JP2007250328A - X-ray tube and x-ray tube device - Google Patents

X-ray tube and x-ray tube device Download PDF

Info

Publication number
JP2007250328A
JP2007250328A JP2006071275A JP2006071275A JP2007250328A JP 2007250328 A JP2007250328 A JP 2007250328A JP 2006071275 A JP2006071275 A JP 2006071275A JP 2006071275 A JP2006071275 A JP 2006071275A JP 2007250328 A JP2007250328 A JP 2007250328A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum envelope
ray tube
cover
anode target
cathode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006071275A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Iriki
寛 入木
Masataka Komine
正孝 小峯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Canon Electron Tubes and Devices Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Electron Tubes and Devices Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba Electron Tubes and Devices Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2006071275A priority Critical patent/JP2007250328A/en
Publication of JP2007250328A publication Critical patent/JP2007250328A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray tube improved in the heat releasing property, and a X-ray tube device equipped with the same. <P>SOLUTION: The X-ray tube is equipped with: a cathode 10; an anode target 20; a vacuum envelope 30 which accommodates the cathode and the anode target; an insulating cover 40 which surrounds the vacuum envelope and is disposed with a gap from the vacuum envelope; and a radiator 50 which is installed so as to conduct the heat of the anode target and supports the vacuum envelope and the cover while holding the gap between the vacuum envelope and the cover. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、Ｘ線を発生させるＸ線管及びこのＸ線管を備えたＸ線管装置に関する。   The present invention relates to an X-ray tube that generates X-rays and an X-ray tube device including the X-ray tube.

一般に、Ｘ線管装置として、固定陽極型Ｘ線管装置や回転陽極型Ｘ線管装置が使用されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。固定陽極型Ｘ線管装置は、Ｘ線回折等に使用されている。固定陽極型Ｘ線管装置は、Ｘ線管としての固定陽極型Ｘ線管と、この固定陽極型Ｘ線管を収容した筐体とを備えている。   In general, a fixed anode type X-ray tube device or a rotary anode type X-ray tube device is used as the X-ray tube device (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2). Fixed anode X-ray tube devices are used for X-ray diffraction and the like. The fixed anode type X-ray tube device includes a fixed anode type X-ray tube as an X-ray tube and a housing that accommodates the fixed anode type X-ray tube.

固定陽極型Ｘ線管は、陽極ターゲットと、陰極と、真空外囲器と、ラジエータと、絶縁円筒部と、複数の接合部とを有している。陰極は、陽極ターゲットに間隔を置いて対向配置されている。真空外囲器は、陽極ターゲット及び陰極を収容している。陽極ターゲットの一端部は真空外囲器の外側に露出している。真空外囲器の外側において、ラジエータは、陽極ターゲットの一端部に取付けられている。   The fixed anode type X-ray tube includes an anode target, a cathode, a vacuum envelope, a radiator, an insulating cylindrical portion, and a plurality of joint portions. The cathode is disposed opposite to the anode target at a distance. The vacuum envelope contains an anode target and a cathode. One end of the anode target is exposed outside the vacuum envelope. Outside the vacuum envelope, the radiator is attached to one end of the anode target.

絶縁円筒部は、真空外囲器を囲むよう真空外囲器の外面に間隔を置いて設けられている。接合部は、真空外囲器及び絶縁円筒部間に設けられている。真空外囲器及び接合部と、絶縁円筒部及び接合部は、それぞれ接着剤により接着されている。このため、真空外囲器及び絶縁円筒部は固定されている。固定陽極型Ｘ線管の絶縁性を向上させるため、絶縁円筒部を設け、接合部をゴムやコルク等の絶縁材料で形成している。筐体内部には冷却液として絶縁油が充填されている。   The insulating cylindrical portion is provided on the outer surface of the vacuum envelope so as to surround the vacuum envelope. The joint is provided between the vacuum envelope and the insulating cylinder. The vacuum envelope and the joint, and the insulating cylindrical part and the joint are bonded to each other with an adhesive. For this reason, the vacuum envelope and the insulating cylindrical portion are fixed. In order to improve the insulation of the fixed anode type X-ray tube, an insulating cylindrical portion is provided, and the joint portion is formed of an insulating material such as rubber or cork. The casing is filled with insulating oil as a coolant.

上記固定陽極型Ｘ線管装置の動作状態において、陽極ターゲット及び陰極間に高電圧を印加することにより、陽極ターゲット及び陰極に電位差を生じさせる。また、電位差が生じた状態で、陰極は電子を放出し、この電子を陽極ターゲットに衝突させる。これにより、陽極ターゲットは、電子と衝突するときにＸ線を放出する。   In the operating state of the fixed anode type X-ray tube device, a high voltage is applied between the anode target and the cathode to generate a potential difference between the anode target and the cathode. Further, the cathode emits electrons in a state where a potential difference is generated, and the electrons collide with the anode target. Thus, the anode target emits X-rays when colliding with electrons.

ここで、電子が陽極ターゲットに衝突したときに発生するエネルギのほとんどは熱として陽極ターゲットに蓄積され、陽極ターゲットは高温になる。この場合、陽極ターゲットの温度は陽極ターゲット材質の溶解温度以下でなくてはならないため、陽極ターゲットの熱を放出させる必要がある。陽極ターゲットの熱は、ラジエータ及び陽極ターゲットからの輻射熱により放出される。すると、ラジエータ及びラジエータ付近の絶縁油が高温になったり、陽極ターゲットからの輻射熱により真空外囲器及び絶縁円筒部間の絶縁油が高温になったりする。上記したことから、固定陽極型Ｘ線管の熱の放出特性を向上させるため、真空外囲器及び絶縁円筒部間を含む筐体内部において、絶縁油を対流させている。
実公平２−２８６３８号公報 実開平２−５９５９９号公報 Here, most of the energy generated when the electrons collide with the anode target is accumulated in the anode target as heat, and the anode target becomes high temperature. In this case, since the temperature of the anode target must be equal to or lower than the melting temperature of the anode target material, it is necessary to release the heat of the anode target. The heat of the anode target is released by radiant heat from the radiator and the anode target. Then, the radiator and the insulating oil in the vicinity of the radiator become high temperature, or the insulating oil between the vacuum envelope and the insulating cylindrical portion becomes high temperature due to radiant heat from the anode target. From the above, in order to improve the heat release characteristics of the fixed anode X-ray tube, the insulating oil is convected inside the housing including the space between the vacuum envelope and the insulating cylindrical portion.
Japanese Utility Model Publication No. 2-28638 Japanese Utility Model Publication 2-59599

しかしながら、真空外囲器及び絶縁円筒部間に複数の接合部が存在するため、真空外囲器及び絶縁円筒部間で絶縁油の対流が悪くなってしまう。この場合、真空外囲器及び絶縁円筒部間の絶縁油の温度が高くなり、耐電圧等に悪影響が生じてしまう。例えば、真空外囲器及び絶縁円筒部間に放電が生じる恐れがある。その他、陽極ターゲットの温度が陽極ターゲット材質の溶解温度を超えてしまう恐れもある。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、熱の放出特性を向上できるＸ線管及びこのＸ線管を備えたＸ線管装置を提供することにある。 However, since there are a plurality of joints between the vacuum envelope and the insulating cylindrical portion, the convection of the insulating oil is deteriorated between the vacuum envelope and the insulating cylindrical portion. In this case, the temperature of the insulating oil between the vacuum envelope and the insulating cylindrical portion is increased, which adversely affects the withstand voltage and the like. For example, a discharge may occur between the vacuum envelope and the insulating cylinder. In addition, the temperature of the anode target may exceed the melting temperature of the anode target material.
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an X-ray tube capable of improving heat release characteristics and an X-ray tube apparatus including the X-ray tube.

上記課題を解決するため、本発明の態様に係るＸ線管は、
電子を放出する陰極と、
前記陰極に対向配置され、前記電子が衝突されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットと、
前記陰極及び陽極ターゲットを収容した真空外囲器と、
前記真空外囲器を囲むとともに前記真空外囲器に間隔を置いて設けられた絶縁性のカバーと、
前記陽極ターゲットの熱が伝導されるように設けられ、前記真空外囲器及びカバー間の間隙を保持して前記真空外囲器及びカバーを支持するラジエータと、を備えている。 In order to solve the above-described problem, an X-ray tube according to an aspect of the present invention includes:
A cathode that emits electrons;
An anode target disposed opposite to the cathode and emitting X-rays when the electrons collide;
A vacuum envelope containing the cathode and anode target;
An insulating cover surrounding the vacuum envelope and spaced from the vacuum envelope;
And a radiator for supporting heat of the anode target and supporting the vacuum envelope and the cover while maintaining a gap between the vacuum envelope and the cover.

また、本発明の他の態様に係るＸ線管装置は、
電子を放出する陰極と、前記陰極に対向配置され、前記電子が衝突されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットと、前記陰極及び陽極ターゲットを収容した真空外囲器と、前記真空外囲器を囲むとともに前記真空外囲器に間隔を置いて設けられた絶縁性のカバーと、前記陽極ターゲットの熱が伝導されるように設けられ、前記真空外囲器及びカバー間の間隙を保持して前記真空外囲器及びカバーを支持するラジエータと、を有したＸ線管と、
前記Ｘ線管を収容した筐体と、
前記筐体内部に充填された冷却液と、を備えている。 In addition, an X-ray tube apparatus according to another aspect of the present invention includes:
A cathode that emits electrons, an anode target that is disposed opposite to the cathode and emits X-rays when the electrons collide, a vacuum envelope containing the cathode and the anode target, and the vacuum envelope And an insulating cover provided at a distance from the vacuum envelope, and provided to conduct heat of the anode target, and maintain a gap between the vacuum envelope and the cover. An X-ray tube having a radiator that supports the vacuum envelope and the cover;
A housing containing the X-ray tube;
And a cooling liquid filled in the housing.

この発明によれば、熱の放出特性を向上できるＸ線管及びこのＸ線管を備えたＸ線管装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an X-ray tube capable of improving heat release characteristics and an X-ray tube apparatus including the X-ray tube.

以下、図面を参照しながらこの発明に係るＸ線管装置を固定陽極型Ｘ線管装置に適用した実施の形態について詳細に説明する。
図１及び図２に示すように、固定陽極型Ｘ線管装置は、Ｘ線管としての固定陽極型Ｘ線管１と、固定陽極型Ｘ線管を収容した筐体２と、筐体内部に充填された冷却液としての絶縁油３と、を備えている。
固定陽極型Ｘ線管１は、陰極１０と、陽極ターゲット２０と、真空外囲器３０と、カバー４０と、ラジエータ５０と、遮蔽部６０とを有している。 Hereinafter, an embodiment in which an X-ray tube apparatus according to the present invention is applied to a fixed anode X-ray tube apparatus will be described in detail with reference to the drawings.
As shown in FIGS. 1 and 2, the fixed anode type X-ray tube apparatus includes a fixed anode type X-ray tube 1 as an X-ray tube, a case 2 containing the fixed anode type X-ray tube, and an inside of the case. And an insulating oil 3 serving as a cooling liquid filled therein.
The fixed anode X-ray tube 1 includes a cathode 10, an anode target 20, a vacuum envelope 30, a cover 40, a radiator 50, and a shielding part 60.

陰極１０は、陰極集束電極１１と、陰極フィラメント１２と、ステムピン１３、１４、１５、１６とを有している。陰極フィラメント１２は陰極集束電極１１内に設けられている。陰極フィラメント１２の両端はステムピン１３、１４に電気的に接続されている。ステムピン１３、１４は、真空外囲器３０を貫通し、この真空外囲器に固定されている。   The cathode 10 includes a cathode focusing electrode 11, a cathode filament 12, and stem pins 13, 14, 15, and 16. The cathode filament 12 is provided in the cathode focusing electrode 11. Both ends of the cathode filament 12 are electrically connected to the stem pins 13 and 14. The stem pins 13 and 14 pass through the vacuum envelope 30 and are fixed to the vacuum envelope.

ステムピン１５、１６は、真空外囲器３０を貫通し、この真空外囲器に固定されている。真空外囲器３０内部において、ステムピン１６は陰極集束電極１１に電気的に接続されている。陰極フィラメント１２には、真空外囲器３０の外部からステムピン１３、１４を介して負の電圧が印加される。同時に、陰極集束電極１１には、真空外囲器３０の外部からステムピン１６を介して負の電圧が印加される。   The stem pins 15 and 16 pass through the vacuum envelope 30 and are fixed to the vacuum envelope. Inside the vacuum envelope 30, the stem pin 16 is electrically connected to the cathode focusing electrode 11. A negative voltage is applied to the cathode filament 12 from the outside of the vacuum envelope 30 via the stem pins 13 and 14. At the same time, a negative voltage is applied to the cathode focusing electrode 11 from the outside of the vacuum envelope 30 via the stem pin 16.

陽極ターゲット２０は、陰極１０に対向配置されている。陽極ターゲット２０は、陽極２１と、この陽極の外面の一部に設けられたターゲット層２２とを有している。陽極２１は、形状が円柱状であり、Ｍｏ等の材料で形成されている。陽極２１は、この一端部が真空外囲器３０の外側に露出されているとともに真空外囲器に固定されている。なお、陽極２１には、真空外囲器３０の外部から正の電圧が印加される。   The anode target 20 is disposed to face the cathode 10. The anode target 20 has an anode 21 and a target layer 22 provided on a part of the outer surface of the anode. The anode 21 has a cylindrical shape and is made of a material such as Mo. One end of the anode 21 is exposed to the outside of the vacuum envelope 30 and is fixed to the vacuum envelope. A positive voltage is applied to the anode 21 from the outside of the vacuum envelope 30.

ターゲット層２２は、Ｗ（タングステン）等の材料で形成され、陰極１０に対向配置されている。ターゲット層２２は、陽極２１の他端部の平面に設けられている。なお、この他端部の平面は傾斜している。   The target layer 22 is made of a material such as W (tungsten) and is disposed so as to face the cathode 10. The target layer 22 is provided on the plane of the other end of the anode 21. In addition, the plane of this other end part is inclined.

真空外囲器３０は、陰極１０及び陽極ターゲット２０を収容している。真空外囲器３０は、一端が閉塞された円筒形に形成されている。真空外囲器３０の他端は、陽極２１によって閉塞されている。真空外囲器３０は、内部が真空状態に維持され、密閉されている。真空外囲器３０は、絶縁性の材料として、例えばガラスで形成されている。   The vacuum envelope 30 houses the cathode 10 and the anode target 20. The vacuum envelope 30 is formed in a cylindrical shape with one end closed. The other end of the vacuum envelope 30 is closed by the anode 21. The inside of the vacuum envelope 30 is maintained in a vacuum state and sealed. The vacuum envelope 30 is made of, for example, glass as an insulating material.

カバー４０は、真空外囲器３０を囲むとともにこの真空外囲器に間隔を置いて設けられている。カバー４０は円筒形に形成されている。カバー４０は絶縁性の材料で形成されている。カバー４０は、固定陽極型Ｘ線管１の絶縁性を向上させるために設けられている。   The cover 40 surrounds the vacuum envelope 30 and is provided at a distance from the vacuum envelope. The cover 40 is formed in a cylindrical shape. The cover 40 is made of an insulating material. The cover 40 is provided in order to improve the insulation of the fixed anode X-ray tube 1.

ラジエータ５０は、真空外囲器３０の外面及びカバー４０の内面間の間隙を保持してこれら真空外囲器及びカバーを支持している。ラジエータ５０に陽極２１が取付けられている。ここで、陽極２１は真空外囲器３０に固定され、陽極２１の一端部は真空外囲器の外側に露出されている。ラジエータ５０は、陽極２１を介して真空外囲器３０を支持している。上記したように、ラジエータ５０は、陽極ターゲット２０の熱が伝導されるように設けられている。ラジエータ５０は、陽極ターゲット２０から伝わる熱を外部に放出する機能を有している。   The radiator 50 supports the vacuum envelope and the cover by maintaining a gap between the outer surface of the vacuum envelope 30 and the inner surface of the cover 40. An anode 21 is attached to the radiator 50. Here, the anode 21 is fixed to the vacuum envelope 30, and one end of the anode 21 is exposed to the outside of the vacuum envelope. The radiator 50 supports the vacuum envelope 30 via the anode 21. As described above, the radiator 50 is provided so that the heat of the anode target 20 is conducted. The radiator 50 has a function of releasing heat transmitted from the anode target 20 to the outside.

カバー４０の一端側の筒先及びラジエータ５０は、ネジやボルト等用いて固定され、これにより、ラジエータ５０はカバー４０を支持している。この実施の形態において、カバー４０及びラジエータ５０は、４個所でネジを用いて固定されている。カバー４０及びラジエータ５０の固定にネジやボルト等用いることにより、カバー及びラジエータの組立て及び分解を容易にすることができる。また、ラジエータ５０は、カバー４０の筒先を全て塞がない形状である。このため、ラジエータ５０が取付けられたカバーの筒先は絶縁油３の流れる流路が形成されている。   The tube tip on one end side of the cover 40 and the radiator 50 are fixed using screws, bolts, or the like, and thus the radiator 50 supports the cover 40. In this embodiment, the cover 40 and the radiator 50 are fixed using screws at four locations. By using screws, bolts, or the like for fixing the cover 40 and the radiator 50, the assembly and disassembly of the cover and the radiator can be facilitated. Further, the radiator 50 has a shape that does not block the tube tip of the cover 40. For this reason, a flow path through which the insulating oil 3 flows is formed at the tube tip of the cover to which the radiator 50 is attached.

遮蔽部６０は、カバー４０の外面を覆うように設けられている。遮蔽部６０は、Ｘ線を透過させにくい物質として、例えばＰｂ（鉛）で形成されている。遮蔽部６０は、Ｘ線を遮蔽することができる。遮蔽部６０は、カバー４０の外面に設けられ、Ｘ線を外部へ出力可能な開口部６１を有している。開口部６１は、Ｘ線が放出される正規の方向に形成されている。   The shielding part 60 is provided so as to cover the outer surface of the cover 40. The shielding part 60 is made of, for example, Pb (lead) as a substance that hardly transmits X-rays. The shielding unit 60 can shield X-rays. The shielding part 60 is provided on the outer surface of the cover 40 and has an opening 61 capable of outputting X-rays to the outside. The opening 61 is formed in a normal direction in which X-rays are emitted.

筐体２は、陰極１０及びターゲット層２２と対向した付近にＸ線を透過させるＸ線放射窓２ａを有している。筐体２内部には固定陽極型Ｘ線管１が収容されている他、絶縁油３が充填されている。絶縁油３は、真空外囲器３０及びカバー４０間の間隙を含んで筐体２内部に充填されている。   The housing 2 has an X-ray emission window 2 a that transmits X-rays in the vicinity of the cathode 2 and the target layer 22. The housing 2 contains a fixed anode X-ray tube 1 and is filled with insulating oil 3. The insulating oil 3 is filled in the housing 2 including the gap between the vacuum envelope 30 and the cover 40.

絶縁油３は、筐体２と、図示しない冷却器との間で循環され、冷却器で冷却される。また、図示しないが、冷却された絶縁油３は、ラジエータ５０に吐出される他、真空外囲器３０及びカバー４０間の間隙を流れることになる。   The insulating oil 3 is circulated between the housing 2 and a cooler (not shown) and cooled by the cooler. Although not shown, the cooled insulating oil 3 is discharged to the radiator 50 and flows through the gap between the vacuum envelope 30 and the cover 40.

上記固定陽極型Ｘ線管装置の動作状態において、陰極１０に負の電圧が印加され、陽極ターゲット２０に正の電圧が印加されることにより、陰極及び陽極ターゲット間に電位差が生じる。このため、陰極１０は、電子を放出すると、この電子は、加速され、ターゲット層２２に衝突される。これにより、ターゲット層２２は、電子と衝突するときにＸ線を放出し、放出されたＸ線はＸ線放射窓２ａを介して筐体２外部に放出される。   In the operating state of the fixed anode X-ray tube apparatus, a negative voltage is applied to the cathode 10 and a positive voltage is applied to the anode target 20, thereby generating a potential difference between the cathode and the anode target. Therefore, when the cathode 10 emits electrons, the electrons are accelerated and collide with the target layer 22. Thereby, the target layer 22 emits X-rays when colliding with electrons, and the emitted X-rays are emitted to the outside of the housing 2 through the X-ray emission window 2a.

以上のように構成された固定陽極型Ｘ線管装置によれば、ラジエータ５０は、陽極ターゲット２０の熱が伝導されるように設けられ、真空外囲器３０及びカバー４０間の間隙を保持してこれら真空外囲器及びカバーを支持している。真空外囲器３０及びカバー４０間の間隙に、固定陽極型Ｘ線管１を形成する部材は存在しない。   According to the fixed anode X-ray tube apparatus configured as described above, the radiator 50 is provided so that the heat of the anode target 20 is conducted, and maintains a gap between the vacuum envelope 30 and the cover 40. These vacuum envelopes and covers are supported. There is no member forming the fixed anode X-ray tube 1 in the gap between the vacuum envelope 30 and the cover 40.

真空外囲器３０及びカバー４０間における絶縁油３の対流を向上させることができるため真空外囲器の冷却効率を向上させることができ、真空外囲器及びカバー間の絶縁油の温度の上昇を抑制することができる。ラジエータ５０は、絶縁油３により冷却されるため、陽極ターゲット２０の熱を放出することができる。真空外囲器３０及びカバー４０間の間隙に固定陽極型Ｘ線管１を形成する部材が存在した場合に比べ、熱の放出特性の向上した固定陽極型Ｘ線管１を得ることができる。   Since the convection of the insulating oil 3 between the vacuum envelope 30 and the cover 40 can be improved, the cooling efficiency of the vacuum envelope can be improved, and the temperature of the insulating oil between the vacuum envelope and the cover is increased. Can be suppressed. Since the radiator 50 is cooled by the insulating oil 3, the heat of the anode target 20 can be released. Compared to the case where a member for forming the fixed anode X-ray tube 1 exists in the gap between the vacuum envelope 30 and the cover 40, the fixed anode X-ray tube 1 having improved heat release characteristics can be obtained.

上記したことから、真空外囲器３０及びカバー４０間の絶縁油３の温度の上昇を抑制することができるため、耐電圧等に生じる悪影響を抑制することができる。例えば、真空外囲器３０及びカバー４０間に生じる恐れのある放電を抑制することができる。   Since it was mentioned above, since the raise of the temperature of the insulating oil 3 between the vacuum envelope 30 and the cover 40 can be suppressed, the bad influence which arises in a withstand voltage etc. can be suppressed. For example, discharge that may occur between the vacuum envelope 30 and the cover 40 can be suppressed.

真空外囲器３０及びカバー４０を接合するために、真空外囲器及びカバー間に複数の接合部を設ける必要はない。このため、真空外囲器３０及びカバー４０の接合に用いる製造部品の分、製造コストを抑制することができる。また、接合部を用いて真空外囲器３０及びカバー４０を接合した場合にかかる接合時間の分、製造時間を短縮することができる。上記接合時間としては、真空外囲器３０及びカバー４０の位置出しの手間と、真空外囲器及び接合部間の接着が安定するまでの時間と、カバー及び接合部間の接着が安定するまでの時間等が挙げられる。また、接合時間の他、分解時においては、接合部を剥がす手間を省くことができる。
遮蔽部６０を設けることにより、不要なＸ線を遮蔽し漏洩Ｘ線を低減させることができる。 In order to join the vacuum envelope 30 and the cover 40, it is not necessary to provide a plurality of joints between the vacuum envelope and the cover. For this reason, the manufacturing cost can be suppressed by the amount of manufacturing parts used for joining the vacuum envelope 30 and the cover 40. Further, the manufacturing time can be reduced by the amount of time required for joining the vacuum envelope 30 and the cover 40 using the joint. As the above-mentioned joining time, it takes time to position the vacuum envelope 30 and the cover 40, a time until the adhesion between the vacuum envelope and the joint is stabilized, and a time until the adhesion between the cover and the joint is stabilized. For example. Further, in addition to the joining time, it is possible to save the trouble of peeling off the joined portion during decomposition.
By providing the shielding part 60, unnecessary X-rays can be shielded and leakage X-rays can be reduced.

なお、この発明は、上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、図３及び図４に示すように、ラジエータ５０にフィン５１が付けられていても良い。これにより、ラジエータ５０の表面積を大きくして冷却効率をさらに向上させることができる。また、図５及び図６に示すように、ラジエータ５０は、フィン５１が付けられたキャップ５２を有していても良い。これにより、ラジエータ５０の表面積を大きくして冷却効率を向上させても良い。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified within the scope of the present invention. For example, as shown in FIGS. 3 and 4, fins 51 may be attached to the radiator 50. As a result, the surface area of the radiator 50 can be increased to further improve the cooling efficiency. Further, as shown in FIGS. 5 and 6, the radiator 50 may have a cap 52 to which a fin 51 is attached. Thereby, the surface area of the radiator 50 may be increased to improve the cooling efficiency.

この発明の実施の形態に係る固定陽極型Ｘ線管装置を示す断面図。Sectional drawing which shows the fixed anode type | mold X-ray tube apparatus which concerns on embodiment of this invention. 図１に示した固定陽極型Ｘ線管を示す平面図。The top view which shows the fixed anode type | mold X-ray tube shown in FIG. 上記固定陽極型Ｘ線管のラジエータの変形例を概略的に示す断面図。Sectional drawing which shows schematically the modification of the radiator of the said fixed anode type X-ray tube. 図３に示した固定陽極型Ｘ線管を示す平面図。FIG. 4 is a plan view showing the fixed anode X-ray tube shown in FIG. 3. 上記固定陽極型Ｘ線管のラジエータの他の変形例を概略的に示す断面図。Sectional drawing which shows schematically the other modification of the radiator of the said fixed anode type X-ray tube. 図５に示した固定陽極型Ｘ線管を示す平面図。FIG. 6 is a plan view showing the fixed anode X-ray tube shown in FIG. 5.

符号の説明Explanation of symbols

１…固定陽極型Ｘ線管、２…筐体、３…絶縁油、１０…陰極、２０…陽極ターゲット、２１…陽極、２２…ターゲット層、３０…真空外囲器、４０…カバー、５０…ラジエータ、６０…遮蔽部、６１…開口部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Fixed anode type X-ray tube, 2 ... Housing, 3 ... Insulating oil, 10 ... Cathode, 20 ... Anode target, 21 ... Anode, 22 ... Target layer, 30 ... Vacuum envelope, 40 ... Cover, 50 ... Radiator, 60 ... shielding part, 61 ... opening.

Claims (7)

電子を放出する陰極と、
前記陰極に対向配置され、前記電子が衝突されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットと、
前記陰極及び陽極ターゲットを収容した真空外囲器と、
前記真空外囲器を囲むとともに前記真空外囲器に間隔を置いて設けられた絶縁性のカバーと、
前記陽極ターゲットの熱が伝導されるように設けられ、前記真空外囲器及びカバー間の間隙を保持して前記真空外囲器及びカバーを支持するラジエータと、を備えているＸ線管。 A cathode that emits electrons;
An anode target disposed opposite to the cathode and emitting X-rays when the electrons collide;
A vacuum envelope containing the cathode and anode target;
An insulating cover surrounding the vacuum envelope and spaced from the vacuum envelope;
An X-ray tube, which is provided so as to conduct heat of the anode target, and includes a radiator that supports the vacuum envelope and the cover while maintaining a gap between the vacuum envelope and the cover. 前記カバーの外面に設けられ、前記Ｘ線を外部へ出力可能な開口部を有しているとともに前記Ｘ線を遮蔽する遮蔽部を備えている請求項１に記載のＸ線管。   2. The X-ray tube according to claim 1, further comprising an opening provided on an outer surface of the cover, capable of outputting the X-ray to the outside, and a shielding portion that shields the X-ray. 前記陽極ターゲットは、前記陽極ターゲットの一端部が前記真空外囲器の外側に露出され、前記真空外囲器に固定されているとともに前記ラジエータに取付けられ、
前記ラジエータは、前記陽極ターゲットを介して前記真空外囲器を支持している請求項１に記載のＸ線管。 The anode target has one end of the anode target exposed to the outside of the vacuum envelope, and is fixed to the vacuum envelope and attached to the radiator.
The X-ray tube according to claim 1, wherein the radiator supports the vacuum envelope via the anode target. 電子を放出する陰極と、前記陰極に対向配置され、前記電子が衝突されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットと、前記陰極及び陽極ターゲットを収容した真空外囲器と、前記真空外囲器を囲むとともに前記真空外囲器に間隔を置いて設けられた絶縁性のカバーと、前記陽極ターゲットの熱が伝導されるように設けられ、前記真空外囲器及びカバー間の間隙を保持して前記真空外囲器及びカバーを支持するラジエータと、を有したＸ線管と、
前記Ｘ線管を収容した筐体と、
前記筐体内部に充填された冷却液と、を備えているＸ線管装置。 A cathode that emits electrons, an anode target that is disposed opposite to the cathode and emits X-rays when the electrons collide, a vacuum envelope containing the cathode and the anode target, and the vacuum envelope And an insulating cover provided at a distance from the vacuum envelope, and provided to conduct heat of the anode target, and maintain a gap between the vacuum envelope and the cover. An X-ray tube having a radiator that supports the vacuum envelope and the cover;
A housing containing the X-ray tube;
An X-ray tube apparatus comprising: a cooling liquid filled in the housing. 前記冷却液は絶縁油であり、
前記絶縁油は、前記真空外囲器及びカバー間の間隙を含んで前記筐体内部に充填されている請求項４に記載のＸ線管装置。 The coolant is insulating oil;
The X-ray tube apparatus according to claim 4, wherein the insulating oil is filled in the housing including a gap between the vacuum envelope and the cover. 前記カバーの外面に設けられ、前記Ｘ線を外部へ出力可能な開口部を有しているとともに前記Ｘ線を遮蔽する遮蔽部を備えている請求項４に記載のＸ線管装置。   The X-ray tube apparatus according to claim 4, further comprising an opening provided on an outer surface of the cover, capable of outputting the X-ray to the outside, and a shielding portion that shields the X-ray. 前記陽極ターゲットは、前記陽極ターゲットの一端部が前記真空外囲器の外側に露出され、前記真空外囲器に固定されているとともに前記ラジエータに取付けられ、
前記ラジエータは、前記陽極ターゲットを介して前記真空外囲器を支持している請求項４に記載のＸ線管装置。 The anode target has one end of the anode target exposed to the outside of the vacuum envelope, and is fixed to the vacuum envelope and attached to the radiator.
The X-ray tube apparatus according to claim 4, wherein the radiator supports the vacuum envelope via the anode target.
JP2006071275A 2006-03-15 2006-03-15 X-ray tube and x-ray tube device Pending JP2007250328A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006071275A JP2007250328A (en) 2006-03-15 2006-03-15 X-ray tube and x-ray tube device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006071275A JP2007250328A (en) 2006-03-15 2006-03-15 X-ray tube and x-ray tube device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007250328A true JP2007250328A (en) 2007-09-27

Family

ID=38594386

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006071275A Pending JP2007250328A (en) 2006-03-15 2006-03-15 X-ray tube and x-ray tube device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007250328A (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013020791A (en) * 2011-07-11 2013-01-31 Canon Inc Radiation generating device and radiography device using it
JP2013033681A (en) * 2011-08-03 2013-02-14 Canon Inc Radiation generation apparatus and radiation photography apparatus using the same
KR20130061067A (en) * 2011-11-30 2013-06-10 다카사고네츠가쿠고오교 가부시키가이샤 Field emission x-ray generating apparatus
JP2015015145A (en) * 2013-07-04 2015-01-22 アンリツ産機システム株式会社 X-ray generator and x-ray inspection device
JP2015185236A (en) * 2014-03-20 2015-10-22 株式会社東芝 Fixed-anode x-ray tube device and manufacturing method of the same
WO2018092382A1 (en) * 2016-11-17 2018-05-24 株式会社Ｌｉｆｕｌｌ Information processing device, information processing method, and program

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS512172U (en) * 1974-06-21 1976-01-09
JPS58182356U (en) * 1982-05-31 1983-12-05 株式会社日立製作所 X-ray tube equipment
JPH10214582A (en) * 1997-01-30 1998-08-11 Toshiba Electron Eng Corp Cylinder for x-ray tube apparatus and manufacture thereof

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS512172U (en) * 1974-06-21 1976-01-09
JPS58182356U (en) * 1982-05-31 1983-12-05 株式会社日立製作所 X-ray tube equipment
JPH10214582A (en) * 1997-01-30 1998-08-11 Toshiba Electron Eng Corp Cylinder for x-ray tube apparatus and manufacture thereof

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013020791A (en) * 2011-07-11 2013-01-31 Canon Inc Radiation generating device and radiography device using it
US9036788B2 (en) 2011-07-11 2015-05-19 Canon Kabushiki Kaisha Radiation generating apparatus and radiation imaging apparatus
JP2013033681A (en) * 2011-08-03 2013-02-14 Canon Inc Radiation generation apparatus and radiation photography apparatus using the same
KR20130061067A (en) * 2011-11-30 2013-06-10 다카사고네츠가쿠고오교 가부시키가이샤 Field emission x-ray generating apparatus
KR101970834B1 (en) * 2011-11-30 2019-04-19 다카사고네츠가쿠고오교 가부시키가이샤 Field emission x-ray generating apparatus
JP2015015145A (en) * 2013-07-04 2015-01-22 アンリツ産機システム株式会社 X-ray generator and x-ray inspection device
JP2015185236A (en) * 2014-03-20 2015-10-22 株式会社東芝 Fixed-anode x-ray tube device and manufacturing method of the same
WO2018092382A1 (en) * 2016-11-17 2018-05-24 株式会社Ｌｉｆｕｌｌ Information processing device, information processing method, and program

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5455880B2 (en) Radiation generating tube, radiation generating apparatus and radiographic apparatus
JP4707781B2 (en) X-ray tube
US5802140A (en) X-ray generating apparatus with integral housing
JP5322888B2 (en) X-ray tube
JP4889979B2 (en) X-ray source
JP5730497B2 (en) X-ray generator
JP2007250328A (en) X-ray tube and x-ray tube device
JP2009245806A (en) X-ray tube and x-ray generating device equipped therewith
JP5911283B2 (en) Radiation generator
TWI798392B (en) X-ray generating device
JP2007095667A (en) X-ray tube
KR102095268B1 (en) Field Emission X-Ray Source Device
JP5618473B2 (en) X-ray tube device
WO2019198339A1 (en) X-ray generator
JP5478873B2 (en) X-ray source
JP2007042434A (en) X-ray tube
CN210123714U (en) X-ray tube and medical imaging apparatus
JP2007157640A (en) Rotating anode x-ray tube, and x-ray tube device
JP7270817B2 (en) X-ray generator
US11728121B2 (en) X-ray module
CN109671605B (en) Fixed anode type X-ray tube
WO2018194020A1 (en) X-ray generation device
CN114828368A (en) X-ray module
JP2009176654A (en) X-ray tube device
JPH06131998A (en) X-ray device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081121

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110201

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110322

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110726