JP5881712B2 - Seal member, vacuum container and vacuum piping - Google Patents

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Description

本発明は、ＣＦ(Con flat)規格フランジに真空シールを行うためのシール部材、真空容器および真空用配管に関する。   The present invention relates to a seal member, a vacuum vessel, and a vacuum pipe for performing vacuum sealing on a CF (Con flat) standard flange.

真空容器はその容器内でスパッタデポジションやＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition)成膜やドライエッチングなどの製造プロセス、ＲＨＥＥＤ（反射高エネルギー電子回折）測定やＳＥＭ(Scanning Electron Microscope)、ＴＥＭ(Transmission Electron Microscope)といった電子顕微鏡などの分析を行うことに使用されている。   The vacuum container is a manufacturing process such as sputtering deposition, CVD (Chemical Vapor Deposition) film formation and dry etching, RHEED (reflection high energy electron diffraction) measurement, SEM (Scanning Electron Microscope), TEM (Transmission Electron Microscope). It is used to analyze such as an electron microscope.

真空容器に開口部が設けられている場合は、この開口部は、蓋状のフランジによって塞がれて真空シールされる。また、真空容器の開口部に配管を接続する場合は、この配管との接続部はフランジによって真空シールされる。   When an opening is provided in the vacuum vessel, the opening is closed by a lid-like flange and vacuum-sealed. Moreover, when connecting piping to the opening part of a vacuum vessel, the connection part with this piping is vacuum-sealed with a flange.

フランジの規格は、主に、ＣＦ規格フランジ、ＪＩＳ規格フランジ、ＩＳＯフランジがあり、ＩＳＯフランジにはＩＳＯ−ＫＦフランジ、ＩＳＯ−ＭＦフランジ、ＩＳＯ−ＢＴフランジがある。このような規格フランジのうちで現在多く使用されているのはＣＦ規格フランジである。   The standard of the flange is mainly a CF standard flange, a JIS standard flange, and an ISO flange, and the ISO flange includes an ISO-KF flange, an ISO-MF flange, and an ISO-BT flange. Among such standard flanges, the CF standard flange is widely used at present.

図３（Ａ）は、真空容器の開口部を塞いで真空シールするための蓋状のＣＦ規格フランジを示す平面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）に示す３Ｂ−３Ｂ線に沿った断面図であり、図３（Ｃ）は、図３（Ｂ）に示す囲まれた部分１Ｃを拡大した断面図である。   FIG. 3A is a plan view showing a lid-like CF standard flange for closing and sealing the opening of the vacuum vessel, and FIG. 3B is a view of 3B-3B shown in FIG. 3C is a cross-sectional view taken along the line, and FIG. 3C is an enlarged cross-sectional view of the enclosed portion 1C shown in FIG. 3B.

図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、真空容器１０１の開口部１０１ａにはＣＦ規格フランジ１０２が形成されており、ＣＦ規格フランジ１０２は、接合面に形成された鋭く突き出したナイフエッジ１１と溝１２を有している。ナイフエッジ１１は、直径φＢの第１の円周１０８に沿って形成されている。溝１２は、第１の円周１０８の外側に形成され、第１の円周１０８と同心である直径φＡの第２の円周１０７に沿って形成され、ナイフエッジ１１に隣接して形成されている。溝１２の断面は、図３（Ｃ）に示すように三角形のような形状を有している。また、ＣＦ規格フランジ１０２は、図３（Ａ）に示すように複数の穴１０６を有している。
蓋１０３にも上記と同様のナイフエッジ１１と溝１２が形成されている。As shown in FIGS. 3A to 3C, a CF standard flange 102 is formed in the opening 101a of the vacuum vessel 101, and the CF standard flange 102 is a sharply protruding knife edge formed on the joint surface. 11 and a groove 12. The knife edge 11 is formed along a first circumference 108 having a diameter φB. The groove 12 is formed outside the first circumference 108, is formed along the second circumference 107 having a diameter φA that is concentric with the first circumference 108, and is formed adjacent to the knife edge 11. ing. The cross section of the groove 12 has a triangular shape as shown in FIG. Further, the CF standard flange 102 has a plurality of holes 106 as shown in FIG.
The lid 103 is also formed with the same knife edge 11 and groove 12 as described above.

ＣＦ規格フランジの真空シールは次のようにして行う。
まず、ＣＦ規格フランジ１０２の第２の円周１０７の内側に銅製の角型リング状パッキン１０４を挿入する。角型リング状パッキン１０４は第２の円周１０７の内側に隙間無く挿入できるような大きさとなっているため、角型リング状パッキン１０４は第２の円周１０７の内側に容易に位置合わせして挿入することができる。次に、蓋１０３の第２の円周１０７の内側に角型リング状パッキン１０４が挿入されるように蓋１０３を真空容器１０１の開口部１０１ａに配置する。この際も角型リング状パッキン１０４と蓋１０３を容易に位置合わせできる。次に、蓋１０３とＣＦ規格フランジ１０２をボルト１０５ａとナット１０５ｂによって所定の力で締め付けることにより、銅製の角型リング状パッキン１０４をナイフエッジ１１で潰す。これにより、ＣＦ規格フランジ１０２および蓋１０３それぞれと角型リング状パッキン１０４によって真空シールを行うことができる。The CF standard flange is vacuum sealed as follows.
First, the copper square ring-shaped packing 104 is inserted inside the second circumference 107 of the CF standard flange 102. Since the square ring-shaped packing 104 is sized so that it can be inserted into the second circumference 107 without a gap, the square ring-shaped packing 104 can be easily positioned inside the second circumference 107. Can be inserted. Next, the lid 103 is disposed in the opening 101 a of the vacuum container 101 so that the square ring-shaped packing 104 is inserted inside the second circumference 107 of the lid 103. Also at this time, the square ring-shaped packing 104 and the lid 103 can be easily aligned. Next, the lid 103 and the CF standard flange 102 are tightened with a predetermined force by a bolt 105 a and a nut 105 b, so that the copper square ring-shaped packing 104 is crushed by the knife edge 11. Thereby, vacuum sealing can be performed by each of the CF standard flange 102 and the lid 103 and the square ring packing 104.

図３に示すＣＦ規格フランジ１０２では、真空シール材として銅製の角型リング状パッキン１０４を用い、接合面に形成された鋭く突き出したナイフエッジ１１を銅製の角型リング状パッキン１０４に食い込ませることで真空シールを行うため、一度真空シールした後にそのシールを緩め、その後に再度真空シールを行おうとすると銅製の角型リング状パッキン１０４の食い込み傷の部分からリークしてしまう。このため、ＣＦ規格フランジ１０２では、一度シールした後にフランジを取り外した場合は、銅製の角型リング状パッキン１０４を再使用することができない。従って、例えば試料を真空容器１０１に導入するための開口部１０１ａのように開け閉めを繰り返し行う場合には、銅製の角型リング状パッキン１０４をその都度取り替える必要があるため経済性が悪い。   In the CF standard flange 102 shown in FIG. 3, a square ring-shaped packing 104 made of copper is used as a vacuum seal material, and the sharply protruding knife edge 11 formed on the joint surface is bitten into the square ring-shaped packing 104 made of copper. In order to perform vacuum sealing, if the vacuum sealing is once loosened, and then the vacuum sealing is performed again, leakage will occur from the biting wound portion of the square ring-shaped packing 104 made of copper. For this reason, in the CF standard flange 102, when the flange is removed after sealing once, the square ring-shaped packing 104 made of copper cannot be reused. Therefore, for example, when opening and closing is repeatedly performed like the opening 101a for introducing the sample into the vacuum vessel 101, it is necessary to replace the copper square ring-shaped packing 104 each time.

そこで、真空シール材として銅製の角型リング状パッキン１０４に替えてゴム製の角型リング状パッキンをＣＦ規格フランジに用いることも提案されている。ゴム製の角型リング状パッキンであれば再使用できるため経済性が良くなるからである。   Therefore, it has been proposed to use a rubber square ring packing as a CF standard flange instead of the copper square ring packing 104 as a vacuum seal material. This is because a rubber square ring-shaped packing can be reused, resulting in improved economy.

しかしながら、銅製の角型リング状パッキン１０４では、形状が変化しないため、作業者は銅製の角型リング状パッキン１０４とＣＦ規格フランジ１０２の第２の円周１０７との位置合わせ（即ち、銅製の角型リング状パッキン１０４の中心と第２の円周１０７の中心を合わせるというセンターリング）を容易に行うことができるけれど、ゴム製の角型リング状パッキンでは、形状が変化しやすいため、作業者がゴム製の角型リング状パッキンの中心と第２の円周１０７の中心を合わせるセンターリングを行うことは困難であり、センターリング作業に時間を要する。   However, since the shape of the square ring-shaped packing 104 made of copper does not change, the operator aligns the square ring-shaped packing 104 made of copper with the second circumference 107 of the CF standard flange 102 (that is, made of copper The center ring that aligns the center of the square ring-shaped packing 104 and the center of the second circumference 107 can be easily performed, but the shape of the rubber-made ring-shaped ring packing is easy to change. It is difficult for a person to perform centering to align the center of the rubber square ring packing with the center of the second circumference 107, and the centering work takes time.

特に、ＣＦ規格フランジを傾けて取り付けなければならない場合は、作業者がゴム製の角型リング状パッキンの中心と第２の円周１０７の中心を合わせるセンターリングを行うことは極めて困難であり、センターリング作業に長時間を要する。   In particular, when it is necessary to attach the CF standard flange at an angle, it is extremely difficult for the operator to perform centering to align the center of the rubber square ring packing with the center of the second circumference 107, Centering work takes a long time.

本発明の一態様は、ＣＦ規格フランジの真空シール材を再使用可能なものとし、且つ作業者がセンターリングを容易に行えることを課題とする。   An object of one embodiment of the present invention is to make a vacuum seal material of a CF standard flange reusable and allow an operator to easily perform centering.

一方、仮に、ＣＦ規格フランジと全く異なる構造でセンターリング作業が容易にできるようなフランジを新しく作製することは、当業者であれば簡単であるかもしれない。
しかし、本発明の一態様は、そのような新しく作製するフランジとは全くことなる技術思想である。On the other hand, it may be easy for a person skilled in the art to newly manufacture a flange that can be easily centered by a completely different structure from the CF standard flange.
However, one aspect of the present invention is a technical idea completely different from such a newly manufactured flange.

つまり、既に世の中で真空容器等に多く使用されているフランジはＣＦ規格フランジであるため、本発明の一態様は、このＣＦ規格フランジにおいて真空シール材を再使用可能なものとし、且つ作業者がセンターリングを容易に行えるシール部材等を提供することを課題とする。   In other words, since a flange that is already widely used in vacuum vessels and the like in the world is a CF standard flange, one aspect of the present invention makes it possible to reuse the vacuum seal material in this CF standard flange and It is an object of the present invention to provide a seal member or the like that can be easily centered.

本発明の一態様は、ＣＦ規格フランジに真空シールを行うためのシール部材であって、
前記ＣＦ規格フランジは、第１の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第１の円周の外側に形成され且つ前記第１の円周と同心の第２の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、
前記シール部材は、前記第２の円周の直径より小さい直径を有する第３の円周に沿って形成された凸部と、前記第３の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、
前記凸部を前記溝に挿入して前記リング状弾性体を前記ナイフエッジで潰すことにより、前記ＣＦ規格フランジに前記シール部材で真空シールを行うことを特徴とするシール部材である。One aspect of the present invention is a seal member for performing a vacuum seal on a CF standard flange,
The CF standard flange includes a knife edge formed along the first circumference, and a second circumference formed outside the first circumference and concentric with the first circumference. A groove formed and adjacent to the knife edge,
The seal member includes a convex portion formed along a third circumference having a diameter smaller than the diameter of the second circumference, and a side surface of the convex portion formed on the inner side of the third circumference. And a ring-shaped elastic body disposed in contact with,
The seal member is characterized in that a vacuum seal is performed on the CF standard flange with the seal member by inserting the convex portion into the groove and crushing the ring-shaped elastic body with the knife edge.

また、本発明の一態様において、
前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第２の円周の外側の側面と接することが好ましい。In one embodiment of the present invention,
When the convex portion is inserted into the groove, the side surface of the convex portion is preferably in contact with the outer side surface of the second circumference in the groove.

また、本発明の一態様において、
前記シール部材は、蓋または真空用配管の端部に形成されるものであるとよい。In one embodiment of the present invention,
The seal member may be formed at an end of a lid or a vacuum pipe.

また、本発明の一態様において、
前記ＣＦ規格フランジは、真空用配管の端部、真空容器の開口部および前記真空容器の内部空間と繋げられた配管の端部のいずれかに形成されるものであるとよい。In one embodiment of the present invention,
The CF standard flange may be formed at any one of an end of a vacuum pipe, an opening of the vacuum container, and an end of the pipe connected to the internal space of the vacuum container.

本発明の一態様は、ＣＦ規格フランジとシール部材を備えた真空容器であって、
前記ＣＦ規格フランジは、前記真空容器の開口部または前記真空容器の内部空間と繋げられた真空用配管の端部に形成されており、
前記シール部材は、前記ＣＦ規格フランジに真空シールを行うものであり、
前記ＣＦ規格フランジは、第１の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第１の円周の外側に形成され且つ前記第１の円周と同心の第２の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、
前記シール部材は、前記第２の円周の直径より小さい直径を有する第３の円周に沿って形成された凸部と、前記第３の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、
前記真空容器は、前記凸部を前記溝に挿入して前記リング状弾性体を前記ナイフエッジで潰すことにより、前記ＣＦ規格フランジに前記シール部材で真空シールを行うことを特徴とする真空容器である。One aspect of the present invention is a vacuum vessel including a CF standard flange and a seal member,
The CF standard flange is formed at the end of the vacuum pipe connected to the opening of the vacuum vessel or the internal space of the vacuum vessel,
The sealing member performs vacuum sealing on the CF standard flange,
The CF standard flange includes a knife edge formed along the first circumference, and a second circumference formed outside the first circumference and concentric with the first circumference. A groove formed and adjacent to the knife edge,
The seal member includes a convex portion formed along a third circumference having a diameter smaller than the diameter of the second circumference, and a side surface of the convex portion formed on the inner side of the third circumference. And a ring-shaped elastic body disposed in contact with,
The vacuum container is characterized in that the CF standard flange is vacuum sealed with the seal member by inserting the convex portion into the groove and crushing the ring-shaped elastic body with the knife edge. is there.

また、本発明の一態様において、
前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第２の円周の外側の側面と接することが好ましい。In one embodiment of the present invention,
When the convex portion is inserted into the groove, the side surface of the convex portion is preferably in contact with the outer side surface of the second circumference in the groove.

また、本発明の一態様において、
前記シール部材は、前記真空容器の開口部または前記真空用配管の端部を塞ぐ蓋、および、前記真空容器の開口部または前記真空用配管の端部に接続される配管のいずれかに形成されているとよい。In one embodiment of the present invention,
The seal member is formed on any one of a lid that closes an opening of the vacuum vessel or an end of the vacuum pipe, and a pipe connected to the opening of the vacuum vessel or an end of the vacuum pipe. It is good to have.

本発明の一態様は、ＣＦ規格フランジとシール部材を備えた真空用配管であって、
前記ＣＦ規格フランジは、前記真空用配管の端部に形成されており、
前記シール部材は、前記ＣＦ規格フランジに真空シールを行うものであり、
前記ＣＦ規格フランジは、第１の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第１の円周の外側に形成され且つ前記第１の円周と同心の第２の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、
前記シール部材は、前記第２の円周の直径より小さい直径を有する第３の円周に沿って形成された凸部と、前記第３の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、
前記真空用配管は、前記凸部を前記溝に挿入して前記リング状弾性体を前記ナイフエッジで潰すことにより、前記ＣＦ規格フランジに前記シール部材で真空シールを行うことを特徴とする真空用配管である。One aspect of the present invention is a vacuum pipe provided with a CF standard flange and a seal member,
The CF standard flange is formed at the end of the vacuum pipe,
The sealing member performs vacuum sealing on the CF standard flange,
The CF standard flange includes a knife edge formed along the first circumference, and a second circumference formed outside the first circumference and concentric with the first circumference. A groove formed and adjacent to the knife edge,
The seal member includes a convex portion formed along a third circumference having a diameter smaller than the diameter of the second circumference, and a side surface of the convex portion formed on the inner side of the third circumference. And a ring-shaped elastic body disposed in contact with,
The vacuum pipe is characterized in that the CF standard flange is vacuum sealed with the seal member by inserting the convex portion into the groove and crushing the ring-shaped elastic body with the knife edge. It is piping.

また、本発明の一態様において、
前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第２の円周の外側の側面と接することが好ましい。In one embodiment of the present invention,
When the convex portion is inserted into the groove, the side surface of the convex portion is preferably in contact with the outer side surface of the second circumference in the groove.

また、本発明の一態様において、
前記シール部材は、前記真空用配管の端部を塞ぐ蓋または前記真空用配管の端部に接続される配管に形成されているとよい。In one embodiment of the present invention,
The seal member may be formed on a lid that closes an end of the vacuum pipe or a pipe connected to an end of the vacuum pipe.

本発明の一態様によれば、ＣＦ規格フランジの真空シール材を再使用可能なものとし、且つ作業者がセンターリングを容易に行うことができる。   According to one aspect of the present invention, the vacuum seal material of the CF standard flange can be reused, and the operator can easily perform centering.

（Ａ）は真空容器に設けられたＣＦ規格フランジを示す平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す１Ｂ−１Ｂ線に沿った断面図であり、（Ｃ）は（Ｂ）に示す囲まれた部分１Ｃを拡大した断面図である。(A) is a top view which shows the CF specification flange provided in the vacuum vessel, (B) is sectional drawing along the 1B-1B line shown to (A), (C) shows to (B). It is sectional drawing to which the enclosed part 1C was expanded. （Ａ）〜（Ｃ）は、図１に示すＣＦ規格フランジに、蓋に設けられたシール部材によって真空シールを行う様子を説明するための断面図である。(A)-(C) are sectional drawings for demonstrating a mode that the CF standard flange shown in FIG. 1 is vacuum-sealed with the sealing member provided in the lid | cover. （Ａ）は真空容器を塞いで真空シールするための蓋状のＣＦ規格フランジを示す平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す３Ｂ−３Ｂ線に沿った断面図であり、（Ｃ）は（Ｂ）に示す囲まれた部分１Ｃを拡大した断面図である。(A) is a plan view showing a lid-like CF standard flange for closing and vacuum-sealing the vacuum vessel, (B) is a cross-sectional view taken along line 3B-3B shown in (A), (C ) Is an enlarged cross-sectional view of the enclosed portion 1C shown in FIG.

以下では、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following description, and it will be easily understood by those skilled in the art that modes and details can be variously changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the present invention should not be construed as being limited to the description of the embodiments below.

本発明の一態様について図１および図２を参照しつつ説明する。
図１（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、真空容器１０１の開口部１０１ａにはＣＦ規格フランジ１０２が形成されており、ＣＦ規格フランジ１０２は、接合面に形成された鋭く突き出したナイフエッジ１１と溝１２を有している。ナイフエッジ１１は、直径φＢの第１の円周１０８に沿って形成されている。溝１２は、第１の円周１０８の外側に形成され、且つ第１の円周１０８と同心である直径φＡの第２の円周１０７に沿って形成され、且つナイフエッジ１１に隣接して形成されている。溝１２の断面は、図１（Ｃ）に示すように三角形のような形状を有している。また、ＣＦ規格フランジ１０２は、図１（Ａ）に示すように複数の穴１０６を有している。One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIGS. 1A to 1C, a CF standard flange 102 is formed in the opening 101a of the vacuum vessel 101, and the CF standard flange 102 is a sharply protruding knife edge formed on the joint surface. 11 and a groove 12. The knife edge 11 is formed along a first circumference 108 having a diameter φB. The groove 12 is formed outside the first circumference 108 and along the second circumference 107 having a diameter φA that is concentric with the first circumference 108 and adjacent to the knife edge 11. Is formed. The cross section of the groove 12 has a triangular shape as shown in FIG. Further, the CF standard flange 102 has a plurality of holes 106 as shown in FIG.

図２（Ａ）に示すように、蓋１３の一方の面に形成されたシール部材は、凸部１４とリング状弾性体であるＯリング１５を有している。また、蓋１３の一方の面には溝１５ａが設けられており、この溝１５ａ内にＯリング１５が嵌め込まれている。溝１５ａは凸部１４に隣接して形成されている。   As shown in FIG. 2A, the seal member formed on one surface of the lid 13 has a convex portion 14 and an O-ring 15 that is a ring-shaped elastic body. A groove 15a is provided on one surface of the lid 13, and an O-ring 15 is fitted in the groove 15a. The groove 15 a is formed adjacent to the convex portion 14.

図２（Ａ）に示す凸部１４は、図１（Ｃ）に示す第２の円周１０７の直径φＡより小さい直径φＣを有する第３の円周１７に沿って蓋１３の一方の面に形成されている。Ｏリング１５は、第３の円周１７の内側に形成され、且つ凸部１４の側面１４ａに接して配置されている。また、蓋１３は、図２に示すように複数の穴１６を有している。   The convex portion 14 shown in FIG. 2A is formed on one surface of the lid 13 along the third circumference 17 having a diameter φC smaller than the diameter φA of the second circumference 107 shown in FIG. Is formed. The O-ring 15 is formed inside the third circumference 17 and is disposed in contact with the side surface 14 a of the convex portion 14. The lid 13 has a plurality of holes 16 as shown in FIG.

なお、本実施形態では、リング状弾性体としてＯリング１５を用いているが、種々のリング状弾性体を用いてもよく、例えば角型リングを用いてもよい。   In the present embodiment, the O-ring 15 is used as the ring-shaped elastic body, but various ring-shaped elastic bodies may be used, for example, a square ring may be used.

次に、図２（Ａ）〜（Ｃ）を参照しつつ、真空容器１０１の開口部１０１ａをＣＦ規格フランジ１０２とシール部材を備えた蓋１３によって真空シールする手順について説明する。   Next, the procedure for vacuum-sealing the opening 101a of the vacuum vessel 101 with the CF standard flange 102 and the lid 13 provided with a seal member will be described with reference to FIGS.

まず、ＣＦ規格フランジ１０２の溝１２内に蓋１３の凸部１４を挿入して嵌合することにより、ＣＦ規格フランジ１０２のナイフエッジ１１のエッジ面に蓋１３のＯリング１５を当てることができる。この際、凸部１４における側面１４ｂが、第２の円周１０７の内側の側面１２ａと接するような大きさで凸部１４と溝１２が形成されているため、蓋１３の凸部１４とＣＦ規格フランジ１０２の溝１２のセンターリング（位置合わせ）を作業者が容易に行うことができる（図２（Ａ），（Ｂ）参照）。   First, the O-ring 15 of the lid 13 can be applied to the edge surface of the knife edge 11 of the CF standard flange 102 by inserting and fitting the convex portion 14 of the lid 13 into the groove 12 of the CF standard flange 102. . At this time, since the convex portion 14 and the groove 12 are formed in such a size that the side surface 14b of the convex portion 14 is in contact with the inner side surface 12a of the second circumference 107, the convex portion 14 of the lid 13 and the CF An operator can easily perform centering (positioning) of the groove 12 of the standard flange 102 (see FIGS. 2A and 2B).

次いで、蓋１３を回転させることにより、蓋１３の穴１６とＣＦ規格フランジ１０２の穴１０６を位置合わせする。次いで、これらの穴１６，１０６に図示せぬボルトを挿入し、そのボルトをナットによって所定の力で締め付けることにより、Ｏリング１５をナイフエッジ１１のエッジ面で潰す。これにより、ＣＦ規格フランジ１０２にシール部材で真空シールを行うことができる（図２（Ｃ）参照）。   Next, by rotating the lid 13, the hole 16 of the lid 13 and the hole 106 of the CF standard flange 102 are aligned. Next, bolts (not shown) are inserted into the holes 16 and 106, and the bolts are tightened with a predetermined force with nuts, so that the O-ring 15 is crushed by the edge surface of the knife edge 11. Thereby, the CF standard flange 102 can be vacuum-sealed with the seal member (see FIG. 2C).

ＣＦ規格フランジ１０２は、ＣＦ規格フランジ１０２を製造した製造者によって図１（Ｃ）に示す直径φＡと直径φＢと寸法Ｃ以外の寸法は多少異なるが、直径φＡと直径φＢと寸法Ｃの寸法は、規格によって定められているため、製造者にかかわらず一定である。本実施形態では、φＡの寸法で溝１２と凸部１４のセンターリングを行うため、様々な製造者によって製造されたＣＦ規格フランジ１０２において溝１２と凸部１４のセンターリングを作業者が容易に行うことができる。そして、直径φＢと寸法Ｃが一定であることから、ナイフエッジ１１でＯリング１５を確実に潰すことができる。従って、様々な製造者によって製造されたＣＦ規格フランジ１０２にシール部材で真空シールを行うことが可能となる。   The CF standard flange 102 is slightly different in dimensions other than the diameter φA, the diameter φB, and the dimension C shown in FIG. 1C depending on the manufacturer who manufactured the CF standard flange 102, but the diameter φA, the diameter φB, and the dimension C are different. Because it is determined by the standard, it is constant regardless of the manufacturer. In this embodiment, since the centering of the groove 12 and the convex portion 14 is performed with a size of φA, the operator can easily center the groove 12 and the convex portion 14 in the CF standard flange 102 manufactured by various manufacturers. It can be carried out. Since the diameter φB and the dimension C are constant, the O-ring 15 can be reliably crushed by the knife edge 11. Therefore, it is possible to perform vacuum sealing with the seal member on the CF standard flange 102 manufactured by various manufacturers.

また、本実施形態では、蓋１３の一方の面に溝１５ａを設けることにより、Ｏリング１５を溝１５ａに嵌め込むことができる。   In the present embodiment, the O-ring 15 can be fitted into the groove 15 a by providing the groove 15 a on one surface of the lid 13.

なお、本実施形態では、真空容器１０１の開口部１０１ａにＣＦ規格フランジ１０２を形成し、蓋１３にシール部材を形成し、ＣＦ規格フランジ１０２にシール部材によって真空シールを行うことで真空容器１０１の開口部１０１を蓋１３で真空シールしているが、次のように変更して実施してもよい。   In the present embodiment, a CF standard flange 102 is formed in the opening 101a of the vacuum container 101, a seal member is formed on the lid 13, and the CF standard flange 102 is vacuum-sealed with the seal member to thereby form the vacuum container 101. Although the opening 101 is vacuum-sealed with the lid 13, the following modifications may be made.

(1)真空用配管の端部にＣＦ規格フランジ１０２を形成し、蓋１３にシール部材を形成し、ＣＦ規格フランジ１０２にシール部材によって真空シールを行うことで真空用配管の端部を蓋１３で真空シールしてもよい。
(2)真空容器１０１の内部空間と繋げられた配管の端部にＣＦ規格フランジ１０２を形成し、蓋１３にシール部材を形成し、ＣＦ規格フランジ１０２にシール部材によって真空シールを行うことで配管の端部を蓋１３で真空シールしてもよい。
(3)真空容器１０１の開口部１０１ａにＣＦ規格フランジ１０２を形成し、真空用配管にシール部材を形成し、ＣＦ規格フランジ１０２にシール部材によって真空シールを行うことで真空容器１０１の開口部１０１と真空用配管との接続を真空シールしてもよい。
(4)一方の真空用配管の端部にＣＦ規格フランジ１０２を形成し、他方の真空用配管の端部にシール部材を形成し、ＣＦ規格フランジ１０２にシール部材によって真空シールを行うことで一方の真空用配管と他方の真空用配管との接続を真空シールしてもよい。
(5)真空容器１０１の内部空間と繋げられた配管の端部にＣＦ規格フランジ１０２を形成し、真空用配管の端部にシール部材を形成し、ＣＦ規格フランジ１０２にシール部材によって真空シールを行うことで配管と真空用配管との接続を真空シールしてもよい。(1) A CF standard flange 102 is formed at the end of the vacuum pipe, a seal member is formed on the lid 13, and the end of the vacuum pipe is covered with the lid 13 by vacuum sealing with the seal member on the CF standard flange 102. You may vacuum seal with.
(2) A CF standard flange 102 is formed at the end of the pipe connected to the internal space of the vacuum vessel 101, a seal member is formed on the lid 13, and the CF standard flange 102 is vacuum-sealed by the seal member. These ends may be vacuum sealed with a lid 13.
(3) A CF standard flange 102 is formed in the opening 101a of the vacuum vessel 101, a seal member is formed on the vacuum piping, and the CF standard flange 102 is vacuum-sealed by the seal member, thereby opening the opening 101 of the vacuum vessel 101. The vacuum pipe connection may be vacuum sealed.
(4) The CF standard flange 102 is formed at the end of one vacuum pipe, the seal member is formed at the end of the other vacuum pipe, and the CF standard flange 102 is vacuum sealed by the seal member. The connection between the vacuum pipe and the other vacuum pipe may be vacuum-sealed.
(5) A CF standard flange 102 is formed at the end of the pipe connected to the internal space of the vacuum vessel 101, a seal member is formed at the end of the vacuum pipe, and a vacuum seal is formed on the CF standard flange 102 by the seal member. The connection between the pipe and the vacuum pipe may be vacuum-sealed.

以上説明したように、本実施形態では、既に世の中で真空容器等に多く使用されているＣＦ規格フランジにおいて真空シール材を再使用可能なものとし、且つ作業者がセンターリングを容易に行えるシール部材等を提供することができる。従って、ＣＦ規格フランジを使用している多くの作業者の作業効率を飛躍的に高めることができる。   As described above, according to the present embodiment, the seal member that can re-use the vacuum seal material in the CF standard flange that is already widely used in vacuum vessels and the like and can easily perform the centering by the operator. Etc. can be provided. Therefore, the working efficiency of many workers using the CF standard flange can be dramatically improved.

１１…ナイフエッジ
１２，１０３…溝
１２ａ…溝内の側面
１３…蓋
１４…凸部
１４ａ，１４ｂ…凸部の側面
１５…Ｏリング
１５ａ…Ｏリングを嵌め込む溝
１６，１０６…穴
１７…第３の円周
１０１…真空容器
１０１ａ…開口部
１０２…ＣＦ規格フランジ
１０４…角型リング状パッキン
１０５ｂ…ボルト
１０５ａ…ナット
１０７…第２の円周
１０８…第１の円周
φＡ…溝の第２の円周の直径
φＢ…ナイフエッジの第１の円周の直径DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Knife edge 12,103 ... Groove 12a ... Side surface in groove 13 ... Lid 14 ... Convex part 14a, 14b ... Convex part side 15 ... O-ring 15a ... Groove 16,106 ... hole 17 which inserts O-ring 3 circumference 101 ... vacuum vessel 101a ... opening 102 ... CF standard flange 104 ... square ring packing 105b ... bolt 105a ... nut 107 ... second circumference 108 ... first circumference φA ... second groove Diameter of the circumference φB ... Diameter of the first circumference of the knife edge

Claims (13)

ＣＦ規格フランジに真空シールを行うためのシール部材であって、
前記ＣＦ規格フランジは、第１の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第１の円周の外側に形成され且つ前記第１の円周と同心の第２の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、
前記シール部材は、前記第２の円周の直径より小さい直径を有する第３の円周に沿って形成された凸部と、前記第３の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、
前記第２の円周はＣＦ規格によって定められており、
前記凸部の第３の円周は、前記溝の第２の円周と位置合わせするものであり、
前記凸部は、前記溝に挿入するものであり、
前記リング状弾性体は、前記ナイフエッジで潰されるものであることを特徴とするシール部材。 A sealing member for performing a vacuum seal on a CF standard flange,
The CF standard flange includes a knife edge formed along the first circumference, and a second circumference formed outside the first circumference and concentric with the first circumference. A groove formed and adjacent to the knife edge,
The seal member includes a convex portion formed along a third circumference having a diameter smaller than the diameter of the second circumference, and a side surface of the convex portion formed on the inner side of the third circumference. And a ring-shaped elastic body disposed in contact with,
The second circumference is defined by the CF standard,
The third circumference of the convex portion is aligned with the second circumference of the groove,
The convex portion is inserted into the groove ,
The ring-shaped elastic body, the sealing member, characterized in that it is intended to be ulcers in the knife edge. 請求項１において、In claim 1,
前記ＣＦ規格フランジにおける前記ナイフエッジの先端の高さと前記溝の深さの差はＣＦ規格によって定められていることを特徴とするシール部材。The seal member, wherein a difference between the height of the tip of the knife edge and the depth of the groove in the CF standard flange is determined by the CF standard. 請求項１または２において、
前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第２の円周の外側の側面と接することを特徴とするシール部材。 In claim 1 or 2 ,
When the convex portion is inserted into the groove, a side surface of the convex portion is in contact with an outer side surface of the second circumference in the groove. 請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記シール部材は、蓋または真空用配管の端部に形成されるものであることを特徴とするシール部材。 In any one of Claims 1 thru | or 3 ,
The seal member is formed at an end of a lid or a vacuum pipe. 請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記ＣＦ規格フランジは、真空用配管の端部、真空容器の開口部および前記真空容器の内部空間と繋げられた配管の端部のいずれかに形成されるものであることを特徴とするシール部材。 In any one of Claims 1 thru | or 4 ,
The CF standard flange is formed at any one of an end of a vacuum pipe, an opening of the vacuum container, and an end of the pipe connected to the internal space of the vacuum container. . ＣＦ規格フランジとシール部材を備えた真空容器であって、
前記ＣＦ規格フランジは、前記真空容器の開口部または前記真空容器の内部空間と繋げられた真空用配管の端部に形成されており、
前記シール部材は、前記ＣＦ規格フランジに真空シールを行うものであり、
前記ＣＦ規格フランジは、第１の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第１の円周の外側に形成され且つ前記第１の円周と同心の第２の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、
前記シール部材は、前記第２の円周の直径より小さい直径を有する第３の円周に沿って形成された凸部と、前記第３の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、
前記第２の円周はＣＦ規格によって定められており、
前記凸部の第３の円周は、前記溝の第２の円周と位置合わせするものであり、
前記凸部は、前記溝に挿入するものであり、
前記リング状弾性体は、前記ナイフエッジで潰されるものであり、
前記ＣＦ規格フランジに前記シール部材で真空シールが行われていることを特徴とする真空容器。 A vacuum vessel having a CF standard flange and a seal member,
The CF standard flange is formed at the end of the vacuum pipe connected to the opening of the vacuum vessel or the internal space of the vacuum vessel,
The sealing member performs vacuum sealing on the CF standard flange,
The CF standard flange includes a knife edge formed along the first circumference, and a second circumference formed outside the first circumference and concentric with the first circumference. A groove formed and adjacent to the knife edge,
The seal member includes a convex portion formed along a third circumference having a diameter smaller than the diameter of the second circumference, and a side surface of the convex portion formed on the inner side of the third circumference. And a ring-shaped elastic body disposed in contact with,
The second circumference is defined by the CF standard,
The third circumference of the convex portion is aligned with the second circumference of the groove,
Before Kitotsu unit is intended to be inserted into the groove,
The ring-shaped elastic body, which is ulcerative by the knife edge,
Vacuum vessel, wherein a vacuum seal with the sealing member to the CF standard flange is crack line. 請求項６において、In claim 6,
前記ＣＦ規格フランジにおける前記ナイフエッジの先端の高さと前記溝の深さの差はＣＦ規格によって定められていることを特徴とする真空容器。The vacuum container characterized in that a difference between the height of the tip of the knife edge and the depth of the groove in the CF standard flange is determined by the CF standard. 請求項６または７において、
前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第２の円周の外側の側面と接することを特徴とする真空容器。 In claim 6 or 7 ,
A vacuum vessel characterized in that when the convex portion is inserted into the groove, a side surface of the convex portion is in contact with an outer side surface of the second circumference in the groove. 請求項６乃至８のいずれか一項において、
前記シール部材は、前記真空容器の開口部または前記真空用配管の端部を塞ぐ蓋、および、前記真空容器の開口部または前記真空用配管の端部に接続される配管のいずれかに形成されていることを特徴とする真空容器。 In any one of Claims 6 thru | or 8 ,
The seal member is formed on any one of a lid that closes an opening of the vacuum vessel or an end of the vacuum pipe, and a pipe connected to the opening of the vacuum vessel or an end of the vacuum pipe. A vacuum vessel characterized by ＣＦ規格フランジとシール部材を備えた真空用配管であって、
前記ＣＦ規格フランジは、前記真空用配管の端部に形成されており、
前記シール部材は、前記ＣＦ規格フランジに真空シールを行うものであり、
前記ＣＦ規格フランジは、第１の円周に沿って形成されたナイフエッジと、前記第１の円周の外側に形成され且つ前記第１の円周と同心の第２の円周に沿って形成され且つ前記ナイフエッジに隣接して形成された溝とを有し、
前記シール部材は、前記第２の円周の直径より小さい直径を有する第３の円周に沿って形成された凸部と、前記第３の円周の内側に形成され且つ前記凸部の側面に接して配置されたリング状弾性体とを有し、
前記第２の円周はＣＦ規格によって定められており、
前記凸部の第３の円周は、前記溝の第２の円周と位置合わせするものであり、
前記凸部は、前記溝に挿入するものであり、
前記リング状弾性体は、前記ナイフエッジで潰されるものであり、
前記ＣＦ規格フランジに前記シール部材で真空シールが行われていることを特徴とする真空用配管。 A vacuum pipe equipped with a CF standard flange and a seal member,
The CF standard flange is formed at the end of the vacuum pipe,
The sealing member performs vacuum sealing on the CF standard flange,
The CF standard flange includes a knife edge formed along the first circumference, and a second circumference formed outside the first circumference and concentric with the first circumference. A groove formed and adjacent to the knife edge,
The seal member includes a convex portion formed along a third circumference having a diameter smaller than the diameter of the second circumference, and a side surface of the convex portion formed on the inner side of the third circumference. And a ring-shaped elastic body disposed in contact with,
The second circumference is defined by the CF standard,
The third circumference of the convex portion is aligned with the second circumference of the groove,
Before Kitotsu unit is intended to be inserted into the groove,
The ring-shaped elastic body, which is ulcerative by the knife edge,
Vacuum pipe, wherein the vacuum seal is broken line in the sealing member to the CF standard flange. 請求項１０において、In claim 10,
前記ＣＦ規格フランジにおける前記ナイフエッジの先端の高さと前記溝の深さの差はＣＦ規格によって定められていることを特徴とする真空用配管。A vacuum pipe characterized in that the difference between the height of the tip of the knife edge and the depth of the groove in the CF standard flange is determined by the CF standard. 請求項１０または１１において、
前記凸部を前記溝に挿入した際に、前記凸部における側面が、前記溝内における前記第２の円周の外側の側面と接することを特徴とする真空用配管。 In claim 10 or 11 ,
A vacuum pipe characterized in that when the convex portion is inserted into the groove, a side surface of the convex portion is in contact with an outer side surface of the second circumference in the groove. 請求項１０乃至１２のいずれか一項において、
前記シール部材は、前記真空用配管の端部を塞ぐ蓋または前記真空用配管の端部に接続される配管に形成されていることを特徴とする真空容器。 In any one of claims 10 to 12 ,
The said sealing member is formed in the pipe | tube connected to the cover which closes the edge part of the said piping for vacuum, or the edge part of the said piping for vacuum, The vacuum container characterized by the above-mentioned.
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