JP5879494B2 - Method for forming wiring circuit - Google Patents
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Description
本発明は、上面に凹部が形成された基板に配線回路を形成する配線回路の形成方法に関するものである。 The present invention relates to a wiring circuit forming method for forming a wiring circuit on a substrate having a recess formed on an upper surface.
電子部品が実装される配線基板として、上面に高周波デバイスなどの電子部品を収容するキャビティが形成されたキャビティ基板が知られている。キャビティ基板では、主回路面である基板の上面と電子部品が接続されるキャビティの底面とを導通させる配線回路が形成される。キャビティ基板では基板の上面とキャビティの底面との間には段差が存在することから、段差面を対象として配線回路を形成することが必要とされる。このような基板への配線回路の形成方法として、導電性を有するペーストを描画塗布する方法が知られている(特許文献1参照)。このような描画塗布において、配線回路の形成面が3次元的に傾斜した塗布対象である場合のペーストの塗布方法として、従来よりペーストを吐出する吐出ノズルの塗布対象面に対する位置を制御することにより傾斜面にペーストを塗布する技術が用いられている(特許文献2参照)。 As a wiring board on which electronic components are mounted, a cavity substrate in which a cavity for accommodating electronic components such as a high-frequency device is formed on an upper surface is known. In the cavity substrate, a wiring circuit is formed to connect the upper surface of the substrate, which is the main circuit surface, and the bottom surface of the cavity to which the electronic component is connected. Since there is a step between the upper surface of the substrate and the bottom surface of the cavity in the cavity substrate, it is necessary to form a wiring circuit for the step surface. As a method for forming a wiring circuit on such a substrate, a method of drawing and applying a conductive paste is known (see Patent Document 1). In such drawing application, as a paste application method when the formation surface of the wiring circuit is a three-dimensionally inclined application target, the position of the discharge nozzle that discharges the paste relative to the application target surface is controlled conventionally. A technique for applying a paste to an inclined surface is used (see Patent Document 2).
しかしながら、上述の特許文献例に示す先行技術においては、吐出ノズルの正確な位置制御を必要とすることから、設備コストおよび生産性について次のような難点があった。すなわち、吐出ノズルの位置制御に際しては、吐出ノズルの吐出口と塗布対象面との間隔を規定間隔に保つとともに、吐出ノズルの方向を塗布対象面に対して法線方向に維持する必要がある。このため、塗布装置に多軸サーボ機構など複雑な制御機構を必要として設備コストが上昇するとともに、塗布対象の形状変更の都度、手間を要する制御ソフトの作成作業を行う必要があった。さらにこのような複雑な塗布ノズルの位置制御を必要とすることから、作業動作の高速化には限度があり、タクトタイムが遅延して生産性の向上が妨げられていた。 However, in the prior art shown in the above-mentioned patent document examples, since the precise position control of the discharge nozzle is required, there are the following problems with respect to equipment cost and productivity. That is, when controlling the position of the discharge nozzle, it is necessary to maintain the interval between the discharge port of the discharge nozzle and the application target surface at a specified interval and to maintain the direction of the discharge nozzle in the normal direction with respect to the application target surface. For this reason, a complicated control mechanism such as a multi-axis servo mechanism is required for the coating apparatus, and the equipment cost is increased, and it is necessary to create control software that requires labor every time the shape of the coating target is changed. Furthermore, since such complicated position control of the application nozzle is required, there is a limit to the speeding up of the work operation, and the tact time is delayed, preventing improvement in productivity.
そこで本発明は、上面に凹部が形成された基板を対象とする描画塗布による配線回路の形成において、簡便な塗布機構によって生産性を向上させることができる配線回路の形成方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a wiring circuit forming method capable of improving productivity by a simple coating mechanism in forming a wiring circuit by drawing coating for a substrate having a recess formed on the upper surface. And
本発明の配線回路の形成方法は、上面に凹部が形成された基板において前記上面と前記凹部の底面とを前記上面と前記底面との段差面を経由して導通させる配線回路を形成する配線回路の形成方法であって、吐出ノズルから吐出された導電性を有する粘性体を回路形成面に付着させることにより前記配線回路を形成する配線回路形成工程は、前記上面において前記段差面の上端を示す段差上端部まで至る上面回路を形成する第1の工程と、前記段差上端部から前記段差面の下端を示す段差下端部まで至る段差面回路を形成する第2の工程とを含み、前記第2の工程は、前記吐出ノズルを前記粘性体を吐出しながら前記段差上端部から前記凹部の方向に前記段差面回路の長さ寸法に対応する所定の距離だけ水平方向に移動させることにより、両端が前記段差上端部および前記吸着ノズルによってそれぞれ保持された前記粘性体の糸状体を空中に形成する糸状体形成工程と、糸状体形成工程後に前記吐出ノズルからの前記粘性体の吐出を停止して前記糸状体と前記吐出ノズルとの結合部を切断する糸状体切断工程と、前記吐出ノズルとの結合部が切断された前記糸状体を前記段差上端部廻りに垂下させて前記段差面に付着させる糸状体垂下工程とを含む。 According to another aspect of the present invention, there is provided a wiring circuit for forming a wiring circuit for electrically connecting the upper surface and a bottom surface of the recess through a step surface between the upper surface and the bottom surface in a substrate having a recess formed on the upper surface. The wiring circuit forming step of forming the wiring circuit by adhering a conductive viscous material discharged from the discharge nozzle to the circuit forming surface shows the upper end of the step surface on the upper surface. A first step of forming an upper surface circuit extending to the upper end of the step, and a second step of forming a step surface circuit extending from the upper end of the step to the lower end of the step indicating the lower end of the step surface. In this step, the discharge nozzle is moved in the horizontal direction by a predetermined distance corresponding to the length dimension of the step surface circuit from the upper end of the step to the recess while discharging the viscous body. Forming a filamentous body of the viscous body held by the upper end of the step and the suction nozzle in the air, and stopping discharging the viscous body from the discharge nozzle after the filamentous formation process. A filament cutting process for cutting the joint between the filament and the discharge nozzle, and the filament cut from the joint with the discharge nozzle is suspended around the upper end of the step and attached to the step surface. Including a filamentous hanging process.
本発明によれば、基板において上面と凹部の底面とを段差面を経由して導通させる配線回路の形成において、段差上端部から段差下端部まで至る段差面回路の形成に際して、吐出ノズルを粘性体を吐出しながら水平方向に移動させて両端が段差上端部および吸着ノズルによってそれぞれ保持された粘性体の糸状体を空中に形成し、次いで吐出ノズルからの粘性体の吐出を停止して糸状体と吐出ノズルとの結合部を切断し、吐出ノズルとの結合部が切断された糸状体を段差上端部廻りに垂下させて段差面に付着させることにより、上面に凹部が形成された基板を対象とする描画塗布による配線回路の形成において簡便な塗布機構によって生産性を向上させることができる。 According to the present invention, in the formation of a wiring circuit that connects the upper surface and the bottom surface of the recess through the step surface in the substrate, when forming the step surface circuit from the upper end of the step to the lower end of the step, To form a viscous filamentous material that has both ends held by the upper end of the step and the suction nozzle in the air, and then stops discharging the viscous material from the ejection nozzle. For a substrate with a recess formed on the upper surface by cutting the connecting portion with the discharge nozzle, and dropping the thread-like body cut with the connecting portion with the discharge nozzle around the upper end of the step and attaching it to the step surface. Productivity can be improved by a simple coating mechanism in forming a wiring circuit by drawing coating.
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1を参照して、本実施の形態に示す配線回路の形成方法に用いられる描画塗布装置1の構成について説明する。描画塗布装置1は、配線回路の形成対象と成る基板3に銀ペーストなどの導電性の粘性体を描画塗布する機能を有するものである。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, with reference to FIG. 1, the structure of the
図1に示すように、描画塗布装置1は配線回路が形成される基板3をX方向(基板搬送方向)に搬送して、描画作業位置に位置決めする基板搬送機構2を備えている。基板搬送機構2の上方には、Y軸テーブル4およびX軸テーブル5よりなる直交駆動機構が配設されており、X軸テーブル5には第1のモータMA、第2のモータMBを備えたZ軸テーブル6が装着されている。Z軸テーブル6には垂直姿勢の第1の塗布ヘッド8A、第2の塗布ヘッド8Bを備えた作業ヘッド7が取り付けられており、第1の塗布ヘッド8A、第2の塗布ヘッド8Bの下部にはそれぞれ第1の吐出ノズル9A、第2の吐出ノズル9Bが装着されている。
As shown in FIG. 1, the
Y軸テーブル4およびX軸テーブル5を駆動することにより、作業ヘッド7は基板搬送機構2の上方においてXY方向へ水平移動する。Z軸テーブル6において、第1のモータMA、第2のモータMBを個別に駆動することにより、第1の塗布ヘッド8A、第2の塗布ヘッド8Bは、第1の吐出ノズル9A、第2の吐出ノズル9Bとともに個別に昇降する。
By driving the Y-axis table 4 and the X-axis table 5, the work head 7 moves horizontally in the XY direction above the substrate transport mechanism 2. In the Z-axis table 6, by driving the first motor MA and the second motor MB individually, the
第1の塗布ヘッド8A、第2の塗布ヘッド8Bは、それぞれ粘性体を貯留するシリンジおよび粘性体を吐出する吐出機構を備えており、第1の吐出ノズル9A、第2の吐出ノズル9Bを基板3に対して下降させた状態で吐出機構を駆動することにより、第1の吐出ノズル9A、第2の吐出ノズル9Bより粘性体が基板3の塗布面に塗布される。このとき、作業ヘッド7を所定の軌跡で移動させながら粘性体を吐出することにより、基板3には所定の描画塗布パターンが形成される。
Each of the
次に、図2を参照して、配線回路が形成される基板3について説明する。図2(a)に示すように、基板3の上面3aには、高周波デバイスなどの電子部品を収容するための複数の凹部10が格子状に形成されている。図2(b)に示すように、凹部10は平面状の底面11を有しており、基板3の上面3aと底面11との間は段差面12によって連結されている。段差面12と上面3aとは段差上端部12aを介して区分され、段差面12と底面11とは段差下端部12bを介して区分される。
Next, the
図3は、基板3の凹部10を対象として、基板3の上面3aと底面11とを導通させる配線回路13を形成した例を示している。図3(a)に示すように、それぞれの凹部10においてX方向の両端部には、粘性体PをX方向に設定された所定経路に沿って塗布する描画塗布により、配線回路13が形成される。すなわち図3(b)に示すように、上面3aでは、塗布起点3sを起点として段差上端部12aに至る上面回路13aが、段差面12においては段差上端部12aから段差下端部12bに至る段差面回路13bが、そして底面11においては、段差下端部12bから塗布終点11eに至る底面回路13cが、粘性体Pによって形成される。
FIG. 3 shows an example in which a
次に、図4,図5を参照して、配線回路の形成方法について説明する。この配線回路の形成方法では、図3に示すように、上面3aに凹部10が形成された基板3において、上面3aと凹部10の底面11とを段差面12を経由して導通させる配線回路13を形成する。すなわち、第1の吐出ノズル9A(または第2の吐出ノズル9B)から吐出された導電性を有する粘性体Pを回路形成面に付着させることにより、配線回路13を形成する配線回路形成工程が開始される。
Next, a method for forming a wiring circuit will be described with reference to FIGS. In this wiring circuit forming method, as shown in FIG. 3, in the
まず図4(a)に示すように、第1の吐出ノズル9Aを凹部10の右側において上面3aに設定された塗布起点3sに移動させて粘性体Pの吐出を開始し、凹部10の内側方向に向かって第1の吐出ノズル9Aを水平移動させる(矢印a)。そして第1の吐出ノズル9Aが段差上端部12aまで到達することにより、図4(b)に示すように、上面3aにおいて段差面12の上端を示す段差上端部12aまで至る上面回路13aが形成される(第1の工程)。この後、段差上端部12aから段差面12の下端を示す段差下端部12bまで至る段差面回路13bを形成する(第2の工程)。
First, as shown in FIG. 4A, the
この第2の工程の詳細について説明する。ここでは、図4(b)に示すように、第1の吐出ノズル9Aを粘性体Pを吐出しながら段差上端部12aから凹部10の方向に、段差面12に形成される段差面回路13bの長さ寸法12Lに対応する所定の距離だけ水平方向に移動させる(矢印b)。これにより、両端が段差上端部12aおよび第1の吐出ノズル9Aによってそれぞれ保持された粘性体の糸状体P*を空中に形成する(糸状体形成工程)。
Details of the second step will be described. Here, as shown in FIG. 4B, the
次いで、糸状体形成工程後に第1の吐出ノズル9Aからの粘性体Pの吐出を停止する。これにより、糸状体P*と第1の吐出ノズル9Aとの結合部が切断され(糸状体切断工程)、図4(c)に示すように、第1の吐出ノズル9Aとの結合部が切断された糸状体P*を段差上端部12a廻りに垂下させて(矢印c)、段差面12に付着させる(糸状体垂下工程)。これにより、図4(d)に示すように、段差面12において段差上端部12aから段差下端部12bに至る段差面回路13bが形成される。
Next, the discharge of the viscous body P from the
この後、図5(a)に示すように、第1の吐出ノズル9Aを凹部10の右側の上面3a上に移動させ、図4(a)〜(d)に示す(第1の工程)および(第2の工程)を実行して、同様に上面回路13a、段差面回路13bを形成する。次いで、底面回路13cの形成が実行される。すなわち図5(b)に示すように、第1の吐出ノズル9Aを凹部10の左側の段差下端部12b上に移動させ、粘性体Pを吐出させながら第1の吐出ノズル9Aを塗布終点11eまで移動(矢印e)させた後に、粘性体Pの吐出を停止する。
Thereafter, as shown in FIG. 5 (a), the
これにより、底面11において段差下端部12bから塗布終点11eに至る底面回路13cが形成される(第3工程)。そして第1の吐出ノズル9Aを右側の段差下端部12b上から同様に移動(矢印f)させ、(第3の工程)を実行して右側の底面回路13cを形成する。以上により、図5(d)に示すように、上面3aと底面11とを段差面12を経由して導通させる配線回路13が形成される。
As a result, a
上記説明したように本実施の形態では、基板3において上面3aと凹部10の底面11とを段差面12を経由して導通させる配線回路13の形成において、段差上端部12aから段差下端部12bまで至る段差面回路13bの形成に際して、第1の吐出ノズル9Aを粘性体Pを吐出しながら水平方向に移動させて両端が段差上端部12aおよび第1の吐出ノズル9Aによってそれぞれ保持された粘性体の糸状体P*を空中に形成し、次いで第1の吐出ノズル9Aからの粘性体Pの吐出を停止して糸状体P*と第1の吐出ノズル9Aとの結合部を切断し、切断された糸状体P*を段差上端部12a廻りに垂下させて段差面12に付着させるようにしている。
As described above, in the present embodiment, in the formation of the
これにより、上面3aに凹部10が形成された基板3を対象とする描画塗布による配線回路13の形成において、複雑なノズル位置制御を必要とすることなく簡便な塗布機構による描画塗布を可能として、生産性を向上させることができる。なお上述実施例では、説明の簡略化のため配線回路13の導設方向を1方向(X方向)のみに限定した例を示したが、XY平面内で2方向に配線回路を導設する場合にも本発明を適用可能である。
Thereby, in the formation of the
本発明の配線回路の形成方法は、上面に凹部が形成された基板を対象とする描画塗布による配線回路の形成において、簡便な塗布機構によって生産性を向上させることができるという効果を有し、基板において上面と凹部の底面とを段差面を介して導通させる配線回路を形成する用途に対して有用である。 The method for forming a wiring circuit of the present invention has the effect that productivity can be improved by a simple coating mechanism in the formation of a wiring circuit by drawing coating for a substrate having a recess formed on the upper surface, This is useful for applications in which a wiring circuit is formed in which a top surface and a bottom surface of a recess are made conductive through a step surface on a substrate.
1 描画塗布装置
3 基板
3a 上面
7 作業ヘッド
8A 第1の塗布ヘッド
8B 第2の塗布ヘッド
9A 第1の吐出ノズル
9B 第2の吐出ノズル
10 凹部
11 底面
12 段差面
12a 段差上端部
12b 段差下端部
13a 上面回路
13b 段差面回路
13c 底面回路
P 粘性体
P* 糸状体
DESCRIPTION OF
Claims (1)
吐出ノズルから吐出された導電性を有する粘性体を回路形成面に付着させることにより前記配線回路を形成する配線回路形成工程は、
前記上面において前記段差面の上端を示す段差上端部まで至る上面回路を形成する第1の工程と、前記段差上端部から前記段差面の下端を示す段差下端部まで至る段差面回路を形成する第2の工程とを含み、
前記第2の工程は、前記吐出ノズルを前記粘性体を吐出しながら前記段差上端部から前記凹部の方向に前記段差面回路の長さ寸法に対応する所定の距離だけ水平方向に移動させることにより、両端が前記段差上端部および前記吐出ノズルによってそれぞれ保持された前記粘性体の糸状体を空中に形成する糸状体形成工程と、
糸状体形成工程後に前記吐出ノズルからの前記粘性体の吐出を停止して前記糸状体と前記吐出ノズルとの結合部を切断する糸状体切断工程と、
前記吐出ノズルとの結合部が切断された前記糸状体を前記段差上端部廻りに垂下させて前記段差面に付着させる糸状体垂下工程とを含むことを特徴とする配線回路の形成方法。 A wiring circuit forming method for forming a wiring circuit for electrically connecting the upper surface and the bottom surface of the recess through a step surface between the upper surface and the bottom surface in a substrate having a recess formed on an upper surface,
A wiring circuit forming step of forming the wiring circuit by attaching a conductive viscous material discharged from the discharge nozzle to the circuit forming surface,
A first step of forming an upper surface circuit extending from the upper end of the step surface to the upper end of the step indicating the upper end of the step surface; and a first step of forming a step surface circuit extending from the upper end of the step to the lower end of the step indicating the lower end of the step surface. 2 processes,
In the second step, the discharge nozzle is moved in the horizontal direction by a predetermined distance corresponding to the length dimension of the step surface circuit from the upper end of the step to the recess while discharging the viscous body. A filamentous body forming step for forming the filamentous body of the viscous body in the air, both ends of which are respectively held by the upper end of the step and the discharge nozzle;
A filamentous cutting process for stopping the discharge of the viscous body from the discharge nozzle after the filamentous forming step and cutting the coupling portion between the filamentous and the discharge nozzle;
A method of forming a wiring circuit, comprising: a thread-like body hanging step in which the thread-like body having a cut portion connected to the discharge nozzle is suspended around the upper end portion of the step and adhered to the step surface.
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