JP5896334B2 - 量子ドット構造体の製造方法 - Google Patents
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Description
量子ドット構造体の製造装置(以下、製造装置という)10は、パルスレーザ光を出力する光源部11、光源部11から出力されたパルスレーザ光をマスク20に照射する照明光学系12、マスク20を保持するマスク支持部13、マスク20を透過したパルスレーザ光Liをソースフィルム25bに投影する投影光学系14、ソースフィルム25bが形成されたソース25を保持するソース支持部15、ソース支持部15に支持されたソース25を水平方向(XY方向)及び鉛直方向(Z方向)に移動及び位置決めするソースステージ16、基板30を保持する基板支持部17、基板支持部17に支持された基板30を水平方向(XY方向)及び鉛直方向(Z方向)に移動及び位置決めする基板ステージ18、及び各部の作動を制御する制御部19などから構成される。
第1構成形態の製造方法PM1は、基板30に直接量子ドットを形成する手法である。本実施形態においては、GaAsの基板上にInAsの量子ドットを形成する構成例について説明する。
次に、第2構成形態の製造方法及び量子ドット構造体について、図5を参照して説明する。第2構成形態の製造方法PM2は、基板30に量子ドットの配列パターンで歪み誘起ドット402を形成し、この歪み誘起ドットを利用してS−Kモード成長法により量子ドット構造体QDS2を形成する手法である。本実施形態においては、InPの基板上にInGaAsの歪み誘起ドットを形成し、その上にInAsの量子ドットを形成する構成例について説明する。
以上説明した量子ドット構造体及びその製造技術は、発光ダイオードや半導体レーザ、単一光子暗号デバイス等の発光デバイス、太陽電池やフォトダイオード等の受光デバイス、光スイッチや光論理回路、量子コンピュータ等の論理デバイスなど、種々の半導体デバイスに適用可能である。本実施形態においては、このような半導体デバイスの代表例として、量子ドット構造を備えた太陽電池を採り上げ、その構成例について簡潔に説明する。
前述した製造方法PM1を適用した第1構成形態の太陽電池PV1について、その断面を示す図6を参照して説明する。例示する太陽電池PV1は、n−GaAsの基板501上に、n−GaAsのバッファ層503、及びGaAsの第1のバリア層504が形成され、その上に、前述した製造方法PM1によりInAsの量子ドット505d(QD1)が所定のドットパターンで配列された量子ドット層505が形成される。量子ドット層505の上には、量子ドット505dを埋め込むように覆うGaAsのキャップ層506、GaAsの第2のバリア層507が形成されてpin構造が形成される。さらにp−GaAsのバッファ層508、p−AlGaAsの窓層509が形成され、その後、n−GaAs基板501の下面側にn型電極521、p−AlGaAsの窓層509の上面側にp型電極522が形成されて太陽電池PV1が構成される。
次に、前述した製造方法PM2を応用した第2構成形態の太陽電池PV2について、その断面を示す図7を参照して説明する。例示する太陽電池PV2は、n−GaAsの基板601上に、前述した製造方法PM2を適用して、歪み誘起材料であるSiNからなる歪み誘起ドット602d(QD2)が所定のドットパターンで配列された歪み誘起ドット層602が形成される。歪み誘起ドット層602の上には、歪み誘起ドット602dを埋め込むように覆うn−GaAsのキャップ層603、AlGaAsの第1のバリア層604が形成される。第1のバリア層604の上には、量子ドット材料であるInGaAsをS−Kモード成長法で成長させることにより、誘起ドット602dの配列パターンに対応した多数の量子ドット605dが配列された量子ドット層605が形成される。そして、量子ドット層605の上に、量子ドット605dを埋め込むように覆うGaAsのキャップ層606、AlGaAsの第2のバリア層607が形成されてpin構造が形成される。さらにp−GaAsのバッファ層608、p−AlGaAsの窓層609が形成され、n−GaAs基板601の下面側にn型電極621、p−AlGaAsの窓層609の上面側にp型電極622が形成されて太陽電池PV2が構成される。
11 光源部
12 照明光学系
13 マスク支持部
14 投影光学系
15 ソース支持部
17 基板支持部
20 マスク
25 ソース(25a サポート部材、25b ソースフィルム)
26 ドット材料の微小液滴
30 基板
PM1 第1構成形態の量子ドット構造体の製造方法
QDS1 第1構成形態の量子ドット構造体
QD1 量子ドット
301 GaAs基板
304 バリア層
PM2 第2構成形態の量子ドット構造体の製造方法
QDS2 第2構成形態の量子ドット構造体
QD2 量子ドット
401 基板
402d 歪み誘起ドット
402 歪み誘起ドット層
404 バリア層(半導体層、第1の半導体層)
PV1 第1構成形態の太陽電池(半導体デバイス)
501 基板
503 バッファ層
504 第1のバリア層(第1の半導体層)
505d 量子ドット
505 量子ドット層
506 キャップ層
507 第2のバリア層(第2の半導体層)
508 バッファ層
509 窓層
521 n型電極
522 p型電極
PV2 第2構成形態の太陽電池(半導体デバイス)
601 基板
602d 歪み誘起ドット
602 歪み誘起ドット層
603 キャップ層
604 第1のバリア層(第1の半導体層)
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605 量子ドット層
606 キャップ層
607 第2のバリア層(第2の半導体層)
608 バッファ層
621 n型電極
622 p型電極
Claims (4)
- 基板上に、上方に局所的な歪みを誘起する複数の歪み誘起ドットを量子ドットの配列パターンで形成する第1の工程と、前記歪み誘起ドットを覆う半導体層を形成する第2の工程と、前記半導体層の上にストランスキー・クラスタノフ(Stranski-Krastanov)モード成長法により量子ドットを形成する第3の工程とを含んで構成される量子ドット構造体の製造方法であって、
前記第1の工程は、
前記量子ドットの配列パターンに対応するパターンのレーザ光を、歪み誘起ドット材料の薄膜により形成されたソースフィルムに照射し、
該レーザ光が照射された部位から前記歪み誘起ドット材料の微小液滴を放出させ、
前記ソースフィルムに対向配置した前記基板に前記歪み誘起ドット材料の微小液滴を固着させて、
前記基板上に前記量子ドットの配列パターンに対応した所定配列パターンで前記歪み誘起ドットを形成するように構成したことを特徴とする量子ドット構造体の製造方法。 - 前記第1の工程は、
前記基板上に前記所定配列パターンで前記歪み誘起ドットを形成するドット形成ステップと、
前記ドット形成ステップにより前記歪み誘起ドットが形成された前記基板および前記ソースフィルムを、前記基板が延びる方向の面内で前記所定配列パターンのドット間隔よりも小さい微小距離移動させる移動ステップとを含み、
前記移動ステップを挟んで前記ドット形成ステップを複数回実行するように構成したことを特徴とする請求項1に記載の量子ドット構造体の製造方法。 - 前記量子ドットの配列パターンに対応するパターンのレーザ光は、
前記量子ドットの配列パターンに対応する複数のドット開口が形成されたマスクにレーザ光を照射し、前記マスクを透過することにより前記量子ドットの配列パターンに対応するパターンになったレーザ光であることを特徴とする請求項1または2に記載の量子ドット構造体の製造方法。 - 前記ソースフィルムに、前記マスクに形成された前記複数のドット開口の像が結像されることを特徴とする請求項3に記載の量子ドット構造体の製造方法。
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