JP5913936B2 - Method of using adhesive sheet for fixing wound material and adhesive sheet for fixing wound material - Google Patents

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Description

本発明は、巻回物の固定用接着シートおよび巻回物の固定用接着シートの使用方法に関する。   The present invention relates to an adhesive sheet for fixing a wound product and a method for using the adhesive sheet for fixing a wound product.

従来、芯部材に巻回物を巻回する構成が知られている(例えば、特許文献1参照)。
この特許文献1に記載の構成では、ボビン(芯部材)に線材(巻回物)を巻き取るときに、ボビンに至る線材と線材の満巻面との間に包装シート材を介装して巻き付け、包装シート材の先端縁部と後端縁部とが重合した状態において、接着シール材を線材の終端末部分を含んで貼付することで、線材を固定している。
Conventionally, the structure which winds a wound thing around a core member is known (for example, refer to patent documents 1).
In the configuration described in Patent Document 1, when a wire (rolled material) is wound around a bobbin (core member), a packaging sheet material is interposed between the wire reaching the bobbin and the fully wound surface of the wire. In a state where the leading edge portion and the trailing edge portion of the wrapping sheet material are overlapped with each other, the wire rod is fixed by sticking the adhesive seal material including the terminal portion of the wire rod.

特開平7−25545号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-25545

しかしながら、特許文献1に記載の構成では、接着シール材は巻回物の固定のみに使用されるだけであり、固定が不要となった後には廃棄されるだけであり、資源を有効利用しているとは言えない。また、このような巻回物をオートメーション装置で利用する場合には、巻回物を処理するための諸条件をオペレータが当該オートメーション装置に入力する必要がある。   However, in the configuration described in Patent Document 1, the adhesive sealing material is only used for fixing the wound material, and is only discarded after the fixing is no longer necessary. I can't say. Further, when such a roll is used in an automation apparatus, it is necessary for an operator to input various conditions for processing the roll into the automation apparatus.

本発明の目的は、資源を有効利用可能であるとともに、オートメーション装置を用いた巻回物の処理時に当該オートメーション装置の操作を容易にする巻回物の固定用接着シートおよび巻回物の固定用接着シートの使用方法を提供することにある。   An object of the present invention is to enable effective use of resources and to facilitate the operation of the automation device during the processing of the winding material using an automation device and for fixing the wound material. It is in providing the usage method of an adhesive sheet.

前記目的を達成するために、本発明の巻回物の固定用接着シートは、巻回した巻回物の固定用接着シートであって、基材シートと、当該基材シートの一方の面に積層された接着剤層と、記接着剤層上または前記接着剤層と前記基材シートとの間に支持されるとともに、所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられたデータキャリア本体と、前記データキャリア本体を保護する保護部とを備え、前記保護部は、前記データキャリア本体を覆うように前記基材シートを折り返し、当該折り返した基材シートを前記接着剤層によって接着させることで構成されている、という構成を採用している。 In order to achieve the above-mentioned object, the adhesive sheet for fixing a wound product of the present invention is an adhesive sheet for fixing a wound product, and is provided on a base sheet and one surface of the base sheet. a laminated adhesive layer, while being supported between the front SL adhesive layer or the adhesive layer and the base sheet, at least one storage and transmission of predetermined data provided to be data A carrier body, and a protection part for protecting the data carrier body, wherein the protection part folds the base sheet so as to cover the data carrier body, and bonds the folded base sheet with the adhesive layer It adopts a configuration that is configured by making it.

一方、本発明の巻回物の固定用接着シートの使用方法は、上述の巻回物の固定用接着シートを用い、当該固定用接着シートの前記データキャリア本体に記憶された前記所定のデータを読み書き手段に送信すること、および、前記読み書き手段から送信された別のデータを受信することの少なくとも一方を行う、という構成を採用している。   On the other hand, the method of using the adhesive sheet for fixing a wound product of the present invention uses the above-described adhesive sheet for fixing a wound product, and uses the predetermined data stored in the data carrier body of the adhesive sheet for fixing. A configuration is employed in which at least one of transmitting to the read / write unit and receiving another data transmitted from the read / write unit is performed.

以上のような本発明によれば、固定用接着シートにデータキャリア本体を設けているため、固定用接着シートを巻回物の固定に利用することができるとともに、例えば、巻回物に関する所定のデータをデータキャリア本体から読み取ったり(データキャリア本体が記憶している所定のデータを受信したり)、巻回物に関する所定のデータをデータキャリア本体に書き込んだり(データキャリア本体に所定のデータを送信して記憶させたり)すること(以下「読み書き」という場合がある)に利用することができ、資源の有効利用を図ることができる。また、固定用接着シートに巻回物に関するデータの読み書きが可能となるため、巻回物をオートメーション装置で利用する場合に、オペレータが当該オートメーション装置に諸条件を入力する入力作業を省略し、オートメーション装置の操作の容易化を図ることができる。   According to the present invention as described above, since the data carrier body is provided in the fixing adhesive sheet, the fixing adhesive sheet can be used for fixing the wound object, and for example, a predetermined item related to the wound object can be used. Read data from the data carrier body (receive predetermined data stored in the data carrier body), write predetermined data related to the roll to the data carrier body (send predetermined data to the data carrier body) (And may be referred to as “read and write” hereinafter), and effective use of resources can be achieved. In addition, since it is possible to read and write data related to the wound material on the fixing adhesive sheet, when the wound material is used in an automation device, the operator does not need to input various conditions to the automation device, and automation is performed. The operation of the apparatus can be facilitated.

この際、固定用接着シートにデータキャリア本体を保護する保護部を設けておけば、異物がデータキャリア本体に接触することを防止でき、データキャリア本体の破損を防止できる。
さらに、データキャリア本体を覆うように基材シートを折り返すことで保護部を構成すれば、簡単な方法でデータキャリア本体の破損を防止できる。
At this time, if a protective part for protecting the data carrier body a solid titration, the adhesive sheet, the foreign matter can be prevented from contacting the data carrier body, thereby preventing damage to the data carrier body.
Furthermore, if the protection unit is configured by folding the base sheet so as to cover the data carrier body, the data carrier body can be prevented from being damaged by a simple method.

(A)は、本発明の実施形態に係る固定用接着シートが取り付けられた原反の斜視図、(B)は、前記実施形態の固定用接着シートの断面図、(C)および(D)は、変形例に係る固定用接着シートの断面図。(A) is a perspective view of an original fabric to which a fixing adhesive sheet according to an embodiment of the present invention is attached, (B) is a cross-sectional view of the fixing adhesive sheet of the embodiment, (C) and (D) These are sectional drawings of the adhesive sheet for fixation concerning a modification. 前記実施形態の貼付装置の側面図。The side view of the sticking apparatus of the said embodiment. (A)および(B)は、変形例に係る固定用接着シートの斜視図、(C)〜(G)は、変形例に係る固定用接着シートの変形例の断面図。(A) And (B) is a perspective view of the adhesive sheet for fixation concerning a modification, (C)-(G) is sectional drawing of the modification of the adhesive sheet for fixation concerning a modification.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。
まず、固定用接着シートFSについて説明する。図1(A),(B)において、固定用接着シートFSは、中空円筒状の芯部材25の外周に巻回された巻回物としての原反RSの先端を当該原反RSに仮固定したり、原反RSの後端を芯部材25に仮固定したり、原反RSの先端を所定の部位に仮固定したりするものである。ここで、原反RSは、基材シートBSの一方の面に接着剤層ADが積層された接着シートASが、当該接着剤層ADを介して剥離シートRLに仮着された構成を有している。
なお、仮固定とは、一旦固定したものであっても、後に取り外すことができるように固定することを意味し、例えば、固定用接着シートFSを用い、原反RSを芯部材25などの所定の部位に一時的に固定して、必要に応じて原反RSを当該所定の部位から取り外すことができるように固定することである。
固定用接着シートFSは、長方形状の基材シートFBと、当該基材シートFBの一方の面に積層され再接着可能な材料により形成された接着剤層FDと、基材シートFBの他方の面に支持されるとともに、所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能なデータキャリア本体DBとを備えている。
なお、図1(C)に示すように、データキャリア本体DBは、接着剤層FDに支持されるように設けてもよいし、図1(D)に示すように、データキャリア本体DBを基材シートFBと接着剤層FDとの間に設けてもよい。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
In each of the drawings, the shape and arrangement of each component are exaggerated for easy understanding of the contents of the present invention.
First, the fixing adhesive sheet FS will be described. 1A and 1B, the fixing adhesive sheet FS is temporarily fixed to the original RS with the tip of the original RS as a wound product wound around the outer periphery of the hollow cylindrical core member 25. Or temporarily fixing the rear end of the original fabric RS to the core member 25, or temporarily fixing the front end of the original fabric RS to a predetermined portion. Here, the raw fabric RS has a configuration in which an adhesive sheet AS in which an adhesive layer AD is laminated on one surface of the base sheet BS is temporarily attached to the release sheet RL via the adhesive layer AD. ing.
Temporary fixing means fixing once fixed so that it can be removed later. For example, a fixing adhesive sheet FS is used, and the original fabric RS is fixed to a predetermined member such as the core member 25. It fixes temporarily so that it can be removed from the said predetermined | prescribed site | part as needed temporarily.
The fixing adhesive sheet FS includes a rectangular base sheet FB, an adhesive layer FD formed of a material that can be re-adhered and laminated on one surface of the base sheet FB, and the other base sheet FB. And a data carrier body DB that is supported by the surface and capable of storing and transmitting predetermined data.
As shown in FIG. 1C, the data carrier main body DB may be provided so as to be supported by the adhesive layer FD. As shown in FIG. 1D, the data carrier main body DB is based on the data carrier main body DB. You may provide between material sheet FB and adhesive bond layer FD.

データキャリア本体DBは、チップCPおよび当該チップCPに接続されたチップ用アンテナATから構成されており、電磁波を通信媒体として、データを送信したり、データを記憶したりすることができるものである。このようなデータキャリア本体DBとしては、例えば、ICチップ(チップCP)と、このICチップに接続された送受信用の導電性コイル(チップ用アンテナAT)とから構成される、いわゆるRFメモリやRFIDタグ等を例示することができる。   The data carrier main body DB includes a chip CP and a chip antenna AT connected to the chip CP, and can transmit data and store data using electromagnetic waves as a communication medium. . As such a data carrier main body DB, for example, a so-called RF memory or RFID composed of an IC chip (chip CP) and a transmission / reception conductive coil (chip antenna AT) connected to the IC chip. A tag etc. can be illustrated.

次に、接着シートASの貼付装置1について説明する。図2において、貼付装置1は、被着体としての半導体ウェハ(以下「ウェハ」と称す場合がある)WFに接着シートASを貼付するものである。そして、貼付装置1は、接着シートASを繰出可能に支持する支持装置2と、接着シートASを繰り出す繰出手段3と、繰り出された接着シートASをウェハWFに押圧して貼付する押圧手段5と、ウェハWFと押圧手段5とを相対移動させる移動手段6とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段7によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。   Next, the sticking device 1 for the adhesive sheet AS will be described. In FIG. 2, a sticking apparatus 1 sticks an adhesive sheet AS to a semiconductor wafer (hereinafter also referred to as “wafer”) WF as an adherend. Then, the sticking device 1 includes a support device 2 that supports the adhesive sheet AS so that the adhesive sheet AS can be fed, a feeding unit 3 that feeds the adhesive sheet AS, and a pressing unit 5 that presses and sticks the fed adhesive sheet AS to the wafer WF. The moving means 6 for relatively moving the wafer WF and the pressing means 5 is provided, and the overall operation is controlled by the control means 7 such as a personal computer or a sequencer.

支持装置2は、フレーム21と、このフレーム21の一面に設けられた支持部22とを備え、芯部材25における中空部の一端側から挿入されることで芯部材25を支持する。   The support device 2 includes a frame 21 and a support portion 22 provided on one surface of the frame 21, and supports the core member 25 by being inserted from one end side of the hollow portion of the core member 25.

繰出手段3は、その全体がフレーム21に支持され、原反RSを案内するガイドローラ32,33と、原反RSの剥離シートRLを折り返すことで当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離板34と、駆動機器としての回動モータ35によって駆動する駆動ローラ36と、駆動ローラ36との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ37と、駆動機器としての回動モータ39によって剥離シートRLを回収する回収ローラ38とを備えている。
押圧手段5は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成され、図示しない支持部材により回転自在に支持され、駆動機器としての図示しない直動モータにより昇降可能に設けられている。
移動手段6は、ウェハWFが載置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によって当該ウェハWFを吸着保持可能なテーブル61と、テーブル61の下面にスライダ62が固定された駆動機器としての単軸ロボット63とを備え、スライダ62をスライド駆動することで、テーブル61を左右方向に移動可能に構成されている。
The feeding means 3 is entirely supported by the frame 21, and peels off the adhesive sheet AS from the release sheet RL by folding back the release sheet RL of the original fabric RS and the guide rollers 32 and 33 that guide the original fabric RS. The release sheet RL is formed by a plate 34, a drive roller 36 driven by a rotation motor 35 as a drive device, a pinch roller 37 that sandwiches the release sheet RL between the drive roller 36, and a rotation motor 39 as a drive device. And a collection roller 38 for collection.
The pressing means 5 is made of an elastically deformable member such as rubber or resin, is rotatably supported by a support member (not shown), and can be moved up and down by a linear motion motor (not shown) as a drive device.
The moving means 6 includes a table 61 on which a wafer WF is placed and can hold the wafer WF by suction holding means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector, and a drive device in which a slider 62 is fixed to the lower surface of the table 61. And the table 61 can be moved in the left-right direction by slidingly driving the slider 62.

また、支持装置2には、図2の符号AAにも示すように、フレーム21に対して回動可能に設けられ、図示しないばね等の付勢手段によって支持部22方向に付勢されるとともに、内部に繰出側アンテナ221を備えた原反押えアーム222が設けられている。また、回収ローラ38には、図2の符号ABにも示すように、その周面の一部に平面部38Aが形成され、当該回収ローラ38の内部であって、平面部38Aの下方に回収側アンテナ381が設けられている。繰出側アンテナ221および回収側アンテナ381は、導電体をループ状に巻回することにより構成されている。
繰出側アンテナ221および回収側アンテナ381には、制御手段7による制御に基づき、固定用接着シートFSのデータキャリア本体DBに対してデータの読み書きをすることのできる読み書き手段としてのリーダライタ8がそれぞれ接続されている。制御手段7は、リーダライタ8を制御し、各アンテナ221,381に電流を流すことで、磁束、静電気、マイクロ波等の伝送手段を発生させ、チップ用アンテナATを介して起電力を発生させてデータキャリア本体DBのチップCPに書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置1全体を制御したり、データキャリア本体DBのチップCPに所定のデータを記憶させたりすることができる。
また、リーダライタ8には、繰出側アンテナ221および回収側アンテナ381と同様の機能を有する図示しないアンテナが内蔵された固定用接着シート発行手段9が接続されている。この固定用接着シート発行手段9は、チップ用アンテナATを介してチップCPに所定のデータを書き込んだ固定用接着シートFSを発行可能となっている。
なお、繰出側アンテナ221および回収側アンテナ381と、データキャリア本体DBとで通信するデータとしては、接着シートASの種類、材質、品名、コード、厚さ、長さ、幅、直径などの規格寸法、さらには、原反RSのロットナンバー、原反RSを使用した長さ、原反RSの残りの長さ、接着シートASの品質保証期限、繰出開始前後の接着シートASの残数、繰り出された接着シートASの枚数、接着シートASを最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートASを最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力などの接着シートASの貼付条件、接着シートASや原反RSについての相談窓口の連絡先などが例示できる。
そして、貼付装置1に設けられた図示しないモニタにデータキャリア本体DBから読み取ったデータを表示させたり、読み取ったデータを基に当該貼付装置1の貼付条件を設定したりすることができる。
2, the support device 2 is provided so as to be rotatable with respect to the frame 21, and is biased toward the support portion 22 by a biasing means such as a spring (not shown). An original fabric holding arm 222 provided with a feeding-side antenna 221 is provided inside. Further, as indicated by symbol AB in FIG. 2, the recovery roller 38 is formed with a flat surface portion 38A on a part of its peripheral surface, and is recovered inside the recovery roller 38 and below the flat surface portion 38A. A side antenna 381 is provided. The feeding-side antenna 221 and the collection-side antenna 381 are configured by winding a conductor in a loop shape.
Each of the feeding side antenna 221 and the collection side antenna 381 has a reader / writer 8 as a reading / writing means capable of reading / writing data from / to the data carrier body DB of the fixing adhesive sheet FS based on the control by the control means 7. It is connected. The control means 7 controls the reader / writer 8 and causes currents to flow through the antennas 221 and 381, thereby generating transmission means such as magnetic flux, static electricity and microwave, and generating electromotive force via the chip antenna AT. The data written in the chip CP of the data carrier main body DB is read, and the entire pasting apparatus 1 is controlled based on the read data, or predetermined data is stored in the chip CP of the data carrier main body DB. Can do.
The reader / writer 8 is connected to a fixing adhesive sheet issuing means 9 having an antenna (not shown) having the same function as the feeding-side antenna 221 and the collecting-side antenna 381. The fixing adhesive sheet issuing means 9 can issue a fixing adhesive sheet FS in which predetermined data is written to the chip CP via the chip antenna AT.
The data communicated between the feeding-side antenna 221 and the collection-side antenna 381 and the data carrier main body DB includes standard dimensions such as the type, material, product name, code, thickness, length, width, and diameter of the adhesive sheet AS. Furthermore, the lot number of the original fabric RS, the length using the original fabric RS, the remaining length of the original fabric RS, the quality guarantee period of the adhesive sheet AS, the remaining number of the adhesive sheet AS before and after the start of feeding, are fed out. Adhesive sheet AS application conditions such as the number of adhesive sheets AS, the recommended feeding speed at which the adhesive sheet AS can be optimally delivered, the recommended application tension and recommended pressing force at which the adhesive sheet AS can be optimally applied, For example, the contact information of the consultation desk about AS or raw fabric RS can be exemplified.
And the data read from data carrier main body DB can be displayed on the monitor which is not illustrated provided in the sticking apparatus 1, or the sticking conditions of the said sticking apparatus 1 can be set based on the read data.

以上の貼付装置1において、ウェハWFに接着シートASを貼付する際には、まず、原反RSの長手方向の後端を固定用接着シートFS(以下、後端側固定用接着シートFSbと称す)(図2参照)によって芯部材25に仮固定して当該芯部材25に巻回した後、先端を固定用接着シートFS(以下、先端側固定用接着シートFSfと称す)(図1(A)参照)によって原反RSの周面に仮固定したものを準備する。そして、原反RSが巻回された芯部材25を支持部22で支持させる。   When the adhesive sheet AS is pasted on the wafer WF in the pasting apparatus 1 described above, first, the rear end in the longitudinal direction of the original fabric RS is referred to as a fixing adhesive sheet FS (hereinafter referred to as a rear end side fixing adhesive sheet FSb). ) (See FIG. 2), and temporarily fixed to the core member 25 and wound around the core member 25, the front end is fixed adhesive sheet FS (hereinafter referred to as front end side fixing adhesive sheet FSf) (FIG. 1A ))), And prepare a temporary fixed to the peripheral surface of the raw fabric RS. Then, the core member 25 around which the raw fabric RS is wound is supported by the support portion 22.

次に、作業者は、先端側固定用接着シートFSfを原反RSの周面から剥し、原反RSの先端に先端側固定用接着シートFSfを貼付した状態で当該原反RSを引き出し、図2の符号ABに示すように、先端側固定用接着シートFSfを回収ローラ38の平面部38Aに仮固定して繰出手段3にセットする。このとき、先端側固定用接着シートFSfの接着剤層FDが再接着可能な材料によって形成されているので、原反RSを容易に回収ローラ38に仮固定することができる。これにより、先端側固定用接着シートFSfの面が回収側アンテナ381の面と対向するので、回収側アンテナ381で発生する伝送手段の通過位置にチップ用アンテナATを常時存在させることができるため、リーダライタ8は、回収側アンテナ381を介してチップ用アンテナATに効率よく起電力を発生させ、先端側固定用接着シートFSfのチップCPのデータを確実に読み取ったり、先端側固定用接着シートFSfにデータを確実に書き込んだりすることができる。   Next, the operator peels off the distal-end-side fixing adhesive sheet FSf from the peripheral surface of the original fabric RS, and pulls out the original fabric RS in a state where the distal-end-side fixing adhesive sheet FSf is pasted on the distal end of the original fabric RS. 2, the front-end-side fixing adhesive sheet FSf is temporarily fixed to the flat portion 38A of the collection roller 38 and set in the feeding means 3. At this time, since the adhesive layer FD of the front-end-side fixing adhesive sheet FSf is formed of a re-adherable material, the original fabric RS can be temporarily fixed to the collection roller 38 easily. Thereby, since the surface of the front-end-side fixing adhesive sheet FSf faces the surface of the recovery-side antenna 381, the chip antenna AT can be always present at the passing position of the transmission means generated by the recovery-side antenna 381. The reader / writer 8 efficiently generates an electromotive force in the chip antenna AT via the recovery-side antenna 381 to reliably read the data of the chip CP of the tip-side fixing adhesive sheet FSf, or to read the tip-side fixing adhesive sheet FSf. It is possible to write data to the.

そして、電源投入により貼付装置1の自動運転が開始されると、制御手段7は、リーダライタ8を制御して、回収側アンテナ381に電流を流すことで伝送手段を発生させ、先端側固定用接着シートFSfに書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置1全体を制御する。この制御は、例えば、先端側固定用接着シートFSfに書き込まれたデータのうち、接着シートASの推奨繰出速度を基にして、回動モータ35,39の回転速度や、単軸ロボット63でテーブル61を移動させる移動速度を決定したり、推奨押圧力を基にして、押圧手段5を昇降させる図示しない直動モータの昇降量やその出力軸に加えるトルクなどを決定し、押圧力を設定したりすることができる。なお、データキャリア本体DBから受信したすべての情報または、一部の情報を図示しないモニタや表示パネル等に表示させておくことができる。   When the automatic operation of the sticking device 1 is started by turning on the power, the control means 7 controls the reader / writer 8 to generate a transmission means by causing a current to flow through the collection side antenna 381 to fix the tip side. Data written on the adhesive sheet FSf is read, and the entire pasting apparatus 1 is controlled based on the read data. This control is performed, for example, based on the recommended feeding speed of the adhesive sheet AS in the data written on the front-end-side fixing adhesive sheet FSf, and the rotation speed of the rotation motors 35 and 39 or the table by the single-axis robot 63. The moving speed for moving 61 is determined, and based on the recommended pressing force, the lifting / lowering amount of a direct acting motor (not shown) that lifts and lowers the pressing means 5 and the torque applied to its output shaft are determined, and the pressing force is set. Can be. Note that all or some of the information received from the data carrier main body DB can be displayed on a monitor, a display panel, or the like (not shown).

その後、図示しない搬送手段によってウェハWFがテーブル61上に載置されると、移動手段6がウェハWFの吸着を開始し、単軸ロボット63を駆動してテーブル61を図2中左方向に搬送させる。次いで、ウェハWFが所定の位置に達したことを図示しない光センサ等の検知手段が検知した時点で、繰出手段3が回動モータ35,39を駆動して接着シートASを繰り出し、押圧手段4が当該接着シートASを搬送されるウェハWFに押圧して貼付する。接着シートASが貼付されたウェハWFは、図示しない搬送装置で外部に搬送され、テーブル61が元の位置に戻り、以降同様の動作が繰り返される。   Thereafter, when the wafer WF is placed on the table 61 by a transfer means (not shown), the moving means 6 starts sucking the wafer WF and drives the single-axis robot 63 to transfer the table 61 leftward in FIG. Let Next, when the detection means such as an optical sensor (not shown) detects that the wafer WF has reached a predetermined position, the supply means 3 drives the rotation motors 35 and 39 to supply the adhesive sheet AS, and the pressing means 4. Presses and adheres the adhesive sheet AS to the wafer WF being conveyed. The wafer WF with the adhesive sheet AS attached is transferred to the outside by a transfer device (not shown), the table 61 returns to the original position, and the same operation is repeated thereafter.

ここで、制御手段7は、貼付装置1の自動運転中に種々の制御を行う。例えば、回収側アンテナ381を介して初めに読み取った接着シートASの残数から、ウェハWFに貼付した接着シートASの数を差し引き、あと何枚のウェハWFに接着シートASを貼付することができるかを計算して図示しないモニタや表示パネル等に表示させたり、残りの接着シートASの枚数が少なくなると、図示しないブザーや回転灯等の警告手段を作動させて作業者に注意を促したりすることができる。また、初めに読み取った原反RSの残りの長さから、使用した原反RSの長さを差し引き、残りの長さを図示しないモニタや表示パネル等に表示させたり、残りの原反RSの長さが短くなくなると、警告手段を作動させて作業者に注意を促したりすることもできる。なお、ウェハWFに貼付した接着シートASの数は、回動モータ35の起動回数や、ウェハWFが所定の位置に達したことを検知する図示しない検知手段が検知した回数等によって算出することができ、原反RSを使用した長さは、回動モータ35の回転数やパルス等によって算出することができる。
また、芯部材25に巻回された原反RSの量が少なくなると、繰出側アンテナ221が後端側固定用接着シートFSbと交信するようになるので、この交信を切っ掛けとして原反RSの残りの長さが少なくなったと判断させ、上記のように警告手段を作動させることもできる。
Here, the control means 7 performs various controls during the automatic operation of the sticking device 1. For example, the number of adhesive sheets AS attached to the wafer WF can be subtracted from the remaining number of adhesive sheets AS first read via the collection-side antenna 381, and the adhesive sheet AS can be attached to the remaining number of wafers WF. When the number of remaining adhesive sheets AS is reduced, the warning means such as a buzzer or a rotating light (not shown) is activated to alert the operator. be able to. In addition, the length of the used original RS is subtracted from the remaining length of the original RS that is read first, and the remaining length is displayed on a monitor or a display panel (not shown). When the length becomes shorter, the warning means can be activated to alert the operator. The number of adhesive sheets AS attached to the wafer WF can be calculated based on the number of times the rotation motor 35 is activated, the number of times detected by a detection unit (not shown) that detects that the wafer WF has reached a predetermined position, and the like. The length using the original fabric RS can be calculated by the number of rotations of the rotation motor 35, a pulse, or the like.
Further, when the amount of the raw fabric RS wound around the core member 25 decreases, the feeding-side antenna 221 communicates with the rear-end-side fixing adhesive sheet FSb. It is also possible to determine that the length of the alarm has decreased, and to activate the warning means as described above.

なお、一の原反RSにおける接着シートASを全て使用してしまう前に、他の原反RSに型換えをする場合、作業者は、剥離板34で折り返された剥離シートRLにおける原反繰出方向下流側で当該剥離シートRLを切断し、回収ローラ38で巻き取られた剥離シートRLを当該回収ローラ38から抜き取って破棄する。この時、制御手段7は、リーダライタ8および固定用接着シート発行手段9を駆動して、例えば、上述のようにして算出した接着シートASの残数や原反RSの残りの長さ等のデータを、上述のその他のデータと共に記憶させた別の先端側固定用接着シートFSf1を発行する。その後、作業者は、切断された原反RSの先端(剥離シートRLの先端)を当該別の先端側固定用接着シートFSf1によって原反RSの周面に仮固定して保存することができる。これにより、接着シートASを全て使用してしまう前に貼付装置1から取り外された原反RSでも、次回の使用時に、上述と同様にして別の先端側固定用接着シートFSf1に書き込まれたデータを読み取ることで、即対応することができる。また、後端側固定用接着シートFSbや先端側固定用接着シートFSf(FSf1)に記憶させた接着シートASの残数を、図示しない外部コンピュータに送信することで、原反RSの在庫を管理することもできる。   In addition, before using all the adhesive sheets AS in one original fabric RS, when changing the type to another original fabric RS, the operator pays out the original fabric in the release sheet RL folded by the release plate 34. The release sheet RL is cut on the downstream side in the direction, and the release sheet RL taken up by the collection roller 38 is extracted from the collection roller 38 and discarded. At this time, the control means 7 drives the reader / writer 8 and the fixing adhesive sheet issuing means 9 to determine, for example, the remaining number of adhesive sheets AS and the remaining length of the raw material RS calculated as described above. Another tip-side fixing adhesive sheet FSf1 in which the data is stored together with the other data described above is issued. Thereafter, the operator can temporarily store the cut end of the original fabric RS (the end of the release sheet RL) by temporarily fixing it to the peripheral surface of the original fabric RS with the other front end fixing adhesive sheet FSf1. As a result, even if the original fabric RS is removed from the sticking device 1 before the entire adhesive sheet AS is used, the data written to the other front end side fixing adhesive sheet FSf1 in the same manner as described above at the next use. Can be dealt with immediately. Also, the stock of the raw fabric RS is managed by transmitting the remaining number of the adhesive sheets AS stored in the rear end side fixing adhesive sheet FSb and the front end side fixing adhesive sheet FSf (FSf1) to an external computer (not shown). You can also

以上のような実施形態によれば、固定用接着シートFSにデータキャリア本体DBを設けているため、固定用接着シートFSを原反RSの固定に利用することができるとともに、原反RSに関するデータの読み書きに利用することができ、資源の有効利用を図ることができるとともに、貼付装置1の操作を容易にすることができる。   According to the embodiment as described above, since the data carrier main body DB is provided in the fixing adhesive sheet FS, the fixing adhesive sheet FS can be used for fixing the original fabric RS, and data relating to the original fabric RS. Can be used for reading and writing, and effective use of resources can be achieved, and the operation of the sticking device 1 can be facilitated.

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。   As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, the invention has been illustrated and described with particular reference to certain specific embodiments, but without departing from the spirit and scope of the invention, Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of material, quantity, and other detailed configurations. In addition, the description of the shape, material, and the like disclosed above is exemplary for ease of understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded the limitation of one part or all of such restrictions is included in this invention.

例えば、図3(A)〜(G)に示すように、保護部PR1〜PR7を設けた固定用接着シートFS1〜FS7としてもよい。
図3(A)の固定用接着シートFS1は、長方形状の基材シートFB1と、当該基材シートFB1の一方の面に積層された接着剤層FDと、データキャリア本体DBとを備えている。基材シートFB1は、その厚さ寸法がデータキャリア本体DBの厚さ寸法よりも大きい材料により形成されており、データキャリア本体DBの平面形状よりも大きい形状の穴部AP1を有している。データキャリア本体DBは、穴部AP1の底面AP2上に支持されており、当該穴部AP1によって保護部PR1が構成されている。穴部AP1の平面形状は、方形状に限らず、円形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
また、図3(B)の固定用接着シートFS2は、固定用接着シートFSと同様の基材シートFB、FD、および、データキャリア本体DBと、基材シートFBの他方の面においてデータキャリア本体DBを囲むリング状に形成された保護部PR2とを備えている。保護部PR2は、基材シートFBと同じ材料あるいは基材シートFBと異なる材料で形成され、その厚さ寸法がデータキャリア本体DBの厚さ寸法よりも大きく構成されている。保護部PR2の平面形状は、円環形状に限らず、角環形、楕円環形、多角環形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
For example, as shown in FIGS. 3A to 3G, fixing adhesive sheets FS1 to FS7 provided with protective parts PR1 to PR7 may be used.
3A includes a rectangular base sheet FB1, an adhesive layer FD laminated on one surface of the base sheet FB1, and a data carrier main body DB. . The base sheet FB1 is made of a material whose thickness dimension is larger than the thickness dimension of the data carrier main body DB, and has a hole AP1 having a shape larger than the planar shape of the data carrier main body DB. The data carrier body DB is supported on the bottom surface AP2 of the hole AP1, and the protective part PR1 is configured by the hole AP1. The planar shape of the hole AP1 is not limited to a square shape, and is not limited to a circle, an ellipse, a polygon, a shape obtained by combining these shapes, or the like.
Further, the fixing adhesive sheet FS2 of FIG. 3B includes the same base material sheets FB and FD as the fixing adhesive sheet FS, the data carrier main body DB, and the data carrier main body on the other surface of the base material sheet FB. And a protection part PR2 formed in a ring shape surrounding the DB. The protection part PR2 is formed of the same material as the base material sheet FB or a material different from the base material sheet FB, and has a thickness dimension larger than that of the data carrier body DB. The planar shape of the protection part PR2 is not limited to an annular shape, and is not limited at all, such as a square ring shape, an elliptical ring shape, a polygonal ring shape, or a shape obtained by combining these shapes.

また、図3(C)〜(E)の固定用接着シートFS3〜FS5は、長方形状の基材シートFBと、当該基材シートFBの一方の面に積層された接着剤層FDと、当該接着剤層FD上または、当該接着剤層FDと基材シートFBとの間に支持されたデータキャリア本体DBとを備えている。つまり、図1(C)または図1(D)の状態から、基材シートFBの一端側がデータキャリア本体DBを覆うように折り返され、当該折り返した基材シートFBを接着剤層FDによって接着することで、保護部PR3〜PR5が形成されている。なお、図3(F)、(G)の固定用接着シートFS6、FS7のように、折り返される基材シートFB部分の一方の面に接着剤層FDを設けることなく、折り返した基材シートFBを接着剤層FDによって接着することで、保護部PR6、PR7を形成してもよい。このように基材シートFBが折り返されて形成された保護部PR3〜PR7は、固定用接着シートFS3〜FS7を貼付または剥すときの摘み部としても機能し、これら固定用接着シートFS3〜FS7の着脱を容易に行えるようにすることができる。以上のような保護部PR1〜PR7によって、データキャリア本体DBに直接異物が接触して当該データキャリア本体DBが破損するリスクを低減することができる。   3 (C) to 3 (E) are adhesive sheet FS3 to FS5 for fixing, rectangular base sheet FB, adhesive layer FD laminated on one surface of base sheet FB, and A data carrier main body DB supported on the adhesive layer FD or between the adhesive layer FD and the base sheet FB is provided. That is, from the state of FIG. 1C or FIG. 1D, one end side of the base sheet FB is folded back so as to cover the data carrier body DB, and the folded base sheet FB is bonded by the adhesive layer FD. Thus, the protection parts PR3 to PR5 are formed. In addition, like the fixing adhesive sheets FS6 and FS7 in FIGS. 3 (F) and 3 (G), the folded base material sheet FB is provided without providing the adhesive layer FD on one surface of the folded base material sheet FB portion. The protective parts PR6 and PR7 may be formed by adhering with the adhesive layer FD. The protective parts PR3 to PR7 formed by folding the base sheet FB in this way also function as a knob when the fixing adhesive sheets FS3 to FS7 are attached or peeled off, and the fixing adhesive sheets FS3 to FS7 It can be made easy to attach and detach. With the protection parts PR1 to PR7 as described above, it is possible to reduce a risk that the data carrier main body DB is damaged due to direct contact of foreign matter with the data carrier main body DB.

また、接着剤層FDは、再接着不可能な材料により構成されていてもよい。
さらに、接着剤層FDは、基材シートFBの一方の面全面に設けてもよいし、筋状に設けたり、外縁領域だけに設けたりして基材シートFBの一方の面の一部に設けてもよい。
また、固定用接着シートFS,FS1〜FS5の平面形状は、方形、円形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
さらに、接着シートASの平面形状は、方形、円形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
また、繰出側アンテナ221や回収側アンテナ381と同等の機能を有するアンテナを支持部22内に設けてもよいし、回収側アンテナ381を回収ローラ38に対向する位置に設けてもよいし、繰出側アンテナ221および回収側アンテナ381のうち一方を設けなくてもよい。すなわち、繰出側アンテナ221や回収側アンテナ381は、固定用接着シートFSに対して所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられていればよい。
さらに、原反RSから剥がした先端側固定用接着シートFSfの取り付け位置は、回収ローラ38以外の部位でもよく、例えば、回収側アンテナ381と同様の機能を果たすアンテナを支持する特設のステージを設け、当該ステージに先端側固定用接着シートFSfを接着したり、載置したりするようにしてもよい。この場合、接着剤層FDは、再接着不可能な材料により構成されていてもよい。
また、本発明におけるデータキャリア本体としては、ICタグ、ICカード、電子タグ、バーコード、いわゆるQRコード(登録商標)、磁気シートを適用してもよい。データキャリア本体がバーコードやQRコードの場合、繰出側アンテナ221および回収側アンテナ381の代わりにバーコードやQRコードを読み取り可能なリーダを使用し、磁気シートの場合、磁界を発生させて磁性体を磁化してデータを書き込んだり、磁界の変化を検知してデータを読み出したりするいわゆる磁気ヘッドを使用すればよい。なお、バーコードやQRコードのように記憶する情報量が少ないものの場合は、これらコードに上位のコンピュータ等の上位の制御手段にアクセスできるコードを記憶させておき、当該上位の制御手段から上記同様のデータを受信するようにしてもよい。
さらに、芯部材25は、中空円筒状以外に中空角筒状や、中実円柱状、中実角柱状であってもよい。
また、固定用接着シートFSは、芯部材25に巻回されることのない原反RSを対象とした巻回物の固定用接着シートとしてもよい。
The adhesive layer FD may be made of a material that cannot be re-adhered.
Furthermore, the adhesive layer FD may be provided on the entire surface of one surface of the base sheet FB, or may be provided in a streak shape or only on the outer edge region to be a part of one surface of the base sheet FB. It may be provided.
Further, the planar shape of the fixing adhesive sheets FS, FS1 to FS5 is not limited at all, such as a square, a circle, an ellipse, a polygon, and a shape obtained by combining these shapes.
Furthermore, the planar shape of the adhesive sheet AS is not limited at all, such as a square, a circle, an ellipse, a polygon, and a shape obtained by combining these shapes.
Further, an antenna having a function equivalent to that of the feeding-side antenna 221 and the collecting-side antenna 381 may be provided in the support portion 22, or the collecting-side antenna 381 may be provided at a position facing the collecting roller 38. One of the side antenna 221 and the collection side antenna 381 may not be provided. That is, the feeding-side antenna 221 and the collection-side antenna 381 may be provided so as to be capable of at least one of storing and transmitting predetermined data with respect to the fixing adhesive sheet FS.
Further, the attachment position of the front-end-side fixing adhesive sheet FSf peeled off from the raw fabric RS may be a part other than the collection roller 38. For example, a special stage for supporting an antenna that performs the same function as the collection-side antenna 381 is provided. The tip side fixing adhesive sheet FSf may be adhered to or placed on the stage. In this case, the adhesive layer FD may be made of a material that cannot be re-adhered.
In addition, as the data carrier body in the present invention, an IC tag, an IC card, an electronic tag, a barcode, a so-called QR code (registered trademark), or a magnetic sheet may be applied. When the data carrier body is a bar code or QR code, a reader capable of reading the bar code or QR code is used instead of the feeding side antenna 221 and the collection side antenna 381, and in the case of a magnetic sheet, a magnetic field is generated by generating a magnetic field. What is necessary is just to use what is called a magnetic head which writes the data by magnetizing and reading data by detecting the change of a magnetic field. If the amount of information to be stored is small, such as a barcode or QR code, a code that can be accessed by a higher-level control means such as a higher-level computer is stored in these codes, and the higher-level control means performs the same as described above. The data may be received.
Furthermore, the core member 25 may have a hollow rectangular tube shape, a solid cylindrical shape, or a solid rectangular column shape in addition to the hollow cylindrical shape.
Alternatively, the fixing adhesive sheet FS may be a wound adhesive sheet for fixing a wound material that is not wound around the core member 25.

また、本発明における接着シートAS、固定用接着シートFS,FS1〜FS7の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートBS,基材シートFB,FB1と接着剤層FDとの間に中間層を有するものや、他の層を有する等3層以上のものでもよい。また、接着シートASは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
さらに、巻回物は、帯状の接着シート、紙、布、鋼板、ベルト、樹脂、木板や、長尺の糸、紐、針金、コード、チューブ、ホース、チェーン等が例示でき、何らかの部材で巻き取ることのできる長さを有するものであればよい。
In addition, the types and materials of the adhesive sheet AS and the fixing adhesive sheets FS, FS1 to FS7 in the present invention are not particularly limited. For example, the base sheet BS, the base sheets FB, FB1, and the adhesive layer FD Three or more layers such as those having an intermediate layer in between and other layers may be used. The adhesive sheet AS may be a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, or the like. Examples of the semiconductor wafer include a silicon semiconductor wafer and a compound semiconductor wafer. The adhesive sheet to be attached to such a semiconductor wafer is not limited to a protective sheet, a dicing tape, and a die attach film, but any other sheet, film, or tape. An adhesive sheet having an arbitrary use and shape can be applied. Further, the plate member may be an optical disk substrate, and the adhesive sheet may have a resin layer constituting the recording layer. As described above, as a plate-like member, not only a glass plate, a steel plate, a resin plate, a substrate, and other members, but also other forms of members and articles can be targeted.
Further, the wound material can be exemplified by a belt-like adhesive sheet, paper, cloth, steel plate, belt, resin, wood board, long thread, string, wire, cord, tube, hose, chain, etc. It is sufficient if it has a length that can be taken.

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。   The drive device in the embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single axis robot, an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder. In addition to these, a combination of them directly or indirectly may be employed (some of them overlap with those exemplified in the embodiment).

8…リーダライタ(読み書き手段)
DB…データキャリア本体
FB,FB1…基材シート
FD…接着剤層
FS,FS1,FS2,FS3,FS4,FS5…固定用接着シート
PR1,PR2,PR3,PR4,PR5…保護部
RS…原反(巻回物)
8 ... Reader / writer (read / write means)
DB ... Data carrier main body FB, FB1 ... Base sheet FD ... Adhesive layer FS, FS1, FS2, FS3, FS4, FS5 ... Fixing adhesive sheet PR1, PR2, PR3, PR4, PR5 ... Protection part RS ... Original fabric ( Roll)

Claims (2)

巻回した巻回物の固定用接着シートであって、
基材シートと、
当該基材シートの一方の面に積層された接着剤層と、
記接着剤層上または前記接着剤層と前記基材シートとの間に支持されるとともに、所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられたデータキャリア本体と、
前記データキャリア本体を保護する保護部とを備え、
前記保護部は、前記データキャリア本体を覆うように前記基材シートを折り返し、当該折り返した基材シートを前記接着剤層によって接着させることで構成されていることを特徴とする巻回物の固定用接着シート。
An adhesive sheet for fixing a wound wound material,
A base sheet;
An adhesive layer laminated on one side of the base sheet;
Together are supported between the front SL on the adhesive layer or the adhesive layer and the base sheet, and the data carrier main body provided to be at least one storage and transmission of predetermined data,
A protection unit for protecting the data carrier body,
The protection part is configured by folding the base sheet so as to cover the data carrier body, and bonding the folded base sheet with the adhesive layer. Adhesive sheet.
請求項1に記載の巻回物の固定用接着シートを用い、
当該固定用接着シートの前記データキャリア本体に記憶された前記所定のデータを読み書き手段に送信すること、および、前記読み書き手段から送信された別のデータを受信することの少なくとも一方を行うことを特徴とする巻回物の固定用接着シートの使用方法。
Using the adhesive sheet for fixing a wound product according to claim 1 ,
Transmitting the predetermined data stored in the data carrier body of the fixing adhesive sheet to the reading / writing means and receiving at least one of the other data transmitted from the reading / writing means. A method of using an adhesive sheet for fixing a wound product.
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