JP5850787B2

JP5850787B2 - 皺取り方法、皺取り装置、フィルム搬送処理装置

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Publication number: JP5850787B2
Application number: JP2012087473A
Authority: JP
Inventors: 智志柴; 裕利中尾; 佐藤　誠一; 誠一佐藤
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2012-04-06
Filing date: 2012-04-06
Publication date: 2016-02-03
Anticipated expiration: 2032-04-06
Also published as: JP2013216429A

Description

本発明は、フィルムの皺取り方法、皺取り装置、フィルム搬送処理装置に関する。

現在、フィルム基板は、軽く、柔軟性があるという利点から、タッチパネルや薄膜太陽電池等の様々な用途に用いられている。
帯状フィルムの搬送方法に関しては、下記特許文献１では、グリップフィード方式が開示されている。しかし、この方式ではフィルムを挟み込んで把持するため、把持手段を当然処理面に接触させる必要がある。接触部分は接触時に損傷している可能性があるため、接触部分を処理未使用部分として最終的には切断する必要があり、フィルムの無駄な領域が生まれるという不都合があった。
また、帯状フィルムの川幅方向の端部の一部のみを把持する構成であり、フィルムのたわみにより、配置台上のフィルムに皺が発生することが懸念された。

下記特許文献２では、フィルムに面状にエアを吹き付けて皺を伸ばす方法が開示され、また凹溝によりフィルムの川幅方向にエアの方向性を持たせることが記載されているが（下記特許文献２の段落００３８参照）、実際には、エア導入口からの吹き出しが壁面の凹溝に倣うように吹き出していないため、エアの流れは凹溝の外周部では外周方向に流れるが、外周部より内側の中央部では乱流が発生し、中央部の皺を完全には取り除くことができないという問題があった。

特開２００３−３３５４４３号公報特開２０１１−６６０９５号公報

本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、フィルムの皺を完全に取り除くことができるフィルムの皺取り方法、皺取り装置、この皺取り装置を備えたフィルム搬送処理装置を提供することにある。

上記課題を解決するために本発明は、配置台上に押圧対象物であるフィルムを配置し、前記押圧対象物に対向して配置された吹出装置から、前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る皺取り方法であって、前記押圧対象物上の線状の第一の吹き付け位置と、前記第一の吹き付け位置に近接した線状の第二の吹き付け位置とに前記押圧ガスが吹き付けられるように、前記吹出装置の第一、第二の吹出部から前記押圧ガスを吹き出させ、前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出部を移動させる皺取り方法である。
本発明は皺取り方法であって、前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させる際には、前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置には、前記押圧ガスを吹き付ける皺取り方法である。
本発明は皺取り方法であって、前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させる際には、前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置には、前記押圧ガスの吹き付けを停止する皺取り方法である。
本発明は皺取り方法であって、前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させた後、前記配置台の表面に設けられた排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気して、前記押圧対象物の前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置を前記配置台に真空吸着させる皺取り方法である。
本発明は皺取り方法であって、前記第一、第二の吹き付け位置に前記押圧ガスを吹き付ける前に、前記配置台の表面に設けられた排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間の排気を開始し、前記第一、第二の吹き付け位置に前記押圧ガスを吹き付ける際には、前記押圧対象物の前記第一、第二の吹き付け位置を前記配置台に真空吸着させる皺取り方法である。
本発明は、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、を有する皺取り装置であって、前記吹出装置は、前記配置台に対向して配置された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接して配置された第二の吹出管と、前記第一、第二の吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた第一、第二の吹出孔と、前記第一、第二の吹出管に押圧ガスを供給するガス供給部と、前記第一の吹出管と前記第二の吹出管との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出管を移動させる吹出管移動装置と、を有する皺取り装置である。
本発明は、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、を有する皺取り装置であって、前記吹出装置は、前記配置台に対向して一列に並んで配置された複数の吹出管と、各前記吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた吹出孔と、各前記吹出管に前記押圧ガスを供給するガス供給部と、各前記吹出管と前記ガス供給部との間の接続を切り替える切替部と、前記切替部に制御信号を送信して、前記吹出管から選択された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接した第二の吹出管とを前記ガス供給部に接続し、前記第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する制御装置と、を有する皺取り装置である。
本発明は皺取り装置であって、前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を維持する皺取り装置である。
本発明は皺取り装置であって、前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を切断する皺取り装置である。
本発明は皺取り装置であって、前記配置台の表面に設けられた排気孔と、前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、を有する皺取り装置である。
本発明は、台座と、前記台座上に固定されたレールと、前記レール上に配置され、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、前記配置台の表面に設けられた排気孔と、前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、前記配置台を前記レールに沿って移動させる台移動装置と、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、前記吹出装置に対して前記レールの長手方向に離間して配置され、前記配置台上に配置された前記押圧対象物の表面を処理する処理装置と、を有し、前記吹出装置は、前記配置台に対向して配置された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接して配置された第二の吹出管と、前記第一、第二の吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた第一、第二の吹出孔と、前記第一、第二の吹出管に押圧ガスを供給するガス供給部と、前記第一の吹出管と前記第二の吹出管との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出管を移動させる吹出管移動装置と、を有するフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、帯状の前記押圧対象物を、その長手方向が前記レールの長手方向と平行に向く向きで、前記配置台上に掛け渡して支持するフィルム支持部を有し、前記第一、第二の吹出管の長手方向は前記レールの長手方向と平行に向けられており、前記吹出管移動装置は前記第一、第二の吹出管を前記レールの長手方向に対して直角な方向に移動させるフィルム搬送処理装置である。
本発明は、台座と、前記台座上に固定されたレールと、前記レール上に配置され、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、前記配置台の表面に設けられた排気孔と、前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、前記配置台を前記レールに沿って移動させる台移動装置と、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、前記吹出装置に対して前記レールの長手方向に離間して配置され、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面を処理する処理装置と、を有し、前記吹出装置は、前記配置台に対向して一列に並んで配置された複数の吹出管と、各前記吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた吹出孔と、各前記吹出管に前記押圧ガスを供給するガス供給部と、各前記吹出管と前記ガス供給部との間の接続を切り替える切替部と、前記切替部に制御信号を送信して、前記吹出管から選択された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接した第二の吹出管とを前記ガス供給部に接続し、前記第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する制御装置と、を有するフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、帯状の前記押圧対象物を、その長手方向が前記レールの長手方向と平行に向く向きで、前記配置台上に掛け渡して支持するフィルム支持部を有し、各前記吹出管は長手方向を前記レールの長手方向と平行に向けられて、前記レールの長手方向に対して直角な方向に並んで配置されたフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を維持するフィルム搬送処理装置である。
本発明はフィルム搬送処理装置であって、前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を切断するフィルム搬送処理装置である。

押圧対象物上の線状の第一、第二の吹き付け位置に押圧ガスを吹き付けて配置台に押圧しながら、第一の吹き付け位置と第二の吹き付け位置との間を次第に離間させることにより、皺は第一、第二の吹き付け位置の進行方向に押しやられ、第一の吹き付け位置と第二の吹き付け位置との間の位置は皺が取り除かれた状態で配置台の表面に接触される。

本発明のフィルム搬送処理装置では、配置台ごと搬送することにより、処理面となる配置台上の押圧対象物の表面に、搬送による皺を発生させることなく表面処理を行うことができ、表面処理の精度が向上する。

本発明の第一例の皺取り装置の概略平面図本発明の第一例の皺取り装置の概略側面図吹出管移動装置の別例を説明するための図（その１）吹出管移動装置の別例を説明するための図（その２）（ａ）〜（ｅ）：第一例の皺取り方法を説明するための図本発明の第二例の皺取り装置の概略平面図本発明の第二例の皺取り装置の概略側面図（ａ）〜（ｅ）：第二例の皺取り方法を説明するための図各吹出部材の吹出孔の法線が配置台の表面に対して傾けられた構成を説明するための図本発明の第一例のフィルム搬送処理装置の概略側面図本発明の第一例のフィルム搬送処理装置の概略平面図本発明の第二例のフィルム搬送処理装置の概略側面図本発明の第二例のフィルム搬送処理装置の概略平面図本発明の皺取り装置を備えるフィルム搬送処理装置の別例を説明するための図補助排気孔の配置を説明するための図（その１）補助排気孔の配置を説明するための図（その２）

＜第一例の皺取り装置の構造＞
本発明の第一例の皺取り装置の構造を説明する。
図１は第一例の皺取り装置２０ａの概略平面図、図２は同概略側面図である。

第一例の皺取り装置２０ａは、押圧対象物５０であるフィルムが配置される配置台２２と、配置台２２に対向して配置された押圧対象物５０の表面に押圧ガスを吹き付けて、押圧対象物５０を配置台２２に押圧して押圧対象物５０の皺を取る吹出装置３０とを有している。

吹出装置３０は、配置台２２に対向して配置された第一の吹出管３１₁と、第一の吹出管３１₁に近接して配置された第二の吹出管３１₂と、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の配置台２２に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂と、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂に押圧ガスを供給するガス供給部３４と、第一の吹出管３１₁と第二の吹出管３１₂との間が次第に離間するように、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂を移動させる吹出管移動装置３３₁、３３₂とを有している。

本実施形態では、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂は直線状の筒であり、配置台２２の上方に互いに隣接して配置され、それぞれの長手方向は配置台２２の表面に平行で、互いに平行な向きに向けられている。

第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂は、ここでは第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の側面に長手方向に沿って線状に並んで設けられており、それぞれ配置台２２の表面と対向する向きに向けられている。
第一、第二の吹出管３１₁、３１₂には、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の内側に押圧ガスを供給するガス供給部３４が接続されている。

ガス供給部３４から第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の内側に押圧ガスが供給されると、供給された押圧ガスは各第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂から第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の長手方向にわたって均等な流量で放出される。

なお、第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂から第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の長手方向にわたって均等な流量で押圧ガスを吹き出すことができるならば、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂は側面が多数の孔を備えるスポンジ状のポーラス材（多孔質材）から成り、第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂はそのポーラス材の孔であってもよい。

吹出管移動装置３３₁、３３₂はここではモーターを備えており、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂にそれぞれ接続され、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂に、配置台２２の表面と平行で第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の長手方向に対して直角な、互いに逆向きの動力を伝達するように構成されている。

吹出管移動装置３３₁、３３₂から第一、第二の吹出管３１₁、３１₂に動力が伝達されると、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂は、配置台２２の表面と平行で第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の長手方向に対して直角な、互いに逆向きの方向に移動され、第一の吹出管３１₁と第二の吹出管３１₂との間は次第に離間する。
なお、吹出管移動装置３３₁、３３₂は第一の吹出管３１₁と第二の吹出管３１₂との間が次第に離間するように、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂を移動できるならば上記構成に限定されない。

図３の符号３５₁、３５₂は吹出管移動装置の別例を示している。
この吹出管移動装置３５₁、３５₂はモーターを備えており、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の長手方向の端部にそれぞれ配置され、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂に、配置台２２の表面に対して直角な回転軸線３６₁、３６₂を中心とする、互いに逆向きの回転動力を伝達するように構成されている。

吹出管移動装置３５₁、３５₂から第一、第二の吹出管３１₁、３１₂に回転動力が伝達されると、図４を参照し、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂は、配置台２２の表面に対して直角な回転軸線３６₁、３６₂を中心として、互いに逆方向に回転され、第一の吹出管３１₁と第二の吹出管３１₂との間は次第に離間する。図４の符号３７₁、３７₂は第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の回転方向を示している。

図２を参照し、本実施形態では、第一例の皺取り装置２０ａは、配置台２２の表面に設けられた排気孔２３と、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間を排気する排気手段２４とを有している。
ここでは配置台２２の表面は多数の孔を備えるスポンジ状のポーラス材から成り、排気孔２３はそのポーラス材の孔である。

排気手段２４は排気孔２３に接続され、排気手段２４を動作させると、排気孔２３から配置台２２と配置台２２上の押圧対象物５０との間が、配置台２２の表面内で均等な流量で排気される。
なお、排気孔２３は、配置台２２と配置台２２上の押圧対象物５０との間を、配置台２２の表面内で均等な流量で排気できるならば、上述の構成に限定されず、配置台２２の表面内に等間隔に配置され、一端の開口が配置台２２の表面に露出する複数の細孔から構成されていてもよい。

＜第一例の皺取り方法＞
本発明の第一例の皺取り方法を、上述の第一例の皺取り装置２０ａを用いて説明する。
図５（ａ）を参照し、ここでは排気手段２４の動作を停止しておき、配置台２２上に押圧対象物５０であるフィルムを配置する。符号５２₁、５２₂は押圧対象物５０の皺を示している。ここで皺５２₁、５２₂の下端は配置台２２の表面に接触しているが、不図示の保持手段で押圧対象物５０の端部を保持して、皺５２₁、５２₂の下端を配置台２２から離間させていてもよい。
第一、第二の吹出管３１₁、３１₂を互いに近接させておく。

図５（ｂ）を参照し、第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂からの押圧ガスの吹き出しを開始する。
第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂から吹き出された押圧ガスは、押圧対象物５０上の第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂にそれぞれ吹き付けられ、押圧ガスにより第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂は配置台２２に向かって押圧され、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の部分は配置台２２の表面に接触する。

第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂に吹き付けられた押圧ガスは、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺５２₁、５２₂を外側に向かって押しやり、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置より外側に移動させる。

図５（ｃ）〜（ｅ）を参照し、第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂からの押圧ガスの吹き出しを継続しながら、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂を、配置台２２の表面と平行で第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の長手方向に対して直角な、互いに逆向きの方向に移動させ、第一の吹出管３１₁と第二の吹出管３１₂との間を次第に離間させる。

第一の吹出管３１₁と第二の吹出管３１₂との間が次第に離間するに従って、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間が次第に離間し、皺５２₁、５２₂は第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置より外側に位置する状態を維持しながら、第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂の進行方向に向かって押しやられ、移動する。そのため、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置は皺５２₁、５２₂が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。

第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂を次第に離間させた後、排気手段２４を動作させ、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始する。押圧対象物５０のうち配置台２２の表面に接触する部分は、配置台２２の表面に真空吸着される。以後、真空吸着を継続すると、配置台２２上の押圧対象物５０に皺が発生することが防止される。

上述の説明では、第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂を次第に離間させた後、配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始したが、押圧対象物５０のうち配置台２２の表面より外側の端部を不図示の保持手段で保持して、押圧対象物５０の裏面と配置台２２の表面との間に隙間を空けておき、第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂からの押圧ガスの吹き出しを開始する前に、配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始し、以後排気を継続してもよい。

配置台２２と押圧対象物５０との間を排気しながら、第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂から第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂に押圧ガスを吹き付けて押圧すると、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の部分は配置台２２の表面に接触し、接触直後に真空吸着される。

第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間を次第に離間させると、皺５２₁、５２₂は第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置より外側に位置しながら、第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂の進行方向に向かって押しやられ、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置は皺５２₁、５２₂が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触し、接触直後に真空吸着される。
第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂を次第に離間させた後、真空吸着を継続すると、配置台２２上の押圧対象物５０に皺が発生することが防止される。

＜第二例の皺取り装置の構造＞
本発明の第二例の皺取り装置の構造を説明する。
図６は第二例の皺取り装置２０ｂの概略平面図、図７は同概略側面図である。

第二例の皺取り装置２０ｂの構造のうち、第一例の皺取り装置２０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第二例の皺取り装置２０ｂは、第一例の皺取り装置２０ａの吹出装置３０とは異なる構造の吹出装置４０を有している。

この吹出装置４０は、配置台２２に対向して一列に並んで配置された複数の吹出管４１₁〜４１₈と、各吹出管４１₁〜４１₈の配置台２２に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた吹出孔４２と、各吹出管４１₁〜４１₈に押圧ガスを供給するガス供給部４４と、各吹出管４１₁〜４１₈とガス供給部４４との間の接続を切り替える切替部４３と、切替部４３に制御信号を送信して、符号４１₁〜４１₈の吹出管から選択された第一の吹出管と、第一の吹出管に近接した第二の吹出管とをガス供給部４４に接続し、第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各吹出管４１₁〜４１₈をガス供給部４４に順次接続する制御装置４５とを有している。

本実施形態では、各吹出管４１₁〜４１₈は直線状の筒であり、配置台２２の上方に互いに隣接して一列に並んで配置され、それぞれの長手方向は配置台２２の表面に平行で、互いに平行な向きに向けられている。
吹出孔４２は、ここでは各吹出管４１₁〜４１₈の側面に長手方向に沿って線状に並んで設けられており、それぞれ配置台２２の表面と対向する向きに向けられている。

切替部４３は、開閉可能な複数のバルブ４６を有しており、各吹出管４１₁〜４１₈はそれぞれ異なるバルブ４６を介してガス供給部４４に接続されている。
バルブ４６にはここでは電磁バルブが用いられているが、シーケンスバルブ又はチェック弁等が用いられてもよい。

各吹出管４１₁〜４１₈は、それぞれバルブ４６が開状態にされるとガス供給部４４に接続され、バルブ４６が閉状態にされるとガス供給部４４から切断される。
各吹出管４１₁〜４１₈がガス供給部４４に接続されると、ガス供給部４４から吹出管４１₁〜４１₈の内側に押圧ガスが供給され、供給された押圧ガスは吹出孔４２から吹出管４１₁〜４１₈の長手方向にわたって均等な流量で放出される。

なお、吹出孔４２から吹出管４１₁〜４１₈の長手方向にわたって均等な流量で押圧ガスを吹き出すことができるならば、吹出管４１₁〜４１₈は側面が多数の孔を備えるスポンジ状のポーラス材（多孔質材）から成り、吹出孔４２はそのポーラス材の孔であってもよい。

制御装置４５は切替部４３に接続され、切替部４３に制御信号を送信して、符号４１₁〜４１₈の吹出管から選択された第一の吹出管と、第一の吹出管に近接した第二の吹出管とをガス供給部４４に接続し、第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各吹出管４１₁〜４１₈をガス供給部４４に順次接続するように構成されている。

例えば、制御装置４５は、符号４１₄、４１₅の吹出管を第一、第二の吹出管に選択し、ガス供給部４４に、まず符号４１₄、４１₅の吹出管を接続し、次に符号４１₃、４１₆の吹出管を接続し、次に符号４１₂、４１₇の吹出管を接続し、次に符号４１₁、４１₈の吹出管を接続する。

第一、第二の吹出管４１₄、４１₅から次第に離間する順序で、各吹出管４１₁〜４１₈をガス供給部４４に順次接続するに従って、押圧対象物５０上の押圧ガスが吹き付けられる線状の第一の吹き付け位置と第二の吹き付け位置との間は次第に離間する。

本実施形態では、制御装置４５は、各吹出管４１₁〜４１₈をガス供給部４４に順次接続する際には、既にガス供給部４４に接続された吹出管４１₁〜４１₈の接続を維持するように構成されているが、各吹出管４１₁〜４１₈をガス供給部４４に順次接続する際には、既にガス供給部４４に接続された吹出管４１₁〜４１₈の接続を切断するように構成されていてもよい。

＜第二例の皺取り方法＞
本発明の第二例の皺取り方法を、上述の第二例の皺取り装置２０ｂを用いて説明する。
図８（ａ）を参照し、ここでは排気手段２４の動作を停止しておき、配置台２２上に押圧対象物５０であるフィルムを配置する。符号５２₁、５２₂は押圧対象物５０の皺を示している。ここで皺５２₁、５２₂の下端は配置台２２の表面に接触しているが、不図示の保持手段で押圧対象物５０の端部を保持して、皺５２₁、５２₂の下端を配置台２２から離間させていてもよい。

図８（ｂ）を参照し、符号４１₁〜４１₈の吹出管から第一、第二の吹出管を選択する。第一、第二の吹出管は、吹出管４１₁〜４１₈の列の中央に近いものの方が、接続の切替回数を少なくできるため好ましく、ここでは符号４１₄、４１₅の吹出管を第一、第二の吹出管に選択する。

符号４１₁〜４１₈の吹出管から選択された第一の吹出管４１₄と、第一の吹出管４１₄に近接した第二の吹出管４１₅とをガス供給部４４に接続し、それぞれの吹出孔４２から押圧ガスを吹き出させる。

第一、第二の吹出管４１₄、４１₅の吹出孔４２から吹き出された押圧ガスは、押圧対象物５０上の第一、第二の吹出管４１₄、４１₅に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂にそれぞれ吹き付けられ、押圧ガスにより第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂は配置台２２に向かって押圧され、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の部分は配置台２２の表面に接触する。

第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂に吹き付けられた押圧ガスは、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺５２₁、５２₂を外側に向かって押しやり、次に接続される符号４１₃の吹出管と符号４１₆の吹出管との間の位置より外側に移動させる。

図８（ｃ）を参照し、既にガス供給部４４に接続された吹出管４１₄、４１₅の接続を維持しながら、符号４１₃、４１₆の吹出管をガス供給部４４に接続し、それぞれの吹出孔４２から押圧ガスを吹き出させる。

符号４１₃、４１₆の吹出管の吹出孔４２から吹き出された押圧ガスは、押圧対象物５０上の符号４１₃、４１₆の吹出管に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂にそれぞれ吹き付けられ、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺５２₁、５２₂を外側に向かって押しやり、次に接続される符号４１₂の吹出管と符号４１₇の吹出管との間の位置より外側に移動させる。第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置は皺５２₁、５２₂が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。

図８（ｄ）を参照し、既にガス供給部４４に接続された吹出管４１₃〜４１₆の接続を維持しながら、符号４１₂、４１₇の吹出管をガス供給部４４に接続し、それぞれの吹出孔４２から押圧ガスを吹き出させる。

符号４１₂、４１₇の吹出管の吹出孔４２から吹き出された押圧ガスは、押圧対象物５０上の符号４１₂、４１₇の吹出管に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂にそれぞれ吹き付けられ、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺５２₁、５２₂を外側に向かって押しやり、次に接続される符号４１₁の吹出管と符号４１₈の吹出管との間の位置より外側に移動させる。第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置は皺５２₁、５２₂が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。

図８（ｅ）を参照し、既にガス供給部４４に接続された吹出管４１₂〜４１₇の接続を維持しながら、符号４１₁、４１₈の吹出管をガス供給部４４に接続し、それぞれの吹出孔４２から押圧ガスを吹き出させる。

符号４１₁、４１₈の吹出管の吹出孔４２から吹き出された押圧ガスは、押圧対象物５０上の符号４１₁、４１₈の吹出管に対向する線状の第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂にそれぞれ吹き付けられ、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間から離間する方向にそれぞれ流れ、皺５２₁、５２₂を外側に向かって押しやり、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置は皺５２₁、５２₂が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。

すなわち、図８（ｂ）〜（ｅ）を参照し、第一、第二の吹出管４１₄、４１₅から次第に離間する順序で、各吹出管４１₁〜４１₈をガス供給部４４に順次接続するに従って、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間が次第に離間し、皺５２₁、５２₂は第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置より外側に位置する状態を維持しながら、第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂の進行方向に向かって押しやられ、移動する。そのため、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置は皺５２₁、５２₂が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。

なお、図７の図面上では、各吹出管４１₁〜４１₈の吹出孔４２の法線は配置台２２の表面に対して直角に向けられていたが、図９を参照し、第一、第二の吹出管４１₄、４１₅から離間する向きに傾けられていてもよい。この構成では、各吹出管４１₁〜４１₈の吹出孔４２から吹き出された押圧ガスには、第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂の進行方向と同じ向きの運動量が付与され、皺５２₁、５２₂を第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂の進行方向に向かって押しやる力が増加する。そのため、各吹出管４１₁〜４１₈をガス供給部４４に順次接続する際に、皺５２₁、５２₂を次に接続される二本の吹出管の間の位置より外側に移動させるまでの時間が短縮され、接続の切替速度を上げることができる。

ここでは各吹出管４１₁〜４１₈をガス供給部４４に順次接続する際には、既にガス供給部に接続された吹出管の接続を維持しており、すなわち第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂を次第に離間させる際には、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置には、押圧ガスを吹き付けている。そのため、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の部分と、配置台２２の表面との接触状態は確実に維持され、第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂が通過した部分に新たに皺が発生することが防止される。

排気手段２４を動作させ、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間を排気する。押圧対象物５０のうち配置台２２の表面に接触する部分は、配置台２２の表面に真空吸着される。以後、真空吸着を継続すると、配置台２２上の押圧対象物５０に皺が発生することが防止される。

上述の説明では、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間を次第に離間させた後、配置台２２と押圧対象物５０との間を排気したが、押圧対象物５０のうち配置台２２の表面より外側の端部を不図示の保持手段で保持して、押圧対象物５０の裏面と配置台２２の表面との間に隙間を空けておき、第一、第二の吹出管４１₄、４１₅からの押圧ガスの吹き出しを開始する前に、配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始し、以後排気を継続してもよい。

配置台２２と押圧対象物５０との間を排気しながら、第一、第二の吹出管４１₄、４１₅から第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂に押圧ガスを吹き付けて押圧すると、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の部分は配置台２２の表面に接触し、接触直後に真空吸着される。

なお、各吹出管４１₁〜４１₈をガス供給部４４に順次接続する際には、既にガス供給部４４に接続された吹出管の接続を切断し、すなわち第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂を次第に離間させる際には、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置には、押圧ガスの吹き付けを停止してもよい。この方法は、上述したように第一、第二の吹出管４１₄、４１₅からの押圧ガスの吹き出しを開始する前に配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始して、押圧対象物５０上の第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂を配置台２２に接触させた直後に真空吸着したり、又は押圧対象物５０の形状復元力が弱くて一度接触させた部分が配置台２２から離間するおそれがない場合に特に有効であり、押圧ガスの消費量を低減できるという利点がある。

＜第一例のフィルム搬送処理装置＞
上述の第一例の皺取り装置２０ａを備える第一例のフィルム搬送処理装置の構造を説明する。
図１０は第一例のフィルム搬送処理装置１０ａの概略側面図、図１１は同概略平面図である。

第一例のフィルム搬送処理装置１０ａは、台座２１と、台座２１上に固定されたレール２６と、レール２６上に配置され、押圧対象物５０であるフィルムが配置される配置台２２と、配置台２２の表面に設けられた排気孔２３と、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間を排気する排気手段２４と、配置台２２をレール２６に沿って移動させる台移動装置２７と、配置台２２に対向して配置された押圧対象物５０の表面に押圧ガスを吹き付けて、押圧対象物５０を配置台２２に押圧して押圧対象物５０の皺を取る吹出装置３０と、吹出装置３０に対してレール２６の長手方向に離間して配置され、配置台２２に対向して配置された押圧対象物５０の表面を処理する処理装置５５とを有している。
第一例のフィルム搬送処理装置２０ａの構造のうち、第一例の皺取り装置２０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。

レール２６はここでは直線形状であり、台座２１の表面と平行に向けられて、台座２１上に固定されている。
台移動装置２７は、ここではラックと、ラックの歯と噛み合うピニオン（歯車）と、ピニオンに回転動力を伝達するモーターとを備えている。

ラックはレール２６上に長手方向に沿って設けられ、ピニオンは配置台２２のレール２６と対向する部分に取り付けられており、モーターからピニオンに回転動力が伝達されると、ピニオンはラックの歯と噛み合いながらレール２６の長手方向に沿って移動され、配置台２２はピニオンと一緒にレール２６の長手方向に沿って移動される。
なお、台移動装置２７は、配置台２２をレール２６に沿って移動できるならば上述のラック・アンド・ピニオン機構に限定されず、例えばボールネジやリニアモーターであってもよい。

吹出装置３０と処理装置５５とは、配置台２２の上方にレール２６の長手方向に沿って並んで配置されている。
処理装置５５はここでは露光装置であるが、押圧対象物５０の表面を処理できるならば露光装置に限定されず、例えばインクジェット装置でもよい。

本実施形態では、第一例のフィルム搬送処理装置１０ａは、帯状の押圧対象物５０を、その長手方向がレール２６の長手方向と平行に向く向きで、配置台２２上に掛け渡して支持するフィルム支持部１１ａ、１１ｂを有しており、吹出装置３０の第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の長手方向はレール２６の長手方向と平行に向けられ、吹出管移動装置３３₁、３３₂は第一、第二の吹出管３１₁、３１₂をレール２６の長手方向に対して直角な方向に移動させるように構成されている。

フィルム支持部１１ａ、１１ｂは、第一、第二のボビン１２ａ、１２ｂと、第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂと、第一〜第四の補助ローラ１４₁〜１４₄とを有している。
ここでは、第一のボビン１２ａと第一のダンサー機構１３ａと第一、第二の補助ローラ１４₁、１４₂とはレール２６の長手方向の一端より外側に配置され、第二のボビン１２ｂと第二のダンサー機構１３ｂと第三、第四の補助ローラ１４₃、１４₄とはレール２６の長手方向の他端より外側に配置されている。第一、第二のボビン１２ａ、１２ｂの中心軸線と第一〜第四の補助ローラ１４₁〜１４₄の中心軸線はそれぞれレール２６の長手方向に対して直角で配置台２２の表面と平行な向きに向けられている。

第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂは、ここではエアーダンサーであり、不図示の排気ポンプが接続されている。排気ポンプを動作させると、第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂ内が減圧され、第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂ内の押圧対象物５０には、大気圧との差圧による引っ張り力がそれぞれ発生する。

第一例のフィルム搬送処理装置１０ａの使用方法を説明する。
（準備工程）
長手方向の一端を中心にロール状に巻かれた帯状の押圧対象物５０のロールの中心に第一のボビン１２ａを挿入する。そしてロールの外周から押圧対象物５０の端部を引き出し、第一の補助ローラ１４₁に掛け渡した後、第一のダンサー機構１３ａを通して、第二の補助ローラ１４₂に掛け渡し、次いで配置台２２上に掛け渡し、第三の補助ローラ１４₃に掛け渡した後、第二のダンサー機構１３ｂを通して、第四の補助ローラ１４₄に掛け渡し、第二のボビン１２ｂに巻き付ける。

第一、第二のダンサー機構１３ａ、１３ｂの動作を開始する。第一のダンサー機構１３ａ内の押圧対象物５０と、第二のダンサー機構１３ｂ内の押圧対象物５０には、大気圧との差圧による引っ張り力がそれぞれ発生し、その二力によって、第二の補助ローラ１４₂と第三の補助ローラ１４₃との間の押圧対象物５０はレール２６に沿って直線状に張られる。
ここでは、第二、第三の補助ローラ１４₂、１４₃の上端の高さは配置台２２の表面の高さより高くされ、配置台２２の表面と押圧対象物５０の裏面との間には隙間が空けられている。

第二の補助ローラ１４₂と第三の補助ローラ１４₃との間の押圧対象物５０には川幅方向の力が発生しておらず、配置台２２上の押圧対象物５０には長手方向に沿った皺が発生するおそれがある。

（皺取り工程）
配置台２２を移動させ、吹出装置３０と対向する位置に静止させる。
上述の第一例の皺取り方法を行って、図５（ａ）〜（ｅ）を参照し、第一、第二の吹出孔３２₁、３２₂から押圧ガスを吹き出させながら、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間が次第に離間するように、第一、第二の吹出管３１₁、３１₂を移動させる。

本実施形態では、吹出装置３０の第一、第二の吹出管３１₁、３１₂の長手方向はレール２６の長手方向と平行に向けられ、吹出管移動装置３３₁、３３₂は第一、第二の吹出管３１₁、３１₂をレール２６の長手方向に対して直角な方向に移動させるように構成されており、第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂に吹き付けられた押圧ガスは、押圧対象物５０の川幅方向端部に向かって流れやすく、押圧対象物５０の長手方向に向かって流れることは抑制され、押圧対象物５０が押圧ガスに押されて長手方向に位置ズレすることが防止される。

第一の吹出管３１₁と第二の吹出管３１₂との間が次第に離間するに従って、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間が次第に離間し、皺５２₁、５２₂は第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置より外側に位置する状態を維持しながら、第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂の進行方向、すなわち押圧対象物５０の川幅方向端部に向かって押しやられ、移動する。そのため、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置は皺５２₁、５２₂が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。

第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂を次第に離間させた後、排気手段２４を動作させ、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始し、配置台２２上の押圧対象物５０を真空吸着させる。

なお、第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂に押圧ガスを吹き付ける前に、配置台２２と押圧対象物５０との間の排気を開始して、押圧対象物５０の第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置を配置台２２の表面に真空吸着させながら、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間が次第に離間するように移動させて、配置台２２上の押圧対象物５０から皺５２₁、５２₂を取り除いてもよい。

（搬送工程）
図１０、１１を参照し、配置台２２上の押圧対象物５０を配置台２２の表面に真空吸着させた後、真空吸着を維持しながら、配置台２２をレール２６に沿って移動させると、第二の補助ローラ１４₂と第三の補助ローラ１４₃との間の押圧対象物５０は配置台２２と一緒にレール２６に沿って搬送される。

配置台２２上の押圧対象物５０は配置台２２に面で真空吸着されており、搬送中に、配置台２２上の押圧対象物５０に皺が発生することはない。
また、配置台２２は押圧対象物５０の裏面に接触し、表面には接触しておらず、搬送により押圧対象物５０の表面が損傷することはない。
配置台２２を処理装置５５と対向する位置で静止させる。配置台２２上の押圧対象物５０は処理装置５５と対向する。

（処理工程）
処理装置５５を動作させて、配置台２２上の押圧対象物５０の表面を処理する。配置台２２上の押圧対象物５０からは皺が取り除かれており、表面処理の精度が向上する。

配置台２２上の押圧対象物５０を表面処理した後、排気手段２４を停止して、真空吸着を解消する。押圧対象物５０の弾性力により、配置台２２上の押圧対象物５０は配置台２２の表面から離間する。

配置台２２をレール２６に沿って移動させ、吹出装置３０と対向する位置で静止させ、上述の皺取り工程と搬送工程と処理工程とを順に繰り返すと、押圧対象物５０は長手方向に沿って順次表面処理される。

＜第二例のフィルム搬送処理装置＞
上述の第二例の皺取り装置２０ｂを備える第二例のフィルム搬送処理装置の構造を説明する。
図１２は第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂの概略側面図、図１３は同概略平面図である。

第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂは、台座２１と、台座２１上に固定されたレール２６と、レール２６上に配置され、押圧対象物５０であるフィルムが配置される配置台２２と、配置台２２の表面に設けられた排気孔２３と、排気孔２３から配置台２２と押圧対象物５０との間を排気する排気手段２４と、配置台２２をレール２６に沿って移動させる台移動装置２７と、配置台２２に対向して配置された押圧対象物５０の表面に押圧ガスを吹き付けて、押圧対象物５０を配置台２２に押圧して押圧対象物５０の皺を取る吹出装置４０と、吹出装置４０に対してレール２６の長手方向に離間して配置され、配置台２２に対向して配置された押圧対象物５０の表面を処理する処理装置５５とを有している。

第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂの構造のうち、第一例のフィルム搬送処理装置１０ａ又は第二例の皺取り装置２０ｂの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
なお、図１２の図面上では、吹出装置４０の符号４１₂〜４１₈の吹出管は符号４１₁の吹出管の裏側に位置し、図示を省略されている。

本実施形態では、第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂは、帯状の押圧対象物５０を、その長手方向がレール２６の長手方向と平行に向く向きで、配置台２２上に掛け渡して支持するフィルム支持部１１ａ、１１ｂを有しており、各吹出管４１₁〜４１₈の長手方向はレール２６の長手方向と平行に向けられている。

第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂの使用方法を説明する。
第二例のフィルム搬送処理装置１０ｂの使用方法は、第一例のフィルム搬送処理装置１０ａの使用方法と皺取り工程以外は同じであり、以下では皺取り工程を説明し、他の工程の説明を省略する。

（皺取り工程）
配置台２２を移動させ、吹出装置４０と対向する位置で静止させる。
上述の第二例の皺取り方法を行って、図８（ａ）〜（ｅ）を参照し、吹出管４１₁〜４１₈から選択された第一の吹出管４１₄と、第一の吹出管４１₄に近接した第二の吹出管４１₅とをガス供給部４４に接続し、それぞれの吹出孔４２から押圧ガスを吹き出させた後、第一、第二の吹出管４１₄、４１₅から次第に離間する順序で、各吹出管４１₁〜４１₈をガス供給部４４に順次接続して、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間を次第に離間させる。

本実施形態では、各吹出管４１₁〜４１₈の長手方向はレール２６の長手方向と平行に向けられており、第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂に吹き付けられた押圧ガスは、押圧対象物５０の川幅方向端部に向かって流れやすく、押圧対象物５０の長手方向に向かって流れることは抑制され、押圧対象物５０が押圧ガスに押されて長手方向に位置ズレすることが防止される。

第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間が次第に離間するに従って、皺５２₁、５２₂は第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置より外側に位置する状態を維持しながら、第一、第二の吹き付け位置５１₁、５１₂の進行方向、すなわち押圧対象物５０の川幅方向端部に向かって押しやられ、移動する。そのため、第一の吹き付け位置５１₁と第二の吹き付け位置５１₂との間の位置は皺５２₁、５２₂が取り除かれた状態で配置台２２の表面に接触する。

なお、上述の第一、第二例のフィルム搬送処理装置１０ａ、１０ｂは、配置台２２をレール２６に沿って移動させる台移動装置２７を備えていたが、本発明の第一、第二例の皺取り装置２０ａ、２０ｂを備えるフィルム搬送処理装置は、上記構成に限定されず、図１４を参照し、台移動装置２７が省略され、配置台２２の外側に配置され、押圧対象物５０を吸着する吸着フレーム６２と、吸着フレーム６２の表面に設けられた補助排気孔６３と、補助排気孔６３から吸着フレーム６２と押圧対象物５０との間を排気する補助排気手段６４と、吸着フレーム６２をレール２６に沿って移動させるフレーム移動装置６７とを備える構成であってもよい。なお、図１４では符号３０の吹出装置が図示されているが、符号４０の吹出装置であってもよい。
補助排気孔６３と補助排気手段６４とフレーム移動装置６７の構造は、排気孔２３と排気手段２４と台移動装置２７の構造とそれぞれ同じであり、説明を省略する。

図１５は、配置台２２と吸着フレーム６２の概略平面図である。補助排気孔６３は、吸着フレーム６２の押圧対象物５０と対向する表面のうち、少なくとも帯状の押圧対象物５０の川幅方向の一端と他端とに対向する位置にそれぞれ設けられている。

なお、補助排気孔６３は押圧対象物５０の川幅方向の一端と他端とに対向できるならば、図１５に示すように、押圧対象物５０の長手方向に沿った線状部分に設けられた構成に限定されず、図１６に示すように、四角形の４つの頂点に当たる点状部分に設けられていてもよい。

第一、第二例の皺取り方法を行う際には、排気手段２４と補助排気手段６４とを動作させると、配置台２２と吸着フレーム６２の表面には、皺が取り除かれた押圧対象物５０が真空吸着される。
次いで、補助排気手段６４の動作を継続し、吸着フレーム６２と押圧対象物５０との間の真空吸着を維持しながら、排気手段２４の動作を停止し、配置台２２と押圧対象物５０との間の真空吸着を解消する。

次いで、配置台２２をレール２６に対して静止させながら、吸着フレーム６２をレール２６に沿って移動させると、吸着フレーム６２の内側の押圧対象物５０は吸着フレーム６２と一緒にレール２６に沿って搬送される。

吸着フレーム６２の内側の押圧対象物５０は、川幅方向の一端と他端とを吸着フレーム６２の表面にそれぞれ真空吸着されており、搬送中に、皺が発生することが抑制される。
ただし、押圧対象物５０の厚みが薄く、皺が発生しやすい場合には、配置台２２の表面に面で真空吸着させながら、配置台２２ごと移動させる構成の方が、配置台２２上の押圧対象物５０に皺が発生することを確実に防止できて好ましい。

なお、上述の説明では配置台２２の表面の法線は鉛直上向きに向けられていたが、吹出装置３０、４０が配置台２２の表面と対向して配置されるならば、本発明はこれに限定されず、配置台２２の表面の法線が鉛直下向きに向けられていてもよいし、鉛直方向に対して所定角度傾けられていてもよい。

１０ａ、１０ｂ……フィルム搬送処理装置
１１ａ、１１ｂ……フィルム支持部
２１……台座
２２……配置台
２３……排気孔
２４……排気手段
２６……レール
３０、４０……吹出装置
３１₁、３１₂……第一、第二の吹出管
３２₁、３２₂……第一、第二の吹出孔
３３₁、３３₂……吹出管移動装置
４１₁〜４１₈……吹出管
４２……吹出孔
４３……切替部
４４……ガス供給部
４５……制御装置
５０……押圧対象物
５１₁、５１₂……第一、第二の吹き付け位置
５２₁、５２₂……皺
５５……処理装置

Claims

配置台上に押圧対象物であるフィルムを配置し、
前記押圧対象物に対向して配置された吹出装置から、前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る皺取り方法であって、
前記押圧対象物上の線状の第一の吹き付け位置と、前記第一の吹き付け位置に近接した線状の第二の吹き付け位置とに前記押圧ガスが吹き付けられるように、前記吹出装置の第一、第二の吹出部から前記押圧ガスを吹き出させ、
前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出部を移動させる皺取り方法。
前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させる際には、前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置には、前記押圧ガスを吹き付ける請求項１記載の皺取り方法。
前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させる際には、前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置には、前記押圧ガスの吹き付けを停止する請求項１記載の皺取り方法。
前記第一、第二の吹き付け位置を次第に離間させた後、前記配置台の表面に設けられた排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気して、前記押圧対象物の前記第一の吹き付け位置と前記第二の吹き付け位置との間の位置を前記配置台に真空吸着させる請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の皺取り方法。
前記第一、第二の吹き付け位置に前記押圧ガスを吹き付ける前に、前記配置台の表面に設けられた排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間の排気を開始し、
前記第一、第二の吹き付け位置に前記押圧ガスを吹き付ける際には、前記押圧対象物の前記第一、第二の吹き付け位置を前記配置台に真空吸着させる請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の皺取り方法。
押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、
前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、
を有する皺取り装置であって、
前記吹出装置は、
前記配置台に対向して配置された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接して配置された第二の吹出管と、
前記第一、第二の吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた第一、第二の吹出孔と、
前記第一、第二の吹出管に押圧ガスを供給するガス供給部と、
前記第一の吹出管と前記第二の吹出管との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出管を移動させる吹出管移動装置と、
を有する皺取り装置。
押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、
前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、
を有する皺取り装置であって、
前記吹出装置は、
前記配置台に対向して一列に並んで配置された複数の吹出管と、
各前記吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた吹出孔と、
各前記吹出管に前記押圧ガスを供給するガス供給部と、
各前記吹出管と前記ガス供給部との間の接続を切り替える切替部と、
前記切替部に制御信号を送信して、前記吹出管から選択された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接した第二の吹出管とを前記ガス供給部に接続し、前記第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する制御装置と、
を有する皺取り装置。
前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を維持する請求項７記載の皺取り装置。
前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を切断する請求項７記載の皺取り装置。
前記配置台の表面に設けられた排気孔と、
前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、
を有する請求項６乃至請求項９のいずれか１項記載の皺取り装置。
台座と、
前記台座上に固定されたレールと、
前記レール上に配置され、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、
前記配置台の表面に設けられた排気孔と、
前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、
前記配置台を前記レールに沿って移動させる台移動装置と、
前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、
前記吹出装置に対して前記レールの長手方向に離間して配置され、前記配置台上に配置された前記押圧対象物の表面を処理する処理装置と、
を有し、
前記吹出装置は、
前記配置台に対向して配置された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接して配置された第二の吹出管と、
前記第一、第二の吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた第一、第二の吹出孔と、
前記第一、第二の吹出管に押圧ガスを供給するガス供給部と、
前記第一の吹出管と前記第二の吹出管との間が次第に離間するように、前記第一、第二の吹出管を移動させる吹出管移動装置と、
を有するフィルム搬送処理装置。
帯状の前記押圧対象物を、その長手方向が前記レールの長手方向と平行に向く向きで、前記配置台上に掛け渡して支持するフィルム支持部を有し、
前記第一、第二の吹出管の長手方向は前記レールの長手方向と平行に向けられており、
前記吹出管移動装置は前記第一、第二の吹出管を前記レールの長手方向に対して直角な方向に移動させる請求項１１記載のフィルム搬送処理装置。
台座と、
前記台座上に固定されたレールと、
前記レール上に配置され、押圧対象物であるフィルムが配置される配置台と、
前記配置台の表面に設けられた排気孔と、
前記排気孔から前記配置台と前記押圧対象物との間を排気する排気手段と、
前記配置台を前記レールに沿って移動させる台移動装置と、
前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面に押圧ガスを吹き付けて、前記押圧対象物を前記配置台に押圧して前記押圧対象物の皺を取る吹出装置と、
前記吹出装置に対して前記レールの長手方向に離間して配置され、前記配置台に対向して配置された前記押圧対象物の表面を処理する処理装置と、
を有し、
前記吹出装置は、
前記配置台に対向して一列に並んで配置された複数の吹出管と、
各前記吹出管の前記配置台に向けられた側面に、長手方向に沿って並んで設けられた吹出孔と、
各前記吹出管に前記押圧ガスを供給するガス供給部と、
各前記吹出管と前記ガス供給部との間の接続を切り替える切替部と、
前記切替部に制御信号を送信して、前記吹出管から選択された第一の吹出管と、前記第一の吹出管に近接した第二の吹出管とを前記ガス供給部に接続し、前記第一、第二の吹出管から次第に離間する順序で、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する制御装置と、
を有するフィルム搬送処理装置。
帯状の前記押圧対象物を、その長手方向が前記レールの長手方向と平行に向く向きで、前記配置台上に掛け渡して支持するフィルム支持部を有し、
各前記吹出管は長手方向を前記レールの長手方向と平行に向けられて、前記レールの長手方向に対して直角な方向に並んで配置された請求項１３記載のフィルム搬送処理装置。
前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を維持する請求項１２又は請求項１３のいずれか１項記載のフィルム搬送処理装置。
前記制御装置は、各前記吹出管を前記ガス供給部に順次接続する際には、既に前記ガス供給部に接続された前記吹出管の接続を切断する請求項１２又は請求項１３のいずれか１項記載のフィルム搬送処理装置。