JP5927665B2 - Field emission X-ray generator - Google Patents
Field emission X-ray generator Download PDFInfo
- Publication number
- JP5927665B2 JP5927665B2 JP2011261523A JP2011261523A JP5927665B2 JP 5927665 B2 JP5927665 B2 JP 5927665B2 JP 2011261523 A JP2011261523 A JP 2011261523A JP 2011261523 A JP2011261523 A JP 2011261523A JP 5927665 B2 JP5927665 B2 JP 5927665B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass tube
- conductor
- insulating material
- covered
- field emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/06—Cathodes
- H01J35/065—Field emission, photo emission or secondary emission cathodes
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Description
本発明は、電界放出型冷陰極素子を用いたX線発生装置に関するものである。 The present invention relates to an X-ray generator using a field emission cold cathode device.
電界放出型冷陰極素子を用いたX線管(以下、「電界放出型X線管」という)は、常温での電子放出が可能であり、発熱量が少なく小型でも高性能化が容易になることから、従来のフィラメント方式(加熱したフィラメントが電子放出源として使われる)のX線管に代わる高出力光源として期待されている。しかしながら、電子源である電子放出素子(冷陰極素子)の電子放出量は、動作電圧以上の範囲においては印加電圧上昇に伴い指数関数的に増加する傾向がある。 An X-ray tube using a field emission type cold cathode device (hereinafter referred to as a “field emission type X-ray tube”) can emit electrons at room temperature, has a small amount of heat generation, and facilitates high performance even with a small size. For this reason, it is expected as a high-power light source to replace the conventional filament type (heated filament is used as an electron emission source) X-ray tube. However, the amount of electron emission of the electron-emitting device (cold cathode device) that is an electron source tends to increase exponentially as the applied voltage rises in the range above the operating voltage.
例えば、動作電圧−13.5kV印加時に300μAの管電流(X線管内部において冷陰極素子から接地ターゲット電極間で流れる電流)が発生するX線管において、前記動作電圧より高い−14.5kVの電圧が印加されると、管電流は3000μAにもなり、管電流は10倍に急増する。このような急激な電流の増加は、管内において局所的な放電現象を誘発しやすくなり、この放電現象は電子放出源である冷陰極素子およびターゲットの破損、管内の真空レベルの劣化などを引き起こし、結果的に定格電圧範囲でのX線出力の低下、すなわち寿命の短縮を招く。発明者らの知見では、異常放電の原因となる管電圧の変動要因として、冷陰極素子を収納しているガラス管内壁面に蓄積される電荷に起因する放電が挙げられる。 For example, in an X-ray tube in which a tube current of 300 μA (current flowing between a cold cathode element and a grounded target electrode inside the X-ray tube) is generated when an operating voltage of −13.5 kV is applied, it is −14.5 kV, which is higher than the operating voltage. When a voltage is applied, the tube current becomes 3000 μA, and the tube current rapidly increases 10 times. Such a sudden increase in current tends to induce a local discharge phenomenon in the tube, and this discharge phenomenon causes damage to the cold cathode device and the target that are the electron emission source, deterioration of the vacuum level in the tube, As a result, the X-ray output is reduced in the rated voltage range, that is, the life is shortened. According to the knowledge of the inventors, the discharge due to the electric charge accumulated on the inner wall surface of the glass tube containing the cold cathode element can be cited as a variation factor of the tube voltage causing the abnormal discharge.
これを図6に即して詳述する。従来の電界放出型X線管101は、接地され、上面が開口した筐体102を有し、この筐体102内に、絶縁体103を介して、ガラス管104の一端部が支持されている。ガラス管104は、筐体102内に収容されている。このガラス管104の絶縁体103側に、冷陰極素子105が設けられ、当該冷陰極素子105の周囲に、円筒状の金属電極106が設けられている。冷陰極素子105は金属電極106と並列に接続されており、これらの電極に、直流電源107から負電圧が印加されるようになっている。ガラス管104の他端側内面には、導電性の良好な金属材料によって構成されたターゲット108が形成されている。ターゲット108には、接地電位となる窓部109が接合され、外部に露出している。窓部109はターゲット108で発生したX線を外部に放出する機能を持った材料が使用され、たとえばX線の透過性にすぐれたベリリウムによって構成されている。なおガラス管104は気密に構成され、さらにガラス管104と筐体102の上面端部との間には、適宜の筐体102へのガラス管104の固定部材(以下、「固定部材」という)110が掛け渡されている。かかる構成により、筐体102とガラス管104との間には、空間Sが形成されている。
This will be described in detail with reference to FIG. A conventional field
そして冷陰極素子105に所定の高圧電圧、例えば−13.5kVを印加して電界放出型X線管101を作動させると、冷陰極素子105からターゲット108に向け、電子が放出され、窓部109からX線が放出される。
When a predetermined high voltage, for example, -13.5 kV, is applied to the
このとき、冷陰極素子105周辺の同電位の金属電極106と、接地された筐体102との間に電界が形成されるため、当該電界によって一部の電子が筐体102に向かって供給される。しかしながら、金属電極106と筐体102の間には、絶縁体であるガラス管104が存在しており、筐体102に向かって放出される電子は、当該ガラス管104の内面に蓄積されていく。この電子の蓄積は、ガラス管104と金属電極106間の電位差が無くなるまで継続する。換言すれば、同電位(この場合は−13.5kV)になった時点で、ガラス管104内壁面への電子の蓄積による増加は無くなり平衡状態になる。
At this time, since an electric field is formed between the
この結果、作動直後は冷陰極素子105と筐体102との間で−13.5kVの電位差があったのに対して、作動後の平衡状態ではガラス管104と筐体102の間の空気層Sに、−13.5kVの電位差が発生することになり、局所的な放電が発生するリスクが高くなる。特に、ガラス管104の下端部A周辺は電界集中がより生じやすく、放電発生の起点になりやすい。この放電が生じると、周辺に急激な電界の変化を伴い、冷陰極素子105への印加電圧にも影響し、これを変化させる。この印加電圧の変化が原因で、特に印加電圧が増加(絶対電圧としてで、例えば−13.5kV→−14kVに増加)した場合に、電子放出量が急激に増加して、この過電流により冷陰極素子105の電子放出面の損傷を招き、寿命劣化の大きな原因となる。
As a result, there was a potential difference of -13.5 kV between the
この点に関し、電子源として従来の熱電子方式を採用したX線管の内部において、絶縁部材の外面に、高抵抗値を有する電気抵抗膜を固着することが提案されている(特許文献1)。 In this regard, it has been proposed to fix an electric resistance film having a high resistance value on the outer surface of an insulating member inside an X-ray tube employing a conventional thermoelectron method as an electron source (Patent Document 1). .
しかしながら、特許文献1に記載された従来技術は、X線管内部での放電を問題としており、前記したような、筐体102とガラス管104との間に発生する放電に対してどのように対応するかについては不明である。また前記従来技術は、電気抵抗膜の抵抗値に制限があり、X線管の導電部より高く、かつ絶縁部よりも低い抵抗値を有するものに限られ、この点で汎用性があるものとは言えなかった。またさらにいえば、前記従来技術では、放電の現象に関してどのように発生するかについて説明が無いばかりか、抵抗膜塗布により、なぜ放電を防止できるのかについての説明もない。したがって、対策の具体的な効果が理解し得えず、前記したガラス管104と筐体102の間に発生する局所的な放電現象に対して、どのように適用すべきか、また適用した場合の効果については、まったく示唆もないものである。
However, the conventional technique described in
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、電界放出型冷陰極素子を用いたX線発生装置において、そのような高抵抗膜を塗布することなく、冷陰極素子を収容しているガラス管とその外側に位置している筐体間の微小放電を防止して、冷陰極素子、X線発生装置の寿命を従来よりも延ばし、安定した動作を実現することを目的としている。 The present invention has been made in view of such a point, and an X-ray generator using a field emission cold cathode element accommodates the cold cathode element without applying such a high resistance film. The object is to prevent the micro discharge between the glass tube and the casing located outside thereof, thereby extending the life of the cold cathode element and the X-ray generator more than before and realizing stable operation.
前記目的を達成するため、本発明は、接地されている筐体内に、絶縁部材を介してガラス管の一端部が支持され、当該ガラス管内における当該一端部側に、電子を放出する冷陰極素子が設けられ、当該ガラス管の他端部側に、前記冷陰極素子から放出された電子の照射によってX線を発生するターゲットと、前記ターゲットで発生したX線を外部に放出する窓部とを有する、電界放出型X線発生装置であって、前記ガラス管の下端部の周縁部、および当該周縁部から前記ガラス管の側面の中ほどまでの周囲は絶縁材で覆われ、かつ前記ガラス管の側面の中ほどまで覆っている前記絶縁材の端部は、外方に凸に湾曲した形状を有することを特徴としている。 In order to achieve the above object, the present invention provides a cold cathode device in which one end of a glass tube is supported in a grounded casing through an insulating member, and electrons are emitted to the one end of the glass tube. And a target for generating X-rays by irradiation of electrons emitted from the cold cathode device and a window for emitting X-rays generated by the target to the outside on the other end side of the glass tube. A field emission type X-ray generator comprising: a peripheral edge portion of a lower end portion of the glass tube, and a periphery from the peripheral edge portion to the middle of the side surface of the glass tube; and the glass tube The end portion of the insulating material covering the middle of the side surface of the material has a shape curved outwardly and convexly .
本発明によれば、電界集中により放電の起点となりやすい一端部周縁表面は、絶縁材で覆われているので、気中での電界強度の上昇を防止して、電荷の蓄積を抑えることができ、前記したような放電の発生を防止することができる。 According to the present invention, the peripheral surface of the one end portion, which is likely to be the starting point of discharge due to electric field concentration, is covered with the insulating material, so that an increase in electric field strength in the air can be prevented, and charge accumulation can be suppressed. The occurrence of discharge as described above can be prevented.
本発明においては、少なくとも電界集中により放電の起点となりやすいガラス管の冷陰極素子側の端部周縁表面を覆えばよい。
In the present invention, it is sufficient to cover at least the peripheral surface of the end of the glass tube that is likely to be the starting point of discharge due to electric field concentration.
また前記絶縁材で覆われていない前記ガラス管の表面及び前記絶縁材の端部は、導体(電気伝導体)で被覆され、当該導体は接地されているようにしてもよい。 The surface of the glass tube that is not covered with the insulating material and the end of the insulating material may be covered with a conductor (electric conductor), and the conductor may be grounded.
さらにそのようにガラス管の表面を覆った絶縁部材の表面を、導体で被覆し、この導体を接地するようにしてもよい。かかる場合の導体には、たとえば導体からなるメッシュ、金網、導電性コイル、導体膜が含まれる。 Furthermore, the surface of the insulating member covering the surface of the glass tube may be covered with a conductor, and this conductor may be grounded. The conductor in such a case includes, for example, a mesh made of a conductor, a wire net, a conductive coil, and a conductor film.
前記導体は、たとえば、銀ペースト、ニッケルペースト、金ペースト、パラジウムペースト、またはカーボンペーストの何れか、またはこれらの組み合わせからなる導体膜を提案できる。 As the conductor, for example, a conductor film made of silver paste, nickel paste, gold paste, palladium paste, carbon paste, or a combination thereof can be proposed.
本発明によれば、高抵抗膜を塗布することなく、冷陰極素子を収容しているガラス管とその外側に位置している筐体間の放電を防止して、冷陰極素子、X線発生装置の寿命を従来よりも延ばし、安定した動作を実現することが可能である。 According to the present invention, it is possible to prevent discharge between a glass tube containing a cold cathode element and a housing located outside the glass tube without applying a high resistance film, and to generate a cold cathode element and X-rays. It is possible to extend the life of the apparatus than before and to realize stable operation.
以下、本発明の実施の形態について説明する。図1は、実施の形態にかかる電界放出型X線発生装置1の構成の概略を示しており、電界放出型X線発生装置1は、接地され、上面が開口した略立方体の筐体2内に、絶縁材3を介して、ガラス管4の一端部が支持され、ガラス管4は筐体2内に収容されている。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 shows an outline of the configuration of a field
絶縁材3は、ガラス管4の下端部4aと筐体2の底面部2aとの間に設けられており、さらにこの絶縁材3は、ガラス管4の下端部4aの周縁部4bを覆い、ガラス管4の側面の中ほどまでその周囲を覆っている。なお絶縁材3で覆う範囲は、発明者らの知見では、ガラス管4の下端部4aから上端部に向けて、少なくとも3mmの範囲を覆えば、所期の目的を達成できる。絶縁材3の材質は、例えばシリコーンゴムからなる。
The
このガラス管4の絶縁材3側には、冷陰極素子5が設けられ、当該冷陰極素子5の周囲に、円筒状の金属電極6が設けられている。冷陰極素子5と金属電極6は並列に接続されており、これらの電極に、直流電源7から高圧ケーブルを介して負電圧が印加されるようになっている。高圧ケーブルの絶縁材3に対する貫通部は、ガラス管4の下端部4a側となる。
A
ガラス管4の上端部内面には、タングステン、銅など、導電性の良好な金属材料によって構成されたターゲット8が形成されている。ターゲット8には、接地電位となる窓部9が接合され、この窓部9は、外部に露出している。窓部9はターゲット8で発生したX線を外部に放出する機能を持った材料が使用され、たとえばX線の透過性にすぐれたベリリウムによって構成されている。
On the inner surface of the upper end portion of the
ガラス管4は気密に構成され、ガラス管4と筐体2の上面端部との間には、固定部材10が設けられている。かかる構成により、筐体2とガラス管4との間には、空間Sが形成されている。
The
実施の形態にかかる電界放出型X線発生装置1は、以上の構成を有しており、冷陰極素子5に所定の高圧電圧、例えば−13.5kVを印加すると、冷陰極素子5から、ターゲット8に向け電子が放出され、ターゲット8において電子の衝突によりX線が生成され、窓部9からX線が放出される。
The field
このとき、冷陰極素子5周辺の同電位の金属電極6と、接地された筐体2との間には依然として電界が形成されるため、当該電界により、一部の電子が筐体2に向かって供給され、既述したように、ガラス管4の内面に電子が蓄積されていく。しかしながら、本実施の形態では、従来、電界が集中し、放電が発生しやすかったガラス管4の下端部4aの周縁部4bも、絶縁材3で覆われているため、強い電界部分をこの絶縁材3に形成させることができ、周縁部4bが空間Sでの放電の起点となるリスクを削減できる。したがって、放電に起因する冷陰極素子5の損傷、劣化を防止し、X線発生装置1自体の寿命を従来よりも延ばすことができ、しかも安定した動作を実現することが可能である。
At this time, since an electric field is still formed between the
なお電界集中を避ける意味から、ガラス管4の側面の中ほどまで覆っている絶縁材3の端部3aは、図1に示したように、外方に凸に湾曲した形状とすることが好ましい。
In order to avoid electric field concentration, it is preferable that the
前記実施の形態では、ガラス管4の下端部4aの周縁部4bを絶縁材3で覆い、ガラス管4の側面の中ほどまでその周囲を覆うようにして、放電の発生を抑えるようにしたが、図2に示したように、そのように絶縁材3を形成したうえで、さらに当該絶縁材3の表面を、導体21で被覆するようにしてもよい。導体21は、接地する。接地にあたっては、既に接地されている筐体2と電気的に接続すれば足りる。
In the above embodiment, the
これによって、ガラス管4の壁面内に蓄積される電子と逆極性の正電荷が誘導(誘導電荷)され、本誘導電荷により外部に形成されていた強い電界はほぼゼロ近くまで減少させることができる。その結果、既述の放電現象は確実に防止することができる。一方、ガラス管4壁面には、内面と外面とで、−13kVの電位差が発生することになるが、1〜2mm厚さ程度のガラス素材の放電破壊電圧は20〜30kV/mm程度であり、1mm以上のガラス壁にすることで本電位差による放電は確実に防止することができる。
As a result, a positive charge having a polarity opposite to that of electrons accumulated in the wall surface of the
導体21としては、たとえば導電性材料、例えば金属からなるメッシュ、金網、導電性コイルを用いることができる。その材質および厚みは特に限定されるものではなく、接地することで誘導電荷を速やかに形成できる性能を有する条件であればよい。また、一様な膜でなくても、金網のようなものでも、また単に所定の間隔で導電線を巻き付けたものでも良い。かかる場合、隣り合う導電線との距離を2mm以下とするのが望ましい。この距離が長すぎると筐体2との間に形成される電界が徐々に高くなるためである。
As the
かかる点からすれば、導体21としては、既述した金網等に代えて、銀ペースト、ニッケルペースト、金ペースト、パラジウムペースト、またはカーボンペーストの何れか、またはこれらの組み合わせからなる導体膜によるコーティングが好ましい。
From this point of view, the
さらに導体21で被覆するのは、絶縁材3の表面のみならず、絶縁材3で覆われていないガラス管4の表面まで、その領域を拡大してもよい。
Furthermore, the region covered with the
さらにまた図3に示したように、絶縁材3が覆う領域を、ガラス管4の下端部4aの周縁部4bはもちろん、ガラス管4の側面周囲全てに広げてもよい。これによって、ガラス管4の壁面が、空間S内に露出する部分をゼロにして、ガラス管4表面の絶縁破壊強度を全てに渡って向上させるようにしてもよい。またかかる場合も、そのように被覆領域を拡大した絶縁材3の表面を導体21で被覆し、この導体21を接地するようにしてもよい。これによって、ガラス管4と筐体2間での放電をゼロにすることができ、しかもガラス管4自体の強度を向上させることが可能である。
Furthermore, as shown in FIG. 3, the region covered by the insulating
既述したように、ガラス管4の下端部4aの周縁部4bを絶縁材3で覆うことで、周縁部4bが空間Sでの放電の起点となるリスクを削減して、放電に起因する冷陰極素子5の損傷、劣化の防止、並びにX線発生装置1自体の寿命を従来よりも延ばすことができるが、ガラス管4における、絶縁材3で覆われていない部分を導体21で被覆するようにしてもよい。
As described above, by covering the
図4は、かかる構成のX線発生装置1を示しており、この例では、図1に示した例に対して、ガラス管4における絶縁材3で覆われていない部分を、前記した導体21で被覆し、この導体21を接地している。なお導体21で被覆する部分は、導体21と絶縁材3との間の境界部分が、ガラス管4の表面に位置していると、当該部分に電界集中を招くおそれがある。したがって、導体21と絶縁材3との間の境界部分は、ガラス管4の表面には位置しない、図4に示したような絶縁材3の表面部分に位置させるのがよい。すなわち、導体21で被覆する部分は、ガラス管4における絶縁材3で覆われていない部分、及び、絶縁材3の端部3aの全周であってかつガラス管4の表面と接していない部分であることがよい。なお筐体2は、既に接地されているので、たとえば、当該導体21を、窓部9を介して筐体2と電気的に接続すればよい。
FIG. 4 shows the
かかる構成を採用することで、図1に示した例よりもさらに確実に放電に起因する冷陰極素子5の損傷、劣化を防止し、X線発生装置1自体の寿命を従来よりも延ばすことができる。さらにこのように、ガラス管4における絶縁材3で覆われていない部分を、導体21で被覆することにより、ガラス管4の熱を、導体21を通じて外部に放出することができ、ガラス管4及びその内部が蓄熱することを抑制することでができる。したがってかかる点からも、ガラス管4およびガラス管4内部の冷陰極素子5等の寿命を延ばすことができる。
By adopting such a configuration, it is possible to prevent damage and deterioration of the
また筐体2として立方体もしくは、水平断面が正方形の筐体を使用した場合、筐体2と円筒形のガラス管4の表面との間の距離は、一様ではない。すなわち、筐体2の側面中央とガラス管4の表面との間の距離が最も短くなっており、この部分で絶縁破壊を起こして、放電が発生しやすくなる。したがって、筐体2として水平断面が正方形の筐体を使用した場合には、当該部分での放電の発生を防止するため、ガラス管4の周面を、導体21で被覆することが好ましい。
Further, when a cubic body or a square housing having a horizontal cross section is used as the
さらにまた、ガラス管4の下端部周縁に、電界集中を起こすような凸部がない場合には、上記した筐体2の側面中央とガラス管4の表面との間の距離が最も短い部分で放電が発生する可能性が高い。このような場合、ガラス管4の下端部4aの周縁部4bを絶縁材3で覆うことなく、ガラス管4の周面全体を、導体21で被覆し、この導体21を接地するようにしてもよい。
Furthermore, when there is no convex portion that causes electric field concentration at the periphery of the lower end portion of the
次に図2に示した実施の形態にかかる電界放出型X線発生装置1と、図6に示した従来のX線管を2基ずつ製作し、これら4基の連続点灯試験を同時に実施した結果について説明する。この試験に使用した電界放出型X線発生装置1においては、導体21として、銀ペーストからなる導電膜を用い、その厚みは約20μmとした。
Next, two field
本試験においては、より本技術課題となる現象が発生する確率が高くなると予測される、ON−OFF(約1分間)−ON動作を約10分間毎に行った。各冷陰極素子5、105への定格印加電圧は、本発明の有効性をより明確に評価できるように、より高い電位−14kVとした。また、微小放電現象を観測する手段としては、微小放電が発生することで、冷陰極素子5、105の電子放出特性が劣化する傾向がある点に着目し、電子電流を連続でモニタリングする方法を採用した。かかる試験を、150時間実施した結果を図4に示す。図4中、X1、X2は、実施の形態にかかる電界放出型X線発生装置1の2基の結果を各々示し、Y1、Y2は、従来のX線管の2基の結果を各々示している。
In this test, an ON-OFF (about 1 minute) -ON operation, which is predicted to increase the probability of occurrence of a phenomenon that is a technical problem, was performed about every 10 minutes. The rated applied voltage to each of the
これによれば、初期の管電流は490〜500μAと若干バラツキがあるが、それぞれの管電流の変化を比較すると明確な差が認められる。すなわち、実施の形態にかかる電界放出型X線発生装置1については2基とも、管電流は150時間、ほとんど変化無く非常に安定している。一方、従来のX線管については2基とも複数箇所に急激な低下が見られ、初期電流に対して、Y1は約30μA、Y2の場合は約60μAも低下しており、冷陰極素子105の電子放出性能の劣化が明らかである。なお従来のX線管において、それぞれ5〜6箇所見られる急激な低下は、前記局所的な放電現象起因の劣化と推測される。また、低下幅は回数を重ねるほど大きくなる傾向を示している。
According to this, the initial tube current varies slightly from 490 to 500 μA, but a clear difference is recognized when changes in the tube currents are compared. That is, in both the field
なお試験で用いた実施の形態にかかる電界放出型X線発生装置のX1、X2についてはその後も継続して点灯させ、3000時間安定した出力を維持できることが確認されている。 It has been confirmed that X1 and X2 of the field emission X-ray generator according to the embodiment used in the test can be continuously lit and maintain a stable output for 3000 hours.
本発明は、電界放出型冷陰極素子を用いたX線発生装置に有用である。 The present invention is useful for an X-ray generator using a field emission cold cathode device.
1 電界放出型X線発生装置
2 筐体
2a 底面部
3 絶縁材
4 ガラス管
4a 下端部
4b 周縁部
5 冷陰極素子
6 金属電極
7 直流電源
8 ターゲット
9 窓部
10 固定部材
21 導体
S 空間
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記ガラス管の下端部の周縁部、および当該周縁部から前記ガラス管の側面の中ほどまでの周囲は絶縁材で覆われ、かつ前記ガラス管の側面の中ほどまで覆っている前記絶縁材の端部は、外方に凸に湾曲した形状を有することを特徴とする、電界放出型X線発生装置。 One end of the glass tube is supported in a grounded casing through an insulating member, and a cold cathode element that emits electrons is provided on the one end side in the glass tube, and the other end of the glass tube A field emission type X-ray generator having a target for generating X-rays by irradiation of electrons emitted from the cold cathode device and a window for emitting X-rays generated by the target to the outside. And
The periphery of the lower end portion of the glass tube and the periphery from the periphery to the middle of the side surface of the glass tube are covered with an insulating material, and the insulating material is covered to the middle of the side surface of the glass tube. The field emission type X-ray generator , wherein the end portion has a shape curved outwardly and convexly .
前記ガラス管における、少なくとも一端部周縁表面は、絶縁材で覆われ、前記絶縁材で覆われていない前記ガラス管の表面及び前記絶縁材の端部は、導体で被覆され、当該導体は接地されていることを特徴とする、電界放出型X線発生装置。 One end of the glass tube is supported in a grounded casing through an insulating member, and a cold cathode element that emits electrons is provided on the one end side in the glass tube, and the other end of the glass tube A field emission type X-ray generator having a target for generating X-rays by irradiation of electrons emitted from the cold cathode device and a window for emitting X-rays generated by the target to the outside. And
In the glass tube, at least one peripheral edge surface is covered with an insulating material, the surface of the glass tube not covered with the insulating material and the end of the insulating material are covered with a conductor, and the conductor is grounded. A field emission X-ray generator.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011261523A JP5927665B2 (en) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | Field emission X-ray generator |
KR1020120133038A KR101970834B1 (en) | 2011-11-30 | 2012-11-22 | Field emission x-ray generating apparatus |
TW101144209A TWI570761B (en) | 2011-11-30 | 2012-11-26 | Electric field release type X ray generator |
CN201210501939.7A CN103137400B (en) | 2011-11-30 | 2012-11-30 | Electric field emission type X-ray generator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011261523A JP5927665B2 (en) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | Field emission X-ray generator |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013114964A JP2013114964A (en) | 2013-06-10 |
JP2013114964A5 JP2013114964A5 (en) | 2015-01-29 |
JP5927665B2 true JP5927665B2 (en) | 2016-06-01 |
Family
ID=48497061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011261523A Active JP5927665B2 (en) | 2011-11-30 | 2011-11-30 | Field emission X-ray generator |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5927665B2 (en) |
KR (1) | KR101970834B1 (en) |
CN (1) | CN103137400B (en) |
TW (1) | TWI570761B (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI580315B (en) * | 2015-01-15 | 2017-04-21 | 能資國際股份有限公司 | Hand-held x ray generator by cold cathode |
JP2016186880A (en) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 東芝電子管デバイス株式会社 | X-ray tube |
CN108682601A (en) * | 2018-06-13 | 2018-10-19 | 金陵科技学院 | A kind of preparation method of vacuum X-ray tube electrode |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102201320B (en) * | 2004-12-27 | 2012-11-28 | 浜松光子学株式会社 | X-ray tube and x-ray source |
JP2007066694A (en) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Hamamatsu Photonics Kk | X-ray tube |
JP2007250328A (en) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Toshiba Corp | X-ray tube and x-ray tube device |
JP5179797B2 (en) * | 2007-08-10 | 2013-04-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | X-ray generator |
JP2009245806A (en) | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Hamamatsu Photonics Kk | X-ray tube and x-ray generating device equipped therewith |
JP2011034734A (en) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Stanley Electric Co Ltd | Field emission electron source |
-
2011
- 2011-11-30 JP JP2011261523A patent/JP5927665B2/en active Active
-
2012
- 2012-11-22 KR KR1020120133038A patent/KR101970834B1/en active IP Right Grant
- 2012-11-26 TW TW101144209A patent/TWI570761B/en active
- 2012-11-30 CN CN201210501939.7A patent/CN103137400B/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201338001A (en) | 2013-09-16 |
CN103137400A (en) | 2013-06-05 |
KR101970834B1 (en) | 2019-04-19 |
CN103137400B (en) | 2017-06-30 |
JP2013114964A (en) | 2013-06-10 |
TWI570761B (en) | 2017-02-11 |
KR20130061067A (en) | 2013-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6420444B1 (en) | X-ray tube for electron focusing improvement | |
US9679736B2 (en) | Encapsulated structure for X-ray generator with cold cathode and method of vacuuming the same | |
JP2009245806A (en) | X-ray tube and x-ray generating device equipped therewith | |
JP5927665B2 (en) | Field emission X-ray generator | |
CN106252184A (en) | X-ray tube | |
KR102288924B1 (en) | X-ray tube and manufacturing method thereof | |
US2201721A (en) | Thermionic cathode structure | |
JP2008226683A (en) | Charged particle beam device | |
US8928218B2 (en) | Dielectric barrier discharge lamp and fabrication method thereof | |
JP2018206677A (en) | X-ray generator | |
US1353976A (en) | Vacuum-tube device | |
JP5828364B1 (en) | Excimer discharge lamp | |
JP5760290B2 (en) | Field emission X-ray generator for static elimination | |
JP2010530606A (en) | High pressure discharge lamp with starter antenna | |
US2452626A (en) | Electron emitter | |
US2356566A (en) | Electronic discharge device | |
JP2019185856A (en) | Excimer lamp, light irradiation device, and ozone generator | |
US1715152A (en) | X-ray tube | |
US1955541A (en) | Cathode structure of electric discharge apparatus | |
KR101175987B1 (en) | Module for generating electron beam | |
US2112855A (en) | Electrode for discharge lamps | |
US2007933A (en) | Lamp construction | |
JP5361478B2 (en) | X-ray tube device | |
US2201730A (en) | Thermionic cathode structure | |
US2156064A (en) | Electronic discharge device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141126 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150902 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150908 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151109 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160308 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20160406 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160406 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20160406 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5927665 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |