JP5834783B2 - マグネトロンスパッタ装置 - Google Patents
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Description
前記ターゲットに電圧を印加する電源部と、
前記ターゲットの背面側に設けられたベース体にマグネット群を配列したマグネット配列体と、を備え、
前記マグネット配列体は、
各々の両端が互いに異極である複数の棒状のマグネットを、ターゲットに対向する面に沿って網の目状に配置したことと、
各網の目の形状が2n(nは2以上の整数)角形でありかつ当該2n角形の各辺は、その長手方向が当該辺の伸びる方向となるように配置される1本の棒状マグネットにより構成されることと、
網の目の交点にて棒状のマグネットの端面に囲まれる領域には透磁性のコア部材が設けられていることと、
コア部材を囲む棒状のマグネットの端部同士は互いに同極であることと、を備えていることを特徴とする。
2 真空容器
24 真空ポンプ
3 ターゲット電極
31 ターゲット
4 載置部
41 高周波電源部
5 マグネット配列体
52 マグネット群
53 内側マグネット群
6 棒状マグネット
7 コア部材
8 リターン用マグネット
Claims (8)
- 真空容器内に載置された被処理基板に対向するようにターゲットを配置し、このターゲットの背面側にマグネットを設けたマグネトロンスパッタ装置において、
前記ターゲットに電圧を印加する電源部と、
前記ターゲットの背面側に設けられたベース体にマグネット群を配列したマグネット配列体と、を備え、
前記マグネット配列体は、
各々の両端が互いに異極である複数の棒状のマグネットを、ターゲットに対向する面に沿って網の目状に配置したことと、
各網の目の形状が2n(nは2以上の整数)角形でありかつ当該2n角形の各辺は、その長手方向が当該辺の伸びる方向となるように配置される1本の棒状マグネットにより構成されることと、
網の目の交点にて棒状のマグネットの端面に囲まれる領域には透磁性のコア部材が設けられていることと、
コア部材を囲む棒状のマグネットの端部同士は互いに同極であることと、を備えていることを特徴とするマグネトロンスパッタ装置。 - 前記マグネット配列体は、被処理基板の投影領域全体に亘ってプラズマが発生するように、マグネット群を構成する複数のN極及びS極が配列されていることを特徴とする請求項1記載のマグネトロンスパッタ装置。
- 前記マグネット群は、最外周に電子がカスプ磁界の拘束から解放されてカスプ磁界の外に飛び出すことを阻止するようにライン状に配列されたリターン用のマグネットを備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のマグネトロンスパッタ装置。
- 前記マグネット配列体を被処理基板に対して直交する軸の周りに回転させるための回転機構を備えることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載のマグネトロンスパッタ装置。
- 前記被処理基板におけるターゲットとは反対側に設けられた電極と、
この電極に高周波電力を供給する高周波電源部と、を備えることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載のマグネトロンスパッタ装置。 - スパッタ時における前記ターゲットと被処理基板との距離が10mm以上50mm以下であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載のマグネトロンスパッタ装置。
- コア部材を囲む棒状のマグネット同士の間では、前記コア部材の端部から棒状マグネットの端部に至る距離が揃っていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載のマグネトロンスパッタ装置。
- 前記網の目の形状は正方形であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一つに記載のマグネトロンスパッタ装置。
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