JP5897313B2 - Resin-encapsulated semiconductor device, resin-encapsulating mold, resin-encapsulated semiconductor device manufacturing method, and lead frame - Google Patents

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Description

本発明は、放熱フィンの取り付けが可能な樹脂封止型半導体装置、樹脂封止型半導体装置を製造する際に用いられる樹脂封止用金型、樹脂封止型半導体装置の製造方法及び樹脂封止型半導体装置に用いられるリードフレームに関する。   The present invention relates to a resin-encapsulated semiconductor device in which a radiation fin can be attached, a resin-encapsulating mold used when manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device, a resin-encapsulated semiconductor device manufacturing method, and a resin encapsulating The present invention relates to a lead frame used in a stationary semiconductor device.

半導体素子及び当該半導体素子が取り付けられるダイパッドなどの半導体素子取り付け部を樹脂封止してなる樹脂封止型半導体装置(例えば、非特許文献1参照。)は、各種電子機器に広く用いられている。   2. Description of the Related Art Resin-encapsulated semiconductor devices (for example, see Non-Patent Document 1) formed by resin-sealing a semiconductor element and a semiconductor element attachment portion such as a die pad to which the semiconductor element is attached are widely used in various electronic devices. .

図24は、非特許文献1に開示されている従来の樹脂封止型半導体装置900を説明するために示す斜視図である。なお、図24は樹脂を透明化して示す図である。また、図24に示す従来の樹脂封止型半導体装置900は、シングルインライン型ブリッジダイオードであるとする。   FIG. 24 is a perspective view shown for explaining a conventional resin-encapsulated semiconductor device 900 disclosed in Non-Patent Document 1. As shown in FIG. FIG. 24 is a view showing the resin transparently. A conventional resin-encapsulated semiconductor device 900 shown in FIG. 24 is assumed to be a single in-line bridge diode.

従来の樹脂封止型半導体装置900は、図24に示すように、半導体素子取り付け部としてのダイパッド(第1ダイパッド911及び第2ダイパッド912)、半導体素子、連結接続子(第1連結接続子921及び第2連結接続子922)などが樹脂封止されることによって形成された樹脂封止型半導体装置本体(以下、「本体」と略記する。)930と、外部への接続端子となる4本のアウターリード(第1アウターリード951,952及び第2アウターリード953,954という。)とを備えている。   As shown in FIG. 24, a conventional resin-encapsulated semiconductor device 900 includes a die pad (first die pad 911 and second die pad 912) as a semiconductor element mounting portion, a semiconductor element, and a connection connector (first connection connector 921). In addition, a resin-encapsulated semiconductor device main body (hereinafter abbreviated as “main body”) 930 formed by resin-sealing the second connecting connector 922) and the like, and four terminals serving as connection terminals to the outside. Outer leads (referred to as first outer leads 951 and 952 and second outer leads 953 and 954).

このような構成の樹脂封止型半導体装置900は、本体930の背面(図24において紙面の裏側)に放熱フィン980(図25参照。)をネジによって取り付けるためのネジ通し孔Hが本体930に設けられている。   In the resin-encapsulated semiconductor device 900 having such a configuration, the main body 930 has a screw through hole H for attaching the heat dissipating fins 980 (see FIG. 25) to the back surface of the main body 930 (the back side of the paper surface in FIG. 24). Is provided.

図25は、図24に示す従来の樹脂封止型半導体装置900に放熱フィン980を取り付けた状態を示す図である。従来の樹脂封止型半導体装置900に放熱フィン980を取り付ける場合には、本体930の背面に放熱フィン980を接触させた状態として、本体930の正面から、ネジ990をネジ通し孔Hに挿入して、放熱フィン980に設けられている雌ネジ部(図示せず。)にネジ990の先端部を螺合させて、ネジ990を締めることによって放熱フィン980を取り付ける。   FIG. 25 is a view showing a state in which heat radiation fins 980 are attached to the conventional resin-encapsulated semiconductor device 900 shown in FIG. When attaching the heat radiating fins 980 to the conventional resin-encapsulated semiconductor device 900, the screw 990 is inserted into the screw through hole H from the front of the main body 930 with the heat radiating fins 980 being in contact with the back of the main body 930. Then, the tip of the screw 990 is screwed into a female screw portion (not shown) provided on the heat dissipating fin 980, and the heat dissipating fin 980 is attached by tightening the screw 990.

製品情報>半導体製品>ダイオード>ブリッジダイオード>リード挿入型、[online]、新電元工業株式会社、[平成22年9月16日検索]、インターネット、<URL:http://www.shindengen.co.jp/product/semi/list_detail_NEW.php?category_id=01&sub_id=03&product_id=D25JAB80V>Product Information> Semiconductor Products> Diodes> Bridge Diodes> Lead Insertion Type [online], Shindengen Electric Co., Ltd. [searched on September 16, 2010], Internet, <URL: http: //www.shindengen. com.product / semi / list_detail_NEW.php? category_id = 01 & sub_id = 03 & product_id = D25JAB80V>

ところで、上記のように製造された樹脂封止型半導体装置900は、電子機器の基板(図示せず。)に実装する際においては、基板に設けられている取り付け孔にアウターリード951〜954を挿し込んだのちに、半田付けなどによって電気的に接続するのが一般的である。このとき、近年の電子機器の高機能化及び小型化に伴い、樹脂封止型半導体装置においても、様々な形態で実装がなされるようになってきており、樹脂封止型半導体装置900を基板などに実装する際に、実装の自由度を高くしたいという要求が高まってきている。このため、放熱フィン980の取り付け位置も、本体930の背面ではなく、例えば、本体930の上面(天面)としたい場合もある。   By the way, when the resin-encapsulated semiconductor device 900 manufactured as described above is mounted on a substrate (not shown) of an electronic device, outer leads 951 to 954 are provided in mounting holes provided in the substrate. After inserting, it is common to electrically connect by soldering or the like. At this time, along with the recent enhancement of functionality and miniaturization of electronic devices, the resin-encapsulated semiconductor devices have been mounted in various forms, and the resin-encapsulated semiconductor device 900 is mounted on the substrate. There is an increasing demand to increase the degree of freedom of mounting when mounting to the Internet. For this reason, the attachment position of the radiation fin 980 may be not the back surface of the main body 930 but the upper surface (top surface) of the main body 930, for example.

しかしながら、従来の樹脂封止型半導体装置900においては、放熱フィン980の取り付け位置は固定的であるため、放熱フィン980の取り付け位置の変更は、容易には行えないといった課題がある。   However, in the conventional resin-encapsulated semiconductor device 900, since the attachment position of the radiation fin 980 is fixed, there is a problem that the attachment position of the radiation fin 980 cannot be easily changed.

そこで本発明は、放熱フィンの取り付け位置を選択可能とすることによって、樹脂封止型半導体装置を電子機器の基板などに取り付ける場合における実装の自由度を高くすることが可能な樹脂封止型半導体装置を提供することを目的とする。また、本発明の樹脂封止型半導体装置を製造可能な樹脂封止用金型及び樹脂封止型半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。さらに、本発明の樹脂封止型半導体装置に用いることによって放熱効果を高めることができるリードフレームを提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention provides a resin-encapsulated semiconductor capable of increasing the degree of freedom in mounting when a resin-encapsulated semiconductor device is attached to a substrate of an electronic device by making it possible to select the mounting position of the heat dissipating fins. An object is to provide an apparatus. It is another object of the present invention to provide a resin sealing mold and a resin sealing semiconductor device manufacturing method capable of manufacturing the resin sealed semiconductor device of the present invention. Furthermore, it aims at providing the lead frame which can improve the heat dissipation effect by using for the resin-sealed semiconductor device of this invention.

[1]本発明の樹脂封止型半導体装置は、半導体素子と半導体素子取り付け部とが樹脂により封止された本体と、前記本体から外部に向かって所定方向に延出しているアウターリードと、を備えた樹脂封止型半導体装置であって、前記アウターリードが延出している面を前記本体の下面とし、その裏面を前記本体の上面とし、前記下面と前記上面との間で放熱フィンの取り付けが可能な面を前記本体の背面とし、その裏面を前記本体の正面としたとき、前記本体には、前記放熱フィンを前記背面又は前記上面に取り付けるための第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部が前記本体の異なる面に設けられていることを特徴する。   [1] A resin-encapsulated semiconductor device according to the present invention includes a main body in which a semiconductor element and a semiconductor element mounting portion are sealed with resin, an outer lead extending in a predetermined direction from the main body toward the outside, The surface where the outer leads extend is the lower surface of the main body, the back surface thereof is the upper surface of the main body, and the radiating fin is disposed between the lower surface and the upper surface. When the surface that can be attached is the back surface of the main body and the back surface is the front surface of the main body, the main body is provided with a first screw threading portion and a second screw for attaching the radiating fin to the back surface or the upper surface. The through portion is provided on a different surface of the main body.

[2]本発明の樹脂封止型半導体装置においては、前記半導体素子取り付け部は、前記半導体素子を取り付けるための板状のダイパッドからなり、前記ダイパッドは、前記半導体素子を搭載するための搭載部と、当該搭載部における前記上面側の端部を前記正面側に屈曲させることによって形成される屈曲平面部と、を有することが好ましい。   [2] In the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, the semiconductor element mounting portion is composed of a plate-shaped die pad for mounting the semiconductor element, and the die pad is a mounting portion for mounting the semiconductor element. And a bent flat portion formed by bending the end portion on the upper surface side of the mounting portion toward the front side.

[3]本発明の樹脂封止型半導体装置においては、前記屈曲平面部の先端部は、前記正面と前記背面との間の中間位置よりも前記正面側に位置するように形成されていることが好ましい。   [3] In the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, the distal end portion of the bent plane portion is formed so as to be located on the front side with respect to an intermediate position between the front surface and the back surface. Is preferred.

[4]本発明の樹脂封止型半導体装置においては、前記本体には、前記放熱フィンの取り付け位置のずれを防止するための位置ずれ防止用係合部が設けられていることが好ましい。   [4] In the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, it is preferable that the main body is provided with a misalignment preventing engagement portion for preventing a displacement of the attachment position of the heat dissipating fin.

[5]本発明の樹脂封止型半導体装置においては、前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部によって、ネジを通すための第1挿通路及び第2挿入路が形成され、前記第1挿通路及び前記第2挿通路は交差するように設けられていることが好ましい。   [5] In the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, a first insertion path and a second insertion path for passing a screw are formed by the first screw passage part and the second screw passage part. It is preferable that the 1 insertion path and the 2nd insertion path are provided so that it may cross | intersect.

[6]本発明の樹脂封止型半導体装置においては、前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部は、当該第1ネジ通し部を成形するための第1突出部を有する第1金型及び当該第2ネジ通し部を成形するための第2突出部を有する第2金型からなる樹脂封止用金型によって成形されていることが好ましい。   [6] In the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, the first screw passage portion and the second screw passage portion have a first protrusion having a first protrusion for forming the first screw passage portion. It is preferable that it is molded by a resin sealing mold comprising a second mold having a mold and a second protrusion for molding the second threading portion.

[7]本発明の樹脂封止型半導体装置においては、前記第1ネジ通し部は、第1のU字状空間と、当該第1のU字状空間と空間を共有する第2のU字状空間と、からなり、前記第1のU字状空間は、前記正面において、半円形をなす湾曲部と開口部とを有するU字状をなし、前記湾曲部は前記正面における前記上面側の端辺と前記下面側の端辺との間に位置するとともに、前記開口部は前記正面における前記下面側の端辺に位置し、当該第1のU字状空間は、前記背面に向かって所定位置まで形成されており、前記第2のU字状空間は、前記下面において、半円形をなす湾曲部と開口部とを有するU字状をなし、前記湾曲部は前記下面における前記正面側の端辺と前記背面側の端辺との間に位置するとともに、前記開口部は前記下面における前記正面側の端辺に位置し、当該第2のU字状空間は、前記上面に向かって所定位置まで形成されており、前記第2ネジ通し部は、第3のU字状空間と、当該第3のU字状空間と空間を共有する第4のU字状空間と、からなり、前記第3のU字状空間は、前記背面において、半円形をなす湾曲部と開口部とを有するU字状をなし、前記湾曲部は前記背面における前記上面側の端辺と前記下面側の端辺との間に位置するとともに、前記開口部は前記背面における前記上面側の端辺に位置し、当該第3のU字状空間は、前記正面に向かって所定位置まで形成されており、前記第4のU字状空間は、前記上面において、半円形をなす湾曲部と開口部とを有するU字状をなし、前記湾曲部は前記上面における前記正面側の端辺と前記背面側の端辺との間に位置するとともに、前記開口部は前記上面における前記背面側の端辺に位置し、当該第4のU字状空間は、前記下面に向かって所定位置まで形成されており、前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部は、空間を共有し、前記上面又は前記下面を見たときには、前記第2のU字状空間の湾曲部と前記第4のU字状空間の湾曲部とによって、円形をなす前記第1挿通路が形成されるように構成され、前記正面又は前記背面を見たときには、前記第1のU字状空間の湾曲部と前記第3のU字状空間の湾曲部とによって、円形をなす前記第2挿通路が形成されるように構成されていることが好ましい。   [7] In the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, the first screw passage portion has a first U-shaped space and a second U-shape that shares the space with the first U-shaped space. The first U-shaped space has a U-shape having a semicircular curved portion and an opening on the front surface, and the curved portion is located on the upper surface side of the front surface. The opening is located between an end side and an end side on the lower surface side, and the opening is positioned on an end side on the lower surface side of the front surface, and the first U-shaped space is predetermined toward the back surface. The second U-shaped space is formed in a U shape having a semicircular curved portion and an opening on the lower surface, and the curved portion is formed on the front side of the lower surface. Located between the edge and the edge on the back side, and the opening is The second U-shaped space located on the front side edge is formed up to a predetermined position toward the upper surface, and the second screw passage portion includes a third U-shaped space, A fourth U-shaped space that shares a space with the third U-shaped space, and the third U-shaped space has a curved portion and an opening that form a semicircle on the back surface. The curved portion is positioned between the upper surface side edge and the lower surface side edge of the back surface, and the opening is positioned on the upper surface side edge of the back surface. The third U-shaped space is formed up to a predetermined position toward the front, and the fourth U-shaped space has a semicircular curved portion and an opening on the upper surface. It has a U-shape, and the curved portion is formed between the front side edge and the back side edge of the upper surface. And the opening is located at an end of the upper surface on the back side, and the fourth U-shaped space is formed to a predetermined position toward the lower surface, and the first screw thread And the second threaded portion share a space, and when viewed from the upper surface or the lower surface, the curved portion of the second U-shaped space and the curved portion of the fourth U-shaped space The first insertion passage having a circular shape is formed, and when viewed from the front or the back, the curved portion of the first U-shaped space and the curved shape of the third U-shaped space are formed. It is preferable that the second insertion passage having a circular shape is formed by the portion.

[8]本発明の樹脂封止型半導体装置においては、前記放熱フィンを前記背面に取り付けた状態とした場合には、前記ネジは、前記第1のU字状空間の湾曲部と前記第3のU字状空間の湾曲部とによって位置決めされ、前記放熱フィンを前記上面に取り付けた状態とした場合には、前記ネジは、前記第2のU字状空間の湾曲部と前記第4のU字状空間の湾曲部とによって位置決めされることが好ましい。   [8] In the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, when the heat radiating fin is attached to the back surface, the screw is connected to the curved portion of the first U-shaped space and the third portion. When the heat radiating fin is attached to the upper surface, the screw is connected to the curved portion of the second U-shaped space and the fourth U-shaped space. The positioning is preferably performed by the curved portion of the character space.

[9]本発明の樹脂封止型半導体装置においては、前記第1ネジ通し部は、前記正面を前記上面から前記下面まで切り欠いた切り欠き溝として成形され、当該切り欠き溝は、前記上面において、半円形をなす湾曲部と開口部とを有するU字状をなし、前記湾曲部は前記上面における前記正面側の端辺と前記背面側の端辺との間に位置するとともに、前記開口部は前記上面における前記正面側の端辺に位置し、前記湾曲部及び前記開口部は前記下面まで形成されており、当該湾曲部は前記第1挿通路として用いられ、前記第2ネジ通し部は、前記湾曲面から前記背面までを貫く貫通孔として成形され、当該貫通孔は前記第2挿通孔として用いられ、前記正面又は前記背面を見たときには、円形をなしていることが好ましい。   [9] In the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, the first screw passage portion is formed as a notch groove in which the front surface is notched from the upper surface to the lower surface, and the notch groove is formed on the upper surface. And has a U-shape having a semicircular curved portion and an opening, and the curved portion is located between the front side edge and the back side edge of the upper surface, and the opening. The portion is located at the front side edge of the upper surface, and the curved portion and the opening are formed up to the lower surface, and the curved portion is used as the first insertion passage, and the second threading portion Is formed as a through-hole penetrating from the curved surface to the back surface, and the through-hole is used as the second insertion hole, and preferably has a circular shape when viewed from the front or the back surface.

[10]本発明の樹脂封止型半導体装置においては、前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部のうちの少なくとも一方のネジ通し部は、孔あけ用機器によって前記本体に形成されたものであることも好ましい。   [10] In the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, at least one of the first screw passage portion and the second screw passage portion is formed in the main body by a drilling device. It is also preferable.

[11]本発明の樹脂封止用金型は、半導体素子と半導体素子取り付け部とが樹脂により封止された本体と、前記本体から外部に向かって所定方向に延出しているアウターリードと、を備え、前記アウターリードが延出している面を前記本体の下面とし、その裏面を前記本体の上面とし、前記下面と前記上面との間で放熱フィンの取り付けが可能な面を前記本体の背面とし、その裏面を前記本体の正面としたとき、前記本体には、前記放熱フィンを前記背面又は前記上面に取り付けるための第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部が前記本体の異なる面に設けられている樹脂封止型半導体装置を製造するための樹脂封止用金型であって、前記本体を前記正面側と前記背面側とに2分した場合の前記正面側に対応する第1金型と、前記背面側に対応する第2金型と、を備え、前記第1金型は、前記第1ネジ通し部を成形するための第1突出部を前記第1金型の金型筐体に有し、前記第2金型は、前記第2ネジ通し部を成形するための第2突出部を前記第2金型の金型筐体に有し、前記第1突出部及び前記第2突出部は、前記第1金型の金型筐体の開口面と第2金型の金型筐体の開口面とを突き合わせることにより形成される空間に樹脂を注入することによって前記本体を成形した場合に、当該本体に前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部の成形が可能な形状をなしていることを特徴とする。   [11] A resin sealing mold of the present invention includes a main body in which a semiconductor element and a semiconductor element mounting portion are sealed with a resin, an outer lead extending in a predetermined direction from the main body toward the outside, The surface on which the outer lead extends is the lower surface of the main body, the back surface thereof is the upper surface of the main body, and the surface on which the radiation fins can be attached between the lower surface and the upper surface is the rear surface of the main body When the back surface is the front surface of the main body, the main body is provided with a first screw passage portion and a second screw passage portion for attaching the radiating fins to the back surface or the upper surface on different surfaces of the main body. A resin-sealing mold for manufacturing a resin-sealed semiconductor device, wherein the first metal corresponds to the front side when the main body is divided into the front side and the back side. Compatible with mold and back side The first mold has a first protrusion for molding the first screw threaded portion in a mold housing of the first mold, and the second mold. The mold has a second protrusion for forming the second screw threaded portion in the mold housing of the second mold, and the first protrusion and the second protrusion are the first protrusion When the main body is molded by injecting resin into a space formed by abutting the opening surface of the mold housing of the mold with the opening surface of the mold housing of the second mold Further, the first screw passage portion and the second screw passage portion can be molded.

[12]本発明の樹脂封止用金型においては、前記第1金型の金型筐体及び前記第2金型の金型筐体におけるそれぞれの内部の各面のうち、前記本体の下面を成形する面を下面成形面とし、当該下面成形面が水平でかつ上方を向くように前記第1金型及び前記第2金型を置いた状態で、前記第1金型の金型筐体の開口面及び前記第2金型の金型筐体の開口面から前記第1金型の金型筐体の内部及び前記第2金型の金型筐体の内部をそれぞれ見たときの左右方向をx軸、前後方向をy軸、上下方向をz軸としたとき、前記第1突出部は、当該第1突出部の下端には平坦面が形成されるとともに、当該第1突出部の先端には、半円形をなす第1先端湾曲面が前記第1突出部の下端からz軸に沿って所定の位置まで形成され、前記第1突出部の上端には、半円形をなす上端湾曲面が当該第1突出部の基部からy軸に沿って所定の位置まで形成され、前記第1先端湾曲面と前記上端湾曲面との間には、所定角度に傾斜する第1傾斜面が形成されており、前記第2突出部は、当該第2突出部の上端には平坦面が形成されるとともに、当該第2突出部の先端には半円形をなす第2先端湾曲面が当該第2突出部の上端側からz軸に沿って所定の位置まで形成され、前記第2突出部の下端には半円形をなす下端湾曲面が当該第2突出部の基部からy軸に沿って所定の位置まで形成され、前記第2先端湾曲面と前記下端湾曲面との間には、前記第1傾斜面に対応する形状を有する第2傾斜面が形成されていることが好ましい。   [12] In the resin sealing mold of the present invention, the lower surface of the main body among the respective inner surfaces of the mold housing of the first mold and the mold housing of the second mold. A mold housing of the first mold in a state in which the first mold and the second mold are placed so that the molding surface is a bottom molding surface, and the bottom molding surface is horizontal and faces upward Left and right when the inside of the mold housing of the first mold and the inside of the mold housing of the second mold are viewed from the opening surface of the mold and the opening surface of the mold housing of the second mold, respectively. When the direction is the x-axis, the front-rear direction is the y-axis, and the vertical direction is the z-axis, the first protrusion has a flat surface at the lower end of the first protrusion, and the first protrusion A semi-circular first tip curved surface is formed at the tip from the lower end of the first protrusion to a predetermined position along the z axis, and the upper end of the first protrusion is formed. The semicircular upper end curved surface is formed from the base of the first protrusion to a predetermined position along the y axis, and a predetermined angle is provided between the first tip curved surface and the upper end curved surface. An inclined first inclined surface is formed, and the second protrusion has a flat surface at the upper end of the second protrusion and a semicircular shape at the tip of the second protrusion. Two curved end surfaces are formed from the upper end side of the second projecting portion to a predetermined position along the z-axis, and a lower end curved surface having a semicircular shape at the lower end of the second projecting portion is the base of the second projecting portion. To a predetermined position along the y-axis, and a second inclined surface having a shape corresponding to the first inclined surface is formed between the second distal curved surface and the lower curved surface. It is preferable.

[13]本発明の樹脂封止用金型においては、前記第1金型の金型筐体及び前記第2金型の金型筐体におけるそれぞれの内部の各面のうち、前記本体の下面を成形する面を下面成形面とし、当該下面成形面が水平でかつ上方を向くように前記第1金型及び前記第2金型を置いた状態で、前記第1金型の金型筐体の開口面及び前記第2金型の金型筐体の開口面から前記第1金型の金型筐体の内部及び前記第2金型の金型筐体の内部をそれぞれ見たときの左右方向をx軸、前後方向をy軸、上下方向をz軸としたとき、前記第1突出部は、当該第1突出部の先端には半円形をなす湾曲面がz軸に沿って前記第1金型における内部の上端から下端まで形成され、前記第2突出部は、y軸に沿う方向でかつ前記第1突出部の先端に形成されている湾曲面に向かって突出する円柱状突出部として形成されていることが好ましい。   [13] In the resin-sealing mold of the present invention, the lower surface of the main body among the inner surfaces of the mold housing of the first mold and the mold housing of the second mold. A mold housing of the first mold in a state in which the first mold and the second mold are placed so that the molding surface is a bottom molding surface, and the bottom molding surface is horizontal and faces upward Left and right when the inside of the mold housing of the first mold and the inside of the mold housing of the second mold are viewed from the opening surface of the mold and the opening surface of the mold housing of the second mold, respectively. When the direction is the x-axis, the front-rear direction is the y-axis, and the up-down direction is the z-axis, the first protrusion has a semicircular curved surface along the z-axis at the tip of the first protrusion. It is formed from the upper end to the lower end inside the one mold, and the second protrusion is a curve formed in the direction along the y-axis and at the tip of the first protrusion. It is preferably formed as a cylindrical protrusion protruding toward the.

[14]本発明の樹脂封止用金型においては、前記第1突出部の先端に形成されている湾曲面には、前記円柱状突出部の円柱先端面に対応する形状の先端面を有する突出部がy軸に沿う方向に設けられていることが好ましい。   [14] In the mold for resin sealing of the present invention, the curved surface formed at the tip of the first protrusion has a tip surface having a shape corresponding to the column tip surface of the columnar protrusion. It is preferable that the protrusion is provided in a direction along the y-axis.

[15]本発明の樹脂封止用金型においては、前記第2金型は、前記放熱フィンを前記本体に取り付けた状態としたときに前記放熱フィンの位置ずれを防止する位置ずれ防止用係合部を成形するための係合成形部を有することが好ましい。   [15] In the resin-sealing mold of the present invention, the second mold is a misalignment prevention member that prevents misalignment of the radiation fin when the radiation fin is attached to the main body. It is preferable to have an engagement molding part for molding the joint part.

[16]本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法は、半導体素子と半導体素子取り付け部とが樹脂により封止された本体と、前記本体から外部に向かって所定方向に延出しているアウターリードと、を備え、前記アウターリードが延出している面を前記本体の下面とし、その裏面を前記本体の上面とし、前記下面と前記上面との間で放熱フィンの取り付けが可能な面を前記本体の背面とし、その裏面を前記本体の正面としたとき、前記本体には、前記放熱フィンを前記背面又は前記上面に取り付けるための第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部が前記本体の異なる面に設けられている樹脂封止型半導体装置を製造するための樹脂封止型半導体装置の製造方法であって、前記本体を前記正面側と前記背面側とに2分した場合の前記正面側の本体に対応する第1金型と、前記背面側の本体に対応する第2金型と、を備え、前記第1金型は、前記第1ネジ通し部を成形するための第1突出部を前記第1金型の金型筐体に有し、前記第2金型は、前記第2ネジ通し部を成形するための第2突出部を前記第2金型の金型筐体に有し、前記第1突出部及び前記第2突出部は、前記第1金型の金型筐体の開口面と前記第2金型の金型筐体の開口面とを突き合わせることにより形成される空間に樹脂を注入することによって前記本体を成形した場合に、当該本体に前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部の形成が可能な形状をなしている樹脂封止用金型を準備する樹脂封止用金型準備工程と、前記半導体素子取り付け部に前記半導体素子を取り付ける半導体素子取り付け工程と、前記半導体素子と前記半導体素子取り付け部とを含む所定範囲を、前記樹脂封止用金型によって覆った後に、当該樹脂封止用金型に樹脂を注入して前記半導体素子と前記半導体素子取り付け部とを含む所定範囲を樹脂封止する樹脂封止工程と、を有することを特徴とする。   [16] A method for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device according to the present invention includes a main body in which a semiconductor element and a semiconductor element mounting portion are sealed with a resin, and an outer that extends outward from the main body in a predetermined direction. A surface on which the outer lead extends is defined as a lower surface of the main body, a rear surface thereof is defined as an upper surface of the main body, and a surface on which heat radiation fins can be attached between the lower surface and the upper surface. When the back surface of the main body is used and the back surface is the front surface of the main body, the main body has a first screw passage portion and a second screw passage portion for attaching the radiating fins to the back surface or the upper surface. A method for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device provided on a surface, wherein the front side when the main body is divided into the front side and the back side Body of A corresponding first mold, and a second mold corresponding to the main body on the back side, wherein the first mold has a first protrusion for forming the first screw threaded portion. The second mold has a second protrusion for forming the second threading portion in the mold casing of the second mold, and the second mold has a mold casing of the second mold, The first protrusion and the second protrusion are in a space formed by abutting the opening surface of the mold housing of the first mold with the opening surface of the mold housing of the second mold. Resin for preparing a resin sealing mold having a shape capable of forming the first screw passage portion and the second screw passage portion in the main body when the main body is molded by injecting resin. A sealing die preparing step, a semiconductor element attaching step of attaching the semiconductor element to the semiconductor element attaching portion, and the semiconductor element After a predetermined range including the semiconductor element mounting portion is covered with the resin sealing mold, a resin is injected into the resin sealing mold to include the semiconductor element and the semiconductor element mounting portion. And a resin sealing step for resin-sealing the range.

[17]本発明のリードフレームは、半導体素子と半導体素子取り付け部とが樹脂により封止された本体と、前記本体から外部に向かって所定方向に延出しているアウターリードと、を備え、前記アウターリードが延出している面を前記本体の下面とし、その裏面を前記本体の上面とし、前記下面と前記上面との間で放熱フィンの取り付けが可能な面を前記本体の背面とし、その裏面を前記本体の正面としたとき、前記本体には、前記放熱フィンを前記背面又は前記上面に取り付けるための第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部が前記本体の異なる面に設けられている樹脂封止型半導体装置に用いるためのリードフレームであって、前記半導体素子を取り付けるための板状のダイパッドと、前記アウターリードと、を有し、前記ダイパッドは、前記半導体素子を搭載するための搭載部と、当該搭載部における前記上面側の端部を前記正面側に屈曲させることによって形成される屈曲平面部とを有することを特徴とする。   [17] A lead frame of the present invention includes a main body in which a semiconductor element and a semiconductor element mounting portion are sealed with a resin, and an outer lead extending in a predetermined direction from the main body toward the outside, The surface from which the outer lead extends is the lower surface of the main body, the back surface is the upper surface of the main body, and the surface on which the radiation fin can be attached between the lower surface and the upper surface is the back surface of the main body. The main body is provided with a first screw passage portion and a second screw passage portion on the different surfaces of the main body for attaching the radiating fins to the back surface or the upper surface. A lead frame for use in a sealed semiconductor device, comprising a plate-shaped die pad for mounting the semiconductor element, and the outer lead, wherein the die pad is A mounting portion for mounting the serial semiconductor element, and having a bent flat portion of the end portion of the upper surface side is formed by bending the front side of the mounting portion.

[18]本発明のリードフレームにおいては、前記屈曲平面部の先端は、前記正面と前記背面との間の中間位置よりも前記正面側に位置するように形成されていることが好ましい。   [18] In the lead frame of the present invention, it is preferable that the tip of the bent flat portion is formed so as to be located on the front side with respect to an intermediate position between the front surface and the back surface.

[19]本発明のリードフレームにおいては、半導体素子と半導体素子取り付け部とが樹脂により封止された本体と、前記本体から外部に向かって所定方向に延出しているアウターリードと、を備え、前記アウターリードが延出している面を前記本体の下面とし、その裏面を前記本体の上面とし、前記下面と前記上面との間で放熱フィンの取り付けが可能な面を前記本体の背面とし、その裏面を前記本体の正面としたとき、前記本体には、前記放熱フィンを前記背面又は前記上面に取り付けるための第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部が前記本体の異なる面に設けられている樹脂封止型半導体装置を製造するための樹脂封止用金型において、前記本体を前記正面側と前記背面側とに2分した場合の前記正面側に対応する第1金型と、前記背面側に対応する第2金型と、を備え、前記第1金型は、前記第1ネジ通し部を成形するための第1突出部を前記第1金型の金型筐体に有し、前記第2金型は、前記第2ネジ通し部を成形するための第2突出部を前記第2金型の金型筐体に有し、前記第1突出部及び前記第2突出部は、前記第1金型の金型筐体の開口面と前記第2金型の金型筐体の開口面とを突き合わせることにより形成される空間に樹脂を注入することによって前記本体を成形した場合に、当該本体に前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部の成形が可能な形状をなしている樹脂封止用金型とともに用いて樹脂封止型半導体装置を製造するためのリードフレームであって、半導体素子を取り付けるための板状のダイパッドと、前記アウターリードと、を有し、前記ダイパッドには、前記樹脂封止用金型の前記第1金型の金型筐体に設けられている前記第1突出部及び前記第2金型の金型筐体に設けられている前記第2突出部のうちの少なくとも一方の突出部との当接を回避するための空間部が形成されていることを特徴とする。   [19] The lead frame of the present invention includes a main body in which a semiconductor element and a semiconductor element mounting portion are sealed with a resin, and an outer lead extending in a predetermined direction from the main body toward the outside, The surface on which the outer lead extends is the lower surface of the main body, the back surface is the upper surface of the main body, and the surface on which the radiation fin can be attached between the lower surface and the upper surface is the rear surface of the main body. When the back surface is the front surface of the main body, the main body is provided with a first screw passage portion and a second screw passage portion for attaching the radiating fins to the back surface or the upper surface on different surfaces of the main body. In a resin sealing mold for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device, a first mold corresponding to the front side when the main body is divided into the front side and the back side, and the back side A second mold corresponding to the first mold, the first mold has a first projecting portion for molding the first screw threaded portion in a mold housing of the first mold, The second mold has a second protrusion for forming the second screw threaded portion in the mold housing of the second mold, and the first protrusion and the second protrusion are When the main body is molded by injecting resin into a space formed by abutting the opening surface of the mold housing of the first mold with the opening surface of the mold housing of the second mold A lead frame for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device using the resin-encapsulating mold having a shape capable of forming the first screw-through portion and the second screw-through portion in the main body. A die pad for mounting a semiconductor element and the outer lead, and the die pad. The second mold provided in the mold housing of the first mold and the second mold provided in the mold housing of the first mold of the resin sealing mold. A space for avoiding contact with at least one of the protrusions is formed.

本発明の樹脂封止型半導体装置によれば、放熱フィンを本体の背面又は上面に取り付けるための第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部が設けられているため、放熱フィンを本体の背面又は上面のいずれかに選択的に取り付けることができる。これにより、本発明の樹脂封止型半導体装置によれば、樹脂封止型半導体装置を電子機器の基板などに取り付ける場合における実装の自由度を高くすることができる。   According to the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, since the first screw passing portion and the second screw passing portion for attaching the heat dissipating fin to the back surface or the top surface of the main body are provided, It can be selectively attached to any of the top surfaces. Thereby, according to the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, it is possible to increase the degree of freedom in mounting when the resin-encapsulated semiconductor device is attached to a substrate of an electronic device.

また、本発明の樹脂封止用金型によれば、本体を当該本体の正面側と背面側とに2分して考えた場合の本体の正面側に対応する第1金型及び本体の背面側に対応する第2金型を備え、第1金型は、第1ネジ通し部を成形するための第1突出部を有し、第2金型は、第2ネジ通し部を成形するための第2突出部を有している。このため、本発明の樹脂封止用金型を用いることによって、上記[1]に記載の樹脂封止型半導体装置を製造することができる。   Further, according to the resin sealing mold of the present invention, the first mold corresponding to the front side of the main body and the back of the main body when the main body is considered to be divided into the front side and the back side of the main body. A second mold corresponding to the side, the first mold has a first protrusion for molding the first screw threaded portion, and the second mold for molding the second screw threaded portion. 2nd protrusion part. For this reason, the resin-sealed semiconductor device according to [1] can be manufactured by using the resin-sealing mold of the present invention.

また、本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法によれば、本体に第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部の成形が可能な形状をなしている樹脂封止用金型を準備する樹脂封止用金型準備工程と、半導体素子取り付け部に半導体素子を取り付ける半導体素子取り付け工程と、半導体素子と半導体素子取り付け部とを含む所定範囲を、樹脂封止用金型によって覆った後に、当該樹脂封止用金型の内部に樹脂を注入して半導体素子と半導体素子取り付け部とを含む所定範囲を樹脂封止する樹脂封止工程とを有している。このため、これらの各工程を順次行うことにより、上記[1]に記載の樹脂封止型半導体装置を製造することができる。   In addition, according to the method for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, a resin-encapsulating mold having a shape capable of forming the first screw passage portion and the second screw passage portion in the main body is prepared. After covering a predetermined range including the resin sealing mold preparing step, the semiconductor element mounting step of attaching the semiconductor element to the semiconductor element mounting portion, and the semiconductor element and the semiconductor element mounting portion with the resin sealing mold, And a resin sealing step of resin sealing a predetermined range including the semiconductor element and the semiconductor element mounting portion by injecting resin into the resin sealing mold. For this reason, the resin-encapsulated semiconductor device according to [1] can be manufactured by sequentially performing these steps.

本発明のリードフレームによれば、ダイパッドは、搭載部の上端を本体の正面側に屈曲させることによって形成される屈曲平面部を有しているため、放熱フィンを本体の上面に取り付けた場合に、放熱フィンが、屈曲平面部に広い面積で対向するようになる。これにより、高い放熱効果を得ることができる。   According to the lead frame of the present invention, since the die pad has a bent flat portion formed by bending the upper end of the mounting portion toward the front side of the main body, when the radiating fin is attached to the upper surface of the main body, The heat radiating fins are opposed to the bent flat portion in a wide area. Thereby, a high heat dissipation effect can be obtained.

本発明のリードフレームによれば、ダイパッドには、樹脂封止用金型の第1金型の金型筐体の内部に設けられている第1突出部及び第2金型の金型筐体の内部に設けられている第2突出部のうちの少なくとも一方の突出部との当接を回避するための空間部が形成されているため、樹脂封止用金型を用いて本体を形成する際に、本発明のリードフレームを構成するダイパッドと樹脂封止用金型に設けられている突出部とが当接しないようにすることができる。これによって、ダイパッドを樹脂封止用金型内に円滑に設置することができる。   According to the lead frame of the present invention, the die pad includes a first projecting portion and a second mold mold housing provided in the mold housing of the first mold of the resin sealing mold. Since the space part for avoiding contact | abutting with the at least one protrusion part provided in the inside of the 2nd protrusion part is formed, the main body is formed using the resin sealing mold At this time, it is possible to prevent the die pad constituting the lead frame of the present invention from coming into contact with the protruding portion provided in the resin sealing mold. Thus, the die pad can be smoothly installed in the resin sealing mold.

実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aの構成を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the structure of 200 A of resin-sealed semiconductor devices which concern on Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aの製造工程を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the manufacturing process of 200 A of resin-sealed semiconductor devices which concern on Embodiment 1. FIG. 第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112の拡大図である。3 is an enlarged view of a first die pad 111 and a second die pad 112. FIG. 第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the 1st threading part 300 and the 2nd threading part 400. FIG. 図4に示す第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400を各方向から見た図である。It is the figure which looked at the 1st threading part 300 and the 2nd threading part 400 shown in FIG. 4 from each direction. 本体210の背面210cに放熱フィン500を取り付けた場合を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the case where the thermal radiation fin 500 is attached to the back surface 210c of the main body 210. FIG. 本体210の上面210bに放熱フィン500を取り付けた場合を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the case where the radiation fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210. FIG. 実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aを製造するための樹脂封止用金型700を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the resin sealing type | mold 700 for manufacturing the resin sealing type semiconductor device 200A which concerns on Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aを製造するための樹脂封止用金型700を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the resin sealing type | mold 700 for manufacturing the resin sealing type semiconductor device 200A which concerns on Embodiment 1. FIG. 第1金型710と第2金型720とを突き合わせた状態とした場合の第1突出部712と第2突出部722との関係を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view showing the relation between the 1st projection part 712 and the 2nd projection part 722 at the time of making the state which matched the 1st metallic mold 710 and the 2nd metallic mold 720. 実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bを説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the resin sealing type semiconductor device 200B which concerns on Embodiment 2. FIG. 実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bに放熱フィン500を取り付けた状態を示す図である。It is a figure which shows the state which attached the radiation fin 500 to the resin sealing type semiconductor device 200B which concerns on Embodiment 2. FIG. 実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cを説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the resin sealing type semiconductor device 200C which concerns on Embodiment 3. FIG. 実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dの構成を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the structure of resin sealed semiconductor device 200D which concerns on Embodiment 4. FIG. 実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおける第1ネジ通し部300D及び第2ネジ通し部400Dを各方向から見たす図である。It is the figure which sees the 1st threading part 300D and the 2nd threading part 400D in resin-sealing type semiconductor device 200D which concern on Embodiment 4 from each direction. 実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおけるリードフレーム100Dの第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112について説明するために示す図である。FIG. 10 is a view for explaining a first die pad 111 and a second die pad 112 of a lead frame 100D in a resin-encapsulated semiconductor device 200D according to Embodiment 4. 実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおける本体210の背面210cに放熱フィン500を取り付けた場合を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the case where the thermal radiation fin 500 is attached to the back surface 210c of the main body 210 in resin-sealed semiconductor device 200D which concerns on Embodiment 4. FIG. 実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおける本体210の上面210bに放熱フィン500を取り付けた場合を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the case where the radiation fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210 in resin-sealed semiconductor device 200D which concerns on Embodiment 4. FIG. 実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dを製造するための樹脂封止用金型800を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the resin sealing metal mold | die 800 for manufacturing resin sealing type semiconductor device 200D which concerns on Embodiment 4. FIG. 実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dを製造するための樹脂封止用金型800を説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the resin sealing metal mold | die 800 for manufacturing resin sealing type semiconductor device 200D which concerns on Embodiment 4. FIG. 第1金型810と第2金型820とを突き合わせた状態とした場合の第1突出部812と第2突出部822との関係を示す拡大断面図である。FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view showing the relationship between the first protrusion 812 and the second protrusion 822 when the first mold 810 and the second mold 820 are brought into contact with each other. 実施形態5に係る樹脂封止型半導体装置200Eを説明するために示す図である。It is a figure shown in order to demonstrate the resin sealing type semiconductor device 200E which concerns on Embodiment 5. FIG. ドリルなどの孔あけ機器によってネジ通し部としてのネジ通し孔を形成した場合の樹脂封止型半導体装置200Fの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the resin-sealed semiconductor device 200F at the time of forming the screw threading hole as a threading part with drilling apparatuses, such as a drill. 非特許文献1に開示されている従来の脂封止型半導体装置900を説明するために示す斜視図である。It is a perspective view shown in order to demonstrate the conventional fat sealing type semiconductor device 900 currently disclosed by the nonpatent literature 1. FIG. 図24に示す従来の樹脂封止型半導体装置900に放熱フィン980を取り付けた状態を示す図である。It is a figure which shows the state which attached the radiation fin 980 to the conventional resin-sealed semiconductor device 900 shown in FIG.

以下、本発明の実施形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.

[実施形態1]
図1は、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aの構成を説明するために示す図である。図1(a)は樹脂封止型半導体装置200Aの正面を斜め横方向から見た場合の斜視図であり、図1(b)は樹脂封止型半導体装置200Aの正面を斜め下方向から見た場合の斜視図である。ここでは、樹脂封止型半導体装置200Aがシングルインライン型ブリッジダイオードである場合を例にして説明する。また、図1は放熱フィン500(図6及び図7参照。)が取り付けられていない状態を示すものである。
[Embodiment 1]
FIG. 1 is a view for explaining the configuration of a resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment. 1A is a perspective view when the front surface of the resin-encapsulated semiconductor device 200A is viewed from an oblique lateral direction, and FIG. 1B is an oblique view of the front surface of the resin-encapsulated semiconductor device 200A from an obliquely lower direction. FIG. Here, a case where the resin-encapsulated semiconductor device 200A is a single in-line bridge diode will be described as an example. FIG. 1 shows a state in which the heat radiating fins 500 (see FIGS. 6 and 7) are not attached.

実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aは、図1に示すように、樹脂封止型半導体装置本体(実施形態においても「本体」と略記する。)210と、リードフレーム100A(図2(a)参照。)のアウターリード(第1アウターリード121,122及び第2アウターリード123,124という。)とを有する。なお、リードフレーム100Aの構成については後述する。なお、第1アウターリード121,122及び第2アウターリード123,124は、本体210からz軸に沿った方向(矢印z’方向)に延出している。   As shown in FIG. 1, a resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment includes a resin-encapsulated semiconductor device main body (abbreviated as “main body” in the embodiment) 210 and a lead frame 100A (FIG. 2). (See (a)) outer leads (referred to as first outer leads 121 and 122 and second outer leads 123 and 124). The configuration of the lead frame 100A will be described later. The first outer leads 121 and 122 and the second outer leads 123 and 124 extend from the main body 210 in the direction along the z axis (the direction of the arrow z ′).

また、この明細書においては、本体210の各面のうち、アウターリード121〜124が延出している面を下面210aとし、その裏面(図1において本体210を矢印z’方向に沿って見たときの本体210の面)を上面210bとし、下面210aと上面120bとの間で放熱フィン500(図1においては図示せず。)の取り付けが可能な面(図1において本体210を矢印y方向に沿って見たときの本体210の面)を背面210cとし、その裏面(図1において本体210を矢印y’方向に沿って見たときの本体210の面)を正面210dとし、矢印x方向又はx’方向から見たときの本体210の面をそれぞれ側面210eとして説明する。   Further, in this specification, of the surfaces of the main body 210, the surface from which the outer leads 121 to 124 extend is defined as the lower surface 210a, and the rear surface (the main body 210 in FIG. 1 is viewed along the arrow z ′ direction. (The surface of the main body 210) is the upper surface 210b, and a surface on which the heat radiation fins 500 (not shown in FIG. 1) can be attached between the lower surface 210a and the upper surface 120b (the main body 210 in FIG. The surface of the main body 210 when viewed along the front surface is a back surface 210c, and the back surface (the surface of the main body 210 when the main body 210 is viewed along the direction of arrow y 'in FIG. 1) is the front surface 210d. Alternatively, the surface of the main body 210 when viewed from the x ′ direction will be described as side surfaces 210e.

なお、これら下面210a、上面210b、背面210c、正面210dおよび側面210eは、「本体210の下面210a」、「本体210の上面210b」、「本体210の背面210c」、「本体210の正面210d」及び「本体210の側面210e」と表記する場合もあり、また、「本体210の」を省略して「下面210a」、「上面210b」、「背面210c」、「正面210d」及び「側面210e」と表記する場合もある。   The lower surface 210a, the upper surface 210b, the back surface 210c, the front surface 210d, and the side surface 210e are “the lower surface 210a of the main body 210”, “the upper surface 210b of the main body 210”, “the rear surface 210c of the main body 210”, and “the front surface 210d of the main body 210”. And “side surface 210e of the main body 210” may be abbreviated, and “bottom of the main body 210” may be omitted and “lower surface 210a”, “upper surface 210b”, “back surface 210c”, “front surface 210d”, and “side surface 210e”. May be written.

本体210は、側面210eの形状(側面形状という。)が正方形又はほぼ正方形をなし、全体的には直方体をなしているものとする。なお、この明細書においては、正方形又はほぼ正方形を「正方形状」と表記する。   The main body 210 has a side surface 210e (referred to as a side surface shape) having a square shape or a substantially square shape, and has a rectangular parallelepiped shape as a whole. In this specification, a square or a substantially square is represented as “square shape”.

また、本体210には、放熱フィン500(図1においては図示せず。)を本体210の背面210c又は上面210bに取り付け可能とするための第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400が本体210の異なった面に設けられている。なお、これら第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400については後述する。   Further, the main body 210 has a first screw passage portion 300 and a second screw passage portion 400 for enabling the heat radiation fin 500 (not shown in FIG. 1) to be attached to the back surface 210c or the upper surface 210b of the main body 210. It is provided on a different surface of the main body 210. The first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 will be described later.

図2は、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aの製造工程を説明するために示す図である。なお、図2においては放熱フィン500を取り付ける前の段階までの各工程が示されている。図3は、第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112の拡大図である。   FIG. 2 is a view for explaining the manufacturing process of the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment. In FIG. 2, each process up to a stage before attaching the radiation fins 500 is shown. FIG. 3 is an enlarged view of the first die pad 111 and the second die pad 112.

図2(a)はリードフレーム100Aを準備するリードフレーム準備工程である。ここで準備されるリードフレーム100Aは、板状のダイパッド(第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112)からなる半導体素子取り付け部110と、外部への接続端子となる複数(4本)のアウターリード(第1アウターリード121,122及び第2アウターリード123,124という。)と、当該第1アウターリード121,122及び第2アウターリード123,124の各リード間を連結するように設けられ、樹脂封止工程においては樹脂の流出を防止するためのタイバー130と、第1アウターリード121,122及び第2アウターリード123,124の各先端部を連結するように設けられ、リードフレーム100Aの剛性を保持するための補助バー140とを有する。タイバー130及び補助バー140は最終的にはアウターリード(第1アウターリード121,122及び第2アウターリード123,124)から切り離される。   FIG. 2A shows a lead frame preparation process for preparing the lead frame 100A. The lead frame 100A prepared here includes a semiconductor element mounting portion 110 composed of plate-shaped die pads (first die pad 111 and second die pad 112) and a plurality (four) of outer leads (connection terminals to the outside). First outer leads 121, 122 and second outer leads 123, 124) and the respective leads of the first outer leads 121, 122 and the second outer leads 123, 124. In the stopping process, the tie bar 130 for preventing the resin from flowing out is provided so as to connect the distal ends of the first outer leads 121 and 122 and the second outer leads 123 and 124, and the rigidity of the lead frame 100A is maintained. And an auxiliary bar 140. The tie bar 130 and the auxiliary bar 140 are finally separated from the outer leads (first outer leads 121 and 122 and second outer leads 123 and 124).

第1ダイパッド111は、各々が1つの半導体素子(図2(a)においては図示せず。)を搭載するための2つの半導体素子搭載部(以下、「搭載部」と略記する。)111a,111b及びこれら搭載部111a,111bを連結する第1連結部111cを第1ダイパッド111の下端に有する。また、第2ダイパッド112は、各々が1つの半導体素子(図2(a)においては図示せず。)を搭載するための2つの搭載部112a,112b及びこれら搭載部112a,112bを連結する第2連結部112cを第2ダイパッド112の上端に有する。これら第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112については、図3に拡大図が示されている。   Each of the first die pads 111 has two semiconductor element mounting portions (hereinafter abbreviated as “mounting portions”) 111a for mounting one semiconductor element (not shown in FIG. 2A). 111 b and a first connecting part 111 c for connecting the mounting parts 111 a and 111 b are provided at the lower end of the first die pad 111. The second die pad 112 is connected to two mounting portions 112a and 112b for mounting one semiconductor element (not shown in FIG. 2A) and the mounting portions 112a and 112b. Two connecting portions 112 c are provided at the upper end of the second die pad 112. An enlarged view of the first die pad 111 and the second die pad 112 is shown in FIG.

図3により第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112について説明する。第1ダイパッド111は、図3に示すように、搭載部111a,111bにおける本体210の上面210b側の端部を正面210d側(y軸方向)に90度屈曲させることによって形成される屈曲平面部111d,111eを有している。また、第2ダイパッド112も同様に、搭載部112a,112bにおける本体210の上面210b側の端部を正面210d側(y軸方向)に90度屈曲させることによって形成される屈曲平面部112d,112eを有している。なお、屈曲平面部111d,112d,112eのy軸方向の長さ(屈曲長さという。)を「k」とし、屈曲平面部111eの屈曲長さを「k’」とする。この屈曲長さk,k’については後述する。   The first die pad 111 and the second die pad 112 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3, the first die pad 111 is a bent plane portion formed by bending the end on the upper surface 210 b side of the main body 210 in the mounting portions 111 a and 111 b by 90 degrees toward the front 210 d side (y-axis direction). 111d, 111e. Similarly, the second die pad 112 is also bent plane portions 112d and 112e formed by bending the end portions on the upper surface 210b side of the main body 210 in the mounting portions 112a and 112b by 90 degrees toward the front 210d side (y-axis direction). have. Note that the length in the y-axis direction of the bent flat portions 111d, 112d, and 112e (referred to as the bent length) is “k”, and the bent length of the bent flat portions 111e is “k ′”. The bending lengths k and k ′ will be described later.

なお、搭載部112a,112bを連結する第2連結部112cは、搭載部112a,112bの屈曲平面部112d,112eの屈曲先端部間を連結するように設けられている。   In addition, the 2nd connection part 112c which connects mounting part 112a, 112b is provided so that between the bending | flexion front-end | tip parts of bending plane part 112d, 112e of mounting part 112a, 112b may be connected.

また、ダイパッド(第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112)には、空間部Sが形成されている。この空間部Sは、当該ダイパッドと、本体210を形成するための樹脂封止用金型700(図8及び図9参照。)の第2金型720に設けられている第2突出部722との当接を回避するためのものである。   A space S is formed in the die pad (the first die pad 111 and the second die pad 112). The space S includes the die pad and the second protrusion 722 provided in the second mold 720 of the resin sealing mold 700 (see FIGS. 8 and 9) for forming the main body 210. This is for avoiding the contact.

このような空間部Sが形成されていることによって、樹脂封止用金型700を用いて本体210を成形する際に、当該リードフレーム100Aを構成するダイパッド(第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112)と、第2金型720に設けられている第2突出部722とが当接しないようにすることができる。これによって、ダイパッド(第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112)を樹脂封止用金型700内に円滑に設置することができる。   By forming such a space portion S, when the main body 210 is molded using the resin sealing mold 700, die pads (the first die pad 111 and the second die pad 112) that constitute the lead frame 100A. ) And the second protrusion 722 provided in the second mold 720 can be prevented from coming into contact with each other. Accordingly, the die pads (first die pad 111 and second die pad 112) can be smoothly installed in the resin sealing mold 700.

図2(a)に説明が戻る。第1アウターリード121,122のうちの第1アウターリード121は、第1ダイパッド111と一体に形成され、先端が矢印z’方向に延出するように設けられている。また、第1アウターリード121,122のうちの第1アウターリード122は第2ダイパッド112と一体に形成され、先端が図示の矢印z’方向に延出するように設けられる。   The description returns to FIG. Of the first outer leads 121 and 122, the first outer lead 121 is formed integrally with the first die pad 111, and is provided so that the tip extends in the arrow z 'direction. The first outer lead 122 of the first outer leads 121 and 122 is formed integrally with the second die pad 112, and is provided so that the tip extends in the direction indicated by the arrow z '.

一方、第2アウターリード123,124のうちの第2アウターリード123は、第2ダイパッド112とは離隔して配置されるとともに後端に接続部123aを有し、先端が矢印z’方向に延出するように配置される。また、第2アウターリード123,124のうちの第2アウターリード124は、第1ダイパッド111とは離隔して配置されるとともに、後端に接続部124aを有し、先端が矢印z’方向に延出するように配置される。   On the other hand, of the second outer leads 123 and 124, the second outer lead 123 is disposed away from the second die pad 112 and has a connection portion 123a at the rear end, and the tip extends in the arrow z ′ direction. It is arranged to be put out. Of the second outer leads 123 and 124, the second outer lead 124 is disposed away from the first die pad 111, has a connecting portion 124a at the rear end, and the tip is in the direction of the arrow z ′. It is arranged to extend.

また、タイバー130は、第1アウターリード121,122及び第2アウターリード123,124に直交する方向に設けられ、第1アウターリード121,122及び第2アウターリード123,124と一体に形成されている。   The tie bar 130 is provided in a direction orthogonal to the first outer leads 121, 122 and the second outer leads 123, 124, and is formed integrally with the first outer leads 121, 122 and the second outer leads 123, 124. Yes.

図2(b)及び図2(c)は半導体素子151〜154を取り付ける半導体素子取り付け工程を示す図である。半導体素子取り付け工程は、図2(b)に示すように、第1ダイパッド111の搭載部111a,111bに、半導体素子(ダイオード)151,152を半田付けによって電気的に接続するとともに、第2ダイパッド112の搭載部112a,112bに、半導体素子(ダイオード)153,154を電気的に接続する。なお、第1ダイパッド111の搭載部111a,111bは、半導体素子151,152よりも大きな面積を有している。同様に、第2ダイパッド112の搭載部112a,112bは、半導体素子153,154よりも大きな面積を有している。   FIG. 2B and FIG. 2C are diagrams showing a semiconductor element attachment process for attaching the semiconductor elements 151 to 154. In the semiconductor element attaching step, as shown in FIG. 2B, the semiconductor elements (diodes) 151 and 152 are electrically connected to the mounting portions 111a and 111b of the first die pad 111 by soldering, and the second die pad is used. The semiconductor elements (diodes) 153 and 154 are electrically connected to the mounting portions 112a and 112b of the 112. The mounting portions 111 a and 111 b of the first die pad 111 have a larger area than the semiconductor elements 151 and 152. Similarly, the mounting portions 112 a and 112 b of the second die pad 112 have a larger area than the semiconductor elements 153 and 154.

続いて、図2(c)に示すように、長円形をなす第1連結接続子161の一方端を半導体素子152,153に接続するとともに他方端を第2アウターリード124の接続部124aに接続して、半導体素子152,153と第2アウターリード124とを電気的に接続する。また、第1連結接続子161と同様に長円形をなす第2連結接続子162の一方端を半導体素子151,154に接続するとともに他方端を第2アウターリード123の接続部123aに接続して、半導体素子151,154と第2アウターリード123とを電気的に接続する。   Subsequently, as shown in FIG. 2C, one end of the first connecting connector 161 having an oval shape is connected to the semiconductor elements 152 and 153 and the other end is connected to the connecting portion 124 a of the second outer lead 124. Then, the semiconductor elements 152 and 153 and the second outer lead 124 are electrically connected. Similarly to the first connection connector 161, one end of the second connection connector 162 having an oval shape is connected to the semiconductor elements 151 and 154, and the other end is connected to the connection portion 123 a of the second outer lead 123. The semiconductor elements 151 and 154 and the second outer lead 123 are electrically connected.

次に、樹脂封止工程を行う。樹脂封止工程は、第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112と、各半導体素子151〜154と、第1連結接続子161及び第2連結接続子162などを樹脂封止用金型700(図8及び図9参照。)で覆ったのちに、当該樹脂封止用金型700の内部に樹脂を注入して、注入した樹脂を硬化させることによって、本体210を成形する(図2(d)参照。)。なお、樹脂封止用金型700の内部に樹脂を注入したとき、タイバー130の存在によって樹脂封止用金型700から樹脂が流出することを防ぐことができる。   Next, a resin sealing process is performed. In the resin sealing step, the first die pad 111 and the second die pad 112, the respective semiconductor elements 151 to 154, the first connection connector 161, the second connection connector 162, and the like are molded into a resin sealing mold 700 (FIG. 8). 9), the body 210 is molded by injecting resin into the resin sealing mold 700 and curing the injected resin (see FIG. 2D). .) Note that when the resin is injected into the resin sealing mold 700, the resin can be prevented from flowing out of the resin sealing mold 700 due to the presence of the tie bar 130.

そして、タイバー130をパンチ金型(図示せず。)によって切り離すタイバー切り離し工程を行う。なお、タイバー切り離し工程においては、補助バー140の切り離しも行う。このようにして、図2(e)に示すような樹脂封止型半導体装置200Aを製造することができる。   Then, a tie bar separating step is performed for separating the tie bar 130 by a punch die (not shown). In the tie bar separating step, the auxiliary bar 140 is also separated. In this way, a resin-encapsulated semiconductor device 200A as shown in FIG. 2 (e) can be manufactured.

次に、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400について説明する。
図4は、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400を説明するために示す図である。図4(a)は本体210における第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400とその周辺を拡大して示す斜視図であり、図4(b)は図4(a)におけるa−a矢視断面図である。
Next, the first screw thread part 300 and the second screw thread part 400 will be described.
FIG. 4 is a view for explaining the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400. FIG. 4A is an enlarged perspective view showing the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 and the periphery thereof in the main body 210, and FIG. 4B is an aa view in FIG. 4A. It is arrow sectional drawing.

図5は、図4に示す第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400を各方向から見た図である。図5(a)は本体210の正面210dを見た図であり、図5(b)は本体210の背面210cを見た図である。また、図5(c)は本体210の上面210bを見た図であり、図5(d)は本体210の下面210aを見た図である。   FIG. 5 is a view of the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 shown in FIG. 4 as viewed from each direction. 5A is a view of the front surface 210d of the main body 210, and FIG. 5B is a view of the back surface 210c of the main body 210. 5C is a view of the upper surface 210b of the main body 210, and FIG. 5D is a view of the lower surface 210a of the main body 210.

なお、図5(a)及び図5(b)においては、上面210bが図示の上側に位置するように示されており、図5(c)及び図5(d)においては、正面210dが図示の左側に位置するように示されている。   5 (a) and 5 (b), the upper surface 210b is shown to be positioned on the upper side of the drawing, and in FIGS. 5 (c) and 5 (d), the front surface 210d is shown. It is shown to be located on the left side.

第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400は、半円形をなす湾曲部と開口部とを有するU字状空間によって形成されている。まず、第1ネジ通し部300について説明する。   The first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 are formed by a U-shaped space having a semicircular curved portion and an opening. First, the first screw thread part 300 will be described.

第1ネジ通し部300は、第1のU字状空間310(図5(a)参照。)と、当該第1のU字状空間310と空間を共有する第2のU字状空間320(図5(d)参照。)と、からなる。
第1のU字状空間310は、図5(a)に示すように、正面210dにおいて、半円形をなす湾曲部311と開口部312とを有するU字状をなしている。このような第1のU字状空間310において、その湾曲部311は、正面210dにおける本体210の上面210b側の端辺と下面210a側の端辺との間に位置するとともに、開口部312は、正面210dにおける下面210a側の端辺に位置している。この第1のU字状空間310は、背面210cに向かって所定位置まで形成されている。
The first threading portion 300 includes a first U-shaped space 310 (see FIG. 5A) and a second U-shaped space 320 (sharing with the first U-shaped space 310). (See FIG. 5D).
As shown in FIG. 5A, the first U-shaped space 310 has a U-shape having a semicircular curved portion 311 and an opening 312 on the front surface 210d. In such a first U-shaped space 310, the curved portion 311 is located between the end on the upper surface 210b side and the end on the lower surface 210a side of the main body 210 in the front surface 210d, and the opening 312 is , Located at the end of the front surface 210d on the lower surface 210a side. The first U-shaped space 310 is formed up to a predetermined position toward the back surface 210c.

第2のU字状空間320は、図5(d)に示すように、下面210aにおいて、半円形をなす湾曲部321と開口部322とを有するU字状をなしている。このような第2のU字状空間320において、その湾曲部321は、下面210aにおける正面210d側の端辺と背面210c側の端辺との間に位置するとともに、開口部322は、下面210aにおける正面210d側の端辺に位置している。この第2のU字状空間320は、上面210bに向かって所定位置まで形成されている。   As shown in FIG. 5D, the second U-shaped space 320 has a U-shape having a semicircular curved portion 321 and an opening 322 on the lower surface 210a. In such a second U-shaped space 320, the curved portion 321 is located between the end on the front surface 210d side and the end side on the back surface 210c side of the lower surface 210a, and the opening 322 is formed on the lower surface 210a. Is located at the end on the front side 210d. The second U-shaped space 320 is formed up to a predetermined position toward the upper surface 210b.

一方、第2ネジ通し部400は、第3のU字状空間410(図5(b)参照。)と、当該第3のU字状空間410と空間を共有する第4のU字状空間420(図5(c)参照。)と、からなる。
第3のU字状空間410は、図5(b)に示すように、背面210cにおいて、半円形をなす湾曲部411と開口部412とを有するU字状をなしている。このような第3のU字状空間410において、その湾曲部411は、背面210cにおける上面210b側の端辺と下面210a側の端辺との間に位置するとともに、開口部412は、背面210cにおける上面210b側の端辺に位置している。この第3のU字状空間410は、正面210dに向かって所定位置まで形成されている。
On the other hand, the second threading portion 400 includes a third U-shaped space 410 (see FIG. 5B) and a fourth U-shaped space sharing a space with the third U-shaped space 410. 420 (see FIG. 5C).
As shown in FIG. 5B, the third U-shaped space 410 has a U-shape having a semicircular curved portion 411 and an opening 412 on the back surface 210c. In such a third U-shaped space 410, the curved portion 411 is located between the edge on the upper surface 210b side and the edge on the lower surface 210a side of the back surface 210c, and the opening 412 is formed on the back surface 210c. Is located at the edge on the upper surface 210b side. The third U-shaped space 410 is formed up to a predetermined position toward the front surface 210d.

第4のU字状空間420は、図5(c)に示すように、上面210bにおいて、半円形をなす湾曲部421と開口部422とを有するU字状をなしている。このような第4のU字状空間420において、その湾曲部421は、上面210bにおける正面210d側の端辺と背面210c側の端辺との間に位置するとともに、開口部422は、上面210bにおける背面210c側の端辺に位置している。この第4のU字状空間420は、下面210aに向かって所定位置まで形成されている。   As shown in FIG. 5C, the fourth U-shaped space 420 has a U-shape having a semicircular curved portion 421 and an opening 422 on the upper surface 210b. In such a fourth U-shaped space 420, the curved portion 421 is located between the end on the front surface 210d side and the end side on the back surface 210c side of the upper surface 210b, and the opening 422 is formed on the upper surface 210b. Is located on the edge of the back surface 210c side. The fourth U-shaped space 420 is formed up to a predetermined position toward the lower surface 210a.

第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400がこのような構成となっていることにより、当該第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400は、本体210の内部において空間を共有している構造となっている。そして、第1ネジ通し部300における第1のU字状空間310のz軸に沿った方向の中心線L1と、第2ネジ通し部400における第3のU字状空間410のz軸に沿った方向の中心線L2とが図5(a)及び図5(b)に示すように、同一軸(y軸)上に存在し、また、第1ネジ通し部300における第2のU字状空間320のy軸に沿った方向の中心線L3と、第2ネジ通し部400における第4のU字状空間420のy軸に沿った方向の中心線L4とが図5(c)及び図5(d)に示すように、同一軸(z軸)上に存在する。   Since the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 have such a configuration, the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 share a space inside the main body 210. It has a structure. Then, the center line L1 in the direction along the z-axis of the first U-shaped space 310 in the first threading portion 300 and the z-axis of the third U-shaped space 410 in the second threading portion 400. As shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b), the center line L2 in the same direction exists on the same axis (y-axis), and the second U-shape in the first screw thread portion 300 is present. The center line L3 in the direction along the y-axis of the space 320 and the center line L4 in the direction along the y-axis of the fourth U-shaped space 420 in the second screw thread portion 400 are shown in FIG. As shown in FIG. 5 (d), it exists on the same axis (z axis).

第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400がこのような構造、すなわち、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400が本体210の内部においてそれぞれの空間を共有している構造をなすことにより、空間を共有している分だけ小さいスペースで第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400を設けることができる。   The first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 have such a structure, that is, a structure in which the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 share respective spaces inside the main body 210. By doing so, the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 can be provided in a space that is as small as sharing the space.

また、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400は、上面210b又は下面210aを見ると、図5(c)及び図5(d)に示すように、第1ネジ通し部300における第2のU字状空間320の湾曲部321と第2ネジ通し部400における第4のU字状空間420の湾曲部421とによって、円形をなす第1挿通路Waが形成される。   In addition, when the upper surface 210b or the lower surface 210a is viewed from the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400, as shown in FIG. 5C and FIG. A first insertion path Wa having a circular shape is formed by the curved portion 321 of the second U-shaped space 320 and the curved portion 421 of the fourth U-shaped space 420 in the second screw-through portion 400.

また、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400は、正面210d又は背面210cを見ると、図5(a)及び図5(b)に示すように、第1ネジ通し部300における第1のU字状空間310の湾曲部311と第2ネジ通し部400における第3のU字状空間410の湾曲部411とによって、円形をなす第2挿通路Wbが形成される。
In addition, when the front screw 210 and the second screw screw 400 are viewed from the front 210d or the back 210c, the first screw thread 300 and the second screw thread 400, as shown in FIG. 5A and FIG. A second insertion passage Wb having a circular shape is formed by the curved portion 311 of the first U-shaped space 310 and the curved portion 411 of the third U-shaped space 410 in the second screw passage portion 400.

なお、以下では説明の簡単化のため、「第1ネジ通し部300における第1のU字状空間310の湾曲部311」を「第1ネジ通し部300の湾曲部311」と表記し、「第1ネジ通し部300における第2のU字状空間320の湾曲部321」を「第1ネジ通し部300の湾曲部321」と表記し、「第2ネジ通し部400における第3のU字状空間410の湾曲部411」を「第2ネジ通し部400の湾曲部411」と表記し、「第2ネジ通し部400における第4のU字状空間420の湾曲部421」を「第2ネジ通し部400の湾曲部421」と表記する。   In the following, for simplification of description, “the curved portion 311 of the first U-shaped space 310 in the first threading portion 300” is referred to as “the curved portion 311 of the first threading portion 300”. The “curved portion 321 of the second U-shaped space 320 in the first screw threaded portion 300” is referred to as “curved portion 321 of the first screw threaded portion 300”, and “the third U shape in the second threaded portion 400”. The curved portion 411 of the space 410 is referred to as the “curved portion 411 of the second threading portion 400”, and the “curved portion 421 of the fourth U-shaped space 420 in the second threading portion 400” is referred to as “second. This is expressed as “curved portion 421 of screw thread portion 400”.

このような構成において、上面210bを見ると、図5(c)に示すように、第1挿通路Waを通して下面210aのさらに先方までを見通すことができる。また、下面210aを見ると、図5(d)に示すように、第2挿通路Wbを通して上面210bのさらに先方までを見通すことができる状態となる。   In such a configuration, when the upper surface 210b is viewed, as shown in FIG. 5C, it is possible to see through the first insertion path Wa to the far side of the lower surface 210a. Further, when the lower surface 210a is viewed, as shown in FIG. 5D, it is possible to see through the second insertion passage Wb to the farther side of the upper surface 210b.

一方、正面210dを見ると、図5(a)に示すように、第2挿通路Wbを通して背面210cのさらに先方までを見通すことができる。また、背面210cを見ると、図5(b)に示すように、第2挿通路Wbを通して正面210dのさらに先方までを見通すことができる。   On the other hand, when looking at the front surface 210d, as shown in FIG. 5A, it is possible to see through the second insertion path Wb to the far side of the back surface 210c. Further, when viewing the back surface 210c, as shown in FIG. 5 (b), it is possible to see through the second insertion path Wb to the far side of the front surface 210d.

第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400が上記のような構造となっていることにより、放熱フィン500を取り付けるためのネジ600(図6及び図7参照。)を本体210の正面210dから背面210cに貫通させることができ、また、本体210の下面210aから上面210bに貫通させることができる。それによって、放熱フィン500を本体210の背面210c又は上面210bに選択的に取り付けることができる。   Since the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 have the above-described structure, a screw 600 (see FIGS. 6 and 7) for attaching the radiation fin 500 is attached to the front surface 210 d of the main body 210. From the lower surface 210a of the main body 210 to the upper surface 210b. Accordingly, the heat radiation fin 500 can be selectively attached to the back surface 210c or the top surface 210b of the main body 210.

なお、第1挿通路Waの中心軸Paの位置は、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aにおいては、本体210のy軸方向の寸法の例えば1/2の位置(正面210dと背面210cとの間の例えば中間位置)とするとともに、本体210のx軸方向の寸法の例えば1/2の位置(両側面210eの間の例えば中間位置)としている。   In the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, the position of the central axis Pa of the first insertion passage Wa is, for example, a position that is 1/2 the dimension in the y-axis direction of the main body 210 (front 210d and back 210c, for example, an intermediate position between the two side surfaces 210e, for example.

また、第2挿通路Wbの中心軸Pbの位置は、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aにおいては、本体210のz軸方向の寸法の例えば1/2の位置(本体210の上面210bと下面210aとの間の例えば中間位置)とするとともに、本体210のx軸方向の寸法の1/2の位置(両側面210eの間の例えば中間位置)としている。なお、第1挿通路Waの中心軸Pa及び第2挿通路Wbの中心軸Pbは、それぞれの中心軸が直交するように設定すれば、上記した各位置から多少ずれた位置としてもよい。   Further, the position of the central axis Pb of the second insertion passage Wb is, for example, a position that is 1/2 of the dimension in the z-axis direction of the main body 210 (the upper surface of the main body 210) in the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment. 210b and the lower surface 210a, for example, and a position that is half the dimension of the main body 210 in the x-axis direction (for example, an intermediate position between both side surfaces 210e). Note that the center axis Pa of the first insertion path Wa and the center axis Pb of the second insertion path Wb may be slightly deviated from the above-described positions as long as the respective center axes are orthogonal to each other.

一方、放熱フィン500には、当該放熱フィン500を本体210にネジ止めするための雌ネジ部500aが設けられている。この雌ネジ部500a放熱フィン500を本体210に取り付ける際の放熱フィン側の取り付け面510(放熱フィン側取り付け面510という。)の中央部に設けられている。   On the other hand, the radiating fin 500 is provided with a female screw portion 500 a for screwing the radiating fin 500 to the main body 210. The female screw portion 500a is provided at the central portion of the radiation fin-side attachment surface 510 (referred to as the radiation fin-side attachment surface 510) when the radiation fin 500 is attached to the main body 210.

本体210における第1挿通路Wa及び第2挿通路Wbの位置と、放熱フィン500における雌ネジ部500aの位置とがこのような位置に設けられていることにより、放熱フィン500を本体210の背面210c又は上面210bに取り付ける場合のいずれにおいても放熱フィン500を安定した状態で取り付けることができる。これは、放熱フィン500を本体210の背面210c又は上面210bに取り付ける場合のネジ止めの位置が、本体210においては、背面210c又は上面210bのそれぞれのほぼ中央である。また、放熱フィン500においては、放熱フィン側取り付け面510の中央である。   The positions of the first insertion path Wa and the second insertion path Wb in the main body 210 and the position of the female screw portion 500a in the heat radiation fin 500 are provided at such positions, so that the heat radiation fin 500 is connected to the rear surface of the main body 210. In either case of attaching to 210c or the upper surface 210b, the radiation fin 500 can be attached in a stable state. In the main body 210, the screwing position when the radiating fin 500 is attached to the back surface 210 c or the top surface 210 b of the main body 210 is approximately the center of the back surface 210 c or the top surface 210 b. Moreover, in the radiation fin 500, it is the center of the radiation fin side attachment surface 510. FIG.

ところで、第1ダイパッド111に形成された屈曲平面部111dの屈曲長さk(図3参照。)及び第2ダイパッド112に形成された屈曲平面部112d,112eの屈曲長さk(図3参照。)は、これら屈曲平面部111d,112d,112eの屈曲先端部が、少なくとも第1挿通路Waの中心軸Paよりも本体210の正面210d側に位置するように設定することが好ましい。また、第1ダイパッド111に形成された屈曲平面部111eの屈曲長さk’(図3参照。)も、当該屈曲平面部111eの屈曲先端部が、少なくとも第1挿通路Waの中心軸Paよりも本体210の正面210d側に位置するように設定することが好ましい。   By the way, the bending length k (see FIG. 3) of the bending flat portion 111d formed on the first die pad 111 and the bending length k (see FIG. 3) of the bending flat portions 112d and 112e formed on the second die pad 112. ) Is preferably set so that the bent tip portions of these bent flat portions 111d, 112d, and 112e are positioned at least on the front surface 210d side of the main body 210 with respect to the central axis Pa of the first insertion passage Wa. Further, the bending length k ′ (see FIG. 3) of the bending plane portion 111e formed on the first die pad 111 is also such that the bending tip portion of the bending plane portion 111e is at least from the central axis Pa of the first insertion passage Wa. Is also preferably set so as to be positioned on the front surface 210d side of the main body 210.

実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aにおいては、屈曲長さk及び屈曲長さk’は、第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112のz軸に沿った方向の高さh(図3参照。)と同等又はほぼ同等としている。ただし、屈曲長さk’は、第2ダイパッド112の屈曲平面部112d,112e間を連結する第2連結部112cが存在するため、屈曲長さkよりもわずかに短くなっている。   In the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, the bending length k and the bending length k ′ are the heights h of the first die pad 111 and the second die pad 112 along the z-axis (FIG. 3). Refer to.) Or equivalent. However, the bending length k ′ is slightly shorter than the bending length k because the second connecting portion 112c that connects the bent flat portions 112d and 112e of the second die pad 112 exists.

このように、屈曲長さk及び屈曲長さk’が、第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112のz軸に沿った方向の高さh(図3参照。)と同等又はほぼ同等とすることによって、これらダイパッド及び半導体素子などを樹脂封止すると、本体210の側面形状を正方形状とすることができる。   As described above, the bending length k and the bending length k ′ are equal to or substantially equal to the height h (see FIG. 3) in the direction along the z-axis of the first die pad 111 and the second die pad 112. Therefore, when the die pad and the semiconductor element are sealed with resin, the side surface shape of the main body 210 can be made square.

本体210の側面形状を正方形状とすることにより、本体210の上面210bは、元々広い面積を有する本体210の背面210cと同等の面積を有することとなる。   By making the side surface shape of the main body 210 into a square shape, the upper surface 210b of the main body 210 has an area equivalent to that of the back surface 210c of the main body 210 which originally has a large area.

図6は、本体210の背面210cに放熱フィン500を取り付ける場合を説明するために示す図である。図6(a)は斜視図であり、図6(b)は第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400とネジ600との関係を説明するために示す拡大断面図である。   FIG. 6 is a view for explaining the case where the heat radiating fins 500 are attached to the back surface 210 c of the main body 210. FIG. 6A is a perspective view, and FIG. 6B is an enlarged cross-sectional view for explaining the relationship between the first screw threading portion 300 and the second screw threading portion 400 and the screw 600.

放熱フィン500を本体210の背面210cに取り付ける場合には、図6に示すように、放熱フィン500を本体210の背面210cに接触させた状態として、ネジ600の先端部を本体210の正面210dに設けられている第1ネジ通し部300から第2挿通路Wb(図5(c)参照。)を通過させたのち、本体210の背面210cから突出させる。そして、ネジ600の先端部を放熱フィン500の雌ネジ部500aに挿入して螺合させることにより、放熱フィン500を固定する。これにより、放熱フィン500を本体210の背面210cに取り付けることができる。   When attaching the heat radiating fins 500 to the back surface 210c of the main body 210, as shown in FIG. 6, the tips of the screws 600 are placed on the front surface 210d of the main body 210 with the heat radiating fins 500 being in contact with the back surface 210c of the main body 210. After passing the second insertion passage Wb (see FIG. 5C) from the provided first screw passage portion 300, it is projected from the back surface 210c of the main body 210. The tip of the screw 600 is inserted into the female screw portion 500a of the radiating fin 500 and screwed to fix the radiating fin 500. Thereby, the radiation fin 500 can be attached to the back surface 210 c of the main body 210.

なお、ネジ600は、当該ネジ600の挿し込み方向において離間した2つの湾曲部(第1ネジ通し部300の湾曲部311及び第2ネジ通し部400の湾曲部411)によって、ネジ600の頭部に近い部分と先端部に近い部分とがそれぞれ相反する側で位置決めされるため(図6(b)参照。)、左右方向及び上下方向に位置ずれすることなく、放熱フィン500を安定した状態でネジ止めすることができる。   Note that the screw 600 has a head portion of the screw 600 that is separated by two bending portions (the bending portion 311 of the first screw passage portion 300 and the bending portion 411 of the second screw passage portion 400) that are separated in the insertion direction of the screw 600. Since the portion close to the tip and the portion close to the tip are positioned on the opposite sides (see FIG. 6B), the radiating fin 500 is kept in a stable state without being displaced in the horizontal and vertical directions. Can be screwed.

放熱フィン500を図6に示すように、本体210の背面210cに取り付けた場合は、放熱フィン500は、第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112に広い面積で対向するため、高い放熱効果が得られる。これは、図3に示したように、本体210の背面210cに位置する第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112は広い面積を有しているからであり、放熱フィン500がこのような広い面積を有する第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112に対向することによって高い放熱効果が得られる。   As shown in FIG. 6, when the radiating fins 500 are attached to the back surface 210c of the main body 210, the radiating fins 500 are opposed to the first die pad 111 and the second die pad 112 in a wide area, so that a high heat radiating effect is obtained. . This is because, as shown in FIG. 3, the first die pad 111 and the second die pad 112 located on the back surface 210c of the main body 210 have a large area, and the radiating fin 500 has such a large area. By facing the first die pad 111 and the second die pad 112 having a high heat dissipation effect.

図7は、本体210の上面210bに放熱フィン500を取り付ける場合を説明するために示す図である。図7(a)は斜視図であり、図7(b)は第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400とネジ600との関係を説明するために示す拡大断面図である。   FIG. 7 is a view for explaining a case where the heat radiating fins 500 are attached to the upper surface 210 b of the main body 210. FIG. 7A is a perspective view, and FIG. 7B is an enlarged cross-sectional view shown for explaining the relationship between the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 and the screw 600.

放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付ける場合には、図7に示すように、放熱フィン500を本体210の上面210bに載置した状態として、ネジ600の先端部を本体210の下面210aに設けられている第1ネジ通し部300から第1挿通路Wa(図5(b)参照。)を通過させたのち、本体210の上面210bに突出させる。そして、ネジ600の先端部を雌ネジ部500aに挿入して螺合させることにより、放熱フィン500を固定する。これにより、放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付けることができる。   When attaching the radiating fin 500 to the upper surface 210 b of the main body 210, the tip of the screw 600 is placed on the lower surface 210 a of the main body 210 with the radiating fin 500 placed on the upper surface 210 b of the main body 210 as shown in FIG. 7. After passing the first insertion passage Wa (see FIG. 5B) from the provided first screw passage portion 300, the first insertion portion Wa is projected to the upper surface 210b of the main body 210. And the thermal radiation fin 500 is fixed by inserting and screwing the front-end | tip part of the screw 600 in the internal thread part 500a. Thereby, the radiation fin 500 can be attached to the upper surface 210 b of the main body 210.

なお、図7の場合においては、ネジ600は、当該ネジ600の挿し込み方向において離間した2つの湾曲部(第1ネジ通し部300の湾曲部321及び第2ネジ通し部400の湾曲部421)でネジ600の頭部に近い部分と先端部に近い部分とがそれぞれ相反する側で位置決めされるため(図7(b)参照。)、左右方向及び上下方向に位置ずれすることなく、放熱フィン500を安定した状態でネジ止めすることができる。   In the case of FIG. 7, the screw 600 includes two bending portions separated in the insertion direction of the screw 600 (the bending portion 321 of the first screw passing portion 300 and the bending portion 421 of the second screw passing portion 400). Therefore, the portion close to the head of the screw 600 and the portion close to the tip are positioned on opposite sides (see FIG. 7B), so that the heat dissipating fins are not displaced in the horizontal and vertical directions. 500 can be screwed in a stable state.

放熱フィン500を図7に示すように、本体210の上面210bに取り付けた場合においても、放熱フィン500を本体210の背面210cに取り付けた場合と同様に、高い放熱効果を得ることができる。これは、放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付けた場合、放熱フィン側取り付け面510が、搭載部111a,111b及び搭載部112a,112bとほぼ同等の面積を有する屈曲平面部111d,111e及び屈曲平面部112d,112eに対向した状態で取り付けられるからである。   As shown in FIG. 7, when the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210 b of the main body 210, a high heat radiating effect can be obtained as in the case where the radiating fin 500 is attached to the rear surface 210 c of the main body 210. This is because when the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210, the radiating fin-side attachment surface 510 has bent plane portions 111d, 111e having substantially the same area as the mounting portions 111a, 111b and the mounting portions 112a, 112b, and This is because it is attached in a state of facing the bent flat portions 112d and 112e.

すなわち、各屈曲平面部111d,111e及び112d,112eの屈曲長さk、k’は、第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112のz軸に沿った方向の高さhと同等又はほぼ同等(図3参照。)となっているために、本体210の側面形状が正方形状となり、それによって、本体210の上面210bは、元々広い面積を有する本体210の背面210cと同等の面積を有することとなる。   That is, the bending lengths k and k ′ of the bent flat portions 111d and 111e and 112d and 112e are equal to or substantially equivalent to the height h in the direction along the z-axis of the first die pad 111 and the second die pad 112 (see FIG. 3), the side surface of the main body 210 has a square shape, so that the upper surface 210b of the main body 210 has an area equivalent to the back surface 210c of the main body 210 that originally has a large area. .

これにより、放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付けた場合(図7参照。)にも、放熱フィン500と屈曲平面部111d,111e,112d,112eとが広い面積で対向するようになるため、放熱フィン500を本体210の背面210cに取り付けた場合と同様に高い放熱効果を得ることができる。   As a result, even when the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210 (see FIG. 7), the radiating fin 500 and the bent flat portions 111d, 111e, 112d, and 112e come to face each other over a wide area. As with the case where the heat radiation fin 500 is attached to the back surface 210c of the main body 210, a high heat radiation effect can be obtained.

以上説明したように、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aによれば、放熱フィン500を本体210の背面210c又は上面210bに選択的に取り付けることができる(図6及び図7参照。)。このため、放熱フィン500の取り付け位置を本体210の背面210cではなく、本体210の上面210bに取り付けたい場合にも容易に対応することができ、樹脂封止型半導体装置200Aを基板に実装する場合における実装の自由度を高めることができる。   As described above, according to the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, the radiating fins 500 can be selectively attached to the back surface 210c or the top surface 210b of the main body 210 (see FIGS. 6 and 7). ). For this reason, it is possible to easily cope with the case where the mounting position of the radiating fin 500 is not attached to the back surface 210c of the main body 210 but to the upper surface 210b of the main body 210. Can increase the degree of freedom in implementation.

次に、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aを製造するための樹脂封止用金型700について説明する。   Next, a resin-sealing mold 700 for manufacturing the resin-sealed semiconductor device 200A according to Embodiment 1 will be described.

図8及び図9は、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aを製造するための樹脂封止用金型700を説明するために示す図である。図8は本体210の正面210dを斜め方向から見た場合の樹脂封止型半導体装置200Aと樹脂封止用金型700との関係を示すものである。また、図9は本体210の背面210cを斜め下方向から見た場合の樹脂封止型半導体装置200Aと樹脂封止用金型700との関係を示すものである。   8 and 9 are views for explaining a resin-sealing mold 700 for manufacturing the resin-sealed semiconductor device 200A according to the first embodiment. FIG. 8 shows the relationship between the resin-encapsulated semiconductor device 200A and the resin-encapsulating mold 700 when the front surface 210d of the main body 210 is viewed from an oblique direction. FIG. 9 shows the relationship between the resin-encapsulated semiconductor device 200A and the resin-encapsulating mold 700 when the back surface 210c of the main body 210 is viewed obliquely from below.

樹脂封止用金型700は一対の金型(第1金型710及び第2金型720とする。)によって構成されている。第1金型710は、本体210を正面210d側と背面210c側とに2分した場合の正面210d側に対応する金型であり、第2金型720は、本体210を正面210d側と背面210c側とに2分した場合の背面210c側に対応する金型である。なお、図8及び図9は、樹脂封止用金型700内に注入した樹脂が硬化したのちに、第1金型710及び第2金型720を取り外した状態を示しており、これは、樹脂封止型半導体装置200Aの製造工程において、図2(d)に示す工程に対応するものである。なお、図2(d)においては第1金型710及び第2金型720は図示が省略されている。   The resin sealing mold 700 is constituted by a pair of molds (referred to as a first mold 710 and a second mold 720). The first mold 710 is a mold corresponding to the front 210d side when the main body 210 is divided into the front 210d side and the back 210c side, and the second mold 720 includes the main body 210 on the front 210d side and the back surface. This is a mold corresponding to the back surface 210c side when divided into the 210c side. 8 and 9 show a state in which the first mold 710 and the second mold 720 are removed after the resin injected into the resin sealing mold 700 is cured. In the manufacturing process of the resin-encapsulated semiconductor device 200A, this corresponds to the process shown in FIG. In FIG. 2D, the first mold 710 and the second mold 720 are not shown.

図8及び図9により第1金型710及び第2金型720について説明する。第1金型710は、内部に樹脂を注入するための空間を有する金型筐体711を有し、第2金型720も同様に、内部に樹脂を注入するための空間を有する金型筐体721を有している。なお、図8及び図9においては、第1金型710の金型筐体711及び第2金型720の金型筐体721におけるそれぞれの内部の面のうち、本体210の下面210aを成形する面をそれぞれ下面成形面714,724とし、当該下面成形面714,724が水平(xy平面上)でかつ上方(矢印z方向)を向くように、第1金型710及び第2金型720を置いた状態が示されている。   The first mold 710 and the second mold 720 will be described with reference to FIGS. The first mold 710 has a mold casing 711 having a space for injecting resin therein, and the second mold 720 similarly has a mold casing having a space for injecting resin therein. It has a body 721. 8 and 9, the lower surface 210a of the main body 210 is molded out of the inner surfaces of the mold housing 711 of the first mold 710 and the mold housing 721 of the second mold 720. The first mold 710 and the second mold 720 are arranged such that the surfaces are the lower surface molding surfaces 714 and 724, respectively, and the lower surface molding surfaces 714 and 724 are horizontal (on the xy plane) and face upward (in the direction of the arrow z). The state of being placed is shown.

まず、図8により第2金型720について説明する。第2金型720は、図8に示すように、本体210における第2ネジ通し部400を成形するための突出部722(第2突出部722という。)を有している。   First, the second mold 720 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 8, the second mold 720 has a protruding portion 722 (referred to as a second protruding portion 722) for forming the second threading portion 400 in the main body 210.

第2突出部722の上端には、平坦面722aが形成され、第2突出部722の先端には、半円形をなす先端湾曲面722cが形成されている。この先端湾曲面722cは、第2突出部722の上端に形成されている平坦面722aからz軸に沿って矢印z’方向に所定の位置まで形成されている。
また、第2突出部722の下端には、半円形をなす下端湾曲面722bが形成されている。この下端湾曲面722bは、第2突出部722の基部からy軸に沿って矢印y方向に所定の位置まで形成されている。そして、先端湾曲面722cと下端湾曲面722bとの間には、所定の角度(例えば45度)に傾斜する傾斜面722dが形成されている。
A flat surface 722a is formed at the upper end of the second protrusion 722, and a tip curved surface 722c having a semicircular shape is formed at the tip of the second protrusion 722. The distal curved surface 722c is formed from the flat surface 722a formed at the upper end of the second projecting portion 722 to a predetermined position in the direction of the arrow z ′ along the z axis.
In addition, a lower end curved surface 722b having a semicircular shape is formed at the lower end of the second projecting portion 722. The lower end curved surface 722b is formed from the base of the second protrusion 722 to a predetermined position in the arrow y direction along the y axis. An inclined surface 722d that is inclined at a predetermined angle (for example, 45 degrees) is formed between the distal curved surface 722c and the lower curved surface 722b.

一方、第1金型710は、図9に示すように、本体210における第1ネジ通し部300を成形するための突出部712(第1突出部712という。)を有している。   On the other hand, as shown in FIG. 9, the first mold 710 has a protruding portion 712 (referred to as a first protruding portion 712) for forming the first screw passage portion 300 in the main body 210.

第1突出部712の下端には、平坦面712aが形成され、第1突出部712の上端には、半円形をなす上端湾曲面712bが形成されている。この上端湾曲面712bは、第1突出部712の基部からy軸に沿って矢印y’方向に所定の位置まで形成されている。   A flat surface 712a is formed at the lower end of the first projecting portion 712, and an upper end curved surface 712b having a semicircular shape is formed at the upper end of the first projecting portion 712. The upper end curved surface 712b is formed from the base of the first protrusion 712 to a predetermined position along the y axis in the direction of the arrow y '.

また、第1突出部712の先端には、半円形をなす先端湾曲面712cが形成されている。この先端湾曲面712cは、第1突出部712の下端に形成されている平坦面712aからz軸に沿って矢印z方向に所定の位置まで形成されている。そして、上端湾曲面712bと先端湾曲面712cとの間には、第2突出部722の傾斜面722dと同じ角度(この場合、45度)に傾斜する傾斜面712dが形成されている。なお、傾斜面712dと傾斜面722dとはそれぞれが対応した形状をなしている。   In addition, a tip curved surface 712c having a semicircular shape is formed at the tip of the first protrusion 712. The distal curved surface 712c is formed from the flat surface 712a formed at the lower end of the first projecting portion 712 to a predetermined position in the arrow z direction along the z axis. An inclined surface 712d that is inclined at the same angle (45 degrees in this case) as the inclined surface 722d of the second protrusion 722 is formed between the upper end curved surface 712b and the tip curved surface 712c. The inclined surface 712d and the inclined surface 722d have shapes corresponding to each other.

なお、第1突出部712に形成されている先端湾曲面712cと第2突出部722に形成されている先端湾曲面722cとを区別しやすくするために、第1突出部712に形成されている先端湾曲面712cを「第1先端湾曲面712c」と表記し、第2突出部722に形成されている先端湾曲面722cを「第2先端湾曲面722c」と表記する場合もある。同様に、第1突出部712に形成されている傾斜面712dと第2突出部722に形成されている傾斜面722dとを区別しやすくするために、第1突出部712に形成されている傾斜面712dを「第1傾斜面712d」と表記し、第2突出部722に形成されている傾斜面722dを「第2傾斜面722d」と表記する場合もある。   In addition, in order to distinguish the tip curved surface 712c formed in the 1st protrusion part 712 and the tip curved surface 722c formed in the 2nd protrusion part 722, it forms in the 1st protrusion part 712. The tip curved surface 712c may be referred to as “first tip curved surface 712c”, and the tip curved surface 722c formed on the second protrusion 722 may be referred to as “second tip curved surface 722c”. Similarly, in order to easily distinguish the inclined surface 712d formed in the first protrusion 712 and the inclined surface 722d formed in the second protrusion 722, the inclination formed in the first protrusion 712. The surface 712d may be referred to as “first inclined surface 712d”, and the inclined surface 722d formed on the second protrusion 722 may be referred to as “second inclined surface 722d”.

図10は、第1金型710と第2金型720とを突き合わせた状態とした場合の第1突出部712と第2突出部722との関係を示す拡大断面図である。なお、図10は、図8において、第1金型710と第2金型720とを正しく突き合わせた状態とした場合のe−e矢視断面図であり、樹脂が注入される前の状態が示されている。また、図10においては、樹脂封止型半導体装置200Aにおけるリードフレーム100Aなどの図示は省略している。   FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view showing the relationship between the first protrusion 712 and the second protrusion 722 when the first mold 710 and the second mold 720 are brought into contact with each other. FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line ee when the first mold 710 and the second mold 720 are correctly butted in FIG. 8, and the state before the resin is injected is shown in FIG. It is shown. In FIG. 10, the lead frame 100A and the like in the resin-encapsulated semiconductor device 200A are not shown.

図10に示すように、第1金型710と第2金型720とを突き合わせた状態とすると、第1突出部712の第1傾斜面712dと第2突出部722の第2傾斜面722dとが密接する。また、第1金型710と第2金型720とを突き合わせた状態としたときに、第2金型720に設けられている第2突出部722は、リードフレーム100Aのダイパッド(第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112)に当接することはない。これは、図3において説明したように、第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112には空間部Sが形成されているからである。   As shown in FIG. 10, when the first mold 710 and the second mold 720 are brought into contact with each other, the first inclined surface 712d of the first protruding portion 712 and the second inclined surface 722d of the second protruding portion 722 Close. In addition, when the first mold 710 and the second mold 720 are brought into contact with each other, the second protrusion 722 provided in the second mold 720 is a die pad (first die pad 111) of the lead frame 100A. And no contact with the second die pad 112). This is because the space portion S is formed in the first die pad 111 and the second die pad 112 as described in FIG.

図10に示すような状態として、金型筐体711と金型筐体721とによって形成される空間内に樹脂を注入し、注入した樹脂を硬化させたのち、第1金型710及び第2金型720を図8及び図9に示すように取り外すと、図2(d)に示すように、本体210を成形することができる。そして、タイバー130及び補助バー140をパンチ金型(図示せず。)によって切り離すことによって、図2(e)に示すような樹脂封止型半導体装置200Aを製造することができる。   In a state as shown in FIG. 10, after injecting resin into the space formed by the mold housing 711 and the mold housing 721 and curing the injected resin, the first mold 710 and the second mold When the mold 720 is removed as shown in FIGS. 8 and 9, the main body 210 can be molded as shown in FIG. Then, the resin-sealed semiconductor device 200A as shown in FIG. 2E can be manufactured by separating the tie bar 130 and the auxiliary bar 140 with a punch die (not shown).

すなわち、第1金型710における第1突出部712の上端湾曲面712bによって、第1ネジ通し部300の湾曲部311(図4(b)及び図5(a)参照。)を成形することができ、第1突出部712の第1先端湾曲面712cによって、第1ネジ通し部300の湾曲部321(図4(b)及び図5(d)参照。)を成形することができる。また、第2金型720における第2突出部722の下端湾曲面722bによって、第2ネジ通し部400の湾曲部411(図4(b)及び図5(b)参照。)を成形することができ、第2突出部722の第2先端湾曲面722cによって、第2ネジ通し部400の湾曲部421(図4(b)及び図5(c)参照。)を成形することができる。   That is, the curved portion 311 (see FIGS. 4B and 5A) of the first threading portion 300 is formed by the upper end curved surface 712b of the first protrusion 712 in the first mold 710. In addition, the curved portion 321 (see FIGS. 4B and 5D) of the first screw threaded portion 300 can be formed by the first tip curved surface 712c of the first projecting portion 712. Further, the curved portion 411 (see FIGS. 4B and 5B) of the second screw threaded portion 400 can be formed by the lower end curved surface 722b of the second protrusion 722 in the second mold 720. In addition, the curved portion 421 (see FIGS. 4B and 5C) of the second screw threaded portion 400 can be formed by the second tip curved surface 722c of the second projecting portion 722.

ところで、樹脂封止用金型700内で樹脂が硬化したのちに、第1金型710及び第2金型720を離隔させる際は、第1金型710を図8及び図9における矢印y方向にずらすとともに第2金型720を図8及び図9における矢印y’方向にずらすことによって、第1金型710及び第2金型720を離隔させることができる。   By the way, when the first mold 710 and the second mold 720 are separated after the resin is cured in the resin sealing mold 700, the first mold 710 is moved in the direction indicated by the arrow y in FIGS. The first mold 710 and the second mold 720 can be separated from each other by shifting the second mold 720 in the direction of the arrow y ′ in FIGS.

なお、樹脂が硬化したのちに、第1金型710及び第2金型720を離隔させることができるのは、樹脂封止用金型700が図8及び図9に示すような構成となっているためである。すなわち、第1金型710及び第2金型720は、両者を離隔させる際に、第1突出部712及び第2突出部722が、硬化した樹脂に対して引っ掛かりのない形状となっているためである。なお、第1金型710及び第2金型720を離隔させたのちに本体210を一方の金型から取り外す際には押し出しピンを用いる。   The first mold 710 and the second mold 720 can be separated after the resin is cured because the resin sealing mold 700 is configured as shown in FIGS. Because it is. That is, when the first mold 710 and the second mold 720 are separated from each other, the first projecting portion 712 and the second projecting portion 722 have a shape that does not catch the cured resin. It is. When the main body 210 is removed from one mold after the first mold 710 and the second mold 720 are separated from each other, an extrusion pin is used.

[実施形態2]
図11は、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bを説明するために示す図である。図11(a)は実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bの外観を示す斜視図であり、図11(b)は実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bに用いられるリードフレーム100Bを示す斜視図である。なお、図11(b)に示すリードフレーム100Bは、当該リードフレーム100Bからタイバー(図示せず。)及び補助バー(図示せず。)が除去された状態となっている。
[Embodiment 2]
FIG. 11 is a view for explaining the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment. FIG. 11A is a perspective view showing the appearance of the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment, and FIG. 11B is a lead frame used for the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment. It is a perspective view which shows 100B. Note that the lead frame 100B shown in FIG. 11B is in a state where tie bars (not shown) and auxiliary bars (not shown) are removed from the lead frame 100B.

実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bは、基本的には、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様の構成を有するが、2つの半導体素子151,154を備える樹脂封止型半導体装置200Bである点が実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aとは異なる。   The resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment basically has the same configuration as that of the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, but includes two semiconductor elements 151 and 154. The point is that it is a stationary semiconductor device 200B, which is different from the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment.

すなわち、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bは、2つの半導体素子(例えばダイオードなど)151,154を備える樹脂封止型半導体装置200Bであって、第1アウターリードとして1つの第1アウターリード121と、第2アウターリードとして2つの第2アウターリード123,124と、ダイパッド180とを有している。また、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bは、連結接続子として、第1連結接続子171と第2連結接続子172とを有している。   That is, the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment is a resin-encapsulated semiconductor device 200B including two semiconductor elements (for example, diodes) 151 and 154, and includes one first outer lead. The outer lead 121, the second outer leads 123 and 124 as the second outer lead, and the die pad 180 are provided. In addition, the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment includes a first connection connector 171 and a second connection connector 172 as connection connectors.

第1連結接続子171は、一方端が一方の半導体素子151に接続されるとともに、他方端が2つの第2アウターリード123,124のうち、一方の第2アウターリード123の接続部123aに接続され、半導体素子151と第2アウターリード123とを電気的に接続する。   The first connection connector 171 has one end connected to one semiconductor element 151 and the other end connected to the connection portion 123 a of one second outer lead 123 out of the two second outer leads 123 and 124. Then, the semiconductor element 151 and the second outer lead 123 are electrically connected.

第2連結接続子172は、一方端が他方の半導体素子154に接続されるとともに、他方端が2つの第2アウターリード123,124のうち、他方の第2アウターリード124の接続部124aに接続され、半導体素子154と第2アウターリード124とを電気的に接続する。   The second connection connector 172 has one end connected to the other semiconductor element 154 and the other end connected to the connection portion 124a of the other second outer lead 124 out of the two second outer leads 123 and 124. Then, the semiconductor element 154 and the second outer lead 124 are electrically connected.

また、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bにおいても、本体210には、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400が設けられている。ただし、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bにおいては、本体210には、端部に存在するアウターリード(例えば第1アウターリード121)よりも横方向(x軸に沿った方向)に、はみ出すような「はみ出し部」が形成されており、当該「はみ出し部」に第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400を設けるようにしている。   Also in the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment, the main body 210 includes the first screw threaded portion 300 and the second screw threaded portion 400 in the same manner as the resin sealed semiconductor device 200A according to the first embodiment. Is provided. However, in the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment, the main body 210 has a lateral direction (a direction along the x axis) rather than an outer lead (for example, the first outer lead 121) present at the end. The “extrusion part” that protrudes is formed, and the first screw passage part 300 and the second screw passage part 400 are provided in the “extension part”.

なお、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400の構造は、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様である。また、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400によって形成される第1挿通路Wa(図11においては図示しないため、図5参照。)の中心軸Paのy軸方向における位置及び第2挿通路Wb(図11においては図示しないため、図5参照。)の中心軸Pbのz軸方向における位置なども実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様である。   Note that the structures of the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 are the same as those of the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment. Further, the position of the first insertion path Wa (not shown in FIG. 11; see FIG. 5) formed by the first screw passage part 300 and the second screw passage part 400 in the y-axis direction and the first axis. The position in the z-axis direction of the central axis Pb of the two insertion passages Wb (not shown in FIG. 11; see FIG. 5) is the same as that of the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment.

また、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bにおいても、ダイパッド180は、搭載部180aにおける本体210の上面210b側の端部を正面210d側に90度屈曲させることによって、屈曲平面部180bを有している。この屈曲平面部180bの屈曲先端部は、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様に、少なくとも第1挿通路Waの中心軸Pa(図5(c)参照。)よりも本体210の正面210d側に位置するように設定されることが好ましい。このため、屈曲平面部180bの屈曲長さkは、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様に、ダイパッド180のz軸に沿った方向への立ち上がり部分の高さhと同等又はほぼ同等としている。   Also in the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment, the die pad 180 bends the end portion on the upper surface 210b side of the main body 210 in the mounting portion 180a by 90 degrees toward the front surface 210d, whereby the bent flat portion 180b. have. Like the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, the bent front end portion of the bent flat portion 180b is at least more than the central axis Pa of the first insertion passage Wa (see FIG. 5C). It is preferably set so as to be located on the front surface 210d side. For this reason, the bending length k of the bent plane portion 180b is equal to the height h of the rising portion in the direction along the z-axis of the die pad 180, or the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment. It is almost equivalent.

図12は、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bに放熱フィン500を取り付けた状態を示す図である。図12(a)は放熱フィン500を本体210の背面210cに取り付け状態を示す図であり、図12(b)は放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付けた状態を示す図である。   FIG. 12 is a diagram illustrating a state in which the radiation fins 500 are attached to the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment. 12A is a view showing a state in which the radiating fins 500 are attached to the back surface 210c of the main body 210, and FIG. 12B is a view showing a state in which the radiating fins 500 are attached to the upper surface 210b of the main body 210.

このように、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bにおいても、図12に示すように、放熱フィン500は、本体210の背面210c又は上面210bに選択的に取り付けることができる。それによって、樹脂封止型半導体装置200Bの実装の自由度を高めることができる。   As described above, also in the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment, the radiating fins 500 can be selectively attached to the back surface 210c or the top surface 210b of the main body 210 as shown in FIG. Thereby, the degree of freedom of mounting of the resin-encapsulated semiconductor device 200B can be increased.

また、放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付けた場合においても、放熱フィン500と屈曲平面部180bとが広い範囲で対向するようになるため、放熱フィン500を背面210cに取り付けた場合と同様に、高い放熱効果を得ることができる。これは、屈曲平面部180bの屈曲長さkは、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様に、ダイパッド180のz軸に沿った方向への立ち上がり部分の高さhと同等又はほぼ同等としているからである。   Further, even when the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210, the radiating fin 500 and the bent flat portion 180b are opposed to each other in a wide range, so that the same as when the radiating fin 500 is attached to the back surface 210c. In addition, a high heat dissipation effect can be obtained. This is because the bent length k of the bent flat portion 180b is equal to the height h of the rising portion in the direction along the z-axis of the die pad 180, as in the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment. This is because they are almost equivalent.

なお、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bを製造する際に用いる樹脂封止用金型は、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aにおいて用いた樹脂封止用金型700と基本的にはほぼ同じ構成のものを使用することができる。ただし、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bにおいては、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400の位置が実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと異なるため、第1金型710の第1突出部712及び第2金型720の第2突出部722は、図示しないが、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aを製造する際に用いた樹脂封止用金型700とは異なった位置に設けられている。   The resin sealing mold used when manufacturing the resin sealing semiconductor device 200B according to the second embodiment is the resin sealing mold 700 used in the resin sealing semiconductor device 200A according to the first embodiment. Basically, the same configuration can be used. However, in the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment, the positions of the first screw threaded portion 300 and the second screw threaded portion 400 are different from those of the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment. The first protrusion 712 of the first mold 710 and the second protrusion 722 of the second mold 720 are not shown, but are resin-sealed used when manufacturing the resin-sealed semiconductor device 200A according to the first embodiment. It is provided at a position different from the mold 700 for use.

[実施形態3]
図13は、実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cを説明するために示す図である。図13(a)は実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cの外観を示す斜視図であり、図13(b)は実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cに用いられるリードフレーム100Cを示す斜視図である。なお、図13(b)に示すリードフレーム100Cは、当該リードフレーム100Cからタイバー(図示せず。)及び補助バー(図示せず。)が除去された状態となっている。
[Embodiment 3]
FIG. 13 is a view for explaining the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment. FIG. 13A is a perspective view showing an appearance of the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment, and FIG. 13B is a lead frame used in the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment. It is a perspective view which shows 100C. Note that the lead frame 100C shown in FIG. 13B is in a state where tie bars (not shown) and auxiliary bars (not shown) are removed from the lead frame 100C.

実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cは、基本的には、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様の構成を有するが、樹脂封止型半導体装置200Cが3端子型の半導体素子190を備える樹脂封止型半導体装置200Cである点が実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aとは異なる。   The resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment has basically the same configuration as the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, but the resin-encapsulated semiconductor device 200C is a three-terminal type. The resin-encapsulated semiconductor device 200 </ b> C including the semiconductor element 190 is different from the resin-encapsulated semiconductor device 200 </ b> A according to the first embodiment.

すなわち、実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cは、3端子型の半導体素子190(例えば、パワーMOSFET、IGBT、サイリスターなど)を備える樹脂封止型半導体装置であって、第1アウターリードとして1つの第1アウターリード121と、第2アウターリードとして2つの第2アウターリード123,124と、ダイパッド180とを有している。また、実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cは、連結接続子として、第1連結接続子171と第2連結接続子172とを有している。   That is, the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment is a resin-encapsulated semiconductor device including a three-terminal semiconductor element 190 (for example, a power MOSFET, an IGBT, a thyristor, etc.), and the first outer lead. As a first outer lead 121, two second outer leads 123 and 124 as a second outer lead, and a die pad 180. Further, the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment includes a first connection connector 171 and a second connection connector 172 as connection connectors.

第1連結接続子171は、一方端が半導体素子190の第1領域に接続されるとともに、他方端が2つの第2アウターリード123,124のうち、一方の第2アウターリード123の接続部123aに接続され、半導体素子190の第1領域と第2アウターリード123とを電気的に接続する。   The first connection connector 171 has one end connected to the first region of the semiconductor element 190 and the other end connected to the connection portion 123 a of one second outer lead 123 out of the two second outer leads 123 and 124. The first region of the semiconductor element 190 and the second outer lead 123 are electrically connected.

第2連結接続子172は、一方端が半導体素子190の第1領域とは異なる第2領域に接続されるとともに、他方端が2つの第2アウターリード123,124のうち、他方の第2アウターリード124の接続部124aに接続され、半導体素子190の第2領域と第2アウターリード124とを電気的に接続する。   The second connecting connector 172 has one end connected to a second region different from the first region of the semiconductor element 190 and the other end of the second outer leads 123 and 124, the other second outer outer. The second region of the semiconductor element 190 and the second outer lead 124 are electrically connected to the connection portion 124 a of the lead 124.

また、実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cにおいても、本体210には、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bと同様の第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400が設けられている。すなわち、実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cにおいても、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bと同様に、本体210には、端部に存在するアウターリード(例えば第1アウターリード121)よりも横方向(x軸に沿った方向)に、はみ出すような「はみ出し部」が形成されており、当該「はみ出し部」に第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400を設けるようにしている。   Also in the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment, the main body 210 includes a first screw passage portion 300 and a second screw passage portion 400 that are the same as those of the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment. Is provided. That is, in the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment, as in the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment, the main body 210 has outer leads (eg, first outer A “protruding portion” that protrudes laterally (in the direction along the x axis) from the lead 121) is formed, and the first screw passing portion 300 and the second screw passing portion 400 are provided in the “protruding portion”. I am trying to provide it.

また、実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cにおいても、ダイパッド180は、搭載部180aにおける本体210の上面210b側の端部を正面210d側に90度屈曲させることによって、屈曲平面部180bが形成されている。この屈曲平面部180bの屈曲先端部は、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様に、少なくとも第1挿通路Waの中心軸Pa(図5(c)参照。)よりも本体210の正面210d側に位置するように設定することが好ましい。このため、屈曲平面部180bの屈曲長さkは、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様に、ダイパッド180のz軸に沿った方向の高さhと同等又はほぼ同等としている。   Also in the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment, the die pad 180 bends the end portion on the upper surface 210b side of the main body 210 in the mounting portion 180a by 90 degrees toward the front surface 210d, whereby the bent flat portion 180b. Is formed. Like the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, the bent front end portion of the bent flat portion 180b is at least more than the central axis Pa of the first insertion passage Wa (see FIG. 5C). It is preferable to set so that it may be located in the front 210d side. For this reason, the bending length k of the bending plane portion 180b is equal to or substantially the same as the height h in the direction along the z-axis of the die pad 180, like the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment. .

実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cにおいて放熱フィン500を取り付ける際には、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bの場合と同様に行うことができ(図12参照。)、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bと同様の効果が得られる。   When attaching the radiation fins 500 in the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment, it can be performed in the same manner as in the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment (see FIG. 12). The same effects as those of the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment are obtained.

また、実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cを製造する際に用いる樹脂封止用金型は、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aにおいて用いた樹脂封止用金型700と基本的にはほぼ同じ構成のものを使用することができる。ただし、実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cにおいては、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200Bと同様に、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400の位置が実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと異なるため、第1金型710の第1突出部712及び第2金型720の第2突出部722は、図示しないが、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aを製造する際に用いた樹脂封止用金型700とは異なった位置に設けられている。   The resin sealing mold used when manufacturing the resin sealing semiconductor device 200C according to the third embodiment is the resin sealing mold 700 used in the resin sealing semiconductor device 200A according to the first embodiment. Basically, the same configuration can be used. However, in the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment, the positions of the first screw threaded portion 300 and the second screw threaded portion 400 are implemented as in the resin-sealed semiconductor device 200B according to the second embodiment. Since it is different from the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, the first protrusion 712 of the first mold 710 and the second protrusion 722 of the second mold 720 are not shown, but the resin according to the first embodiment. It is provided at a position different from the resin sealing mold 700 used when manufacturing the sealing semiconductor device 200A.

[実施形態4]
図14は、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dの構成を説明するために示す図である。図14(a)は樹脂封止型半導体装置200Dの正面210dを斜め横方向から見た場合の斜視図であり、図14(b)は樹脂封止型半導体装置200Dの背面210cを斜め下方向から見た場合の斜視図である。実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dも実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様、シングルインライン型ブリッジダイオードであるとする。また、図14は放熱フィン500が取り付けられていない状態を示すものである。
[Embodiment 4]
FIG. 14 is a view for explaining the configuration of a resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment. FIG. 14A is a perspective view of the front surface 210d of the resin-encapsulated semiconductor device 200D viewed obliquely from the lateral direction, and FIG. 14B illustrates the rear surface 210c of the resin-encapsulated semiconductor device 200D obliquely downward. It is a perspective view at the time of seeing from. Similarly to the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment is also a single in-line bridge diode. FIG. 14 shows a state in which the radiating fin 500 is not attached.

実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dは、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様、本体210と、リードフレーム100D(図16参照。)のアウターリード(第1アウターリード121,122及び第2アウターリード123,124)とを有している。なお、本体210は、その側面形状(x軸に沿った方向から見た形状)が正方形状をなしている。また、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dの製造工程は、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様の工程(図2参照。)によって製造することができるため、ここでは、その説明は省略する。   Similarly to the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment has a main body 210 and outer leads (first outer leads) of the lead frame 100D (see FIG. 16). 121, 122 and second outer leads 123, 124). The main body 210 has a square side surface shape (a shape viewed from the direction along the x axis). The manufacturing process of the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment can be manufactured by the same process (see FIG. 2) as the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment. The description is omitted.

実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dが実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと大きく異なるのは、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400の構造である。なお、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおける第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部を「第1ネジ通し部300D」及び「第2ネジ通し部400D」として説明する。   The resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment is significantly different from the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment in the structure of the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400. Note that the first screw passage portion and the second screw passage portion in the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment will be described as “first screw passage portion 300D” and “second screw passage portion 400D”.

図15は、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおける第1ネジ通し部300D及び第2ネジ通し部400Dを各方向から見たす図である。図15(a)は本体210の正面210dを見た図であり、図15(b)は本体210の背面210cを見た図である。また、図15(c)は本体210の上面210bを見た図であり、図15(d)は本体210の下面210aを見た図である。   FIG. 15 is a view of the first screw passage portion 300D and the second screw passage portion 400D in the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment when viewed from each direction. FIG. 15A is a view of the front surface 210d of the main body 210, and FIG. 15B is a view of the back surface 210c of the main body 210. 15C is a view of the upper surface 210b of the main body 210, and FIG. 15D is a view of the lower surface 210a of the main body 210.

なお、図15(a)及び図15(b)においては、上面210bが図示の上側に位置するように示されており、図15(c)及び図15(d)においては、正面210dが図示の左側に位置するように示されている。   15 (a) and 15 (b), the upper surface 210b is shown to be positioned on the upper side of the drawing, and in FIGS. 15 (c) and 15 (d), the front surface 210d is shown. It is shown to be located on the left side.

第1ネジ通し部300Dは、図14及び図15に示すように、正面210dを上面210bから下面210aまで所定の幅mだけ切り欠いた切り欠き溝351として成形され、当該切り欠き溝351は、上面210bにおいて、半円形をなす湾曲部352と開口部353とを有するU字状をなしている(図5(c)及び図15(d)参照。)。なお、図15(c)及び図15(d)において、開口部353を細長い楕円上の破線枠で示しているが、これは、開口部353が当該破線枠内に位置していることを示すものである。   As shown in FIGS. 14 and 15, the first threading portion 300D is formed as a notch groove 351 in which the front surface 210d is cut out by a predetermined width m from the upper surface 210b to the lower surface 210a. The upper surface 210b has a U-shape having a semicircular curved portion 352 and an opening 353 (see FIGS. 5C and 15D). In FIG. 15C and FIG. 15D, the opening 353 is indicated by a thin broken ellipse frame, which indicates that the opening 353 is located within the broken line frame. Is.

また、湾曲部352は、本体210の上面210bにおける正面210d側の端辺と背面210c側の端辺との間に位置するとともに、開口部353は、本体210の上面210bにおける正面210d側の端辺に位置している。また、湾曲部352及び開口部353は本体210の下面210aまで形成されており(図5(a)参照。)、当該湾曲部352は第1挿通路Waとして用いられる。   The curved portion 352 is positioned between the front side 210d side edge of the upper surface 210b of the main body 210 and the rear side 210c side edge, and the opening 353 is the end of the upper surface 210b of the main body 210 on the front surface 210d side. Located on the side. Further, the curved portion 352 and the opening 353 are formed up to the lower surface 210a of the main body 210 (see FIG. 5A), and the curved portion 352 is used as the first insertion passage Wa.

ここで、湾曲部352の中心Pcは、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおいては、本体210のy軸方向の寸法の例えば1/2の位置(本体210の正面210dと背面210cとの間の例えば中間位置)とするとともに、本体210のx軸方向の寸法の例えば1/2の位置としている。なお、湾曲部352の中心Pcというのは、湾曲部352を反対側(正面210d側)にも延長して仮想的な円として考えた場合の当該仮想的な円の中心Pcのことである。また、湾曲部352を形成する仮想円の径は切り欠き溝351の幅mと同じであり、当該径(径mともいう)は放熱フィン500を固定するためのネジ600が通過可能となる程度とする。   Here, in the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment, the center Pc of the bending portion 352 is, for example, a position that is 1/2 the dimension in the y-axis direction of the main body 210 (the front surface 210d and the back surface 210c of the main body 210 For example, an intermediate position), and a position that is, for example, a half of the dimension of the main body 210 in the x-axis direction. The center Pc of the bending portion 352 is the center Pc of the virtual circle when the bending portion 352 is extended to the opposite side (front surface 210d side) and considered as a virtual circle. The diameter of the virtual circle forming the curved portion 352 is the same as the width m of the notch groove 351, and the diameter (also referred to as the diameter m) is such that the screw 600 for fixing the heat radiation fin 500 can pass therethrough. And

一方、第2ネジ通し部400Dは、切り欠き溝351の湾曲部352から背面210cまでを貫く貫通孔451として成形され、当該貫通孔451は第2挿通孔Wbとして用いられ、正面210d又は背面210cを見たときには、円形をなしている(図15(a),(b)参照。)。なお、貫通孔451の径は、切り欠き溝351の幅mと同じとする。   On the other hand, the second screw threaded portion 400D is formed as a through hole 451 that penetrates from the curved portion 352 of the notch groove 351 to the back surface 210c, and the through hole 451 is used as the second insertion hole Wb, and the front surface 210d or the back surface 210c. When it sees, it is circular (refer FIG. 15 (a), (b)). The diameter of the through hole 451 is the same as the width m of the notch groove 351.

また、貫通孔451の中心軸Pdの位置は、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおいては、本体210のz軸方向の寸法の例えば1/2の位置(本体210の上面210bと下面210aとの間の例えば中間位置)とするとともに、本体210のx軸方向の寸法の例えば1/2の位置(本体210の両側面210eの間の例えば中間位置)としている。   In addition, in the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment, the position of the central axis Pd of the through hole 451 is, for example, a position that is 1/2 the dimension in the z-axis direction of the main body 210 (the upper surface 210b For example, an intermediate position between the lower surface 210a and the position of the main body 210 in the x-axis direction, for example, a half position (for example, an intermediate position between both side surfaces 210e of the main body 210).

そして、第1ネジ通し部300Dの湾曲部352の中心Pc(図15(c)参照。)を通るz軸に沿った中心線L5(図15(a)参照。)と、第2ネジ通し部400Dの貫通孔451の中心軸Pd(図15(a)参照。)に一致するy軸に沿った中心線L6(図15(c)参照。)とは直交する。なお、湾曲部352の中心Pc及び貫通孔451の中心軸Pdの位置は、湾曲部352の中心Pcを通る中心線L5及び貫通孔451の中心軸Pdに一致する中心線L6が直交するように設定すれば、x軸、y軸及びz軸に沿ってそれぞれ多少ずれた位置としてもよい。   Then, a center line L5 (see FIG. 15A) along the z axis passing through the center Pc (see FIG. 15C) of the curved portion 352 of the first screw passing portion 300D, and the second screw passing portion. It is orthogonal to the center line L6 (see FIG. 15C) along the y axis that coincides with the central axis Pd (see FIG. 15A) of the through hole 451 of 400D. The positions of the center Pc of the curved portion 352 and the center axis Pd of the through hole 451 are such that the center line L5 passing through the center Pc of the curved portion 352 and the center line L6 coinciding with the center axis Pd of the through hole 451 are orthogonal to each other. If set, the positions may be shifted slightly along the x-axis, y-axis, and z-axis.

本体210における第1ネジ通し部300Dの湾曲部352及び第2ネジ通し部400Dの貫通孔451がこのような位置に設けられ、かつ、放熱フィン500における雌ネジ部500aの位置とが前述したような位置(放熱フィン側取り付け面510の中央部)に設けられていることにより、放熱フィン500を本体210の背面210c又は上面210bに取り付ける場合のいずれにおいても放熱フィン500を安定した状態で取り付けることができる。これは、放熱フィン500を本体210の背面210c又は上面210bに取り付ける場合のネジ止めの位置が、本体210においては、背面210c又は上面210bのそれぞれのほぼ中央である。また、放熱フィン500においては、放熱フィン側取り付け面510の中央である。   As described above, the curved portion 352 of the first screw passage portion 300D and the through hole 451 of the second screw passage portion 400D in the main body 210 are provided at such positions, and the position of the female screw portion 500a in the radiating fin 500 is as described above. Since the heat dissipating fin 500 is mounted on the rear surface 210c or the upper surface 210b of the main body 210, the heat dissipating fin 500 can be mounted in a stable state. Can do. In the main body 210, the screwing position when the radiating fin 500 is attached to the back surface 210 c or the top surface 210 b of the main body 210 is approximately the center of the back surface 210 c or the top surface 210 b. Moreover, in the radiation fin 500, it is the center of the radiation fin side attachment surface 510. FIG.

次に、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dに用いるリードフレーム100Dについて説明する。リードフレーム100Dの構成は、基本的には実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aに用いるリードフレーム100Aとほぼ同様であるため、同一部分には同一符号を付している。
である。
Next, a lead frame 100D used for the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment will be described. Since the configuration of the lead frame 100D is basically the same as that of the lead frame 100A used in the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, the same parts are denoted by the same reference numerals.
It is.

図16は、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおけるリードフレーム100Dの第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112について説明するために示す図である。
第1ダイパッド111は、図16に示すように、半導体素子151,152を搭載するための搭載部111a,111bのうちの搭載部111aにおける本体210の上面210b側の端部を正面210d側(y軸方向)に90度屈曲させることによって屈曲平面部111dが形成されている。また、第2ダイパッド112は、半導体素子153,154を搭載するための搭載部112a,112bにおける本体210の上面210b側の端部をそれぞれ正面210d側(y軸方向)に90度屈曲させることによって屈曲平面部112d,112eが形成されている。なお、屈曲平面部111d,112d,112eの屈曲長さを「k」とする。
FIG. 16 is a view for explaining the first die pad 111 and the second die pad 112 of the lead frame 100D in the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment.
As shown in FIG. 16, the first die pad 111 has an end on the upper surface 210b side of the main body 210 in the mounting portion 111a of the mounting portions 111a and 111b for mounting the semiconductor elements 151 and 152 on the front 210d side (y The bent flat portion 111d is formed by bending 90 degrees in the axial direction. Further, the second die pad 112 is formed by bending the end portions on the upper surface 210b side of the main body 210 in the mounting portions 112a and 112b for mounting the semiconductor elements 153 and 154 by 90 degrees to the front 210d side (y-axis direction), respectively. Bent flat portions 112d and 112e are formed. In addition, the bending length of the bending plane portions 111d, 112d, and 112e is “k”.

この屈曲長さkは、屈曲平面部111d,112d,112eの屈曲先端部が、少なくとも第1ネジ通し部300における湾曲部352の中心Pc(図15(c)参照。)よりも本体210の正面210d側に位置するように設定することが好ましい。なお、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおいては、屈曲長さkは、第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112のz軸方向の立ち上がり部分の高さh(図3参照。)と同等又はほぼ同等としている。   The bending length k is such that the bending front ends of the bending plane portions 111d, 112d, and 112e are at least the front of the main body 210 than the center Pc (see FIG. 15C) of the bending portion 352 in the first threading portion 300. It is preferable to set so as to be located on the 210d side. In the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment, the bending length k is the height h (see FIG. 3) of rising portions in the z-axis direction of the first die pad 111 and the second die pad 112. Equivalent or almost equivalent.

このように、屈曲長さkが、第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112のz軸方向の立ち上がり部分の高さh(図3参照。)と同等又はほぼ同等とすることによって、これらダイパッド及び半導体素子などを樹脂封止すると、本体210の側面形状を正方形状とすることができる。   As described above, the bending length k is equal to or substantially equal to the height h (see FIG. 3) of the rising portions in the z-axis direction of the first die pad 111 and the second die pad 112. When the element or the like is resin-sealed, the side surface shape of the main body 210 can be a square shape.

本体210の側面形状を正方形状とすることにより、本体210の上面210bは、元々広い面積を有する本体210の背面210cと同等の面積を有することとなる。   By making the side surface shape of the main body 210 into a square shape, the upper surface 210b of the main body 210 has an area equivalent to that of the back surface 210c of the main body 210 which originally has a large area.

なお、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aにおけるリードフレーム100Aにおいては、第2ダイパッド112の屈曲平面部112d,112eの先端は、第2連結部112cにより連結されていたが、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおけるリードフレーム100Dにおいては、第2ダイパッド112の屈曲平面部112d,112eの後端が第2連結部112cにより連結されており、屈曲平面部112d,112eの先端は、互いに離隔している。これは、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dの本体210は、図14に示したように、本体210の正面210dにおいて本体210の下面210aから上面210bまでの間に切り欠き溝351を形成する必要があるためである。   In the lead frame 100A in the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, the ends of the bent flat portions 112d and 112e of the second die pad 112 are connected by the second connecting portion 112c. In the lead frame 100D in the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to No. 4, the rear ends of the bent flat portions 112d and 112e of the second die pad 112 are connected by the second connecting portion 112c, and the bent flat portions 112d and 112e The tips are spaced apart from each other. This is because the main body 210 of the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment has a notch groove 351 between the lower surface 210a and the upper surface 210b of the main body 210 in the front surface 210d of the main body 210 as shown in FIG. It is because it is necessary to form.

また、リードフレーム100Dのダイパッド(第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112)には、空間部S1,S2が形成されている。この空間部S1,S2は、当該ダイパッドと、本体210を形成するための樹脂封止用金型800(図19及び図20参照。)の第1金型810に設けられている第1突出部812及び第2金型820に設けられている第2突出部822との当接を回避するためのものである。   In addition, spaces S1 and S2 are formed in the die pads (first die pad 111 and second die pad 112) of the lead frame 100D. The space portions S1 and S2 are the first protrusions provided on the die pad and the first mold 810 of the resin sealing mold 800 (see FIGS. 19 and 20) for forming the main body 210. 812 and the second mold 820 are for avoiding contact with the second protrusion 822.

このような空間部S1,S2が形成されていることによって、樹脂封止用金型800を用いて本体210を形成する際に、当該リードフレーム100Dを構成するダイパッド(第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112)と、第1金型810に設けられている第1突出部812及び第2金型820に設けられている第2突出部822とが当接しないようにすることができる。これによって、ダイパッド(第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112)を樹脂封止用金型800内に円滑に設置することができる。   By forming such spaces S1 and S2, when forming the main body 210 using the resin sealing mold 800, die pads (first die pad 111 and second die pad) constituting the lead frame 100D are formed. It is possible to prevent the die pad 112) from coming into contact with the first protrusion 812 provided on the first mold 810 and the second protrusion 822 provided on the second mold 820. Accordingly, the die pads (first die pad 111 and second die pad 112) can be smoothly installed in the resin sealing mold 800.

図17は、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおける本体210の背面210cに放熱フィン500を取り付けた場合を説明するために示す図である。図17(a)は斜視図であり、図17(b)は第1ネジ通し部300D及び第2ネジ通し部400Dとネジ600との関係を説明するために示す拡大断面図である。   FIG. 17 is a view for explaining a case where the radiation fins 500 are attached to the back surface 210c of the main body 210 in the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment. FIG. 17A is a perspective view, and FIG. 17B is an enlarged cross-sectional view for explaining the relationship between the first screw passage portion 300D and the second screw passage portion 400D and the screw 600. FIG.

放熱フィン500を本体210の背面210cに取り付ける場合には、図17に示すように、貫通孔451を第2挿通路Wbとして用いて放熱フィン500を本体210の背面210cに取り付ける。すなわち、放熱フィン500を本体210の背面210cに接触させた状態として、ネジ600の先端部を第1ネジ通し部300Dから第2ネジ通し部400Dの貫通孔451(図17(b)参照。)を通過させたのち、本体210の背面210cから突出させ、ネジ600の先端部を放熱フィン500の雌ネジ部500aに挿入して螺合させることにより、放熱フィン500を固定する。これにより、放熱フィン500を本体210の背面210cに取り付けることができる。   When attaching the radiating fins 500 to the back surface 210c of the main body 210, the radiating fins 500 are attached to the back surface 210c of the main body 210 using the through holes 451 as the second insertion passages Wb as shown in FIG. That is, with the radiating fin 500 in contact with the back surface 210c of the main body 210, the tip of the screw 600 is changed from the first screw passage portion 300D to the through hole 451 of the second screw passage portion 400D (see FIG. 17B). Then, the heat dissipating fin 500 is fixed by projecting from the back surface 210c of the main body 210 and inserting the screw 600 into the female screw portion 500a of the heat dissipating fin 500 and screwing it. Thereby, the radiation fin 500 can be attached to the back surface 210 c of the main body 210.

放熱フィン500を図17に示すように、本体210の背面210cに取り付けた場合は、放熱フィン500が第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112に広い面積で対向するため、高い放熱効果が得られる。これは、図16に示したように、本体210の背面210cに位置する第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112は広い面積を有しているからであり、放熱フィン500がこのような広い面積を有する第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112に対向することによって高い放熱効果が得られる。   As shown in FIG. 17, when the heat radiating fins 500 are attached to the back surface 210c of the main body 210, the heat radiating fins 500 are opposed to the first die pad 111 and the second die pad 112 in a wide area, so that a high heat radiating effect is obtained. This is because, as shown in FIG. 16, the first die pad 111 and the second die pad 112 located on the back surface 210c of the main body 210 have a large area, and the radiating fin 500 has such a large area. By facing the first die pad 111 and the second die pad 112 having a high heat dissipation effect.

図18は、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dにおける本体210の上面210bに放熱フィン500を取り付ける場合を説明するために示す図である。図18(a)は斜視図であり、図18(b)は第1ネジ通し部300D及び第2ネジ通し部400Dとネジ600との関係を説明するために示す拡大断面図である。   FIG. 18 is a view for explaining a case where the radiation fins 500 are attached to the upper surface 210b of the main body 210 in the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment. FIG. 18A is a perspective view, and FIG. 18B is an enlarged cross-sectional view shown for explaining the relationship between the first screw passage portion 300D, the second screw passage portion 400D, and the screw 600.

放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付ける場合には、図18に示すように、切り欠き溝351の湾曲部352を第1挿通路Waとして用いて放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付ける。すなわち、放熱フィン500を本体210の上面210bに載置した状態として、ネジ600の先端部を本体210の第1ネジ通し部300Dにおける切り欠き溝351の湾曲部352に沿うようにして通過させたのち、本体210の上面210bから突出させて、ネジ600の先端部を放熱フィン500の雌ネジ部500aに挿入して螺合させることにより、放熱フィン500を固定する。これにより、放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付けることができる。   When attaching the radiating fin 500 to the upper surface 210b of the main body 210, as shown in FIG. 18, the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210 using the curved portion 352 of the notch groove 351 as the first insertion path Wa. . That is, with the radiating fin 500 placed on the upper surface 210b of the main body 210, the tip of the screw 600 is passed along the curved portion 352 of the notch groove 351 in the first screw passage portion 300D of the main body 210. Thereafter, the heat dissipating fin 500 is fixed by projecting from the upper surface 210b of the main body 210 and inserting and screwing the tip end portion of the screw 600 into the female screw portion 500a of the heat dissipating fin 500. Thereby, the radiation fin 500 can be attached to the upper surface 210 b of the main body 210.

放熱フィン500を図18に示すように、本体210の上面210bに取り付けた場合においても、放熱フィン500を本体210の背面210cに取り付けた場合と同様に、高い放熱効果を得ることができる。これは、放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付けた場合、放熱フィン側取り付け面510が、搭載部111a,111b及び搭載部112a,112bとほぼ同等の面積を有する屈曲平面部111d,111e及び屈曲平面部112d,112eに対向した状態で取り付けられるからである。   As shown in FIG. 18, when the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210 b of the main body 210, a high heat radiating effect can be obtained as in the case where the radiating fin 500 is attached to the rear surface 210 c of the main body 210. This is because when the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210, the radiating fin-side attachment surface 510 has bent plane portions 111d, 111e having substantially the same area as the mounting portions 111a, 111b and the mounting portions 112a, 112b, and This is because it is attached in a state of facing the bent flat portions 112d and 112e.

すなわち、屈曲平面部111d及び屈曲平面部112d,112eの屈曲長さkは、第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112のz軸に沿った方向の高さhと同等又はほぼ同等(図16参照。)となっているために、本体210の側面形状が正方形状となり、それによって、本体210の上面210bは、元々広い面積を有する本体210の背面210cと同等の面積を有することとなる。   That is, the bending length k of the bending plane portion 111d and the bending plane portions 112d and 112e is equal to or substantially equal to the height h in the direction along the z axis of the first die pad 111 and the second die pad 112 (see FIG. 16). ), The side surface of the main body 210 has a square shape, whereby the upper surface 210b of the main body 210 has an area equivalent to the back surface 210c of the main body 210 that originally has a large area.

これにより、放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付けた場合(図18参照。)にも、放熱フィン500と屈曲平面部111d,112d,112eとが広い面積で対向するようになるため、放熱フィン500を本体210の背面210cに取り付けた場合と同様に高い放熱効果を得ることができる。   As a result, even when the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210 (see FIG. 18), the radiating fin 500 and the bent flat portions 111d, 112d, and 112e face each other over a wide area. As in the case where the fins 500 are attached to the back surface 210c of the main body 210, a high heat dissipation effect can be obtained.

以上説明したように、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dによれば、放熱フィン500を本体210の背面210c又は上面210bに選択的に取り付けることができる(図17及び図18参照。)。このため、放熱フィン500の取り付け位置を本体210の背面210cではなく、本体210の上面210bに取り付けたい場合にも容易に対応することができ、樹脂封止型半導体装置200Dを基板に実装する場合における実装の自由度を高めることができる。   As described above, according to the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment, the radiating fins 500 can be selectively attached to the back surface 210c or the top surface 210b of the main body 210 (see FIGS. 17 and 18). ). For this reason, it is possible to easily cope with the case where the mounting position of the radiation fin 500 is not attached to the back surface 210c of the main body 210 but the upper surface 210b of the main body 210, and the resin-encapsulated semiconductor device 200D is mounted on the substrate. Can increase the degree of freedom in implementation.

次に、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dを製造するための樹脂封止用金型800について説明する。   Next, a resin sealing mold 800 for manufacturing the resin sealed semiconductor device 200D according to the fourth embodiment will be described.

図19及び図20は、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dを製造する際に用いる樹脂封止用金型800を説明するために示す図である。図19は本体210の正面210dを斜め方向から見た場合の樹脂封止型半導体装置200Dと樹脂封止用金型800との関係を示すものであり、図20は本体210の背面210cを斜め方向から見た場合の樹脂封止型半導体装置200Dと樹脂封止用金型800との関係を示すものである。   19 and 20 are views for explaining a resin sealing mold 800 used when manufacturing the resin sealing semiconductor device 200D according to the fourth embodiment. 19 shows the relationship between the resin-encapsulated semiconductor device 200D and the resin-encapsulating mold 800 when the front surface 210d of the main body 210 is viewed from an oblique direction, and FIG. 20 shows the rear surface 210c of the main body 210 obliquely. The relationship between the resin-encapsulated semiconductor device 200D and the resin-encapsulating mold 800 when viewed from the direction is shown.

樹脂封止用金型800は、一対の金型(第1金型810及び第2金型820とする。)によって構成されている。第1金型810は、本体210を正面210d側と背面210c側とに2分した場合の正面210d側に対応する金型であり、第2金型820は、本体210を正面210d側と背面210c側とに2分した場合の背面210c側に対応する金型である。なお、図19及び図20は、樹脂封止用金型800内に注入した樹脂が硬化したのちに、第1金型810及び第2金型820を取り外した状態を示している。   The resin sealing mold 800 is configured by a pair of molds (referred to as a first mold 810 and a second mold 820). The first mold 810 is a mold corresponding to the front 210d side when the main body 210 is divided into the front 210d side and the back 210c side, and the second mold 820 includes the main body 210 on the front 210d side and the back surface. This is a mold corresponding to the back surface 210c side when divided into the 210c side. 19 and 20 show a state where the first mold 810 and the second mold 820 are removed after the resin injected into the resin sealing mold 800 is cured.

図19及び図20により第1金型810及び第2金型820について説明する。第1金型810は、内部に樹脂を注入するための空間を有する金型筐体811を有し、第2金型820も同様に、内部に樹脂を注入するための空間を有する金型筐体821を有している。なお、図19及び図20においては、第1金型810の金型筐体811及び第2金型820の金型筐体821におけるそれぞれの内部の面のうち、本体210の下面210aを成形する面をそれぞれ下面成形面814,824とし、当該下面成形面814,824が水平(xy平面上)でかつ上方(矢印z方向)を向くように、第1金型810及び第2金型820を置いた状態が示されている。   The first mold 810 and the second mold 820 will be described with reference to FIGS. 19 and 20. The first mold 810 has a mold casing 811 having a space for injecting resin therein, and the second mold 820 similarly has a mold casing having a space for injecting resin therein. It has a body 821. 19 and 20, the lower surface 210a of the main body 210 is molded out of the inner surfaces of the mold housing 811 of the first mold 810 and the mold housing 821 of the second mold 820. The first mold 810 and the second mold 820 are arranged such that the surfaces are lower surface molding surfaces 814 and 824, respectively, and the lower surface molding surfaces 814 and 824 are horizontal (on the xy plane) and face upward (in the direction of the arrow z). The state of being placed is shown.

まず、図19により第2金型820について説明する。第2金型820は、図19に示すように、第2ネジ通し部400Dを成形するための突出部822(第2突出部822という。)を有している。第2突出部822は、先端面822aが円形の円柱状突出部として形成され、y軸に沿って突出している。なお、以下では、第2突出部822を円柱状突出部822という場合もある。   First, the second mold 820 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 19, the second mold 820 has a protruding portion 822 (referred to as a second protruding portion 822) for forming the second screw threaded portion 400D. The second protrusion 822 has a tip surface 822a formed as a circular columnar protrusion, and protrudes along the y-axis. Hereinafter, the second protrusion 822 may be referred to as a columnar protrusion 822.

一方、第1金型810は、図20に示すように、第1ネジ通し部300Dを成形するための突出部812(第1突出部812という。)を有している。第1突出部812の先端には、半円形をなす湾曲面812aがz軸に沿って金型筐体811内部の上面から下面まで形成されている。また、湾曲面812aには、第2金型820の円柱状突出部822の先端面822a(円柱先端面822aという。)に対応する形状をなす先端面813aを有する円柱状の突出部813(補助突出部813という。)が形成されている。   On the other hand, as shown in FIG. 20, the first mold 810 has a protruding portion 812 (referred to as a first protruding portion 812) for forming the first threading portion 300D. A curved surface 812a having a semicircular shape is formed from the upper surface to the lower surface inside the mold housing 811 along the z axis at the tip of the first projecting portion 812. Further, the curved surface 812a has a columnar protrusion 813 (auxiliary) having a tip surface 813a having a shape corresponding to the tip surface 822a (referred to as a column tip surface 822a) of the columnar protrusion 822 of the second mold 820. Projecting portion 813 is formed.

このように構成された第1金型810と第2金型820とを突き合わせた状態とすると、第1金型810の湾曲面812aに形成されている補助突出部813の先端面813aと、第2金型820における円柱状突出部822の円柱先端面822aとが密接する。   When the first mold 810 and the second mold 820 configured in this manner are brought into contact with each other, the front end surface 813a of the auxiliary protrusion 813 formed on the curved surface 812a of the first mold 810, The cylindrical tip surface 822a of the cylindrical protrusion 822 in the two mold 820 is in close contact.

図21は、第1金型810と第2金型820とを突き合わせた状態とした場合の第1突出部812と第2突出部822との関係を示す拡大断面図である。なお、図21は、図19において、第1金型810と第2金型820とを突き合わせた状態とした場合のf−f矢視断面図であり、樹脂が注入される前の状態が示されている。また、図21においては、樹脂封止型半導体装置200Dにおけるリードフレーム100Dなどの図示は省略している。   FIG. 21 is an enlarged cross-sectional view showing the relationship between the first protrusion 812 and the second protrusion 822 when the first mold 810 and the second mold 820 are brought into contact with each other. 21 is a cross-sectional view taken along the line ff when the first mold 810 and the second mold 820 are brought into contact with each other in FIG. 19, and shows a state before the resin is injected. Has been. In FIG. 21, the lead frame 100D and the like in the resin-encapsulated semiconductor device 200D are not shown.

図21に示すように、第1金型810と第2金型820とを突き合わせた状態とすると、第1突出部812の湾曲面812aに形成されている補助突出部813の先端面813aと、第2突出部822(円柱状突出部822)の円柱先端面822aとが密接する。   As shown in FIG. 21, when the first mold 810 and the second mold 820 are brought into contact with each other, the front end surface 813a of the auxiliary protruding portion 813 formed on the curved surface 812a of the first protruding portion 812, The cylindrical front end surface 822a of the second protrusion 822 (columnar protrusion 822) is in close contact.

また、第1金型810と第2金型820とを突き合わせた状態としたときに、第1突出部812及び第2突出部822は、リードフレーム100Dのダイパッド(第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112)に当接することはない。これは、図16において説明したように、第1ダイパッド111及び第2ダイパッド112には空間部S1,S2が形成されているからである。   Further, when the first mold 810 and the second mold 820 are brought into contact with each other, the first projecting portion 812 and the second projecting portion 822 are the die pads (the first die pad 111 and the second die pad) of the lead frame 100D. 112). This is because the space portions S1 and S2 are formed in the first die pad 111 and the second die pad 112 as described in FIG.

図21に示すような状態として、金型筐体811と金型筐体821とによって形成される空間内に樹脂を注入し、注入した樹脂を硬化させたのち、第1金型810及び第2金型820を図19及び図20に示すように離隔させると、本体210を成形することができる。そして、タイバー130及び補助バー140(いずれも図2参照。)をパンチ金型(図示せず。)によって切り離すことによって、樹脂封止型半導体装置200Dを製造することができる。   In a state as shown in FIG. 21, after injecting resin into the space formed by the mold casing 811 and the mold casing 821 and curing the injected resin, the first mold 810 and the second mold When the mold 820 is separated as shown in FIGS. 19 and 20, the main body 210 can be molded. Then, the resin-sealed semiconductor device 200D can be manufactured by separating the tie bar 130 and the auxiliary bar 140 (both see FIG. 2) with a punch die (not shown).

このように製造された樹脂封止型半導体装置200Dの本体210には、第1金型810の第1突出部812によって、第1ネジ通し部300Dを成形することができ、また、第1突出部812の湾曲面812aに形成されている補助突出部813と第2金型820の第2突出部822(円柱状突出部822)とによって、第2ネジ通し部400D(貫通孔451)を成形することができる。   In the main body 210 of the resin-encapsulated semiconductor device 200D manufactured in this way, the first threading portion 300D can be formed by the first protrusion 812 of the first mold 810, and the first protrusion The second screw threaded portion 400D (through hole 451) is formed by the auxiliary protruding portion 813 formed on the curved surface 812a of the portion 812 and the second protruding portion 822 (columnar protruding portion 822) of the second mold 820. can do.

ところで、樹脂封止用金型800内で樹脂が硬化したのちに、第1金型810及び第2金型820を離隔させる際は、第1金型810を図19及び図20における矢印y方向にずらすとともに第2金型820を図19及び図20における矢印y’方向にずらすことによって、第1金型810及び第2金型820を離隔させることができる。   By the way, when the first mold 810 and the second mold 820 are separated after the resin is cured in the resin sealing mold 800, the first mold 810 is moved in the direction of the arrow y in FIGS. 19 and 20. The first mold 810 and the second mold 820 can be separated from each other by shifting the second mold 820 in the direction of the arrow y ′ in FIGS. 19 and 20.

このように、樹脂が硬化したのちに、第1金型810及び第2金型820を離隔させることができるのは、樹脂封止用金型800が図19及び図20に示すような構成となっているためである。すなわち、第1金型810及び第2金型820は、それぞれの取り外し方向(第1金型810)は矢印y方向、第2金型820は矢印y’方向)に沿って離隔させる際に、第1突出部812及び第2突出部822が、硬化した樹脂に対して引っ掛かりのない形状となっているためである。なお、第1金型810及び第2金型820を離隔させたのちに本体210を一方の金型から取り外す際には押し出しピンを用いる。   Thus, after the resin is cured, the first mold 810 and the second mold 820 can be separated from each other because the resin sealing mold 800 has a configuration as shown in FIGS. 19 and 20. It is because it has become. That is, when the first mold 810 and the second mold 820 are separated along the respective removal directions (the first mold 810) in the arrow y direction and the second mold 820 in the arrow y ′ direction, This is because the first projecting portion 812 and the second projecting portion 822 have a shape that does not catch the cured resin. When the main body 210 is removed from one mold after the first mold 810 and the second mold 820 are separated from each other, an extrusion pin is used.

なお、実施形態4においては、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200Aと同様の構成を有する樹脂封止型半導体装置200Dを例にとって説明したが、第1ネジ通し部300D及び第2ネジ通し部400Dを形成する位置を変更することによって、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200B及び実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cにおいても適用可能である。   In the fourth embodiment, the resin-encapsulated semiconductor device 200D having the same configuration as the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment has been described as an example. However, the first screw threaded portion 300D and the second screw are used. The present invention can also be applied to the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment and the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment by changing the position where the through portion 400D is formed.

[実施形態5]
図22は、実施形態5に係る樹脂封止型半導体装置200Eを説明するために示す図である。図22(a)は樹脂封止型半導体装置200Eの背面210cを斜め方向から見た場合の斜視図であり、図22(b)は放熱フィン500の斜視図であり、図22(c)は本体210の上面210bに放熱フィン500を取り付けた状態を示す図である。
[Embodiment 5]
FIG. 22 is a view for explaining the resin-encapsulated semiconductor device 200E according to the fifth embodiment. FIG. 22A is a perspective view when the back surface 210c of the resin-encapsulated semiconductor device 200E is viewed from an oblique direction, FIG. 22B is a perspective view of the radiation fin 500, and FIG. It is a figure which shows the state which attached the radiation fin 500 to the upper surface 210b of the main body 210. FIG.

実施形態5に係る樹脂封止型半導体装置200Eは、放熱フィン500を本体210に取り付けたときの位置ずれ防止を可能とするものである。なお、実施形態5に係る樹脂封止型半導体装置200Eにおいては、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dと同様のネジ通し部(第1ネジ通し部300D及び第2ネジ通し部400D)が設けられているものとする。   The resin-encapsulated semiconductor device 200E according to the fifth embodiment can prevent misalignment when the radiating fins 500 are attached to the main body 210. Note that, in the resin-encapsulated semiconductor device 200E according to the fifth embodiment, the same threading portions as the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment (the first screwing portion 300D and the second screwing portion 400D). Is provided.

実施形態5に係る樹脂封止型半導体装置200Eは、図22に示すように、本体210の背面210cの上端角部には、断面がL字状の位置ずれ防止用係合部291,292を設け、放熱フィン500の側には、各位置ずれ防止用係合部291,292に係合するような突起511,512を設けている。なお、図22において、図14と同一構成要素には同一符号が付されている。   As shown in FIG. 22, the resin-encapsulated semiconductor device 200 </ b> E according to the fifth embodiment is provided with engaging portions 291 and 292 for preventing misalignment at the upper end corner of the back surface 210 c of the main body 210. Provided on the side of the radiating fin 500 are protrusions 511 and 512 that engage with the respective misalignment prevention engaging portions 291 and 292. In FIG. 22, the same components as those in FIG. 14 are denoted by the same reference numerals.

なお、本体210の側に設けられている位置ずれ防止用係合部291,292と、放熱フィン500の側に設けられる突起511,512は、放熱フィン500を本体210の背面210c又は上面210bのいずれに取り付ける際にも、共用可能とするような位置関係に設けられているものとする。また、本体210の位置ずれ防止用係合部291,292に放熱フィン500の突起511,512を係合させた状態とすると、第1ネジ通し部300Dにおける湾曲部352の中心Pc又は第2ネジ通し部400Dの貫通孔451の中心軸Pdが、必然的に放熱フィン500の雌ネジ部500aの中心軸に一致するように予め設定しておく。   It should be noted that the misalignment prevention engaging portions 291 and 292 provided on the main body 210 side and the protrusions 511 and 512 provided on the heat dissipating fin 500 side connect the heat dissipating fin 500 to the back surface 210c or the upper surface 210b of the main body 210. In any case, it is assumed that they are provided in a positional relationship so that they can be shared. Further, assuming that the protrusions 511 and 512 of the radiating fin 500 are engaged with the misalignment prevention engaging portions 291 and 292 of the main body 210, the center Pc of the bending portion 352 or the second screw in the first screw passing portion 300D. The central axis Pd of the through hole 451 of the through portion 400 </ b> D is set in advance so as to necessarily coincide with the central axis of the female screw portion 500 a of the radiating fin 500.

このような構成において、放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付ける際には、本体210の位置ずれ防止用係合部291,292に放熱フィン500の突起511,512が係合するようにして、放熱フィン500を本体210に載置し、ネジ600によりネジ止めを行う。一方、放熱フィン500を本体210の背面210cに取り付ける際には、放熱フィン500の突起511,512が本体210の上面210b側となるようにして放熱フィン500の突起511,512を本体210の位置ずれ防止用係合部291,292に係合させて、ネジ600によりネジ止めを行う。   In such a configuration, when the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210, the protrusions 511 and 512 of the radiating fin 500 are engaged with the misalignment prevention engaging portions 291 and 292 of the main body 210. The heat radiating fins 500 are placed on the main body 210 and screwed with screws 600. On the other hand, when attaching the radiating fin 500 to the back surface 210c of the main body 210, the protrusions 511 and 512 of the radiating fin 500 are positioned on the main body 210 so that the protrusions 511 and 512 of the radiating fin 500 are on the upper surface 210b side of the main body 210. The screws 600 are engaged with the engagement portions 291 and 292 for preventing displacement and screwed with the screws 600.

このようにして放熱フィン500を本体210に取り付けた状態とした場合においては、放熱フィン500の突起511,512が本体210の位置ずれ防止用係合部291,292に係合しているため、放熱フィン500の動きが規制される。これにより、放熱フィン500は、位置ずれすることなく、本体210に対する取り付け状態が長時間保持できる。   When the radiation fin 500 is attached to the main body 210 in this way, the protrusions 511 and 512 of the radiation fin 500 are engaged with the position shift preventing engagement portions 291 and 292 of the main body 210. The movement of the radiating fin 500 is restricted. Thereby, the radiation fin 500 can hold the attachment state with respect to the main body 210 for a long time without being displaced.

放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付けた場合には、第1ネジ通し部300Dは、切り欠き溝351となっており、本体210の正面210dが開口となっているため、ネジ600が正面210d側にずれてしまう可能性もあり、また、放熱フィン500が本体210から脱落してしまう可能性もある。しかしながら、実施形態5に係る樹脂封止型半導体装置200Eにおいては、本体210に設けられている位置ずれ防止用係合部291,292に放熱フィン500の突起511,512が係合するような構造となっているため、放熱フィン500が本体210の正面210d側にずれてしまったり、放熱フィン500が本体210から脱落してしまったりすることがなくなり、放熱フィン500の取り付け状態を長期間適正に保持できる。   When the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210, the first screw passage portion 300D is a notch groove 351, and the front surface 210d of the main body 210 is an opening, so the screw 600 is the front surface. There is also a possibility that it will shift to the 210d side, and there is a possibility that the radiating fin 500 will fall off the main body 210. However, in the resin-encapsulated semiconductor device 200E according to the fifth embodiment, a structure in which the protrusions 511 and 512 of the radiating fin 500 are engaged with the misalignment prevention engaging portions 291 and 292 provided in the main body 210. Therefore, the radiating fin 500 is not shifted to the front surface 210d side of the main body 210, and the radiating fin 500 is not dropped from the main body 210. Can hold.

また、本体210に設けられている位置ずれ防止用係合部291,292と放熱フィン500に設けられている突起511,512は、放熱フィン500を本体210に取り付ける際の放熱フィン500の位置決めとしての機能をも有するため、放熱フィン500を取り付けする際の作業性を向上させることができる。   Further, the misalignment prevention engaging portions 291 and 292 provided on the main body 210 and the protrusions 511 and 512 provided on the heat radiating fin 500 serve as positioning of the heat radiating fin 500 when the heat radiating fin 500 is attached to the main body 210. Therefore, the workability when attaching the heat radiation fin 500 can be improved.

本体210の背面210cに図22に示すような位置ずれ防止用係合部291,292を設けるには、第2金型820に、位置ずれ防止用係合部291,292に対応するような突出部(図示せず。)を形成しておけばよい。この場合、位置ずれ防止用係合部291,292が図22に示すような断面がL字形状であるため、突出部は硬化した樹脂に対して引っ掛かりのない形状とすることができる。このため、樹脂が硬化したのちにおいて、第1金型810と第2金型820とを離隔させることができる。   In order to provide the misalignment prevention engaging portions 291 and 292 as shown in FIG. 22 on the back surface 210c of the main body 210, the second mold 820 has a protrusion corresponding to the misalignment prevention engaging portions 291 and 292. A portion (not shown) may be formed. In this case, the misalignment prevention engaging portions 291 and 292 are L-shaped in cross section as shown in FIG. 22, so that the protruding portion can be shaped so as not to be caught by the cured resin. For this reason, after the resin is cured, the first mold 810 and the second mold 820 can be separated.

なお、本体210に設ける位置ずれ防止用係合部291,292の形状は、図22に示すような断面がL字形状に限られるものではないが、樹脂封止用金型800を取り外す際に、第2金型820が硬化した樹脂に対して引っ掛かりのない形状とすることが必要である。また、位置ずれ防止用係合部291,292の数は、2個に限られるものではない。   The shape of the misalignment prevention engaging portions 291 and 292 provided in the main body 210 is not limited to the L-shaped cross section as shown in FIG. 22, but when the resin sealing mold 800 is removed. The second mold 820 needs to have a shape that does not catch the cured resin. Further, the number of the misalignment prevention engaging portions 291 and 292 is not limited to two.

また、位置ずれ防止用係合部291,292を設ける位置も図22に示す位置に限られるものではない。ただし、正面210d側が開口となっている第1ネジ通し部300Dを有する本体210において、当該本体210の上面210bに放熱フィン500を取り付けた場合に、放熱フィン500が正面210d側にずれてしまわないようにするためには、放熱フィン500が正面210d側に位置ずれすることを規制するように位置ずれ防止用係合部291,292を設けることが好ましい。   Further, the position where the misalignment prevention engaging portions 291 and 292 are provided is not limited to the position shown in FIG. However, in the main body 210 having the first screw passage portion 300D having the opening on the front face 210d side, when the heat radiating fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210, the heat radiating fin 500 does not shift to the front face 210d side. In order to do so, it is preferable to provide misalignment prevention engaging portions 291 and 292 so as to restrict the displacement of the radiating fin 500 toward the front face 210d.

また、実施形態5においては、放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付ける場合と背面210cに取り付ける場合とで、位置ずれ防止用係合部291,292を共用するようにしたが、放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付ける場合と背面210cに取り付ける場合それぞれにおいて、専用の位置ずれ防止用係合部291,292を本体210に設けるようにしてもよい。例えば、位置ずれ防止用係合部291,292は、本体210の背面210cにおける上端角部だけではなく、本体210の背面210cにおける下端角部にも設けるようにしてもよい。   In the fifth embodiment, the case where the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210 and the case where the radiating fin 500 is attached to the rear surface 210c share the misalignment prevention engaging portions 291 and 292. When attaching to the upper surface 210b of the main body 210 and when attaching to the rear surface 210c, dedicated misalignment prevention engaging portions 291 and 292 may be provided on the main body 210, respectively. For example, the misalignment prevention engagement portions 291 and 292 may be provided not only at the upper end corner portion of the back surface 210 c of the main body 210 but also at the lower end corner portion of the back surface 210 c of the main body 210.

また、本体210に形成される位置ずれ防止用係合部291,292は、図22においては、本体210に切り欠き部として設けられている例が示されているが、切り欠き部ではなく、本体210に突起を設けるようにしてもよい。この場合は、放熱フィン500においては、当該突起に係合するような切り欠き部を設けるようにすればよい。   In addition, in FIG. 22, an example in which the misalignment prevention engaging portions 291 and 292 formed in the main body 210 are provided as notches in the main body 210 is shown, but not the notches, A protrusion may be provided on the main body 210. In this case, the radiating fin 500 may be provided with a notch that engages with the protrusion.

また、実施形態5においては、実施形態4に係る樹脂封止型半導体装置200Dと同様のネジ通し部(第1ネジ通し部300D及び第2ネジ通し部400D)が設けられている場合を例示したが、実施形態1に係る樹脂封止型半導体装置200A、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200B及び実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cにおいても適用可能である。ただし、実施形態2に係る樹脂封止型半導体装置200B及び実施形態3に係る樹脂封止型半導体装置200Cの場合、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400の中心が本体210の中心に位置しないため、放熱フィン500を本体210の上面210bに取り付ける場合と背面210cに取り付ける場合それぞれにおいて、それぞれ専用の位置ずれ防止用係合部291,292を設ける必要がある。   Further, in the fifth embodiment, the case where the same screw passage portions (first screw passage portion 300D and second screw passage portion 400D) as the resin-encapsulated semiconductor device 200D according to the fourth embodiment are provided is illustrated. However, the present invention is also applicable to the resin-encapsulated semiconductor device 200A according to the first embodiment, the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment, and the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment. However, in the case of the resin-encapsulated semiconductor device 200B according to the second embodiment and the resin-encapsulated semiconductor device 200C according to the third embodiment, the center of the first screw threaded portion 300 and the second screw threaded portion 400 is the center of the main body 210. Therefore, when the radiating fin 500 is attached to the upper surface 210b of the main body 210 and when attached to the rear surface 210c, it is necessary to provide dedicated misalignment prevention engaging portions 291 and 292, respectively.

なお、本発明は上記した各実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、下記に示すような変形実施も可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, the following modifications are possible.

(1)上記した各実施形態では、第1ネジ通し部300及び第2ネジ通し部400(実施形態4の場合は、第1ネジ通し部300D及び第2ネジ通し部400D)は、いずれも樹脂封止用金型700(実施形態4の場合は、樹脂封止用金型800)によって形成するものであったが、ドリルなどの孔あけ用機器によって形成するようにしてもよい。例えば、従来の樹脂封止型半導体装置900(図24参照。)のように、本体930に放熱フィン取り付け用のネジ通し孔H(図24参照。)が樹脂封止工程によって設けられている場合には、当該孔ネジ通し孔H(水平方向のネジ通し孔という。)と直交する垂直方向のネジ通し孔をドリルなどの孔あけ用機器によって形成するようにしてもよい。   (1) In each of the above-described embodiments, the first screw passage portion 300 and the second screw passage portion 400 (in the case of Embodiment 4, the first screw passage portion 300D and the second screw passage portion 400D) are all made of resin. The sealing mold 700 is formed by a resin sealing mold 800 in the case of the embodiment 4, but may be formed by a drilling device such as a drill. For example, as in a conventional resin-encapsulated semiconductor device 900 (see FIG. 24), a screw-through hole H (see FIG. 24) for attaching a radiation fin is provided in the main body 930 by a resin encapsulation process. Alternatively, a vertical threading hole orthogonal to the hole threading hole H (referred to as a horizontal threading hole) may be formed by a drilling device such as a drill.

図23は、ドリルなどの孔あけ用機器によってネジ通し部としてのネジ通し孔を形成した場合の樹脂封止型半導体装置200Fの構成を示す図である。樹脂封止型半導体装置200Fは、図23に示すように、本体210には、水平方向のネジ通し孔H1が、例えば、実施形態1〜3における第1ネジ通し部300として設けられるとともに垂直方向のネジ通し孔H2が、例えば、実施形態1〜3における第2ネジ通し部400として設けられている。なお、実施形態4においては、第2ネジ通し部400Dについては孔あけ用機器によって形成するようにしてもよい。   FIG. 23 is a diagram showing a configuration of a resin-encapsulated semiconductor device 200F in a case where a screw hole as a screw hole is formed by a drilling device such as a drill. As shown in FIG. 23, in the resin-encapsulated semiconductor device 200F, a horizontal screw hole H1 is provided in the main body 210 as, for example, the first screw thread portion 300 in the first to third embodiments and the vertical direction. Is provided as the second threading portion 400 in the first to third embodiments, for example. In the fourth embodiment, the second threading portion 400D may be formed by a drilling device.

このように、2つのネジ通し孔H1,H2を設ける場合、例えば、従来の樹脂封止型半導体装置900(図24参照。)のように、1つのネジ通し孔H(水平方向のネジ通し孔H1)が樹脂封止工程によって既に設けられている場合には、当該水平方向のネジ通し孔H1と直交する垂直方向のネジ通し孔H2をドリルなどによって形成する。また、樹脂封止工程においては、いずれのネジ通し孔も設けずに、樹脂封止工程が終了した段階で、水平方向のネジ通し孔H1と垂直方向のネジ通し孔H2の両方をドリルなどによって新たに設けるようにしてもよい。   As described above, when two screw holes H1 and H2 are provided, for example, as in a conventional resin-encapsulated semiconductor device 900 (see FIG. 24), one screw hole H (horizontal screw hole). When H1) is already provided by the resin sealing step, the vertical screw hole H2 orthogonal to the horizontal screw hole H1 is formed by a drill or the like. Also, in the resin sealing process, without providing any screw holes, at the stage where the resin sealing process is completed, both the horizontal screw holes H1 and the vertical screw holes H2 are formed by a drill or the like. You may make it provide newly.

(2)上記した実施形態1及び実施形態4においては、樹脂封止型半導体装置としてシングルインライン型ブリッジダイオードを用いて本発明の樹脂封止型半導体装置を説明し、上記した実施形態2においては、2つの半導体素子を備える樹脂封止型半導体装置を用いて本発明の樹脂封止型半導体装置を説明し、上記した実施形態3においては、3端子型半導体素子を備える樹脂封止型半導体装置を用いて本発明の樹脂封止型半導体装置を説明したが、本発明はこれらの樹脂封止型半導体装置に限られるものではなく、他の樹脂封止型半導体装置においても適用できる。   (2) In Embodiment 1 and Embodiment 4 described above, the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention is described using a single in-line bridge diode as the resin-encapsulated semiconductor device. In Embodiment 2 described above, The resin-encapsulated semiconductor device of the present invention will be described using a resin-encapsulated semiconductor device including two semiconductor elements. In the above-described third embodiment, a resin-encapsulated semiconductor device including a three-terminal semiconductor element However, the present invention is not limited to these resin-encapsulated semiconductor devices, and can be applied to other resin-encapsulated semiconductor devices.

(3)上記した実施形態1及び実施形態4においては、4本のアウターリードを備える樹脂封止型半導体装置を用いて本発明の樹脂封止型半導体装置を説明し、上記した実施形態2及び3においては、3本のアウターリードを備える樹脂封止型半導体装置を用いて本発明の樹脂封止型半導体装置を説明したが、本発明はこれらの樹脂封止型半導体装置に限られるものではなく、2本又は5本以上のアウターリードを備える樹脂封止型半導体装置においても適用できる。   (3) In Embodiment 1 and Embodiment 4 described above, the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention is described using a resin-encapsulated semiconductor device having four outer leads, and the above-described Embodiment 2 and 3, the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention has been described using a resin-encapsulated semiconductor device having three outer leads, but the present invention is not limited to these resin-encapsulated semiconductor devices. The present invention can also be applied to a resin-encapsulated semiconductor device including two or five or more outer leads.

(4)上記した各実施形態においては、連結接続子として、板状の金属部材から作製した連結接続子を用いたが、これに限定されるものではなく、連結接続子として、ワイヤー状の連結接続子を用いてもよい。この場合、半導体素子と第2アウターリードとの接続をそれぞれワイヤーボンディングの手法で接続することができる。   (4) In each of the above-described embodiments, a connection connector produced from a plate-like metal member is used as the connection connector. However, the present invention is not limited to this, and a wire connection is used as the connection connector. A connector may be used. In this case, the connection between the semiconductor element and the second outer lead can be connected by wire bonding.

(5)実施形態1において説明した樹脂封止用金型700における第1金型710の第1突出部712及び第2金型720の第2突出部722の形状は、図8及び図9に示した形状に限られるものではない。すなわち、第1金型710の第1突出部712及び第2金型720の第2突出部722の形状は、樹脂封止することによって、本体210に上記実施形態で説明したような第1ネジ通し部300と第2ネジ通し部400とを形成することができ、かつ、樹脂が硬化したのちに第1金型710及び第2金型720をそれぞれの取り外し方向に沿って取り外す際に、硬化した樹脂に対して引っ掛かりのない形状となっていればよい。
このことは、実施形態4において説明した樹脂封止用金型800における第1金型810の第1突出部812及び第2金型820の第2突出部822の形状も同様であり、図19及び図20に示した形状に限られるものではない。
(5) The shapes of the first protrusion 712 of the first mold 710 and the second protrusion 722 of the second mold 720 in the resin sealing mold 700 described in the first embodiment are as shown in FIGS. It is not limited to the shape shown. That is, the shape of the first protrusion 712 of the first mold 710 and the second protrusion 722 of the second mold 720 is such that the first screw as described in the above embodiment is applied to the main body 210 by resin sealing. The through part 300 and the second screw through part 400 can be formed, and the resin is cured when the first mold 710 and the second mold 720 are removed along the respective removal directions after the resin is cured. It is sufficient that the resin does not catch on the resin.
This also applies to the shapes of the first protrusion 812 of the first mold 810 and the second protrusion 822 of the second mold 820 in the resin sealing mold 800 described in the fourth embodiment, and FIG. And it is not restricted to the shape shown in FIG.

100A,100B,100C,100D・・・リードフレーム、110・・・半導体素子取り付け部、111・・・第1ダイパッド、111d,111e,112d,112e,180b・・・屈曲平面部、112・・・第2ダイパッド、121〜124・・・アウターリード(第1アウターリード及び第2アウターリード)、130・・・タイバー、140・・・補助バー、151〜154,190・・・半導体素子、200A,200B,200C,200D,200E,200F・・・樹脂封止型半導体装置、210・・・本体、210a・・・本体の下面、210b・・・本体の上面、210c・・・本体の背面、210d・・・本体の正面、210e・・・本体の側面、291,292・・・位置ずれ防止用係合部、300,300D・・・第1ネジ通し部、310・・・第1のU字状空間、311,321,352,411,421・・・湾曲部、320・・・第2のU字状空間、351・・・切り欠き溝、400,400D・・・第2ネジ通し部、410・・・第3のU字状空間、420・・・第4のU字状空間、451・・・貫通孔、500・・・放熱フィン、500a・・・雌ネジ部、510・・・放熱フィン側取り付け面、700,800・・・樹脂封止用金型、710,810・・・第1金型、711,721,811,821・・・金型筐体、712,812・・・第1突出部、712a・・・平坦面、712b・・・上端湾曲面、712c・・・先端湾曲面(第1先端湾曲面)、712d・・・傾斜面(第1傾斜面)、714,724,814,824・・・下面成形面、720,820・・・第2金型、722,822・・・第2突出部、722a・・・平坦面、722b・・・下端湾曲面、722c・・・先端湾曲面(第2先端湾曲面)、722d・・・傾斜面(第2傾斜面)、812a・・・湾曲面、813・・・補助突出部、H1,H2・・・ネジ通し孔、Pa・・・第1挿通路Waの中心軸、Pb・・・第2挿通路Wbの中心軸、Pc・・・湾曲部の中心、Pd・・・貫通孔の中心軸、S,S1,S2・・・空間部、Wa・・・第1挿通路、Wb・・・第2挿通路   100A, 100B, 100C, 100D ... lead frame, 110 ... semiconductor element mounting portion, 111 ... first die pad, 111d, 111e, 112d, 112e, 180b ... bending flat surface portion, 112 ... Second die pad, 121-124 ... outer leads (first outer lead and second outer lead), 130 ... tie bar, 140 ... auxiliary bar, 151-154, 190 ... semiconductor element, 200A, 200B, 200C, 200D, 200E, 200F: Resin-encapsulated semiconductor device, 210: Main body, 210a: Lower surface of main body, 210b: Upper surface of main body, 210c: Rear surface of main body, 210d ... Front face of the main body, 210e ... Side face of the main body, 291,292 ... Effects for preventing misalignment, 300,3 0D: first threading portion, 310: first U-shaped space, 311, 321, 352, 411, 421 ... curved portion, 320: second U-shaped space, 351 ... notch groove, 400, 400D ... second screw threaded portion, 410 ... third U-shaped space, 420 ... fourth U-shaped space, 451 ... through hole, 500 ... radiation fins, 500a ... female screw part, 510 ... radiation fin side mounting surface, 700,800 ... resin sealing mold, 710,810 ... first mold, 711 , 721, 811, 821 ... mold housing, 712, 812 ... first protrusion, 712 a ... flat surface, 712 b ... upper end curved surface, 712 c ... tip curved surface (first Tip curved surface), 712d ... inclined surface (first inclined surface), 714, 724, 814, 82 ... lower surface molding surface, 720, 820 ... second mold, 722, 822 ... second protrusion, 722a ... flat surface, 722b ... lower end curved surface, 722c ... tip curved Surface (second tip curved surface), 722d ... inclined surface (second inclined surface), 812a ... curved surface, 813 ... auxiliary projection, H1, H2 ... screw through hole, Pa ... The central axis of the first insertion path Wa, Pb: the central axis of the second insertion path Wb, Pc: the center of the curved portion, Pd: the central axis of the through hole, S, S1, S2 ... Space part, Wa ... 1st insertion path, Wb ... 2nd insertion path

Claims (17)

半導体素子と半導体素子取り付け部とが樹脂により封止された本体と、
前記本体から外部に向かって所定方向に延出しているアウターリードと、を備えた樹脂封止型半導体装置であって、
前記アウターリードが延出している面を前記本体の下面とし、その裏面を前記本体の上面とし、前記下面と前記上面との間で放熱フィンの取り付けが可能な面を前記本体の背面とし、その裏面を前記本体の正面としたとき、
前記本体には、前記放熱フィンを前記背面又は前記上面に取り付けるための第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部が前記本体の異なる面に設けられていることを特徴する樹脂封止型半導体装置。
A main body in which a semiconductor element and a semiconductor element mounting portion are sealed with resin;
An outer lead extending in a predetermined direction from the main body toward the outside, and a resin-encapsulated semiconductor device comprising:
The surface on which the outer lead extends is the lower surface of the main body, the back surface is the upper surface of the main body, and the surface on which the radiation fin can be attached between the lower surface and the upper surface is the rear surface of the main body. When the back side is the front of the main body,
A resin-encapsulated semiconductor device, wherein the main body is provided with a first screw passage portion and a second screw passage portion for attaching the radiating fins to the back surface or the upper surface on different surfaces of the main body. .
請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置において、
前記半導体素子取り付け部は、前記半導体素子を取り付けるための板状のダイパッドからなり、
前記ダイパッドは、前記半導体素子を搭載するための搭載部と、当該搭載部における前記上面側の端部を前記正面側に屈曲させることによって形成される屈曲平面部と、を有することを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 1,
The semiconductor element mounting portion is composed of a plate-shaped die pad for mounting the semiconductor element,
The die pad includes a mounting portion for mounting the semiconductor element, and a bent flat portion formed by bending an end portion on the upper surface side of the mounting portion toward the front side. Resin-sealed semiconductor device.
請求項2に記載の樹脂封止型半導体装置において、
前記屈曲平面部の先端部は、前記正面と前記背面との間の中間位置よりも前記正面側に位置するように形成されていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 2,
The resin-encapsulated semiconductor device is characterized in that a distal end portion of the bent flat portion is formed so as to be located on the front side with respect to an intermediate position between the front surface and the back surface.
請求項1〜3のいずれかに記載の樹脂封止型半導体装置において、
前記本体には、前記放熱フィンの取り付け位置のずれを防止するための位置ずれ防止用係合部が設けられていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
The resin-encapsulated semiconductor device according to any one of claims 1 to 3,
The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 1, wherein the main body is provided with a misalignment prevention engagement portion for preventing misalignment of the attachment position of the radiation fin.
請求項1〜4のいずれかに記載の樹脂封止型半導体装置において、
前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部によって、ネジを通すための第1挿通路及び第2挿路が形成され、前記第1挿通路及び前記第2挿通路は交差するように設けられていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
The resin-encapsulated semiconductor device according to any one of claims 1 to 4,
By the first screw insertion portions and the second screw insertion portions, the first insertion path and the second interpolation communication path for the passage of a screw is formed, the first insertion path and the second insertion passage so as to intersect A resin-encapsulated semiconductor device, characterized in that it is provided.
請求項1〜5のいずれかに記載の樹脂封止型半導体装置において、
前記第1ネジ通し部は、
第1のU字状空間と、当該第1のU字状空間と空間を共有する第2のU字状空間と、からなり、
前記第1のU字状空間は、前記正面において、半円形をなす湾曲部と開口部とを有するU字状をなし、前記湾曲部は前記正面における前記上面側の端辺と前記下面側の端辺との間に位置するとともに、前記開口部は前記正面における前記下面側の端辺に位置し、当該第1のU字状空間は、前記背面に向かって所定位置まで形成されており、
前記第2のU字状空間は、前記下面において、半円形をなす湾曲部と開口部とを有するU字状をなし、前記湾曲部は前記下面における前記正面側の端辺と前記背面側の端辺との間に位置するとともに、前記開口部は前記下面における前記正面側の端辺に位置し、当該第2のU字状空間は、前記上面に向かって所定位置まで形成されており、
前記第2ネジ通し部は、
第3のU字状空間と、当該第3のU字状空間と空間を共有する第4のU字状空間と、からなり、
前記第3のU字状空間は、前記背面において、半円形をなす湾曲部と開口部とを有するU字状をなし、前記湾曲部は前記背面における前記上面側の端辺と前記下面側の端辺との間に位置するとともに、前記開口部は前記背面における前記上面側の端辺に位置し、当該第3のU字状空間は、前記正面に向かって所定位置まで形成されており、
前記第4のU字状空間は、前記上面において、半円形をなす湾曲部と開口部とを有するU字状をなし、前記湾曲部は前記上面における前記正面側の端辺と前記背面側の端辺との間に位置するとともに、前記開口部は前記上面における前記背面側の端辺に位置し、当該第4のU字状空間は、前記下面に向かって所定位置まで形成されており、
前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部は、空間を共有し、
前記上面又は前記下面を見たときには、前記第2のU字状空間の湾曲部と前記第4のU字状空間の湾曲部とによって、円形をなす前記第1挿通路が形成されるように構成され、
前記正面又は前記背面を見たときには、前記第1のU字状空間の湾曲部と前記第3のU字状空間の湾曲部とによって、円形をなす前記第2挿通路が形成されるように構成されていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
In the resin-encapsulated semiconductor device according to any one of claims 1 to 5 ,
The first screw thread portion is
A first U-shaped space, and a second U-shaped space sharing a space with the first U-shaped space,
The first U-shaped space has a U-shape having a semicircular curved portion and an opening on the front surface, and the curved portion is formed on the upper surface side edge and the lower surface side of the front surface. The opening is located between the edge and the edge on the lower surface side of the front surface, and the first U-shaped space is formed to a predetermined position toward the back surface,
The second U-shaped space has a U shape having a semicircular curved portion and an opening on the lower surface, and the curved portion is located on the front side edge and the back side of the lower surface. The opening is located between the edge and the front edge of the lower surface, and the second U-shaped space is formed up to a predetermined position toward the upper surface.
The second threading portion is
A third U-shaped space and a fourth U-shaped space sharing a space with the third U-shaped space;
The third U-shaped space has a U-shape having a semicircular curved portion and an opening on the back surface, and the curved portion is formed on the upper surface side edge and the lower surface side of the back surface. The opening is located between the edge and the edge on the upper surface side of the back surface, and the third U-shaped space is formed to a predetermined position toward the front,
The fourth U-shaped space has a U shape having a semicircular curved portion and an opening on the upper surface, and the curved portion is formed on the front side edge and the back side of the upper surface. The opening is located between the edge and the edge on the back side of the upper surface, and the fourth U-shaped space is formed to a predetermined position toward the lower surface,
The first screw passage and the second screw passage share a space,
When the upper surface or the lower surface is viewed, the curved first insertion path is formed by the curved portion of the second U-shaped space and the curved portion of the fourth U-shaped space. Configured,
When the front surface or the back surface is viewed, the second insertion path having a circular shape is formed by the curved portion of the first U-shaped space and the curved portion of the third U-shaped space. A resin-encapsulated semiconductor device characterized by being configured.
請求項6に記載の樹脂封止型半導体装置において、
前記放熱フィンを前記背面に取り付けた状態とした場合には、前記ネジは、前記第1のU字状空間の湾曲部と前記第3のU字状空間の湾曲部とによって位置決めされ、
前記放熱フィンを前記上面に取り付けた状態とした場合には、前記ネジは、前記第2のU字状空間の湾曲部と前記第4のU字状空間の湾曲部とによって位置決めされることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 6 ,
When the radiating fin is attached to the back surface, the screw is positioned by the curved portion of the first U-shaped space and the curved portion of the third U-shaped space,
When the radiating fin is attached to the upper surface, the screw is positioned by the curved portion of the second U-shaped space and the curved portion of the fourth U-shaped space. A resin-encapsulated semiconductor device.
請求項1〜5のいずれかに記載の樹脂封止型半導体装置において、
前記第1ネジ通し部は、前記正面を前記上面から前記下面まで切り欠いた切り欠き溝として成形され、当該切り欠き溝は、前記上面において、半円形をなす湾曲部と開口部とを有するU字状をなし、前記湾曲部は前記上面における前記正面側の端辺と前記背面側の端辺との間に位置するとともに、前記開口部は前記上面における前記正面側の端辺に位置し、前記湾曲部及び前記開口部は前記下面まで形成されており、当該湾曲部は前記第1挿通路として用いられ、
前記第2ネジ通し部は、前記湾曲面から前記背面までを貫く貫通孔として成形され、当該貫通孔は前記第2挿通孔として用いられ、前記正面又は前記背面を見たときには、円形をなしていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
In the resin-encapsulated semiconductor device according to any one of claims 1 to 5 ,
The first screw threaded portion is formed as a notch groove in which the front surface is notched from the upper surface to the lower surface, and the notch groove has a semicircular curved portion and an opening on the upper surface. The curved portion is located between the front side edge and the back side edge of the top surface, and the opening is located on the front side edge of the top surface, The curved portion and the opening are formed up to the lower surface, and the curved portion is used as the first insertion path,
The second threading portion is formed as a through-hole penetrating from the curved surface to the back surface, and the through-hole is used as the second insertion hole. When the front surface or the back surface is viewed, the second screw-through portion has a circular shape. A resin-encapsulated semiconductor device.
半導体素子と半導体素子取り付け部とが樹脂により封止された本体と、前記本体から外部に向かって所定方向に延出しているアウターリードと、を備え、前記アウターリードが延出している面を前記本体の下面とし、その裏面を前記本体の上面とし、前記下面と前記上面との間で放熱フィンの取り付けが可能な面を前記本体の背面とし、その裏面を前記本体の正面としたとき、前記本体には、前記放熱フィンを前記背面又は前記上面に取り付けるための第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部が前記本体の異なる面に設けられている樹脂封止型半導体装置を製造するための樹脂封止用金型であって、
前記本体を前記正面側と前記背面側とに2分した場合の前記正面側に対応する第1金型と、前記背面側に対応する第2金型と、を備え、
前記第1金型は、前記第1ネジ通し部を成形するための第1突出部を前記第1金型の金型筐体に有し、
前記第2金型は、前記第2ネジ通し部を成形するための第2突出部を前記第2金型の金型筐体に有し、
前記第1突出部及び前記第2突出部は、前記第1金型の金型筐体の開口面と第2金型の金型筐体の開口面とを突き合わせることにより形成される空間に樹脂を注入することによって前記本体を成形した場合に、当該本体に前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部の成形が可能な形状をなしていることを特徴とする樹脂封止用金型。
A semiconductor element and a semiconductor element mounting portion sealed with a resin; and an outer lead extending in a predetermined direction from the main body toward the outside, the surface on which the outer lead extends The lower surface of the main body, the back surface thereof is the upper surface of the main body, the surface on which the radiation fin can be attached between the lower surface and the upper surface is the back surface of the main body, and the back surface is the front surface of the main body, A main body is provided with a resin-encapsulated semiconductor device in which a first screw passage portion and a second screw passage portion for attaching the radiating fin to the back surface or the upper surface are provided on different surfaces of the main body. A mold for resin sealing,
A first mold corresponding to the front side when the main body is divided into the front side and the back side; and a second mold corresponding to the back side;
The first mold has a first protrusion for forming the first screw threaded portion in a mold housing of the first mold,
The second mold has a second protrusion for forming the second screw threaded portion in a mold housing of the second mold,
The first projecting portion and the second projecting portion are formed in a space formed by abutting the opening surface of the mold housing of the first mold with the opening surface of the mold housing of the second mold. When the main body is molded by injecting a resin, the main body has a shape capable of molding the first screw passage portion and the second screw passage portion. Type.
請求項9に記載の樹脂封止用金型において、
前記第1金型の金型筐体及び前記第2金型の金型筐体におけるそれぞれの内部の各面のうち、前記本体の下面を成形する面を下面成形面とし、当該下面成形面が水平でかつ上方を向くように前記第1金型及び前記第2金型を置いた状態で、前記第1金型の金型筐体の開口面及び前記第2金型の金型筐体の開口面から前記第1金型の金型筐体の内部及び前記第2金型の金型筐体の内部をそれぞれ見たときの左右方向をx軸、前後方向をy軸、上下方向をz軸としたとき、
前記第1突出部は、当該第1突出部の下端には平坦面が形成されるとともに、当該第1突出部の先端には、半円形をなす第1先端湾曲面が前記第1突出部の下端からz軸に沿って所定の位置まで形成され、前記第1突出部の上端には、半円形をなす上端湾曲面が当該第1突出部の基部からy軸に沿って所定の位置まで形成され、前記第1先端湾曲面と前記上端湾曲面との間には、所定角度に傾斜する第1傾斜面が形成されており、
前記第2突出部は、当該第2突出部の上端には平坦面が形成されるとともに、当該第2突出部の先端には半円形をなす第2先端湾曲面が当該第2突出部の上端側からz軸に沿って所定の位置まで形成され、前記第2突出部の下端には半円形をなす下端湾曲面が当該第2突出部の基部からy軸に沿って所定の位置まで形成され、前記第2先端湾曲面と前記下端湾曲面との間には、前記第1傾斜面に対応する形状を有する第2傾斜面が形成されていることを特徴とする樹脂封止用金型。
In the mold for resin sealing according to claim 9 ,
Of each of the internal surfaces of the mold housing of the first mold and the mold housing of the second mold, the surface forming the lower surface of the main body is a lower surface molding surface, and the lower surface molding surface is With the first mold and the second mold placed horizontally and facing upward, the opening surface of the mold casing of the first mold and the mold casing of the second mold When viewing the inside of the mold housing of the first mold and the inside of the mold housing of the second mold from the opening surface, the left-right direction is the x-axis, the front-rear direction is the y-axis, and the up-down direction is z As an axis
The first protrusion has a flat surface at the lower end of the first protrusion, and a semicircular first tip curved surface at the tip of the first protrusion. Formed from the lower end to a predetermined position along the z-axis, and a semicircular upper-end curved surface is formed from the base of the first protrusion to the predetermined position along the y-axis at the upper end of the first protrusion. A first inclined surface inclined at a predetermined angle is formed between the first tip curved surface and the upper end curved surface;
The second protrusion has a flat surface at the upper end of the second protrusion, and a second tip curved surface having a semicircular shape at the tip of the second protrusion has an upper end of the second protrusion. A lower end curved surface having a semicircular shape is formed at the lower end of the second projecting portion from the base to the predetermined position along the y axis from the base of the second projecting portion. A resin sealing mold, wherein a second inclined surface having a shape corresponding to the first inclined surface is formed between the second tip curved surface and the lower curved surface.
請求項9に記載の樹脂封止用金型において、
前記第1金型の金型筐体及び前記第2金型の金型筐体におけるそれぞれの内部の各面のうち、前記本体の下面を成形する面を下面成形面とし、当該下面成形面が水平でかつ上方を向くように前記第1金型及び前記第2金型を置いた状態で、前記第1金型の金型筐体の開口面及び前記第2金型の金型筐体の開口面から前記第1金型の金型筐体の内部及び前記第2金型の金型筐体の内部をそれぞれ見たときの左右方向をx軸、前後方向をy軸、上下方向をz軸としたとき、
前記第1突出部は、当該第1突出部の先端には半円形をなす湾曲面がz軸に沿って前記第1金型における内部の上端から下端まで形成され、
前記第2突出部は、y軸に沿う方向でかつ前記第1突出部の先端に形成されている湾曲面に向かって突出する円柱状突出部として形成されていることを特徴とする樹脂封止用金型。
In the mold for resin sealing according to claim 9 ,
Of each of the internal surfaces of the mold housing of the first mold and the mold housing of the second mold, the surface forming the lower surface of the main body is a lower surface molding surface, and the lower surface molding surface is With the first mold and the second mold placed horizontally and facing upward, the opening surface of the mold casing of the first mold and the mold casing of the second mold When viewing the inside of the mold housing of the first mold and the inside of the mold housing of the second mold from the opening surface, the left-right direction is the x-axis, the front-rear direction is the y-axis, and the up-down direction is z As an axis
The first protrusion has a semicircular curved surface formed at the tip of the first protrusion from the upper end to the lower end inside the first mold along the z-axis,
The second sealing portion is formed as a columnar protruding portion that protrudes in a direction along the y-axis and toward a curved surface formed at the tip of the first protruding portion. Mold.
請求項11に記載の樹脂封止用金型において、
前記第1突出部の先端に形成されている湾曲面には、前記円柱状突出部の円柱先端面に対応する形状の先端面を有する突出部がy軸に沿う方向に設けられていることを特徴とする樹脂封止用金型。
The mold for resin sealing according to claim 11 ,
The curved surface formed at the tip of the first protrusion is provided with a protrusion having a tip surface having a shape corresponding to the column tip surface of the columnar protrusion in the direction along the y-axis. Characteristic mold for resin sealing.
請求項9〜12のいずれかに記載の樹脂封止用金型において、
前記第2金型は、前記放熱フィンを前記本体に取り付けた状態としたときに前記放熱フィンの位置ずれを防止する位置ずれ防止用係合部を成形するための係合成形部を有することを特徴とする樹脂封止用金型。
In the resin sealing mold according to any one of claims 9 to 12 ,
The second mold has an engagement molding portion for molding a misalignment prevention engaging portion for preventing misalignment of the radiating fin when the radiating fin is attached to the main body. Characteristic mold for resin sealing.
請求項1〜5のいずれかに記載の樹脂封止型半導体装置を製造するための樹脂封止型半導体装置の製造方法であって、
前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部、当該第1ネジ通し部を成形するための第1突出部を有する第1金型及び当該第2ネジ通し部を成形するための第2突出部を有する第2金型からなる樹脂封止用金型によって成形することを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法
A method for producing a resin-encapsulated semiconductor device for producing the resin-encapsulated semiconductor device according to claim 1 ,
Second for the first screw insertion portions and the second screw insertion portions, forming the first mold and the second screw insertion portions having a first projecting portion for molding the first screw insertion portions A method for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device , comprising molding with a resin-encapsulating mold comprising a second mold having a protruding portion.
請求項1〜5のいずれかに記載の樹脂封止型半導体装置を製造するための樹脂封止型半導体装置の製造方法であって、
前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部のうちの少なくとも一方のネジ通し部、孔あけ用機器によって前記本体に形成することを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法
A method for producing a resin-encapsulated semiconductor device for producing the resin-encapsulated semiconductor device according to claim 1 ,
At least one of the screw insertion portions, the production method of the resin-sealed semiconductor device characterized by forming the body by the device for drilling of the first screw insertion portions and the second screw insertion portions.
半導体素子と半導体素子取り付け部とが樹脂により封止された本体と、前記本体から外部に向かって所定方向に延出しているアウターリードと、を備え、前記アウターリードが延出している面を前記本体の下面とし、その裏面を前記本体の上面とし、前記下面と前記上面との間で放熱フィンの取り付けが可能な面を前記本体の背面とし、その裏面を前記本体の正面としたとき、前記本体には、前記放熱フィンを前記背面又は前記上面に取り付けるための第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部が前記本体の異なる面に設けられている樹脂封止型半導体装置を製造するための樹脂封止型半導体装置の製造方法であって、
前記本体を前記正面側と前記背面側とに2分した場合の前記正面側の本体に対応する第1金型と、前記背面側の本体に対応する第2金型と、を備え、
前記第1金型は、前記第1ネジ通し部を成形するための第1突出部を前記第1金型の金型筐体に有し、
前記第2金型は、前記第2ネジ通し部を成形するための第2突出部を前記第2金型の金型筐体に有し、
前記第1突出部及び前記第2突出部は、前記第1金型の金型筐体の開口面と前記第2金型の金型筐体の開口面とを突き合わせることにより形成される空間に樹脂を注入することによって前記本体を成形した場合に、当該本体に前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部の形成が可能な形状をなしている樹脂封止用金型を準備する樹脂封止用金型準備工程と、
前記半導体素子取り付け部に前記半導体素子を取り付ける半導体素子取り付け工程と、
前記半導体素子と前記半導体素子取り付け部とを含む所定範囲を、前記樹脂封止用金型によって覆った後に、当該樹脂封止用金型に樹脂を注入して前記半導体素子と前記半導体素子取り付け部とを含む所定範囲を樹脂封止する樹脂封止工程と、を有することを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法。
A semiconductor element and a semiconductor element mounting portion sealed with a resin; and an outer lead extending in a predetermined direction from the main body toward the outside, the surface on which the outer lead extends The lower surface of the main body, the back surface thereof is the upper surface of the main body, the surface on which the radiation fin can be attached between the lower surface and the upper surface is the back surface of the main body, and the back surface is the front surface of the main body, A main body is provided with a resin-encapsulated semiconductor device in which a first screw passage portion and a second screw passage portion for attaching the radiating fin to the back surface or the upper surface are provided on different surfaces of the main body. A method for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device,
A first mold corresponding to the main body on the front side when the main body is divided into the front side and the back side, and a second mold corresponding to the main body on the back side,
The first mold has a first protrusion for forming the first screw threaded portion in a mold housing of the first mold,
The second mold has a second protrusion for forming the second screw threaded portion in a mold housing of the second mold,
The first protrusion and the second protrusion are formed by abutting the opening surface of the mold housing of the first mold with the opening surface of the mold housing of the second mold. When the main body is molded by injecting resin into the resin, a resin sealing mold is prepared that has a shape that allows the first screw passage and the second screw passage to be formed in the main body. Mold preparation process for resin sealing,
A semiconductor element attaching step of attaching the semiconductor element to the semiconductor element attaching portion;
After covering a predetermined range including the semiconductor element and the semiconductor element mounting portion with the resin sealing mold, a resin is injected into the resin sealing mold, and the semiconductor element and the semiconductor element mounting section are injected. And a resin sealing step of resin sealing a predetermined range including: a method for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device.
半導体素子と半導体素子取り付け部とが樹脂により封止された本体と、前記本体から外部に向かって所定方向に延出しているアウターリードと、を備え、前記アウターリードが延出している面を前記本体の下面とし、その裏面を前記本体の上面とし、前記下面と前記上面との間で放熱フィンの取り付けが可能な面を前記本体の背面とし、その裏面を前記本体の正面としたとき、前記本体には、前記放熱フィンを前記背面又は前記上面に取り付けるための第1ネジ通し部及び第2ネジ通し部が前記本体の異なる面に設けられている樹脂封止型半導体装置を製造するための樹脂封止用金型において、前記本体を前記正面側と前記背面側とに2分した場合の前記正面側に対応する第1金型と、前記背面側に対応する第2金型と、を備え、前記第1金型は、前記第1ネジ通し部を成形するための第1突出部を前記第1金型の金型筐体に有し、前記第2金型は、前記第2ネジ通し部を成形するための第2突出部を前記第2金型の金型筐体に有し、前記第1突出部及び前記第2突出部は、前記第1金型の金型筐体の開口面と前記第2金型の金型筐体の開口面とを突き合わせることにより形成される空間に樹脂を注入することによって前記本体を成形した場合に、当該本体に前記第1ネジ通し部及び前記第2ネジ通し部の成形が可能な形状をなしている樹脂封止用金型とともに用いて樹脂封止型半導体装置を製造するためのリードフレームであって、
半導体素子を取り付けるための板状のダイパッドと、前記アウターリードと、を有し、
前記ダイパッドには、前記樹脂封止用金型の前記第1金型の金型筐体に設けられている前記第1突出部及び前記第2金型の金型筐体に設けられている前記第2突出部のうちの少なくとも一方の突出部との当接を回避するための空間部が形成されていることを特徴とするリードフレーム。
A semiconductor element and a semiconductor element mounting portion sealed with a resin; and an outer lead extending in a predetermined direction from the main body toward the outside, the surface on which the outer lead extends The lower surface of the main body, the back surface thereof is the upper surface of the main body, the surface on which the radiation fin can be attached between the lower surface and the upper surface is the back surface of the main body, and the back surface is the front surface of the main body, A main body is provided with a resin-encapsulated semiconductor device in which a first screw passage portion and a second screw passage portion for attaching the radiating fin to the back surface or the upper surface are provided on different surfaces of the main body. In the mold for resin sealing, a first mold corresponding to the front side when the main body is divided into the front side and the back side, and a second mold corresponding to the back side, The first gold Has a first protrusion for forming the first screw threaded portion in the mold housing of the first mold, and the second mold is for molding the second screw threaded portion. The second protrusion has a mold housing of the second mold, and the first protrusion and the second protrusion have an opening surface of the mold housing of the first mold and the second mold. When the main body is molded by injecting resin into a space formed by abutting the opening surface of the mold housing of the mold, the first screw passage portion and the second screw passage portion are inserted into the main body. A lead frame for manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device using a resin-encapsulating mold having a shape capable of being molded,
A plate-shaped die pad for attaching a semiconductor element, and the outer lead,
The die pad is provided with the first projecting portion provided in the mold casing of the first mold of the resin sealing mold and the mold casing of the second mold. A lead frame, wherein a space for avoiding contact with at least one of the second protrusions is formed.
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