JP2009245806A - X-ray tube and x-ray generating device equipped therewith - Google Patents

X-ray tube and x-ray generating device equipped therewith Download PDF

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JP2009245806A
JP2009245806A JP2008092159A JP2008092159A JP2009245806A JP 2009245806 A JP2009245806 A JP 2009245806A JP 2008092159 A JP2008092159 A JP 2008092159A JP 2008092159 A JP2008092159 A JP 2008092159A JP 2009245806 A JP2009245806 A JP 2009245806A
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Takatoshi Yoshiyama
貴俊 吉山
Hideaki Iketani
秀明 池谷
Yoshio Natsume
好夫 夏目
Haruki Sawada
晴基 澤田
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Hamamatsu Photonics KK
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Hamamatsu Photonics KK
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a X-ray tube with an electric insulation part extremely hard to break by making electric discharge to the electric insulation part extremely hard to cause. <P>SOLUTION: An electric resistance film 36 electrically connected to an enclosure body (a conductive part) 4 of a casing 2 of the X-ray tube 1 is applied to an outer face 10c of a bulb (the electric insulation part) 10 to stably suppress the breakage of the bulb 10 due to electric discharge. The electric resistance film 36 has one end electrically connected to the enclosure body 4 and the other end located inside the outer face 10c of the bulb 10. Thus, the insulating property of the bulb 10 is held even when the electric resistance film 36 is fixed thereto. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、導電体と絶縁体とからなる真空筐体を有するＸ線管と、このＸ線管を具備したＸ線発生装置に関するものである。   The present invention relates to an X-ray tube having a vacuum casing made of a conductor and an insulator, and an X-ray generator provided with the X-ray tube.

従来、このような分野の技術として、特開平７−２９６７５４号公報がある。この公報に記載されたＸ線管は、ガラス製真空外囲器の一方端に固定された陽極端子と、他方端に固定された陰極側のコロナリングとを備えている。ガラス製真空外囲器の開放端部には封止用金属リングの一端が融着され、金属リングの他端は、電極支持用金属に溶接されている。そして、真空外囲器と封止用金属リングとの融着部分には、電子が帯電し易く、局所的な電撃を起こして、ガラス製の真空外囲器にクラック等の破損が引き起こされる。
このような事態を避けるために、この融着部分を覆うようにコロナリングが配置され、このコロナリングは、金属リングを外側から覆うようなキャップ形状をなしている。このようなキャップ状のコロナリングは、組立てを煩雑にするので、他の例として、封止用金属リングの先端にフランジ状のコロナリング部一体成形して、このコロナリング部によって、真空外囲器と封止用金属リングとの融着部分を包囲してもよいと記載されている。 Conventionally, there is JP-A-7-296754 as a technique in such a field. The X-ray tube described in this publication includes an anode terminal fixed to one end of a glass vacuum envelope and a cathode-side corona ring fixed to the other end. One end of a sealing metal ring is fused to the open end of the glass vacuum envelope, and the other end of the metal ring is welded to the electrode supporting metal. Electrons are easily charged at the fused portion between the vacuum envelope and the metal ring for sealing, causing local electric shock, and causing damage such as cracks in the glass vacuum envelope.
In order to avoid such a situation, a corona ring is disposed so as to cover the fused portion, and the corona ring has a cap shape that covers the metal ring from the outside. Since such a cap-shaped corona ring complicates the assembly, as another example, a flange-shaped corona ring part is integrally formed at the tip of a sealing metal ring, and this corona ring part allows vacuum enclosure. It is described that the fusion part of the container and the metal ring for sealing may be surrounded.

特開平７−２９６７５４号公報JP-A-7-296754

一方で、真空外囲器とコロナリング部との間においても、電界の乱れによる放電が発生する可能性がある。そのため、コロナリング部は、ガラス製の真空外囲器の外周面に対して均一な距離をもって隔離している必要があるが、コロナリング部そのものの成形精度や真空外囲器への取り付け精度の問題、及び外部衝撃等によるコロナリング部の変形といった問題があるため、放電による真空外囲器の破損を安定して抑制するのは困難であった。   On the other hand, a discharge due to electric field disturbance may occur between the vacuum envelope and the corona ring part. Therefore, the corona ring part needs to be separated from the outer peripheral surface of the glass vacuum envelope by a uniform distance. However, the accuracy of the corona ring part itself and the mounting accuracy to the vacuum envelope are Since there are problems and deformation of the corona ring due to external impacts, it is difficult to stably suppress the damage of the vacuum envelope due to electric discharge.

本発明は、放電による電気絶縁部の破損を安定して抑制したＸ線管と、このようなＸ線管を具備したＸ線発生装置を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the X-ray tube which suppressed the damage of the electrical insulation part by discharge stably, and the X-ray generator provided with such an X-ray tube.

本発明に係るＸ線管は、筐体によって支持された電圧印加部を有し、電子銃から出射させた電子がターゲットに入射することで発生したＸ線を、筐体に設けられているＸ線出射窓から出射させるように構成したＸ線管において、
筐体は、Ｘ線出射窓側に位置する導電部と、導電部に固定されると共に電圧印加部側に位置する電気絶縁部とを有し、この電気絶縁部の外面には電気抵抗膜が固着され、電気抵抗膜の一端部は、導電部に電気的に接続され、電気抵抗膜の他端部は、電気絶縁部の外面内に位置していることを特徴とする。 An X-ray tube according to the present invention has a voltage application unit supported by a casing, and X-rays generated when electrons emitted from an electron gun enter a target are provided on the casing. In the X-ray tube configured to emit from the radiation exit window,
The housing has a conductive portion located on the X-ray exit window side and an electrical insulating portion fixed to the conductive portion and located on the voltage applying portion side, and an electric resistance film is fixed to the outer surface of the electrical insulating portion. The one end portion of the electric resistance film is electrically connected to the conductive portion, and the other end portion of the electric resistance film is located within the outer surface of the electric insulating portion.

このＸ線管にあっては、電気絶縁部の外面に固着された電気抵抗膜が導電部と電気的に接続することで、放電による電気絶縁部の破損を安定して抑制することができる。また、電気抵抗膜の一端部は、導電部に電気的に接続されているが、電気抵抗膜の他端部は、電気絶縁部の外面内に位置しているために、電気抵抗膜を固着しても、電気絶縁部の絶縁性を保持することができる。   In this X-ray tube, the electrical resistance film fixed to the outer surface of the electrical insulating portion is electrically connected to the conductive portion, whereby damage to the electrical insulating portion due to discharge can be stably suppressed. In addition, one end portion of the electric resistance film is electrically connected to the conductive portion, but the other end portion of the electric resistance film is located within the outer surface of the electric insulating portion, and thus the electric resistance film is fixed. Even in this case, it is possible to maintain the insulation of the electrical insulating portion.

また、電気抵抗膜の抵抗値は、導電部の抵抗値より大きく、電気絶縁部の抵抗値より小さいと好適である。
このような構成を採用すると、放電による電気絶縁部の破損の安定した抑制と電気絶縁部による絶縁性の保持をバランスよく両立することができる。 The resistance value of the electric resistance film is preferably larger than the resistance value of the conductive portion and smaller than the resistance value of the electric insulating portion.
When such a configuration is adopted, stable suppression of damage to the electrical insulating portion due to electric discharge and retention of insulation by the electrical insulating portion can be achieved in a balanced manner.

また、電気絶縁部は、導電部に固定される円筒部と、円筒部の端部から内側に屈曲して延びて電圧印加部を支持する縮径部とを有し、電気抵抗膜は、円筒部の外面に固着されていると好適である。
このように、電圧印加部に近い場所にある縮径部に電気抵抗膜を固着させていないので、電気絶縁部の絶縁性を確実に保持することができ、電圧印加部と電気抵抗膜との間の電位差に起因したリーク電流を抑制することで、印加電圧の低下を抑制することができる。 The electrical insulating part has a cylindrical part fixed to the conductive part, and a reduced diameter part that bends and extends inward from the end of the cylindrical part to support the voltage application part. It is preferable that it is fixed to the outer surface of the part.
As described above, since the electric resistance film is not fixed to the reduced diameter portion near the voltage application portion, the insulating property of the electric insulation portion can be reliably maintained, and the voltage application portion and the electric resistance film can be maintained. By suppressing the leakage current due to the potential difference between them, it is possible to suppress the decrease in the applied voltage.

また、円筒部の管軸方向に延在して先端側にターゲットが保持されたターゲット支持体の基端側と縮径部とを連結する連結部材と、連結部材と縮径部との接合部分を外方で包囲すると共に、ターゲット支持体に固定されたカバー電極とを備え、電気抵抗膜の他端は、管軸に対して直交する方向から見て、カバー電極とターゲット支持体との境界部分を越えて位置していると好適である。
このように、電気抵抗膜が、形状変化部であるカバー電極とターゲット支持体との境界部分を覆うように設けられていると、放電による電気絶縁部の破損を安定して抑制することができる。 Further, a connecting member that connects the base end side of the target support body, which extends in the tube axis direction of the cylindrical portion and holds the target on the distal end side, and the reduced diameter portion, and a joint portion between the connecting member and the reduced diameter portion And a cover electrode fixed to the target support, and the other end of the electric resistance film is a boundary between the cover electrode and the target support when viewed from a direction orthogonal to the tube axis. It is preferred that it is located beyond the part.
As described above, when the electric resistance film is provided so as to cover the boundary portion between the cover electrode, which is the shape changing portion, and the target support, damage to the electric insulating portion due to discharge can be stably suppressed. .

また、電気絶縁部の外面には、電気抵抗膜を固着する部分に粗面加工が施されていると好適である。
これは、電気絶縁部の外面に電気抵抗膜を固着させ易くし、電気抵抗膜の剥離を防止して、放電による電気絶縁部の破損の安定した抑制を可能にしている。 Further, it is preferable that the outer surface of the electrical insulating portion is subjected to a rough surface processing on a portion to which the electric resistance film is fixed.
This facilitates fixing of the electric resistance film to the outer surface of the electric insulating part, prevents peeling of the electric resistance film, and enables stable suppression of breakage of the electric insulating part due to discharge.

本発明に係るＸ線発生装置は、筐体によって支持された電圧印加部を有し、電子銃から出射させた電子がターゲットに入射することで発生したＸ線を、筐体に設けられているＸ線出射窓から出射させるように構成し、筐体は、Ｘ線出射窓側に位置する導電部と、導電部に固定されると共に電圧印加部側に位置する電気絶縁部とを有し、この電気絶縁部の外面には電気抵抗膜が固着され、電気抵抗膜の一端部は、導電部に電気的に接続され、電気抵抗膜の他端部は、電気絶縁部の外面内に位置しているＸ線管と、
Ｘ線管の電気絶縁部を包囲する電気絶縁性の液体と、
Ｘ線管に電圧を印加する電源部と、を備えたことを特徴とする。 An X-ray generator according to the present invention has a voltage application unit supported by a casing, and X-rays generated when electrons emitted from an electron gun enter a target are provided in the casing. The casing is configured to emit from the X-ray exit window, and the housing includes a conductive portion located on the X-ray exit window side, and an electric insulating portion fixed to the conductive portion and located on the voltage application portion side. An electric resistance film is fixed to the outer surface of the electric insulating portion, one end portion of the electric resistance film is electrically connected to the conductive portion, and the other end portion of the electric resistance film is located within the outer surface of the electric insulating portion. X-ray tube
An electrically insulating liquid surrounding the electrically insulating part of the X-ray tube;
And a power supply unit for applying a voltage to the X-ray tube.

本発明によれば、放電による電気絶縁部の破損の安定した抑制を可能としたＸ線源を実現することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the X-ray source which enabled stable suppression of the failure | damage of the electrical insulation part by discharge is realizable.

以下、図面を参照しつつ本発明に係るＸ線管及びＸ線発生装置の好適な実施形態について詳細に説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of an X-ray tube and an X-ray generator according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１〜図３に示すように、Ｘ線管１は、例えばＸ線発生装置のＸ線発生源として利用され、内部を真空に保持する真空外囲器としての筐体２と、電子発生ユニット（電子銃）３とターゲットＴとを備える。電子発生ユニット３は、多孔質タングステン等にＢａＯ等を含浸させたカソードＣを有する。また、ターゲットＴは、タングステン等の高融点金属材料からなる板状部材である。これら電子発生ユニット３とターゲットＴとは、筐体２の内部に収容されており、電子発生ユニット３から出射された電子がターゲットＴに入射するとＸ線が発生する。   As shown in FIGS. 1 to 3, an X-ray tube 1 is used as, for example, an X-ray generation source of an X-ray generator, and a housing 2 as a vacuum envelope that holds the inside in a vacuum, and an electron generation unit (Electron gun) 3 and a target T are provided. The electron generating unit 3 has a cathode C in which porous tungsten or the like is impregnated with BaO or the like. The target T is a plate-like member made of a refractory metal material such as tungsten. The electron generating unit 3 and the target T are accommodated in the housing 2, and X-rays are generated when electrons emitted from the electron generating unit 3 enter the target T.

筐体２は、第１の筐体部をなすバルブ(電気絶縁部)１０と、第２の筐体部をなす外囲器本体(導電部)４とで構成されている。外囲器本体４は、陽極をなすターゲットＴが収容される金属製の胴部５と、陰極をなす電子発生ユニット３が収容される電子銃収容部６とからなる。胴部５及び電子銃収容部６は、導電性金属等によって筒状に形成されており、胴部５は内部空間５ａを有する。また、胴部５の外周には、図示しないＸ線発生装置の筐体等に固定されるフランジ部５ｂが設けられている。   The housing 2 includes a valve (electrical insulating portion) 10 that forms a first housing portion, and an envelope body (conductive portion) 4 that forms a second housing portion. The envelope body 4 includes a metal barrel portion 5 in which a target T serving as an anode is housed, and an electron gun housing portion 6 in which an electron generating unit 3 serving as a cathode is housed. The body part 5 and the electron gun housing part 6 are formed in a cylindrical shape from a conductive metal or the like, and the body part 5 has an internal space 5a. Further, on the outer periphery of the body portion 5, a flange portion 5 b that is fixed to a housing or the like of an X-ray generator (not shown) is provided.

そして、胴部５の下部である一端側に設けられた開口には、Ｂｅ材からなるからなるＸ線出射窓７ａを有する蓋板７が固定されており、この蓋板７によって内部空間５ａの一端側が閉鎖されている。一方、電子銃収容部６は、円筒状に形成されており、胴部５の一端側の側部に固定されている。胴部５の中心軸線と電子銃収容部６の中心軸線とは略直交し、電子銃収容部６の内部は、一端側に設けられたアパーチャ６ａを介して、胴部５の内部空間５ａと連通する。   A lid plate 7 having an X-ray emission window 7a made of Be material is fixed to an opening provided on one end side which is a lower portion of the body portion 5, and the lid plate 7 allows the internal space 5a to be formed. One end is closed. On the other hand, the electron gun housing portion 6 is formed in a cylindrical shape and is fixed to a side portion on one end side of the body portion 5. The central axis of the trunk portion 5 and the central axis of the electron gun housing portion 6 are substantially orthogonal to each other, and the inside of the electron gun housing portion 6 is connected to the internal space 5a of the trunk portion 5 via an aperture 6a provided on one end side. Communicate.

電子銃収容部６内に収容される電子発生ユニット３について説明する。電子発生ユニット３は、カソードＣと、ヒータ３０と、第１グリッド電極３１と、第２グリッド電極３２とを備えている。これらカソードＣ、ヒータ３０、第１グリッド電極３１および第２グリッド電極３２は、それぞれ平行に延びる複数（本実施形態では、８本）のピン３３ａ〜３３ｈを介して、ステム基板３４に取り付けられている。   The electron generating unit 3 accommodated in the electron gun accommodating portion 6 will be described. The electron generation unit 3 includes a cathode C, a heater 30, a first grid electrode 31, and a second grid electrode 32. The cathode C, the heater 30, the first grid electrode 31, and the second grid electrode 32 are attached to the stem substrate 34 via a plurality of (eight in the present embodiment) pins 33a to 33h that extend in parallel. Yes.

具体的に、カソードＣは、ステム基板３４に固定されたピン３３ａに取り付けられており、このピン３３ａを介して外部から給電される。同様に、ヒータ３０は、ステム基板３４に固定されたピン３３ｂ，３３ｃに取り付けられており、これらピン３３ｂ，３３ｃを介して外部から給電される。   Specifically, the cathode C is attached to a pin 33a fixed to the stem substrate 34, and power is supplied from the outside through the pin 33a. Similarly, the heater 30 is attached to pins 33b and 33c fixed to the stem substrate 34, and power is supplied from the outside through these pins 33b and 33c.

更に、第１グリッド電極３１は、ステム基板３４に固定されたピン３３ｄ，３３ｅ，３３ｆ，３３ｇに取り付けられており、これらピン３３ｄ〜３３ｇを介して外部から給電される。また、第２グリッド電極３２は、ステム基板３４に固定されたピン３３ｈに取り付けられており、このピン３３ｈを介して外部から給電される。   Further, the first grid electrode 31 is attached to pins 33d, 33e, 33f, and 33g fixed to the stem substrate 34, and power is supplied from the outside through these pins 33d to 33g. The second grid electrode 32 is attached to a pin 33h fixed to the stem substrate 34, and power is supplied from the outside through the pin 33h.

このような電子発生ユニット３は、カソードＣ等をステム基板３４に一体化させた状態で、一端側のアパーチャ６ａと反対側の他端側の開口から電子銃収容部６内に挿入され、電子発生ユニット３の装填後、ステム基板３４は、電子銃収容部６の他端側の開口を塞ぐように固定される。   Such an electron generating unit 3 is inserted into the electron gun housing portion 6 through the opening on the other end side opposite to the aperture 6a on one end side, with the cathode C and the like integrated with the stem substrate 34, After the generation unit 3 is loaded, the stem substrate 34 is fixed so as to close the opening on the other end side of the electron gun housing portion 6.

一方、筐体２の一部を構成するバルブ１０は、ガラスやセラミック等の絶縁体によって略筒状に形成され、胴部５の他端側に、その一端側が固定される円筒部１０Ａと、円筒部１０Ａの他端部から、円筒部１０Ａの管軸（中心軸）Ｌに向かって内側に屈曲して延びる縮径部１０Ｂとを有している。この縮径部１０Ｂは、円筒部１０Ａと同心をなす内筒部１０ａと、円筒部１０Ａの他端部と内筒部１０ａの他端部との間を連結するように円筒部１０Ａの管軸Ｌに向かって延びるドーナツ状の平板部１０ｂとからなる。また、円筒部１０Ａの一端部には、導電性の金属等からなるリング部材８が融着されている。そして、このリング部材８は、外囲器本体４の一部を構成する胴部５の他端側に溶接される。このように、バルブ１０は、リング部材８を介して外囲器本体４に固定されている。なお、リング部材８を介することなく、直接、外囲器本体４に固定されていてもよい。   On the other hand, the bulb 10 constituting a part of the housing 2 is formed in a substantially cylindrical shape by an insulator such as glass or ceramic, and a cylindrical portion 10A whose one end side is fixed to the other end side of the body portion 5; From the other end portion of the cylindrical portion 10A, a reduced diameter portion 10B that is bent and extends inward toward the tube axis (center axis) L of the cylindrical portion 10A. The reduced diameter portion 10B is a tube shaft of the cylindrical portion 10A so as to connect the inner cylinder portion 10a concentric with the cylindrical portion 10A and the other end portion of the cylindrical portion 10A and the other end portion of the inner cylinder portion 10a. It comprises a donut-shaped flat plate portion 10b extending toward L. A ring member 8 made of a conductive metal or the like is fused to one end of the cylindrical portion 10A. And this ring member 8 is welded to the other end side of the trunk | drum 5 which comprises a part of envelope body 4. As shown in FIG. Thus, the valve 10 is fixed to the envelope body 4 via the ring member 8. In addition, you may be directly fixed to the envelope main body 4 without using the ring member 8.

バルブ１０の内筒部１０ａには、ターゲットＴが先端に固定されたターゲット支持体１２を保持するための金属管(連結部材)１１が取り付けられる。金属管１１は、ターゲット支持体１２の基端側が圧入される円筒状のターゲット固定部１１ａと、ターゲット固定部１１ａの端部から円筒部１０Ａの管軸Ｌから遠ざかるように外方に突出する張出部１１ｂとからなる。   A metal tube (connecting member) 11 for holding a target support 12 having a target T fixed to the tip is attached to the inner cylinder portion 10 a of the valve 10. The metal tube 11 includes a cylindrical target fixing portion 11a into which the base end side of the target support 12 is press-fitted, and a tension projecting outward from the end portion of the target fixing portion 11a so as to be away from the tube axis L of the cylindrical portion 10A. It consists of the exit part 11b.

この張出部１１ｂの端部は、バルブ１０の内筒部１０ａの一端部に融着接合され、ターゲット支持体１２の基端側をターゲット固定部１１ａに固定した状態で、金属管１１のターゲット固定部１１ａ及びターゲット支持体１２の基端部１２ｂは、バルブ１０の他端部から外方に突出する。そして、ターゲット支持体１２の端面は、電源に接続され、例えば１００〜２００ｋＶといった高電圧が印加される電圧印加部１３をなしている。一方、外囲器本体４は接地電位とされており、その間の電圧差はバルブ１０の絶縁性（耐電圧能）によって保持されている。なお、金属管１１及びターゲット支持体１２は電気的に接続されているため、ターゲット支持体１２の端面のみならず、ターゲット固定部１１ａも含めて、電圧印加部１３としても良い。   The end portion of the protruding portion 11b is fusion bonded to one end portion of the inner cylinder portion 10a of the valve 10, and the target of the metal tube 11 is fixed with the base end side of the target support 12 fixed to the target fixing portion 11a. The fixed portion 11 a and the base end portion 12 b of the target support 12 protrude outward from the other end portion of the valve 10. And the end surface of the target support body 12 is connected to a power source, and forms a voltage application unit 13 to which a high voltage of, for example, 100 to 200 kV is applied. On the other hand, the envelope body 4 is set to the ground potential, and the voltage difference therebetween is held by the insulation (voltage resistance) of the valve 10. Since the metal tube 11 and the target support 12 are electrically connected, not only the end surface of the target support 12 but also the target fixing unit 11a may be used as the voltage application unit 13.

また、ターゲット支持体１２には、バルブ１０の円筒部１０Ａ内で、内筒部１０ａと金属管１１の張出部１１ｂとの融着部分(接合部分)を外方から包囲するカバー電極１４が溶接により固定されている。   Further, the target support 12 includes a cover electrode 14 that surrounds a fusion-bonded portion (joint portion) between the inner tube portion 10a and the overhang portion 11b of the metal tube 11 from the outside in the cylindrical portion 10A of the bulb 10. It is fixed by welding.

円筒部１０Ａの管軸Ｌ方向に延在するターゲット支持体１２は、銅材等により棒状に形成されており、ターゲット支持体１２の先端部には、電子発生ユニット３から遠ざかるように先端側に向かって傾斜する傾斜面１２ａが形成されている。ターゲットＴは、この傾斜面１２ａと略面一になるようにターゲット支持体１２の端面に埋設されている。   The target support 12 extending in the direction of the tube axis L of the cylindrical portion 10A is formed in a rod shape with a copper material or the like, and the tip of the target support 12 is located on the tip side so as to be away from the electron generating unit 3. An inclined surface 12a that is inclined toward the surface is formed. The target T is embedded in the end surface of the target support 12 so as to be substantially flush with the inclined surface 12a.

ターゲット支持体１２の基端側は、金属管１１のターゲット固定部１１ａに溶接されている。これにより、ターゲット支持体１２の中心軸線と、バルブ１０および胴部５の中心軸線とが略一致する。つまり、ターゲット支持体１２の中心軸線と胴部５の中心軸線とが管軸Ｌと略一致し、管軸Ｌと電子発生ユニット３からの電子の進行方向とが略直交する。   The base end side of the target support 12 is welded to the target fixing portion 11 a of the metal tube 11. As a result, the central axis of the target support 12 and the central axes of the valve 10 and the body portion 5 substantially coincide. In other words, the center axis of the target support 12 and the center axis of the body portion 5 substantially coincide with the tube axis L, and the tube axis L and the traveling direction of electrons from the electron generating unit 3 are substantially orthogonal.

従って、筐体２の内部において、電子発生ユニット（電子銃）３から出射された電子がターゲットＴに入射すると、ターゲットＴの表面から、Ｘ線が発生する。発生したＸ線は、胴部５の一端側の開口を覆う蓋板７に設けられたX→全角“Ｘ”？線出射窓７ａを介して外部に出射される。   Therefore, when electrons emitted from the electron generation unit (electron gun) 3 enter the target T inside the housing 2, X-rays are generated from the surface of the target T. The generated X-ray is X → full-width “X” provided on the cover plate 7 that covers the opening on one end side of the body 5? The light is emitted to the outside through the line emission window 7a.

さらに、筐体２のバルブ(電気絶縁部)１０の非真空側面である外面１０ｃには、円筒部１０Ａの周方向の全周に渡って延在する電気抵抗膜３６が固着されている。この電気抵抗膜３６は、所定の電気抵抗を有するコート材、例えば、導電性複酸化物ゾル(酸化亜鉛と五酸化アンチモンとを結合させた複酸化物のゾル)からなるコート材により形成されている。この電気抵抗膜３６は、数μｍ〜数１０μｍの厚さを有し、外面１０ｃに上に刷毛塗り等で形成し、固着することが可能である。   Furthermore, an electric resistance film 36 that extends over the entire circumference in the circumferential direction of the cylindrical portion 10 </ b> A is fixed to the outer surface 10 c that is a non-vacuum side surface of the valve (electrical insulating portion) 10 of the housing 2. The electric resistance film 36 is formed of a coating material having a predetermined electric resistance, for example, a coating material made of a conductive double oxide sol (a double oxide sol formed by combining zinc oxide and antimony pentoxide). Yes. The electric resistance film 36 has a thickness of several μm to several tens of μm, and can be formed on the outer surface 10c by brushing or the like and fixed thereto.

さらに、電気抵抗膜３６の一端部(下端部)３６ａは、リング部材８の外面に固着されることで、外囲器本体(導電部)４に電気的に接続され、電気抵抗膜３６の他端部(上端部)３６ｂは、バルブ１０の外面１０ｃ内すなわちバルブ１０の外面１０ｃからはみ出さないような位置にある。   Furthermore, one end (lower end) 36 a of the electric resistance film 36 is fixed to the outer surface of the ring member 8, thereby being electrically connected to the envelope body (conductive part) 4. The end portion (upper end portion) 36 b is located at a position that does not protrude from the outer surface 10 c of the valve 10, that is, from the outer surface 10 c of the valve 10.

より詳しくは、電気抵抗膜３６の一端部３６ａは、リング部材８と円筒部１０Ａの一端部との融着部を全周にわたって覆い隠すように、外面１０ｃからリング部材８の外面にわたって固着されている。なお、電気抵抗膜３６は外囲器本体４に電気的に接続されれば良いので、一端部３６ａは外囲器本体４まで延びて形成されていても良い。一方、電気抵抗膜３６の他端部３６ｂは、バルブ１０の円筒部１０Ａにおける外面１０ｃに留まり、縮径部１０Ｂには到らない。さらに細かくは、他端部３６ｂは、管軸Ｌ方向の円筒部１０Ａの全長（約１００ｍｍ）の約半分（約５５ｍｍ）に位置しており、管軸Ｌに対して直交する方向から見て、カバー電極１４とターゲット支持体１２との境界部分Ｓを越えた位置、つまり境界部分Ｓよりもバルブ１０の他端側に位置している。そして、電気抵抗膜３６は、一端部(下端部)３６ａから他端部(上端部)３６ｂにわたる領域の外面１０ｃの全周を連続的に覆うように形成されている。   More specifically, the one end portion 36a of the electric resistance film 36 is fixed from the outer surface 10c to the outer surface of the ring member 8 so as to cover the fusion portion between the ring member 8 and one end portion of the cylindrical portion 10A over the entire circumference. Yes. Since the electrical resistance film 36 only needs to be electrically connected to the envelope body 4, the one end 36 a may extend to the envelope body 4. On the other hand, the other end portion 36b of the electric resistance film 36 remains on the outer surface 10c of the cylindrical portion 10A of the valve 10 and does not reach the reduced diameter portion 10B. More precisely, the other end portion 36b is located about half (about 55 mm) of the entire length (about 100 mm) of the cylindrical portion 10A in the direction of the tube axis L, and viewed from a direction orthogonal to the tube axis L, The position is beyond the boundary portion S between the cover electrode 14 and the target support 12, that is, on the other end side of the bulb 10 with respect to the boundary portion S. The electric resistance film 36 is formed so as to continuously cover the entire circumference of the outer surface 10c in a region extending from one end (lower end) 36a to the other end (upper end) 36b.

この電気抵抗膜３６の抵抗値Ｒ１は、外囲器本体(導電部)４の抵抗値Ｒ２より大きく、バルブ(電気絶縁部)１０の抵抗値Ｒ３より小さい。すなわち、Ｒ２＜Ｒ１＜Ｒ３の関係を満たしている。例えば、外囲器本体４を形成するアルミニウムの電気抵抗率Ｒ２は２．６５×１０−８Ω・ｍであり、バルブ１０を形成するガラスの電気抵抗率Ｒ３は９．２×１０１２Ω・ｍであり、電気抵抗膜３６を構成するコート材の電気抵抗率Ｒ１は、８×１００Ω・ｍである。これは、電気抵抗率Ｒ１が電気抵抗率Ｒ３よりも大きい場合には、電気抵抗膜３６によるバルブ１０の破損抑制を得ることができず、電気抵抗率Ｒ１が電気抵抗率Ｒ２よりも小さい場合には、電気抵抗膜３６によるバルブ１０の破損抑制は得られる反面、バルブ１０が本来有している絶縁性（耐電圧能）を保持することができないためである。 The resistance value R 1 of the electric resistance film 36 is larger than the resistance value R 2 of the envelope body (conductive portion) 4 and smaller than the resistance value R 3 of the valve (electrical insulating portion) 10. That is, the relationship of R2 <R1 <R3 is satisfied. For example, the electrical resistivity R2 of aluminum forming the envelope body 4 is 2.65 × 10 −8 Ω · m, and the electrical resistivity R3 of glass forming the bulb 10 is 9.2 × 10 12 Ω · m. m, and the electrical resistivity R1 of the coating material constituting the electrical resistance film 36 is 8 × 10 0 Ω · m. This is because when the electric resistivity R1 is larger than the electric resistivity R3, it is impossible to obtain damage suppression of the valve 10 by the electric resistance film 36, and when the electric resistivity R1 is smaller than the electric resistivity R2. This is because the electric resistance film 36 can prevent the valve 10 from being damaged, but cannot maintain the insulation (voltage resistance) that the valve 10 originally has.

よって、このような構成を採用すると、放電によるバルブ１０の破損の安定した抑制とバルブ１０による絶縁性の保持をバランスよく両立することができる。なお、この電気抵抗膜３６は、バルブ１０の外面１０ｃ上に形成された状態での実抵抗が１５ＭΩ〜２０ＭΩとなっており、高抵抗導電膜又は導電性抵抗膜と言い換えることもできる。そして、電気抵抗膜３６を形成したＸ線管１を７本用意し、動作をさせたところ、放電によるバルブ１０の破損が発生したものはなかった。   Therefore, when such a configuration is adopted, stable suppression of breakage of the bulb 10 due to discharge and retention of insulation by the bulb 10 can be achieved in a balanced manner. The electric resistance film 36 has an actual resistance of 15 MΩ to 20 MΩ when formed on the outer surface 10 c of the bulb 10, and can be rephrased as a high resistance conductive film or a conductive resistance film. When seven X-ray tubes 1 on which the electric resistance film 36 was formed were prepared and operated, none of the bulbs 10 was damaged due to discharge.

このＸ線管１の筐体２の胴部(導電部)５に電気的に接続された電気抵抗膜３６をバルブ(電気絶縁部)１０の外面１０ｃに塗布することによって、バルブ１０への放電によるバルブ１０の破損を安定して抑制することができる。また、電気抵抗膜３６の一端部は、外囲器本体４に電気的に接続され、電気抵抗膜３６の他端部は、バルブ１０の外面１０ｃ内に位置しているために、電気抵抗膜３６を固着しても、バルブ１０の絶縁性を保持することができる。   By applying an electric resistance film 36 electrically connected to the body portion (conductive portion) 5 of the casing 2 of the X-ray tube 1 to the outer surface 10c of the bulb (electrical insulating portion) 10, discharge to the bulb 10 is performed. It is possible to stably suppress the breakage of the valve 10 due to the above. Further, since one end portion of the electric resistance film 36 is electrically connected to the envelope body 4 and the other end portion of the electric resistance film 36 is located in the outer surface 10c of the valve 10, the electric resistance film Even if 36 is fixed, the insulating property of the valve 10 can be maintained.

このように、電気抵抗膜３６をバルブ１０の外面１０ｃに形成することでバルブ１０の破損を安定して抑制することができるので、既存のＸ線管への適用が容易であり、使用するＸ線管の条件にあわせて電気抵抗膜３６の電気抵抗等を選択できるので、極めて汎用性が高い。加えて、電気抵抗膜３６をバルブ１０の外面１０ｃに密着しているとともに、電気抵抗膜３６の厚みに多少のムラがあっても問題ないために、従来のＸ線管に採用されているコロナリング部のような高い成形精度や取り付け精度が要求されず、またＸ線発生装置へのＸ線管の組み込み時にぶつける等の外部衝撃による変形がないので、性能のばらつきや変化を抑制することができる。   As described above, since the electric resistance film 36 is formed on the outer surface 10c of the bulb 10, the breakage of the bulb 10 can be stably suppressed, so that it can be easily applied to an existing X-ray tube and used. Since the electric resistance of the electric resistance film 36 can be selected according to the condition of the tube, it is extremely versatile. In addition, since the electric resistance film 36 is in close contact with the outer surface 10c of the bulb 10 and there is no problem even if there is some unevenness in the thickness of the electric resistance film 36, the corona used in the conventional X-ray tube is used. High molding accuracy and mounting accuracy like the ring part are not required, and there is no deformation due to external impacts such as bumping when the X-ray tube is installed in the X-ray generator, so that variations and changes in performance can be suppressed. it can.

このＸ線管１では、バルブ１０の円筒部１０Ａに電気抵抗膜３６が塗布され、電圧印加部１３に近い場所にある縮径部１０Ｂには電気抵抗膜３６が塗布されていないので、バルブ１０の絶縁性を確実に保持することができ、電圧印加部１３と電気抵抗膜３６との間の電位差に起因したリーク電流を抑制することができ、印加電圧の低下を抑制することができる。   In the X-ray tube 1, the electric resistance film 36 is applied to the cylindrical portion 10 </ b> A of the valve 10, and the electric resistance film 36 is not applied to the reduced diameter portion 10 </ b> B located near the voltage application unit 13. The insulation property of the voltage application unit 13 and the electric resistance film 36 can be reliably maintained, leakage current resulting from a potential difference between the voltage application unit 13 and the electric resistance film 36 can be suppressed, and a decrease in applied voltage can be suppressed.

電気抵抗膜３６の他端部(上端部)３６ｂは、管軸Ｌに対して直交する方向から見て、カバー電極１４とターゲット支持体１２との境界部分Ｓを越えて位置している。このように、電気抵抗膜３６が、形状変化部であるカバー電極１４とターゲット支持体１２との境界部分Ｓを覆うように設けられていると、放電によるバルブ１０の破損を安定して抑制することができる。   The other end portion (upper end portion) 36 b of the electric resistance film 36 is located beyond the boundary portion S between the cover electrode 14 and the target support 12 when viewed from the direction orthogonal to the tube axis L. As described above, when the electric resistance film 36 is provided so as to cover the boundary portion S between the cover electrode 14 and the target support 12 that are the shape change portions, the breakage of the bulb 10 due to the discharge is stably suppressed. be able to.

バルブ１０の外面１０ｃには、電気抵抗膜３６を固着する部分にサンドブラストによる粗面加工が施されている。これは、バルブ１０の外面１０ｃに電気抵抗膜３６を固着させ易くし、電気抵抗膜３６の剥離を防止して、放電によるバルブ１０の破損の安定した抑制を可能にしている。   The outer surface 10c of the bulb 10 is roughened by sandblasting at a portion where the electric resistance film 36 is fixed. This facilitates fixing of the electric resistance film 36 to the outer surface 10c of the bulb 10, prevents peeling of the electric resistance film 36, and enables stable suppression of breakage of the bulb 10 due to discharge.

次に、前述したＸ線管１を備えたＸ線発生装置４０について説明する。   Next, the X-ray generator 40 provided with the X-ray tube 1 mentioned above is demonstrated.

図４及び図５に示すように、Ｘ線発生装置４０は、例えば、Ｘ線非破壊検査装置におけるＸ線源として用いられる。このＸ線発生装置４０のハウジング４３の内部には、Ｘ線を発生するＸ線発生部４５が収容されており、Ｘ線発生部４５は、熱伝導率の良い金属(例えばアルミニウム)からなるスペーサ４７を介してハウジング４３の壁部を構成する底板４３ａ上に固定されている。このＸ線発生部４５は、Ｘ線管１が収容されたＸ線管収容部５１と、Ｘ線管１に電力を供給する高圧電源部５３とを備えている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the X-ray generator 40 is used as, for example, an X-ray source in an X-ray nondestructive inspection apparatus. An X-ray generator 45 for generating X-rays is accommodated in the housing 43 of the X-ray generator 40, and the X-ray generator 45 is a spacer made of a metal (for example, aluminum) having a good thermal conductivity. 47 is fixed on a bottom plate 43 a constituting the wall portion of the housing 43 through 47. The X-ray generation unit 45 includes an X-ray tube storage unit 51 in which the X-ray tube 1 is stored, and a high-voltage power supply unit 53 that supplies power to the X-ray tube 1.

図６及び図７に示すように、この高圧電源部５３は、高電圧を発生させる高圧トランス５３ａと、高圧トランス５３ａで発生した高電圧を増倍させる高圧供給回路（電圧供給部）５３ｂと、高圧トランス５３ａと高圧供給回路５３ｂとを連結する接続線５３ｃと、高圧供給回路５３ｂとＸ線管１に電圧を供給するための圧縮バネ４１ａとを連結する接続線５３ｄとを備えている。   As shown in FIGS. 6 and 7, the high-voltage power supply unit 53 includes a high-voltage transformer 53a that generates a high voltage, a high-voltage supply circuit (voltage supply unit) 53b that multiplies the high voltage generated by the high-voltage transformer 53a, A connection line 53c that connects the high-voltage transformer 53a and the high-voltage supply circuit 53b and a connection line 53d that connects the high-voltage supply circuit 53b and the compression spring 41a for supplying a voltage to the X-ray tube 1 are provided.

そして、高圧供給回路５３ｂ及び接続線５３ｃ，５３ｄは、電気絶縁性材料であるエポキシ樹脂からなる絶縁部材としての絶縁ブロック５３ｆ中にモールドされることによって封入されており、高圧トランス５３ａは、絶縁ブロック５３ｆの側面に突出している。このような高圧電源部５３の構造によって、高電圧が印加される高圧供給回路５３ｂ及び接続線５３ｃ，５３ｄからの外部への放電が防止されている。   The high-voltage supply circuit 53b and the connection lines 53c and 53d are sealed by being molded in an insulating block 53f as an insulating member made of an epoxy resin that is an electrically insulating material, and the high-voltage transformer 53a includes an insulating block. Projecting to the side of 53f. Such a structure of the high-voltage power supply unit 53 prevents discharge from the high-voltage supply circuit 53b to which a high voltage is applied and the connection lines 53c and 53d to the outside.

Ｘ線管１を包囲する冷却筒５５は、絶縁ブロック５３ｆの上面に立設されており、この冷却筒５５の上端の開口からは、Ｘ線管１が挿入されている。そして、Ｘ線管１のフランジ部５ｂが冷却筒５５の上端面にネジ止めされ、Ｘ線管１のＸ線出射窓７ａはハウジング４３から露出する。Ｘ線管１のバルブ１０は冷却筒５５に包囲された状態となり、このバルブ１０と冷却筒５５と絶縁ブロック５３ｆの上面との間の空間には、液状の電気絶縁性物質である絶縁オイル５７が充填されている。このような絶縁オイル５７により、Ｘ線管１からの周囲への放電が防止されている。   The cooling cylinder 55 surrounding the X-ray tube 1 is erected on the upper surface of the insulating block 53f, and the X-ray tube 1 is inserted through the opening at the upper end of the cooling cylinder 55. The flange portion 5 b of the X-ray tube 1 is screwed to the upper end surface of the cooling cylinder 55, and the X-ray emission window 7 a of the X-ray tube 1 is exposed from the housing 43. The valve 10 of the X-ray tube 1 is surrounded by the cooling cylinder 55, and in the space between the valve 10, the cooling cylinder 55, and the upper surface of the insulating block 53f, insulating oil 57, which is a liquid electrical insulating material, is provided. Is filled. Such insulating oil 57 prevents discharge from the X-ray tube 1 to the surroundings.

このようなＸ線発生装置４０の駆動時においては、Ｘ線発生の際に、Ｘ線管１から大量の熱が発生する。そこで、冷却筒５５は、Ｘ線管１から発生する熱を効率よく放散させるために、放熱性に優れた金属（例えば、アルミニウム）からなると共に、水平方向（底板３ａと平行な方向）に延びる複数の冷却フィン５５ａが周囲に設けられている。冷却フィン５５ａは、冷却筒５５の周面で円周方向に延びる凸条部として設けられている。   When the X-ray generator 40 is driven, a large amount of heat is generated from the X-ray tube 1 when X-rays are generated. Therefore, the cooling cylinder 55 is made of a metal (for example, aluminum) having excellent heat dissipation and extends in the horizontal direction (direction parallel to the bottom plate 3a) in order to efficiently dissipate heat generated from the X-ray tube 1. A plurality of cooling fins 55a are provided around the periphery. The cooling fins 55 a are provided as ridges extending in the circumferential direction on the peripheral surface of the cooling cylinder 55.

そして、この冷却筒５５に対向するハウジング４３の側壁４３ｂには、通風口４３ｃが形成されている。この通風口４３ｃは冷却フィン５５ａの延在方向と同じ方向に水平に延在しているので、通風口４３ｃからハウジング４３の内部に流入した冷却風は、冷却筒５５に当たり冷却フィン５５ａに沿って水平に流動する。従って、冷却風が冷却フィン５５ａの周囲を円滑に流動し、Ｘ線管収容部５１を効率よく冷却することができる。   A ventilation port 43 c is formed in the side wall 43 b of the housing 43 facing the cooling cylinder 55. Since the ventilation holes 43c extend horizontally in the same direction as the extending direction of the cooling fins 55a, the cooling air flowing into the housing 43 from the ventilation holes 43c hits the cooling cylinder 55 along the cooling fins 55a. Flows horizontally. Therefore, the cooling air can smoothly flow around the cooling fins 55a, and the X-ray tube accommodating portion 51 can be efficiently cooled.

このようなＸ線管収容部５１において、Ｘ線管１のターゲット支持体１２の基端部１２ｂは、バルブ１０の下部から下方に突出しており、電圧印加部１３には、圧縮バネ４１ａの一端が接続されている。この圧縮バネ４１ａの他端は、上記高圧電源部５３の接続線５３ｄに結合されており、ターゲット支持体１２は、この圧縮バネ４１ａ及び接続線５３ｄを介して、高圧供給回路５３ｂからの電圧の供給を受ける。   In such an X-ray tube accommodating portion 51, the base end portion 12b of the target support 12 of the X-ray tube 1 protrudes downward from the lower portion of the valve 10, and the voltage applying portion 13 has one end of the compression spring 41a. Is connected. The other end of the compression spring 41a is coupled to the connection line 53d of the high-voltage power supply unit 53, and the target support 12 receives the voltage from the high-voltage supply circuit 53b via the compression spring 41a and the connection line 53d. Receive supply.

更に、ターゲット支持体１２の基端部１２ｂと圧縮バネ４１ａとの接合部すなわち電圧印加部１３は、アルミニウムまたは真鍮等の熱伝導率の良い金属製の高圧キャップ４１ｂによって包囲されている。この高圧キャップ４１ｂによって、電圧印加部１３と圧縮バネ４１ａとの接合部は冷却筒５５の内壁から見通せないように遮蔽され、この接合部における冷却筒５５等への放電が防止されている。   Further, the joint portion of the base end portion 12b of the target support 12 and the compression spring 41a, that is, the voltage application portion 13 is surrounded by a high-pressure cap 41b made of metal having a good thermal conductivity such as aluminum or brass. The joint between the voltage application unit 13 and the compression spring 41a is shielded by the high-pressure cap 41b so as not to be seen from the inner wall of the cooling cylinder 55, and discharge to the cooling cylinder 55 and the like at this junction is prevented.

Ｘ線管１には、接続線５３ｄ及び圧縮バネ４１ａを介して高圧供給回路５３ｂから高電圧が供給される。そして、Ｘ線管１のターゲット支持体１２が高電位となった状態で、電子銃３からの電子がターゲットＴに入射すると、ターゲットＴからＸ線が発生し、Ｘ線がＸ線出射窓７ａから上方に照射される。   A high voltage is supplied to the X-ray tube 1 from the high voltage supply circuit 53b through the connection line 53d and the compression spring 41a. When electrons from the electron gun 3 enter the target T with the target support 12 of the X-ray tube 1 at a high potential, X-rays are generated from the target T, and the X-rays are emitted from the X-ray exit window 7a. From above.

このような構成のＸ線発生部４５のＸ線発生の動作を制御するため、Ｘ線発生装置４０には、制御回路基板５９が、ハウジング４３の内部に収容されている。この制御回路基板５９上には、各種電子部品５９ａが搭載されてＸ線発生部４５の動作を制御するための制御回路が構成されており、Ｘ線発生部４５はこの制御回路からの制御信号に基づいて動作する。また、ハウジング４３の内部には、冷却ファンユニット５８ａ，５８ｂ，５８ｃや制御回路基板５９への電圧供給等を行う電源回路基板５４も配置されている。   In order to control the X-ray generation operation of the X-ray generator 45 having such a configuration, a control circuit board 59 is accommodated in the housing 43 in the X-ray generator 40. On the control circuit board 59, various electronic components 59a are mounted to constitute a control circuit for controlling the operation of the X-ray generator 45. The X-ray generator 45 receives a control signal from the control circuit. Operates based on. A power supply circuit board 54 for supplying voltage to the cooling fan units 58 a, 58 b, 58 c and the control circuit board 59 is also arranged inside the housing 43.

本発明は、前述した実施形態に限定されないことは言うまでもない。   It goes without saying that the present invention is not limited to the embodiment described above.

図８に示すように、第２の実施形態に係るＸ線管６０は、筐体６２の一部を構成するバルブ７０は、ガラスやセラミック等の絶縁体によって略筒状に形成され、一端側が胴部５に固定される円筒部７０Ａと、円筒部７０Ａの他端部から円筒部７０Ａの管軸に向かって内側に屈曲して延びる縮径部７０Ｂとを有している。この縮径部７０Ｂは、円筒部７０Ａと同心をなす突出部７０ａと、円筒部７０Ａの他端部と突出部７０ａの他端部との間を連結するように円筒部７０Ａの管軸Ｌに向かって延びるドーナツ状の平板部７０ｂとからなる。円筒部７０Ａの一端部には、導電性の金属等からなるリング部材８が融着されている。   As shown in FIG. 8, in the X-ray tube 60 according to the second embodiment, the valve 70 constituting a part of the casing 62 is formed in a substantially cylindrical shape by an insulator such as glass or ceramic, and one end side is A cylindrical portion 70A fixed to the body portion 5 and a reduced diameter portion 70B extending from the other end of the cylindrical portion 70A to bend inward toward the tube axis of the cylindrical portion 70A. The reduced diameter portion 70B is connected to the tube axis L of the cylindrical portion 70A so as to connect the protruding portion 70a concentric with the cylindrical portion 70A and the other end portion of the cylindrical portion 70A and the other end portion of the protruding portion 70a. It consists of the donut-shaped flat plate part 70b extended toward. A ring member 8 made of a conductive metal or the like is fused to one end of the cylindrical portion 70A.

バルブ７０の突出部７０ａには、ターゲットＴが先端に固定されたターゲット支持体７２を保持するための金属管(連結部材)７１が取り付けられる。金属管７１は、ターゲット支持体７２の基端側に固定されている。そして、ターゲット支持体７２の基端部７２ｂは、バルブ７０の他端部より外方に突出する。ターゲット支持体７３の端面は、電源に接続される電圧印加部７３をなしている。   A metal pipe (connecting member) 71 for holding a target support 72 having a target T fixed to the tip is attached to the protrusion 70 a of the valve 70. The metal tube 71 is fixed to the base end side of the target support 72. The base end portion 72 b of the target support 72 protrudes outward from the other end portion of the valve 70. The end surface of the target support 73 forms a voltage application unit 73 connected to a power source.

さらに、ターゲット支持体７２には、バルブ７０の狭窄部７４に近接するように遮蔽部７６が一体的に形成されている。遮蔽部７６は、その主たる径（ここでは最大径）が、バルブ７０の円筒部７０Ａより小さく、狭窄部７４より大きい直径を有する円板状をなしており、Ｒ面取りが施されている。この遮蔽部７６は、胴部５側から見て、バルブ７０の端部と金属管７１との接合部分Ｗが見通せないような大きさになっている。   Further, a shielding portion 76 is integrally formed on the target support 72 so as to be close to the narrowed portion 74 of the valve 70. The shielding part 76 has a disk shape whose main diameter (here, the maximum diameter) is smaller than the cylindrical part 70 </ b> A of the valve 70 and larger than the constriction part 74, and is rounded. The shield 76 is sized so that the joint W between the end of the valve 70 and the metal tube 71 cannot be seen when viewed from the body 5 side.

さらに、このバルブ７０の外面には、Ｘ線管１と同様に、円筒部７０Ａの全周に渡って電気抵抗膜３６が塗布されている。   Further, an electric resistance film 36 is applied to the outer surface of the bulb 70 over the entire circumference of the cylindrical portion 70 </ b> A, as with the X-ray tube 1.

Ｘ線管６０のその他の構成は、Ｘ線管１と略同一の構成を有しているので、同一の符号を付して、重複する説明は省略する。   The other configuration of the X-ray tube 60 has substantially the same configuration as that of the X-ray tube 1, and therefore, the same reference numerals are given and redundant description is omitted.

また、本発明は第１の実施形態および第２の実施形態で記載されたような、バルブに支持された電圧印加部がターゲット支持体であるＸ線管に限らない。図９に示すように、第３の実施形態に係るＸ線管８０の電子銃８２は、バルブ８１に設けられたステム８１ａによって支持され、電子銃８２の電圧印加部８３がバルブ８１のステム８１ａから突出している。バルブ８１に連結される導電性の胴部８４には、Ｘ線出射窓上に設けられ、Ｘ線出射窓一体化されたターゲット８５が固定されている。電子銃８２から出射された電子は、透過型ターゲット８５に入射し、ターゲット８５から発生したＸ線がＸ線出射窓を透過して出射される。   In addition, the present invention is not limited to the X-ray tube in which the voltage application unit supported by the valve is the target support as described in the first embodiment and the second embodiment. As shown in FIG. 9, the electron gun 82 of the X-ray tube 80 according to the third embodiment is supported by a stem 81 a provided in the valve 81, and the voltage application unit 83 of the electron gun 82 is the stem 81 a of the valve 81. Protruding from. A conductive body 84 connected to the bulb 81 is fixed with a target 85 provided on the X-ray emission window and integrated with the X-ray emission window. The electrons emitted from the electron gun 82 enter the transmission target 85, and X-rays generated from the target 85 are emitted through the X-ray emission window.

さらに、このバルブ８１の外面には、Ｘ線管１と同様に、バルブ８１の全周に渡って電気抵抗膜３６が塗布されている。   Furthermore, the electric resistance film 36 is applied to the outer surface of the valve 81 over the entire circumference of the valve 81, as in the case of the X-ray tube 1.

電気抵抗膜３６の材料は、導電性複酸化物ゾルのみではなく、酸化クロムやコロイド状グラファイトであっ
ても良い。 The material of the electric resistance film 36 may be chromium oxide or colloidal graphite as well as the conductive double oxide sol.

本発明に係るＸ線管の第１の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 1st Embodiment of the X-ray tube which concerns on this invention. 図１に示されたＸ線管の背面図である。FIG. 2 is a rear view of the X-ray tube shown in FIG. 1. 電子銃を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an electron gun. 本発明に係るＸ線発生装置の一実施形態を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an embodiment of an X-ray generator according to the present invention. 図４に示されたＸ線発生装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the X-ray generator shown by FIG. 図４のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the VI-VI line of FIG. 図４のＶII−ＶII線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the VII-VII line of FIG. 本発明に係るＸ線管の第２の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 2nd Embodiment of the X-ray tube which concerns on this invention. 本発明に係るＸ線管の第３の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 3rd Embodiment of the X-ray tube which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１，６０，８０…Ｘ線管、２…筐体、３…電子発生ユニット(電子銃)、４…外囲器本体(導電部)、５，８４…胴部、１０，７０，８０…バルブ(電気絶縁部)、１０Ａ，７０Ａ…円筒部、１０Ｂ，７０Ｂ…縮径部、１１，７１…金属管(連結部材)、１２，７２…ターゲット支持体、１２ｂ，７２ｂ…ターゲット支持体の基端部、１３，７３，８３…電圧印加部、１４…カバー電極、３６…電気抵抗膜、４０…Ｘ線発生装置、５３…高圧電源部(電源部)、５７…絶縁オイル(電気絶縁性の液体)、８２…電子銃、８５…ターゲット、Ｌ…管軸、Ｓ…境界部分、Ｔ…ターゲット、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３…抵抗値。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,60,80 ... X-ray tube, 2 ... Housing, 3 ... Electron generating unit (electron gun), 4 ... Enclosure main body (conductive part), 5,84 ... Body, 10, 70, 80 ... Valve (Electrical insulation part) 10A, 70A ... Cylindrical part, 10B, 70B ... Reduced diameter part, 11, 71 ... Metal pipe (connection member), 12, 72 ... Target support, 12b, 72b ... Base end of target support 13, 73, 83... Voltage application unit, 14 .. cover electrode, 36... Electric resistance film, 40 .. X-ray generator, 53 .. high voltage power supply unit (power supply unit), 57. , 82 ... Electron gun, 85 ... Target, L ... Tube axis, S ... Boundary part, T ... Target, R1, R2, R3 ... Resistance value.

Claims (6)

筐体によって支持された電圧印加部を有し、電子銃から出射させた電子がターゲットに入射することで発生したＸ線を、前記筐体に設けられているＸ線出射窓から出射させるように構成したＸ線管において、
前記筐体は、前記Ｘ線出射窓側に位置する導電部と、前記導電部に固定されると共に前記電圧印加部側に位置する電気絶縁部とを有し、この電気絶縁部の外面には電気抵抗膜が固着され、前記電気抵抗膜の一端部は、前記導電部に電気的に接続され、前記電気抵抗膜の他端部は、前記電気絶縁部の前記外面内に位置していることを特徴とするＸ線管。 A voltage application unit supported by the casing, and X-rays generated when electrons emitted from the electron gun enter the target are emitted from an X-ray emission window provided in the casing. In the constructed X-ray tube,
The housing includes a conductive portion located on the X-ray exit window side, and an electrical insulation portion fixed to the conductive portion and located on the voltage application portion side. An electric surface is provided on an outer surface of the electrical insulation portion. A resistance film is fixed, one end portion of the electric resistance film is electrically connected to the conductive portion, and the other end portion of the electric resistance film is located within the outer surface of the electric insulating portion. A featured X-ray tube. 前記電気抵抗膜の抵抗値は、前記導電部の抵抗値より大きく、前記電気絶縁部の抵抗値より小さいことを特徴とする請求項１に記載のＸ線管。   2. The X-ray tube according to claim 1, wherein a resistance value of the electric resistance film is larger than a resistance value of the conductive portion and smaller than a resistance value of the electric insulating portion. 前記電気絶縁部は、前記導電部に固定される円筒部と、前記円筒部の端部から内側に屈曲して延びて前記電圧印加部を支持する縮径部とを有し、前記電気抵抗膜は、前記円筒部の外面に固着されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線管。   The electrical insulating part includes a cylindrical part fixed to the conductive part, and a reduced diameter part that bends and extends inward from an end of the cylindrical part to support the voltage application part, and the electrical resistance film The X-ray tube according to claim 1, wherein the X-ray tube is fixed to an outer surface of the cylindrical portion. 前記円筒部の管軸方向に延在して先端側に前記ターゲットが保持されたターゲット支持体の基端側と前記縮径部とを連結する連結部材と、
前記連結部材と前記縮径部との接合部分を外方で包囲すると共に、前記ターゲット支持体に固定されたカバー電極とを備え、
前記電気抵抗膜の前記他端は、前記管軸に対して直交する方向から見て、前記カバー電極と前記ターゲット支持体との境界部分を越えて位置していることを特徴とする請求項３に記載のＸ線管。 A connecting member that extends in the tube axis direction of the cylindrical portion and connects the base end side of the target support body on which the target is held on the distal end side and the reduced diameter portion;
And surrounding the joint portion between the connecting member and the reduced diameter portion, and a cover electrode fixed to the target support,
The other end of the electric resistance film is located beyond a boundary portion between the cover electrode and the target support when viewed from a direction orthogonal to the tube axis. An X-ray tube as described in 1. 前記電気絶縁部の前記外面には、前記電気抵抗膜を固着する部分に粗面加工が施されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のＸ線管。   5. The X-ray tube according to claim 1, wherein the outer surface of the electrical insulating portion is subjected to a rough surface processing on a portion to which the electric resistance film is fixed. 請求項１記載のＸ線管と、前記Ｘ線管の前記電気絶縁部を包囲する電気絶縁性の液体と、前記Ｘ線管に電圧を印加する電源部と、を備えたことを特徴とするＸ線発生装置。   The X-ray tube according to claim 1, an electrically insulating liquid surrounding the electrically insulating portion of the X-ray tube, and a power supply unit that applies a voltage to the X-ray tube. X-ray generator.
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