JP6103194B2

JP6103194B2 - Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus

Info

Publication number: JP6103194B2
Application number: JP2013005802A
Authority: JP
Inventors: 石田　幸政; 幸政石田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2013-01-16
Filing date: 2013-01-16
Publication date: 2017-03-29
Anticipated expiration: 2033-01-16
Also published as: JP2014136359A

Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid from nozzle openings, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus that eject ink as liquid.

液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧力発生室を有する流路形成基板と、流路形成基板の一方面側にノズル開口が設けられたノズルプレートと、流路形成基板の他方面側に振動板を介して設けられた圧電アクチュエーター等の圧力発生手段と、を具備し、圧力発生手段の駆動によって振動板を変形させて、圧力発生室内に圧力変化を生じさせることにより、ノズル開口からインク滴を吐出させるものが提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。 A typical example of a liquid ejecting head that ejects droplets is an ink jet recording head that ejects ink droplets. As the ink jet recording head, for example, a flow path forming substrate having a pressure generating chamber, a nozzle plate provided with a nozzle opening on one surface side of the flow path forming substrate, and a vibration on the other surface side of the flow path forming substrate. Pressure generating means such as a piezoelectric actuator provided via a plate, and by deforming the diaphragm by driving the pressure generating means to cause a pressure change in the pressure generating chamber, an ink droplet from the nozzle opening Have been proposed (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

特開２００９−１７２８７８号公報JP 2009-172878 A 特開２０１２−１４３９４８号公報JP 2012-143948 A

しかしながら、流路形成基板にノズルプレートを接着剤で接着した際に、接着剤が圧力発生室に流入し、ノズル開口が塞がれ、インク滴の吐出不良が発生するという問題がある。また、圧力発生室内に流入した接着剤が振動板に付着し、振動板の変位特性が低下してしまうという問題もある。特に、圧力発生室の幅よりも、ノズル開口やノズル開口に連通するノズル連通路の幅が狭い場合、流入した接着剤が圧力発生室の底面（ノズルプレート等の接合された基板の表面）に付着し、付着した接着剤が圧力発生室内を通るインクによって脱落して異物となり、ノズル開口の目詰まり等が生じるのである。 However, when the nozzle plate is bonded to the flow path forming substrate with an adhesive, the adhesive flows into the pressure generating chamber, the nozzle opening is blocked, and ink droplet ejection failure occurs. In addition, there is a problem that the adhesive flowing into the pressure generating chamber adheres to the diaphragm and the displacement characteristics of the diaphragm are degraded. In particular, when the nozzle opening and the width of the nozzle communication passage communicating with the nozzle opening are narrower than the width of the pressure generation chamber, the inflowing adhesive is applied to the bottom surface of the pressure generation chamber (the surface of the bonded substrate such as the nozzle plate). The adhering adhesive is dropped by the ink passing through the pressure generating chamber and becomes a foreign substance, and the nozzle opening is clogged.

また、振動板は、流路形成基板上の固定された領域と圧力発生室等の変形する領域との境界に応力が集中しやすく、この境界に圧力発生室の壁面の角部が一致すると、角部を起点として振動板にクラックが入りやすく、振動板にクラックが生じると、振動特性にばらつきが生じると共にインクの漏出等が発生する。 In addition, the diaphragm is likely to concentrate stress on the boundary between the fixed region on the flow path forming substrate and the deforming region such as the pressure generating chamber, and when the corner of the wall of the pressure generating chamber coincides with this boundary, Cracks are likely to occur in the diaphragm starting from the corners. If cracks occur in the diaphragm, the vibration characteristics vary and ink leakage occurs.

本発明はこのような事情に鑑み、液滴の吐出不良及び振動特性の低下を抑制すると共に、振動板の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。 In view of such circumstances, it is an object of the present invention to provide a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that can suppress the ejection failure of a droplet and a decrease in vibration characteristics, and can suppress the destruction of a vibration plate. .

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられた圧力発生手段と、を具備し、前記圧力発生室は、前記ノズル開口の並設方向である第１の方向に直交する第２の方向において、前記ノズル開口に連通する一端部側に設けられた幅狭部と、他端部側に設けられて前記第１の方向の幅が前記幅狭部よりも広い幅広部と、を具備し、前記圧力発生室の前記第２の方向の前記ノズル開口と連通する側の端面によって規定される前記振動板の前記圧力発生室と前記流路形成基板との境界は、前記幅狭部の内壁面と前記幅広部の内壁面とで形成される角部を避けた位置に配置されており、前記流路形成基板と前記ノズル開口が設けられたノズルプレートとの間には、前記圧力発生室の前記幅狭部と前記ノズル開口とを連通するノズル連通路が設けられた連通板が設けられており、前記第１の方向において、前記ノズル連通路の幅は、前記幅狭部の幅よりも幅広であることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、幅狭部を設けることで、流路形成基板にノズル開口が設けられたノズルプレートや連通板等の部材を接着剤を介して接着した際に、接着剤が圧力発生室内に流入し難く、余分な接着剤によるノズル開口の目詰まりや振動板の変形の阻害を抑制することができる。また、振動板の圧力発生室と流路形成基板との境界が、角部を避けた位置に配置されることで、振動板の応力が集中する境界において角部を起点として振動板にクラック等の破壊が発生するのを抑制することができる。
また、流路形成基板とノズルプレートとの間にノズル連通路を有する連通板を設け、ノズル連通路の幅が幅狭部の幅よりも幅広とすることで、接着剤が連通板のノズル連通路を介して圧力発生室内に流入し難く、接着剤の剥離が発生し難い。
ここで、前記圧力発生室の前記第２の方向の前記ノズル開口と連通する側の前記端面は、前記圧力発生室を前記振動板側から前記ノズルプレート側に向かって拡開するように傾斜する傾斜面となっていることが好ましい。これによれば、傾斜面によって液体の流れを円滑にし、液滴の流速を上げることができる。
また、前記傾斜面は、前記振動板側に設けられた第１傾斜面と、前記ノズルプレート側に設けられた第２傾斜面と、前記第１傾斜面と前記第２傾斜面との間に設けられて、前記第１傾斜面の面方向及び前記第２傾斜面の面方向と交差する面方向を有する段差面と、を具備することが好ましい。これによれば、段差面を設けることで、圧力発生室内に接着剤が流入したとしても、接着剤を段差面に留まらせて、振動板に接着剤が付着するのをさらに抑制することができる。
また、前記流路形成基板は、前記圧力発生室の前記第２の方向の前記幅狭部とは反対側の端部に連通し、前記第１の方向の幅が前記圧力発生室の前記幅広部よりも狭い供給路と、該供給路の前記圧力発生室とは反対側に設けられて当該供給路より前記第１の方向の幅が広い連通路と、をさらに具備し、前記連通路の前記供給路とは反対側の端面によって規定される前記振動板と前記流路形成基板との境界は、前記供給路の内壁面と前記連通路の内壁面とで形成される角部を避けた位置に配置されていることが好ましい。これによれば、振動板の連通路と流路形成基板との境界が、角部を避けた位置に配置されることで、振動板の応力が集中する境界において角部を起点として振動板にクラック等の破壊が発生するのを抑制することができる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の吐出不良、吐出特性の低下を抑制して、振動板の破壊を抑制した液体噴射装置を実現できる。
また、他の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられた圧力発生手段と、を具備し、前記圧力発生室は、前記ノズル開口の並設方向である第１の方向に直交する第２の方向において、前記ノズル開口に連通する一端部側に設けられた幅狭部と、他端部側に設けられて前記第１の方向の幅が前記幅狭部よりも広い幅広部と、を具備し、前記圧力発生室の前記第２の方向の前記ノズル開口と連通する側の端面によって規定される前記振動板の前記圧力発生室と前記流路形成基板との境界は、前記幅狭部の内壁面と前記幅広部の内壁面とで形成される角部を避けた位置に配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、幅狭部を設けることで、流路形成基板にノズル開口が設けられたノズルプレートや連通板等の部材を接着剤を介して接着した際に、接着剤が圧力発生室内に流入し難く、余分な接着剤によるノズル開口の目詰まりや振動板の変形の阻害を抑制することができる。また、振動板の圧力発生室と流路形成基板との境界が、角部を避けた位置に配置されることで、振動板の応力が集中する境界において角部を起点として振動板にクラック等の破壊が発生するのを抑制することができる。
An aspect of the present invention that solves the above problem is provided with a flow path forming substrate provided with a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid, and provided on one surface side of the flow path forming substrate via a diaphragm. And the pressure generating chamber is provided on one end side communicating with the nozzle opening in a second direction orthogonal to the first direction, which is a parallel arrangement direction of the nozzle openings. The nozzle in the second direction of the pressure generating chamber, and a wide portion provided on the other end side and having a width in the first direction wider than the narrow portion. The boundary between the pressure generating chamber of the diaphragm and the flow path forming substrate defined by the end face on the side communicating with the opening is an angle formed by the inner wall surface of the narrow portion and the inner wall surface of the wide portion. The flow path forming substrate and the nozzle opening are provided. A communication plate provided with a nozzle communication path that connects the narrow portion of the pressure generation chamber and the nozzle opening is provided between the nozzle plate and the nozzle plate, and in the first direction, In the liquid jet head, the width of the nozzle communication path is wider than the width of the narrow portion.
In such an aspect, by providing the narrow portion, the adhesive flows into the pressure generating chamber when a member such as a nozzle plate or a communication plate provided with a nozzle opening is bonded to the flow path forming substrate via the adhesive. It is difficult to prevent clogging of the nozzle opening and the deformation of the diaphragm due to excessive adhesive. In addition, since the boundary between the pressure generating chamber of the diaphragm and the flow path forming substrate is disposed at a position avoiding the corner, cracks and the like start from the corner at the boundary where the stress of the diaphragm is concentrated. Can be prevented from occurring.
Further, a communication plate having a nozzle communication path is provided between the flow path forming substrate and the nozzle plate, and the width of the nozzle communication path is wider than the width of the narrow portion, so that the adhesive is connected to the nozzle of the communication plate. It is difficult to flow into the pressure generating chamber through the passage, and the adhesive is hardly peeled off.
Here, the end surface of the pressure generation chamber on the side communicating with the nozzle opening in the second direction is inclined so as to expand the pressure generation chamber from the diaphragm side toward the nozzle plate side. It is preferable that it is an inclined surface. According to this, the flow of the liquid can be smoothed by the inclined surface, and the flow velocity of the droplet can be increased.
The inclined surface includes a first inclined surface provided on the diaphragm side, a second inclined surface provided on the nozzle plate side, and the first inclined surface and the second inclined surface. It is preferable to provide a step surface that is provided and has a surface direction that intersects the surface direction of the first inclined surface and the surface direction of the second inclined surface. According to this, even if the adhesive flows into the pressure generating chamber by providing the step surface, it is possible to further suppress the adhesive from adhering to the diaphragm by keeping the adhesive on the step surface. .
The flow path forming substrate communicates with an end of the pressure generation chamber opposite to the narrow portion in the second direction, and the width in the first direction is the width of the pressure generation chamber. A supply path that is narrower than the supply path, and a communication path that is provided on the opposite side of the supply path from the pressure generation chamber and that is wider in the first direction than the supply path. The boundary between the diaphragm and the flow path forming substrate, which is defined by the end surface on the side opposite to the supply path, avoids the corner formed by the inner wall surface of the supply path and the inner wall surface of the communication path. It is preferable to arrange in the position. According to this, by arranging the boundary between the communication path of the diaphragm and the flow path forming substrate at a position avoiding the corner, the diaphragm starts from the corner at the boundary where the stress of the diaphragm is concentrated. Generation | occurrence | production of cracks etc. can be suppressed.
According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the above aspect.
According to this aspect, it is possible to realize a liquid ejecting apparatus that suppresses the failure of the vibration plate and suppresses the diaphragm from being broken by suppressing the liquid discharge failure and the deterioration of the discharge characteristics.
In another aspect, a flow path forming substrate provided with a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid, and a pressure generating means provided on one surface side of the flow path forming substrate via a diaphragm And the pressure generating chamber has a narrow portion provided on one end side communicating with the nozzle opening in a second direction orthogonal to the first direction which is a direction in which the nozzle openings are arranged side by side. And a wide portion provided on the other end side and having a width in the first direction wider than the narrow portion, and communicates with the nozzle opening in the second direction of the pressure generating chamber. The boundary between the pressure generating chamber and the flow path forming substrate of the diaphragm defined by the end face on the side avoids the corner formed by the inner wall surface of the narrow portion and the inner wall surface of the wide portion. The liquid ejecting head is disposed at a position.
In such an aspect, by providing the narrow portion, the adhesive flows into the pressure generating chamber when a member such as a nozzle plate or a communication plate provided with a nozzle opening is bonded to the flow path forming substrate via the adhesive. It is difficult to prevent clogging of the nozzle opening and the deformation of the diaphragm due to excessive adhesive. In addition, since the boundary between the pressure generating chamber of the diaphragm and the flow path forming substrate is disposed at a position avoiding the corner, cracks and the like start from the corner at the boundary where the stress of the diaphragm is concentrated. Can be prevented from occurring.

ここで、前記流路形成基板と前記ノズルプレートとの間には、前記圧力発生室の前記幅狭部と前記ノズル開口とを連通するノズル連通路が設けられた連通板が設けられており、前記第１の方向において、前記ノズル連通路の幅は、前記幅狭部の幅よりも幅広であることが好ましい。これによれば、接着剤が連通板のノズル連通路を介して圧力発生室内に流入し難く、接着剤の剥離が発生し難い。 Here, between the flow path forming substrate and the nozzle plate, there is provided a communication plate provided with a nozzle communication path for communicating the narrow portion of the pressure generating chamber and the nozzle opening, In the first direction, the width of the nozzle communication path is preferably wider than the width of the narrow portion. According to this, it is difficult for the adhesive to flow into the pressure generating chamber via the nozzle communication passage of the communication plate, and the adhesive is hardly peeled off.

また、前記圧力発生室の前記第２の方向の前記ノズル開口と連通する側の前記端面は、前記圧力発生室を前記振動板側から前記ノズルプレート側に向かって拡開するように傾斜する傾斜面となっていることが好ましい。これによれば、傾斜面によって液体の流れを円滑にし、液滴の流速を上げることができる。 Further, the end surface of the pressure generation chamber on the side communicating with the nozzle opening in the second direction is inclined so as to expand the pressure generation chamber from the diaphragm side toward the nozzle plate side. It is preferable that it is a surface. According to this, the flow of the liquid can be smoothed by the inclined surface, and the flow velocity of the droplet can be increased.

また、前記傾斜面は、前記振動板側に設けられた第１傾斜面と、前記ノズルプレート側に設けられた第２傾斜面と、前記第１傾斜面と前記第２傾斜面との間に設けられて、前記第１傾斜面の面方向及び前記第２傾斜面の面方向と交差する面方向を有する段差面と、を具備することが好ましい。これによれば、段差面を設けることで、圧力発生室内に接着剤が流入したとしても、接着剤を段差面に留まらせて、振動板に接着剤が付着するのをさらに抑制することができる。 The inclined surface includes a first inclined surface provided on the diaphragm side, a second inclined surface provided on the nozzle plate side, and the first inclined surface and the second inclined surface. It is preferable to provide a step surface that is provided and has a surface direction that intersects the surface direction of the first inclined surface and the surface direction of the second inclined surface. According to this, even if the adhesive flows into the pressure generating chamber by providing the step surface, it is possible to further suppress the adhesive from adhering to the diaphragm by keeping the adhesive on the step surface. .

また、前記流路形成基板は、前記圧力発生室の前記第２の方向の前記幅狭部とは反対側の端部に連通し、前記第１の方向の幅が前記圧力発生室の前記幅広部よりも狭い供給路と、該供給路の前記圧力発生室とは反対側に設けられて当該供給路より前記第１の方向の幅が広い連通路と、をさらに具備し、前記連通路の前記供給路とは反対側の端面によって規定される前記振動板と前記流路形成基板との境界は、前記供給路の内壁面と前記連通路の内壁面とで形成される角部を避けた位置に配置されていることが好ましい。これによれば、振動板の連通路と流路形成基板との境界が、角部を避けた位置に配置されることで、振動板の応力が集中する境界において角部を起点として振動板にクラック等の破壊が発生するのを抑制することができる。 The flow path forming substrate communicates with an end of the pressure generation chamber opposite to the narrow portion in the second direction, and the width in the first direction is the width of the pressure generation chamber. A supply path that is narrower than the supply path, and a communication path that is provided on the opposite side of the supply path from the pressure generation chamber and that is wider in the first direction than the supply path. The boundary between the diaphragm and the flow path forming substrate, which is defined by the end surface on the side opposite to the supply path, avoids the corner formed by the inner wall surface of the supply path and the inner wall surface of the communication path. It is preferable to arrange in the position. According to this, by arranging the boundary between the communication path of the diaphragm and the flow path forming substrate at a position avoiding the corner, the diaphragm starts from the corner at the boundary where the stress of the diaphragm is concentrated. Generation | occurrence | production of cracks etc. can be suppressed.

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の吐出不良、吐出特性の低下を抑制して、振動板の破壊を抑制した液体噴射装置を実現できる。 According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head according to the above aspect.
According to this aspect, it is possible to realize a liquid ejecting apparatus that suppresses the failure of the vibration plate and suppresses the diaphragm from being broken by suppressing the liquid discharge failure and the deterioration of the discharge characteristics.

本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of a recording head according to Embodiment 1 of the invention. 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the recording head according to Embodiment 1 of the invention. 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of the recording head according to Embodiment 1 of the invention. 本発明の実施形態１に係る流路の平面図である。It is a top view of the channel concerning Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施形態１に係る流路の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of the flow path which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の他の実施形態に係るヘッドの要部を拡大した断面図である。It is sectional drawing to which the principal part of the head concerning other embodiment of this invention was expanded. 本発明の他の実施形態に係る流路の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of the flow path which concerns on other embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る記録装置の概略斜視図である。1 is a schematic perspective view of a recording apparatus according to an embodiment of the present invention.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図３は、図２の要部を拡大した断面図であり、図４は、図３のＡ−Ａ′線断面図である。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head that is an example of a liquid jet head according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of the ink jet recording head, and FIG. FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a main part, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG.

図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドＩは、ヘッド本体１１、ケース部材４０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。本実施形態では、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、連通板１５と、ノズルプレート２０と、保護基板３０と、コンプライアンス基板４５と、を具備する。 As shown in the drawing, an ink jet recording head I which is an example of a liquid jet head according to the present embodiment includes a plurality of members such as a head main body 11 and a case member 40, and the plurality of members are joined by an adhesive or the like. Yes. In the present embodiment, the head body 11 includes a flow path forming substrate 10, a communication plate 15, a nozzle plate 20, a protective substrate 30, and a compliance substrate 45.

ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、本実施形態では、結晶面方位が（１１０）のシリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。 In the present embodiment, the flow path forming substrate 10 constituting the head body 11 is made of a silicon single crystal substrate having a crystal plane orientation of (110). The flow path forming substrate 10 is provided with a plurality of nozzle openings 21 in which pressure generation chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls discharge ink of the same color by performing anisotropic etching from one side. It is arranged along the direction. Hereinafter, this direction is referred to as a direction in which the pressure generating chambers 12 are arranged side by side or a first direction X. Further, the flow path forming substrate 10 is provided with a plurality of rows in which the pressure generation chambers 12 are arranged in parallel in the first direction X, and in this embodiment, two rows. An arrangement direction in which a plurality of rows of the pressure generation chambers 12 in which the pressure generation chambers 12 are formed along the first direction X is provided is hereinafter referred to as a second direction Y.

また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向の一端部側（ノズル開口２１に連通する側とは反対側）で連通する供給路１３と、供給路１３に圧力発生室１２とは反対側で連通する連通路１４と、が設けられている。 Further, the flow path forming substrate 10 has a supply path 13 communicating with one end side in the second direction of the pressure generating chamber 12 (the side opposite to the side communicating with the nozzle opening 21), and pressure is generated in the supply path 13. And a communication passage 14 communicating on the opposite side to the chamber 12 is provided.

供給路１３は、第１の方向Ｘにおいて、圧力発生室１２を両側から狭めることで、圧力発生室１２の幅よりも幅狭に設けられており、連通路１４から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。 The supply path 13 is provided narrower than the pressure generation chamber 12 by narrowing the pressure generation chamber 12 from both sides in the first direction X, and flows into the pressure generation chamber 12 from the communication path 14. The ink flow path resistance is kept constant.

また、連通路１４は、第１の方向Ｘにおいて、供給路１３よりも幅広に設けられている。 In addition, the communication path 14 is provided wider than the supply path 13 in the first direction X.

すなわち、本実施形態の流路形成基板１０には、各ノズル開口２１に連通する個別流路として、圧力発生室１２、供給路１３及び連通路１４が隔壁によって区画されて第１の方向Ｘに並設されている。なお、圧力発生室１２については、詳細は後述する。 That is, in the flow path forming substrate 10 of the present embodiment, the pressure generation chamber 12, the supply path 13, and the communication path 14 are partitioned by the partition walls in the first direction X as individual flow paths communicating with the nozzle openings 21. It is installed side by side. Details of the pressure generating chamber 12 will be described later.

また、このような流路形成基板１０の一方面側には、振動板５０が設けられており、圧力発生室１２等の流路は、振動板５０によって封止されている。 Further, a vibration plate 50 is provided on one side of the flow path forming substrate 10, and the flow paths such as the pressure generation chamber 12 are sealed by the vibration plate 50.

また、流路形成基板１０の他方面側（振動板５０とは反対側）には、連通板１５が接合されている。また、連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤２００を介して接着されている。 The communication plate 15 is joined to the other surface side of the flow path forming substrate 10 (the side opposite to the vibration plate 50). A nozzle plate 20 having a plurality of nozzle openings 21 communicating with the pressure generating chambers 12 is bonded to the communication plate 15 via an adhesive 200.

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを繋ぐノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面と称する。 The communication plate 15 is provided with a nozzle communication path 16 that connects the pressure generation chamber 12 and the nozzle opening 21. The communication plate 15 has a larger area than the flow path forming substrate 10, and the nozzle plate 20 has a smaller area than the flow path forming substrate 10. Thus, cost reduction can be achieved by making the area of the nozzle plate 20 relatively small. In the present embodiment, a surface on which the nozzle openings 21 of the nozzle plate 20 are opened and ink droplets are ejected is referred to as a liquid ejecting surface.

また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。 The communication plate 15 is provided with a first manifold portion 17 and a second manifold portion 18 that constitute a part of the manifold 100.

第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。 The first manifold portion 17 is provided through the communication plate 15 in the thickness direction (the stacking direction of the communication plate 15 and the flow path forming substrate 10).

また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。 Further, the second manifold portion 18 is provided to open to the nozzle plate 20 side of the communication plate 15 without penetrating the communication plate 15 in the thickness direction.

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と連通路１４とを連通する。 Further, the communication plate 15 is provided with a supply communication passage 19 that communicates with one end portion of the pressure generation chamber 12 in the second direction Y independently for each pressure generation chamber 12. The supply communication path 19 communicates the second manifold portion 18 and the communication path 14.

このような連通板１５としては、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りを抑制することができる。 Such a communication plate 15 is preferably made of a material having a linear expansion coefficient equivalent to that of the flow path forming substrate 10. That is, when a material having a linear expansion coefficient that is significantly different from that of the flow path forming substrate 10 is used as the communication plate 15, warping due to a difference in linear expansion coefficient between the flow path forming substrate 10 and the communication plate 15 due to heating or cooling. Will occur. In the present embodiment, by using the same material as the flow path forming substrate 10 as the communication plate 15, that is, a silicon single crystal substrate, warpage due to heat can be suppressed.

また、ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、第１の方向Ｘに並設された列が、第２の方向Ｙに複数列、本実施形態では、２列形成されている。 The nozzle plate 20 is formed with nozzle openings 21 communicating with the pressure generation chambers 12 via the nozzle communication passages 16. That is, in the nozzle openings 21, a plurality of rows arranged in the first direction X are formed in the second direction Y, and in this embodiment, two rows are formed.

このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りの発生を抑制することができる。 As such a nozzle plate 20, for example, a metal such as stainless steel (SUS) or a silicon single crystal substrate can be used. In addition, by using a silicon single crystal substrate as the nozzle plate 20, the linear expansion coefficients of the nozzle plate 20 and the communication plate 15 can be made equal, and the occurrence of warpage due to heating or cooling can be suppressed.

ここで、このような流路形成基板１０に設けられた圧力発生室１２についてさらに図５及び図６を参照して詳細に説明する。なお、図５は、圧力発生室等のノズル開口側からの平面図であり、図６は、圧力発生室等のノズル開口側からの斜視図である。 Here, the pressure generation chamber 12 provided in the flow path forming substrate 10 will be described in detail with reference to FIGS. 5 and 6. 5 is a plan view from the nozzle opening side of the pressure generation chamber and the like, and FIG. 6 is a perspective view from the nozzle opening side of the pressure generation chamber and the like.

図５及び図６に示すように、圧力発生室１２は、第２の方向Ｙにおいて、ノズル開口２１と連通する側、すなわち、供給路１３とは反対側の端部に、第１の方向Ｘの幅が狭い幅狭部１２１を有する。すなわち、圧力発生室１２は、第２の方向Ｙのノズル開口２１側に設けられた幅狭部１２１と、第２の方向Ｙの供給路１３側に幅狭部１２１よりも第１の方向Ｘが幅広に設けられた幅広部１２２と、幅狭部１２１と幅広部１２２との間に設けられた第１接続部１２３と、を具備する。 As shown in FIGS. 5 and 6, the pressure generating chamber 12 is arranged in the first direction X at the end in the second direction Y on the side communicating with the nozzle opening 21, that is, on the end opposite to the supply path 13. The narrow portion 121 is narrow. In other words, the pressure generation chamber 12 includes a narrow portion 121 provided on the nozzle opening 21 side in the second direction Y and a first direction X on the supply path 13 side in the second direction Y than the narrow portion 121. Includes a wide portion 122 provided with a wide width, and a first connection portion 123 provided between the narrow portion 121 and the wide portion 122.

幅狭部１２１は、図４（ａ）に示すように、第１の方向Ｘの幅が、ノズル連通路１６よりも狭い幅で形成されている。 As shown in FIG. 4A, the narrow portion 121 is formed so that the width in the first direction X is narrower than that of the nozzle communication path 16.

また、幅広部１２２は、第１の方向Ｘの幅が、ノズル連通路１６よりも広い幅で形成されている。 The wide portion 122 is formed so that the width in the first direction X is wider than the nozzle communication path 16.

第１接続部１２３は、本実施形態では、幅広部１２２から幅狭部１２１に向かって側面が傾斜した傾斜面で形成されている。 In the present embodiment, the first connection portion 123 is formed by an inclined surface whose side surface is inclined from the wide portion 122 toward the narrow portion 121.

このように、圧力発生室１２のノズル連通路１６に連通する領域の幅（第１の方向Ｘ）を狭くした幅狭部１２１を設けることで、ノズルプレート２０を連通板１５に接着した際の接着剤２００が、ノズル連通路１６の角部等を介して圧力発生室１２側に這い上がったとしても、這い上がった接着剤２００が圧力発生室１２内に侵入するのを抑制することができる。 As described above, by providing the narrow portion 121 in which the width (first direction X) of the region communicating with the nozzle communication path 16 of the pressure generation chamber 12 is narrowed, the nozzle plate 20 is bonded to the communication plate 15. Even if the adhesive 200 crawls up to the pressure generating chamber 12 via the corners of the nozzle communication passage 16, it is possible to prevent the scooped adhesive 200 from entering the pressure generating chamber 12. .

これに対して、図４（ｂ）に示すように、圧力発生室１２のノズル連通路１６と連通する領域の幅を幅広部１２２と同じ幅に形成すると、圧力発生室１２の幅がノズル連通路１６よりも幅広となることから、ノズルプレート２０と連通板１５とを接着した接着剤２００がノズル連通路１６の角部等を介して這い上がり、這い上がった接着剤２００が圧力発生室１２内に侵入してしまう。このように、圧力発生室１２内に接着剤２００が侵入すると、固化した接着剤２００が圧力発生室１２内を流れるインクによって剥離し、ゴミとなって、ノズル開口２１の目詰まりやインク滴を着弾させる被記録媒体を汚してしまうという問題が発生する。本実施形態では、図４（ａ）に示すように、圧力発生室１２に幅狭部１２１を設け、幅狭部１２１の幅（第１の方向Ｘ）をノズル連通路１６の幅よりも狭くすることで、接着剤２００が圧力発生室１２内に侵入するのを抑制すると共に、ノズル連通路１６内に侵入した接着剤２００は、インクの流れが弱い領域（滞留する領域）に保持されるため、インクの流れによって接着剤２００が剥離し難く、ノズル開口２１の目詰まり、被記録媒体の汚染等の発生を抑制することができる。 On the other hand, as shown in FIG. 4B, if the width of the region communicating with the nozzle communication path 16 of the pressure generation chamber 12 is formed to be the same width as the wide portion 122, the width of the pressure generation chamber 12 is reduced to the nozzle connection. Since the width is wider than the passage 16, the adhesive 200 that adheres the nozzle plate 20 and the communication plate 15 crawls up through the corners of the nozzle communication passage 16, and the scooped adhesive 200 becomes the pressure generating chamber 12. Invades inside. As described above, when the adhesive 200 enters the pressure generation chamber 12, the solidified adhesive 200 is peeled off by the ink flowing in the pressure generation chamber 12 and becomes dust, which causes clogging of the nozzle openings 21 and ink droplets. There arises a problem that the recording medium to be landed is soiled. In the present embodiment, as shown in FIG. 4A, a narrow portion 121 is provided in the pressure generation chamber 12, and the width of the narrow portion 121 (first direction X) is narrower than the width of the nozzle communication path 16. As a result, the adhesive 200 is prevented from entering the pressure generating chamber 12, and the adhesive 200 that has entered the nozzle communication path 16 is held in a region where the ink flow is weak (a region where the ink flows). Therefore, it is difficult for the adhesive 200 to be peeled off by the flow of ink, and the occurrence of clogging of the nozzle openings 21 and contamination of the recording medium can be suppressed.

また、圧力発生室１２の第２の方向Ｙのノズル開口２１と連通する側の端面、すなわち、圧力発生室１２の長手方向の一端部側の短辺は、傾斜面１２４となっている。 Further, the end surface of the pressure generating chamber 12 on the side communicating with the nozzle opening 21 in the second direction Y, that is, the short side on the one end side in the longitudinal direction of the pressure generating chamber 12 is an inclined surface 124.

具体的には、圧力発生室１２のノズル開口２１に連通する側の端面は、本実施形態では、振動板５０側に設けられた第１傾斜面１２４ａと、ノズルプレート２０側に設けられた第２傾斜面１２４ｂと、第１傾斜面１２４ａと第２傾斜面１２４ｂとの間に設けられた段差面１２４ｃと、を具備する。 Specifically, in the present embodiment, the end surface of the pressure generating chamber 12 on the side communicating with the nozzle opening 21 includes a first inclined surface 124a provided on the diaphragm 50 side and a first inclined surface 124a provided on the nozzle plate 20 side. 2 inclined surfaces 124b, and a step surface 124c provided between the first inclined surface 124a and the second inclined surface 124b.

第１傾斜面１２４ａは、圧力発生室１２を振動板５０側からノズルプレート２０側に向かって拡開するように傾斜して形成されている。すなわち、第１傾斜面１２４ａは、振動板５０が形成された表面に垂直な方向に対して傾斜して形成されている。 The first inclined surface 124a is formed to be inclined so as to expand the pressure generating chamber 12 from the diaphragm 50 side toward the nozzle plate 20 side. That is, the first inclined surface 124a is formed to be inclined with respect to a direction perpendicular to the surface on which the diaphragm 50 is formed.

また、第２傾斜面１２４ｂは第１傾斜面１２４ａと同様に、圧力発生室１２を振動板５０側からノズルプレート２０側に向かって拡開するように傾斜して形成されている。 Similarly to the first inclined surface 124a, the second inclined surface 124b is formed to be inclined so as to expand the pressure generating chamber 12 from the diaphragm 50 side toward the nozzle plate 20 side.

そして、第１傾斜面１２４ａと第２傾斜面１２４ｂとの間の段差面１２４ｃは、第１傾斜面１２４ａ及び第２傾斜面１２４ｂの面方向と交差する方向で形成されている。本実施形態では、段差面１２４ｃは、振動板５０が形成された表面と同じ面方向で形成されている。 A step surface 124c between the first inclined surface 124a and the second inclined surface 124b is formed in a direction intersecting with the surface directions of the first inclined surface 124a and the second inclined surface 124b. In the present embodiment, the step surface 124c is formed in the same plane direction as the surface on which the diaphragm 50 is formed.

このように、傾斜面１２４を形成し、且つ傾斜面１２４に段差面１２４ｃを設けることで、ノズルプレート２０を連通板１５に接着した際の接着剤２００や、連通板１５と流路形成基板１０とを接着した際の接着剤などが圧力発生室１２内に流入したとしても、第２傾斜面１２４ｂを伝って流入した接着剤２００等を段差面１２４ｃで留まらせることができ、流入した接着剤２００等が振動板５０まで達するのを抑制することができる。このため、圧力発生室１２内に流入した接着剤２００等が振動板５０に付着することがなく、接着剤２００等により振動板５０の変位特性が低下するのを抑制して、インク吐出特性が低下するのを抑制することができる。 In this way, by forming the inclined surface 124 and providing the stepped surface 124 c on the inclined surface 124, the adhesive 200 when the nozzle plate 20 is bonded to the communication plate 15, the communication plate 15 and the flow path forming substrate 10. Even when the adhesive or the like at the time of bonding flows into the pressure generating chamber 12, the adhesive 200 or the like that has flowed through the second inclined surface 124b can be retained at the stepped surface 124c. 200 or the like can be prevented from reaching the diaphragm 50. For this reason, the adhesive 200 or the like that has flowed into the pressure generating chamber 12 does not adhere to the vibration plate 50, and the displacement characteristics of the vibration plate 50 are prevented from being lowered by the adhesive 200 or the like. It can suppress that it falls.

また、圧力発生室１２には、ノズル連通路１６近傍に第２傾斜面１２４ｂと段差面１２４ｃとで圧力発生室１２よりも浅い空間が画成されているため、圧力発生室１２内のインクをノズル開口２１から吐出させる際に、この空間によってインクの流れ出しの衝撃を緩衝することができる。これにより安定したインク吐出特性を得ることができる。 In addition, in the pressure generation chamber 12, a space shallower than the pressure generation chamber 12 is defined by the second inclined surface 124 b and the step surface 124 c in the vicinity of the nozzle communication path 16, so that the ink in the pressure generation chamber 12 is removed. When ejecting from the nozzle opening 21, the impact of ink flow can be buffered by this space. Thereby, stable ink ejection characteristics can be obtained.

また、連通路１４の第２の方向Ｙの圧力発生室１２とは反対側の端部、すなわち、圧力発生室１２の長手方向における連通路１４の短辺には、傾斜面１２５が形成されている。 In addition, an inclined surface 125 is formed at the end of the communication path 14 opposite to the pressure generation chamber 12 in the second direction Y, that is, at the short side of the communication path 14 in the longitudinal direction of the pressure generation chamber 12. Yes.

傾斜面１２５は、振動板５０側から連通板１５側に向かって連通路１４を拡開する方向に傾斜して設けられている。すなわち、傾斜面１２５は、流路形成基板１０の振動板５０が形成された面とは直交する方向に対して傾斜して設けられている。 The inclined surface 125 is provided so as to be inclined in the direction of expanding the communication path 14 from the diaphragm 50 side toward the communication plate 15 side. That is, the inclined surface 125 is provided to be inclined with respect to a direction orthogonal to the surface of the flow path forming substrate 10 on which the diaphragm 50 is formed.

ここで、このような圧力発生室１２等の流路は、本実施形態では、流路形成基板１０を一方面側から異方性エッチングすることにより形成されている。異方性エッチングは、シリコン単結晶基板のエッチングレートの違いを利用して行われる。本実施形態では、流路形成基板１０が面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなるため、シリコン単結晶基板の（１１０）面のエッチングレートと比較して（１１１）面のエッチングレートが約１／１８０であるという性質を利用して行われる。すなわち、シリコン単結晶基板をＫＯＨ等のアルカリ溶液に浸漬すると、徐々に侵食されて（１１０）面に垂直な第１の（１１１）面と、この第１の（１１１）面と７０．５３度の角度をなし且つ上記（１１０）面に垂直な第２の（１１１）面とが出現する。かかる異方性エッチングにより、二つの平行する面である第１の（１１１）面と二つの平行する面である第２の（１１１）面とで形成される平行四辺形状を基本として精密加工を行うことができ、圧力発生室１２を高密度に配列することができる。すなわち、本実施形態の圧力発生室１２等を画成する隔壁は、その表面が第１の（１１１）面となるように形成されている。 Here, in the present embodiment, the flow path such as the pressure generation chamber 12 is formed by anisotropically etching the flow path forming substrate 10 from one surface side. Anisotropic etching is performed using the difference in etching rate of the silicon single crystal substrate. In the present embodiment, since the flow path forming substrate 10 is composed of a silicon single crystal substrate having a plane orientation (110), the etching rate of the (111) plane is approximately compared to the etching rate of the (110) plane of the silicon single crystal substrate. This is performed using the property of 1/180. That is, when a silicon single crystal substrate is immersed in an alkaline solution such as KOH, the first (111) plane perpendicular to the (110) plane is gradually eroded and the first (111) plane is 70.53 degrees. And a second (111) plane perpendicular to the (110) plane appears. By this anisotropic etching, precision processing is performed based on a parallelogram formed by two first parallel surfaces (111) and two second parallel surfaces (111). The pressure generating chambers 12 can be arranged with high density. That is, the partition wall defining the pressure generation chamber 12 and the like of the present embodiment is formed so that the surface thereof becomes the first (111) plane.

また、シリコン単結晶基板を異方性エッチングすると、表面の（１１０）面に対して３５．２６度の角度をなす結晶面方位が（１１１）面の傾斜面が形成される。 Further, when the silicon single crystal substrate is anisotropically etched, an inclined surface having a (111) plane of crystal plane orientation forming an angle of 35.26 degrees with respect to the (110) plane of the surface is formed.

この（１１１）面の傾斜面によって、本実施形態の傾斜面１２４、１２５は形成されている。すなわち、本実施形態の傾斜面１２４、１２５は、流路形成基板１０を異方性エッチングすることにより、圧力発生室１２等と共に形成することができる。 The inclined surfaces 124 and 125 of this embodiment are formed by the inclined surface of the (111) plane. That is, the inclined surfaces 124 and 125 of this embodiment can be formed together with the pressure generation chamber 12 and the like by anisotropically etching the flow path forming substrate 10.

具体的には、傾斜面１２４の第１傾斜面１２４ａ及び第２傾斜面１２４ｂと、傾斜面１２５とは、流路形成基板１０の表面である（１１０）面に対して３５．２６度の角度を有する（１１１）面で形成されている。また、段差面１２４ｃは、流路形成基板１０の表面の（１１０）面と平行な面、すなわち、（１１０）面で形成されている。 Specifically, the first inclined surface 124 a and the second inclined surface 124 b of the inclined surface 124 and the inclined surface 125 are at an angle of 35.26 degrees with respect to the (110) surface which is the surface of the flow path forming substrate 10. (111) plane having Further, the step surface 124c is formed by a plane parallel to the (110) plane of the surface of the flow path forming substrate 10, that is, the (110) plane.

このような傾斜面１２４（第１傾斜面１２４ａ）によって規定される振動板５０の圧力発生室１２と流路形成基板１０（周壁）との境界１２４ｄは、図５に示すように、幅狭部１２１と第１接続部１２３との境界となる角部１２３ａと、幅広部１２２と第１接続部１２３との境界となる角部１２３ｂとを避けた位置となるように配置されている。 A boundary 124d between the pressure generating chamber 12 of the diaphragm 50 and the flow path forming substrate 10 (peripheral wall) defined by the inclined surface 124 (first inclined surface 124a) is a narrow portion as shown in FIG. The corner portion 123 a serving as a boundary between the first connecting portion 123 and the corner portion 123 b serving as the boundary between the wide portion 122 and the first connecting portion 123 is disposed at a position away from the corner portion 123 a.

すなわち、幅狭部１２１の側面（第１の方向Ｘの両側の面）は、平行な第１の（１１１）面で形成されており、第１接続部１２３の側面は、幅広部１２２から幅狭部１２１に向かって幅が徐々に漸小する傾斜した面となっている。このため、幅狭部１２１の側面と、第１接続部１２３の側面とは、異なる角度で形成されていることから、幅狭部１２１の側面と第１接続部１２３の側面との境界に角部１２３ａが形成されている。同様に、第１接続部１２３の側面と幅広部１２２の側面との境界に角部１２３ｂが形成されている。 That is, the side surfaces (the surfaces on both sides in the first direction X) of the narrow portion 121 are formed by parallel first (111) surfaces, and the side surface of the first connection portion 123 is wide from the wide portion 122. It is an inclined surface whose width gradually decreases toward the narrow portion 121. For this reason, since the side surface of the narrow part 121 and the side surface of the first connection part 123 are formed at different angles, an angle is formed at the boundary between the side surface of the narrow part 121 and the side surface of the first connection part 123. A portion 123a is formed. Similarly, a corner portion 123 b is formed at the boundary between the side surface of the first connection portion 123 and the side surface of the wide portion 122.

そして、傾斜面１２４の振動板５０側の端部である境界１２４ｄは、これらの角部１２３ａ、１２３ｂを避けた位置に配置されている。つまり、傾斜面１２４（第１傾斜面１２４ａ）の振動板５０側の端部である境界１２４ｄは、第１の方向Ｘの一端が幅狭部１２１内に配置され、他端が幅広部１２２内に配置されている。すなわち、第１傾斜面１２４ａの振動板５０側の端部である境界１２４ｄは、幅狭部１２１から第１接続部１２３を通って幅広部１２２に跨って形成されている。 And the boundary 124d which is the edge part by the side of the diaphragm 50 of the inclined surface 124 is arrange | positioned in the position which avoided these corner | angular parts 123a and 123b. That is, the boundary 124d that is the end portion of the inclined surface 124 (first inclined surface 124a) on the diaphragm 50 side has one end in the first direction X disposed in the narrow portion 121 and the other end in the wide portion 122. Is arranged. That is, the boundary 124 d that is the end portion of the first inclined surface 124 a on the diaphragm 50 side is formed from the narrow portion 121 through the first connecting portion 123 to the wide portion 122.

連通路１４側の傾斜面１２５も同様に、傾斜面１２５によって規定される振動板５０の連通路１４（供給路１３等も含む）と流路形成基板１０（周壁）との境界１２５ａは、圧力発生室１２、供給路１３及び連通路１４の側面で形成された角部を避けた位置となるように配置されている。 Similarly, the inclined surface 125 on the communication passage 14 side has a boundary 125a between the communication passage 14 (including the supply passage 13 and the like) of the diaphragm 50 defined by the inclined surface 125 and the flow path forming substrate 10 (peripheral wall). The generating chamber 12, the supply path 13, and the communication path 14 are disposed so as to avoid the corners formed on the side surfaces.

具体的には、圧力発生室１２と供給路１３とは、第２接続部１３１を介して接続されている。第２接続部１３１は、圧力発生室１２の第１の方向Ｘの幅を、供給路１３に向かって漸小させるように側面が傾斜した面で形成されている。このため、圧力発生室１２の側面と第２接続部１３１の側面との境界には角部１３１ａが形成されており、第２接続部１３１の側面と供給路１３の側面との境界には角部１３１ｂが形成されている。 Specifically, the pressure generation chamber 12 and the supply path 13 are connected via the second connection portion 131. The second connection portion 131 is formed by a surface whose side surface is inclined so that the width of the pressure generation chamber 12 in the first direction X is gradually reduced toward the supply path 13. Therefore, a corner portion 131 a is formed at the boundary between the side surface of the pressure generation chamber 12 and the side surface of the second connection portion 131, and the corner between the side surface of the second connection portion 131 and the side surface of the supply path 13 is an angle. A portion 131b is formed.

また、供給路１３と連通路１４とは、第３接続部１４１を介して接続されている。第３接続部１４１は、供給路１３の第１の方向Ｘの幅を連通路１４に向かって漸大させるように側面が傾斜して形成されている。このため、供給路１３の側面と第３接続部１４１の側面との境界には角部１４１ａが形成され、第３接続部１４１の側面と連通路１４の側面との境界には角部１４１ｂが形成されている。 The supply path 13 and the communication path 14 are connected via a third connection portion 141. The third connection portion 141 is formed with an inclined side surface so that the width of the supply passage 13 in the first direction X gradually increases toward the communication passage 14. Therefore, a corner 141 a is formed at the boundary between the side surface of the supply path 13 and the side surface of the third connection portion 141, and a corner portion 141 b is formed at the boundary between the side surface of the third connection portion 141 and the side surface of the communication path 14. Is formed.

そして、傾斜面１２５は、当該傾斜面１２５によって規定される振動板５０の連通路１４と流路形成基板１０との境界１２５ａは、圧力発生室１２と第２接続部１３１との側面によって形成された角部１３１ａ、第２接続部１３１と供給路１３との側面によって形成された角部１３１ｂ、供給路１３と第３接続部１４１との側面によって形成された角部１４１ａ、及び第３接続部１４１と連通路１４との側面によって画成された角部１４１ｂを避けた位置に配置されている。 In the inclined surface 125, a boundary 125 a between the communication path 14 of the diaphragm 50 and the flow path forming substrate 10 defined by the inclined surface 125 is formed by a side surface of the pressure generating chamber 12 and the second connection portion 131. Corner 131a, corner 131b formed by the side surface of the second connection portion 131 and the supply path 13, corner portion 141a formed by the side surface of the supply path 13 and the third connection portion 141, and the third connection portion. 141 and the communication path 14 are disposed at positions avoiding the corners 141b defined by the side surfaces.

本実施形態では、傾斜面１２５の振動板５０側の端部である境界１２５ａは、第１の方向Ｘの一端が第３接続部１４１内に配置され、他端が連通路１４内に配置されている。すなわち、傾斜面１２５による境界１２５ａは、第３接続部１４１から連通路１４に跨って形成されている。 In the present embodiment, the boundary 125 a that is the end portion of the inclined surface 125 on the diaphragm 50 side has one end in the first direction X disposed in the third connection portion 141 and the other end disposed in the communication path 14. ing. That is, the boundary 125 a formed by the inclined surface 125 is formed across the communication path 14 from the third connection portion 141.

このように傾斜面１２４、１２５によって規定される振動板５０の流路空間（圧力発生室１２や連通路１４）と流路形成基板１０との境界１２４ｄ、１２５ａを、角部１２３ａ、１２３ｂ、１３１ａ、１３１ｂ、１４１ａ、１４１ｂ（以下、単に角部とも言う）を避けた位置に配置することで、角部を起点として振動板５０にクラックが発生するのを抑制することができる。 As described above, the boundaries 124d and 125a between the flow path space (the pressure generation chamber 12 and the communication path 14) of the diaphragm 50 defined by the inclined surfaces 124 and 125 and the flow path forming substrate 10 are formed at the corners 123a, 123b, and 131a. , 131b, 141a, 141b (hereinafter, also simply referred to as corners) can be prevented from cracking the diaphragm 50 starting from the corners.

すなわち、圧電アクチュエーター３００の駆動によって振動板５０が変形すると、振動板５０の圧力発生室１２等の空間内で変形する領域と、振動板５０の流路形成基板１０上で固定された領域との境界、すなわち、傾斜面１２４、１２５によって規定される境界１２４ｄ、１２５ａに大きな応力が印加される。このため、境界１２４ｄ、１２５ａを角部と同じ位置に配置すると、振動板５０の変形する応力が角部に集中することになり、振動板５０に角部を起点としてクラック等の破損が生じてしまう虞がある。 That is, when the diaphragm 50 is deformed by driving the piezoelectric actuator 300, a region deformed in the space such as the pressure generating chamber 12 of the diaphragm 50 and a region fixed on the flow path forming substrate 10 of the diaphragm 50 are obtained. A large stress is applied to the boundaries, that is, the boundaries 124 d and 125 a defined by the inclined surfaces 124 and 125. For this reason, if the boundaries 124d and 125a are arranged at the same positions as the corners, the deformation stress of the diaphragm 50 is concentrated on the corners, and the diaphragm 50 is damaged such as cracks starting from the corners. There is a risk of it.

本実施形態では、傾斜面１２４、１２５によって規定される境界１２４ｄ、１２５ａを、角部を避けた位置に配置することで、角部に応力が集中するのを抑制して、角部を起点として振動板５０にクラックが発生するのを抑制することができる。 In the present embodiment, by arranging the boundaries 124d and 125a defined by the inclined surfaces 124 and 125 at positions avoiding the corners, it is possible to suppress stress concentration at the corners, and to start from the corners. Generation of cracks in the diaphragm 50 can be suppressed.

なお、傾斜面１２４、１２５は、上述のように、流路形成基板１０を異方性エッチングすることによって形成することができるが、傾斜面１２４、１２５の位置、すなわち、境界１２４ｄ、１２５ａの位置は、例えば、異方性エッチングする際のマスクの開口形状を調整することにより、所望の位置に配置することができる。 The inclined surfaces 124 and 125 can be formed by anisotropically etching the flow path forming substrate 10 as described above, but the positions of the inclined surfaces 124 and 125, that is, the positions of the boundaries 124d and 125a. Can be arranged at a desired position, for example, by adjusting the opening shape of the mask when performing anisotropic etching.

ちなみに、傾斜面１２４、１２５は、流路形成基板１０をエッチングする時間（エッチング時間）により角度を制御して形成する必要がなく、常に同一の角度で形成することができるため、安定した形状とすることができる。すなわち、エッチング時間の調整により傾斜面１２４、１２５の角度を調整しようとすると、エッチング特性のばらつき（エッチング液の温度や成分）などによってエッチングレートが変化してしまうため、常に同一形状の傾斜面１２４、１２５を形成するのが困難であるが、シリコン単結晶基板をエッチングすることにより出現する（１１１）面で傾斜面１２４、１２５を形成することで、エッチング時間に関わらず常に同一形状の傾斜面１２４、１２５を形成することができる。 Incidentally, the inclined surfaces 124 and 125 do not need to be formed by controlling the angle by the time (etching time) for etching the flow path forming substrate 10 and can always be formed at the same angle. can do. That is, if the angles of the inclined surfaces 124 and 125 are adjusted by adjusting the etching time, the etching rate changes due to variations in etching characteristics (temperature and composition of the etching solution), and thus the inclined surfaces 124 having the same shape are always obtained. , 125 is difficult to form, but by forming the inclined surfaces 124, 125 on the (111) plane that appears when the silicon single crystal substrate is etched, the inclined surfaces having the same shape are always formed regardless of the etching time. 124, 125 can be formed.

このように傾斜面１２４、１２５を設けることで、インクの流れを円滑にして、インク滴の流速を上げることができる。 By providing the inclined surfaces 124 and 125 in this way, the flow of ink can be made smooth and the flow velocity of ink droplets can be increased.

一方、図２に示すように、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態に係る振動板５０は、流路形成基板１０上に形成された弾性膜５１と、弾性膜５１上に形成された絶縁体膜５２とで構成されている。なお、圧力発生室１２は、流路形成基板１０を一方面から異方性エッチングにより形成されており、圧力発生室１２の他方面は、振動板（弾性膜５１）で構成されている。 On the other hand, as shown in FIG. 2, a diaphragm 50 is formed on the surface of the flow path forming substrate 10 opposite to the communication plate 15. The diaphragm 50 according to the present embodiment includes an elastic film 51 formed on the flow path forming substrate 10 and an insulator film 52 formed on the elastic film 51. The pressure generation chamber 12 is formed by anisotropic etching of the flow path forming substrate 10 from one surface, and the other surface of the pressure generation chamber 12 is configured by a diaphragm (elastic film 51).

振動板５０上には、本実施形態の圧力発生手段として、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とからなる圧電アクチュエーター３００が設けられている。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、振動板５０が弾性膜５１及び絶縁体膜５２で構成されたものを例示したが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板５０として弾性膜５１及び絶縁体膜５２の何れか一方を設けたものであってもよく、また、振動板５０として弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の膜で保護する必要がある。 On the diaphragm 50, a piezoelectric actuator 300 including a first electrode 60, a piezoelectric layer 70, and a second electrode 80 is provided as pressure generating means of the present embodiment. Here, the piezoelectric actuator 300 refers to a portion including the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80. In general, one electrode of the piezoelectric actuator 300 is used as a common electrode, and the other electrode and the piezoelectric layer 70 are patterned for each pressure generating chamber 12. In addition, here, a portion that is configured by any one of the patterned electrodes and the piezoelectric layer 70 and in which piezoelectric distortion is generated by applying a voltage to both electrodes is referred to as a piezoelectric active portion. In this embodiment, the first electrode 60 is used as a common electrode for the piezoelectric actuator 300 and the second electrode 80 is used as an individual electrode for the piezoelectric actuator 300. However, there is no problem even if this is reversed for the convenience of the drive circuit and wiring. In the above-described example, the diaphragm 50 includes the elastic film 51 and the insulator film 52. However, the present invention is not limited to this. For example, the vibration film 50 includes the elastic film 51 and the insulating film. Any one of the body films 52 may be provided, and the elastic film 51 and the insulator film 52 are not provided as the vibration plate 50, and only the first electrode 60 acts as the vibration plate. Also good. Further, the piezoelectric actuator 300 itself may substantially serve as a diaphragm. However, when the first electrode 60 is provided directly on the flow path forming substrate 10, it is necessary to protect the first electrode 60 with an insulating film so that the first electrode 60 and the ink do not conduct.

圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、Ａは、鉛を含み、Ｂは、ジルコニウムおよびチタンのうちの少なくとも一方を含むことができる。前記Ｂは、例えば、さらに、ニオブを含むことができる。具体的には、圧電体層７０としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３：ＰＺＴ）、シリコンを含むニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ_３：ＰＺＴＮＳ）などを用いることができる。 The piezoelectric layer 70 is made of a piezoelectric material of the oxide having a polarization structure formed on the first electrode 60, for example, may consist of a perovskite oxide represented by the general formula ABO _3, A is Pb B can contain at least one of zirconium and titanium. The B may further contain niobium, for example. Specifically, as the piezoelectric layer 70, for example, lead zirconate titanate (Pb (Zr, Ti) O ₃ : PZT), lead zirconate titanate niobate containing silicon (Pb (Zr, Ti, Nb) ) O ₃ : PZTNS) or the like can be used.

また、圧電体層７０は、鉛を含まない非鉛系圧電材料、例えば、鉄酸ビスマスや鉄酸マンガン酸ビスマスと、チタン酸バリウムやチタン酸ビスマスカリウムとを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物などとしてもよい。 The piezoelectric layer 70 is a lead-free piezoelectric material that does not contain lead, for example, a composite oxide having a perovskite structure including bismuth ferrate or bismuth ferrate manganate and barium titanate or potassium bismuth titanate. It is good.

また、第２電極８０には、リード電極９０の一端がそれぞれ接続されている。リード電極９０の他端には、駆動回路２１０が設けられた配線基板２１１、例えば、ＣＯＦ等が接続されている。 One end of each lead electrode 90 is connected to the second electrode 80. The other end of the lead electrode 90 is connected to a wiring board 211 provided with a drive circuit 210, such as COF.

流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が固定されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の他端側は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と配線基板２１１とが貫通孔３２内で電気的に接続されている。 A protective substrate 30 having substantially the same size as the flow path forming substrate 10 is fixed to the surface of the flow path forming substrate 10 on the piezoelectric actuator 300 side. The protective substrate 30 has a holding portion 31 that is a space for protecting the piezoelectric actuator 300. The protective substrate 30 is provided with a through hole 32. The other end side of the lead electrode 90 is extended so as to be exposed in the through hole 32, and the lead electrode 90 and the wiring substrate 211 are electrically connected in the through hole 32.

また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接着剤によって固定されると共に、上述した連通板１５にも接着剤によって固定されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０と流路形成基板１０とによって画成された第３マニホールド部４２とによって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。 In addition, a case member 40 is fixed to the head main body 11 having such a configuration. The case member 40 has substantially the same shape as the communication plate 15 described above in a plan view, and is fixed to the protective substrate 30 with an adhesive, and is also fixed to the communication plate 15 with an adhesive. Specifically, the case member 40 has a recess 41 having a depth in which the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 are accommodated on the protective substrate 30 side. The concave portion 41 has an opening area larger than the surface of the protective substrate 30 bonded to the flow path forming substrate 10. The opening surface on the nozzle plate 20 side of the recess 41 is sealed by the communication plate 15 in a state where the flow path forming substrate 10 and the like are accommodated in the recess 41. As a result, a third manifold portion 42 is defined by the case member 40 and the head body 11 on the outer peripheral portion of the flow path forming substrate 10. The first manifold portion 17 and the second manifold portion 18 provided on the communication plate 15 and the third manifold portion 42 defined by the case member 40 and the flow path forming substrate 10 are used in the manifold 100 of the present embodiment. Is configured.

なお、ケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。また、保護基板３０の材料は、保護基板３０が固定される流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましく、本実施形態では、シリコン単結晶基板を用いた。 In addition, as a material of case member 40, resin, a metal, etc. can be used, for example. Moreover, the material of the protective substrate 30 is preferably a material having the same linear expansion coefficient as that of the flow path forming substrate 10 to which the protective substrate 30 is fixed. In this embodiment, a silicon single crystal substrate is used.

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の開口を封止している。 A compliance substrate 45 is provided on the surface of the communication plate 15 where the first manifold portion 17 and the second manifold portion 18 open. The compliance substrate 45 seals the openings of the first manifold portion 17 and the second manifold portion 18.

このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部となっている。 In this embodiment, the compliance substrate 45 includes a sealing film 46 and a fixed substrate 47. The sealing film 46 is made of a flexible thin film (for example, a thin film having a thickness of 20 μm or less formed of polyphenylene sulfide (PPS) or stainless steel (SUS)), and the fixed substrate 47 is made of stainless steel ( It is formed of a hard material such as a metal such as SUS. Since the region of the fixed substrate 47 facing the manifold 100 is an opening 48 that is completely removed in the thickness direction, one surface of the manifold 100 is sealed only with a flexible sealing film 46. It is a compliance part that is a flexible part.

なお、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板２１１が挿通される接続口４３が設けられている。 The case member 40 is provided with an introduction path 44 that communicates with the manifold 100 and supplies ink to each manifold 100. The case member 40 is provided with a connection port 43 that communicates with the through hole 32 of the protective substrate 30 and through which the wiring substrate 211 is inserted.

このような構成のインクジェット式記録ヘッドＩでは、インクを噴射する際に、カートリッジ等のインク貯留手段から導入路４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路２１０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に弾性膜５１及び絶縁体膜５２をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。 In the ink jet recording head I having such a configuration, when ink is ejected, the ink is taken in from the ink storing means such as a cartridge through the introduction path 44, and the inside of the flow path is extended from the manifold 100 to the nozzle opening 21. Fill with. Thereafter, a voltage is applied to each piezoelectric actuator 300 corresponding to the pressure generation chamber 12 in accordance with a signal from the drive circuit 210, so that the elastic film 51 and the insulator film 52 are deformed together with the piezoelectric actuator 300. As a result, the pressure in the pressure generating chamber 12 is increased and ink droplets are ejected from the predetermined nozzle openings 21.

（他の実施形態）
以上、本発明の基本的な構成について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。 (Other embodiments)
Although the basic configuration of the present invention has been described above, the basic configuration of the present invention is not limited to the above-described configuration.

例えば、上述した実施形態１では、傾斜面１２４を第１傾斜面１２４ａと、第２傾斜面１２４ｂと、段差面１２４ｃとで構成するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、段差面１２４ｃを設けずに、第１傾斜面１２４ａと第２傾斜面１２４ｂとが連続するようにしてもよい。このような例を図７及び図８に示す。なお、図７は、本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図であり、図８は、圧力発生室等のノズル開口側からの平面図である。 For example, in the first embodiment described above, the inclined surface 124 includes the first inclined surface 124a, the second inclined surface 124b, and the step surface 124c. However, the present invention is not particularly limited thereto. The first inclined surface 124a and the second inclined surface 124b may be continuous without providing the 124c. Such an example is shown in FIGS. 7 is an enlarged cross-sectional view of a main part of a recording head according to another embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a plan view from the nozzle opening side of a pressure generating chamber or the like.

図示するように、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの端面は、傾斜面１２４Ａとなっている。傾斜面１２４Ａは、単一の平坦面で形成されており、途中に上述した実施形態１の段差面１２４ｃが形成されていない。このような構成であっても上述した実施形態１と同様に、傾斜面１２４Ａによって規定される振動板５０の流路形成基板１０と圧力発生室１２との境界１２４ｄを角部１２３ａ、１２３ｂを避けた位置となるように配置すればよい。 As shown in the drawing, the end surface in the second direction Y of the pressure generating chamber 12 is an inclined surface 124A. The inclined surface 124A is formed as a single flat surface, and the step surface 124c of the first embodiment described above is not formed in the middle. Even in such a configuration, as in the first embodiment described above, the boundary 124d between the flow path forming substrate 10 and the pressure generating chamber 12 of the diaphragm 50 defined by the inclined surface 124A is avoided from the corners 123a and 123b. What is necessary is just to arrange | position so that it may become a position.

また、上述した実施形態１では、連通路１４の圧力発生室１２とは反対側の端面を傾斜面１２５としたが、少なくとも圧力発生室１２の第２の方向Ｙにおけるノズル開口２１と連通する側の端面が傾斜面１２４となっていればよく、連通路１４の圧力発生室１２とは反対側の端面は表面に対して垂直な垂直面であってもよい。 In Embodiment 1 described above, the end surface of the communication passage 14 opposite to the pressure generation chamber 12 is the inclined surface 125, but at least the side of the pressure generation chamber 12 that communicates with the nozzle opening 21 in the second direction Y. The end surface of the communication path 14 may be an inclined surface 124, and the end surface of the communication path 14 opposite to the pressure generation chamber 12 may be a vertical surface perpendicular to the surface.

さらに、例えば、上述した実施形態１では、流路形成基板１０とノズルプレート２０とを連通板１５を介して接合するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、流路形成基板１０とノズルプレート２０とを直接接合するようにしてもよい。また、ノズルプレート２０と流路形成基板１０との間には連通板１５以外の他の基板を介在させてもよい。 Further, for example, in the first embodiment described above, the flow path forming substrate 10 and the nozzle plate 20 are joined via the communication plate 15, but the present invention is not particularly limited thereto. The nozzle plate 20 may be directly joined. Further, a substrate other than the communication plate 15 may be interposed between the nozzle plate 20 and the flow path forming substrate 10.

また、上述した実施形態１では、ノズル開口２１からインク滴を吐出する圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。 Further, in the first embodiment described above, the thin film piezoelectric actuator 300 is used as the pressure generating means for ejecting ink droplets from the nozzle openings 21. However, the present invention is not particularly limited thereto. It is possible to use a thick film type piezoelectric actuator formed by a method such as affixing, a longitudinal vibration type piezoelectric actuator in which piezoelectric materials and electrode forming materials are alternately stacked and expanded and contracted in the axial direction.

また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、カートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図９は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。 Further, the ink jet recording head of each of these embodiments constitutes a part of an ink jet recording head unit having an ink flow path communicating with a cartridge or the like, and is mounted on the ink jet recording apparatus. FIG. 9 is a schematic view showing an example of the ink jet recording apparatus.

図９に示すインクジェット式記録装置ＩＩにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッドＩを有するインクジェット式記録ヘッドユニット１Ａ、１Ｂ（以下、ヘッドユニット１Ａ、１Ｂとも言う）は、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット１Ａ、１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。 In the ink jet recording apparatus II shown in FIG. 9, ink jet recording head units 1A and 1B (hereinafter also referred to as head units 1A and 1B) each having a plurality of ink jet recording heads I include a cartridge 2A and an ink supply unit. 2B is detachably provided, and the carriage 3 on which the head units 1A and 1B are mounted is provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus main body 4 so as to be movable in the axial direction. The head units 1A and 1B, for example, discharge a black ink composition and a color ink composition, respectively.

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット１Ａ、１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。 Then, the driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and a timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the head units 1A and 1B are mounted is moved along the carriage shaft 5. . On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S that is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown) is wound around the platen 8. It is designed to be transported.

なお、上述したインクジェット式記録装置ＩＩでは、インクジェット式記録ヘッドＩ（ヘッドユニット１Ａ、１Ｂ）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッドＩが固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。 In the ink jet recording apparatus II described above, the ink jet recording head I (head units 1A, 1B) is mounted on the carriage 3 and moved in the main scanning direction. The present invention can also be applied to a so-called line recording apparatus in which the ink jet recording head I is fixed and printing is performed simply by moving the recording sheet S such as paper in the sub-scanning direction.

また、上述した例では、インクジェット式記録装置ＩＩは、液体貯留手段であるカートリッジ２Ａ、２Ｂがキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、貯留手段とインクジェット式記録ヘッドＩとをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置ＩＩに搭載されていなくてもよい。 In the above-described example, the ink jet recording apparatus II has a configuration in which the cartridges 2A and 2B, which are liquid storage units, are mounted on the carriage 3. However, the invention is not particularly limited thereto, and for example, a liquid storage such as an ink tank or the like. The means may be fixed to the apparatus body 4 and the storage means and the ink jet recording head I may be connected via a supply pipe such as a tube. Further, the liquid storage means may not be mounted on the ink jet recording apparatus II.

なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。 In the above embodiment, an ink jet recording head has been described as an example of a liquid ejecting head, and an ink jet recording apparatus has been described as an example of a liquid ejecting apparatus. The present invention is intended for the entire apparatus, and can of course be applied to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus that eject liquid other than ink. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FEDs (field emission displays). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation, a bio-organic matter ejection head used for biochip production, and the like, and can also be applied to a liquid ejection apparatus including such a liquid ejection head.

Ｉインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、ＩＩインクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１Ａ、１Ｂヘッドユニット、２Ａ、２Ｂカートリッジ、３キャリッジ、４装置本体、５キャリッジ軸、６駆動モーター、７タイミングベルト、８プラテン、１０流路形成基板、１２圧力発生室、１３供給路、１４連通路、１５連通板、１６ノズル連通路、２０ノズルプレート、２１ノズル開口、３０保護基板、４０ケース部材、４５コンプライアンス基板、１００マニホールド、１２１幅狭部、１２２幅広部、１２３第１接続部、１２４、１２５傾斜面、１３１第２接続部、１４１第３接続部、２１０駆動回路、２１１配線基板、３００圧電アクチュエーター（圧力発生手段） I Inkjet recording head (liquid ejecting head), II Inkjet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 1A, 1B head unit, 2A, 2B cartridge, 3 carriage, 4 apparatus main body, 5 carriage shaft, 6 drive motor, 7 timing Belt, 8 platen, 10 flow path forming substrate, 12 pressure generating chamber, 13 supply path, 14 communication path, 15 communication plate, 16 nozzle communication path, 20 nozzle plate, 21 nozzle opening, 30 protective substrate, 40 case member, 45 Compliance board, 100 manifold, 121 narrow part, 122 wide part, 123 first connection part, 124, 125 inclined surface, 131 second connection part, 141 third connection part, 210 drive circuit, 211 wiring board, 300 piezoelectric actuator Yueta (pressure generating means)

Claims

A flow path forming substrate provided with a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid;
Pressure generating means provided on one side of the flow path forming substrate via a vibration plate,
The pressure generation chamber includes a narrow portion provided on one end side communicating with the nozzle opening and a second end side in a second direction orthogonal to the first direction, which is a parallel arrangement direction of the nozzle openings. A wide portion having a width in the first direction wider than the narrow portion,
The boundary between the pressure generating chamber of the diaphragm and the flow path forming substrate defined by the end surface of the pressure generating chamber on the side communicating with the nozzle opening in the second direction is the inner wall surface of the narrow portion. And a position avoiding the corner formed by the inner wall surface of the wide portion ,
A communication plate is provided between the flow path forming substrate and the nozzle plate provided with the nozzle openings. The communication plate is provided with a nozzle communication path that communicates the narrow portion of the pressure generating chamber with the nozzle openings. And
In the first direction, the width of the nozzle communication path is wider than the width of the narrow portion .

The end surface of the pressure generating chamber on the side communicating with the nozzle opening in the second direction is an inclined surface that is inclined so as to expand the pressure generating chamber from the diaphragm side toward the nozzle plate side. The liquid ejecting head according to claim 1 , wherein the liquid ejecting head is formed.

The inclined surface is provided between a first inclined surface provided on the diaphragm side, a second inclined surface provided on the nozzle plate side, and the first inclined surface and the second inclined surface. The liquid jet head according to claim 2 , further comprising: a step surface having a surface direction intersecting with a surface direction of the first inclined surface and a surface direction of the second inclined surface.

The flow path forming substrate communicates with an end of the pressure generation chamber opposite to the narrow portion in the second direction, and the width in the first direction is larger than the wide portion of the pressure generation chamber. A narrow supply path,
A communication path provided on the opposite side of the supply path from the pressure generation chamber and having a width in the first direction wider than the supply path,
The boundary between the diaphragm and the flow path forming substrate defined by the end surface of the communication path opposite to the supply path is an angle formed by the inner wall surface of the supply path and the inner wall surface of the communication path. liquid jet head according to any one of claim 1 to 3, characterized in that it is arranged parts in a position avoiding a.

A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to any one of claims 1-4.