JP5890111B2 - Reflector and lighting device - Google Patents

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Description

本発明は、リフレクタを備えた照明装置に関し、特に車両用灯具に適した照明装置に関する。   The present invention relates to a lighting device including a reflector, and more particularly to a lighting device suitable for a vehicular lamp.

車両用灯具は、例えば特許文献1に開示されているように、レンズとハウジングによって形成された灯室内に、光源およびリフレクタを配置した構成である。光源からリフレクタ方向に向かって出射された光をリフレクタで反射し、レンズを通して灯具の前方に照射する。   The vehicular lamp has a configuration in which a light source and a reflector are arranged in a lamp chamber formed by a lens and a housing, as disclosed in Patent Document 1, for example. The light emitted from the light source toward the reflector is reflected by the reflector and irradiated to the front of the lamp through the lens.

リフレクタは、特許文献1および特許文献2に記載されているように、合成樹脂基板の表面に下地膜、Al等の反射膜、保護膜を積層したものが一般的である。Al蒸着膜は、可視光全域で約85〜90%の反射率が得られることから、自動車や自動二輪車などの車両用灯具の反射膜として広く利用されている。下地層としては、樹脂塗料を塗布した樹脂層(特許文献1)や、HMDS(ヘキサメチルジシロキサン)を原料ガスとしてプラズマCVD法で形成した酸化シリコン膜(特許文献2)が用いられる。保護膜は、塗装膜(特許文献1)や、HMDSを原料ガスとしてプラズマCVD法で形成したはっ水性重合体膜(酸化シリコン膜)(特許文献2)が用いられる。また、特許文献2の技術では、下地層の表面をボンバード処理して活性化処理層を形成し、保護膜(はっ水性重合体膜)の表面をボンバード処理して親水処理層を形成している。   As described in Patent Document 1 and Patent Document 2, a reflector is generally a laminate of a base film, a reflective film such as Al, and a protective film on the surface of a synthetic resin substrate. The Al deposited film has a reflectance of about 85 to 90% in the entire visible light region, and is therefore widely used as a reflective film for vehicle lamps such as automobiles and motorcycles. As the underlayer, a resin layer (Patent Document 1) coated with a resin coating or a silicon oxide film (Patent Document 2) formed by plasma CVD using HMDS (hexamethyldisiloxane) as a source gas is used. As the protective film, a paint film (Patent Document 1) or a water-repellent polymer film (silicon oxide film) (Patent Document 2) formed by plasma CVD using HMDS as a source gas is used. In the technique of Patent Document 2, the surface of the underlayer is bombarded to form an activation treatment layer, and the surface of the protective film (water-repellent polymer film) is bombarded to form a hydrophilic treatment layer. Yes.

一方、特許文献3には、Sc、Y、La、Gd、Tb、Luのうち1種類以上の元素を合計で0.4〜2.5at%含有し、残部がAlの合金で反射膜を形成することが提案されている。このAl合金膜は、スパッタリング法で成膜された場合、純Alよりも高い反射率を有すると共に、すぐれた耐アルカリ性、耐酸性および耐湿性を有し、保護膜なしでも長時間反射率低下が起こりにくいと開示されている。   On the other hand, in Patent Document 3, a total of one or more elements of Sc, Y, La, Gd, Tb, and Lu are contained in an amount of 0.4 to 2.5 at%, and the balance is formed of an alloy of Al. It has been proposed to do. When this Al alloy film is formed by sputtering, it has a higher reflectance than pure Al, and has excellent alkali resistance, acid resistance, and moisture resistance. It is disclosed that it hardly occurs.

特開平10−31909号公報JP-A-10-31909 特開2010−1542号公報JP 2010-1542 A 特開2011−21275号公報JP 2011-21275 A

特許文献2の構造のリフレクタは、下地層(酸化シリコン層−活性化処理層)−Al反射膜−保護膜−親水化処理層と構造が複雑である。また、活性化処理層および親水化処理層の形成のためにボンバード処理を行うため、成膜に付随する工程が多い。下地層や保護膜をプラズマCVD法で成膜するため、専用の排気系が必要になり、装置コストが増える。プラズマCVD法は、成膜時間が長く、製造時間が延びる。さらに、下地層や保護膜をプラズマCVD法で成膜するため、成膜装置の真空槽内壁に酸化シリコン膜が堆積する。堆積した酸化シリコン膜が成膜中に剥離した場合、反射膜面に付着し、歩留まり低下の原因となる。これを防止するために定期的に真空槽内壁を清掃する必要があり、製造効率の低下につながる。   The reflector of the structure of Patent Document 2 has a complicated structure including an underlayer (silicon oxide layer-activation treatment layer) -Al reflection film-protection film-hydrophilization treatment layer. In addition, since bombarding is performed to form the activation treatment layer and the hydrophilic treatment layer, there are many steps accompanying the film formation. Since the underlayer and the protective film are formed by the plasma CVD method, a dedicated exhaust system is required, which increases the cost of the apparatus. In the plasma CVD method, the film formation time is long and the manufacturing time is extended. Further, since the underlayer and the protective film are formed by plasma CVD, a silicon oxide film is deposited on the inner wall of the vacuum chamber of the film forming apparatus. When the deposited silicon oxide film is peeled off during film formation, it adheres to the reflective film surface and causes a decrease in yield. In order to prevent this, it is necessary to periodically clean the inner wall of the vacuum chamber, leading to a decrease in production efficiency.

一方、特許文献1のように保護膜を塗装法で成膜する場合、塗布面にゴミが付着しやすく、歩留まりが低下する。また、有機溶剤を含む樹脂材料を用いるため環境負荷が大きい。作業者の健康面からも有機溶剤の使用を減らすことが望まれている。   On the other hand, when the protective film is formed by a coating method as in Patent Document 1, dust easily adheres to the coated surface, and the yield decreases. Moreover, since the resin material containing an organic solvent is used, an environmental load is large. In view of the health of workers, it is desired to reduce the use of organic solvents.

特許文献3に記載のAl合金反射膜は、車両用灯具として必要とされる程度に十分な耐アルカリ性と耐水性とを兼ね備えたものは得られていない。また、Al合金は、材料コストが高い。   The Al alloy reflective film described in Patent Document 3 has not been obtained that has both alkali resistance and water resistance sufficient to be required as a vehicular lamp. Moreover, Al alloy has a high material cost.

本発明の目的は、製造効率が高く、耐水性および耐アルカリ性に優れた反射膜と、それを備える照明装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a reflective film having high production efficiency and excellent water resistance and alkali resistance, and an illumination device including the same.

上記目的を達成するために、本発明によれば、反射膜としてのアルミニウム含有膜と、アルミニウム含有膜の上に配置されたジルコニウム含有膜とを有する反射鏡が提供される。   In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a reflecting mirror having an aluminum-containing film as a reflecting film and a zirconium-containing film disposed on the aluminum-containing film.

ジルコニウム含有膜の上には他の層を備えず、反射鏡の最表面層がジルコニウム含有膜となるように構成することが可能である。ジルコニウム含有膜の膜厚は、2.5nm以上10nm以下であることが好ましい。ジルコニウム含有膜として、不可避的不純物を含む純ジルコニウム膜を用いることが可能である。   It is possible not to provide another layer on the zirconium-containing film and to configure the outermost surface layer of the reflecting mirror to be a zirconium-containing film. The thickness of the zirconium-containing film is preferably 2.5 nm or more and 10 nm or less. As the zirconium-containing film, a pure zirconium film containing inevitable impurities can be used.

アルミニウム含有膜は、不可避的不純物を含む純アルミニウム膜を用いることが可能である。   As the aluminum-containing film, a pure aluminum film containing inevitable impurities can be used.

本発明の反射鏡は、反射膜の上にジルコニウム含有膜を積層することにより、反射率を大きく損なうことなく、耐水性および耐アルカリ性を高めることができる。ジルコニウム含有膜は、スパッタ法により容易に成膜でき、かつ、はっ水性が小さいためジルコニウム含有膜の表面を親水化処理する必要がない。よって、簡素な製造工程で歩留まり良く反射鏡を製造できる。   In the reflecting mirror of the present invention, by stacking a zirconium-containing film on the reflecting film, water resistance and alkali resistance can be improved without significantly impairing the reflectance. The zirconium-containing film can be easily formed by a sputtering method, and since it has low water repellency, it is not necessary to hydrophilize the surface of the zirconium-containing film. Therefore, a reflecting mirror can be manufactured with a simple manufacturing process and high yield.

本発明の実施形態のヘッドランプの断面構成を示すブロック図。The block diagram which shows the cross-sectional structure of the headlamp of embodiment of this invention. 図1のリフレクタの層構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the laminated constitution of the reflector of FIG. (a)本実施形態のリフレクタの製造工程を示す説明図、(b)従来技術のリフレクタの製造工程を示す説明図。(A) Explanatory drawing which shows the manufacturing process of the reflector of this embodiment, (b) Explanatory drawing which shows the manufacturing process of the reflector of a prior art. 実施例と比較例1,2のリフレクタの反射率の波長依存性を示すグラフ。The graph which shows the wavelength dependence of the reflectance of the reflector of an Example and Comparative Examples 1 and 2. FIG.

本発明の一実施の形態の照明装置について説明する。   An illumination device according to an embodiment of the present invention will be described.

本発明では、リフレクタ(反射鏡)の反射膜として、アルミニウム膜を用い、アルミニウム膜の上面にジルコニウム膜を積層する。これにより、簡単な構成でありながら、耐アルカリ性と耐水性を兼ね備えたリフレクタを提供できる。このリフレクタを車両用照明装置に用いることにより、車両用照明装置の耐久性が向上する。以下、具体的に説明する。   In the present invention, an aluminum film is used as a reflecting film of the reflector (reflecting mirror), and a zirconium film is laminated on the upper surface of the aluminum film. Thereby, although it is a simple structure, the reflector which has alkali resistance and water resistance can be provided. By using this reflector for a vehicle lighting device, the durability of the vehicle lighting device is improved. This will be specifically described below.

本実施形態の車両用照明装置をヘッドランプを例に説明する。図1に示すように、本実施形態のヘッドランプは、光出射方向側に配置されたレンズカバー40と、背面側に配置されたランプボディ50とを備え、レンズカバー40とランプボディ50により形成された灯室60内には、光源30とリフレクタ20とが配置されている。リフレクタ20の周囲には、リフレクタ20とランプボディ50との間の空間を装飾するためにエクステンションリフレクタ10が配置されている。   The vehicle lighting device of this embodiment will be described by taking a headlamp as an example. As shown in FIG. 1, the headlamp of the present embodiment includes a lens cover 40 disposed on the light emitting direction side and a lamp body 50 disposed on the back side, and is formed by the lens cover 40 and the lamp body 50. Inside the lamp chamber 60, the light source 30 and the reflector 20 are arranged. An extension reflector 10 is arranged around the reflector 20 in order to decorate the space between the reflector 20 and the lamp body 50.

光源30から出射された光は、直接、または、リフレクタ20によって反射されて、レンズカバー40を通過し、前方に照射される。   The light emitted from the light source 30 is reflected directly or by the reflector 20, passes through the lens cover 40, and is irradiated forward.

リフレクタ20の膜構成について図2を用いて説明する。リフレクタ20は、図2に示すように樹脂製の基材21の上に、アンダーコート層22と、反射膜としてのアルミニウム膜23と、保護膜としてジルコニウム膜24とを順に積層した構成である。   The film configuration of the reflector 20 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 2, the reflector 20 has a configuration in which an undercoat layer 22, an aluminum film 23 as a reflective film, and a zirconium film 24 as a protective film are sequentially laminated on a resin base material 21.

アルミニウム膜23は、その膜厚は50nm以上であることが好ましく、150nm以上250nm以下であればより好ましい。アルミニウム膜23は、純アルミニウムであることが好ましい。アルミニウム膜23は、純アルミニウムをターゲットとしたスパッタ法や、純アルミニウムを蒸発源とした蒸着法等の気相成長法により成膜する。なお、アルミニウム膜23が不可避的不純物を含有していてもかまわない。   The film thickness of the aluminum film 23 is preferably 50 nm or more, and more preferably 150 nm or more and 250 nm or less. The aluminum film 23 is preferably pure aluminum. The aluminum film 23 is formed by a vapor phase growth method such as a sputtering method using pure aluminum as a target or a vapor deposition method using pure aluminum as an evaporation source. The aluminum film 23 may contain inevitable impurities.

ジルコニウム膜24は、その膜厚が耐アルカリ性の観点から1.5nm以上であることが好ましく、特に2.5nm以上であることが好ましい。また、反射率の観点から10nm以下であることが好ましく、特に5nm以下であることが好ましい。ジルコニウム膜24は、純ジルコニウム膜であっても、ジルコニウム化合物であってもよい。純ジルコニウム膜の場合、不可避的不純物を含有していてもかまわない。ジルコニウム膜24は、スパッタ法、特にDC(直流)スパッタ法を用いて高速かつ簡便に成膜することができる。そのため、他の公知の保護膜と比較して成膜処理の安定性や経済性に優れている。なお、RF(交流)スパッタ法を用いて成膜することももちろん可能である。   The thickness of the zirconium film 24 is preferably 1.5 nm or more from the viewpoint of alkali resistance, and particularly preferably 2.5 nm or more. Moreover, it is preferable that it is 10 nm or less from a viewpoint of a reflectance, and it is especially preferable that it is 5 nm or less. The zirconium film 24 may be a pure zirconium film or a zirconium compound. In the case of a pure zirconium film, inevitable impurities may be contained. The zirconium film 24 can be easily formed at high speed using a sputtering method, particularly a DC (direct current) sputtering method. Therefore, it is excellent in the stability and economics of the film forming process as compared with other known protective films. It is of course possible to form a film using an RF (alternating current) sputtering method.

スパッタ法により成膜したジルコニウム膜24は、はっ水性が少ないため、成膜後の親水化処理を施す必要はないが、より親水性を高めるために親水化処理を施すことは可能である。   Since the zirconium film 24 formed by the sputtering method has low water repellency, it is not necessary to perform a hydrophilic treatment after the film formation, but it is possible to perform a hydrophilic treatment in order to increase the hydrophilicity.

ジルコニウム膜24を配置しても、リフレクタ20の反射率は、可視光の全波長域において反射率は大きく低下せず、光沢色が変化することもない。   Even if the zirconium film 24 is disposed, the reflectance of the reflector 20 does not decrease significantly in the entire wavelength range of visible light, and the gloss color does not change.

基材21は、所望のリフレクタ20の形状に加工されている。基材21の材質としては、PPS(Polyphenylenesulfide)、BMC(Bulk Molding Compound)、PET/PBT(Polyethylene Terephthalate / Polybutylene Terephthalate)などを好適に用いることができる。   The base material 21 is processed into a desired shape of the reflector 20. As a material of the base material 21, PPS (Polyphenylenesulfide), BMC (Bulk Molding Compound), PET / PBT (Polyethylene Terephthalate / Polybutylene Terephthalate), etc. can be used suitably.

アンダーコート層22は、樹脂製の基材21の平滑性と密着性を向上させるための層であり、公知のアンダーコート層を用いることができる。具体的には例えば、アクリル系樹脂層や酸化シリコン層をアンダーコート層22として配置する。また、平滑性や密着性のある基材に関してはアンダーコート層22を省くことができる。   The undercoat layer 22 is a layer for improving the smoothness and adhesiveness of the resin base material 21, and a known undercoat layer can be used. Specifically, for example, an acrylic resin layer or a silicon oxide layer is disposed as the undercoat layer 22. Moreover, the undercoat layer 22 can be omitted for a substrate having smoothness and adhesion.

本実施形態ではジルコニウム膜24の薄膜をアルミニウム膜23の上に形成するだけで、耐アルカリ性のみならず耐水性および耐湿性にも優れたリフレクタ20を得ることができる。よって、信頼性の高い、照明装置を提供することができる。   In the present embodiment, by simply forming a thin film of the zirconium film 24 on the aluminum film 23, the reflector 20 excellent in not only alkali resistance but also water resistance and moisture resistance can be obtained. Therefore, a highly reliable lighting device can be provided.

本実施形態のリフレクタ20の製造工程について図3(a)を用いて説明する。まず、所望のリフレクタ20の形状に加工された基材20を用意する。その上に、アンダーコート層22を湿式塗装法または気相成長法により成膜する(工程100)。例えば、アンダーコート層22としてアクリル系樹脂膜を形成する場合には、有機溶剤を用いた湿式塗装法により形成する。また、アンダーコート層22として酸化シリコン膜を形成する場合には、プラズマCVD法やスパッタ法で形成する。   The manufacturing process of the reflector 20 of this embodiment is demonstrated using Fig.3 (a). First, the base material 20 processed into the shape of the desired reflector 20 is prepared. On top of that, an undercoat layer 22 is formed by wet coating or vapor deposition (step 100). For example, when an acrylic resin film is formed as the undercoat layer 22, it is formed by a wet coating method using an organic solvent. Further, when a silicon oxide film is formed as the undercoat layer 22, it is formed by a plasma CVD method or a sputtering method.

次に、反射膜としてアルミニウム膜23を成膜する(工程101)。例えば、純アルミニウムをスパッタターゲットとしてスパッタ法により反射膜23を成膜する。   Next, an aluminum film 23 is formed as a reflective film (step 101). For example, the reflective film 23 is formed by sputtering using pure aluminum as a sputtering target.

最後に、保護膜としてジルコニウム膜24をスパッタ法で成膜する(工程102)。以上により、簡単な工程でリフレクタ20が製造される。   Finally, a zirconium film 24 is formed as a protective film by sputtering (step 102). Thus, the reflector 20 is manufactured by a simple process.

本実施形態のリフレクタ20の製造工程を、図3(b)に示すような従来(特許文献2に記載)のリフレクタの製造工程(工程400〜403)と比較すると、従来法は、工程400で成膜した下地層の表面をボンバード処理し、アルミ膜を成膜する工程401と、その上にプラズマCVDによりはっ水性の保護膜(酸化シリコン膜)を形成する工程402と、はっ水性の保護膜の表面をボンバード処理して親水性膜を形成する工程403が必要であるのに対し、本実施形態の図3(a)の製造方法では、プラズマCVDの工程も、ボンバード処理も不要であることが分かる。   When the manufacturing process of the reflector 20 of the present embodiment is compared with the conventional manufacturing process of the reflector (described in Patent Document 2) as shown in FIG. A step 401 for forming an aluminum film by bombarding the surface of the formed underlayer, a step 402 for forming a water-repellent protective film (silicon oxide film) by plasma CVD thereon, and a water-repellent type While the step 403 for forming the hydrophilic film by bombarding the surface of the protective film is necessary, the manufacturing method of FIG. 3A of this embodiment does not require the plasma CVD process or the bombardment process. I understand that there is.

このように、本実施形態によれば、プラズマCVDの工程が不要となり、製造工程の簡素化が図れるため、製造コストが低減できる。   Thus, according to the present embodiment, the plasma CVD process is not necessary, and the manufacturing process can be simplified, so that the manufacturing cost can be reduced.

また、本実施形態では、真空槽内の堆積物が剥がれてゴミの発生の原因となり得るプラズマCVD工程が不要になるため、製造歩留まりを向上させることができる。   Moreover, in this embodiment, since the deposit in a vacuum chamber peels off and the plasma CVD process which can cause generation | occurrence | production of dust becomes unnecessary, a manufacturing yield can be improved.

さらに、従来のようにプラズマCVD装置の真空槽内の堆積膜を除去する必要がなく、メンテナンス時間が短縮でき、生産効率が向上し、製造コストが低減できる。   Further, it is not necessary to remove the deposited film in the vacuum chamber of the plasma CVD apparatus as in the conventional case, maintenance time can be shortened, production efficiency can be improved, and manufacturing cost can be reduced.

また、本実施形態でアルミニウム膜およびジルコニウム膜の成膜に用いるターゲットは、特殊合金ではなく、一般的に用いられる金属材料のため容易かつ安価に入手でき、製造コストを低減できる。   In addition, the target used for forming the aluminum film and the zirconium film in the present embodiment is not a special alloy, but can be easily and inexpensively obtained because it is a commonly used metal material, and the manufacturing cost can be reduced.

本実施形態の照明装置は、自動車用のヘッドライト、各種照明器具の用途として用いることができる。また、本実施形態のリフレクタの膜構成は、各種ディスプレイの反射膜、各種電子部品の反射膜、太陽光発電装置の反射膜の用途に用いることができる。   The illuminating device of this embodiment can be used as a headlight for automobiles and various lighting fixtures. Moreover, the film | membrane structure of the reflector of this embodiment can be used for the use of the reflective film of various displays, the reflective film of various electronic components, and the reflective film of a solar power generation device.

本発明の照明装置のリフレクタ20を製造し、耐アルカリ性、耐水性および耐湿性を確認した。   The reflector 20 of the lighting device of the present invention was manufactured, and the alkali resistance, water resistance and moisture resistance were confirmed.

(実施例)
PPS(Polyphenylenesulfide)樹脂製の基板21上にアクリル樹脂製のアンダーコート層22を塗布法により厚さ約20μm形成した。
(Example)
An undercoat layer 22 made of acrylic resin was formed on a substrate 21 made of PPS (Polyphenylenesulfide) resin by a coating method to a thickness of about 20 μm.

その基板21をスパッタリング装置に入れ、純アルミ(JIS規格A1050)ターゲットを用い、DCスパッタ法により、入力電力5000W、成膜時間90秒、100%Ar雰囲気で、厚さ約160nmのアルミニウム膜23を成膜した。   The substrate 21 is put into a sputtering apparatus, and an aluminum film 23 having a thickness of about 160 nm is formed by a DC sputtering method using a pure aluminum (JIS standard A1050) target with an input power of 5000 W, a deposition time of 90 seconds, and a 100% Ar atmosphere. A film was formed.

連続して、ジルコニウムターゲットを用い、DCスパッタ法により、入力電力100W、成膜時間12秒、100%Ar雰囲気で厚さ2.5nmのジルコニウム膜24を形成した。これにより、実施例のリフレクタ20を製造した。   Continuously, a zirconium film 24 having a thickness of 2.5 nm was formed in a 100% Ar atmosphere using a zirconium target by DC sputtering with an input power of 100 W, a deposition time of 12 seconds, and a 100% Ar atmosphere. Thereby, the reflector 20 of the Example was manufactured.

(比較例1)
PPS(Polyphenylenesulfide)樹脂製の基板上にアクリル樹脂のアンダーコート層を塗布法により厚さ約20μm形成した。
(Comparative Example 1)
An acrylic resin undercoat layer was formed on a PPS (Polyphenylenesulfide) resin substrate by a coating method to a thickness of about 20 μm.

その基板をスパッタリング装置に入れ、純アルミ(JIS規格A1050)ターゲットを用い、DCスパッタ法により、入力電力5000W、成膜時間90秒、100%Ar雰囲気で、厚さ約160nmのアルミニウム膜を成膜した。   The substrate is placed in a sputtering apparatus, and an aluminum film having a thickness of about 160 nm is formed by DC sputtering using a pure aluminum (JIS standard A1050) target, with an input power of 5000 W, a film formation time of 90 seconds, and a 100% Ar atmosphere. did.

基板をプラズマCVD装置に移動させ、原料ガスとしてHMDS(ヘキサメチルジシロキサン)を導入し、入力電力3000W、成膜時間20秒で、厚さ20nmの酸化シリコン膜をプラズマCVD法で保護膜として成膜した。これにより、比較例1のリフレクタを製造した。   The substrate is moved to a plasma CVD apparatus, HMDS (hexamethyldisiloxane) is introduced as a source gas, an input power of 3000 W, a film formation time of 20 seconds, and a 20 nm thick silicon oxide film is formed as a protective film by plasma CVD. Filmed. Thereby, the reflector of Comparative Example 1 was manufactured.

(比較例2)
比較例1のリフレクタの製造工程の保護膜の製造工程を行わず、他の工程は比較例1と同様にして、比較例2のリフレクタを製造した。
(Comparative Example 2)
The reflector manufacturing process of Comparative Example 1 was not performed, and the other processes were performed in the same manner as Comparative Example 1 to manufacture the reflector of Comparative Example 2.

(反射率の測定)
実施例のリフレクタ試料と比較例1および2のリフレクタ試料について、350nm〜800nmの可視光域の反射率を調べた。その結果を図4のグラフに示す。図4のように、実施例の試料は、比較例1の酸化シリコン膜を保護膜として備える試料より反射率が高く、保護膜を備えずアルミニウム膜が露出された比較例2の試料の反射率には及ばないものの、可視光域全体で84%以上の反射率を示した。この値から、実施例の試料はリフレクタとして十分な反射率であることが確認された。
(Measurement of reflectance)
The reflectance in the visible light region of 350 nm to 800 nm was examined for the reflector sample of the example and the reflector samples of Comparative Examples 1 and 2. The result is shown in the graph of FIG. As shown in FIG. 4, the sample of the example has a higher reflectance than the sample having the silicon oxide film of Comparative Example 1 as a protective film, and the reflectance of the sample of Comparative Example 2 in which the aluminum film is not provided without the protective film. However, the reflectance was 84% or more in the entire visible light range. From this value, it was confirmed that the sample of the example had sufficient reflectivity as a reflector.

(耐アルカリ性評価)
実施例および比較例1、2の試料に耐アルカリ性試験を行った。具体的には、1wt%KOH溶液に、各試料を10分間浸漬した後、目視で試料を観察し、透け、剥離および白点等の欠陥がないものを○、透け、剥離および白点の少なくとも一つがあるものを×として評価した。
(Alkali resistance evaluation)
The samples of Examples and Comparative Examples 1 and 2 were subjected to an alkali resistance test. Specifically, after immersing each sample in a 1 wt% KOH solution for 10 minutes, the sample is visually observed, and those having no defects such as show-through, peel-off, and white spot are marked with ○, see-through, peel-off, and white spot. Those with one were evaluated as x.

(耐水性評価)
実施例および比較例1、2の試料に耐水性試験を行った。具体的には、温度40℃の温水に試料を24時間浸漬した後、室温に1時間放置した。その後、目視で試料を観察し、透け、剥離および白点等の欠陥がないものを○、透け、剥離および白点の少なくとも一つがあるものを×として評価した。
(Water resistance evaluation)
The samples of Examples and Comparative Examples 1 and 2 were subjected to a water resistance test. Specifically, the sample was immersed in warm water at a temperature of 40 ° C. for 24 hours and then left at room temperature for 1 hour. Thereafter, the sample was visually observed, and those having no defects such as show-through, peeling, and white spots were evaluated as ◯, and those having at least one of show-through, peeling, and white spots were evaluated as x.

(耐湿性評価)
実施例および比較例1、2の試料に耐湿性試験を行った。具体的には、湿度98%、温度50℃の恒温恒湿雰囲気に240時間曝した後、室温に1時間放置した。その後、目視で試料を観察し、透け、剥離および白点等の欠陥がないものを○、透け、剥離および白点の少なくとも一つがあるものを×として評価した。評価結果を表1に示す。
(Moisture resistance evaluation)
The samples of Examples and Comparative Examples 1 and 2 were subjected to a moisture resistance test. Specifically, it was exposed to a constant temperature and humidity atmosphere having a humidity of 98% and a temperature of 50 ° C. for 240 hours and then left at room temperature for 1 hour. Thereafter, the sample was visually observed, and those having no defects such as show-through, peeling, and white spots were evaluated as ◯, and those having at least one of show-through, peeling, and white spots were evaluated as x. The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 0005890111
Figure 0005890111

表1のように、実施例および比較例1の試料は、耐アルカリ性試験、耐水性試験および耐湿性試験のいずれにも欠陥を生じなかった。比較例3の保護膜を備えないアルミニウム膜のみの試料は、表1のように、耐アルカリ性試験において溶解し、耐水性試験においてアルミニウム膜が変色した。耐湿性試験においては反射膜が溶解した。   As shown in Table 1, the samples of Examples and Comparative Example 1 did not cause defects in any of the alkali resistance test, the water resistance test, and the moisture resistance test. As shown in Table 1, the aluminum film-only sample without the protective film of Comparative Example 3 was dissolved in the alkali resistance test, and the aluminum film was discolored in the water resistance test. In the moisture resistance test, the reflective film was dissolved.

以上のことから、実施例の試料は、ジルコニウム膜を保護膜として備えることにより、耐アルカリ性、耐水性および耐湿性を兼ね備えたリフレクタが得られることが確認された。   From the above, it was confirmed that the sample of the example can provide a reflector having alkali resistance, water resistance and moisture resistance by providing a zirconium film as a protective film.

10…エクステンションリフレクタ、20…リフレクタ、21…基材、22…アンダーコート、23…反射膜、24…酸素プラズマ処理層、30…光源、40…レンズカバー、50…ランプボディ、60…灯室 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Extension reflector, 20 ... Reflector, 21 ... Base material, 22 ... Undercoat, 23 ... Reflecting film, 24 ... Oxygen plasma treatment layer, 30 ... Light source, 40 ... Lens cover, 50 ... Lamp body, 60 ... Lamp chamber

Claims (3)

所望の反射鏡形状に加工された樹脂製の基材と、前記基材の上に形成された下地層と、前記下地層の上に形成された反射膜としてのアルミニウム含有膜と、を有する反射鏡において、
前記アルミニウム含有膜の上に純ジルコニウム膜が最表面層として配置され、
前記純ジルコニウム膜の膜厚は、2.5nm以上5nm以下であることを特徴とする反射鏡。
A reflection having a resin base material processed into a desired reflecting mirror shape, a base layer formed on the base material, and an aluminum-containing film as a reflective film formed on the base layer In the mirror
A pure zirconium film is disposed as an outermost layer on the aluminum-containing film,
A film thickness of the pure zirconium film is 2.5 nm or more and 5 nm or less.
請求項1に記載の反射鏡を備えた照明装置。   An illumination device comprising the reflecting mirror according to claim 1. 所望の反射鏡形状に加工された樹脂製の基材上に塗布法で下地層を形成する工程と、
前記下地層の上に反射膜として、アルミニウム含有膜を気相成長法で成膜する工程と、
前記アルミニウム含有膜の上に純ジルコニウム膜を最表面層としてスパッタリング法で成膜する工程とを有し、
前記純ジルコニウム膜の膜厚は、2.5nm以上5nm以下に形成されていることを特徴とする反射鏡の製造方法。
Forming a base layer by a coating method on a resin substrate processed into a desired reflector shape;
A step of forming an aluminum-containing film as a reflective film on the underlayer by vapor deposition;
Forming a pure zirconium film as the outermost surface layer on the aluminum-containing film by a sputtering method,
The thickness of the pure zirconium film is 2.5 nm or more and 5 nm or less.
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