JP5905101B2 - Method for processing a plastic substrate and apparatus for at least partially regenerating a processing solution - Google Patents

Method for processing a plastic substrate and apparatus for at least partially regenerating a processing solution Download PDF

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Description

本発明は、方法の独立請求項1の特徴を有する、プラスチック基板、特にプリント回路基板及びプリント回路箔を、過マンガン酸塩を含む処理溶液によって処理、特にエッチングする方法に関する。本発明は、装置の独立請求項8の特徴を有する、プラスチック部材、特にプリント回路基板及びプリント回路箔を処理及び/又はエッチングするために使用される過マンガン酸塩を含む処理溶液を少なくとも部分的に再生するための装置にも関する。   The present invention relates to a method for treating, in particular etching, plastic substrates, in particular printed circuit boards and printed circuit foils, having the features of the independent claim 1 of the method with a treatment solution comprising permanganate. The present invention at least partially comprises a processing solution comprising permanganate used for processing and / or etching plastic components, in particular printed circuit boards and printed circuit foils, having the features of device independent claim 8. The present invention also relates to a device for playing back.

発明の背景
プラスチック成形部品若しくは特にプリント回路基板又はプリント回路箔などのプラスチック基板を過マンガン酸塩を含む溶液によって処理又はエッチングすることは、しばしば基板の表面又はボアの金属化のための予備ステップとして行われる。したがって、基板は、水平の搬送方向で浸漬機又はトンネル機の処理タンク内の適切な処理溶液と接触させられ、溶液の温度は50℃からほぼ100℃であってよい。
BACKGROUND OF THE INVENTION Treating or etching plastic molded parts or plastic substrates such as printed circuit boards or printed circuit foils with solutions containing permanganate is often a preliminary step for metallization of the substrate surface or bore. Done. Thus, the substrate is brought into contact with a suitable processing solution in a processing tank of a dipping machine or tunnel machine in a horizontal transport direction, and the temperature of the solution may be from 50 ° C. to approximately 100 ° C.

欧州特許第1657324号明細書は、エッチング溶液によるエッチングにより絶縁性若しくは非導電性の基板を金属化する方法を開示しており、この場合、基板の表面の粗面化及び金属化のための濃度、温度及び時間が制御される。   EP 1657324 discloses a method for metallizing an insulating or non-conductive substrate by etching with an etching solution, in this case the concentration for roughening and metallizing the surface of the substrate. Temperature and time are controlled.

このような処理溶液は、長期間使用されると処理特性を失うので、定期的に補充されるか、完全に又は部分的に交換されなければならず、ひいてはコスト高となる。   Such processing solutions lose processing properties when used for long periods of time and therefore must be replenished regularly or fully or partially replaced, thus increasing costs.

本発明の第1の目的は、処理溶液の延長した使用を可能にする、過マンガン酸塩を含む処理溶液を使用して、プラスチック基板、特にプリント回路基板及びプリント回路箔を処理、特にエッチングする方法を提供することである。第2の目的は、前記方法の目的を達するために処理溶液の、有効かつコストを節約する再生のための装置を提供することである。   A first object of the present invention is to process, particularly etch, plastic substrates, particularly printed circuit boards and printed circuit foils, using a treatment solution containing permanganate, which allows for extended use of the treatment solution. Is to provide a method. A second object is to provide an apparatus for the regeneration of treatment solutions that is effective and cost-effective to achieve the object of the method.

これらの目的を独立請求項の主体によって達成することができる。本発明の有利な好適な実施の形態の特徴は従属請求項から得られる。前記第1の目的を達するために、本発明は、プラスチック成形部品及び特にプリント回路基板及びプリント回路箔などのプラスチック基板を、過マンガン酸塩を含む処理溶液で処理、特にエッチングする方法を提案する。炭酸ナトリウムNa2CO3をベースとする炭酸塩濃度は、処理溶液から炭酸塩化合物を除去することによって溶解状態における処理溶液における炭酸塩化合物の所望の値に設定されることが、本発明によって意図されている。溶解された炭酸塩化合物はここで、凍結させることによって固体に変換され、その後、ろ過によって処理溶液から除去される。本発明の関連におけるろ過は、固体粒子が溶液から除去されるプロセスとして理解されるべきである。 These objects can be achieved by the subject matter of the independent claims. Advantageous preferred embodiment features of the invention result from the subclaims. In order to achieve the first object, the present invention proposes a method of treating, in particular etching, plastic molded parts and in particular plastic substrates such as printed circuit boards and printed circuit foils with a treatment solution containing permanganate. . It is intended by the present invention that the carbonate concentration based on sodium carbonate Na 2 CO 3 is set to the desired value of the carbonate compound in the processing solution in the dissolved state by removing the carbonate compound from the processing solution. Has been. The dissolved carbonate compound is now converted to a solid by freezing and then removed from the treatment solution by filtration. Filtration in the context of the present invention should be understood as a process in which solid particles are removed from solution.

所望の値は、本発明では、200g/l未満の値に設定され、好適には、方法のための処理溶液における炭酸塩化合物の濃度は、30〜150g/lの値に設定され、より好適には、処理溶液における炭酸塩化合物の濃度は、50〜100g/lの値に設定される。炭酸塩は、プラスチック基板との処理溶液の反応により生じた反応生成物である。   The desired value is set at a value of less than 200 g / l in the present invention, preferably the carbonate compound concentration in the treatment solution for the process is set at a value of 30-150 g / l, more preferred. In the treatment solution, the concentration of the carbonate compound is set to a value of 50 to 100 g / l. Carbonate is a reaction product generated by the reaction of the treatment solution with the plastic substrate.

炭酸塩化合物の凍結は、冷却タンクへ処理溶液を完全に又は部分的に移送し、その後、冷却タンクにおいて処理溶液を冷却することによって実現することができる。その後、冷却されかつ凍結した炭酸塩を含む処理溶液を冷却タンクから下流のろ過装置へ移送することにより、ろ過によって溶液から炭酸塩を除去することができる。   Freezing of the carbonate compound can be achieved by transferring the processing solution completely or partially to the cooling tank and then cooling the processing solution in the cooling tank. Thereafter, the carbonate can be removed from the solution by filtration by transferring the cooled and frozen treatment solution containing carbonate from the cooling tank to a downstream filtration device.

凍結させ、その後にろ過することによって処理溶液から炭酸塩化合物を除去するために、処理溶液は過マンガン酸ナトリウムを含む。処理溶液における過マンガン酸塩の割合は、50%を超える過マンガン酸ナトリウム(Na2MnO4)から成る。 The treatment solution contains sodium permanganate to remove the carbonate compound from the treatment solution by freezing and subsequent filtration. The proportion of permanganate in the treatment solution consists of more than 50% sodium permanganate (Na 2 MnO 4 ).

本発明の方法では、炭酸塩化合物の凍結は、特に、処理溶液を−12℃〜+12℃、好適には−9℃〜+10℃、より好適には−7℃〜+5℃の凍結温度に冷却することによって行うことができる。   In the method of the present invention, the freezing of the carbonate compound is particularly achieved by cooling the treatment solution to a freezing temperature of -12 ° C to + 12 ° C, preferably -9 ° C to + 10 ° C, more preferably -7 ° C to + 5 ° C. Can be done.

炭酸塩を除去する方法は、例えば50℃〜98℃の処理温度を有する再生される過マンガン酸塩溶液が処理タンクから冷却タンクへ移送されるように行うことができる。溶液は、この場合、1つ又は2つのプレクーラを通過することができる。冷却タンクにおいて、溶液は凍結温度、すなわち0℃以下の温度に冷却され、これにより、低温の結果として固体炭酸塩結晶が溶液に形成される。凍結温度に達した後、場合によっては凍結温度に達した後の付加的な待機時間の後、炭酸塩結晶を含んだ溶液は、冷却タンクからろ過装置へ完全に又はより好適には部分的に移動させられる。そこで、結晶はろ過され、場合によってはフィルタに提供される負圧によって保持される。ろ液を処理タンクへ戻すことができ、そこでろ液はプレクーラのうちの1つを通過することができ、それによりろ液を自動的に再び加熱することができる。炭酸塩結晶により形成されたフィルタケーキは、フィルタからすすぎ落とすことができ、排水に変換することができる。   The method of removing the carbonate can be performed such that the regenerated permanganate solution having a processing temperature of, for example, 50 ° C. to 98 ° C. is transferred from the processing tank to the cooling tank. The solution can in this case pass through one or two precoolers. In the cooling tank, the solution is cooled to a freezing temperature, ie, a temperature below 0 ° C., whereby solid carbonate crystals are formed in the solution as a result of the low temperature. After reaching the freezing temperature, and possibly after an additional waiting time after reaching the freezing temperature, the solution containing the carbonate crystals is completely or more preferably partially transferred from the cooling tank to the filtration device. Moved. There, the crystals are filtered and possibly held by the negative pressure provided to the filter. The filtrate can be returned to the processing tank, where it can pass through one of the precoolers, thereby automatically heating the filtrate again. The filter cake formed by the carbonate crystals can be rinsed from the filter and converted to waste water.

方法の別の有利な実施の形態は、前記方法に加えて、例えば国際公開第2001/90442号に説明されているように、処理溶液の電解質過マンガン酸塩再生が実現されることを含む。プラスチック基板との処理タンク内の処理溶液の過マンガン酸塩の反応により生じるマンガン酸塩は、処理溶液を適切な電解槽と接触させることによる陽極酸化により過マンガン酸塩に再び変換される。特に、電解質過マンガン酸塩再生による処理溶液における特定の炭酸塩濃度の設定のための本発明の方法の少なくとも1つのこのような組合せにより、過マンガン酸塩再生の効率を高めることができ、処理溶液の改良されたより長い寿命を達成することができる。   Another advantageous embodiment of the method includes, in addition to the method described above, that an electrolytic permanganate regeneration of the treatment solution is achieved, for example as described in WO 2001/90442. Manganate produced by the reaction of permanganate in the treatment solution in the treatment tank with the plastic substrate is converted back to permanganate by anodization by contacting the treatment solution with a suitable electrolytic cell. In particular, at least one such combination of the method of the present invention for setting a specific carbonate concentration in a treatment solution by electrolytic permanganate regeneration can increase the efficiency of permanganate regeneration, An improved longer life of the solution can be achieved.

本発明の第2の目的は、請求項に記載の方法を実施するために、処理溶液に含まれた炭酸塩化合物の濃度を減じることによって、過マンガン酸塩を含む処理溶液を少なくとも部分的に再生するための装置を提供することによって達成される。これにより、装置は、再生される処理溶液が提供されるための少なくとも1つの冷却タンクを有し、この冷却タンクは、さらに、前記冷却タンクに向けられた冷却装置を有し、かつ処理溶液から炭酸塩化合物を分離するための下流のろ過装置を有する。   A second object of the present invention is to at least partially render a treatment solution comprising permanganate by reducing the concentration of carbonate compound contained in the treatment solution in order to carry out the claimed method. This is accomplished by providing an apparatus for playback. Thereby, the apparatus has at least one cooling tank for providing a regenerated processing solution, the cooling tank further comprising a cooling device directed to the cooling tank and from the processing solution It has a downstream filtration device for separating carbonate compounds.

ろ過装置は、少なくとも1つのフィルタタンクと、1つのフィルタ、例えばフィルタストレーナとを有することができる。フィルタタンクは、ろ過中にフィルタにおける差圧を増大し、これにより、より迅速なろ過を達成するために、負圧装置に接続することができる。   The filtration device can have at least one filter tank and one filter, for example a filter strainer. The filter tank can be connected to a negative pressure device to increase the differential pressure in the filter during filtration, thereby achieving faster filtration.

フィルタタンクにおけるフィルタは、フィルタのクリーニングを容易にするために、可動に、例えば傾斜可能又は回転可能に配置することができる。   The filter in the filter tank can be movably arranged, for example tiltable or rotatable, to facilitate cleaning of the filter.

発明の前記実施の形態のうちの1つによる本発明の装置は、本発明の前記方法の実施の形態のうちの1つによる方法を実施するのに適している。   The apparatus of the invention according to one of the embodiments of the invention is suitable for carrying out a method according to one of the method embodiments of the invention.

以下では、発明の典型的な実施の形態は、発明及びその利点を特に添付された図面に基づいてさらに詳細に例示する。図面における個々のエレメントの互いの寸法比は、実際の比に相当するわけではない。なぜならば、幾つかの形状は単純化されて示されているのに対し、他の形状は、より見やすくするために他のエレメントに対して拡大された比率で示されているからである。   In the following, exemplary embodiments of the invention exemplify the invention and its advantages in more detail on the basis of the accompanying drawings in particular. The dimensional ratios of the individual elements in the drawing do not correspond to the actual ratios. This is because some shapes are shown in a simplified manner, while others are shown in an enlarged ratio relative to other elements for better visibility.

本発明の1つの実施の形態を示しており、この場合、プリント回路基板などのプラスチック部品を処理、例えばエッチングするために使用される処理溶液の再生のための装置が提供されている。1 shows an embodiment of the present invention, in which an apparatus is provided for the regeneration of a processing solution used to process, eg etch, plastic parts such as printed circuit boards. 図1による装置のクリーニングユニットの概略図を示している。2 shows a schematic view of a cleaning unit of the apparatus according to FIG. 図1及び図2によるフィルタ装置の一部であるフィルタユニットの概略図を示している。3 shows a schematic view of a filter unit that is part of the filter device according to FIGS. 1 and 2.

発明の同じエレメント又は同じ作用をするエレメントに対しては同じ参照符号が用いられている。図示された実施の形態は、本発明の装置及び方法がどのように見えるかの例を単に示しているだけであり、いかなる結果的な制限をも示していない。   The same reference numerals are used for the same elements of the invention or elements that perform the same function. The illustrated embodiment is merely an example of how the apparatus and method of the present invention would look, and does not show any consequential limitations.

図1の概略図は、処理タンク14における過マンガン酸塩を含む処理溶液12を少なくとも部分的に再生させるための本発明の装置10の1つの実施の形態を示している。処理タンク14は、プラスチック基板の処理、例えばエッチングのために使用される。装置10は、処理溶液12における炭酸塩化合物の濃度を減じる。装置10は、必須のエレメントとして冷却タンク16及び下流のフィルタ装置20を有する。再生される処理溶液12は、処理タンク14から冷却タンク16へ移送され、冷却装置18が冷却タンク16用に設けられている。冷却装置18は、冷却材が通流する熱交換器のうちの1つを介して、より好適には冷却タンク16の周囲に設けられた冷却ジャケット19を介して、冷却タンク16内の処理溶液に低温を提供する。冷却タンク16の排出部35は、処理溶液から分離される固体炭酸塩化合物を分離するためのフィルタ装置20に接続されている。   The schematic diagram of FIG. 1 shows one embodiment of the apparatus 10 of the present invention for at least partially regenerating a processing solution 12 containing permanganate in a processing tank 14. The processing tank 14 is used for processing a plastic substrate, for example, etching. The apparatus 10 reduces the concentration of the carbonate compound in the treatment solution 12. The device 10 includes a cooling tank 16 and a downstream filter device 20 as essential elements. The processing solution 12 to be regenerated is transferred from the processing tank 14 to the cooling tank 16, and a cooling device 18 is provided for the cooling tank 16. The cooling device 18 is a treatment solution in the cooling tank 16 through one of the heat exchangers through which the coolant flows, and more preferably through a cooling jacket 19 provided around the cooling tank 16. To provide low temperature. The discharge part 35 of the cooling tank 16 is connected to the filter device 20 for separating the solid carbonate compound separated from the processing solution.

例えば熱交換器として設計することができる予冷器22を処理タンク14と冷却タンク16との間に据え付けることができ、これにより、冷却タンク16へ送られる、再生される処理溶液12を予冷するために、冷却及び再生された処理溶液12、すなわちフィルタ装置20のろ液又はすすぎ水を使用することができる。   For example, a precooler 22, which can be designed as a heat exchanger, can be installed between the processing tank 14 and the cooling tank 16, thereby precooling the regenerated processing solution 12 sent to the cooling tank 16. Alternatively, the cooled and regenerated treatment solution 12, ie the filtrate or rinse water of the filter device 20, can be used.

フィルタ装置20を負圧ユニット24に接続することができ、この負圧ユニット24は、処理溶液からの固体部分の分離を容易にする。ろ過プロセスが迅速に生じると、著しくより多くの量の炭酸塩結晶をろ過することができることが分かった。負圧ユニット24が設けられている結果、ろ過のためのフィルタにおける著しくより大きな差圧が生じ、これは、著しくより迅速なろ過を可能にする。粘着性の過マンガン酸塩を除去するために、ろ過された炭酸塩結晶を含むフィルタケーキを、フラッシング装置28を用いてすすぐことができる。結果として得られるすすぎ水溶液を処理タンク14へ移送することができる。フィルタケーキがフラッシング装置28によってフィルタからすすぎ落とされる一方で、結果として得られる溶液若しくはスラッジを、排水管26を介して排水装置へ搬送することができる。フィルタ装置20において生じたろ液、すなわち再生された処理溶液は、好適には処理タンク14へ移送されて戻る。したがって、再生された処理溶液は予冷器22を流過し、この予冷器において、再生された処理溶液は自動的に再び加熱され、処理タンク14から冷却タンクへ移送される処理溶液は冷却される。   The filter device 20 can be connected to a negative pressure unit 24 that facilitates separation of the solid portion from the processing solution. It has been found that significantly higher amounts of carbonate crystals can be filtered if the filtration process occurs quickly. The provision of the negative pressure unit 24 results in a significantly greater differential pressure in the filter for filtration, which allows a significantly faster filtration. To remove the sticky permanganate, the filter cake containing the filtered carbonate crystals can be rinsed using the flushing device 28. The resulting rinse aqueous solution can be transferred to the treatment tank 14. While the filter cake is rinsed from the filter by the flushing device 28, the resulting solution or sludge can be conveyed via the drain 26 to the drain. The filtrate produced in the filter device 20, ie the regenerated process solution, is preferably transferred to the process tank 14 and returned. Accordingly, the regenerated processing solution flows through the precooler 22, where the regenerated processing solution is automatically heated again, and the processing solution transferred from the processing tank 14 to the cooling tank is cooled. .

冷却タンク16には、好適には、例えば電動式の、撹拌装置32が設けられており、この撹拌装置32は、例えば、鉛直方向バーを備えた回転する撹拌ブレードを有し、これらの撹拌ブレードは、通常、タンクの内壁に沿って近接して移動させられ、これにより、タンクの内壁に形成される炭酸塩種結晶を前記壁部から除去し、これらを溶液中に分散させる。撹拌ブレードは、好適には、冷却タンク16の漏斗状のフロア34において延びており(ここには図示されていない)、壁部に堆積した処理溶液12の多かれ少なかれ全ての固体部分を捕捉することができるように前記フロア34内へ延びている。バーと壁部との間の間隔は、例えば20mm未満、特に5mm未満、好適には約1mm未満であってよい。撹拌装置は、壁部からも炭酸塩結晶を除去することができるように、冷却タンクの排水部35にまで延びていてよい。 The cooling tank 16 is preferably provided with, for example, an electric stirring device 32, which has a rotating stirring blade with a vertical bar, for example, and these stirring blades. Is usually moved in close proximity along the inner wall of the tank, thereby removing the carbonate seed crystals formed on the inner wall of the tank from the wall and dispersing them in the solution. The agitation blade preferably extends on the funnel-like floor 34 of the cooling tank 16 (not shown here) and captures more or less all solid portions of the processing solution 12 deposited on the walls. Extends into the floor 34 . The spacing between the bar and the wall may be, for example, less than 20 mm, in particular less than 5 mm, preferably less than about 1 mm. The stirrer may extend to the drain 35 of the cooling tank so that the carbonate crystals can be removed from the wall.

処理溶液12の再生は、処理溶液12の使用期間を延長させるが、処理溶液12の通常の寿命は一般的に比較的短い。これは、エッチング作用に否定的な効果を与える恐れがある、溶液における炭酸塩化合物の形成に強く依存する。この理由から、本発明の再生装置10は、炭酸塩濃度を、好適には200g/l未満の値、特に30〜150g/lの値に減じるために使用され、50〜100g/lの濃度値(処理溶液1リットル当たりの炭酸ナトリウムのグラム数として測定される)が、最適な結果を得るためにより好ましい。処理溶液12の所望の濃度範囲を設定するために、エッチングプロセスによって形成された炭酸塩は、装置10を使用して溶液12から除去される。これは、冷却タンク16において処理溶液12から炭酸塩を凍結させることによって行われ、炭酸塩は、溶解状態から非溶解状態へ変換される。経済的な理由から、できるだけ少ない過マンガン酸塩が非溶解状態へ変換されるべきである。過マンガン酸ナトリウムを用いることによって、適切な凍結温度を選択することができ、多すぎる量の過マンガン酸塩を凍結させることなく炭酸塩を凍結させることができる。   Although regeneration of the treatment solution 12 extends the service life of the treatment solution 12, the normal life of the treatment solution 12 is generally relatively short. This is highly dependent on the formation of carbonate compounds in solution, which can have a negative effect on the etching action. For this reason, the regenerator 10 according to the invention is used to reduce the carbonate concentration to a value preferably below 200 g / l, in particular to a value of 30 to 150 g / l, with a concentration value of 50 to 100 g / l. (Measured as grams of sodium carbonate per liter of treatment solution) is more preferred for obtaining optimal results. In order to set the desired concentration range of the treatment solution 12, the carbonate formed by the etching process is removed from the solution 12 using the apparatus 10. This is done by freezing the carbonate from the treatment solution 12 in the cooling tank 16 and the carbonate is converted from a dissolved state to an undissolved state. For economic reasons, as little permanganate as possible should be converted to an undissolved state. By using sodium permanganate, an appropriate freezing temperature can be selected and the carbonate can be frozen without freezing too much permanganate.

フィルタ装置20は、凍結された炭酸塩を場合によっては溶解させながら、凍結された炭酸塩の迅速な分離のために用いられる。   The filter device 20 is used for rapid separation of the frozen carbonates, possibly dissolving the frozen carbonates.

冷却タンク16における温度は、処理溶液において又は内壁に炭酸塩結晶が形成するように設定される。炭酸塩を凍結させるために、−12℃〜+12℃、特に−9℃〜+10℃、好適には−7℃〜+5℃の溶液温度が設定される。冷却液体の温度は、それぞれより低くなる。   The temperature in the cooling tank 16 is set so that carbonate crystals form in the processing solution or on the inner wall. In order to freeze the carbonate, a solution temperature of −12 ° C. to + 12 ° C., in particular −9 ° C. to + 10 ° C., preferably −7 ° C. to + 5 ° C. is set. The temperature of the cooling liquid becomes lower respectively.

冷却タンク16へ移送される処理溶液の量は、既に形成された炭酸塩種結晶の逆溶解を防止するために、炭酸塩を凍結させるために必要とされる温度を超えないように提供する量である。逆溶解は、さもなければ、凍結した炭酸塩の形成率を著しく低下させる。処理溶液の複数の部分を冷却タンク16へ移送すること、及び冷却されかつ凍結した炭酸塩を含む処理溶液を冷却タンク16から下流のフィルタ装置20へ移送することは、冷却タンクにおける処理溶液の温度が凍結温度を超えないように行うことができる。好ましくは、冷却タンク16の作動容積、例えば50lを超える作動容積に基づいて、冷却タンク16における処理溶液の部分的な体積、例えば10l未満の供給及び排出も生じる。対応する部分的な体積は、供給ポンプ21及び移送ポンプ37によって設定及び搬送することができる。戻しポンプ23は、炭酸除去され再生された処理溶液、及びフィルタケーキのすすぎにより生じたすすぎ溶液を、処理タンク14へ戻し、これらの溶液は予器22を流過することができる。 The amount of processing solution transferred to the cooling tank 16 provides an amount that does not exceed the temperature required to freeze the carbonate to prevent reverse dissolution of the carbonate seed crystals already formed. It is. Reverse lysis otherwise significantly reduces the rate of formation of frozen carbonates. Transferring portions of the processing solution to the cooling tank 16 and transferring the cooled and frozen processing solution containing carbonate from the cooling tank 16 to the downstream filter device 20 is dependent on the temperature of the processing solution in the cooling tank. Can be carried out such that the freezing temperature is not exceeded. Preferably, based on the working volume of the cooling tank 16, for example greater than 50 l, a partial volume of processing solution in the cooling tank 16, such as a supply and discharge of less than 10 l, will also occur. The corresponding partial volume can be set and transported by the supply pump 21 and the transfer pump 37. Return pump 23, the processing solution which is reproduced carbonated removed, and the rinse solution was produced by rinsing the filter cake back to the processing tank 14, these solutions can flow through the pre-cooling unit 22.

図2の概略的なブロック図は、図1と比較して、基本的にフィルタ装置20を含むクリーニングユニット36の付加的な構造的詳細を示している。フィルタ装置20は、基本的に、フィルタタンク42と、フィルタストレーナ56などのフィルタとを有することができる。   The schematic block diagram of FIG. 2 shows additional structural details of the cleaning unit 36 that basically includes the filter device 20 compared to FIG. The filter device 20 can basically include a filter tank 42 and a filter such as a filter strainer 56.

ろ過された炭酸塩の高い供給量を得るために、冷却された処理溶液、好適には冷却タンク16における処理溶液の部分的な量がフィルタ装置20に加えられた時間から、フィルタケーキの形成の終了までを測定して、できるだけ短い時間でろ過プロセスを行うことが有利であることが分かった。したがって、ろ過プロセスは、10分未満、好適には200秒未満で完了する。これに代えて、フィルタ装置20を、例えば冷却ジャケットを用いて冷却することもできる。より長いろ過時間も可能である。   In order to obtain a high feed of filtered carbonate, from the time when a chilled processing solution, preferably a partial amount of the processing solution in the cooling tank 16, is added to the filter device 20, the formation of the filter cake. It has been found advantageous to carry out the filtration process in the shortest possible time, measured to completion. Thus, the filtration process is completed in less than 10 minutes, preferably less than 200 seconds. Alternatively, the filter device 20 can be cooled using, for example, a cooling jacket. Longer filtration times are possible.

冷却タンク16と、冷却タンク16とフィルタ装置20との間の移送ライン38と、フィルタタンク42とを、断熱することができる。   The cooling tank 16, the transfer line 38 between the cooling tank 16 and the filter device 20, and the filter tank 42 can be insulated.

改良されたろ過効果及び分離効果を、差圧を用いることによって達成することができる。真空管46を通じて、タンク42には、負圧ユニット24から負圧を供給することができる。   Improved filtration and separation effects can be achieved by using differential pressure. A negative pressure can be supplied from the negative pressure unit 24 to the tank 42 through the vacuum tube 46.

ろ過の後、フィルタケーキを、水、好適には、ノズル52を通じてすすぎ水ライン40から導入された好適には10℃未満の冷却された水によってすすぐことができる(図3)。あらゆる粘着性過マンガン酸塩溶液をこれにより洗い落とし、処理タンク14へ再び供給することができる。つまり、すすぎ水を、負圧又は真空によってフィルタ56を通って吸引することができる。炭酸塩結晶から成るフィルタケーキのろ過プロセスの後、フィルタ56は、ノズル52を通じて、水、好適には冷却されていない若しくは加熱された水によって洗浄され、炭酸溶液若しくはスラッジは、水管26を通じて除去される。 After filtration, the filter cake can be rinsed with water, preferably chilled water, preferably below 10 ° C., introduced from the rinse water line 40 through the nozzle 52 (FIG. 3). Any sticky permanganate solution can thereby be washed off and fed back into the treatment tank 14. That is, the rinse water can be sucked through the filter 56 by negative pressure or vacuum. After the filtration process of the filter cake consisting of carbonate crystals, the filter 56, through the nozzle 52, water, preferably washed by being not not or heated by cooling water, carbonate solutions or sludge removal through discharge water pipe 26 Is done.

図3の概略図は、フィルタ装置20の、本発明による可能な実施の形態を示している。フィルタタンク42の上部領域の周囲において、フィルタタンク42は、フィルタ又はフィルタストレーナ56の高さにおいてノズル52を有する。ノズル52は、フィルタケーキをすすぐために、又はすすぎ水ライン40からの水によってフィルタケーキからフィルタを洗浄するために用いられる。ろ液は戻り管44を通じて除去される。   The schematic diagram of FIG. 3 shows a possible embodiment of the filter device 20 according to the invention. Around the upper region of the filter tank 42, the filter tank 42 has a nozzle 52 at the height of the filter or filter strainer 56. The nozzle 52 is used to rinse the filter cake or to clean the filter from the filter cake with water from the rinse water line 40. Filtrate is removed through return tube 44.

フィルタ56を傾斜可能に、例えば水平軸線を中心にして回転可能に配置することができる。フィルタ56は、作動状態において水平位置を占め、クリーニングプロセスのために傾斜位置又は鉛直位置へ移動させることができる。フィルタ56を180°傾斜若しくは回転させることもできる。フィルタストレーナ56を適切に洗浄するために、ノズル52は、水平に配置されたストレーナ56の高さよりも高い又は低い高さに位置する。クリーニングの間、フィルタストレーナ56は傾斜若しくは回転させられ、上側及び底側はすすぎ水で噴霧される。   The filter 56 can be disposed so as to be tiltable, for example, rotatable about a horizontal axis. The filter 56 occupies a horizontal position in the activated state and can be moved to a tilted or vertical position for the cleaning process. The filter 56 can also be tilted or rotated 180 °. In order to properly clean the filter strainer 56, the nozzle 52 is located at a height that is higher or lower than the height of the horizontally disposed strainer 56. During cleaning, the filter strainer 56 is tilted or rotated and the top and bottom sides are sprayed with rinse water.

換気部30と、負圧ユニット24の負圧管46とは、タンクの上部領域において、ただしフィルタよりも下方で接続されている。負圧ユニット24は、基本的に、負圧ポンプ59と、負圧タンク58と、締切弁57とからなることができる。   The ventilation unit 30 and the negative pressure pipe 46 of the negative pressure unit 24 are connected in the upper region of the tank but below the filter. The negative pressure unit 24 can basically include a negative pressure pump 59, a negative pressure tank 58, and a cutoff valve 57.

図1が示すように、処理溶液におけるある炭酸塩濃度を設定するための装置10は、過マンガン酸塩において、エッチング反応の間に生ぜしめられたマンガン酸塩の酸化のための電解質再生装置11と組み合わせることもできる。その場合、両再生装置を供給管及び戻り管25,44,64,65を通じて処理タンク14に接続することができる。   As FIG. 1 shows, an apparatus 10 for setting a certain carbonate concentration in the treatment solution is an electrolyte regenerator 11 for permanganate oxidation for the manganate produced during the etching reaction. Can also be combined. In that case, both regenerators can be connected to the processing tank 14 through the supply and return pipes 25, 44, 64, 65.

10 装置
11 電解質再生装置
12 処理溶液
14 処理タンク
16 冷却タンク
18 冷却装置
19 冷却ジャケット
20 フィルタ装置
21 供給ポンプ
22 予
23 戻しポンプ
24 負圧ユニット
25 供給管
26 排水管、廃棄部
28 フラッシング装置
30 換気部
32 撹拌装置
34 フロア、漏斗状フロア
35 排水部
36 洗浄ユニット
37 移送ポンプ
38 移送ライン
40 すすぎ水ライン
42 ランク、フィルタタンク
44 戻し管
46 負圧管
52 ノズル
56 フィルタストレーナ
57 締切弁
58 負圧タンク
59 負圧ポンプ
64 戻し管
65 供給管
10 11 electrolyte reproducing apparatus 12 processing solution 14 treatment tank 16 cooled tank 18 cooling device 19 returns the cooling jacket 20 filter device 21 supply pump 22 pre-cooling unit 23 the pump 24 the negative pressure unit 25 supply pipe 26 drain pipe, discarding unit 28 flushing device 30 Ventilation section 32 Stirrer 34 Floor, funnel-shaped floor 35 Drainage section 36 Washing unit 37 Transfer pump 38 Transfer line 40 Rinse water line 42 Rank, filter tank 44 Return pipe 46 Negative pressure pipe 52 Nozzle 56 Filter strainer 57 Cutoff valve 58 Negative pressure Tank 59 Negative pressure pump 64 Return pipe 65 Supply pipe

Claims (8)

プラスチック部材を、過マンガン酸塩を含む処理溶液によって処理する方法であって、前記処理溶液における炭酸塩化合物の濃度を、凍結、及びその後のろ過により前記処理溶液から前記炭酸塩化合物を除去することによって、200g/l未満の値に設定し、前記処理溶液は、過マンガン酸ナトリウムを含むことを特徴とする、方法。 The plastic member, a way to processing by a processing solution containing a permanganate, the concentration of the carbonate compound in the treatment solution, freezing, and subsequent said carbonate compound from the processing solution by filtration By removing , setting to a value of less than 200 g / l, the treatment solution comprises sodium permanganate. 前記処理溶液における前記過マンガン酸塩の割合は、50%を超える過マンガン酸ナトリウムから成る、請求項1記載の方法。   The method of claim 1, wherein the permanganate proportion in the treatment solution comprises greater than 50% sodium permanganate. 前記炭酸塩化合物の凍結は、処理溶液を−12℃〜+12℃の凍結温度に冷却することによって行われる、請求項1又は2記載の方法。 The method according to claim 1 or 2, wherein the freezing of the carbonate compound is performed by cooling the treatment solution to a freezing temperature of -12 ° C to + 12 ° C. 前記処理溶液の複数の部分を冷却タンクへ移送すること、及び冷却されかつ凍結した炭酸塩を含む前記処理溶液を前記冷却タンクから下流のフィルタ装置へ移送することを、前記冷却タンクにおける前記処理溶液の温度が凍結温度を超えないように行う、請求項1から3までのいずれか1項記載の方法。   Transferring the plurality of portions of the processing solution to a cooling tank, and transferring the processing solution containing cooled and frozen carbonate from the cooling tank to a downstream filter device, the processing solution in the cooling tank. The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the temperature is controlled so as not to exceed a freezing temperature. プラスチック基板との処理タンク内の前記処理溶液の過マンガン酸塩の反応により生じるマンガン酸塩は、前記処理溶液を電解槽と接触させることにより過マンガン酸塩に変換される、請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。   The manganate produced by the reaction of permanganate in the treatment solution in a treatment tank with a plastic substrate is converted to permanganate by bringing the treatment solution into contact with an electrolytic cell. The method according to any one of the above. 請求項1から5までのいずれか1項記載の方法を実施するために、処理溶液に含まれた炭酸塩化合物の濃度を減じることによって、プラスチック部材を処理るために使用される、過マンガン酸塩を含む処理溶液を少なくとも部分的に再生させるための装置であって、前記装置は、少なくとも1つの冷却タンクを備え、該冷却タンクは、再生される前記処理溶液を供給され、かつ該処理溶液から炭酸塩化合物を分離する下流のフィルタ装置を有することを特徴とする、装置。 To carry out the method of any one of claims 1 to 5, by reducing the concentration of the carbonate compound contained in the processing solution, it is used in order to process the plastic member, over An apparatus for at least partially regenerating a treatment solution comprising manganate, the apparatus comprising at least one cooling tank, the cooling tank being fed with the treatment solution to be regenerated, and An apparatus comprising a downstream filter device for separating a carbonate compound from a treatment solution. 前記フィルタ装置は、少なくとも1つのフィルタタンクと、1つのフィルタとを含み、前記フィルタタンクは、負圧ユニットと接続されている、請求項6記載の装置。   The apparatus according to claim 6, wherein the filter device includes at least one filter tank and one filter, and the filter tank is connected to a negative pressure unit. 請求項1から5までのいずれか1項記載の方法を実施するための請求項6又は7記載の装置の使用。   Use of the device according to claim 6 or 7 for carrying out the method according to any one of claims 1 to 5.
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