JP5831987B2 - Work suction device - Google Patents

Work suction device Download PDF

Info

Publication number
JP5831987B2
JP5831987B2 JP2012063138A JP2012063138A JP5831987B2 JP 5831987 B2 JP5831987 B2 JP 5831987B2 JP 2012063138 A JP2012063138 A JP 2012063138A JP 2012063138 A JP2012063138 A JP 2012063138A JP 5831987 B2 JP5831987 B2 JP 5831987B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
area
holes
work
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012063138A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2013193167A (en
Inventor
祐基 石塚
祐基 石塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Via Mechanics Ltd
Original Assignee
Via Mechanics Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Via Mechanics Ltd filed Critical Via Mechanics Ltd
Priority to JP2012063138A priority Critical patent/JP5831987B2/en
Publication of JP2013193167A publication Critical patent/JP2013193167A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5831987B2 publication Critical patent/JP5831987B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

本発明は、ワークを吸着して保持する吸着テーブルのワーク吸着範囲を変更するための技術に関するものである。   The present invention relates to a technique for changing a work suction range of a suction table that sucks and holds a work.

加工装置でプリント基板などの板状のワークの表面に加工を施す際、ワークは搬送方向に移動する移動テーブル上に固定されて、加工される。   When processing the surface of a plate-shaped workpiece such as a printed circuit board with a processing apparatus, the workpiece is fixed and processed on a moving table that moves in the transport direction.

移動テーブルは、例えば特許文献１に記載されているように、ベース上にＸ方向に移動自在のＸテーブルが載置され、Ｘテーブル上にＹ方向に移動自在のＹテーブルが載置され、Ｙテーブル上に回転自在にθテーブルが支持された構成であり、θテーブル上に設けられた吸着テーブルを用いて、ワークは移動テーブルに固定される。   For example, as described in Patent Document 1, an X table that is movable in the X direction is placed on the base, and a Y table that is movable in the Y direction is placed on the X table. The θ table is rotatably supported on the table, and the work is fixed to the moving table using a suction table provided on the θ table.

従来の吸着テーブルは、図５で示すように表面にワーク６を吸着するための多数の吸着孔５が設けられており、吸着孔５は吸着テーブル４下部の空洞部８に連通し、空洞部８は真空源９に接続されている。真空源９を作動させることで空洞部８を負圧にし、連通する吸着孔５に吸着力を発生させ、この吸着力により吸着テーブル４に載置されたワーク６は吸着されて、固定される。   As shown in FIG. 5, the conventional suction table is provided with a number of suction holes 5 for sucking the workpiece 6 on the surface, and the suction holes 5 communicate with the cavity portion 8 below the suction table 4. 8 is connected to a vacuum source 9. By operating the vacuum source 9, the cavity 8 is made negative pressure, and suction force is generated in the communicating suction hole 5, and the workpiece 6 placed on the suction table 4 is sucked and fixed by this suction force. .

このような構成では、吸着テーブル４はワーク６のサイズに合わせて製作されるため、ワーク６のサイズ変更には対応できなかった。ワーク６のサイズが吸着孔５が形成されているエリアより小さい場合には、ワーク６が載置されていないエリアの吸着孔５を通して空洞部８と外部空間とが連通してしまい、空洞部８の負圧を十分に上げることができず、ワーク６を十分に保持できなくなってしまうからである。   In such a configuration, the suction table 4 is manufactured in accordance with the size of the workpiece 6, and therefore, it cannot cope with the size change of the workpiece 6. When the size of the work 6 is smaller than the area where the suction holes 5 are formed, the cavity 8 and the external space communicate with each other through the suction holes 5 in the area where the work 6 is not placed, and the cavity 8 This is because the negative pressure cannot be sufficiently increased and the workpiece 6 cannot be sufficiently held.

近年のワークサイズの多様化により、異なるサイズのワーク６に対応するために、吸着テーブル４をワーク６が載置される吸着エリアとワーク６が載置されない非吸着エリアに分け、ワーク６のサイズに合わせた吸着エリアを形成する構成が用いられるようになった。例えば、従来の問題を改善するために特許文献２が提案されている。吸着テーブル４の下部で空洞部８から吸着孔５までの連通経路を開閉することにより、吸着エリアでは連通させて吸着孔５によりワーク６を吸着できるようにし、非吸着エリアでは閉鎖して吸着孔５から外部空間へエアが漏れることを防ぎ、ワーク６のサイズに合わせた吸着エリアを形成して、異なるサイズのワーク６に対応できるようにしている。   Due to the recent diversification of workpiece sizes, the suction table 4 is divided into a suction area on which the workpiece 6 is placed and a non-suction area on which the workpiece 6 is not placed in order to cope with workpieces 6 of different sizes. The structure which forms the adsorption | suction area according to this came to be used. For example, Patent Document 2 has been proposed to improve the conventional problem. By opening and closing the communication path from the cavity 8 to the suction hole 5 at the lower part of the suction table 4, the work 6 can be sucked by the suction hole 5 in communication with the suction area, and closed in the non-suction area. The air is prevented from leaking from the external space 5 to the outside space, and a suction area according to the size of the work 6 is formed so that the work 6 of different sizes can be handled.

このような構成の場合、ワーク６のサイズが吸着孔５が形成されているエリアより小さい場合には対応できるが、大きい場合には、やはり対応することができない。上記従来技術のどちらにも言えることであるが、ワーク６端部近傍に吸着孔５がないとワーク６端部での吸着力が不足し、ワーク６の固定が不十分になることから稼動停止する場合もあり、作業効率を低下させる原因となってしまうからである。
また、吸着テーブル４下部の連通経路を開閉する機構は複雑なものであるため、装置生産コストを増大させてしまう。 In the case of such a configuration, it can be handled when the size of the work 6 is smaller than the area where the suction holes 5 are formed, but it cannot be handled when it is large. As is the case with either of the above prior arts, if there is no suction hole 5 in the vicinity of the end of the workpiece 6, the suction force at the end of the workpiece 6 will be insufficient, and the work 6 will not be fixed sufficiently. This is because it may cause a reduction in work efficiency.
Further, since the mechanism for opening and closing the communication path at the lower part of the suction table 4 is complicated, the apparatus production cost is increased.

特開２００７−２１９０１１号公報（段落００２４）JP 2007-219011 (paragraph 0024)

特開２００３−１７４０７８号公報（段落００１４〜段落００１６）JP 2003-174078 A (paragraphs 0014 to 0016)

そこで本発明は、ワークサイズの変更に対応することが困難であり、あるいは複雑な構成であることから装置生産コストを増大させ作業効率を低下させるという上記従来技術の問題点を解決することを課題とする。   Therefore, the present invention has an object to solve the above-described problems of the prior art that it is difficult to cope with the change of the work size, or the apparatus production cost is increased and the work efficiency is lowered due to the complicated configuration. And

上記の課題を解決するため、本発明は、図１で示すように、複数の吸着孔５が開口形成された吸着エリア（以下、テーブル吸着エリアという。）を有する吸着テーブル４と、吸着テーブル４の複数の吸着孔５に連通して負圧にする負圧吸引手段とを有し、吸着テーブル４に載置されたワーク６を吸着して保持するワーク吸着機構において、テーブル吸着エリア全体をカバーする広さを持ち、ワーク６のサイズに合わせたエリア（以下、プレート吸着エリアという。）に複数の貫通孔２が開口形成され、テーブル吸着エリアに対応する貫通孔２は吸着孔５と同じピッチで形成されており、貫通孔２を吸着孔５に連通させるように位置合わせして吸着テーブル４の上に載置する吸着プレート１を設け、プレート吸着エリアのテーブル吸着エリアから外れた部分に貫通孔２がある場合には、吸着拡張エリアとして、テーブル吸着エリアから外れた部分の貫通孔２に吸着孔５とをつなぐ連通溝３を設けることにより、ワーク６を吸着するエリアを拡張できるので、吸着孔５が形成されているエリアより大きいワーク６を吸着して保持することができる。   In order to solve the above problems, the present invention, as shown in FIG. 1, includes a suction table 4 having a suction area (hereinafter referred to as a table suction area) in which a plurality of suction holes 5 are formed, and a suction table 4. A work suction mechanism that sucks and holds the work 6 placed on the suction table 4 and covers the entire table suction area. A plurality of through holes 2 are formed in an area (hereinafter referred to as a plate suction area) that matches the size of the workpiece 6, and the through holes 2 corresponding to the table suction area have the same pitch as the suction holes 5. The suction plate 1 is placed so that the through-hole 2 communicates with the suction hole 5 and is placed on the suction table 4. When there is a through hole 2 in the detached part, an area for adsorbing the workpiece 6 is provided as a suction expansion area by providing the communication groove 3 that connects the suction hole 5 to the through hole 2 in the part away from the table suction area. Therefore, the workpiece 6 larger than the area where the suction holes 5 are formed can be sucked and held.

本発明によれば、貫通孔と連通溝を設けた吸着プレートを吸着テーブルに載置するのみの簡単な構成であることから、ワークのサイズ変更に合わせて容易に対応できる。   According to the present invention, since the suction plate provided with the through hole and the communication groove is simply mounted on the suction table, it can be easily accommodated in accordance with the change in the size of the workpiece.

貫通孔と連通溝を設けた吸着プレートを用いたワーク吸着機構は、従来の吸着テーブル下部の連通経路を開閉することにより吸着エリアを切り替える機構に比べると、安価に製作できるため、装置生産コストを低減できる。   Compared to the conventional mechanism that switches the suction area by opening and closing the communication path at the bottom of the suction table, the workpiece suction mechanism using the suction plate with through holes and communication grooves can be manufactured at a lower cost. Can be reduced.

また、吸着プレートのワークが載置されるエリアの端部に貫通孔を増設することで、ワーク端部での吸着力を強化することができ、ワークの固定が不十分なことが原因で引き起こされていた稼動停止を低減でき、作業効率を向上させることができる。   Also, by adding a through hole to the end of the area where the workpiece on the suction plate is placed, the suction force at the end of the workpiece can be strengthened, which is caused by insufficient fixation of the workpiece. It is possible to reduce the operation stop that has been performed, and to improve the work efficiency.

吸着エリアを拡張する場合の図である。It is a figure in the case of expanding a suction area. 吸着プレートの構成例１を示す図である。It is a figure which shows the structural example 1 of an adsorption | suction plate. 吸着プレートの構成例２を示す図である。It is a figure which shows the structural example 2 of an adsorption | suction plate. 吸着エリアを縮小する場合の図である。It is a figure in the case of reducing an adsorption area. 従来の吸着テーブルを示す平面図およびＡ−Ａ断面図である。It is the top view which shows the conventional adsorption | suction table, and AA sectional drawing.

以下、本発明を図示の実施形態に基づいて詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail based on illustrated embodiments.

吸着テーブル４に載置される吸着プレート１は、吸着孔５が形成されているテーブル吸着エリア全体をカバーする広さを持ち、プレート吸着エリアに複数の貫通孔２が開口形成されている。テーブル吸着エリアに対応する貫通孔２は吸着孔５と同じピッチである。   The suction plate 1 placed on the suction table 4 has a size that covers the entire table suction area in which the suction holes 5 are formed, and a plurality of through holes 2 are formed in the plate suction area. The through holes 2 corresponding to the table suction area have the same pitch as the suction holes 5.

テーブル吸着エリアに対応するエリアから外れたエリアに形成された貫通孔２には、吸着拡張エリアとして、吸着プレート１の吸着テーブル４との当接面側に、吸着孔５とつなぐための連通溝３を形成する。   The through-hole 2 formed in an area outside the area corresponding to the table suction area has a communication groove for connecting to the suction hole 5 on the contact surface side of the suction plate 1 with the suction table 4 as a suction expansion area. 3 is formed.

連通溝３は、図２で示すように、吸着拡張エリアに隣接する複数の吸着孔５をつなぐ縦溝と、吸着拡張エリアの複数の貫通孔２と縦溝とをつなぐ縦溝とは交差する方向の複数の横溝とにより櫛歯状に形成する。   As shown in FIG. 2, the communication groove 3 intersects the vertical groove that connects the plurality of suction holes 5 adjacent to the suction expansion area and the vertical groove that connects the plurality of through holes 2 and the vertical grooves in the suction expansion area. It forms in a comb-tooth shape by the some horizontal groove of a direction.

吸着拡張エリアの貫通孔２および連通溝３は、エッチングやドリル、エンドミル加工により形成するとよい。   The through hole 2 and the communication groove 3 in the adsorption expansion area may be formed by etching, drilling, or end milling.

テーブル吸着エリアに対応する貫通孔２を吸着孔５に連通させるように位置合わせして吸着プレート１を吸着テーブル４の上に載置し、ワーク６をプレート吸着エリアを覆うように載置することで、ワーク６は吸着されて、保持される。   Positioning so that the through-hole 2 corresponding to the table suction area communicates with the suction hole 5, the suction plate 1 is placed on the suction table 4, and the work 6 is placed so as to cover the plate suction area. Thus, the workpiece 6 is sucked and held.

吸着テーブル４に載置される吸着プレート１は、吸着孔５が形成されているテーブル吸着エリア全体をカバーする広さを持ち、プレート吸着エリアに複数の貫通孔２が開口形成されている。テーブル吸着エリアに対応する貫通孔２は吸着孔５と同じピッチである。   The suction plate 1 placed on the suction table 4 has a size that covers the entire table suction area in which the suction holes 5 are formed, and a plurality of through holes 2 are formed in the plate suction area. The through holes 2 corresponding to the table suction area have the same pitch as the suction holes 5.

テーブル吸着エリアに対応するエリアから外れたエリアに形成された貫通孔２には、吸着拡張エリアとして、吸着プレート１の吸着テーブル４との当接面側に、吸着孔５とつなぐための連通溝３を形成する。   The through-hole 2 formed in an area outside the area corresponding to the table suction area has a communication groove for connecting to the suction hole 5 on the contact surface side of the suction plate 1 with the suction table 4 as a suction expansion area. 3 is formed.

連通溝３は、図３で示すように、吸着拡張エリアに隣接する複数の吸着孔５をつなぐ縦溝と、吸着拡張エリアの複数の貫通孔２をつなぐ複数の縦溝と、これら縦溝とは交差する方向の複数の横溝とにより格子状に形成する。 As shown in FIG. 3, the communication groove 3 includes a vertical groove that connects the plurality of suction holes 5 adjacent to the suction expansion area, a plurality of vertical grooves that connects the plurality of through holes 2 in the suction expansion area, and the vertical grooves. Are formed in a lattice pattern by a plurality of transverse grooves in intersecting directions.

吸着拡張エリアの貫通孔２および連通溝３は、エッチングやドリル、エンドミル加工により形成するとよい。   The through hole 2 and the communication groove 3 in the adsorption expansion area may be formed by etching, drilling, or end milling.

テーブル吸着エリアに対応する貫通孔２を吸着孔５に連通させるように位置合わせして吸着プレート１を吸着テーブル４の上に載置し、ワーク６をプレート吸着エリアを覆うように載置することで、ワーク６は吸着されて、保持される。   Positioning so that the through-hole 2 corresponding to the table suction area communicates with the suction hole 5, the suction plate 1 is placed on the suction table 4, and the work 6 is placed so as to cover the plate suction area. Thus, the workpiece 6 is sucked and held.

吸着テーブル４に載置される吸着プレート１は、吸着孔５が形成されているテーブル吸着エリア全体をカバーする広さを持ち、プレート吸着エリアに複数の貫通孔２が開口形成されている。テーブル吸着エリアに対応する貫通孔２は吸着孔５と同じピッチである。   The suction plate 1 placed on the suction table 4 has a size that covers the entire table suction area in which the suction holes 5 are formed, and a plurality of through holes 2 are formed in the plate suction area. The through holes 2 corresponding to the table suction area have the same pitch as the suction holes 5.

吸着プレート１にワーク６によって覆われないエリアがある場合には、図４で示すように、非吸着エリアとして貫通孔２を設けない。   When there is an area that is not covered by the workpiece 6 on the suction plate 1, the through hole 2 is not provided as a non-suction area as shown in FIG.

テーブル吸着エリアに対応する貫通孔２を吸着孔５に連通させるように位置合わせして吸着プレート１を吸着テーブル４の上に載置し、ワーク６をプレート吸着エリアを覆うように載置することで、ワーク６は吸着されて、保持される。   Positioning so that the through-hole 2 corresponding to the table suction area communicates with the suction hole 5, the suction plate 1 is placed on the suction table 4, and the work 6 is placed so as to cover the plate suction area. Thus, the workpiece 6 is sucked and held.

実施例１〜３において、吸着プレートの材質は、錆が出ないことからステンレス鋼が好ましく、板厚が０．３〜０．５ｍｍのステンレス鋼の吸着プレートに対しては、０．１ｍｍ程度の深さで連通溝３を形成するとよい。   In Examples 1 to 3, the material of the suction plate is preferably stainless steel because rust does not appear. For a stainless steel suction plate having a plate thickness of 0.3 to 0.5 mm, the material is about 0.1 mm. The communication groove 3 may be formed with a depth.

１ 吸着プレート
２ 貫通孔
３ 連通溝
４ 吸着テーブル
５ 吸着孔
６ ワーク
７ サブテーブル
８ 空洞部
９ 真空源
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Suction plate 2 Through-hole 3 Communication groove 4 Suction table 5 Suction hole 6 Work piece 7 Subtable 8 Cavity 9 Vacuum source

Claims (1)

負圧吸引手段に連通する複数の吸着孔が開口形成されたテーブルにワークを吸着して保持するワーク吸着装置において、複数の貫通孔が開口形成されて前記ワークのサイズに合わせたエリアを有し、前記吸着孔による吸着エリアに存在する前記貫通孔は前記吸着孔と同じピッチで形成され、前記吸着孔による吸着エリアから外れた部分に存在する前記貫通孔には前記吸着孔の負圧を当該貫通孔に導くための連通溝が内部に設けられたプレートを備え、前記テーブル上に前記プレートが載置され、当該プレート上に前記ワークが載置されることを特徴とするワーク吸着装置。 In a work suction device for sucking and holding a work on a table in which a plurality of suction holes communicating with a negative pressure suction means are formed, a plurality of through holes are formed to have an area according to the size of the work. The through-holes present in the suction area by the suction holes are formed at the same pitch as the suction holes, and the negative pressure of the suction hole is applied to the through-holes present in a portion away from the suction area by the suction holes. A work suction device comprising: a plate having a communication groove for guiding to a through hole therein; the plate is placed on the table; and the work is placed on the plate .
JP2012063138A 2012-03-21 2012-03-21 Work suction device Active JP5831987B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012063138A JP5831987B2 (en) 2012-03-21 2012-03-21 Work suction device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012063138A JP5831987B2 (en) 2012-03-21 2012-03-21 Work suction device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013193167A JP2013193167A (en) 2013-09-30
JP5831987B2 true JP5831987B2 (en) 2015-12-16

Family

ID=49392742

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012063138A Active JP5831987B2 (en) 2012-03-21 2012-03-21 Work suction device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5831987B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6970431B2 (en) 2017-11-29 2021-11-24 三星ダイヤモンド工業株式会社 Board unloading device
JP7488119B2 (en) 2020-06-10 2024-05-21 ローランドディー．ジー．株式会社 Printing material placement table and printing device
CN111958523B (en) * 2020-09-04 2024-09-20 深圳市拓野智能股份有限公司 PCU assembled finished product sealing ring sucker jig and assembling method
CN117086502A (en) * 2023-09-12 2023-11-21 广东科杰技术股份有限公司 Vacuum adsorption mechanism and laser cutting equipment
CN117921432B (en) * 2024-03-18 2024-06-11 湖南铭逸智能装备有限公司 Vertical machine tool

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63133942U (en) * 1987-02-25 1988-09-01
US5372357A (en) * 1991-03-26 1994-12-13 Gfm Gesellschaft Fur Fertigungstechnik Und Maschinenbau Aktiengesellschaft Work-supporting deck for use in machine tools, particularly in cutting machines
JPH0866872A (en) * 1994-08-26 1996-03-12 Matsushita Electric Works Ltd Method for sucking printed wiring board
JPH11239991A (en) * 1997-12-22 1999-09-07 Shipley Far East Kk Object holder and object holding method using it

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013193167A (en) 2013-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5831987B2 (en) Work suction device
CN105108355A (en) Bearing table, bearing device and laser cutting device
JP2007253249A (en) Suction device, and suction method using the same suction device
JP5666947B2 (en) Work suction jig and work gripping method
JP5720201B2 (en) Workpiece transfer device
CN102205541A (en) Sucking device
CN115039212A (en) Support device for supporting substrate, method of processing substrate, and semiconductor substrate
JP6282176B2 (en) Edge material separator for brittle material substrate
KR20110109861A (en) Driller for print substrate
JP6661385B2 (en) Holding table
JP2010260318A (en) Suction stage
JP5806059B2 (en) Laser processing machine
CN103594408B (en) Non-contact substrate carrier and substrate vertical bearing device thereof
JP2010093103A (en) Tool for division working
JP5372600B2 (en) Vacuum chuck device and processing device
CN215898347U (en) Keep thin PCB base plate roughness's absorption positioner
CN216992596U (en) Vacuum air suction jig and processing equipment
JP5678440B2 (en) Holding jig
JP4094533B2 (en) Processing equipment
WO2015046136A1 (en) Suction head and sheet handling device
CN218728597U (en) LDI uses soft board exposure platform
JP6556040B2 (en) Tool for cutting tools
CN216902877U (en) Vacuum platform and mounting equipment
CN204231764U (en) Automatic absorbing press fit device
TWI342258B (en) Apparatus for fixing flexible printed circuit board

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140924

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150626

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150721

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150820

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20151020

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20151023

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5831987

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250