the head body 11, a plurality of pressure generating chambers 12 are arranged in parallel along a direction in which a plurality of nozzle openings 21 for discharging the same color ink are arranged in parallel. Hereinafter, this direction is referred to as a direction in which the pressure generating chambers 12 are arranged side by side or a first direction X. Further, the flow path forming substrate 10 is provided with a plurality of rows in which the pressure generation chambers 12 are arranged in parallel in the first direction X, and in this embodiment, two rows. An arrangement direction in which a plurality of rows of the pressure generation chambers 12 in which the pressure generation chambers 12 are formed along the first direction X is provided is hereinafter referred to as a second direction Y. In the two rows in which the pressure generation chambers 12 are arranged in the first direction X, the row of the other pressure generation chambers 12 is adjacent to the row of the one pressure generation chamber 12 in the first direction X. The pressure generating chambers 12 are arranged at positions shifted in the first direction X by half the interval between the pressure generating chambers 12. As a result, the nozzle openings 21 to be described in detail later are similarly arranged so that two rows of the nozzle openings 21 are shifted in the first direction X by a half interval to double the resolution.

また、流路形成基板10の圧力発生室12の第2の方向Yの一端部側にはインク供給路14が設けられている。複数の圧力発生室12に共通する共通液体室であるマニホールドからのインクはインク供給路14を介して圧力発生室12に供給される。なお、インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、マニホールド100から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。ちなみに、本実施形態では、共通流路であるマニホールドに連通する複数の個別流路を圧力発生室12とインク供給路14とが構成している。   Further, an ink supply path 14 is provided on one end portion side in the second direction Y of the pressure generation chamber 12 of the flow path forming substrate 10. Ink from the manifold, which is a common liquid chamber common to the plurality of pressure generation chambers 12, is supplied to the pressure generation chamber 12 via the ink supply path 14. The ink supply path 14 is formed with a narrower width than the pressure generation chamber 12, and maintains a constant flow path resistance of ink flowing from the manifold 100 into the pressure generation chamber 12. Incidentally, in this embodiment, the pressure generating chamber 12 and the ink supply path 14 constitute a plurality of individual flow paths communicating with the manifold which is a common flow path.

流路形成基板10の一方の面には、連通板15が接着剤や熱溶着フィルム等を介して接合されている。また、連通板15には、ノズル開口21が設けられたノズルプレート20が接合されている。この連通板15には、圧力発生室12とノズル開口21とを連通する連通路16が厚さ方向に貫通して設けられている。   A communication plate 15 is bonded to one surface of the flow path forming substrate 10 via an adhesive, a heat welding film, or the like. Further, the nozzle plate 20 provided with the nozzle openings 21 is joined to the communication plate 15. The communication plate 15 is provided with a communication passage 16 that communicates the pressure generating chamber 12 and the nozzle opening 21 in the thickness direction.

このような連通板15は、流路形成基板10よりも大きな面積(流路形成基板10との接合面)を有し、流路形成基板10のインク供給路14の外側で詳しくは後述するケース部材40との間でマニホールド100を画成する。このため、連通板15は、液滴の吐出方向からの平面視において、ケース部材40と略同じ面積を有する。   Such a communication plate 15 has a larger area than the flow path forming substrate 10 (bonding surface with the flow path forming substrate 10), and a case described later in detail outside the ink supply path 14 of the flow path forming substrate 10. A manifold 100 is defined with the member 40. For this reason, the communication plate 15 has substantially the same area as the case member 40 in a plan view from the droplet discharge direction.

また、ノズルプレート20は、流路形成基板10よりも小さい面積を有し、且つ少なくとも2列の連通板15のノズルプレート20側の開口を共通して覆う大きさを有する。このようにノズルプレート20の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。ちなみに、図示していないが、ノズルプレート20の液体噴射面(連通板15とは反対側の面)には、インクに対して撥水性(撥液性)を有する撥水膜が設けられている。このような撥水膜は高価であり、撥水膜を成膜する面積に応じてノズルプレート20のコストは高くなる。本実施形態では、ノズルプレート20の面積を小さくすることで、撥水膜を成膜する面積を狭めてノズルプレート20のコストを低減することができる。もちろん、ノズルプレート20の材料である金属板やセラミックス板等の面積を単純に小さくすることでコストを低減することができる。   The nozzle plate 20 has an area smaller than that of the flow path forming substrate 10 and has a size that covers at least two rows of the communication plates 15 on the nozzle plate 20 side in common. Thus, cost reduction can be achieved by making the area of the nozzle plate 20 relatively small. Incidentally, although not shown, a water repellent film having water repellency (liquid repellency) with respect to ink is provided on the liquid ejecting surface of the nozzle plate 20 (the surface opposite to the communication plate 15). . Such a water-repellent film is expensive, and the cost of the nozzle plate 20 increases depending on the area where the water-repellent film is formed. In the present embodiment, by reducing the area of the nozzle plate 20, the area for forming the water repellent film can be reduced and the cost of the nozzle plate 20 can be reduced. Of course, the cost can be reduced by simply reducing the area of the metal plate, ceramic plate or the like that is the material of the nozzle plate 20.

一方、流路形成基板10の連通板15とは反対面側には、弾性膜50が形成され、弾性膜50上には、さらに絶縁体膜55が形成されている。この絶縁体膜55上には、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とからなる圧電アクチュエーター(圧力発生手段)300が設けられている。本実施形態では、第1電極60が複数の圧電アクチュエーター300に共通する共通電極として機能し、第2電極80が各圧電アクチュエーター300で独立する個別電極として機能するが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、弾性膜50、絶縁体膜55及び第1電極60が振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜50及び絶縁体膜55を設けずに、第1電極60のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター300自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。   On the other hand, an elastic film 50 is formed on the surface of the flow path forming substrate 10 opposite to the communication plate 15, and an insulator film 55 is further formed on the elastic film 50. On the insulator film 55, a piezoelectric actuator (pressure generating means) 300 including a first electrode 60, a piezoelectric layer 70, and a second electrode 80 is provided. In the present embodiment, the first electrode 60 functions as a common electrode common to the plurality of piezoelectric actuators 300, and the second electrode 80 functions as an individual electrode independent of each piezoelectric actuator 300. There is no problem even if this is reversed. In the above-described example, the elastic film 50, the insulator film 55, and the first electrode 60 function as a diaphragm. However, the present invention is not limited to this. For example, the elastic film 50 and the insulator film 55 are provided. Instead, only the first electrode 60 may act as a diaphragm. Further, the piezoelectric actuator 300 itself may substantially serve as a diaphragm.

また、第2電極80には、リード電極90の一端がそれぞれ接続されている。リード電極90の他端には、駆動IC等の駆動回路120が設けられたフレキシブル配線であるCOF等の配線基板121が接続されており、駆動回路120からの信号は、配線基板121及びリード電極90を介して各圧電アクチュエーター300に供給される。   One end of each lead electrode 90 is connected to the second electrode 80. The other end of the lead electrode 90 is connected to a wiring board 121 such as COF which is a flexible wiring provided with a driving circuit 120 such as a driving IC. The signal from the driving circuit 120 is transmitted to the wiring board 121 and the lead electrode. The piezoelectric actuators 300 are supplied to the piezoelectric actuators 300 through 90.

また、流路形成基板10の圧電アクチュエーター300側の面には、流路形成基板10と略同じ大きさを有する保護基板30が接合されている。保護基板30は、圧電アクチュエーター300を保護するための空間である保持部31を有する。圧電アクチュエーター300は、この保持部31内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。本実施形態では、圧力発生室12が第1の方向Xに並設された2列に対応して圧電アクチュエーター300が第1の方向Xに並設された列が2列設けられているため、保持部31を圧電アクチュエーター300の列毎に独立して設けた。   A protective substrate 30 having substantially the same size as the flow path forming substrate 10 is bonded to the surface of the flow path forming substrate 10 on the piezoelectric actuator 300 side. The protective substrate 30 has a holding portion 31 that is a space for protecting the piezoelectric actuator 300. Since the piezoelectric actuator 300 is formed in the holding portion 31, it is protected in a state where it is hardly affected by the external environment. In the present embodiment, two rows in which the piezoelectric actuators 300 are juxtaposed in the first direction X are provided corresponding to two rows in which the pressure generating chambers 12 are juxtaposed in the first direction X. The holding part 31 was provided independently for each row of the piezoelectric actuators 300.

また、保護基板30には、2つの保持部31の間に、保護基板30を厚さ方向に貫通して設けられた貫通孔32が設けられている。流路形成基板10の圧電アクチュエーター300から引き出されたリード電極90の端部は、貫通孔32内に露出するように延設されており、リード電極90と配線基板121とは貫通孔32内で電気的に接続されている。   The protective substrate 30 is provided with a through hole 32 provided between the two holding portions 31 so as to penetrate the protective substrate 30 in the thickness direction. The end portion of the lead electrode 90 drawn out from the piezoelectric actuator 300 of the flow path forming substrate 10 is extended so as to be exposed in the through hole 32, and the lead electrode 90 and the wiring substrate 121 are in the through hole 32. Electrically connected.

また、このような構成のヘッド本体11には、複数の圧力発生室12に連通するマニホールド100をヘッド本体11と共に画成するケース部材40が固定されている。   In addition, a case member 40 is fixed to the head main body 11 having such a configuration. The case member 40 defines a manifold 100 communicating with the plurality of pressure generating chambers 12 together with the head main body 11.

ケース部材40は、平面視において上述した連通板15と略同一形状を有し、保護基板30に接着剤によって固定されると共に、上述した連通板15にも接着剤によって固定されている。具体的には、ケース部材40は、保護基板30側に流路形成基板10及び保護基板30が収容される深さの凹部41を有する。この凹部41は、保護基板30の流路形成基板10に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部41に流路形成基板10等が収容された状態で凹部41のノズルプレート20側の開口面が連通板15によって封止されている。これにより、流路形成基板10の外周部には、ケース部材40とヘッド本体11とによってマニホールド100が画成されている。本実施形態では、ケース部材40の凹部41の第2の方向Yの中央部にヘッド本体11を保持させて、ヘッド本体11の第2の方向Yを挟んだ両側にマニホールド100を形成するようにした。なお、ヘッド本体11の第2の方向Yの両側に設けられたマニホールド100は、ヘッド本体11の第1の方向Xの両側で連通して設けられている。このため、2つのマニホールド100には同じインクが供給される。   The case member 40 has substantially the same shape as the communication plate 15 described above in a plan view, and is fixed to the protective substrate 30 with an adhesive, and is also fixed to the communication plate 15 with an adhesive. Specifically, the case member 40 has a recess 41 having a depth in which the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 are accommodated on the protective substrate 30 side. The concave portion 41 has an opening area larger than the surface of the protective substrate 30 bonded to the flow path forming substrate 10. The opening surface on the nozzle plate 20 side of the recess 41 is sealed by the communication plate 15 in a state where the flow path forming substrate 10 and the like are accommodated in the recess 41. As a result, the manifold 100 is defined by the case member 40 and the head body 11 on the outer periphery of the flow path forming substrate 10. In the present embodiment, the head main body 11 is held at the center of the concave portion 41 of the case member 40 in the second direction Y, and the manifold 100 is formed on both sides of the head main body 11 across the second direction Y. did. Note that the manifolds 100 provided on both sides of the head body 11 in the second direction Y are provided in communication on both sides of the head body 11 in the first direction X. For this reason, the same ink is supplied to the two manifolds 100.

また、ケース部材40には、マニホールド100に連通して外部からマニホールド100にインクを供給する導入路42と、マニホールド100に連通してマニホールド100からのインクを外部に排出する排出路43とが設けられている。導入路42と排出路43とは、それぞれヘッド本体11の第1の方向Xの両側の2つのマニホールド100が連通する領域に開口して設けられている。このため、1つの導入路42から供給されたインクは、2つのマニホールド100を通過(循環)して、1つの排出路43から排出されるようになっている。なお、本実施形態では、導入路42のマニホールド100への開口を導入口42a、排出路43のマニホールド100への開口を排出口43aとした。   The case member 40 is provided with an introduction path 42 that communicates with the manifold 100 and supplies ink to the manifold 100 from the outside, and a discharge path 43 that communicates with the manifold 100 and discharges ink from the manifold 100 to the outside. It has been. The introduction path 42 and the discharge path 43 are provided so as to open in areas where the two manifolds 100 on both sides of the head body 11 in the first direction X communicate with each other. For this reason, the ink supplied from one introduction path 42 passes through (circulates) the two manifolds 100 and is discharged from one discharge path 43. In the present embodiment, the opening of the introduction path 42 to the manifold 100 is defined as the introduction port 42a, and the opening of the discharge path 43 to the manifold 100 is defined as the discharge port 43a.

また、凹部41は、ケース部材40の側面、つまり、流路形成基板10及び保護基板30の端面に相対向する領域が開口して設けられており、インクジェット式記録ヘッド1の開口する側面には、コンプライアンス基板44が設けられている。   In addition, the recess 41 is provided with an opening in the side surface of the case member 40, that is, a region facing the end surfaces of the flow path forming substrate 10 and the protection substrate 30. A compliance substrate 44 is provided.

コンプライアンス基板44は、ケース部材40と連通板15とに亘って接合され、マニホールド100の側面の開口を封止する。   The compliance substrate 44 is bonded across the case member 40 and the communication plate 15 and seals the opening on the side surface of the manifold 100.

このようなコンプライアンス基板44は、本実施形態では、封止膜44aと、固定板44bと、を具備する。封止膜44aは、可撓性を有する薄膜(例えば、ポリフェニレンサルファイド(PPS)やステンレス鋼(SUS)等により形成された厚さが20μm以下の薄膜)からなり、固定板44bは、ステンレス鋼(SUS)等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定板44bのマニホールド100に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部となっているため、マニホールド100の一方面は可撓性を有する封止膜44aのみで封止されたコンプライアンス部となっている。   In this embodiment, such a compliance substrate 44 includes a sealing film 44a and a fixing plate 44b. The sealing film 44a is made of a flexible thin film (for example, a thin film having a thickness of 20 μm or less formed of polyphenylene sulfide (PPS) or stainless steel (SUS)), and the fixing plate 44b is made of stainless steel ( It is formed of a hard material such as a metal such as SUS. Since the region of the fixing plate 44b facing the manifold 100 is an opening that is completely removed in the thickness direction, one surface of the manifold 100 is sealed only with a flexible sealing film 44a. It has become a compliance department.

さらに、マニホールド100には、導入路42の導入口42aから排出路43の排出口43aに向かう途中に、マニホールド100内を流れるインクの流れる方向に交差する方向に突出する突起部45が設けられている。本実施形態では、1つのマニホールド100に第1の方向Xに向かって一定の間隔で複数、本実施形態では4個の突起部45を設けた。   Further, the manifold 100 is provided with a protrusion 45 projecting in a direction intersecting the direction of the ink flowing through the manifold 100 on the way from the introduction port 42 a of the introduction channel 42 to the discharge port 43 a of the discharge channel 43. Yes. In the present embodiment, a single manifold 100 is provided with a plurality of protrusions 45 at regular intervals in the first direction X, in this embodiment four projections 45.

なお、マニホールド100は、ヘッド本体11とは反対側に連通板15とは反対側が拡幅された部分が設けられている。このため、本実施形態の突起部45は、この拡幅された部分を埋めるように連通板15とは反対面側から連通板15側に向かって突出して設けられた第1突出部46と、第1突出部46に連続してコンプライアンス基板44側の面からインク供給路14の開口に向かって突出して設けられた第2突出部47と、を具備する。   The manifold 100 is provided with a portion on the side opposite to the head body 11 and having the side opposite to the communication plate 15 widened. For this reason, the protrusion 45 of the present embodiment includes a first protrusion 46 provided to protrude from the side opposite to the communication plate 15 toward the communication plate 15 so as to fill this widened portion, And a second protrusion 47 provided so as to protrude from the surface on the compliance substrate 44 side toward the opening of the ink supply path 14.

すなわち、突起部45は、マニホールド100のインク供給路14が開口する流路形成基板10と連通板15との角部とは対角となる角部に跨って設けられており、突起部45は、圧力発生室12のマニホールド100側の開口(インク供給路14のマニホールド100側の開口)に向かって突出しているといえる。   That is, the protrusion 45 is provided across the corner that is opposite to the corner of the flow path forming substrate 10 and the communication plate 15 where the ink supply path 14 of the manifold 100 is opened. It can be said that the pressure generating chamber 12 protrudes toward the manifold 100 side opening (the ink supply path 14 opening on the manifold 100 side).

このようにマニホールド100のインクの流れる方向(循環方向)に亘ってインクの流れる方向と直交する方向に突出した複数の突起部45を設けることで、マニホールド100の容積を著しく減少させることなく、マニホールド100内を流れるインクの流れの中心、すなわち、流速が最大となる中心をインク供給路14の開口側に移動することができる。特に、本実施形態のように突起部45を圧力発生室12のマニホールド100側の開口(インク供給路14のマニホールド100側の開口)に向かって突出させることで、マニホールド100内を流れるインクの流れの中心をインク供給路14の開口側に効率良く移動させることができる。したがって、マニホールド100内を流れるインクをインク供給路14を介して圧力発生室12に供給する際に、マニホールド100内を循環しているインクの温度と、圧力発生室12に供給されたインクの温度、すなわち、ノズル開口21近傍のインクの温度との温度差(温度勾配)を低減することができる。すなわち、マニホールド100内を循環している所望の温度のインクを圧力発生室12に温度が低下するのを抑制した状態で供給することができ、所望の温度でインクを吐出させることができるため、インク吐出特性が低下するのを抑制することができる。   By providing the plurality of protrusions 45 protruding in the direction perpendicular to the ink flow direction in the ink flow direction (circulation direction) of the manifold 100 in this way, the manifold 100 is not significantly reduced in volume, and the manifold 100 is not significantly reduced in volume. The center of the flow of ink flowing through the ink 100, that is, the center at which the flow velocity becomes maximum can be moved to the opening side of the ink supply path 14. In particular, the protrusion 45 protrudes toward the manifold 100 side opening of the pressure generating chamber 12 (the opening of the ink supply path 14 on the manifold 100 side) as in the present embodiment, whereby the flow of ink flowing in the manifold 100 is performed. Can be efficiently moved to the opening side of the ink supply path 14. Therefore, when the ink flowing in the manifold 100 is supplied to the pressure generation chamber 12 via the ink supply path 14, the temperature of the ink circulating in the manifold 100 and the temperature of the ink supplied to the pressure generation chamber 12. That is, the temperature difference (temperature gradient) with the temperature of the ink near the nozzle opening 21 can be reduced. That is, the ink having a desired temperature circulating in the manifold 100 can be supplied to the pressure generation chamber 12 in a state in which the temperature is suppressed from decreasing, and the ink can be ejected at the desired temperature. It is possible to suppress a decrease in ink discharge characteristics.

つまり、図4に示すように、マニホールド100内に突起部45を設けない場合、図5(a)に示すように、マニホールド100を流れるインクの流れの中心Cとなるのに対し、本実施形態のマニホールド100内に突起部45を設けた場合、図5(b)に示すように、マニホールド100を流れるインクの流れの中心Cは、突起部45を設けない中心Cよりもインク供給路14の開口側に移動する。なお、図4は、本実施形態の記録ヘッドの比較例を示すA−A′線に相当する断面図であり、図5(a)は比較例の記録ヘッドの要部断面図、図5(b)は本実施形態の記録ヘッドの要部断面図である。 That is, as shown in FIG. 4, the case without the protrusions 45 into the manifold 100, as shown in FIG. 5 (a), whereas the center C 1 of the flow of ink through the manifold 100, the present embodiment When the protrusion 45 is provided in the manifold 100 of the configuration, the ink flow center C 2 flowing through the manifold 100 is supplied with ink more than the center C 1 where the protrusion 45 is not provided, as shown in FIG. Move to the opening side of the path 14. FIG. 4 is a cross-sectional view corresponding to the line AA ′ showing a comparative example of the recording head of this embodiment. FIG. 5A is a cross-sectional view of the main part of the recording head of the comparative example. FIG. 4B is a cross-sectional view of the main part of the recording head of the present embodiment.

したがって、マニホールド100内に突起部45を設けることで、マニホールド100内を流れるインクの流れの中心Cをインク供給路14の開口側とすることができ、インク供給路14に供給するインクが、マニホールド100内を流れる中心Cのインクに近くなり、温度勾配を低減することができる。また、マニホールド100内を流れるインクの中心Cがノズルプレート20側(連通板15側)に移動するため、マニホールド100内を流れるインクによってノズルプレート20が温められて、ノズル開口21近傍のインクの温度とマニホールド100を流れるインクの温度との温度差(温度勾配)を低減することができる。 Accordingly, by providing the protrusion 45 into the manifold 100, the center C 2 of the flow of ink flowing through the manifold 100 may be a open side of the ink supply path 14, the ink supplied to the ink supply path 14, closer to the ink of the center C 2 through the manifold 100, it is possible to reduce the temperature gradient. The center C 2 of the ink flowing through the manifold 100 to move the nozzle plate 20 side (communication plate 15 side), and the nozzle plate 20 is warmed up by the ink flowing manifold 100, the ink in the nozzle openings 21 near A temperature difference (temperature gradient) between the temperature and the temperature of the ink flowing through the manifold 100 can be reduced.

また、突起部45は、マニホールド100の容積を著しく低下することがないため、圧力損失の増大を抑制することができ、マニホールド100の容積不足による供給不良や、圧電アクチュエーター300の駆動によってマニホールド100側にインクが移動して発生するクロストークなどが生じるのを抑制することができる。   Further, since the protrusion 45 does not significantly reduce the volume of the manifold 100, an increase in pressure loss can be suppressed, and supply failure due to insufficient volume of the manifold 100 or driving of the piezoelectric actuator 300 causes the manifold 100 side. It is possible to suppress the occurrence of crosstalk caused by the movement of ink.

さらに、突起部45を導入口42aから排出口43aに亘って所定の間隔で複数個設けることで、マニホールド100のように長い空間が画成されたケース部材40の剛性を向上して、変形し難くすることができる。   Furthermore, by providing a plurality of protrusions 45 at a predetermined interval from the introduction port 42a to the discharge port 43a, the rigidity of the case member 40 in which a long space is defined like the manifold 100 is improved and deformed. Can be difficult.

また、突起部45は、コンプライアンス基板44側に第2突出部47を有するため、コンプライアンス基板44は、第2突出部47に接合されている。したがって、コンプライアンス基板44に対して、第2突出部47が梁として機能し、コンプライアンス基板44の剥離や弾性破壊等を抑制することができる。   Further, since the protrusion 45 has the second protrusion 47 on the compliance substrate 44 side, the compliance substrate 44 is joined to the second protrusion 47. Therefore, the second projecting portion 47 functions as a beam with respect to the compliance substrate 44, and the compliance substrate 44 can be prevented from being peeled off or elastically broken.

(他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
(Other embodiments)
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.

例えば、上述した実施形態1では、突起部45として、連通板15とは反対面側から連通板15側に向かって突出する第1突出部46と、流路形成基板10の端面に相対向する面から流路形成基板10の端面に向かって突出する第2突出部47とを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、突起部45が第1突出部46及び第2突出部47の何れか一方のみで構成されていてもよい。また、突起部45は、第1突出部46及び第2突出部47に限定されるものではない。ここで、突起部の他の例を図6及び図7に示す。なお、図6及び図7は、本発明の他の実施形態に係る突起部の変形例を示すインクジェット式記録ヘッドの断面図である。   For example, in the first embodiment described above, the protrusion 45 is opposed to the first protrusion 46 protruding from the surface opposite to the communication plate 15 toward the communication plate 15 and the end surface of the flow path forming substrate 10. The second projecting portion 47 projecting from the surface toward the end surface of the flow path forming substrate 10 is provided. However, the present invention is not particularly limited thereto. For example, the projecting portion 45 includes the first projecting portion 46 and the second projecting portion. 47 may be configured by only one of them. Further, the protrusion 45 is not limited to the first protrusion 46 and the second protrusion 47. Here, another example of the protrusion is shown in FIGS. 6 and 7 are cross-sectional views of an ink jet recording head showing modifications of the protrusions according to another embodiment of the present invention.

図6に示すように、突起部45Aは、連通板15とは反対面側から連通板15側に突出して設けられている。また、突起部45Aは、コンプライアンス基板44との間に所定の空間を画成して配置されている。   As shown in FIG. 6, the protrusion 45 </ b> A is provided so as to protrude from the surface opposite to the communication plate 15 toward the communication plate 15. Further, the protrusion 45 </ b> A is disposed so as to define a predetermined space between the protrusion 45 </ b> A and the compliance substrate 44.

また、図7に示すように、突起部45Bは、コンプライアンス基板44側から流路形成基板10の端面に向かって突出して設けられた第2突出部47で構成されている。   Further, as shown in FIG. 7, the protrusion 45 </ b> B includes a second protrusion 47 provided to protrude from the compliance substrate 44 side toward the end surface of the flow path forming substrate 10.

このような図6及び図7に示す突起部45A、45Bであっても、マニホールド100内を流れるインクの流れの中心は、インク供給路14の開口側に移動されるため、上述した実施形態1と同様の効果を奏することができる。   Even in the protrusions 45A and 45B shown in FIGS. 6 and 7, the center of the flow of the ink flowing in the manifold 100 is moved to the opening side of the ink supply path 14, so that the first embodiment described above. The same effect can be achieved.

さらに、上述した実施形態1では、マニホールド100が、流路形成基板10及び保護基板30の外側でケース部材40と連通板15との間に形成された構成を例示したが、特にこれに限定されず、流路形成基板10と保護基板30とを厚さ方向(積層方向)に貫通するマニホールドを用いるようにしてもよい。また、コンプライアンス基板44は、流路形成基板10の端面に相対向する位置に設ける必要はなく、連通板15側に設けられていても、また連通板15とは反対側に設けられていてもよい。   Furthermore, in the above-described first embodiment, the manifold 100 is illustrated as being formed between the case member 40 and the communication plate 15 outside the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30. However, the present invention is particularly limited to this. Instead, a manifold penetrating the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 in the thickness direction (stacking direction) may be used. Further, the compliance substrate 44 does not have to be provided at a position facing the end face of the flow path forming substrate 10, and may be provided on the communication plate 15 side or on the opposite side of the communication plate 15. Good.

また、上述した実施形態1では、圧力発生室12に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーターを用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。   In the first embodiment described above, the pressure generation means for causing the pressure change in the pressure generation chamber 12 has been described using a thin film type piezoelectric actuator. However, the present invention is not particularly limited thereto, and, for example, a green sheet is pasted. For example, a thick film type piezoelectric actuator formed by a method such as the above, a longitudinal vibration type piezoelectric actuator in which piezoelectric materials and electrode forming materials are alternately stacked and expanded and contracted in the axial direction can be used. Also, as a pressure generating means, a heating element is arranged in the pressure generating chamber, and droplets are discharged from the nozzle opening by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or static electricity is generated between the diaphragm and the electrode. Thus, a so-called electrostatic actuator that discharges liquid droplets from the nozzle openings by deforming the diaphragm by electrostatic force can be used.

また、これら上述したインクジェット式記録ヘッド1は、インクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図8は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。   The ink jet recording head 1 described above constitutes a part of the ink jet recording head unit and is mounted on the ink jet recording apparatus. FIG. 8 is a schematic view showing an example of the ink jet recording apparatus.

本実施形態のインクジェット式記録装置Iは、装置本体にインクジェット式記録ヘッド1を固定し、ノズル開口21の並設方向に対して直交する方向に記録用紙等の被噴射媒体を搬送することで被噴射媒体への印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置である。   The ink jet recording apparatus I according to the present embodiment fixes the ink jet recording head 1 to the apparatus main body and conveys an ejection target medium such as recording paper in a direction orthogonal to the direction in which the nozzle openings 21 are arranged side by side. This is a so-called line type ink jet recording apparatus that performs printing on an ejection medium.

具体的には、図8に示すように、インクジェット式記録装置Iは、インクジェット式記録ヘッド1を具備するインクジェット式記録ヘッドユニット2と、装置本体3と、被記録媒体である記録シートSを給紙するローラー4と、液体貯留手段5とを備えている。   Specifically, as shown in FIG. 8, an ink jet recording apparatus I supplies an ink jet recording head unit 2 including an ink jet recording head 1, an apparatus main body 3, and a recording sheet S that is a recording medium. A paper roller 4 and liquid storage means 5 are provided.

インクジェット式記録ヘッドユニット2(以下、ヘッドユニット2とも言う)は、複数のインクジェット式記録ヘッド1と、複数のインクジェット式記録ヘッド1を保持する板状のベースプレート6と、を具備する。このヘッドユニット2は、ベースプレート6に取り付けられたフレーム部材7を介して装置本体3に固定されている。   The ink jet recording head unit 2 (hereinafter also referred to as the head unit 2) includes a plurality of ink jet recording heads 1 and a plate-like base plate 6 that holds the plurality of ink jet recording heads 1. The head unit 2 is fixed to the apparatus main body 3 via a frame member 7 attached to the base plate 6.

また、装置本体3にはローラー4が設けられている。ローラー4は、装置本体3に給紙された被噴射媒体である紙等の記録シートSを搬送し、記録シートSをインクジェット式記録ヘッド1のインクの吐出面側を通過させる。   The apparatus body 3 is provided with a roller 4. The roller 4 conveys a recording sheet S such as paper that is an ejection medium fed to the apparatus main body 3 and passes the recording sheet S through the ink ejection surface side of the ink jet recording head 1.

また、上述したように、各インクジェット式記録ヘッド1には、装置本体3に固定されてインクを貯留する液体貯留手段5がフレキシブルチューブ等の供給管8及び回収管9を介して接続されている。液体貯留手段5からのインクは、供給管8を介して各インクジェット式記録ヘッド1に供給され、インクジェット式記録ヘッド1で吐出されなかったインクは回収管9を介して液体貯留手段5に回収される。また、回収管9の途中にはポンプ9aが設けられており、液体貯留手段5からのインクは、ポンプ9aの圧力によってインクジェット式記録ヘッド1内の液体流路(マニホールド100、排出路43等)を通過して循環する。   Further, as described above, each ink jet recording head 1 is connected to the liquid storage means 5 that is fixed to the apparatus main body 3 and stores ink via a supply pipe 8 such as a flexible tube and a recovery pipe 9. . Ink from the liquid storage means 5 is supplied to each ink jet recording head 1 via the supply pipe 8, and ink that has not been ejected by the ink jet recording head 1 is recovered to the liquid storage means 5 via the recovery pipe 9. The A pump 9a is provided in the middle of the recovery pipe 9, and ink from the liquid storage means 5 is supplied to the liquid flow path (manifold 100, discharge path 43, etc.) in the ink jet recording head 1 by the pressure of the pump 9a. Circulate through.

このようなインクジェット式記録装置Iでは、ローラー4により搬送方向に記録シートSが搬送されると共に、ヘッドユニット2のインクジェット式記録ヘッド1によってインクが吐出されて記録シートSに画像等が印刷される。   In such an ink jet recording apparatus I, the recording sheet S is transported in the transport direction by the roller 4, and ink is ejected by the ink jet recording head 1 of the head unit 2 to print an image or the like on the recording sheet S. .

なお、上述した例では、複数のインクジェット式記録ヘッド1を具備するヘッドユニット2をインクジェット式記録装置Iに1つだけ設けるようにしたが、インクジェット式記録装置Iに搭載するヘッドユニット2を2つ以上設けてもよい。また、インクジェット式記録装置Iに直接インクジェット式記録ヘッド1を搭載するようにしてもよい。   In the above example, only one head unit 2 including a plurality of ink jet recording heads 1 is provided in the ink jet recording apparatus I. However, two head units 2 mounted on the ink jet recording apparatus I are provided. You may provide above. Further, the ink jet recording head 1 may be directly mounted on the ink jet recording apparatus I.

また、上述した例では、インクジェット式記録ヘッド1が固定されて記録シートSを搬送するだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置Iを例示したが、特にこれに限定されるものではない。例えば、記録シートSの搬送方向と交差する方向(主走査方向)に移動するキャリッジにインクジェット式記録ヘッド1を搭載し、インクジェット式記録ヘッド1を主走査方向に移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。   In the above-described example, the so-called line-type ink jet recording apparatus I that performs printing only by transporting the recording sheet S while the ink jet recording head 1 is fixed is illustrated, but the present invention is not particularly limited thereto. Absent. For example, an ink jet recording head 1 is mounted on a carriage that moves in a direction (main scanning direction) that intersects the conveyance direction of the recording sheet S, and printing is performed while moving the ink jet recording head 1 in the main scanning direction. The present invention can also be applied to a type of ink jet recording apparatus.

また、本実施形態では、液体貯留手段5が装置本体3に固定されたタイプのインクジェット式記録装置Iを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクカートリッジ等の液体貯留手段を各インクジェット式記録ヘッド1、インクジェット式記録ヘッドユニット2又はキャリッジ等に固定するタイプのインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。   Further, in the present embodiment, the ink jet type recording apparatus I in which the liquid storing means 5 is fixed to the apparatus main body 3 is illustrated, but the present invention is not particularly limited thereto. For example, the liquid storing means such as an ink cartridge is used for each ink jet. The present invention can also be applied to an ink jet recording apparatus of a type that is fixed to the ink jet recording head 1, the ink jet recording head unit 2, or a carriage.

さらに本実施形態では、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。   Furthermore, in this embodiment, the ink jet recording apparatus has been described as an example of the liquid ejecting apparatus. However, the present invention is intended for all liquid ejecting apparatuses having a liquid ejecting head widely, and liquid other than ink is used. Of course, the present invention can also be applied to a liquid ejecting apparatus including a liquid ejecting head for ejecting. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FEDs (field emission displays). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation, a bioorganic matter ejection head used for biochip production, and the like.

I インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 1 インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 12 圧力発生室、 20 ノズルプレート、 21 ノズル開口、 40 ケース部材、 44 コンプライアンス基板、 45、45A、45B 突起部、 46 第1突出部、 47 第2突出部、 100 マニホールド、 300 圧電アクチュエーター(圧力発生手段)   I Inkjet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 1 Inkjet recording head (liquid ejecting head), 12 Pressure generating chamber, 20 Nozzle plate, 21 Nozzle opening, 40 Case member, 44 Compliance substrate, 45, 45A, 45B Protrusion 46 1st protrusion, 47 2nd protrusion, 100 manifold, 300 piezoelectric actuator (pressure generating means)

Claims (5)

液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、
該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、
複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、
前記マニホールドに液体を供給する導入路と、
前記マニホールドからの液体を外部に排出する排出路と、を具備し、
前記マニホールド内には、前記導入路が開口する導入口と、前記排出路が開口する排出口との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられており、
前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールド側の開口に向かって突出して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
A pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid;
Pressure generating means for causing a pressure change in the pressure generating chamber;
A manifold communicating with the plurality of pressure generating chambers;
An introduction path for supplying liquid to the manifold;
A discharge path for discharging the liquid from the manifold to the outside,
In the manifold, a protrusion projecting in a direction intersecting with the flow direction of the liquid flowing in the manifold is provided between the introduction port where the introduction passage opens and the discharge port where the discharge passage opens. and,
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the protrusion is provided so as to protrude toward an opening on the manifold side of the pressure generating chamber .
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、A pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid;
該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、Pressure generating means for causing a pressure change in the pressure generating chamber;
複数の前記圧力発生室が連通するマニホールドと、A manifold communicating with the plurality of pressure generating chambers;
前記マニホールドに液体を供給する導入路と、An introduction path for supplying liquid to the manifold;
前記マニホールドからの液体を外部に排出する排出路と、を具備し、A discharge path for discharging the liquid from the manifold to the outside,
前記マニホールド内には、前記導入路が開口する導入口と、前記排出路が開口する排出口との間に当該マニホールド内を流れる液体の流れ方向とは交差する方向に突出する突起部が設けられており、In the manifold, a protrusion projecting in a direction intersecting with the flow direction of the liquid flowing in the manifold is provided between the introduction port where the introduction passage opens and the discharge port where the discharge passage opens. And
前記マニホールドの一側面は可撓性を有するコンプライアンス基板で構成され、One side of the manifold is composed of a compliance substrate having flexibility,
前記突起部はコンプライアンス基板に接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。The liquid ejecting head is characterized in that the protrusion is bonded to a compliance substrate.
前記突起部は、前記圧力発生室の前記マニホールド側の開口に向かって突出して設けられていることを特徴とする請求項記載の液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 2 , wherein the protrusion is provided so as to protrude toward an opening on the manifold side of the pressure generation chamber. 前記突起部は、前記導入口から前記排出口までの間に複数個設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。 The protrusion A liquid jet head according to any one of claims 1-3, characterized in that provided plurality between from said inlet to said outlet. 請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
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