JP5892080B2

JP5892080B2 - production management system

Info

Publication number: JP5892080B2
Application number: JP2013018186A
Authority: JP
Inventors: 将吾竹内; 学小池
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2013-02-01
Filing date: 2013-02-01
Publication date: 2016-03-23
Anticipated expiration: 2033-02-01
Also published as: JP2014149684A

Description

本発明は、生産管理システムに関するものである。 The present invention relates to a production management system.

従来より、複数の製造装置によって構成され、予め決められた工程順序に従って製品を製造する製造工程において、工程の進捗状況や、特定の製造装置の処理停滞状況等を監視するシステムが知られている。そして、このような製造工程において、製造装置に不具合が発生して被処理物の処理が滞ってしまうような場合には、予めホストコンピュータ等に記憶された不具合の判定情報に基づいて、異常状態と判定して警報を発する構成となっている。 2. Description of the Related Art Conventionally, a system configured by a plurality of manufacturing apparatuses and monitoring a progress status of a process, a processing stagnation status of a specific manufacturing apparatus, and the like in a manufacturing process for manufacturing a product according to a predetermined process order is known. . In such a manufacturing process, when a problem occurs in the manufacturing apparatus and the processing of the object to be processed is delayed, the abnormal state is determined based on the determination information of the defect stored in the host computer or the like in advance. It is determined that the alarm is issued.

特開２００１−７６２６９号公報JP 2001-76269 A

例えば、特許文献１で開示される稼働管理装置では、処理装置がワークの処理を開始してから次のワークの処理に移るまでの継続時間を計測する計測手段（１０１Ａ〜１０１Ｄ，１０３）と、処理装置がワークの処理を開始してから所定の警報を発するまでの設定時間を入力する警報時間入力手段（１０４）と、計測手段（１０１Ａ〜１０１Ｄ，１０３）により計測した計測時間が警報時間入力手段（１０４）により入力された設定時間を越えたときに警報を行う警報出力手段（１０７Ａ〜１０７Ｅ）とを備える構成となっている。 For example, in the operation management device disclosed in Patent Document 1, measuring means (101A to 101D, 103) for measuring a duration from when a processing device starts processing a workpiece to when moving to the next workpiece processing, An alarm time input means (104) for inputting a set time from when the processing device starts processing the workpiece to issuing a predetermined alarm, and a measurement time measured by the measurement means (101A to 101D, 103) is input as an alarm time. Alarm output means (107A to 107E) for giving an alarm when the set time input by the means (104) is exceeded.

しかしながら、特許文献１の構成では、処理装置がワークの処理を開始してから次のワークの処理に移るまでの継続時間を計測して、警報を発するまでの設定時間と比較する構成となっており、所定のワークの処理を行う処理装置とその次のワークの処理を行う処理装置とが、距離的に離れて設置されているような場合（即ち、互いに連結して隣接する装置によって構成されるインライン工程でないような場合）に、所定のワークが終了してその次の処理装置にワークが到着するまでに長時間を要することとなるため、距離的に離れた位置であること等を考慮して設定時間を長くする必要がある。このような異常検出の方法では、仮に異常状態であったとしても、長めに設定された設定時間が終わるまでは最終的な異常判定結果を得ることができず、異常状態を迅速に報知することが難しかった。 However, in the configuration of Patent Document 1, the duration time from when the processing device starts processing a workpiece to when the processing device moves to the next workpiece processing is measured and compared with the set time until an alarm is issued. In the case where the processing device for processing a predetermined workpiece and the processing device for processing the next workpiece are installed at a distance from each other (that is, they are configured by adjacent devices connected to each other). If it is not an in-line process), it takes a long time for the workpiece to arrive at the next processing device after the given workpiece is finished. Therefore, it is necessary to lengthen the setting time. In such an abnormality detection method, even if it is in an abnormal state, the final abnormality determination result cannot be obtained until the set time set for a long time is over, and the abnormal state is quickly notified. It was difficult.

本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、被処理物に対する各製造装置での処理を管理し得る生産管理システムにおいて、製造装置で被処理物の放置が発生した場合により迅速に報知し得る構成を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problem, and in a production management system capable of managing processing of each processing object in each manufacturing apparatus, depending on the case where the processing object is left unattended. It aims at providing the structure which can alert | report quickly.

上記目的を達成するため、本発明は、
最終製品を製造するための被処理物に所定の処理を施す複数の製造装置（２０）と、
前記製造装置（２０）と通信可能に構成され、前記製造装置（２０）に対する情報の送信又は前記製造装置（２０）からの情報の受信を行う制御部（１１）と、
前記製造装置（２０）が所定の正常動作を行わずに前記被処理物が放置状態となっていることを検出する放置状態検出部（１０）と、
前記被処理物の前記放置状態を許容する許容時間を記憶する許容時間記憶部（１５）と、
前記放置状態検出部（１０）によって前記放置状態が検出された後、当該放置状態が継続する継続時間を計時する計時部（１０）と、
前記被処理物の前記放置状態が終了したことを検出する終了検出部（１０）と、
前記計時部（１０）によって計時される前記継続時間が前記許容時間以内のときに前記終了検出部（１０）によって前記放置状態の終了が検出されず且つ前記計時部（１０）によって計時される前記継続時間が前記許容時間を経過した場合に所定の報知を行う報知部（４０）と、
を備えたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides:
A plurality of manufacturing apparatuses (20) for performing predetermined processing on an object to be processed for manufacturing a final product;
A control unit (11) configured to be communicable with the manufacturing apparatus (20) and transmitting information to the manufacturing apparatus (20) or receiving information from the manufacturing apparatus (20);
A leaving state detection unit (10) for detecting that the processing object is left in a state where the manufacturing apparatus (20) does not perform a predetermined normal operation;
An allowable time storage unit (15) for storing an allowable time for allowing the untreated state of the object to be processed;
A timing unit (10) that counts the duration of time that the neglected state continues after the neglected state is detected by the neglected state detection unit (10);
An end detection unit (10) for detecting that the leaving state of the object to be processed has ended;
When the duration time measured by the time measuring unit (10) is within the allowable time, the end detection unit (10) does not detect the end of the neglected state and the time measuring unit (10) measures the time. A notification unit (40) for performing a predetermined notification when a duration time exceeds the allowable time;
It is provided with.

請求項１の発明では、放置状態検出部（１０）により、製造装置（２０）が所定の正常動作を行わずに被処理物が放置状態となっていることを検出可能とされており、更に、放置状態検出部（１０）によって放置状態が検出された後、当該放置状態が継続する継続時間を計時する計時部（１０）と、被処理物の放置状態が終了したことを検出する終了検出部（１０）と、計時部（１０）によって計時される継続時間が許容時間以内のときに終了検出部（１０）によって放置状態の終了が検出されず且つ計時部（１０）によって計時される継続時間が許容時間を経過した場合に所定の報知を行う報知部（４０）とが設けられている。このような構成によれば、製造装置毎に放置状態を判定することができ、「許容時間」についても製造装置単位で設定可能となる。特に、他の製造装置との関係を考慮して長い許容時間を設定する必要がないため、比較的短い許容時間でも適切に放置状態の判定を行いやすくなる。これにより、放置状態を早期に発見、報知しやすくなり、ひいては、製造装置の稼働率を効果的に高めることができる。 In the invention of claim 1, the neglected state detection unit (10) can detect that the processing apparatus is in the neglected state without the manufacturing apparatus (20) performing a predetermined normal operation. After the neglected state is detected by the neglected state detection unit (10), the time measuring unit (10) for measuring the duration time during which the neglected state continues and the end detection for detecting that the untreated state of the object to be processed has been completed The end detection unit (10) does not detect the end of the neglected state and the time measured by the time measuring unit (10) when the duration time measured by the unit (10) and the time measuring unit (10) is within the allowable time A notification unit (40) is provided for performing a predetermined notification when the allowable time has elapsed. According to such a configuration, the leaving state can be determined for each manufacturing apparatus, and the “allowable time” can be set for each manufacturing apparatus. In particular, since it is not necessary to set a long allowable time in consideration of the relationship with other manufacturing apparatuses, it is easy to appropriately determine the neglected state even with a relatively short allowable time. Thereby, it becomes easy to discover and notify the neglected state at an early stage, and as a result, the operating rate of the manufacturing apparatus can be effectively increased.

図１は、本発明の生産管理システムの全体構成図である。FIG. 1 is an overall configuration diagram of a production management system according to the present invention. 図２は、図１の生産管理システムにおける上位ホストの電気的構成を概略的に例示するブロック図である。FIG. 2 is a block diagram schematically illustrating the electrical configuration of the host host in the production management system of FIG. 図３は、図１の生産管理システムにおける上位ホストと製造設備との通信シーケンスの説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a communication sequence between the host and manufacturing equipment in the production management system of FIG. 図４は、図１の生産管理システムで行われる仕掛時のダンマリ停止の判定処理の流れを例示するフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart exemplifying the flow of the determination process for stopping the dumma at the time of in-process performed in the production management system of FIG. 図５は、図１の生産管理システムで行われる処理中のダンマリ停止の判定処理の流れを例示するフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart exemplifying the flow of determination processing for dammaly stop during processing performed in the production management system of FIG. 図６は、図１の生産管理システムで行われる搬出時のダンマリ停止の判定処理の流れを例示するフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart exemplifying the flow of the determination process for stopping the dumma at the time of carrying out performed in the production management system of FIG. 図７は、図１の生産管理システムで用いられるロット情報データベースの一例を説明する説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining an example of a lot information database used in the production management system of FIG. 図８は、図１の生産管理システムで用いられる設備情報データベースの一例を説明する説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining an example of an equipment information database used in the production management system of FIG. 図９は、図１の生産管理システムで用いられる処理時間情報データベースの一例を説明する説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining an example of a processing time information database used in the production management system of FIG. 図１０は、図１の生産管理システムで用いられる警報装置におけるポップアップ画面の表示の一例を説明する説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram illustrating an example of a pop-up screen display in the alarm device used in the production management system of FIG.

[第１実施形態]
以下、本発明を具現化した第１実施形態について、図面を参照して説明する。生産管理システム１は、自動搬送を備えた製造工程において、被処理物の製造設備（製造装置）への搬入時、製造設備での処理中又は製造設備からの搬出時に、一定期間製造装置から応答がなかった場合に異常と判定して報知するシステムとして構成されている。図１に示すように、生産管理システム１は、上位ホスト１０、製造設備（製造装置）２０、自動搬送機３０、警報装置４０及び在庫ストア５０を備えている。 [First embodiment]
Hereinafter, a first embodiment embodying the present invention will be described with reference to the drawings. The production management system 1 responds from a manufacturing device for a certain period of time when a workpiece is transferred into a manufacturing facility (manufacturing device), during processing in the manufacturing facility, or when it is unloaded from the manufacturing facility in a manufacturing process with automatic conveyance. It is configured as a system for determining that there is an abnormality and notifying when there is no error. As shown in FIG. 1, the production management system 1 includes an upper host 10, a manufacturing facility (manufacturing apparatus) 20, an automatic transfer machine 30, an alarm device 40, and an inventory store 50.

上位ホスト１０は、主に生産管理システム１全体の制御を行うように構成されている。また、上位ホスト１０は、図１に示すように、製造設備（製造装置）２０、自動搬送機３０、警報装置４０及び在庫ストア５０とＬＡＮによって互いに通信可能に接続されている。このような上位ホスト１０は、例えばコンピュータとして構成され、図２に示すように、ＣＰＵ１１、通信部１３、記憶部１５、表示部及び操作部等を備えた構成となっている。 The host host 10 is configured to mainly control the entire production management system 1. Further, as shown in FIG. 1, the upper host 10 is connected to a manufacturing facility (manufacturing device) 20, an automatic transporter 30, an alarm device 40, and an inventory store 50 through a LAN so that they can communicate with each other. Such an upper host 10 is configured as a computer, for example, and includes a CPU 11, a communication unit 13, a storage unit 15, a display unit, an operation unit, and the like, as shown in FIG.

ＣＰＵ１１は、各種情報処理を行うように構成されており、主に当該生産管理システム１全体の制御を行うように機能している。また、ＣＰＵ１１は、被処理物の放置状態が検出された時点からの継続時間を計時するように機能する。また、ＣＰＵ１１は、各製造設備２０にロットの仕掛指示と処理条件を通知する仕掛通知手段と、異常状態（被処理物の放置状態等）を検出した際に警報装置４０へ異常状態である旨を通知する異常通知手段と、を備えている。通信部１３は、外部装置と通信を行うための通信インターフェースとして構成され、ＣＰＵ１１からの指令に応じて、製造設備２０及び自動搬送機３０へ動作命令を送信すると共に、製造設備２０及び自動搬送機３０から設備状態等のデータを受信するように構成されている。記憶部１５は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、不揮発性メモリ等の半導体メモリやハードディスク等により構成され、ロット情報データベース１５ａ、設備情報データベース１５ｂ及び処理時間情報データベース１５ｃ等を記憶するように構成されている。表示部は、液晶モニタ等によって構成され、上位ホスト１０の動作状態などを表示可能に構成されている。操作部は、キーボードやマウス等により構成され、例えば、ユーザ（システムの管理者など）が当該操作部を操作することにより記憶部１５に記憶されている各データベースに情報を入力し得るように構成されている。 The CPU 11 is configured to perform various types of information processing, and functions mainly to control the entire production management system 1. In addition, the CPU 11 functions to measure the duration from the time when the untreated state of the workpiece is detected. In addition, the CPU 11 informs each manufacturing facility 20 of the in-process instruction and processing conditions of the lot, and indicates that the alarm device 40 is in an abnormal state when it detects an abnormal state (such as an untreated state of the workpiece). And an abnormality notification means for notifying. The communication unit 13 is configured as a communication interface for communicating with an external device, and transmits an operation command to the manufacturing facility 20 and the automatic transporter 30 in accordance with a command from the CPU 11, and also includes the manufacturing facility 20 and the automatic transporter. 30 is configured to receive data such as equipment status. The storage unit 15 includes a semiconductor memory such as a ROM, a RAM, and a nonvolatile memory, a hard disk, and the like, and is configured to store a lot information database 15a, an equipment information database 15b, a processing time information database 15c, and the like. The display unit is configured by a liquid crystal monitor or the like, and is configured to be able to display the operation state of the host host 10 and the like. The operation unit includes a keyboard, a mouse, and the like, and is configured such that, for example, a user (system administrator or the like) can input information to each database stored in the storage unit 15 by operating the operation unit. Has been.

なお、上位ホスト１０（具体的にはＣＰＵ１１）は、「制御部」の一例に相当し、製造設備（製造装置）２０と通信可能であり製造設備に対する情報の送信や製造設備からの情報の受信を行い、製造設備２０の動作を制御するように機能する。また、ＣＰＵ１１は、「計時部（タイマー）」の一例に相当し、ロットごとに、放置状態検出部によってロット（被処理物）の放置状態が検出された時点からの当該放置状態継続する継続時間を計時するように機能する。また、記憶部１５は、「許容時間記憶部」の一例に相当し、被処理物の放置状態を許容可能とする許容時間を記憶するように機能する。 The host 10 (specifically, the CPU 11) corresponds to an example of a “control unit”, can communicate with the manufacturing facility (manufacturing apparatus) 20, and transmits information to the manufacturing facility and receives information from the manufacturing facility. And function to control the operation of the manufacturing facility 20. Further, the CPU 11 corresponds to an example of a “timer (timer)”, and is a duration time for which the unsettled state continues from the time when the unsettled state of the lot (processed object) is detected by the unsettled state detecting unit for each lot. It functions to keep time. The storage unit 15 corresponds to an example of an “allowable time storage unit”, and functions to store an allowable time during which the untreated state of the workpiece can be allowed.

製造設備（製造装置）２０は、被処理物に所定の処理を施して製品を製造するように構成されている。また、複数の製造設備（製造装置）２０が上位ホスト１０とＬＡＮによって互いに通信可能に接続されている。例えば、半導体素子やＩＣなどの半導体装置（半導体チップ等）を最終製品として製造する場合、フォトレジスト塗布装置、エッチング装置、拡散装置、イオン注入装置、スパッタリング装置、ウエハ検査装置等が製造設備２０として用いられる。そして、これら製造設備２０は、製品を製造するための各工程で被処理物の処理を実施する設備となっている。なお、所定の処理は、上記製造設備で実施される公知の処理である。例えば、フォトレジスト塗布装置では、ウエハに形成された酸化膜上にレジストを塗布する処理等である。また、スパッタリング装置では、電極配線用のアルミ金属膜を形成する処理等である。また、ウエハ検査装置では、ウエハをチップごとに試験して良品・不良品を確定する処理等である。これらの場合、各製造設備に投入されるウエハが「被処理物」の一例に相当する。 The manufacturing facility (manufacturing apparatus) 20 is configured to manufacture a product by performing a predetermined process on an object to be processed. A plurality of manufacturing facilities (manufacturing devices) 20 are connected to the host host 10 via a LAN so as to communicate with each other. For example, when manufacturing a semiconductor device (semiconductor chip or the like) such as a semiconductor element or an IC as a final product, a photoresist coating device, an etching device, a diffusion device, an ion implantation device, a sputtering device, a wafer inspection device, etc. are used as the manufacturing equipment 20. Used. And these manufacturing equipment 20 is equipment which processes a to-be-processed object in each process for manufacturing a product. The predetermined process is a known process performed in the manufacturing facility. For example, in a photoresist coating apparatus, there is a process of coating a resist on an oxide film formed on a wafer. Further, in the sputtering apparatus, it is a process of forming an aluminum metal film for electrode wiring. In the wafer inspection apparatus, the wafer is tested for each chip to determine a non-defective product or a defective product. In these cases, a wafer put into each manufacturing facility corresponds to an example of “object to be processed”.

自動搬送機３０は、上位ホスト１０の指示によって、在庫ストア５０と製造設備２０間で被処理物を搬送するように機能する。具体的には、自動搬送機３０は、上位ホスト１０の指示によって、在庫ストア５０から製造設備２０へ被処理物を搬送し、製造設備２０によって被処理物の処理が終了し、製造設備２０から搬出された被処理物を在庫ストア５０へ搬送するように構成されている。 The automatic transfer machine 30 functions to transfer a workpiece between the inventory store 50 and the manufacturing facility 20 according to an instruction from the host 10. Specifically, the automatic conveyance machine 30 conveys the processing object from the inventory store 50 to the manufacturing facility 20 according to the instruction from the upper host 10, and the processing of the processing object is completed by the manufacturing facility 20. It is configured to convey the unloaded object to be processed to the inventory store 50.

警報装置４０は、「報知部」の一例に相当し、例えばコンピュータとして構成され、ＣＰＵ、通信部、記憶部、表示部及び操作部等を備えた構成となっている。そして、上位ホスト１０が検出した異常を受信し、異常内容を表示部に表示し、シグナルタワー（ＬＥＤ等）の点滅やブザーの鳴動を行うように機能する。 The alarm device 40 corresponds to an example of a “notification unit” and is configured as a computer, for example, and includes a CPU, a communication unit, a storage unit, a display unit, an operation unit, and the like. Then, it receives an abnormality detected by the host 10, displays the abnormality content on the display unit, and functions to blink a signal tower (LED or the like) or sound a buzzer.

在庫ストア５０は、被処理物を保管しておく倉庫等の建物やその他の設備である。また、自動搬送機３０によって在庫ストア５０から被処理物が搬出されるように構成されている。 The stock store 50 is a building such as a warehouse for storing the objects to be processed and other facilities. Further, the automatic transfer machine 30 is configured to carry out the workpiece from the stock store 50.

（通信シーケンス）
次に、生産管理システム１における上位ホスト１０と製造設備２０との通信シーケンスについて図３を参照して説明する。
図３に示すように、始めに、上位ホスト１０は、製造設備２０に対して被処理物の仕掛けをするように指示を送信する。また、自動搬送機３０によって製造設備２０へ被処理物の搬入が完了した場合には、製造設備２０は、上位ホスト１０に対して搬入が完了した旨の通知を送信する。そして、上位ホスト１０は、製造設備２０に対して被処理物の処理条件を送信し、製造設備２０は、被処理物に対して当該製造設備２０で予定された処理を開始した場合に、その通知を上位ホスト１０へ送信する。その後、製造設備２０によって被処理物の処理が終了した場合には、製造設備２０は、上位ホスト１０に対して被処理物の処理が終了した旨の通知を送信すると共に、被処理物を製造設備２０から搬出する要求を送信する。そして、上位ホスト１０は、製造設備２０及び自動搬送機３０に対して被処理物を製造設備２０から搬出するように指示を送信する。また、自動搬送機３０によって製造設備２０から被処理物の搬出が完了した場合には、製造設備２０は、上位ホスト１０に対して搬出が完了した旨の通知を送信する。 (Communication sequence)
Next, a communication sequence between the upper host 10 and the manufacturing facility 20 in the production management system 1 will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 3, first, the upper host 10 transmits an instruction to the manufacturing facility 20 to set a workpiece. In addition, when the automatic transfer machine 30 completes the delivery of the workpiece to the manufacturing facility 20, the manufacturing facility 20 transmits a notification to the upper host 10 that the delivery has been completed. Then, the host 10 transmits the processing conditions of the processing object to the manufacturing equipment 20, and the manufacturing equipment 20 starts the processing scheduled in the manufacturing equipment 20 for the processing object. A notification is transmitted to the host 10. Thereafter, when the processing of the object to be processed is completed by the manufacturing facility 20, the manufacturing facility 20 transmits a notification that the processing of the object to be processed is completed to the host 10 and manufactures the object to be processed. A request to carry out from the facility 20 is transmitted. Then, the host host 10 transmits an instruction to carry out the workpiece from the manufacturing facility 20 to the manufacturing facility 20 and the automatic transfer machine 30. When the automatic transfer machine 30 completes the unloading of the workpiece from the manufacturing facility 20, the manufacturing facility 20 transmits a notification that the unloading has been completed to the host 10.

（仕掛時の判定処理）
次に、生産管理システム１で行われる仕掛時のダンマリ停止の判定処理の流れについて、図４に示すフローチャートを用いて説明する。
始めに、上位ホスト１０は、製造設備２０に仕掛け可能なロットが存在するか否か判定する（ステップＳ１）。ここで「ロット」とは、製品を搬送及び製造する際にグループ分けされた被処理物の集まりの単位である。仕掛け可能なロットが存在するか否かを確認する方法として、図７に示すような、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶されたロット情報データベース１５ａを参照する。ここで、上位ホスト１０（具体的にはＣＰＵ１１）は、処理前のロットの中で仕掛け可能なロットを検出する仕掛可能ロット検出部を備え、仕掛け可能ロット検出部によって検出された情報に基づいてロット情報データベース１５ａが作成される。図７のデータベースでは、全ロットの位置情報（物理的な位置）と、処理状態（処理中、処理前、停止中）とが記録され、具体的には、各ロットに対して、ロット番号、カセットＩＤ、ウエハ枚数、現工程、作業状態、停止状態、カセット位置、存在設備コード、存在ストア、作業対象設備コード等の情報が含まれている。ここで、「カセット」とは、ウエハ（製品）を複数枚収納するケースのことである。また、「存在ストア」とは、ロットが保管されている在庫ストア５０であり、（ブランク）とは、ロットが保管されていないことを意味している。また、製造設備２０に仕掛け可能なロットの定義は、作業状態が「作業前」、且つ停止状態が「流動中」、且つカセット位置が「ストア内」又は「搬送中」のロットである。従って、図７では、ＬＯＴ００３、ＬＯＴ００５が仕掛け可能なロットである。 (In-process judgment process)
Next, the flow of the determination process of the dummary stop at the time of in-process performed in the production management system 1 will be described using the flowchart shown in FIG.
First, the host 10 determines whether there is a lot that can be set in the manufacturing facility 20 (step S1). Here, a “lot” is a unit of a collection of objects to be processed grouped when a product is transported and manufactured. As a method for confirming whether or not there is a lot that can be set, a lot information database 15a stored in the storage unit 15 of the upper host 10 as shown in FIG. 7 is referred to. Here, the host 10 (specifically, the CPU 11) includes a workable lot detection unit that detects a lot that can be set among lots before processing, and is based on information detected by the lottery that can be set. A lot information database 15a is created. In the database of FIG. 7, the position information (physical position) of all lots and the processing state (during processing, before processing, and stopped) are recorded. Specifically, for each lot, a lot number, Information such as cassette ID, number of wafers, current process, work state, stop state, cassette position, existing equipment code, existing store, work target equipment code, and the like are included. Here, the “cassette” is a case for storing a plurality of wafers (products). “Existence store” is the stock store 50 in which lots are stored, and (blank) means that lots are not stored. The definition of a lot that can be set in the manufacturing facility 20 is a lot whose work state is “Before work”, the stop state is “Flowing”, and the cassette position is “In store” or “Transferring”. Therefore, in FIG. 7, LOT003 and LOT005 are lots that can be set.

Ｓ１において製造設備２０に仕掛け可能なロットが存在していない場合は、判定処理を終了する（Ｓ１でＮｏ）。一方、製造設備２０に仕掛け可能なロットが存在する場合には、Ｓ１でＹｅｓに進み、上位ホスト１０は、製造設備２０おいて当該ロットを投入するスペースが空いているか（稼動していないか）否かを判定する（Ｓ２）。製造設備２０が空いているか否かを確認する方法として、図８に示すような、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶された設備情報データベース１５ｂを参照する。ここで、上位ホスト１０（具体的にはＣＰＵ１１）は、各製造設備２０の中で放置されている設備（空いている、又は稼動していない設備）であるか否かを判定する設備放置監視手段を備え、設備放置監視手段によって検出された情報に基づいて設備情報データベース１５ｂが作成される。図８のデータベースでは、各設備コードに対して、設備名称、設備状態、停止状態、設備モード等の情報が含まれている。そして、上位ホスト１０は、フルオートで仕掛け可能な製造設備２０、即ち、図８のデータベースにおいて、製造状態が「空き」で、且つ停止状態が「仕掛可」で、且つ設備モードが「フルオート」である製造設備２０を検索する。従って、図８では、設備コードが「ＰＨＯＴ２」で示される製造設備２０がフルオートで仕掛け可能な製造設備２０である。また、ロット情報データベース１５ａ及び設備情報データベース１５ｂによると、ロット番号が「ＬＯＴ００５」で示されるロットが、設備コードが「ＰＨＯＴ２」で示される製造設備２０に仕掛け可能である。 If there is no lot that can be set in the manufacturing facility 20 in S1, the determination process ends (No in S1). On the other hand, if there is a lot that can be set in the manufacturing facility 20, the process proceeds to Yes in S <b> 1, and the upper host 10 has a space for inputting the lot in the manufacturing facility 20 (whether it is not in operation). It is determined whether or not (S2). As a method for confirming whether or not the manufacturing facility 20 is available, the facility information database 15b stored in the storage unit 15 of the host host 10 as shown in FIG. Here, the upper host 10 (specifically, the CPU 11) determines whether the equipment is left in each manufacturing equipment 20 (empty or not in operation). The facility information database 15b is created based on the information detected by the facility leaving monitoring unit. In the database of FIG. 8, information such as equipment name, equipment state, stop state, equipment mode, and the like is included for each equipment code. Then, the upper host 10 has the manufacturing equipment 20 capable of full-automatic setting, that is, in the database of FIG. 8, the manufacturing state is “vacant”, the stopped state is “in-process” and the equipment mode is “full-automatic”. ”Is searched. Therefore, in FIG. 8, the manufacturing equipment 20 whose equipment code is indicated by “PHOT2” is a manufacturing equipment 20 that can be fully automatic. Further, according to the lot information database 15a and the equipment information database 15b, a lot whose lot number is indicated by “LOT005” can be set on the manufacturing equipment 20 whose equipment code is indicated by “PHOT2”.

製造設備２０が空いていない場合には、判定処理を終了し（Ｓ２でＮｏ）、製造設備２０が空いている場合には、Ｓ２でＹｅｓに進み、上位ホスト１０は、当該製造設備２０を放置設備と判定し、この放置発見時刻（即ち、ロットを製造設備２０に仕掛け可能な所定の仕掛け可能条件が成立した時刻）をタイマーの開始時刻として設定し（Ｓ３）、当該仕掛け可能ロットに関してタイマーをスタートしてロットの放置状態が検出された時点からの継続時間を計時する（Ｓ４）。ここで、所定の仕掛け可能条件の成立とは、製造設備２０に仕掛け可能なロットがあり、且つ製造設備２０がロットを仕掛け可能な状態となることである。なお、このようなロット及び製造設備の状態を、それぞれ放置ロット及び放置設備と定義する。また、製造設備２０に仕掛け可能なロットがあるという場合には、同条件で複数のロットを同時に処理する製造設備２０において、所定数のロットが製造設備２０に仕掛け可能である場合も含まれる。なお、上位ホスト１０は、製造設備２０が放置設備から非放置設備（放置設備以外の製造設備）へと変わった場合に、タイマーの開始時刻をクリアするように構成されている。より具体的には、本構成では、被処理物を製造設備２０に仕掛け可能な所定の仕掛け可能条件が成立している場合とは、カセット位置（当該被処理物の位置）が当該製造設備２０に投入するための在庫ストア５０に存在している場合か、又はこの在庫ストア５０から当該製造設備２０へと搬送されている場合であって、且つ当該製造設備２０が流動中である場合（停止中でない場合）を意味している。また、製造設備２０に対する仕掛け可能な被処理物とは、当該製造設備２０に投入するための在庫ストア５０に存在している被処理物又はこの在庫ストア５０から当該製造設備２０へと搬送されている被処理物である。 If the manufacturing facility 20 is not available, the determination process is terminated (No in S2). If the manufacturing facility 20 is available, the process proceeds to Yes in S2, and the upper host 10 leaves the manufacturing facility 20 unattended. It is determined as the equipment, and this neglected discovery time (that is, the time when a predetermined enabling condition for setting the lot on the manufacturing facility 20 is satisfied) is set as the start time of the timer (S3). The start time is measured from the time when the lot leaving condition is detected (S4). Here, the establishment of a predetermined setting possibility condition means that there is a lot that can be set in the manufacturing facility 20 and that the manufacturing facility 20 can set a lot. Such a lot and the state of the manufacturing equipment are defined as a leaving lot and a leaving equipment, respectively. In addition, the case where there is a lot that can be set in the manufacturing facility 20 includes a case where a predetermined number of lots can be set in the manufacturing facility 20 in the manufacturing facility 20 that simultaneously processes a plurality of lots under the same conditions. The upper host 10 is configured to clear the start time of the timer when the manufacturing facility 20 changes from an abandoned facility to a non-leaved facility (a manufacturing facility other than an abandoned facility). More specifically, in the present configuration, when a predetermined condition that allows the workpiece to be placed on the manufacturing facility 20 is satisfied, the cassette position (position of the workpiece) corresponds to the manufacturing facility 20. In the stock store 50 to be input to the product, or when being transported from the stock store 50 to the manufacturing facility 20 and the manufacturing facility 20 is flowing (stopped) If not in the middle). In addition, the workpieces that can be placed on the manufacturing facility 20 are the workpieces that exist in the inventory store 50 to be input into the manufacturing facility 20 or are transported from the inventory store 50 to the manufacturing facility 20. It is a to-be-processed object.

そして、タイマーがスタートした後、上位ホスト１０は、当該製造設備２０にそのロットが仕掛けられたか否か判定する（Ｓ５）。当該製造設備２０にそのロットが仕掛けられた場合は（Ｓ５でＹｅｓ）、上位ホスト１０は、ロットの放置状態の終了を検出し、判定処理を終了する。製造設備２０にロットが仕掛けられない場合には、Ｓ５でＮｏに進み、タイマーの計時する継続時間が許容時間を超過しているか否か判定し（Ｓ６）、継続時間が許容時間を超過していない場合は（Ｓ６でＮｏ）、再び製造設備２０にロットが仕掛けられたか否か判定し（Ｓ５）、継続時間が許容時間を超過するまでの間はＳ５の判定処理を繰り返す。ここで、所定の仕掛け可能条件の成立時点から上位ホスト１０がダンマリ停止と判定するまでの許容時間（ロットの放置状態を許容可能とする許容時間）と継続時間との比較は、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶された仕掛可能ロット放置許容時間定義ファイルを参照して行われる。また、この定義ファイルには、製造設備２０毎の許容時間が定義されている。そして、Ｓ４以降で計測されるタイマーの継続時間が、仕掛可能ロット放置許容時間定義ファイルに定義してある対応する製造設備２０（タイマーの計時対象となっている当該ロットを仕掛けようとしている製造設備）の許容時間に達した場合には、上位ホスト１０が、その製造設備２０のダンマリ停止を検知し（Ｓ７）、上位ホスト１０は、当該製造設備２０が異常状態であると判定し、警報装置４０に異常内容を通知し（Ｓ８）、判定処理を終了する。ここで、当該製造設備２０の上記異常状態は、製造設備２０から警報等の報告がなく、且つ製造設備２０が空きの状態であり、このような状態をダンマリ停止と定義する。 Then, after the timer is started, the upper host 10 determines whether or not the lot is set in the manufacturing facility 20 (S5). When the lot is set in the manufacturing facility 20 (Yes in S5), the upper host 10 detects the end of the lot leaving state and ends the determination process. If the lot is not set in the production facility 20, the process proceeds to No in S5, and it is determined whether or not the duration time counted by the timer exceeds the allowable time (S6), and the continuous time exceeds the allowable time. If not (No in S6), it is determined again whether a lot has been placed on the manufacturing facility 20 (S5), and the determination process in S5 is repeated until the duration exceeds the allowable time. Here, the comparison of the allowable time (allowable time for allowing the lot to be allowed to be allowed) from when the predetermined enabling condition is satisfied to when the higher level host 10 determines that the drama is stopped is compared with the duration time of the higher level host 10. This is performed with reference to the in-process allowable lot leaving time definition file stored in the storage unit 15. In this definition file, an allowable time for each manufacturing facility 20 is defined. Then, the duration of the timer measured in S4 and later is the corresponding manufacturing facility 20 defined in the in-process allowed lot leaving allowable time definition file (the manufacturing facility that is going to set up the lot that is the target of the timer). ) Has reached the permissible time, the upper host 10 detects the dummary stop of the manufacturing facility 20 (S7), the upper host 10 determines that the manufacturing facility 20 is in an abnormal state, and the alarm device The abnormality content is notified to 40 (S8), and the determination process is terminated. Here, the abnormal state of the manufacturing facility 20 is a state in which there is no alarm report from the manufacturing facility 20 and the manufacturing facility 20 is empty, and such a state is defined as a deficient stop.

また、Ｓ８の処理後、警報装置４０は、上位ホスト１０によって通知された異常内容に基づいて、図１０（Ａ）に示すような、ポップアップ画面を表示部に表示するようになっている。図１０（Ａ）に示すポップアップ画面には、製造設備（製造装置）名、その製造設備（製造装置）に仕掛け可能なロット名、放置時間、発生日時等の情報が表示されるようになっている。また、警報装置４０は、ポップアップ画面の表示と同時に、シグナルタワー（ＬＥＤ等）の点滅やブザーの鳴動を行うようになっている。そして、オペレータ等が、仕掛け可能な状態でダンマリ停止した製造設備２０に対して即座に対応することができ、当該製造設備２０にロットを仕掛けることで製造設備２０が被処理物の処理を開始し、装置の稼働率を向上させることができる。なお、以上の判定処理（Ｓ１〜Ｓ８）は、所定の時間間隔で定期的に実行されるように構成されている（例えば数分おきにＳ１の処理を開始する）。 In addition, after the processing of S8, the alarm device 40 displays a pop-up screen as shown in FIG. 10A on the display unit based on the abnormality content notified by the upper host 10. In the pop-up screen shown in FIG. 10A, information such as the name of the manufacturing facility (manufacturing device), the name of the lot that can be set in the manufacturing facility (manufacturing device), the leaving time, and the date and time of occurrence are displayed. Yes. In addition, the alarm device 40 is configured to blink a signal tower (LED, etc.) and sound a buzzer at the same time as displaying a pop-up screen. Then, an operator or the like can immediately respond to the manufacturing facility 20 that has been stopped in a state where it can be set, and the manufacturing facility 20 starts processing a workpiece by placing a lot on the manufacturing facility 20. The operating rate of the apparatus can be improved. The above determination processing (S1 to S8) is configured to be periodically executed at predetermined time intervals (for example, the processing of S1 is started every few minutes).

なお、本判定処理では、上位ホスト１０（具体的にはＣＰＵ１１）が、「放置状態検出部」の一例に相当し、製造設備２０が所定の正常動作を行わずに被処理物が放置状態となっていることを検出する機能を有する。具体的には、例えば、被処理物（ロット）を製造設備２０に仕掛け可能な所定の仕掛け可能条件が成立している状態を放置状態（所定の正常動作を行わずに被処理物が放置されている状態）として検出するように機能する。また、上位ホスト１０（具体的にはＣＰＵ１１）が、「終了検出部」の一例に相当し、被処理物（ロット）が製造設備２０に仕掛けられた場合に、被処理物の放置状態の終了を検出するように機能する。 In this determination process, the upper host 10 (specifically, the CPU 11) corresponds to an example of an “abandoned state detection unit”, and the manufacturing facility 20 does not perform a predetermined normal operation and the workpiece is left as it is. It has a function to detect that Specifically, for example, a state in which a predetermined workable condition that allows a work piece (lot) to be put on the manufacturing facility 20 is satisfied is left as it is (the work piece is left without performing a predetermined normal operation). Function to detect as a). Further, the host 10 (specifically, the CPU 11) corresponds to an example of an “end detection unit”, and when the workpiece (lot) is placed on the manufacturing facility 20, the untreated state of the workpiece is terminated. Function to detect.

（処理中の判定処理）
次に、生産管理システムで１で行われる処理中のダンマリ停止の判定処理の流れについて、図５に示すフローチャートを用いて説明する。
始めに、上位ホスト１０は、製造設備２０よりロットの処理が開始された旨の通知がなされたか否かを判定する（Ｓ２１）。上位ホスト１０が、処理開始の通知がなされていないと判定した場合には、判定処理を終了し（Ｓ２１でＮｏ）、処理開始の通知がなされたと判定した場合には（Ｓ２１でＹｅｓ）、上位ホスト１０は、製造設備２０よりロットの処理が終了した旨の通知がなされたか否かを判定する（Ｓ２２）。上位ホスト１０が、処理終了の通知がされたと判定した場合には、判定処理を終了し（Ｓ２２でＹｅｓ）、処理開始の通知がされていないものと判定した場合には（Ｓ２２でＮｏ）、上位ホスト１０は、製造設備２０の処理が処理終了予定時刻に到達したか否か判定する（Ｓ２３）。上位ホスト１０が、製造設備２０の処理が処理終了予定時刻に到達していないと判定した場合は（Ｓ２３でＮｏ）、上位ホスト１０は、再び製造設備２０より処理が終了した旨の通知がなされたか否かを判定し（Ｓ２２）、処理終了予定時刻に到達するまでの間はＳ２２の判定処理を繰り返す。 (Judgment process during processing)
Next, the flow of the determination process of the dammaly stop during the process performed at 1 in the production management system will be described with reference to the flowchart shown in FIG.
First, the host 10 determines whether or not the manufacturing facility 20 has notified that the lot processing has started (S21). If the host 10 determines that the process start notification has not been made, the determination process ends (No in S21), and if it determines that the process start notification has been made (Yes in S21), the host The host 10 determines whether or not the manufacturing facility 20 has notified that the lot processing has been completed (S22). When the host 10 determines that the processing end notification has been made, the determination processing ends (Yes in S22), and when it determines that the processing start notification has not been made (No in S22), The host host 10 determines whether or not the processing of the manufacturing facility 20 has reached the scheduled processing end time (S23). If the upper host 10 determines that the processing of the manufacturing facility 20 has not reached the scheduled processing end time (No in S23), the upper host 10 is notified again from the manufacturing facility 20 that the processing has ended. (S22), and the determination process of S22 is repeated until the scheduled process end time is reached.

ここで、製造設備２０の処理が処理終了予定時刻に到達したか否かの判定は、図９に示すような、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶された処理時間情報データベース１５ｃを参照して行われる。図９のデータベースでは、各製造設備２０に対して、処理条件、単位処理時間、処理区分等の情報が含まれている。ここで「処理条件」は、上位ホスト１０から各製造設備２０へ送られる任意の文字列であり、製造設備２０の内部に文字列に該当する処理条件で処理を実施する構成となっている。また、「処理区分」は、各製造設備２０における被処理物の処理単位を示しており、「枚葉」は、ウエハを１枚ずつ処理する装置であり、「バッチ」は、カセット単位で処理を行う装置である。「単位処理時間（秒）」は、「処理区分」が「枚葉」であれば、１枚当たりに要する処理時間を意味し、「処理区分」が「バッチ」であればカセット単位の処理時間を意味する。このデータベースを利用して上位ホスト１０は総処理時間を算出し、例えば、製造設備２０のフォト１において処理条件ＡＡＡでウエハが５枚入ったカセットを仕掛けた場合、総処理時間は１５０（秒）×５（枚）＝７５０（秒）となる。また、処理時間情報データベース１５ｃは、例えば、ある製造設備２０がある処理条件αで処理された場合に、その処理に要した時間をデータベースに格納し、最新Ｎロット分の処理に要した時間の平均値を製造設備Ａの処理条件αの処理時間として保持するように構成されている。そして、上位ホスト１０は、このデータベースを参照することによって、ロットの処理が終了する予定時刻と処理開始からの継続時間とから、処理終了予定時刻に到達したか否かを判定する。 Here, whether or not the processing of the manufacturing facility 20 has reached the scheduled processing end time is determined by referring to a processing time information database 15c stored in the storage unit 15 of the upper host 10 as shown in FIG. Done. In the database of FIG. 9, information about processing conditions, unit processing time, processing classification, and the like is included for each manufacturing facility 20. Here, the “processing condition” is an arbitrary character string sent from the upper host 10 to each manufacturing facility 20, and the processing is performed in the manufacturing facility 20 under the processing condition corresponding to the character string. “Processing category” indicates the processing unit of the object to be processed in each manufacturing facility 20, “Sheet” is an apparatus for processing wafers one by one, and “Batch” is processing in cassette units. It is a device that performs. “Unit processing time (seconds)” means the processing time required for one sheet when “Processing category” is “Sheet”, and processing time per cassette when “Processing category” is “Batch” Means. By using this database, the host 10 calculates the total processing time. For example, in the case where Photo 1 of the manufacturing facility 20 is loaded with a cassette containing five wafers under the processing condition AAA, the total processing time is 150 (seconds). × 5 (sheets) = 750 (seconds) The processing time information database 15c stores, for example, the time required for processing when a certain manufacturing facility 20 is processed under a certain processing condition α, and stores the time required for processing for the latest N lots. The average value is held as the processing time of the processing condition α of the manufacturing facility A. Then, the upper host 10 refers to this database to determine whether or not the scheduled processing end time has been reached from the scheduled time when the lot processing ends and the duration from the processing start.

製造設備２０からロットの処理終了が上位ホスト１０に通知されずに、処理終了予定時刻に到達したと判定した場合には、Ｓ２３でＹｅｓに進み、上位ホスト１０は、当該製造設備２０を放置設備と判定し、放置発見時刻（即ち、処理終了予定時刻）をタイマーの開始時刻として設定し（Ｓ２４）、当該処理中ロットに関してタイマーをスタートしてロットの放置状態が検出された時点からの継続時間を計時する（Ｓ２５）。 When it is determined that the processing end of the lot has not been notified from the manufacturing facility 20 to the upper host 10 and the processing end scheduled time has been reached, the process proceeds to Yes in S23, and the upper host 10 Is determined, and the abandoned discovery time (that is, the scheduled end time of processing) is set as the start time of the timer (S24), and the duration from the time when the abandoned state of the lot is detected by starting the timer for the lot being processed (S25).

そして、タイマーがスタートした後、上位ホスト１０は、製造設備２０より処理終了の通知がなされた否かを判定する（Ｓ２６）。上位ホスト１０に製造設備２０より処理終了の通知がなされた場合は（Ｓ２６でＹｅｓ）、上位ホスト１０は、ロットの放置状態の終了を検出し、判定処理を終了する。上位ホスト１０に製造設備２０より処理終了の通知がされない場合には、タイマーの計時する継続時間が許容時間を超過しているか否か判定し（Ｓ２７）、継続時間が許容時間を超過していない場合は（Ｓ２７でＮｏ）、再び上位ホスト１０は、製造設備２０より処理終了の通知がなされた否かを判定し（Ｓ２６）、継続時間が許容時間を超過するまでの間はＳ２６の判定処理を繰り返す。ここで、放置発見時刻（処理終了予定時刻）から上位ホスト１０がダンマリ停止と判定するまでの許容時間（ロットの放置状態を許容可能とする許容時間）と継続時間との比較は、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶された処理中ロット放置許容時間定義ファイルを参照して行われる。また、この定義ファイルには、製造設備２０毎の許容時間が定義されている。そして、タイマーの継続時間が処理中ロット放置許容時間定義ファイルに定義してある対応する製造設備２０（即ち、図５の処理の対象となる製造設備）の許容時間に達した場合には、上位ホスト１０が、製造設備２０のダンマリ停止を検知し（Ｓ２８）、上位ホスト１０は、当該製造設備２０が異常状態であると判定し、警報装置４０に異常内容を通知し（Ｓ２９）、判定処理を終了する。ここで、当該製造設備２０の上記異常状態は、製造設備２０から警報等の報告がなく、且つ製造設備２０が処理停止中の状態であり、このような状態をダンマリ停止と定義する。 Then, after the timer is started, the upper host 10 determines whether or not a processing end notification is made from the manufacturing facility 20 (S26). When the processing end is notified from the manufacturing facility 20 to the upper host 10 (Yes in S26), the upper host 10 detects the end of the lot leaving state and ends the determination process. If the processing end is not notified to the host 10 from the manufacturing facility 20, it is determined whether or not the duration time counted by the timer exceeds the allowable time (S27), and the continuous time does not exceed the allowable time. In this case (No in S27), the host 10 again determines whether or not the processing facility 20 has notified the end of the process (S26), and the determination process in S26 until the duration exceeds the allowable time repeat. Here, the upper host 10 compares the allowable time from the discovery discovery time (scheduled process end time) to the time when the upper host 10 determines that the drama is stopped (allowable time for allowing the lot to be left unacceptable) and the duration. This is performed with reference to the in-process lot leaving allowable time definition file stored in the storage unit 15. In this definition file, an allowable time for each manufacturing facility 20 is defined. When the duration of the timer reaches the allowable time of the corresponding manufacturing facility 20 (that is, the manufacturing facility to be processed in FIG. 5) defined in the processing lot leaving allowable time definition file, The host 10 detects a drama stop of the manufacturing facility 20 (S28), and the host host 10 determines that the manufacturing facility 20 is in an abnormal state, notifies the alarm device 40 of the content of the abnormality (S29), and determines processing. Exit. Here, the abnormal state of the manufacturing facility 20 is a state in which no warning or the like is reported from the manufacturing facility 20 and the manufacturing facility 20 is in a process stop state, and such a state is defined as a dammaly stop.

また、Ｓ２９の処理後、警報装置４０は、上位ホスト１０によって通知された異常内容に基づいて、図１０（Ｂ）に示すような、ポップアップ画面を表示するようになっている。図１０（Ｂ）に示すポップアップ画面には、製造設備（製造装置）名、その製造設備で処理中のロット名、処理終了予定時刻からの継続時間、発生日時等の情報が表示されるようになっている。
また、警報装置４０は、ポップアップ画面の表示と同時に、シグナルタワー（ＬＥＤ等）の点滅やブザーの鳴動を行うようになっている。そして、オペレータ等が、製造設備２０の不具合に即座に対応することができるようになり、製造設備２０によって被処理物の処理を完了させ、製造設備２０に次の被処理物を仕掛けることが可能となり、製造設備２０の稼働率を向上させることができる。なお、以上の判定処理（Ｓ２１〜Ｓ２９）は、所定の時間間隔で定期的に実行されるように構成されている（例えば数分おきにＳ２１の処理を開始する）。 In addition, after the process of S29, the alarm device 40 displays a pop-up screen as shown in FIG. 10B based on the abnormality content notified by the host host 10. The pop-up screen shown in FIG. 10B displays information such as the name of the manufacturing facility (manufacturing device), the name of the lot being processed in the manufacturing facility, the duration from the scheduled processing end time, and the date and time of occurrence. It has become.
In addition, the alarm device 40 is configured to blink a signal tower (LED, etc.) and sound a buzzer at the same time as displaying a pop-up screen. Then, an operator or the like can immediately respond to a failure of the manufacturing facility 20, complete the processing of the object to be processed by the manufacturing facility 20, and set the next object to be processed in the manufacturing facility 20. Thus, the operating rate of the manufacturing facility 20 can be improved. The above determination processing (S21 to S29) is configured to be periodically executed at predetermined time intervals (for example, the processing of S21 is started every few minutes).

なお、本判定処理では、ＣＰＵ１１が、「放置状態検出部」の一例に相当し、製造設備２０によって被処理物（ロット）の処理が所定の終了予定時間を経過しても終了しない場合に、被処理物の放置状態として検出するように機能する。また、ＣＰＵ１１が、「終了検出部」の一例に相当し、製造設備２０によって被処理物（ロット）の処理が終了した場合に、被処理物の放置状態の終了を検出するように機能する。 In this determination process, the CPU 11 corresponds to an example of the “left state detection unit”, and when the processing of the object to be processed (lot) by the manufacturing facility 20 does not end even after a predetermined scheduled end time, It functions so as to detect it as an untreated state of the workpiece. The CPU 11 corresponds to an example of an “end detection unit”, and functions to detect the end of the untreated state of the workpiece when the processing of the workpiece (lot) is completed by the manufacturing facility 20.

（搬出時の判定処理）
次に、生産管理システム１で行われる搬出時のダンマリ停止の判定処理の流れについて、図６に示すフローチャートを用いて説明する。
始めに、上位ホスト１０は、製造設備２０よりロットの処理が終了した旨の通知がなされたか否かを判定する（Ｓ３１）。上位ホスト１０が、処理終了の通知がなされていないと判定した場合には、判定処理を終了し（Ｓ３１でＮｏ）、処理終了の通知がなされたと判定した場合には、Ｓ３１でＹｅｓに進み、上位ホスト１０は、当該製造設備２０を放置設備と判定し、放置発見時刻（即ち、製造設備２０から上位ホスト１０にロットの処理終了の通知がなされた時刻（処理終了発生時刻））をタイマーの開始時刻として設定し（Ｓ３２）、当該処理済ロットに関してタイマーをスタートしてロットの放置状態が検出された時点からの継続時間を計時する（Ｓ３３）。 (Judgment process during unloading)
Next, the flow of the determination process of the dammaly stop at the time of carrying out performed in the production management system 1 will be described using the flowchart shown in FIG.
First, the host 10 determines whether or not the manufacturing facility 20 has notified that the lot processing has been completed (S31). If the host 10 determines that the process end notification has not been made, the determination process ends (No in S31). If it is determined that the process end notification has been made, the process proceeds to Yes in S31. The upper host 10 determines that the manufacturing facility 20 is an abandoned facility, and sets the abandoned discovery time (that is, the time when the processing end notification of the lot processing from the manufacturing facility 20 to the upper host 10 is issued) The start time is set (S32), the timer is started for the processed lot, and the duration from the time when the lot leaving condition is detected is counted (S33).

そして、タイマーがスタートした後、上位ホスト１０は、製造設備２０よりロットの搬出が完了した旨の通知がなされた否かを判定する（Ｓ３４）。上位ホスト１０に製造設備２０より搬出完了の通知がなされた場合は（Ｓ３４でＹｅｓ）、上位ホスト１０は、ロットの放置状態の終了を検出し、判定処理を終了する。上位ホスト１０に製造設備２０より搬出完了の通知がされない場合には、タイマーの計時する継続時間が許容時間を超過しているか否か判定し（Ｓ３５）、継続時間が許容時間を超過していない場合は（Ｓ３５でＮｏ）、再び上位ホスト１０は、製造設備２０より搬出完了の通知がなされた否かを判定し（Ｓ３４）、継続時間が許容時間を超過するまでの間はＳ３４の判定処理を繰り返す。ここで、放置発見時刻（処理終了発生時刻）から上位ホスト１０がダンマリ停止と判定するまでの許容時間（ロットの放置状態を許容可能とする許容時間）と継続時間との比較は、上位ホスト１０の記憶部１５に記憶された処理済ロット放置許容時間定義ファイルを参照して行われる。また、この定義ファイルには、製造設備２０毎の許容時間が定義されている。そして、タイマーの継続時間が処理済ロット放置許容時間定義ファイルに定義してある対応する製造設備２０（図６の処理の対象となる製造設備）の許容時間に達した場合には、上位ホスト１０が、製造設備２０のダンマリ停止を検知し（Ｓ３６）、上位ホスト１０は、当該製造設備２０が異常状態であると判定し、警報装置４０に異常内容を通知し（Ｓ３７）、判定処理を終了する。ここで、当該製造設備２０の上記異常状態は、製造設備２０から警報等の報告がなく、且つ製造設備２０に搬出されないロットが放置されている状態であり、このような状態をダンマリ停止と定義する。 Then, after the timer is started, the host host 10 determines whether or not a notification that the lot has been unloaded from the manufacturing facility 20 has been made (S34). When the host device 10 is notified of the completion of unloading from the manufacturing facility 20 (Yes in S34), the host device 10 detects the end of the lot leaving state and ends the determination process. If the host system 10 is not notified of the completion of unloading from the manufacturing facility 20, it is determined whether or not the duration time counted by the timer exceeds the allowable time (S35), and the continuous time does not exceed the allowable time. In such a case (No in S35), the host 10 again determines whether or not a notification of the completion of unloading has been made from the manufacturing facility 20 (S34), and the determination process in S34 until the duration exceeds the allowable time repeat. Here, the comparison between the permissible time from the discovery discovery time (process end occurrence time) to the time when the upper host 10 determines that the drama is stopped is the upper host 10 This is performed with reference to the processed lot leaving allowable time definition file stored in the storage unit 15. In this definition file, an allowable time for each manufacturing facility 20 is defined. When the duration of the timer reaches the allowable time of the corresponding manufacturing facility 20 (the manufacturing facility to be processed in FIG. 6) defined in the processed lot leaving allowable time definition file, the upper host 10 However, it detects that the manufacturing facility 20 has been stopped (S36), and the host 10 determines that the manufacturing facility 20 is in an abnormal state, notifies the alarm device 40 of the abnormal content (S37), and ends the determination process. To do. Here, the abnormal state of the manufacturing facility 20 is a state in which no warning is reported from the manufacturing facility 20 and a lot that is not carried out to the manufacturing facility 20 is left unattended, and such a state is defined as a damma stop. To do.

また、Ｓ３７の処理後、警報装置４０は、上位ホスト１０によって通知された異常内容に基づいて、図１０（Ｃ）に示すような、ポップアップ画面を表示するようになっている。図１０（Ｃ）に示すポップアップ画面には、製造装置（製造設備）名、その製造設備で処理済のロット名、処理済ロットの放置時間、発生日時等の情報が表示されるようになっている。また、警報装置４０は、ポップアップ画面の表示と同時に、シグナルタワー（ＬＥＤ等）の点滅やブザーの鳴動を行うようになっている。そして、オペレータ等が、製造設備２０の不具合に即座に対応することができるようになり、製造設備２０から被処理物を搬出させることで、製造設備２０に次の被処理物を仕掛けることが可能となり、製造設備２０の稼働率を向上させることができる。なお、以上の判定処理（Ｓ３１〜Ｓ３７）は、所定の時間間隔で定期的に実行されるように構成されている（例えば数分おきにＳ３１の処理を開始する）。 In addition, after the process of S37, the alarm device 40 displays a pop-up screen as shown in FIG. 10C based on the abnormality content notified by the host host 10. In the pop-up screen shown in FIG. 10C, information such as the name of the manufacturing apparatus (manufacturing equipment), the name of the lot processed in the manufacturing equipment, the leaving time of the processed lot, and the date and time of occurrence are displayed. Yes. In addition, the alarm device 40 is configured to blink a signal tower (LED, etc.) and sound a buzzer at the same time as displaying a pop-up screen. And an operator etc. can respond now to the malfunction of the manufacturing equipment 20, and it is possible to place the next processing object on the manufacturing equipment 20 by carrying out the processing object from the manufacturing equipment 20. Thus, the operating rate of the manufacturing facility 20 can be improved. The above determination processing (S31 to S37) is configured to be periodically executed at predetermined time intervals (for example, the processing of S31 is started every few minutes).

なお、本判定処理では、ＣＰＵ１１が、「放置状態検出部」の一例に相当し、製造設備２０によって被処理物（ロット）の処理が終了した場合に、被処理物の放置状態として検出するように機能する。また、ＣＰＵ１１が、「終了検出部」の一例に相当し、製造設備２０からロットが搬送された場合に、ロットの放置状態の終了を検出するように機能する。 In this determination process, the CPU 11 corresponds to an example of an “abandoned state detection unit”, and when the processing of the object to be processed (lot) is completed by the manufacturing facility 20, the CPU 11 detects that the object is left as it is. To work. The CPU 11 corresponds to an example of an “end detection unit”, and functions to detect the end of the lot leaving state when the lot is transferred from the manufacturing facility 20.

以上の通り、本実施形態では、製造設備（製造装置）が動作しないことによって被処理物が放置されている状態を放置状態検出部によって検出し、その時点から放置状態の経過を計時して予め定められた許容時間内でその放置状態が終了しない場合で、且つ継続時間が許容時間を経過した場合に、異常状態として報知部（警報装置４０等）によって報知する構成となっている。そのため、本来気づくことのできないダンマリ停止（警報等を発することなく製造設備に不具合が発生する状態）を検出して報知することができる。これによって、ダンマリ停止した製造設備に即座に対処することができるため、生産管理システムにおける製造設備の稼働率を向上させることができる。そして、このような製造設備の稼働率の向上によって、電力コストの低減及び二酸化炭素等の温室効果ガスの排出削減を図ることができる。また、特に、工程上連続する製造設備間の距離が大きく離れているような場合（インライン工程ではないような場合）においても、被処理物が搬出されずに放置されている状態を放置状態検出部によって検出して異常状態の判定を行うため、搬出作業に長時間を要する場合にも被処理物が放置されている状態として異常状態と判定する誤りがなくなる。また、自動化が進んだ生産工場においては、ダンマリ停止を見落とす頻度が高くなるが、上記の構成を適用することによって、製造設備の異常が検出し易くなり、稼動率を向上させることができるため、生産性をより向上させることができる。 As described above, in the present embodiment, the state where the workpiece is left unattended because the manufacturing facility (manufacturing apparatus) does not operate is detected by the unattended state detection unit, and the progress of the unattended state is counted from that point in advance. When the neglected state does not end within the predetermined allowable time and the allowable time has elapsed, the notification unit (the alarm device 40 or the like) notifies the abnormal state. For this reason, it is possible to detect and notify a dummary stop (a state in which a malfunction occurs in a manufacturing facility without issuing an alarm or the like) that cannot be noticed originally. As a result, it is possible to immediately cope with a manufacturing facility that has been stopped in a dull manner, so that the operating rate of the manufacturing facility in the production management system can be improved. And the improvement of the operating rate of such a manufacturing facility can aim at reduction of electric power cost and emission reduction of greenhouse gases, such as a carbon dioxide. In particular, even when the distance between manufacturing facilities that are consecutive in the process is greatly separated (when it is not an in-line process), the state where the workpiece is left without being carried out is detected. Since the abnormal state is detected and detected by the section, there is no error in determining that the workpiece is left as an abnormal state even when the unloading operation takes a long time. In addition, in production factories where automation has progressed, the frequency of overlooking dammary stops will increase, but by applying the above configuration, it becomes easier to detect abnormalities in manufacturing equipment, and the operating rate can be improved. Productivity can be further improved.

［他の実施形態]
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。 [Other Embodiments]
The present invention is not limited to the embodiments described with reference to the above description and drawings. For example, the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

上記実施形態では、自動搬送機３０が、上位ホスト１０の指示によって、在庫ストア５０から製造設備２０へ被処理物を搬送し、製造設備２０によって被処理物の処理が終了し、製造設備２０から搬出された被処理物を在庫ストア５０へ搬送するような構成をしめしたが、自動搬送機３０を利用せず、在庫ストア５０から製造設備２０へ被処理物を手動で搬送し、製造設備２０によって被処理物の処理が終了した後、製造設備２０から手動で被処理物を搬出し、在庫ストア５０へ手動で搬送するような構成としてもよい。この場合、例えば製造設備２０にクライアントコンピュータを設ける構成とし、そのクライアントコンピュータの表示部や上位ホスト１０の表示部１７に、上位ホスト１０による製造設備２０に対する被処理物の仕掛け指示を表示することで、オペレータに被処理物の手動による搬入を要求する構成としてもよい。また、上位ホスト１０による製造設備２０に対する被処理物の搬出指示を、製造設備２０に設けられたクライアントコンピュータの表示部や上位ホスト１０の表示部１７に表示することで、オペレータに被処理物の搬出を要求する構成としてもよい。 In the above-described embodiment, the automatic transfer machine 30 conveys the workpiece from the inventory store 50 to the manufacturing facility 20 according to the instruction from the upper host 10, and the processing of the workpiece is completed by the manufacturing facility 20. Although the configuration is such that the unprocessed objects to be conveyed are conveyed to the inventory store 50, the objects to be processed are manually conveyed from the inventory store 50 to the manufacturing facility 20 without using the automatic conveyance machine 30, and the manufacturing facility 20. After the processing of the object to be processed is completed, the object to be processed may be manually unloaded from the manufacturing facility 20 and manually transferred to the inventory store 50. In this case, for example, the manufacturing facility 20 is provided with a client computer, and the upper host 10 displays an instruction for setting the workpiece to the manufacturing facility 20 on the display unit of the client computer or the display unit 17 of the upper host 10. The operator may be requested to manually carry in the workpiece. Further, an instruction to carry out the processing object to the manufacturing facility 20 by the host host 10 is displayed on the display unit of the client computer provided in the manufacturing facility 20 or the display unit 17 of the host host 10, thereby allowing the operator to It is good also as a structure which requires carrying out.

１…生産管理システム
１０…上位ホスト（放置状態検出部、計時部、終了検出部）
１１…ＣＰＵ（制御部）
１５…記憶部（許容時間記憶部）
２０…製造設備（製造装置）
４０…警報装置（報知部） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Production management system 10 ... High-order host (Leave state detection part, timing part, completion | finish detection part)
11 ... CPU (control unit)
15. Storage unit (allowable time storage unit)
20 ... Manufacturing equipment (manufacturing equipment)
40. Alarm device (notification unit)

Claims

A plurality of manufacturing apparatuses (20) for performing predetermined processing on an object to be processed for manufacturing a final product;
A control unit (11) configured to be communicable with the manufacturing apparatus (20) and transmitting information to the manufacturing apparatus (20) or receiving information from the manufacturing apparatus (20);
A leaving state detection unit (10) for detecting that the processing object is left in a state where the manufacturing apparatus (20) does not perform a predetermined normal operation;
An allowable time storage unit (15) for storing an allowable time for allowing the untreated state of the object to be processed;
A timing unit (10) that counts the duration of time that the neglected state continues after the neglected state is detected by the neglected state detection unit (10);
An end detection unit (10) for detecting that the leaving state of the object to be processed has ended;
When the duration time measured by the time measuring unit (10) is within the allowable time, the end detection unit (10) does not detect the end of the neglected state and the time measuring unit (10) measures the time. A notification unit (40) for performing a predetermined notification when a duration time exceeds the allowable time;
A production management system (1) characterized by comprising:

The neglected state detection unit (10) satisfies a predetermined setting condition that allows the workpiece to be placed on the manufacturing apparatus (20), and the workpiece is placed on the manufacturing apparatus (20). A state where the
The production management system according to claim 1, wherein the end detection unit (10) detects the end of the neglected state when the workpiece is placed on the manufacturing apparatus (20). 1).

The abandoned state detection unit (10) includes the fact that there is at least the workpiece to be placed on the manufacturing apparatus (20) and that the manufacturing apparatus (20) has a space for placing the workpiece. The production management system (1) according to claim 2, wherein a predetermined setting condition is set.

The neglected state detection unit (10) detects, as the neglected state of the object to be processed, a state in which the processing of the object to be processed by the manufacturing apparatus (20) does not end even after a predetermined scheduled end time has elapsed. And
The end detection unit (10) detects the end of the untreated state of the workpiece when the processing of the workpiece by the manufacturing apparatus (20) is completed. The production management system according to (1).

The abandoned state detection unit (10) is configured to indicate a state in which the process for the object to be processed has been completed by the manufacturing apparatus (20) and the object to be processed has not been unloaded from the manufacturing apparatus (20). Detect as the neglected state,
The said completion | finish detection part (10) detects the completion | finish of the said standing state of the said to-be-processed object, when the to-be-processed object is carried out from the said manufacturing apparatus (20). Production management system (1).