JP4654013B2 - Connection structure between integrated panel and fluidic device - Google Patents
Connection structure between integrated panel and fluidic device Download PDFInfo
- Publication number
- JP4654013B2 JP4654013B2 JP2004351018A JP2004351018A JP4654013B2 JP 4654013 B2 JP4654013 B2 JP 4654013B2 JP 2004351018 A JP2004351018 A JP 2004351018A JP 2004351018 A JP2004351018 A JP 2004351018A JP 4654013 B2 JP4654013 B2 JP 4654013B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid supply
- fluid
- peripheral surface
- port portion
- discharge port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Joints With Pressure Members (AREA)
- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
Description
本発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造に係り、詳しくは、半導体製造や医療・医薬品製造、食品加工、化学工業等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる高純度液や超純水、或いは洗浄液の配管系等において今後需要が見込まれる流体用の集積パネルと、ポンプ、バルブ、アキュムレータ等の流体デバイスとをシール状態で連通接続させるための接続構造に関するものである。 The present invention relates to a connection structure between an integrated panel and a fluid device, and more specifically, a high-purity liquid or ultrapure water handled in manufacturing processes in various technical fields such as semiconductor manufacturing, medical / pharmaceutical manufacturing, food processing, chemical industry, and the like. Alternatively, the present invention relates to a connection structure for connecting a fluid integrated panel, which is expected to be demanded in the piping system of cleaning liquid, and a fluid device such as a pump, a valve, and an accumulator in a sealed state.
上記接続構造として、例えば、流体デバイスの一例であるバルブと、流体通路が内部形成された集積パネルとを一対の給排流路どうしを連通させて接続連結するものがあり、特許文献1や特許文献2において開示された接続構造が知られている。特許文献1で開示される接続構造は、一対の給排流路を近接させて配列し、夫々に独立したリング状のガスケットを介して複数のボルトで液密に接続連結させるものであり、特許文献2で開示される接続構造は、一対の給排流路を近接させて配列し、それら一対の給排流路に対応する一対の流路孔を有した単一のガスケットを単一の外ねじナットを用いて接続連結させるものである。
As the above connection structure, for example, there is one in which a valve, which is an example of a fluid device, and an integrated panel in which a fluid passage is formed are connected by connecting a pair of supply / exhaust flow paths to each other. A connection structure disclosed in
特許文献1や2に開示されている接続構造は、いずれも多数の流体機器を流体ブロックに集積させて取付ける構造、いわゆる集積配管構造を採るものであり、これは配管系全体のコンパクト化やモジュール化が可能となる点で有用なものである。
上記特許文献1や2に開示された接続構造においては、ガスケットが挟み込まれた一対のフランジ部どうしを所定の面圧に達するまでボルトを締付けることにより、有効なシール性能を出すようになる。しかしながら、ボルトの締付け力が時間と共に低下することは避けられないので、締付け力低下、即ちトルクダウンによる接続部からの漏れを防止するには定期的に増し締めを行う必要があった。ガスケットを用いてシールする場合は非常に高い締付け力が必要になるので、集積パネルや流体デバイスの流体給排口部には高い強度が必要になるとともに、その接続連結するための作業性の点でも不利なものであった。
In the connection structure disclosed in
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、流体の配管系統における集積パネルと流体デバイスとの接続構造に工夫を凝らすことにより、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and the object of the present invention is to perform additional tightening by devising a connection structure between the integrated panel and the fluid device in the fluid piping system. It is an object of the present invention to provide a connection structure between an integrated panel and a fluid device, which can maintain a good sealing property even if it is not necessary, and can improve its assembling workability.
請求項1に係る発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、管状の流体通路4が開口する第1流体給排口部1Aを備えた集積パネル1の前記第1流体給排口部1Aと、管状の流体通路4が開口する第2流体給排口部2Aを備えた流体デバイス2の前記第2流体給排口部2Aとを、前記流体通路4,4どうしをシールする状態で連通接続するにあたり、
前記第1流体給排口部1A及び前記第2流体給排口部2Aの各端面には、前記各流体通路4が互いに正対する状態で開口され、前記第1流体給排口部1Aと前記第2流体給排口部2Aのいずれか一方には、その端面における前記流体通路4の外径側部分に環状溝6が形成され、前記第1流体給排口部1Aと前記第2流体給排口部2Aのいずれか他方には、その端面における前記流体通路4の外径側部分に前記環状溝6に嵌合する環状突起8が形成され、
前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとが互いに引寄せられて、前記環状溝6と前記環状突起8とが圧入嵌合されて嵌合シール部3が形成された接合状態を維持する維持手段Mが装備されるとともに、前記第1及び第2流体給排口部1A,2Aが可撓性を有する合成樹脂材で形成され、
前記環状溝6により構成される前記第1流体給排口部1A又は第2流体給排口部2Aには、前記環状溝6と前記流体通路4との間において環状の第1接合端部5が形成され、この第1接合端部5の内周面の先端部に先拡がりテーパ状のテーパ内周面5aが形成されるとともに、
前記環状突起8により構成される前記第2流体給排口部2A又は第1流体給排口部1Aには、前記環状突起8と前記流体通路4との間において環状の第2接合端部7が形成され、この第2接合端部7の外周面の先端部に、先窄まりテーパ状で前記テーパ内周面5aに当接するテーパ外周面7aが形成され、
前記接合状態においては前記テーパ内周面5aと前記テーパ外周面7aとが圧接されるように構成され、
前記第2接合端部7と前記環状突起8との間は、前記流体通路の軸心P方向において先拡がりする環状の谷部分となっており、この谷部分に前記第1接合端部5の先端部が嵌り込み自在に構成され、
前記テーパ内周面5aと前記テーパ外周面7aとが当接している状態では、前記第1流体給排口部1Aの第1外端面1gと前記第2流体給排口部2Aの第2外端面2gとの軸心P方向の間に間隙が存在するように設定されていることを特徴とするものである。
According to the first aspect of the present invention, in the connection structure between the integrated panel and the fluid device, the first fluid supply / discharge port portion of the integrated
Each end face of the first fluid supply /
The first fluid supply /
The first fluid supply /
The second fluid supply /
In the joined state, the tapered inner
Between the second
In a state where the tapered inner
請求項2に係る発明は、請求項1に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記維持手段Mは、前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとを引寄せて前記接合状態を得るための引寄せ機能を発揮するものに構成されていることを特徴とするものである。
According to a second aspect of the present invention, in the connection structure between the integrated panel and the fluid device according to the first aspect, the maintaining means M includes the first fluid supply /
請求項3に係る発明は、請求項2に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記維持手段Mが、前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aのいずれか一方の外周部に形成された雄ネジ部1nに螺合自在な雌ネジ部21nを備えた筒状ナット21と、前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aのいずれか他方の端部に形成された外向きフランジ2bに前記流体通路4の軸心方向で干渉するよう前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aのいずれか他方の前記外向きフランジ2bに続く管状部2aに外嵌される割型リング25とから成り、
前記筒状ナット21の一端部には、前記外向きフランジ2bの通過は許容し、かつ、前記割型リング25とは前記軸心方向で干渉する開口部24aを有する内向きフランジ24が形成されており、
前記筒状ナット21の前記雄ネジ部1nへの締付け操作によって、前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとが互いに引寄せられるように構成されていることを特徴とするものである。
According to a third aspect of the present invention, in the connection structure between the integrated panel and the fluid device according to the second aspect , the maintaining means M includes a first fluid supply /
An
The first fluid supply /
請求項4に係る発明は、請求項3に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、下記(イ)、(ロ)のうちの少なくとも一方の構成を備えていることを特徴とするものである。
(イ)前記筒状ナット21の、前記内向きフランジ24に隣接する割型リング内嵌部分の内周面部21mが、前記管状の流体通路4と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部21mの内径と、断面矩形に形成された前記割型リング25の外径とがほぼ同一径に形成されている。
(ロ)前記割型リング25の外嵌された前記管状部2aの外径部2kが、前記管状の流体通路4と同心にフラットな外周面に形成され、かつ、その外径部2kの外径と、前記割型リング25の内径とがほぼ同一径に形成されている。
The invention according to
(A) An inner
(B) The
請求項5に係る発明は、請求項2に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記維持手段Mが、前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとの少なくともいずれか一方の端部に形成された外向きフランジ2Aと、この外向きフランジ2Aに形成される貫通孔2hと、この貫通孔2hを通して前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとのいずれか他方に設けられたナット部42に螺着されるボルト41とを有して構成されており、
前記ボルト41を前記ナット部42に螺着させて締付けることにより、前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとが互いに引寄せられるように構成されていることを特徴とするものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the connection structure between the integrated panel and the fluid device according to the second aspect , the maintaining means M includes the first fluid supply /
The first fluid supply /
請求項6に係る発明は、請求項1〜6の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記第1及び第2流体給排口部1A,2Aがフッ素樹脂によって形成されていることを特徴とするものである。
The invention according to
請求項1の発明によれば、集積パネルの第1流体給排口部と流体デバイスの第2流体給排口部とにより、環状溝と環状突起とが各流体通路の軸心方向に沿って嵌め込まれることによる嵌合シール部が形成されるから、この嵌合シール部の存在により、両流体給排口部どうしを互いに強く押し合わなくても優れたシール作用が発揮されるようになる。従って、両流体給排口部どうしを接合状態に維持するための維持手段は、各流体給排口部どうしを嵌合させるにあたり、従来のような高い圧力で押し付けあう必要はなく、接合状態を維持するに足りる程度の押し付け力が生じるようにすれば足りるとともに、強い締付けによる各流体給排口部の変形も生じないので、各流体給排口部の流体通路どうしが凹凸なく一定の径のものとして、液溜りが生じないようにすることも可能になる。その結果、環状溝と環状突起とを径方向に圧接する構造により、維持手段の経時変化に伴うトルクダウンが少なくなって、増し締めが不要或いは殆ど行わなくても良いものとなり、長期に亘って良好なシール性能が維持できるとともに、組付け作業性が改善され、かつ、ガスケットが無い分のコストダウンも図れる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。 According to the first aspect of the present invention, the annular groove and the annular protrusion are formed along the axial direction of each fluid passage by the first fluid supply / discharge port portion of the integrated panel and the second fluid supply / discharge port portion of the fluid device. Since the fitting seal portion is formed by fitting, the presence of this fitting seal portion provides an excellent sealing action even if the fluid supply / exhaust port portions are not strongly pressed against each other. Therefore, the maintaining means for maintaining the fluid supply / discharge port portions in the joined state does not need to be pressed at a high pressure as in the prior art when fitting the fluid supply / exhaust port portions. It is sufficient to generate a pressing force sufficient to maintain the pressure, and deformation of each fluid supply / exhaust portion due to strong tightening will not occur. As a matter of fact, it is possible to prevent the liquid from being accumulated. As a result, due to the structure in which the annular groove and the annular protrusion are pressed in the radial direction, the torque down associated with the aging of the maintaining means is reduced, and additional tightening is unnecessary or almost not required. It is possible to provide a connection structure between an integrated panel and a fluid device that can maintain good sealing performance, improve workability of assembly, and reduce the cost because there is no gasket.
第1、2流体給排口部に振り分けられて形成された環状溝と環状突起とが互いに嵌り合って嵌合シール部を形成するので、第1、2流体給排口部間からの液漏れを阻止できて優れたシール性を得ることが可能になる。例えば、半導体製造設備における洗浄装置の配管系統にこのような接続構造を用いれば、良好なシール性を確保し得ながら装置の占有面積を減少できてコスト上有利であるとともに、大流路が確保されることによって循環流量を多くし、薬液の高純度化を高めて歩留まり向上に寄与できるという効果を奏する。そして、維持手段によって両流体給排口部どうしは互いに接近すべく引寄せられた接近状態を維持できるので、集積パネルと流体デバイスとが液漏れなく良好なシール性を確保し得る状態を長期に亘って維持可能となり、信頼性に優れる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。 Since the annular groove and the annular projection formed by being distributed to the first and second fluid supply / exhaust portions fit together to form a fitting seal portion, liquid leakage from between the first and second fluid supply / exhaust portions Can be prevented and excellent sealing performance can be obtained. For example, if such a connection structure is used in the piping system of a cleaning device in a semiconductor manufacturing facility, the area occupied by the device can be reduced while ensuring good sealing performance, and a large flow path is secured. As a result, the circulation flow rate is increased, and the high purity of the chemical solution can be enhanced to contribute to the yield improvement. And since both the fluid supply / discharge ports can be kept close to each other by the maintenance means, the integrated panel and the fluid device can maintain a good sealing property without liquid leakage for a long time. Therefore, it is possible to provide a connection structure between an integrated panel and a fluid device that can be maintained for a long time and has excellent reliability.
請求項1の発明によれば、嵌合シール部が形成される接合状態においては、第1流体給排口部と第2流体給排口部とのいずれか一方の環状溝と、いずれか他方の環状突起との嵌合部分の内径側に、第1接合端部5のテーパ内周面と第2接合端部のテーパ外周面とが圧接される構成が存在しており、それによってよりシール性に優れるとともに液溜り箇所がなく高純度化が促進できるシール部が構成されるに加えて、次のような効果を得ることができる。即ち、詳しくは実施例において述べるが、環状溝の内径側部分の剛性が不足するような場合には、環状突起の環状溝への嵌合に伴い、環状突起状の第1接合端部5が内径側に傾き変形するおそれがある。しかしながら、その傾き変形しようとする第1接合端部を内径側から第2接合端部が支える構成となっており、第1接合端部の剛性不足を補ってその内径側への傾き変形を阻止でき、それによって液溜りの生じない流体通路を確保することができる。
According to the first aspect of the present invention, in the joined state in which the fitting seal portion is formed, either one of the first fluid supply / discharge port portion and the second fluid supply / discharge port portion and the other There is a configuration in which the tapered inner peripheral surface of the first
請求項2の発明によれば、維持手段は第1流体給排口部と第2流体給排口部との接合状態を維持するだけでなく、第1流体給排口部と第2流体給排口部とを引寄せて接合状態を得るための引寄せ機能も発揮できるので、他に引寄せ手段を用意する必要が無くなり、全体としての組付け手間の省略化やコストダウンが可能となる利点がある。
According to the invention of
請求項3の発明によれば、いずれか一方の流体給排口部の外向きフランジに割型リングを介して係合されている筒状ナットを、いずれか他方の流体給排口部の雄ネジに螺進させるだけの簡単な操作により、環状突起と環状溝とを嵌合させて第1,2流体給排口部どうしを、つまりは集積パネルと流体デバイスとをシール状態で連通接続することができる。そして、筒状ナットの螺進を止めるだけで、その接合状態を維持することができる便利で扱い易い引き寄せ機能付きの維持手段が、コンパクトで場所を取らない合理的なものとして得られる。
According to the invention of
また、筒状ナットはいずれか一方の流体給排口部に外嵌装着及び離脱が自在であり、外嵌装着状態では割型リングを介していずれか一方の流体給排口部に軸方向で干渉するから、筒状ナットによる第1,2流体給排口部どうしの接続を可能にしながら、割型リング及び筒状ナットをいずれか他方の流体給排口部に後付け装着することが自在である。加えて、少ない部品数で、かつ、少ない部品種として経済的、合理的なものとしながら筒状ナットの締付け力を確実にいずれか他方の流体給排口部に伝達することができる。従って、いずれか他方の流体給排口部の製造時に筒状ナットをその管状部に外嵌装着させておく、という難しい製造手段を採ることなく、筒状ナットを用いて集積パネルと流体デバイスとの接続操作が簡単で便利に行える。 In addition, the cylindrical nut can be freely fitted and removed from either one of the fluid supply / exhaust ports, and in the fitted state, the cylindrical nut can be axially connected to one of the fluid supply / discharge ports via a split ring. Because it interferes, it is possible to attach the split ring and the cylindrical nut to either one of the other fluid supply / exhaust ports while allowing connection between the first and second fluid supply / exhaust ports by the cylindrical nuts. is there. In addition, the tightening force of the cylindrical nut can be reliably transmitted to one of the other fluid supply / exhaust ports while being economical and rational with a small number of parts and a small number of parts. Therefore, without taking the difficult manufacturing means of fitting and fitting the cylindrical nut to the tubular portion at the time of manufacturing the other fluid supply / discharge port portion, Connection operation is easy and convenient.
請求項4の発明によれば、(イ)筒状ナットの内径部の内奥部における内向きフランジに隣接する部分が管状の流体通路と同心にフラットな内周面部に形成され、かつ、その内周面部の内径と、断面矩形に形成された割型リングの外径とがほぼ同一径に形成される構成と、(ロ)割型リングの外嵌された管状部の外径部が、管状部の流体通路と同心にフラットな外周面に形成され、かつ、その外径部の外径と、割型リングの内径とがほぼ同一径に形成される構成との少なくとも一方を有するから、筒状ナットを螺進させた際に割型リングが傾いて抉るような状態になったり、外向きフランジに筒状ナットの螺進による軸心方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不具合を軽減することができ、外向きフランジを効果的に押圧できて、両流体給排口部どうしを互いに接近する方向に良好に引寄せることができる利点が得られる。特に、構成(イ)、(ロ)の双方を備えれば上記不具合を防止する上記作用効果がより強化されるようになる。
According to the invention of
請求項5の発明によれば、両流体給排口部に形成された孔を通すことで、それら両流体給排口部どうしに亘って挿通されるボルト及びナット部を設けるだけの簡単な手段で引寄せ機能付きの維持手段を構成することができる。つまり、構造簡単で廉価な維持手段としながら種々の利点を有する集積パネルと流体デバイスとの接続構造を得ることができる。 According to the fifth aspect of the present invention, a simple means is provided simply by providing bolts and nuts that are inserted through the fluid supply / exhaust ports by passing through holes formed in the fluid supply / discharge ports. Thus, it is possible to constitute a maintenance means with a drawing function. That is, it is possible to obtain a connection structure between an integrated panel and a fluid device, which has various advantages while being a simple and inexpensive maintenance means.
請求項6の発明によれば、両流体給排口部が耐薬品性及び耐熱性に優れた特性を有するフッ素系樹脂で形成されているので、流体が薬液であるとか化学液体であっても、或いは高温流体であっても嵌合シール部の構造部分が変形して漏れ易くなることがなく、良好なシール性が維持し得る集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。尚、フッ素系樹脂は、水素原子の一個以上をフッ素で置換したエチレンおよびその誘導体の重合によって得られる樹脂状物質であり、高温にも安定で、撥水性に優れる。また摩擦係数が小さく、耐薬品性もきわめて高く、電気絶縁性も高い点で好ましい。
According to the invention of
以下、本発明による集積パネルと流体デバイスとの接続構造の好適な実施形態を、図面を参照しながら説明する。図1〜図4は、実施例1による集積パネルとバルブとの接続構造等を示す図であり、図5,6は、実施例2による集積パネルとフランジ配管との接続構造等を示す図である。また、図7,8は、実施例3による集積パネルとフランジ配管との接続構造等を示す図である。 Hereinafter, preferred embodiments of a connection structure between an integrated panel and a fluid device according to the present invention will be described with reference to the drawings. 1-4 is a figure which shows the connection structure of the integrated panel and valve | bulb by Example 1, etc., FIG.5, 6 is a figure which shows the connection structure of the integrated panel and flange piping by Example 2, etc. FIG. is there. 7 and 8 are diagrams showing a connection structure between the integrated panel and the flange pipe according to the third embodiment.
〔実施例1〕
実施例1による集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、図1に示すように、集積パネル1と手動式ストップバルブ(流体デバイスの一例)2との接続部に構成されている。即ち、軸心Pを有する管状の流体通路4が開口する第1流体給排口部1Aを備えた集積パネル1の第1流体給排口部1Aと、軸心Pを有する管状の流体通路4が開口する第2流体給排口部2Aを備えた手動式ストップバルブ2の第2流体給排口部2Aとを、それぞれの流体通路4,4どうしをシールする状態でダイレクトに連通接続する接続構造である。
[Example 1]
As shown in FIG. 1, the connection structure between the integrated panel and the fluid device according to the first embodiment is configured at a connection portion between the
種々の流体デバイスが接続されるターミナル的な部材である集積パネル1は、図1、図2に示すように、PFAやPTFE等のフッ素樹脂製のパネル材(又はブロック材)1Hの内部に種々の流体通路(図示省略)が形成されているものであり、そのうちの一つが側面1aに開口する横向きの流体通路4である。また、手動式ストップバルブ2は、図1、図2に示すように、バルブ本体2hと、回動操作部2Kと、供給側(IN側)と排出(OUT側)との一対の流体給排口部2A,2B等を有して構成された公知のものである。第2流体給排口部2Aは、管状部2aと、その先端に形成されるフランジ部2bとを有して形成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
実施例1においては、第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとは互いに共通の軸心Pを有しており、図2に示すように、第1流体給排口部1Aには、その端面に開口する流体通路4の外径側部分に形成された環状溝6を有する第1シール端部t1が構成されている。第2流体給排口部2Aには、その端面に開口する流体通路4の外径側部分に、環状溝6に嵌合するよう突出形成された環状突起8を有する第2シール端部t2が構成されている。第1流体給排口部1Aの流体通路4の径d1と、第2流体給排口部2Aの流体通路4の径d2とは互いに同じ径(d1=d2)に形成されている。そして、第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとに亘って、環状溝6と環状突起8とが互いに嵌め合わされて嵌合シール部3を形成するよう、第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとを互いに引寄せるとともに、この引寄せ状態を維持する引寄せ手段機能付の維持手段Mを備えている。
In the first embodiment, the first fluid supply /
集積パネル1の第1シール端部t1は、第1流体給排口部1Aの端面における流体通路4の外径側部分に、流体通路4と同心で、かつ、軸心P方向に開放される状態で形状された環状溝6により構成される。また第1シール端部t1は、環状溝6の内周面6aと流体通路4との間に形成される環状の突起である第1接合端部5を有しており、その先端内周側には先拡がりテーパ状のテーパ内周面5aが形成されている。環状溝6は、流体通路4から外径側に比較的近い位置において流体通路4の軸心P方向に深い断面矩形を呈する形状に形成されており、その内周面6aは第1接合端部5の外周面を兼ねている。
The first seal end t1 of the
手動式ストップバルブ2の第2シール端部t2は、第2流体給排口部2Aの端面における流体通路4の外径側部分に、流体通路4と同心で、かつ、環状溝6に圧入嵌合するよう一体に突出形成された環状突起8により構成される。また第2シール端部t2は、環状突起8と流体通路4との間に形成される環状の第2接合端部7を有しており、その先端外周面には、テーパ内周面5aに当接する先窄まりテーパ状のテーパ外周面7aが形成されている。環状突起8は、流体通路4の軸心P方向に長い断面矩形を呈する形状に形成されており、その突出長さは環状溝6の深さよりも若干短い寸法に設定されている。第2接合端部7と環状突起8との間は、軸心P方向において先拡がりする環状の谷部分となっており、この谷部分に第1接合端部5の先端部が嵌り込み自在に構成されている。
The second seal end t2 of the
図2、図4に示すように、環状突起8の自由状態における厚み、即ち径方向寸法が環状溝6の自由状態における溝幅、即ち径方向寸法を上回る値に設定されており、維持手段Mによって環状溝6と環状突起8とが互いに嵌合して形成される嵌合シール部3は、環状溝6の内周面6a及び外周面6bの双方と環状突起8とが径方向で圧接される一次及び二次シール部S1,S2により構成される。この場合、嵌合シール部3としては、一次及び二次シール部S1,S2の両方が形成されることがシール性を高める点で好ましいが、一次シール部S1のみ、又は二次シール部S2のみが形成されるものでも良い。
As shown in FIGS. 2 and 4, the thickness of the
維持手段Mによって両流体給排口部1A,2Aが互いに接近する方向に引寄せられて行くと、まず、環状溝6と環状突起8とが嵌合し、その大部分が嵌合してからテーパ内周面5aとテーパ外周面7aとが当接するようになる。そして、これらテーパ内周面5aとテーパ外周面7aとが強く圧接して、第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとの接近移動が止まった状態では、環状溝6と環状突起8との軸心P方向の間、及び第1流体給排口部1Aの端面の環状溝6より外径側の部分である第1外端面1gと、第2流体給排口部2Aの端面の環状突起8より外径側の部分である第2外端面2gとの軸心P方向の間の夫々には、それぞれ間隙が存在するように設定されている。これにより、環状溝6と環状突起8との嵌合による嵌合シール部3の一次及び二次シール部S1,S2の有効なシール機能が得られるとともに、テーパ内周面5aとテーパ外周面7aとの圧接によって形成される三次シール部S3により、互いに同径の両流体通路4,4間に液溜り無くクリーンな状態で液体を流すことができる。
When the fluid supply /
維持手段Mの具体例としては、例えば、図2及び図3に示すように、集積パネル1の第1流体給排口部1Aの外周部に形成された雄ネジ1nに螺合自在な雌ネジ21nを備えた筒状ナット21と、手動式ストップバルブ2のフランジ状の第2流体給排口部2Aにこれの軸心P方向で干渉する二つ割り、または三つ割り以上の割型リング25とから構成される。割型リング25が第2流体給排口部2Aの管状部2aに外嵌装備され、かつ、筒状ナット21に内嵌合されている状態として、筒状ナット21を軸心方向に移動させてその雌ネジ21nを雄ネジ1nに螺合させて締付け操作することにより、第1及び第2流体給排口部1A,2Aどうしを互いに接近する方向に引寄せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる。
As a specific example of the maintaining means M, for example, as shown in FIGS. 2 and 3, a female screw that can be screwed into a
筒状ナット21の内向きフランジ24の開口部24aは、フランジ部2bの通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されており、割型リング25の外径は、筒状ナット21に入り込み自在となるよう雌ネジ21n及びこれに連なる内径部21aの内径よりも若干小さい寸法に設定され、かつ、内径は、管状部2aに外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。
The opening 24 a of the
また、図2における第2流体給排口部2Aに示すように、割型リング25の外嵌された管状部2aの外径部2kが、流体通路4と同心にフラットな外周面に形成され、かつ、その外径部2kの外径と割型リング25の内径とが、外径部2kの外径よりも割型リング25の内径が大となる領域においてほぼ同一径に形成される構成とすればより好都合である。この構成を採れば、筒状ナット23の締付け操作の際に割型リング25と管状部2aとが抉れたりすることなく円滑に相対移動でき、維持手段Mによる両流体給排口部1A,2Aの引寄せ移動を効率良く行う機能が促進される。
Further, as shown in the second fluid supply /
さらに、筒状ナット21における雌ネジ21nの内奥端と内向きフランジ24との間に、割型リング25に軸方向に摺動自在で、かつ割型リング25の幅寸法をカバーする軸心P方向長さを有する内周面部21mが、流体通路4と同心にフラットな状態に形成されている。即ち、筒状ナット21の雌ネジ21nと内向きフランジ24との間における内径部21aが流体通路4と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内径部21aの内径が、断面矩形に形成された割型リング25の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に精度良く寸法設定されることで内周面部21mに仕上げられている。これにより、筒状ナット21を螺進させた際に割型リング25が傾いて抉るような状態になったり、筒状ナット21の螺進による軸心P方向の押圧力がフランジ部2bにうまく伝わらなかったりする、という不都合が生じることが防止され、有効にフランジ部2bを押して、第1及び第2流体給排口部1A,2Aとを互いに接近する方向に円滑に引寄せることができる。
Further, between the inner back end of the
維持手段Mを用いて両流体給排口部1A,2Aを接続連結する操作手順は次のようである。まず、図3(a)に示すように、筒状ナット21をフランジ部2bを通過させて第2流体給排口部2Aの管状部2aの外周に嵌装する。次いで、図3(b)に示すように、割型リング25を、フランジ部2bと筒状ナット21の先端との間を通して管状部2aに外嵌装備させる。次いで、第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとを互いにあてがい、その状態で筒状ナット21をスライド移動させてから第1流体給排口部1Aの雄ネジ1nに螺着させて締付け操作[図3(c)参照]することにより、図1や図2に示す接合状態が得られる。
The operation procedure for connecting and connecting the fluid supply /
前述したように、環状溝6の径方向寸法よりも環状突起8の径方向寸法を若干大きくして圧入状態で挿入させる構造にしておくと、内周面6a及び外周面6bと環状突起8とが径方向に強く圧接されて、極めて有効な一次シール部S1及び二次シール部S2が得られる。この場合、両流体給排口部1A,2Aの環状溝6の外径側部分には十分な厚み(径方向寸法)があり、それによって十分な剛性があるが、環状溝6の内径側部分は、厚みの薄い(径方向寸法の短い)第1接合端部5のみが存在し、剛性に富む状態ではない。そのため、環状突起8の環状溝6への圧入嵌合に伴い、第1接合端部5が内径側に傾き変形して、環状突起8と環状溝6との接触圧が下がるとか、部分的に流体通路4の径が縮小されるといった不都合の生じるおそれがある。
As described above, when the radial dimension of the
しかしながら、図2に示すように、第1接合端部5の内径側には、テーパ内周面5aとテーパ外周面7aとが圧接される状態で第2接合端部7が存在するので、その第2接合端部7の存在によって第1接合端部5の内径側への傾き変形(縮径変形)が阻止されるようになる利点がある。つまり、テーパ内周面5aとテーパ外周面7aとの圧接による三次シール部S3としての機能が得られるばかりでなく、第1接合端部5の剛性不足を補って、円管状の各流体通路4,4の径が変化しないように規制し、かつ、一次シール部S1と二次シール部S2の接触圧力の低下を防ぐことができ、流体の円滑な流れと優れたシール性能とを有効に発揮できるという効果が発揮される。
However, as shown in FIG. 2, the second
嵌合シール部3を形成する環状溝6と環状突起8との関係については前にも少し述べたが、図4に示すように、環状溝6の自由状態における径幅(溝幅)6wと環状突起8の自由状態における径幅(厚み)8wとが、6w×(1.05〜1.5)=8wとなるように、環状溝6の径幅(溝幅)を環状突起8の径幅(厚み)よりも狭くして両者を圧入嵌合させて嵌合シール部3を形成することが好ましい。これにより、環状溝6と環状突起8との嵌合により形成される嵌合シール部3により液漏れのない極めて良好なシール性を発揮することが可能となる。また、前述したように、このシール接続状態においては、環状溝6と環状突起8との間に軸心P方向の隙間が形成されるよう、環状溝6の凹入深さを環状突起8の突出量よりもやや大きい値とすれば、テーパ内周面5aとテーパ外周面7aとが確実に押圧当接される点で好都合である。
Although the relationship between the
テーパ内周面5aとテーパ外周面7aとの関係は、図4に示すように、両流体給排口部1A,2Aが軸心P方向の移動によって相対接近移動される場合には、第2接合端部7におけるテーパ外周面7aの先端側から第1接合端部5のテーパ内周面5aに当接するよう、テーパ内周面5aの傾斜角度θに比べてテーパ外周面7aの傾斜角度αの方を1〜30度、好ましくは3〜10度小さくする(1〜30度+α=θ)のが良い。また、筒状ナット22の締付け後もテーパ外周面7aの先端部分以外はテーパ内周面5aとの間に隙間を持たせて、テーパ外周面7aの先端部分とテーパ内周面5aとの面圧を高める三次シール部S3を形成することができて好ましい。
As shown in FIG. 4, the relationship between the taper inner
環状溝6は、図4に示すように、その開口側端部を、環状突起8が入り易くなるように、先拡がりする状態に傾斜させたテーパ面6cに形成しても良い。環状突起8の先端角部8aを、図4に示すように、環状溝6に入り易くするために、面取り加工等によって斜めにカットした形状としても良い。環状突起8とシール端部7との間の隅角部sが、図4に示すように、滑らかに形状変化するよう曲面処理が行われたものとしても良い。また、シール端部7の先端部分7bを、図4に示すように、ピン角とならないよう面取りされた形状としても良い。なお、筒状ナット22、割型リング25はPFAやPTFE等のフッ素樹脂製の他、金属やアルミ合金等の非鉄金属等種々の材質が可能である。
As shown in FIG. 4, the
ところで、図2における第2流体給排口部2Aに示すように、割型リング25の外嵌された管状部2aの外径部2kが、管状の流体通路4と同心にフラットな外周面に形成され、かつ、その外径部2kの外径と割型リング25の内径とが、外径部2kの外径よりも割型リング25の内径が大となる領域においてほぼ同一径に形成される構成とすればより好都合である。この構成を採れば、筒状ナット21の締付け操作の際に割型リング25と管状部2aとが抉れたりすることなく円滑に相対移動でき、維持手段Mによる両流体給排口部1A,2Aの引寄せ移動を効率良く行う機能が促進される。
By the way, as shown in the second fluid supply /
〔実施例2〕
実施例2による集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、図5、図6に示すように、集積パネル1とフランジ配管2との接続構造である。つまり、フッ素樹脂製の集積パネル1の第1流体給排口部1Aと、フッ素樹脂製のフランジ配管2の第2流体給排口部2Aとを、それぞれの流体通路4,4どうしをシールする状態で連通接続する構成である。フランジ配管2は、管状部2Bと、これの端部であるフランジ部2Aとで構成されており、フランジ部2Aが第2流体給排口部2Aとして機能する。そして、両流体給排口部1A,2Aに跨って構成される維持手段Mの機能により、集積パネル1の側面で成る第1流体給排口部1Aに形成された第1シール端部t1と、フランジ配管2のフランジ部2Aに形成された第2シール端部t2とが嵌め合わされて嵌合シール部3が形成され、かつ、その嵌合シール部3が形成された接合状態が維持されるように構成されている。
[Example 2]
The connection structure between the integrated panel and the fluid device according to the second embodiment is a connection structure between the
集積パネル1の第1シール端部t1、及びフランジ配管2の第2シール端部t2は、図4等に示す実施例1のものと同じであり、その接続部の構造も図2に示す実施例1のものと同じに付き、その接続構造部分の説明は割愛する。但し、第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとを互いに引寄せ、かつ、その引き寄せ状態を維持する引き寄せ機能付き維持手段Mは、実施例1のものと異なる。
The first seal end t1 of the
この場合の維持手段Mは、図5及び図6に示すように、集積パネル1を横方向に貫通する状態に形成された段付き孔1Hと、フランジ配管2のフランジ部2Aに形成された貫通孔2hと、これら段付き孔1Hと貫通孔2hとに亘って軸心P方向に沿う状態で挿通されたボルト41及びナット(ナット部の一例)42とを有して構成されている。段付き孔1Hは、ボルト41の軸部分41a挿通する小孔部31、ナット42の回し工具の入る程度の径に設定された大孔部32、及びこれら小孔部31と大孔部32との境目である段差面33とを有して構成されている。尚、ナット部42としては、集積パネル1自体に形成された雌ネジでも良い。
As shown in FIGS. 5 and 6, the maintaining means M in this case includes a stepped
この維持手段Mを構成するボルト41及びナット42は、軸心Pに関する周囲の複数箇所(例:3箇所)に均等角度毎に配備されており、第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとを互いに接近する方向に引寄せ自在に、かつ、引寄せ状態を維持自在である。つまり、ボルト41・ナット42の締付け操作により、集積パネル2とフランジ配管2とを互いに接近移動させて、第1シール端部t1の環状溝6と第2シール端部t2の環状突起8とが圧入嵌合することによる嵌合シール部3、並びに第1接合端部5のテーパ内周面5aと第2接合端部7のテーパ外周面7aとが圧接する状態がもたらされる。これにより、環状溝6と環状突起8との圧入嵌合による一次及び二次シール部S1,S2、及びテーパ内周面5aとテーパ外周面7aとの圧接による三次シール部S3が形成されるとともに、そのシール接続状態の維持が行える。
〔実施例3〕
実施例3による集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、図7に示すように、集積パネルとフランジ配管2との接続構造である。実施例1,2による接続構造では、第1シール端部t1に環状溝6を、かつ、第2シール端部t2に環状突起8を形成する構成であるが、実施例3においてはそれとは反対に、第1シール端部t1に環状突起8を、かつ、第2シール端部t2に環状溝6を形成する構成である。この場合、集積パネル1の第1流体給排口部1Aは、第1管状部1aとその先端の第1フランジ部1bとから構成されており、フランジ部1bの先端面に第1シール端部t1が形成されるとともに、フランジ配管2は、第2管状部2Bと、その先端に形成される第2フランジ部2A、即ち第2流体給排口部2Aとを有して構成される。
Example 3
The connection structure between the integrated panel and the fluid device according to the third embodiment is a connection structure between the integrated panel and the
すなわち、この実施例3による接続構造では、フランジ配管2の第2流体給排口部2Aに形成される第2シール端部t2は、第2流体給排口部2Aの端面における流体通路4の開口端部の外径側部分に、流体通路4と同心で、かつ軸心P方向に開放される状態に形成される環状溝6により構成される。この第2シール端部t2は、環状溝6の内周面6aと流体通路4との間に形成される環状の第1接合端部5を有しており、その先端部の内周側には先拡がりテーパ状のテーパ内周面5aが形成されている。なお、環状溝6は、流体通路4から外径側に比較的近い位置において、流体通路4の軸心P方向に深い断面矩形を呈する形状に形成されており、その内周面6aは第1接合端部5の外周面を兼ねている。
That is, in the connection structure according to the third embodiment, the second seal end t2 formed in the second fluid supply /
一方、集積パネル1の第1フランジ配管1Aにおける第1フランジ部1bに形成される第1シール端部t1は、第1フランジ部1bの端面における円管状の流体通路4の開口端部の外径側部分に、流体通路4と同心に、かつ、環状溝6に圧入嵌合するよう一体に突出形成される環状突起8により構成される。この第1シール端部t1は、環状突起8と流体通路4との間に形成される環状の第2接合端部7を有しており、その先端部の外周側には、テーパ内周面5aに当接する先窄まりテーパ状のテーパ外周面7aが形成されている。なお、環状突起8は、流体通路4の軸心P方向に長い断面矩形を呈する形状に形成されており、その突出長さは環状溝6の深さよりも若干短い寸法に設定されている。第2接合端部7と環状突起8との間は、先拡がりする環状の谷部分となっており、この谷部分に第1接合端部5が嵌り込み自在に構成されている。
On the other hand, the first seal end t1 formed in the
また、第2シール端部t2を構成する環状溝6に、これよりも径方向寸法の大なる環状突起8を圧入嵌合させたシール接続状態において有効な一次及び二次シール部S1,S2の機能を得るべく、環状溝6の外径側には、径方向寸法を十分に大きくして剛性を持たせた環状の外周突起部19が形成されている。そして、第1シール端部t1を構成する環状突起8の外径側には、軸心P方向に隙間を伴って外周突起部19を嵌合させるための環状径大溝20が形成されている。また、外周突起部19の外径側には、外周突起部19に対して軸心P方向及び径方向に隙間を有した状態で第1フランジ部1bの第1外径部分1gが回り込むようにしてある。
Further, the primary and secondary seal portions S1 and S2 effective in the seal connection state in which the
本構造においても、環状溝6の内側周面6aと環状突起8との圧接による一次シール部S1、及び環状溝6の外側周面と環状突起8との圧接による二次シール部S2が形成されるとともに、第1接合端部5のテーパ内周面5aと第2接合端部7のテーパ外周面7aとが圧接することによる三次シール部S3が形成される接合状態が得られる。つまり、テーパ内周面5aとテーパ外周面7aとが確実に接触するように、環状溝6と環状突起8との間、外周突起部19と環状径大溝20との間、及び第2流体給排口部2Aの第2外径部分2gと第1外径部分1gとの間における夫々の軸心P方向には隙間が生じるように設定されている。実施例3による接続構造に用いられる維持手段Mは、第1,2流体給排口部1A,2Aどうしを互いに接近する方向に引寄せ自在に、かつ、引寄せ状態を維持自に構成されており、その構造を次に説明する。
Also in this structure, a primary seal portion S1 is formed by pressure contact between the inner
実施例3に用いられる維持手段Mは、図7,8に示すように、二組の割型リング35,25と一対の筒状ナット22,23との計四個の部品から構成されている。第1流体給排口部1Aに外嵌される第1割型リング35は、第1フランジ部1bより大なる外径を有するとともに流体通路4の軸心P方向で第1フランジ部1bに干渉するように寸法設定されて、第1管状部1aに外嵌自在なものであり、二つ割り、または三つ割り以上の割型リングに構成されている。第1の筒状ナット22は、第1フランジ部1bの通過は許容し、かつ、第1割型リング35とは軸心P方向で干渉する開口部24aを有する内向きフランジ24が一端部に形成され、かつ、他端部の外周に雄ネジ部22nが形成された略筒状部材に構成されている。
As shown in FIGS. 7 and 8, the maintaining means M used in the third embodiment is composed of a total of four parts including two sets of split rings 35 and 25 and a pair of
フランジ配管2に外嵌装備される第2割型リング25は、第2フランジ部2Aより大なる外径を有し、かつ、軸心P方向で第2フランジ部2Aに干渉するよう寸法設定されて、第2管状部2Bに外嵌自在なものであり、二つ割り、または三つ割り以上の割型リングに構成されている。本実施例においては、第2割型リング25の外径と第1割型リング35の外径とは互いに同じであるが、互いに異なっても可である。第2の筒状ナット23は、第2フランジ部2Aの通過は許容し、かつ、第2割型リング25とは軸心P方向で干渉する開口部24aを有する内向きフランジ24が一端部に形成され、かつ、他端部の内周には雄ネジ部22nに螺合自在な雌ネジ部23nが形成された略筒状部材に構成されている。つまり、第2の筒状ナット23の径は第1の筒状ナット22の径よりも大径である。そして、雄ネジ部22nと雌ネジ部23nとを螺合させての両筒状ナット22,23どうしの締付け操作によって、第1フランジ部1bと第2フランジ部2Aとが、即ち第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとが互いに接近する方向に引寄せられ、かつ、その引寄せ状態が維持可能に構成されている。
The
各筒状ナット22,23の内向きフランジ24の開口部24aは、各フランジ部1b,2Aの通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されている。各割型リング35,25の外径は、第1の筒状ナット22の内径部22aに入り込み自在となるよう、この内径部22aの内径よりも若干小さい寸法に設定され、かつ、内径は、各管状部1a,2Bに外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。第2の筒状ナット23における内向きフランジ24に隣接する部分には、第2割型リング25を密に内嵌するために雌ネジ部23n及びこれに連なる内径部23aよりも径の小なる内周面部23mが形成されている。
The
第1の筒状ナット22の内径部22aにおける内向きフランジ24に隣接する部分には、第1割型リング35に軸方向に摺動自在で、かつ、第1割型リング35の幅寸法をカバーする軸心P方向長さを有する内周面部22mが、流体通路4と同心にフラットな内周面に形成されている。また、前述した第2の筒状ナット23の内周面部23mも、流体通路4と同心にフラットな内周面に形成されている。即ち、第1の筒状ナット22の内径部22aの内奥部である内周面部22mが流体通路4と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部22mの内径が、断面矩形に形成された第1割型リング35の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定される一方、第2の筒状ナット23の内周面部23mが流体通路4と同心にフラットな外周面に形成され、かつ、その内周面部23mの内径が、断面矩形に形成された第1割型リング35の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定されている。尚、各割型リング35,25の内径は、各フランジ部1b,2Aと面当接するよう、各々の管状部1a,2Bにおける各フランジ部1b,2Aの付根の径とほぼ同じ径に設定されている。
A portion adjacent to the
これにより、第1及び第2の筒状ナット22,23どうしを螺着させて各筒状ナット22,23を螺進させた際に各割型リング35,25が傾いて抉るような状態になったり、各フランジ部1b,2Aに第1及び第2の筒状ナット22,23の螺進による軸心P方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都合が生じることが防止され、有効に各フランジ部1b,2Aを押して、両フランジ部1b,2Aを互いに接近する方向に良好に引寄せることができるように構成されている。つまり、筒状ナット22,23の内向きフランジ24に隣接する割型リング内嵌部分の内周面部22m,23mが、管状の流体通路4と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部22m,23mの内径と、断面矩形に形成された割型リング35,25の外径とが、内周面部22m,23mの内径が割型リング35,25の外径よりも大となる領域においてほぼ同一径に形成されている。
As a result, when the first and second
維持手段Mを用いて両流体給排口部1A,2Aどうしを接続連結する操作手順は次のようである。先ず、図8(a)に示すように、第1の筒状ナット22を、第1フランジ部1bの外径側を通過させて第1流体給排口部1Aの第1管状部1aの外周に嵌装し、かつ、第2の筒状ナット23を、第2フランジ部2Aの外径側を通過させてフランジ配管2の第2管状部2Bの外周に嵌装する。各筒状ナット22,23は、夫々第1、第2フランジ部1b,2Aを通過できるものであるから、これら集積パネル1及びフランジ配管2が、それらの他端が他の流体デバイス等に既に接続されている場合でも、問題なくフランジ部1b,2A側の端部から各管状部1a,2Bに外嵌させることができる。なお、各筒状ナット22,23の内向きフランジ側端に、スパナ工具等で回動操作するための六角部又は二面幅部を形成しておけば、締付け及び分解操作上で好都合である。
The operation procedure for connecting and connecting the fluid supply /
次いで、図8(b)に示すように、第1割型リング35を、第1フランジ1bと第1の筒状ナット22の先端との間を通して、第1フランジ部1bの側面に当接する状態で第1流体給排口部1Aの第1管状部1aの外周に嵌装し、かつ、第2割型リング25を、第2フランジ2Bと第2の筒状ナット23の先端との間を通して、第2フランジ部2Bの側面に当接する状態で第2フランジ配管2の第2管状部2Aの外周に嵌装させる。次いで、両フランジ部1b,2Aどうしをあてがい、その状態で第1の筒状ナット22と第2の筒状ナット23とを螺着させての締付け操作[図8(c)参照]を行うことにより、図7に示す接合状態が得られる。
Next, as shown in FIG. 8B, the
1 集積パネル
1A 第1流体給排口部
1n 雄ネジ部
2 流体デバイス
2A 第2流体給排口部、外向きフランジ
2a 管状部
2b 外向きフランジ
2h 貫通孔
2k 外径部
3 嵌合シール部
4 流体通路
5 第1接合端部
5a テーパ内周面
6 環状溝
7 第2接合端部
7a テーパ外周面
8 環状突起
21 筒状ナット
21n 雌ネジ部
21m 内周面部
24 内向きフランジ
24a 開口部
25 割型リング
41 ボルト
42 ナット部
M 維持手段
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記第1流体給排口部及び前記第2流体給排口部の各端面には、前記各流体通路が互いに正対する状態で開口され、前記第1流体給排口部と前記第2流体給排口部のいずれか一方には、その端面における前記流体通路の外径側部分に環状溝が形成され、前記第1流体給排口部と前記第2流体給排口部のいずれか他方には、その端面における前記流体通路の外径側部分に前記環状溝に嵌合する環状突起が形成され、
前記第1流体給排口部と第2流体給排口部とが互いに引寄せられて、前記環状溝と前記環状突起とが圧入嵌合されて嵌合シール部が形成された接合状態を維持する維持手段が装備されるとともに、前記第1及び第2流体給排口部が可撓性を有する合成樹脂材で形成され、
前記環状溝により構成される前記第1流体給排口部又は第2流体給排口部には、前記環状溝と前記流体通路との間において環状の第1接合端部が形成され、この第1接合端部の内周面の先端部に先拡がりテーパ状のテーパ内周面が形成されるとともに、
前記環状突起により構成される前記第2流体給排口部又は第1流体給排口部には、前記環状突起と前記流体通路との間において環状の第2接合端部が形成され、この第2接合端部の外周面の先端部に、先窄まりテーパ状で前記テーパ内周面に当接するテーパ外周面が形成され、
前記接合状態においては前記テーパ内周面と前記テーパ外周面とが圧接されるように構成され、
前記第2接合端部と前記環状突起との間は、前記流体通路の軸心方向において先拡がりする環状の谷部分となっており、この谷部分に前記第1接合端部の先端部が嵌り込み自在に構成され、
前記テーパ内周面と前記テーパ外周面とが当接している状態では、前記第1流体給排口部の第1外端面と前記第2流体給排口部の第2外端面との軸心方向の間に間隙が存在するように設定されている集積パネルと流体デバイスとの接続構造。 A fluid device having the first fluid supply / discharge port portion of the integrated panel having a first fluid supply / discharge port portion in which a tubular fluid passage opens, and the second fluid supply / discharge port portion in which a tubular fluid passage opens. In communicating with the second fluid supply / exhaust port portion in a state of sealing the fluid passages,
The end surfaces of the first fluid supply / discharge port portion and the second fluid supply / discharge port portion are opened with the fluid passages facing each other, and the first fluid supply / discharge port portion and the second fluid supply / discharge port portion are opened. An annular groove is formed in one end of the fluid passage on the outer diameter side portion of the fluid passage on the end face thereof, and either one of the first fluid supply / exhaust port portion and the second fluid supply / exhaust port portion is formed on one of the exhaust ports. Is formed with an annular projection that fits into the annular groove on the outer diameter side portion of the fluid passage on the end surface thereof,
The first fluid supply / exhaust port part and the second fluid supply / exhaust port part are attracted to each other, and the annular groove and the annular projection are press-fitted and maintained in a joined state in which a fitting seal part is formed. And the first and second fluid supply / discharge ports are formed of a flexible synthetic resin material ,
An annular first joint end is formed between the annular groove and the fluid passage in the first fluid supply / exhaust port portion or the second fluid supply / discharge port portion configured by the annular groove. A tapered inner peripheral surface is formed in a tapered shape at the front end of the inner peripheral surface of one joining end,
An annular second joint end is formed between the annular projection and the fluid passage in the second fluid supply / exhaust port portion or the first fluid supply / exhaust port portion configured by the annular projection. A tapered outer peripheral surface that is tapered and comes into contact with the tapered inner peripheral surface is formed at the distal end of the outer peripheral surface of the two joining end portions,
In the joined state, the tapered inner peripheral surface and the tapered outer peripheral surface are configured to be in pressure contact with each other,
Between the second joint end and the annular projection is an annular valley portion that expands in the axial direction of the fluid passage, and the tip of the first joint end fits into this valley portion. It is configured freely,
In a state where the tapered inner peripheral surface and the tapered outer peripheral surface are in contact with each other, the axial center between the first outer end surface of the first fluid supply / discharge port portion and the second outer end surface of the second fluid supply / discharge port portion. A connection structure between an integrated panel and a fluidic device set such that a gap exists between directions .
前記筒状ナットの一端部には、前記外向きフランジの通過は許容し、かつ、前記割型リングとは前記軸心方向で干渉する開口部を有する内向きフランジが形成されており、
前記筒状ナットの前記雄ネジ部への締付け操作によって、前記第1流体給排口部と第2流体給排口部とが互いに引寄せられるように構成されている請求項2に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。 A cylindrical nut provided with a female screw portion that can be screwed into a male screw portion formed on an outer peripheral portion of one of the first fluid supply / discharge port portion and the first fluid supply / discharge port portion; The first fluid supply / exhaust port interferes with the outward flange formed at the other end of the first fluid supply / discharge port portion and the second fluid supply / discharge port portion in the axial direction of the fluid passage. A split ring that is externally fitted to the tubular portion following the outward flange of the other of the second fluid supply / exhaust port portion,
An inward flange having an opening that allows passage of the outward flange and that interferes with the split ring in the axial direction is formed at one end of the cylindrical nut,
The accumulation according to claim 2, wherein the first fluid supply / exhaust port portion and the second fluid supply / exhaust port portion are attracted to each other by a tightening operation of the cylindrical nut to the male screw portion. Connection structure between panel and fluidic device.
(イ)前記筒状ナットの、前記内向きフランジに隣接する割型リング内嵌部分の内周面部が、前記管状の流体通路と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部の内径と、断面矩形に形成された前記割型リングの外径とがほぼ同一径に形成されている。(A) An inner peripheral surface portion of the split ring inner fitting portion adjacent to the inward flange of the cylindrical nut is formed on a flat inner peripheral surface concentric with the tubular fluid passage, and the inner periphery thereof The inner diameter of the surface portion and the outer diameter of the split ring formed in a rectangular cross section are formed to have substantially the same diameter.
(ロ)前記割型リングの外嵌された前記管状部の外径部が、前記管状の流体通路と同心にフラットな外周面に形成され、かつ、その外径部の外径と、前記割型リングの内径とがほぼ同一径に形成されている。(B) The outer diameter portion of the tubular portion fitted on the split ring is formed on a flat outer peripheral surface concentrically with the tubular fluid passage, and the outer diameter of the outer diameter portion and the split portion The inner diameter of the mold ring is formed to be substantially the same diameter.
前記ボルトを前記ナット部に螺着させて締付けることにより、前記第1流体給排口部と第2流体給排口部とが互いに引寄せられるように構成されている請求項2に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。The accumulation according to claim 2, wherein the first fluid supply / exhaust port portion and the second fluid supply / exhaust port portion are attracted to each other by screwing and tightening the bolt to the nut portion. Connection structure between panel and fluidic device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004351018A JP4654013B2 (en) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | Connection structure between integrated panel and fluidic device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004351018A JP4654013B2 (en) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | Connection structure between integrated panel and fluidic device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006161874A JP2006161874A (en) | 2006-06-22 |
JP4654013B2 true JP4654013B2 (en) | 2011-03-16 |
Family
ID=36664125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004351018A Active JP4654013B2 (en) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | Connection structure between integrated panel and fluidic device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4654013B2 (en) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013027293A1 (en) * | 2011-08-25 | 2013-02-28 | 株式会社アールバキュームラボ | Seal member, vacuum vessel, and vacuum tubing |
JP5923579B2 (en) * | 2014-09-30 | 2016-05-24 | 日本ピラー工業株式会社 | Resin pipe fittings |
KR101886552B1 (en) * | 2014-09-30 | 2018-08-07 | 니폰 필라고교 가부시키가이샤 | Resin-made tube joint |
JP5923578B2 (en) * | 2014-09-30 | 2016-05-24 | 日本ピラー工業株式会社 | Resin pipe fittings |
TW202043659A (en) * | 2016-04-29 | 2020-12-01 | 美商聖高拜塑膠製品公司 | Tongued and grooved fluid transport subcomponents and assemblies |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0399292U (en) * | 1989-11-28 | 1991-10-16 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0811992B2 (en) * | 1992-06-25 | 1996-02-07 | 日本ピラー工業株式会社 | Flange joint structure |
JPH11125370A (en) * | 1997-08-21 | 1999-05-11 | Benkan Corp | Mass flow controller connecting converting joint in integrated gas control device |
JP2949576B2 (en) * | 1998-02-02 | 1999-09-13 | 日本ピラー工業株式会社 | Resin pipe fittings |
-
2004
- 2004-12-03 JP JP2004351018A patent/JP4654013B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0399292U (en) * | 1989-11-28 | 1991-10-16 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006161874A (en) | 2006-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4324575B2 (en) | Connection structure between flange pipes | |
US7942165B2 (en) | Connection structure between integrated panel and fluid device | |
US20080000533A1 (en) | Structure for Connection Between Integrated Panel and Fluid Device | |
JP4268913B2 (en) | Connection structure between fluid devices | |
JP2006161873A (en) | Connection structure of integrated panel with fluid device | |
US20100013213A1 (en) | Structure for connection between integrated panel and fluid device | |
US20090072536A1 (en) | Connection Structure of Stack Panel to Fluid Device | |
JP4324576B2 (en) | Connection structure between fluid devices | |
JP4221348B2 (en) | Connection structure between flange piping and connection structure between flange piping and fluid equipment | |
JP4654013B2 (en) | Connection structure between integrated panel and fluidic device | |
JP4465335B2 (en) | Connection structure between integrated panel and fluidic device | |
JP4644477B2 (en) | Gasket for fluid | |
JP4848467B2 (en) | Connection structure between flange piping and fluid equipment | |
JP4512526B2 (en) | Connection structure between integrated panel and fluidic device | |
JP4674078B2 (en) | Connection structure between flange pipes | |
JP4131716B2 (en) | Fluororesin inner ring for pipe joints, pipe joints, and connection methods for pipe joints | |
JP4210668B2 (en) | Connection structure between integrated panel and fluidic device | |
JP4465254B2 (en) | Connection structure between integrated panel and fluidic device | |
JP2006308051A (en) | Connection structure for integrated panel and fluid device | |
JP4048193B2 (en) | Connection structure between integrated panel and fluidic device | |
JP4210643B2 (en) | Gasket for fluid | |
JP4268914B2 (en) | Connection structure between fluid devices | |
JP4512528B2 (en) | Connection structure between integrated panel and fluidic device | |
JP4557932B2 (en) | Connection structure between fluid devices | |
JP2010025196A (en) | Inner ring for pipe joint, pipe joint, and manufacturing method of inner ring |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071016 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100511 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100712 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101214 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4654013 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131224 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141224 Year of fee payment: 4 |